特許 6836816 電子部品の処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】6836816

(24)【登録日】2021年2月10日

(45)【発行日】2021年3月3日

(54)【発明の名称】電子部品の処理装置

(51)【国際特許分類】

   B65G 47/80 20060101AFI20210222BHJP

   B65G 47/86 20060101ALI20210222BHJP

   H01L 21/68 20060101ALI20210222BHJP

【ＦＩ】

   B65G47/80 C

   B65G47/86 G

   H01L21/68 F

【請求項の数】4

【全頁数】25

(21)【出願番号】特願2020-93113(P2020-93113)

(22)【出願日】2020年5月28日

【審査請求日】2020年5月28日

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】591048070

【氏名又は名称】上野精機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100145012

【弁理士】

【氏名又は名称】石坂 泰紀

(74)【代理人】

【識別番号】100171099

【弁理士】

【氏名又は名称】松尾 茂樹

(72)【発明者】

【氏名】南 日出夫

【審査官】 中田 誠二郎

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００１−２６７７９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特許第６５１６１３２（ＪＰ，Ｂ１）

【文献】 特開２００３−０７５５０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１４／０８７４９１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００６−３０６６１７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｇ ４７／８０

Ｂ６５Ｇ ４７／８４−４７／８６

Ｈ０１Ｌ ２１／６８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

電子部品を保持する第１保持部を有し、前記第１保持部を第１円軌道に沿って移動させる第１回転搬送部と、
前記電子部品を保持する第２保持部と、前記第２保持部が設けられるテーブルと、前記第１保持部との間で前記電子部品の受け渡しが可能な受渡領域を通る第２円軌道に沿って前記第２保持部を移動させると共に前記受渡領域に前記第２保持部を停止させるように、前記テーブルを前記第２円軌道の軸線まわりに回転させる回転駆動部と、を有する第２回転搬送部と、
前記第１保持部と前記第２保持部とが対向する方向に交差する面に沿って前記第２保持部を互いに交差する２方向に移動させることで、前記回転駆動部によって前記受渡領域に配置される際の当該受渡領域における前記第２保持部の位置を調節する位置調節部と、を備える電子部品の処理装置。

【請求項2】

前記位置調節部は、前記受渡領域における前記第２保持部の位置を調節するように前記第２回転搬送部の位置を変更する、請求項１記載の電子部品の処理装置。

【請求項3】

前記位置調節部は、前記受渡領域における前記第２保持部の位置を調節するように、前記第２回転搬送部における前記第２保持部の位置を変更する、請求項１又は２記載の電子部品の処理装置。

【請求項4】

前記第２回転搬送部における前記第２保持部の姿勢を調節する姿勢調節部を更に備える、請求項１〜３のいずれか一項記載の電子部品の処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、電子部品の処理装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、電子部品を保持しながら回転と停止を１サイクルとして繰り返して間欠的に回転搬送するターンテーブルと、ターンテーブルの外周に設けられた工程処理機構と、ターンテーブルから電子部品を受取り工程処理機構に搬送し、工程処理機構からターンテーブルに電子部品を戻す衛星テーブルとを備える電子部品の処理装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００６−３０６６１７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本開示は、電子部品の処理効率の向上に有効な処理装置を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示の一側面に係る電子部品の処理装置は、電子部品を保持する第１保持部を有し、第１保持部を第１円軌道に沿って移動させる第１回転搬送部と、電子部品を保持する第２保持部を有し、第１保持部との間で電子部品の受け渡しが可能な受渡領域を通る第２円軌道に沿って第２保持部を移動させる第２回転搬送部と、受渡領域における第２保持部の位置を調節する位置調節部と、を備える。

【発明の効果】

【0006】

本開示によれば、電子部品の処理効率の向上に有効な処理装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】電子部品の処理装置を模式的に示す平面図である。

【図2】図１の処理装置の側面図である。

【図3】第２回転搬送部の変形例を示す模式図である。

【図4】コントローラの機能的な構成を例示するブロック図である。

【図5】コントローラのハードウェア構成を例示するブロック図である。

【図6】搬送制御手順を例示するフローチャートである。

【図7】第１側の処理制御手順を例示するフローチャートである。

【図8】第２側の処理制御手順を例示するフローチャートである。

【図9】第２側の処理制御手順の変形例を示すフローチャートである。

【図10】搬送制御手順の変形例を示すフローチャートである。

【図11】第２側の処理制御手順の変形例を示すフローチャートである。

【図12】処理装置の変形例を示す平面図である。

【図13】第２側の処理制御手順の変形例を示すフローチャートである。

【図14】回転搬送部の配置の変形例を示す側面図である。

【図15】回転搬送部の配置の他の変形例を示す側面図である。

【図16】回転搬送部の配置の他の変形例を示す側面図である。

【図17】第２回転搬送部の他の変形例を示す模式図である。

【図18】処理装置の他の変形例を示す側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。

【0009】

〔処理装置〕
本実施形態に係る電子部品の処理装置１は、所謂ダイソータであり、ダイシングなどの前工程で形成された電子部品Ｗを搬送しながら、外観検査、電気特性検査、マーキング等の処理を施した上でテープ、コンテナチューブ等に梱包する装置である。

【0010】

図１及び図２に示すように、処理装置１は、回転搬送部１０，３０と、位置調節部４０とを備える。回転搬送部１０（第１回転搬送部）は、電子部品Ｗを円軌道ＣＲ１（第１円軌道）に沿って移動させる。搬送対象の電子部品Ｗは、互いに平行な二か所の主面Ｗａ，Ｗｂと、主面Ｗａ，Ｗｂを囲む外周面Ｗｃとを有する。回転搬送部１０は、ターンテーブル１１と、複数の保持部１２と、回転駆動部１３と、複数の昇降駆動部２１とを有する。ターンテーブル１１は、鉛直な軸線Ａｘ１まわりに回転可能となるように設けられている。

【0011】

複数の保持部１２（第１保持部）は、軸線Ａｘ１を中心とする円周に沿って等間隔に配置されており、ターンテーブル１１に固定されている。複数の保持部１２のそれぞれは、電子部品Ｗを保持する。保持部１２はいかなる方式で電子部品Ｗを保持してもよい。電子部品Ｗを保持する方式の具体例としては、真空吸着、静電気式の吸着、及び把持等が挙げられる。例えば保持部１２は、ターンテーブル１１に直交する方向（軸線Ａｘ１に平行な方向）の一方側から主面Ｗａ，Ｗｂの何れかを真空吸着する。

【0012】

例えば保持部１２は、吸着ロッド１５と、ホルダ１６と、スプリング１７とを有する。吸着ロッド１５は、電子部品Ｗの主面Ｗａ，Ｗｂのいずれかを上方から吸着する。例えば吸着ロッド１５は、ターンテーブル１１に垂直に配置され、その下端部に主面Ｗａ，Ｗｂのいずれかを吸着する。ホルダ１６は、ターンテーブル１１の外周部に固定され、吸着ロッド１５を昇降可能に保持する。スプリング１７は、その弾力により、吸着ロッド１５の下降に抗する。スプリング１７は、吸着ロッド１５の上端部に下向きの外力を付与された場合には吸着ロッド１５の下降に応じて弾性変形し、下向きの外力がなくなると弾性復帰して吸着ロッド１５を下降前の高さに押し戻す。保持部１２は、制御信号の入力に応じて吸着ロッド１５による真空吸着のオン・オフを切り替えるためのバルブ（不図示）を更に有する。バルブの具体例としては、電磁バルブ等が挙げられる。

【0013】

回転駆動部１３は、例えば電動モータ等の動力源を用いて、ギヤを介さないダイレクトドライブによって軸線Ａｘ１まわりにターンテーブル１１を回転させる。これにより、軸線Ａｘ１を中心とする水平な円軌道ＣＲ１まわりに複数の保持部１２が移動する。回転駆動部１３は、隣り合う保持部１２同士の角度ピッチ（軸線Ａｘ１まわりの角度ピッチ）にて、ターンテーブル１１の回転と停止とを繰り返すように制御される。以下、回転駆動部１３がターンテーブル１１を停止させる際に複数の保持部１２がそれぞれ配置される複数の位置を「複数の停止位置ＳＰ１」という。

【0014】

複数の昇降駆動部２１は、複数の保持部１２の吸着ロッド１５を個別に昇降させる。複数の昇降駆動部２１は、複数の停止位置ＳＰ１の上方にそれぞれ設けられている。昇降駆動部２１は、その下方に保持部１２が位置する状態にて、例えば電動モータ又はエアシリンダ等の動力源によって吸着ロッド１５の上端部に下向きの力を付与する。これにより、吸着ロッド１５が下降する。吸着ロッド１５の上端部に下向きの力を付与した状態を昇降駆動部２１が解除すると、スプリング１７の弾力によって吸着ロッド１５が上昇する。

【0015】

回転搬送部３０（第２回転搬送部）は、回転搬送部１０から電子部品Ｗを受け取って円軌道ＣＲ２（第２円軌道）に沿って移動させる。円軌道ＣＲ２は、円軌道ＣＲ１の外に位置している。円軌道ＣＲ２の直径は、円軌道ＣＲ１の直径より小さくてもよい。回転搬送部３０は、衛星テーブル３１と、複数の保持部３２と、回転駆動部３３とを有する。衛星テーブル３１は、鉛直な軸線Ａｘ２まわりに回転可能となるように設けられている。

【0016】

複数の保持部３２（第２保持部）は、軸線Ａｘ２を中心とする円周に沿って等間隔に配置されており、衛星テーブル３１に固定されている。複数の保持部３２のそれぞれは、保持部１２から電子部品Ｗを受け取って保持する。保持部３２はいかなる方式で電子部品Ｗを保持してもよい。電子部品Ｗを保持する方式の具体例としては、真空吸着、静電気式の吸着、及び把持等が挙げられる。電子部品Ｗにおいて、保持部１２が保持する部分（第１部分）と、保持部３２が保持する部分（第２部分）とは互いに離れている。例えば第１部分と第２部分とは、電子部品Ｗにおいて反対向きであってもよい。一例として、保持部１２が主面Ｗａを保持し、保持部３２が主面Ｗｂを保持する。保持部１２が主面Ｗｂを保持し、保持部３２が主面Ｗａを保持してもよい。例えば保持部３２は、ターンテーブル１１に直交する方向の一方側から主面Ｗａ，Ｗｂの何れかを真空吸着する。例えば保持部３２は、電子部品Ｗの主面Ｗａ，Ｗｂのいずれかを下方から吸着する。保持部３２は、制御信号の入力に応じて真空吸着のオン・オフを切り替えるためのバルブ（不図示）を更に有する。バルブの具体例としては、電磁バルブ等が挙げられる。回転搬送部３０が有する保持部３２の数は、回転搬送部１０が有する保持部１２の数より少なくてもよい。

【0017】

回転駆動部３３は、例えば電動モータ等の動力源によって軸線Ａｘ２まわりに衛星テーブル３１を回転させる。これにより、軸線Ａｘ２を中心とする水平な円軌道ＣＲ２に沿って複数の保持部３２が移動する。回転駆動部３３は、隣り合う保持部３２同士の角度ピッチ（軸線Ａｘ２まわりの角度ピッチ）にて、衛星テーブル３１の回転と停止とを繰り返すように制御される。以下、回転駆動部３３が衛星テーブル３１を停止させる際に複数の保持部３２がそれぞれ配置される複数の位置を「複数の停止位置ＳＰ２」という。

【0018】

円軌道ＣＲ２は、保持部１２との間で電子部品Ｗの受け渡しが可能な受渡領域ＴＡを通る。受渡領域ＴＡは、いずれか一箇所の停止位置ＳＰ１と、いずれか一箇所の停止位置ＳＰ２とを含む。以下、これらの停止位置ＳＰ１，ＳＰ２を「受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２」という。電子部品Ｗの受け渡しに際しては、受渡領域ＴＡにおいて保持部１２と保持部３２とが電子部品Ｗを挟んで対向する。

【0019】

より具体的に、衛星テーブル３１はターンテーブル１１よりも下に設けられている。軸線Ａｘ２は円軌道ＣＲ１の外に位置している。鉛直上方から見て、円軌道ＣＲ２は、受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２において円軌道ＣＲ１に外接している。受渡領域ＴＡにおいては、保持部１２の下端部（吸着ロッド１５の下端部）と保持部３２の上端部とが対向する。保持部１２の吸着ロッド１５を下降させることによって、吸着ロッド１５の下端部を保持部３２の上端部に近接させることが可能である。

【0020】

位置調節部４０は、受渡領域ＴＡにおける保持部３２の位置を調節する。例えば位置調節部４０は、受渡領域ＴＡにおける保持部３２の位置を調節するように回転搬送部３０を移動させる。回転搬送部３０が移動することにより、円軌道ＣＲ１に対する円軌道ＣＲ２の位置が変わり、受渡領域ＴＡにおける保持部３２の位置も変わる。位置調節部４０は、受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２における保持部１２，３２の対向方向に交差（例えば直交）する面に沿って回転搬送部３０を移動させる。本実施形態においては、受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２における保持部１２，３２の対向方向が鉛直方向であるため、位置調節部４０は、水平面に沿って回転搬送部３０を移動させる。

【0021】

例えば位置調節部４０は、二つの電動式のリニアアクチュエータ４１，４２を有する。リニアアクチュエータ４１は、円軌道ＣＲ１，ＣＲ２が並ぶ方向（図示Ｙ軸方向）に沿って回転搬送部３０を移動させる。リニアアクチュエータ４２は、円軌道ＣＲ１，ＣＲ２が並ぶ方向に直交する方向（図示Ｘ軸方向）に沿って回転搬送部３０を移動させる。リニアアクチュエータ４１，４２により回転搬送部３０を移動させることによって、受け渡し用の停止位置ＳＰ１に対する受け渡し用の停止位置ＳＰ２の相対位置を調節することが可能である。

【0022】

処理装置１は、複数の処理部５１を更に備える。複数の処理部５１は、少なくとも供給部５２と、回収部５３と、中間処理部５４とを含む。供給部５２は、ダイシングテープ又はパーツフィーダ等から電子部品Ｗを取り出していずれか一つの停止位置ＳＰ１に供給する。以下、供給部５２が電子部品Ｗを供給する停止位置ＳＰ１を「供給用の停止位置ＳＰ１」という。供給用の停止位置ＳＰ１においては、供給部５２により供給された電子部品Ｗを保持部１２が保持する。

【0023】

回収部５３は、いずれか一つの停止位置ＳＰ１において保持部１２から電子部品Ｗを回収し、テープ、コンテナチューブ等に梱包する。以下、回収部５３が電子部品Ｗを回収する停止位置ＳＰ１を「回収用の停止位置ＳＰ１」という。この構成において、ターンテーブル１１は、供給用の停止位置ＳＰ１から回収用の停止位置ＳＰ１にいたる搬送経路ＤＲに沿って電子部品Ｗを搬送することとなる。以下においては、搬送経路ＤＲにおける供給用の停止位置ＳＰ１側を「上流側」といい、搬送経路ＤＲにおける回収用の停止位置ＳＰ１側を「下流側」という。上述した受け渡し用の停止位置ＳＰ１は、搬送経路ＤＲにおいて供給用の停止位置ＳＰ１と回収用の停止位置ＳＰ１との間に位置している。

【0024】

中間処理部５４（第１処理部）は、供給用、回収用、及び受け渡し用の停止位置ＳＰ１以外のいずれかの停止位置ＳＰ１において、保持部１２が保持する電子部品Ｗに処理を施す。処理の具体例としては、電気特性検査、外観検査及びマーキング（例えばレーザマーキング）等が挙げられる。

【0025】

処理装置１は、複数の中間処理部５４を備えてもよい。複数の中間処理部５４は、受け渡し用の停止位置ＳＰ１よりも上流側の停止位置ＳＰ１において電子部品Ｗに処理を施す上流側の中間処理部５４と、受け渡し用の停止位置ＳＰ１よりも下流側の停止位置ＳＰ１において電子部品Ｗに処理を施す下流側の中間処理部５４とを含んでいてもよい。下流側の中間処理部５４の数は、上流側の中間処理部５４の数より多くてもよい。

【0026】

上流側の中間処理部５４は、外観検査部５４Ａを含んでいてもよい。外観検査部５４Ａは、画像情報等に基づいて、電子部品Ｗの外観状態を検出する。また、外観検査部５４Ａ（位置ずれ検出部）は、保持部１２に対する電子部品Ｗの位置ずれを検出する。保持部１２に対する電子部品Ｗの位置ずれとは、保持部１２による電子部品Ｗの理想上の保持位置に対する位置ずれを意味する。位置ずれは、保持部１２に対する電子部品Ｗの傾き（理想上の保持位置に対する電子部品Ｗの傾き）を含んでいてもよい。

【0027】

処理装置１は、保持部３２が保持する電子部品Ｗに処理を施す処理部６１を更に備えてもよい。処理部６１（第２処理部）は、受け渡し用の停止位置ＳＰ２以外のいずれかの停止位置ＳＰ２において、保持部３２が保持する電子部品Ｗに処理を施す。処理の具体例としては、電気特性検査、外観検査及びマーキング（例えばレーザマーキング）等が挙げられる。処理装置１は、複数の処理部６１を備えてもよい。

【0028】

処理装置１は、回転搬送部３０における保持部３２の姿勢を調節する姿勢調節部を更に備えてもよい。例えば図３に示すように、処理装置１は、複数の保持部３２にそれぞれ対応する複数の姿勢調節部３４を備えてもよい。各姿勢調節部３４は、衛星テーブル３１に固定され、保持部３２の上端面に直交する軸線Ａｘ３まわりに保持部３２の傾き角度を調節する。姿勢調節部３４は、例えば電動モータ等の動力源によって軸線Ａｘ３まわりに保持部３２を回転させる。

【0029】

コントローラ１００は、予め設定された制御手順で回転搬送部１０、回転搬送部３０、位置調節部４０、供給部５２、回収部５３、中間処理部５４、及び処理部６１を制御する。この制御において、コントローラ１００は、処理部６１による処理前の電子部品Ｗを保持部１２から保持部３２に移し、処理部６１による処理後の電子部品Ｗを保持部３２から保持部１２に移すように回転搬送部１０，３０を制御することを実行するように構成されている。コントローラ１００は、保持部１２から保持部３２に移る前における上記位置ずれ（保持部１２に対する電子部品Ｗの位置ずれ）に比較して、保持部３２から保持部１２に移った後の上記位置ずれが小さくなるように、受渡領域ＴＡにおける保持部３２の目標位置を算出することと、受渡領域ＴＡにおいて保持部３２を目標位置に配置するように位置調節部４０を制御することと、を更に実行するように構成されていてもよい。

【0030】

図４に例示するように、コントローラ１００は、機能上の構成（以下、「機能モジュール」という。）として、第１搬送制御部１１１と、第２搬送制御部１１２と、持替制御部１１３と、位置ずれ情報取得部１１４と、位置ずれ情報保持部１１５と、目標位置算出部１１６と、受渡位置制御部１１７と、処理位置制御部１１８と、処理制御部１２１，１２２とを有する。

【0031】

第１搬送制御部１１１は、隣り合う保持部１２同士の角度ピッチ（軸線Ａｘ１まわりの角度ピッチ）にて、ターンテーブル１１の回転と停止とを繰り返すように回転駆動部１３を制御する。これにより、上述の停止位置ＳＰ１における保持部１２の停止と、停止位置ＳＰ１から隣の停止位置ＳＰ１への保持部１２の移動とが繰り返される。

【0032】

第２搬送制御部１１２は、隣り合う保持部３２同士の角度ピッチ（軸線Ａｘ２まわりの角度ピッチ）にて、衛星テーブル３１の回転と停止とを繰り返すように回転駆動部３３を制御する。これにより、上述の停止位置ＳＰ２における保持部３２の停止と、停止位置ＳＰ２から隣の停止位置ＳＰ２への保持部３２の移動とが繰り返される。第２搬送制御部１１２は、回転駆動部１３がターンテーブル１１の回転を停止させている期間に衛星テーブル３１を回転させるように回転駆動部３３を制御してもよい。

【0033】

持替制御部１１３は、処理部６１による処理前の電子部品Ｗを保持部１２から保持部３２に移し、処理部６１による処理後の電子部品Ｗを保持部３２から保持部１２に移すように、受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２の保持部１２，３２と昇降駆動部２１とを制御する。電子部品Ｗを保持部１２から保持部３２に移す際に、持替制御部１１３は、吸着ロッド１５を昇降駆動部２１により下降させることと、保持部１２による電子部品Ｗの吸着を解除させて保持部３２による電子部品Ｗの吸着を開始させることと、吸着ロッド１５を上昇させることとを順に実行する。持替制御部１１３は、保持部１２による電子部品Ｗの吸着の解除と、保持部３２による電子部品Ｗの吸着の開始とを同時に実行してもよいし、いずれかを先にしてこれらの間に時間差をつけてもよい。

【0034】

電子部品Ｗを保持部３２から保持部１２に移す際に、持替制御部１１３は、吸着ロッド１５を昇降駆動部２１により下降させることと、保持部３２による電子部品Ｗの吸着を解除させて保持部１２による電子部品Ｗの吸着を開始させることと、吸着ロッド１５を上昇させることとを順に実行する。持替制御部１１３は、保持部３２による電子部品Ｗの吸着の解除と、保持部１２による電子部品Ｗの吸着の開始とを同時に実行してもよいし、いずれかを先にしてこれらの間に時間差をつけてもよい。

【0035】

位置ずれ情報取得部１１４は、保持部１２に対する電子部品Ｗの位置ずれの検出結果を外観検査部５４Ａから取得する。位置ずれ情報保持部１１５は、保持部１２に対する電子部品Ｗの位置ずれの情報を位置ずれ情報取得部１１４から取得し、保持部１２の識別情報に対応付けて記憶する。目標位置算出部１１６は、保持部１２から保持部３２に移る前の上記位置ずれに比較して、保持部３２から保持部１２に移った後の上記位置ずれが小さくなるように、受渡領域ＴＡにおける保持部３２の目標位置（受け渡し用の停止位置ＳＰ２の目標位置）を算出する。例えば目標位置算出部１１６は、補正対象の位置ずれの情報を位置ずれ情報保持部１１５から取得し、補正対象の位置ずれを縮小するように受渡領域ＴＡにおける（電子部品Ｗの受け渡しにおける）保持部３２の目標位置を算出する。補正対象の位置ずれは、受け渡し用の停止位置ＳＰ１に配置された保持部１２に対する電子部品Ｗの位置ずれである。

【0036】

保持部３２の位置調節は、保持部１２から保持部３２への電子部品Ｗの受け渡し、及び保持部３２から保持部１２への電子部品Ｗの受け渡しのいずれにおいても実行可能である。保持部１２から保持部３２への電子部品Ｗの受け渡しにおいて保持部３２の位置調節が行われる場合、目標位置算出部１１６は、上記位置ずれと同方向に同量でずれた位置を保持部３２の目標位置とする。保持部３２から保持部１２への電子部品Ｗの受け渡しにおいて保持部３２の位置調節が行われる場合、目標位置算出部１１６は、上記位置ずれと逆方向に同量で基準位置からずれた位置を保持部３２の目標位置とする。

【0037】

目標位置算出部１１６は、保持部１２から保持部３２に移る前の電子部品Ｗの傾き（保持部１２に対する電子部品Ｗの傾き）に比較して、保持部３２から保持部１２に移った後の電子部品Ｗの傾きが小さくなるように、電子部品Ｗの受け渡しにおける保持部３２の目標姿勢を更に算出してもよい。保持部１２から保持部３２への電子部品Ｗの受け渡しにおいて保持部３２の位置調節が行われる場合、目標位置算出部１１６は、上記傾きと同方向に同量で傾いた姿勢を保持部３２の目標姿勢とする。保持部３２から保持部１２への電子部品Ｗの受け渡しにおいて保持部３２の位置調節が行われる場合、目標位置算出部１１６は、上記傾きと逆方向に同量で傾いた姿勢を保持部３２の目標姿勢とする。

【0038】

受渡位置制御部１１７は、受渡領域ＴＡにおいて保持部３２を目標位置に配置するように位置調節部４０を制御する。例えば、受渡位置制御部１１７は、保持部３２を目標位置に移動させるように位置調節部４０により回転搬送部３０を移動させる。保持部３２の位置調節は、保持部１２から保持部３２への電子部品Ｗの受け渡し、及び保持部３２から保持部１２への電子部品Ｗの受け渡しのいずれにおいても実行可能である。これらいずれの場合においても、受渡位置制御部１１７は、電子部品Ｗの受け渡しの実行前に保持部３２を目標位置に移動させる。また、受渡位置制御部１１７は、保持部３２を目標姿勢にするように、姿勢調節部３４により保持部３２を傾けさせてもよい。

【0039】

処理制御部１２１は、停止位置ＳＰ１に保持部１２が配置されるのに応じて、予め設定された処理を実行するように各処理部５１を制御する。また、処理制御部１２１は、処理部５１による処理に合わせて吸着ロッド１５を昇降させるように昇降駆動部２１を制御する。例えば処理制御部１２１は、供給用の停止位置ＳＰ１に保持部１２が配置されるのに応じて、吸着ロッド１５を下降させるように昇降駆動部２１を制御することと、電子部品Ｗを停止位置ＳＰ１に供給するように供給部５２を制御することと、供給部５２により供給された電子部品Ｗを吸着するように保持部１２を制御することと、吸着ロッド１５を上昇させるように昇降駆動部２１を制御することとを実行する。

【0040】

また、処理制御部１２１は、停止位置ＳＰ１に保持部１２が配置されるのに応じて、吸着ロッド１５を下降させるように昇降駆動部２１を制御することと、吸着ロッド１５が保持する電子部品Ｗに予め設定された処理を施すように中間処理部５４を制御することと、吸着ロッド１５を上昇させるように昇降駆動部２１を制御することとを実行する。更に、処理制御部１２１は、回収用の停止位置ＳＰ１に保持部１２が配置されるのに応じて、吸着ロッド１５を下降させるように昇降駆動部２１を制御することと、電子部品Ｗの吸着を解除するように保持部１２を制御することと、保持部１２が解放した電子部品Ｗを回収し、テープ、コンテナチューブ等に梱包するように回収部５３を制御することと、吸着ロッド１５を上昇させるように昇降駆動部２１を制御することとを実行する。

【0041】

処理制御部１２２は、停止位置ＳＰ２に保持部３２が配置されるのに応じて、保持部３２が保持する電子部品Ｗに予め設定された処理を施すように処理部６１を制御する。

【0042】

コントローラ１００は、処理位置制御部１１８を更に有してもよい。処理位置制御部１１８は、電子部品Ｗに対する処理部６１による処理位置を調節するように、位置調節部４０により回転搬送部３０を移動させる。処理位置制御部１１８は、電子部品Ｗに対する処理部６１による処理位置を処理中に変えるように位置調節部４０により回転搬送部３０を移動させてもよい。なお、処理位置を処理中に変えるとは、必ずしも処理と同時進行で処理位置を変えることを意味するわけではない。例えば、同一の処理部６１が同一の電子部品Ｗに対して複数の処理ステップを実行する場合に、処理ステップ同士の間に処理位置を変えることも、処理位置を処理中に変えることに含まれる。

【0043】

図５は、コントローラ１００のハードウェア構成を例示するブロック図である。図５に示すように、回路１９０は、一つ又は複数のプロセッサ１９１と、メモリ１９２と、ストレージ１９３と、入出力ポート１９４と、サーボドライバ１９５を含む。ストレージ１９３は、例えば不揮発性の半導体メモリ等、コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体を有する。ストレージ１９３は、予め設定された制御手順で回転搬送部１０、回転搬送部３０、位置調節部４０、供給部５２、回収部５３、中間処理部５４、及び処理部６１を制御することをコントローラ１００に実行させるためのプログラムを記憶している。このプログラムは、処理部６１による処理前の電子部品Ｗを保持部１２から保持部３２に移し、処理部６１による処理後の電子部品Ｗを保持部３２から保持部１２に移すように回転搬送部１０，３０を制御することを実行することをコントローラ１００に実行させるように構成されている。このプログラムは、保持部１２から保持部３２に移る前における上記位置ずれに比較して、保持部３２から保持部１２に移った後の上記位置ずれが小さくなるように、受渡領域ＴＡにおける保持部３２の目標位置を算出することと、受渡領域ＴＡにおいて保持部３２を目標位置に配置するように位置調節部４０を制御することと、を更にコントローラ１００に実行させるように構成されていてもよい。例えばストレージ１９３は、上述した各機能モジュールを構成するためのプログラムを記憶している。

【0044】

メモリ１９２は、ストレージ１９３の記憶媒体からロードしたプログラム及びプロセッサ１９１による演算結果を一時的に記憶する。プロセッサ１９１は、メモリ１９２と協働して上記プログラムを実行することで、コントローラ１００の各機能モジュールを構成する。入出力ポート１９４は、プロセッサ１９１からの指令に従って、保持部１２，３２、回転駆動部１３，３３、昇降駆動部２１、姿勢調節部３４、位置調節部４０、処理部５１，６１及び外観検査部５４Ａとの間で電気信号の入出力を行う。サーボドライバ１９５は、プロセッサ１９１からの指令（例えば速度指令、位置指令等）に追従するように、回転駆動部１３，３３、昇降駆動部２１、姿勢調節部３４及び位置調節部４０を駆動する。なお、回路１９０は、必ずしもプログラムにより各機能を構成するものに限られない。例えば回路１９０は、専用の論理回路又はこれを集積したＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）により少なくとも一部の機能を構成してもよい。

【0045】

〔処理装置の制御手順〕
続いて、電子部品の処理方法の一例として、コントローラ１００が実行する制御手順を例示する。この制御手順は、回転搬送部１０，３０の搬送制御手順と、第１側における処理部５１の処理制御手順と、第２側における処理部６１の処理制御手順とを含む。第１側とは、回転搬送部１０（第１回転搬送部）側を意味する。第２側とは、回転搬送部３０（第２回転搬送部）側を意味する。以下、各手順を詳細に例示する。

【0046】

（搬送制御手順）
搬送制御手順は、処理部６１による処理前の電子部品Ｗを保持部１２から保持部３２に移し、処理部６１による処理後の電子部品Ｗを保持部３２から保持部１２に移すように回転搬送部１０，３０を制御することと、保持部１２から保持部３２に移る前における上記位置ずれ（保持部１２に対する電子部品Ｗの位置ずれ）に比較して、保持部３２から保持部１２に移った後の上記位置ずれが小さくなるように、受渡領域ＴＡにおける保持部３２の目標位置を算出することと、受渡領域ＴＡにおいて保持部３２を目標位置に配置するように位置調節部４０を制御することと、を含む。

【0047】

図６に示すように、コントローラ１００は、まずステップＳ０１，Ｓ０２を実行する。ステップＳ０１では、第１搬送制御部１１１が、隣り合う保持部１２同士の角度ピッチにて、回転駆動部１３によりターンテーブル１１の回転と停止とを実行する。ステップＳ０２では、目標位置算出部１１６が、補正対象の位置ずれの情報を位置ずれ情報保持部１１５から取得し、補正対象の位置ずれを縮小するように電子部品Ｗの受け渡しにおける保持部３２の目標位置を算出する。また、ステップＳ０２では、受渡位置制御部１１７が、保持部３２を目標位置に移動させるように位置調節部４０により回転搬送部３０を移動させる。ステップＳ０２において、受渡位置制御部１１７は、位置調節部４０による位置調節に加えて、保持部３２を目標姿勢にするように、姿勢調節部３４により保持部３２を傾けさせてもよい。

【0048】

次に、コントローラ１００はステップＳ０３，Ｓ０４，Ｓ０５を実行する。ステップＳ０３では、持替制御部１１３が、受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２において、吸着ロッド１５を昇降駆動部２１により下降させる。ステップＳ０４では、持替制御部１１３が、受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２において、保持部１２による電子部品Ｗの吸着を解除させて保持部３２による電子部品Ｗの吸着を開始させる。これにより、電子部品Ｗが保持部１２から保持部３２に移る。ステップＳ０５では、持替制御部１１３が、受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２において、吸着ロッド１５を昇降駆動部２１により上昇させる。

【0049】

次に、コントローラ１００はステップＳ０６，Ｓ０７を実行する。ステップＳ０６では、受渡位置制御部１１７が、位置調節部４０により回転搬送部３０を原点位置に移動させる。原点位置とは、ステップＳ０２における移動前の位置であり、受け渡し用の停止位置ＳＰ２が受け渡し用の停止位置ＳＰ１の真下となる位置である。ステップＳ０６において、受渡位置制御部１１７は、保持部３２がステップＳ０２における調節前の姿勢に戻るように、姿勢調節部３４により保持部３２を傾けさせてもよい。ステップＳ０７では、第２搬送制御部１１２が、隣り合う保持部３２同士の角度ピッチにて、回転駆動部３３により衛星テーブル３１の回転と停止とを実行する。これにより、ステップＳ０４において保持部１２から保持部３２に移った電子部品Ｗが処理部６１側に移動する。また、処理部６１による処理済みの電子部品Ｗが受け渡し用の停止位置ＳＰ２に配置される。

【0050】

次に、コントローラ１００はステップＳ０８，Ｓ０９，Ｓ１１を実行する。ステップＳ０８では、持替制御部１１３が、受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２において、吸着ロッド１５を昇降駆動部２１により下降させる。ステップＳ０９では、持替制御部１１３が、受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２において、保持部３２による電子部品Ｗの吸着を解除させて保持部１２による電子部品Ｗの吸着を開始させる。これにより、電子部品Ｗが保持部３２から保持部１２に移る。ステップＳ１１では、持替制御部１１３が、受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２において、吸着ロッド１５を昇降駆動部２１により上昇させる。コントローラ１００は、以上の処理を繰り返す。

【0051】

なお、上述した手順はあくまで一例であり、適宜変更可能である。例えば、ステップＳ０２の少なくとも一部をステップＳ０１と並列に実行してもよい。すなわち受渡位置制御部１１７は、位置調節部４０による回転搬送部３０の移動期間の少なくとも一部を、回転搬送部１０による保持部１２の移動期間に重複させてもよい。ステップＳ０２の少なくとも一部をステップＳ０１に先行して実行してもよい。ステップＳ０７の少なくとも一部をステップＳ０６と並列に実行してもよい。すなわち受渡位置制御部１１７は、位置調節部４０による回転搬送部３０の移動期間の少なくとも一部を、回転搬送部３０による保持部３２の移動期間に重複させてもよい。ステップＳ０７の少なくとも一部をステップＳ０６に先行して実行してもよい。

【0052】

（第１側の処理制御手順）
コントローラ１００は、回転搬送部１０におけるターンテーブル１１の停止期間に予め設定された処理を実行するように処理部５１を制御する。例えば図７に示すように、コントローラ１００は、ステップＳ２１，Ｓ２２を実行する。ステップＳ２１では、処理制御部１２１が、１角度ピッチ分のターンテーブル１１の回転完了を待機する。ステップＳ２２では、処理部５１による処理対象の停止位置ＳＰ１（以下、単に「処理対象の停止位置ＳＰ１」という。）において、処理制御部１２１が吸着ロッド１５を昇降駆動部２１により下降させる。

【0053】

次に、コントローラ１００は、ステップＳ２３を実行する。ステップＳ２３では、処理制御部１２１が、処理対象の停止位置ＳＰ１において予め設定した処理を実行するように処理部５１を制御する。例えば処理制御部１２１は、電子部品Ｗを供給用の停止位置ＳＰ１に供給するように供給部５２を制御し、供給部５２により供給された電子部品Ｗを吸着するように保持部１２を制御する。また、処理制御部１２１は、回収用の停止位置ＳＰ１において、電子部品Ｗの吸着を解除するように保持部１２を制御し、保持部１２が解放した電子部品Ｗを回収し、テープ、コンテナチューブ等に梱包するように回収部５３を制御する。また、処理制御部１２１は、供給用、回収用及び受け渡し用の停止位置ＳＰ１以外の停止位置ＳＰ１において、吸着ロッド１５が保持する電子部品Ｗに予め設定された処理を施すように中間処理部５４を制御する。

【0054】

次に、コントローラ１００は、ステップＳ２４を実行する。ステップＳ２４では、処理対象の停止位置ＳＰ１において、処理制御部１２１が吸着ロッド１５を昇降駆動部２１により上昇させる。コントローラ１００は、以上の処理を繰り返す。

【0055】

（第２側の処理制御手順）
コントローラ１００は、回転搬送部３０における衛星テーブル３１の停止期間に予め設定された処理を実行するように処理部６１を制御する。図８に示すように、コントローラ１００は、ステップＳ３１，Ｓ３２を実行する。ステップＳ３１では、処理制御部１２２が、１角度ピッチ分の衛星テーブル３１の回転完了を待機する。ステップＳ３２では、処理制御部１２２が、処理対象の停止位置ＳＰ２において、保持部３２が保持する電子部品Ｗに予め設定した処理を実行するように処理部６１を制御する。コントローラ１００は、以上の処理を繰り返す。

【0056】

〔変形例１〕
上述した第２側の処理制御手順において、コントローラ１００は、電子部品Ｗに対する処理部６１による処理位置を処理中に変えるように位置調節部４０により回転搬送部３０を移動させてもよい。この場合、コントローラ１００は、図９に示すように、まずステップＳ４１，Ｓ４２を実行する。ステップＳ４１では、処理制御部１２２が、保持部３２から保持部１２への電子部品Ｗの受け渡しが完了するのを待機する（すなわち、上記ステップＳ１１の完了を待機する）。ステップＳ４２では、処理位置制御部１１８が、処理部６１による処理用の初期位置に、位置調節部４０により回転搬送部３０を移動させる。

【0057】

次に、コントローラ１００はステップＳ４３，Ｓ４４を実行する。ステップＳ４３では、処理制御部１２２が、保持部３２が保持する電子部品Ｗに予め設定した処理を実行するように処理部６１を制御する。ステップＳ４４では、処理制御部１２２が、電子部品Ｗにおいて処理対象の全域に対し処理部６１による処理が完了したか否かを確認する。ステップＳ４４において、未処理の領域が残っていると判定した場合、コントローラ１００はステップＳ４５を実行する。ステップＳ４５では、処理位置制御部１１８が、処理部６１による処理位置を変更するように、位置調節部４０により回転搬送部３０を移動させる。その後、コントローラ１００は処理をステップＳ４３に戻す。以後、処理対象の全域に対して処理部６１による処理が完了するまで、処理位置の変更と処理とが繰り返される。

【0058】

ステップＳ４４において、未処理の領域は残っていないと判定した場合、コントローラ１００はステップＳ４６を実行する。ステップＳ４６では、受渡位置制御部１１７が、位置調節部４０により回転搬送部３０を上記原点位置に移動させる。以上で、処理中における処理位置の移動を含む第２側の処理制御手順が完了する。

【0059】

〔変形例２〕
上述した搬送制御手順においては、保持部３２から保持部１２への電子部品Ｗの受け渡しにおいて保持部３２の位置調節を実行してもよい。この場合、コントローラ１００は、図１０に例示するように、まずステップＳ０１と同様のステップＳ５１を実行した後、保持部３２の位置調節を行うことなくステップＳ０３，Ｓ０４，Ｓ０５と同様のステップＳ５２，Ｓ５３，Ｓ５４を実行する。これにより、電子部品Ｗは、保持部１２に対する位置ずれと同等のずれをもって保持部３２に保持される。

【0060】

次に、コントローラ１００はステップＳ５５，Ｓ５６を実行する。ステップＳ５５では、ステップＳ０７と同様に、第２搬送制御部１１２が、隣り合う保持部３２同士の角度ピッチにて、回転駆動部３３により衛星テーブル３１の回転と停止とを実行する。ステップＳ５６では、目標位置算出部１１６が、補正対象の位置ずれの情報を位置ずれ情報保持部１１５から取得し、補正対象の位置ずれを縮小するように電子部品Ｗの受け渡しにおける保持部３２の目標位置を算出する。また、ステップＳ５６では、受渡位置制御部１１７が、保持部３２を目標位置に移動させるように位置調節部４０により回転搬送部３０を移動させる。

【0061】

次に、コントローラ１００は、ステップＳ０８，Ｓ０９，Ｓ１１と同様のステップＳ５７，Ｓ５８，Ｓ５９を実行し、保持部３２から保持部１２への電子部品Ｗの受け渡しを実行させる。コントローラ１００は、以上の処理を繰り返す。

【0062】

上述のとおり、この手順によれば、保持部１２から保持部３２に受け渡された電子部品Ｗは、保持部１２に対する位置ずれと同等のずれをもって保持部３２に保持される。このため、第２側の処理制御手順においても保持部３２の位置調節が必要となる。

【0063】

例えば図１１に示すように、コントローラ１００は、ステップＳ６１，Ｓ６２，Ｓ６３を実行する。ステップＳ６１では、処理制御部１２２が、保持部３２から保持部１２への電子部品Ｗの受け渡しが完了するのを待機する（すなわち、上記ステップＳ５９の完了を待機する）。ステップＳ６２では、目標位置算出部１１６が、補正対象の位置ずれの情報を位置ずれ情報保持部１１５から取得し、補正対象の位置ずれを縮小するように電子部品Ｗの受け渡しにおける保持部３２の目標位置を算出する。また、ステップＳ６２では、処理位置制御部１１８が、保持部３２を目標位置に移動させるように位置調節部４０により回転搬送部３０を移動させる。ここでの補正対象の位置ずれは、処理部６１による処理対象の停止位置ＳＰ２に配置された保持部１２に対する電子部品Ｗの位置ずれである。ステップＳ６３では、ステップＳ３２と同様に、処理制御部１２２が、処理対象の停止位置ＳＰ２において、保持部３２が保持する電子部品Ｗに予め設定した処理を実行するように処理部６１を制御する。コントローラ１００は、以上の処理を繰り返す。

【0064】

なお、上述した手順はあくまで一例であり、適宜変更可能である。例えば、ステップＳ５６の少なくとも一部をステップＳ５５と並列に実行してもよい。すなわち受渡位置制御部１１７は、位置調節部４０による回転搬送部３０の移動期間の少なくとも一部を、回転搬送部３０による保持部３２の移動期間に重複させてもよい。ステップＳ５６の少なくとも一部をステップＳ５５に先行して実行してもよい。

【0065】

〔変形例３〕
変形例２のように、保持部３２から保持部１２への電子部品Ｗの受け渡しにおいて保持部３２の位置調節を実行する場合、保持部３２に対する電子部品Ｗの位置ずれに基づいて保持部３２の目標位置を算出することも可能である。

【0066】

図１２は、保持部３２に対する電子部品Ｗの位置ずれを検出可能な構成を例示している。図１２の処理装置１は、上述した処理部６１（以下、「処理部６１Ａ」という。）とは別の処理部６１として、外観検査部６１Ｂを更に備えている。外観検査部６１Ｂは、受け渡し用の停止位置ＳＰ２から、処理部６１Ａによる処理対象の停止位置ＳＰ２までの間に位置する停止位置ＳＰ２において、保持部３２に対する電子部品Ｗの位置ずれを検出する。この場合、位置ずれ情報取得部１１４は、保持部３２に対する電子部品Ｗの位置ずれの検出結果を外観検査部６１Ｂから取得する。位置ずれ情報保持部１１５は、保持部３２に対する電子部品Ｗの位置ずれの情報を位置ずれ情報取得部１１４から取得し、保持部３２の識別情報に対応付けて記憶する。

【0067】

上述したように、保持部３２から保持部１２への電子部品Ｗの受け渡しにおいて保持部３２の位置調節を実行する場合、電子部品Ｗは、保持部１２に対する位置ずれと同等のずれをもって保持部３２に保持される。このため、保持部３２に対する電子部品Ｗの位置ずれの情報を検出することは、保持部１２に対する電子部品Ｗの位置ずれの情報を検出することに相当する。

【0068】

この構成の場合、第２側の処理制御手順は、例えば次のように実行される。図１３に示すように、コントローラ１００は、まずステップＳ７１，Ｓ７２，Ｓ７３を実行する。ステップＳ７１では、処理制御部１２２が、保持部３２から保持部１２への電子部品Ｗの受け渡しが完了するのを待機する（すなわち、上記ステップＳ５９の完了を待機する）。ステップＳ７２では、受渡位置制御部１１７が、位置調節部４０により回転搬送部３０を上記原点位置に移動させる。ステップＳ７３では、位置ずれ情報取得部１１４が、保持部３２に対する電子部品Ｗの位置ずれの検出結果を外観検査部６１Ｂから取得する。また、ステップＳ７３では、位置ずれ情報保持部１１５が、保持部３２に対する電子部品Ｗの位置ずれの情報を位置ずれ情報取得部１１４から取得し、保持部３２の識別情報に対応付けて記憶する。

【0069】

次に、コントローラ１００はステップＳ７４，Ｓ７５を実行する。ステップＳ７４では、ステップＳ６３と同様に、目標位置算出部１１６が、補正対象の位置ずれの情報を位置ずれ情報保持部１１５から取得し、補正対象の位置ずれを縮小するように電子部品Ｗの受け渡しにおける保持部３２の目標位置を算出する。処理位置制御部１１８が、保持部３２を目標位置に移動させるように位置調節部４０により回転搬送部３０を移動させる。ステップＳ７５では、ステップＳ６４と同様に、処理制御部１２２が、処理対象の停止位置ＳＰ２において、保持部３２が保持する電子部品Ｗに予め設定した処理を実行するように処理部６１を制御する。コントローラ１００は、以上の処理を繰り返す。

【0070】

〔変形例４〕
上述した回転搬送部１０と回転搬送部３０との配置関係は適宜変更可能である。上述の配置関係においては、保持部１２から保持部３２への電子部品Ｗの受け渡し用の停止位置ＳＰ１（受渡領域ＴＡ）と、保持部３２から保持部１２への電子部品Ｗの受け渡し用の停止位置ＳＰ１（受渡領域ＴＡ）とが同一であったがこれに限られない。例えば図１４に示す回転搬送部３０は、二箇所の停止位置ＳＰ２が二箇所の停止位置ＳＰ１の真下にそれぞれ位置するように（二箇所の受渡領域ＴＡが設けられるように）構成されている。このため、二組の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２を受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２として利用可能である。

【0071】

このような構成においては、上記二組の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２のいずれか一方（一方の受渡領域ＴＡ）において保持部１２から保持部３２への電子部品Ｗの受け渡しを行い、他方において保持部３２から保持部１２への電子部品Ｗの受け渡しを行うことが可能である。例えば、上記二組の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２のうち、上流側の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２においては保持部１２から保持部３２への電子部品Ｗの受け渡しを行い、下流側の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２においては保持部３２から保持部１２への電子部品Ｗの受け渡しを行ってもよい。

【0072】

このような構成においては、保持部１２に対する電子部品Ｗの傾き（理想上の保持位置に対する電子部品Ｗの傾き）の有無によらず、二箇所の受渡領域ＴＡで電子部品Ｗの受け渡しが行われるので、保持部１２に対する電子部品Ｗの傾きが生じる。すなわち、一の受渡領域ＴＡにおいて保持部１２から保持部３２へ受け渡す前の電子部品Ｗの姿勢（傾き）と、他の受渡領域ＴＡにおいて保持部３２から保持部１２に受け渡された後の電子部品Ｗの姿勢（傾き）にずれが生じる。そのため、目標位置算出部１１６は、保持部１２から保持部３２に移る前の電子部品Ｗの傾き（保持部１２に対する電子部品Ｗの傾き）、及び二箇所の受渡領域ＴＡでの受け渡しに伴う姿勢のずれに応じて、電子部品Ｗの受け渡しにおける保持部３２の目標姿勢を更に算出してもよい。これにより、保持部３２の姿勢が目標姿勢に調節されて保持部３２から保持部１２に電子部品Ｗが受け渡されると、二箇所の受渡領域ＴＡでの受け渡しに伴う姿勢のずれも縮小される。

【0073】

図１５に示すように、衛星テーブル３１の回転軸線（軸線Ａｘ２）は、ターンテーブル１１の回転軸線（軸線Ａｘ１）に対して傾斜していてもよい。また、衛星テーブル３１はターンテーブル１１の上方に位置していてもよく、回転搬送部１０の保持部１２が電子部品Ｗ（主面Ｗｂ）を下方から吸着するように構成され、回転搬送部３０の保持部３２が電子部品Ｗ（主面Ｗａ）を上方から吸着するように構成されていてもよい。

【0074】

図１６の例においては、回転搬送部１０の各保持部１２が軸線Ａｘ１を中心とする径方向に突出し、その端部において軸線Ａｘ１側に電子部品Ｗを吸着するように構成されている。また、回転搬送部３０の各保持部３２も軸線Ａｘ２を中心とする径方向に突出し、その端部において軸線Ａｘ２側に電子部品Ｗを吸着するように構成されている。回転搬送部１０及び回転搬送部３０は、受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２（受渡領域ＴＡ）において保持部１２の端部と保持部３２の端部とが対向するように配置されている。このような構成においても、位置調節部４０は、受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２における保持部１２，３２の対向方向に交差（例えば直交）する面に沿って回転搬送部３０を移動させる。例えば位置調節部４０は、図示Ｘ軸方向及びＺ軸方向に沿って回転搬送部３０を移動させる。

【0075】

〔変形例５〕
処理装置１は、上述した姿勢調節部３４を備えるのに代えて、回転駆動部３３及び位置調節部４０の協働により電子部品Ｗの姿勢を調節するように構成されていてもよい。例えばコントローラ１００は、受け渡し用の停止位置ＳＰ２における保持部３２の傾き角度を変更するように、回転駆動部３３により衛星テーブル３１の回転角度を調節させ、これに伴う保持部３２の位置ずれを位置調節部４０により補正させるように構成されていてもよい。この場合、コントローラ１００が姿勢調節部として機能する。換言すると、コントローラ１００が、機能モジュールとして姿勢調節部を有する。

【0076】

〔変形例６〕
処理装置１は、回転搬送部３０に代えて回転搬送部１０を移動させるように構成されていてもよい。例えば、処理装置１は、受渡領域ＴＡにおける保持部１２（第２保持部）の位置を調節するように、回転搬送部１０（第２回転搬送部）を移動させる位置調節部４０を備えてもよい。この場合、位置調節部４０は、回転搬送部３０（第１回転搬送部）によって保持部３２（第１保持部）を搬送させる円軌道ＣＲ２（第１円軌道）に対する円軌道ＣＲ１（第２円軌道）の位置を調節するように、回転搬送部１０（ターンテーブル１１）の位置を変更してもよい。

【0077】

目標位置算出部１１６は、保持部１２から保持部３２に移る前の上記位置ずれ（保持部１２による電子部品Ｗの理想上の保持位置に対する位置ずれ）に比較して、保持部３２から保持部１２に移った後の上記位置ずれが小さくなるように、受渡領域ＴＡにおける保持部１２の目標位置を算出する。例えば目標位置算出部１１６は、補正対象の位置ずれの情報を位置ずれ情報保持部１１５から取得し、補正対象の位置ずれを縮小するように受渡領域ＴＡにおける保持部１２の目標位置を算出する。

【0078】

保持部１２の位置調節は、保持部１２から保持部３２への電子部品Ｗの受け渡し、及び保持部３２から保持部１２への電子部品Ｗの受け渡しのいずれにおいても実行可能である。保持部１２から保持部３２への電子部品Ｗの受け渡しにおいて保持部１２の位置調節が行われる場合、目標位置算出部１１６は、上記位置ずれと逆方向に同量でずれた位置を保持部１２の目標位置とする。保持部３２から保持部１２への電子部品Ｗの受け渡しにおいて保持部１２の位置調節が行われる場合、目標位置算出部１１６は、上記位置ずれと同方向に同量で基準位置からずれた位置を保持部３２の目標位置とする。

【0079】

受渡位置制御部１１７は、受渡領域ＴＡにおいて保持部１２を目標位置に配置するように位置調節部４０を制御する。例えば、受渡位置制御部１１７は、保持部１２を目標位置に移動させるように位置調節部４０により回転搬送部１０を移動させる。

【0080】

処理装置１は、受渡領域ＴＡにおける保持部１２，３２の位置を調節するように、回転搬送部１０及び回転搬送部３０を移動させるように構成されていてもよい。この場合、処理装置１は、回転搬送部１０の位置を変更する位置調節部４０と、回転搬送部３０の位置を変更する位置調節部４０とを備えてもよい。コントローラ１００は、保持部１２から保持部３２に移る前の上記位置ずれに比較して、保持部３２から保持部１２に移った後の上記位置ずれが小さくなるように、上記２つの位置調節部４０により受渡領域ＴＡにおける保持部１２，３２の位置を調節してもよい。

【0081】

〔変形例７〕
上述の処理装置１の例では、衛星テーブル３１が移動することで保持部３２の位置が調節されるが、処理装置１は、複数の保持部３２を個別に移動させることで各保持部３２の位置を調節してもよい。処理装置１は、衛星テーブル３１を移動させる位置調節部４０に代えて、図１７に示すように、複数の保持部３２にそれぞれ対応する複数の位置調節部４４を備えてもよい。各位置調節部４４は、例えば、保持部３２（姿勢調節部３４）を支持するように衛星テーブル３１に設けられている。各位置調節部４４は、受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２における保持部１２，３２の対向方向に交差（例えば直交）する面に沿って、回転搬送部３０における保持部３２の位置（衛星テーブル３１に対する保持部３２の位置）を変更する。本実施形態においては、受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２における保持部１２，３２の対向方向が鉛直方向であるため、各位置調節部４４は、水平面に沿って保持部１２を移動させる。

【0082】

例えば各位置調節部４４は、二つの電動式のリニアアクチュエータ４５，４６を有する。リニアアクチュエータ４５は、水平な一方向に沿って保持部３２を移動させる。リニアアクチュエータ４６は、リニアアクチュエータ４５による移動方向に直交する方向に沿って保持部３２を移動させる。リニアアクチュエータ４５，４６により保持部３２を移動させることによって、受け渡し用の停止位置ＳＰ１に対する受け渡し用の停止位置ＳＰ２の相対位置を保持部３２ごとに調節することが可能である。

【0083】

変形例７に係る処理装置１において、図６に例示する搬送制御手順と同様の搬送制御手順が実行されてもよい。この場合、ステップＳ０２では、受渡位置制御部１１７が、保持部３２を目標位置に移動させるように、対応する位置調節部４４により、衛星テーブル３１に対して保持部３２の位置を変更する。ステップＳ０６では、受渡位置制御部１１７が、位置調節部４４により保持部３２を原点位置に移動させる。

【0084】

変形例７に係る処理装置１において、図９に例示する第２側の処理制御手順（変形例１に係る制御手順）と同様の処理制御手順が実行されてもよい。この場合、処理装置１は、受け渡し用の停止位置ＳＰ２に配置される保持部３２と、処理部６１の処理位置に配置される保持部３２とを個別に移動させるので、ステップＳ４１の処理が省略されてもよい。ステップＳ４２，Ｓ４５，Ｓ４６では、処理位置制御部１１８が、位置調節部４４により、処理部６１に配置されている保持部３２を移動させる。

【0085】

変形例７に係る処理装置１において、図１０に例示する搬送制御手順と同様の搬送制御手順、及び図１１に例示する処理制御手順と同様の処理制御手順が実行されてもよい。この場合、ステップＳ５６では、受渡位置制御部１１７が、保持部３２を目標位置に移動させるように位置調節部４４により保持部３２を移動させる。第２側の処理制御手順において、コントローラ１００は、ステップＳ６１の処理を省略してもよい。ステップＳ６２では、処理位置制御部１１８又は受渡位置制御部１１７が、保持部３２を目標位置に移動させるように、位置調節部４４により、処理部６１に配置されている保持部３２を移動させる。ステップＳ６３での処理部６１の処理実行後において、保持部３２が目標位置に配置される場合、受け渡しのための当該保持部３２の位置調節（ステップＳ５６）が省略されてもよい。

【0086】

変形例７に係る処理装置１においても、変形例３と同様に、保持部３２に対する電子部品Ｗの位置ずれに基づいて保持部３２の目標位置が算出されてもよい。図１３に例示の処理制御手順と同様の制御手順が実行される場合において、コントローラ１００は、ステップＳ７１，Ｓ７２を省略してもよい。

【0087】

変形例７に係る処理装置１においても、変形例４と同様に、二箇所の受渡領域ＴＡが設けられるように回転搬送部３０が構成され、二箇所の受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２において保持部１２と保持部３２との間で電子部品Ｗの受け渡しが行われてもよい。

【0088】

変形例７に係る処理装置１も、変形例５と同様に、姿勢調節部３４に代えて、回転駆動部３３及び各位置調節部４４の協働により電子部品Ｗの姿勢を調節するように構成されていてもよい。以上、変形例７に変形例１〜５のいずれか一つを適用する場合を例示したが、処理装置１において、変形例１〜７に含まれる組合せが適宜適用されてもよい。

【0089】

処理装置１は、衛星テーブル３１を移動させる位置調節部４０に加えて、複数の保持部３２にそれぞれ対応する複数の位置調節部４４を備えてもよい。この場合、位置調節部４０と各位置調節部４４とによって、受渡領域ＴＡにおける保持部３２の位置が調節されてもよい。処理装置１は、回転搬送部１０（ターンテーブル１１）を移動させる位置調節部４０に加えて、複数の保持部３２にそれぞれ対応する複数の位置調節部４４を備えてもよい。この場合、位置調節部４０と各位置調節部４４とによって、受渡領域ＴＡにおける保持部１２，３２の位置が調節されてもよい。

【0090】

〔変形例８〕
処理装置１は、回転搬送部１０に対して電子部品Ｗを供給する別の回転搬送部を備えてもよい。図１８に示す処理装置１Ａは、処理装置１の構成に加え、回転搬送部７０と、位置調節部８０とを備える。回転搬送部７０（第２回転搬送部）は、所謂ロータリーピックアップであり、供給部５２から電子部品Ｗを受け取り円軌道ＣＲ３（第２円軌道）に沿って移動させ、当該電子部品Ｗを保持部１２に引き渡す。

【0091】

回転搬送部７０は、ロータ７１と、複数の保持部７２（第２保持部）と、回転駆動部７３とを有する。ロータ７１は、供給部５２に対応する停止位置ＳＰ１の下において、水平な軸線Ａｘ４まわりに回転可能となるように設けられている。複数の保持部７２は、軸線Ａｘ４を中心とする円周に沿って等間隔に配置されており、ロータ７１に固定されている。各保持部７２は、軸線Ａｘ４を中心とする径方向の端部において、軸線Ａｘ４側に電子部品Ｗを吸着するように構成されている。回転駆動部７３は、例えば電動モータ等の動力源によって軸線Ａｘ４まわりにロータ７１を回転させる。これにより、軸線Ａｘ４を中心とする鉛直な円軌道ＣＲ３に沿って複数の保持部７２が移動する。回転駆動部７３は、隣り合う保持部７２同士の角度ピッチ（軸線Ａｘ４まわりの角度ピッチ）にて、ロータ７１の回転と停止とを繰り返すように制御される。以下、回転駆動部７３がロータ７１を停止させる際に複数の保持部７２がそれぞれ配置される複数の位置を「複数の停止位置ＳＰ３」という。

【0092】

円軌道ＣＲ３（第２円軌道）は、保持部１２との間で電子部品Ｗの受け渡しが可能な受渡領域ＴＡを通る。この受渡領域ＴＡは、いずれか一箇所の停止位置ＳＰ１と、いずれか一箇所の停止位置ＳＰ３とを含む。以下、これらの停止位置を「受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ３」という。保持部７２から保持部１２への電子部品Ｗの受け渡しは、受渡領域ＴＡにおいて保持部１２，７２が互いに最接近した状態で行われる。例えば回転搬送部７０は、最上の停止位置ＳＰ３が、供給部５２に対応する停止位置ＳＰ１の真下に位置するように構成されている。

【0093】

位置調節部８０は、受渡領域ＴＡにおける保持部７２の位置を調節する。図１８に例示の位置調節部８０は、受渡領域ＴＡにおける保持部７２の位置を調節するように回転搬送部７０（ロータ７１）を移動させる。回転搬送部７０が移動することにより、円軌道ＣＲ１に対する円軌道ＣＲ３の位置が変わり、受渡領域ＴＡにおける保持部７２の位置も変わる。位置調節部８０は、受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ３における保持部１２，７２の対向方向に交差（例えば直交）する面に沿って回転搬送部７０を移動させる。図示においては、保持部１２，７２の対向方向が鉛直方向であるため、位置調節部８０は、水平面に沿って回転搬送部７０を移動させる。

【0094】

処理装置１Ａは、保持部７２が保持する電子部品Ｗに処理を施す処理部の一例として、外観検査部９１を更に備えてもよい。外観検査部９１は、受け渡し用の停止位置ＳＰ３よりも上流側（供給部５２側）の停止位置ＳＰ３において、保持部７２に対する電子部品Ｗの位置ずれを検出する。すなわち外観検査部９１は、電子部品Ｗが保持部７２から保持部１２に移る前に、保持部７２に対する電子部品Ｗの位置ずれを検出する。

【0095】

このような構成において、コントローラ１００は、保持部７２から保持部１２に移る前における電子部品Ｗの保持部７２に対する位置ずれに比較して、保持部７２から保持部１２に移った後における電子部品Ｗの保持部１２に対する位置ずれが小さくなるように、位置調節部８０により回転搬送部７０を移動させる。例えば目標位置算出部１１６が、保持部７２から保持部１２に移る前における電子部品Ｗの保持部７２に対する位置ずれに比較して、保持部７２から保持部１２に移った後における電子部品Ｗの保持部１２に対する位置ずれが小さくなるように、電子部品Ｗの受け渡しにおける保持部７２の目標位置を算出する。受渡位置制御部１１７が、保持部７２から保持部１２への電子部品Ｗの受け渡し前に保持部７２を目標位置に移動させる。

【0096】

処理装置１Ａは、上述した姿勢調節部３４に相当する構成として、回転搬送部７０における保持部７２の姿勢を調節する姿勢調節部７４を更に備えてもよい。例えば処理装置１Ａは、複数の保持部７２にそれぞれ対応する姿勢調節部７４を備えてもよい。姿勢調節部７４は、例えば電動モータの動力源によって、受け渡し用の停止位置ＳＰ３における保持部７２の姿勢（例えば鉛直な軸線まわりの傾き角）を調節する。

【0097】

なお、処理装置１Ａによれば、保持部７２から保持部１２への受け渡しにおいて電子部品Ｗの位置ずれが補正されるので、電子部品Ｗに対する処理部６１による処理位置を処理中に変える必要がない場合には、上述した位置調節部４０を省略することも可能である。

【0098】

〔本実施形態の効果〕
以上に説明したように、本開示の一側面に係る電子部品の処理装置１は、電子部品Ｗを保持する保持部１２を有し、保持部１２を円軌道ＣＲ１に沿って移動させる回転搬送部１０と、電子部品Ｗを保持する保持部３２を有し、保持部１２との間で電子部品Ｗの受け渡しが可能な受渡領域ＴＡを通る円軌道ＣＲ２に沿って保持部３２を移動させる回転搬送部３０と、受渡領域ＴＡにおける保持部３２の位置を調節する位置調節部４０，４４と、を備える。

【0099】

電子部品の処理においては、電子部品の保持位置に高い精度が求められる場合がある。電子部品が保持部に保持された後に保持位置の精度を高めるためには、一度保持部から電子部品を解放し、電子部品の位置を調節した後に再度保持部に保持させる必要がある。すなわち、位置調整のために二度の受け渡し動作が必要となる。このため、装置に求められる生産性が年々高くなる昨今においては、二度の受け渡し動作を伴う位置調整が、装置全体としての効率改善（例えばタクトタイム短縮）のボトルネックとなる場合も考えられる。これに対し、本処理装置によれば、受渡領域ＴＡにおける保持部３２の位置を調節することによって、回転搬送部１０と回転搬送部３０との間における電子部品Ｗの受け渡しの機会を利用して電子部品Ｗの保持位置を調節することができる。換言すると、位置調整のみを目的とした電子部品Ｗの受け渡し機会を削減することができる。これにより、従来において、タクトタイム短縮のボトルネックともなり得た位置調整の時間を短縮することができる。従って、電子部品Ｗの処理効率の向上に有効である。

【0100】

位置調節部４０は、受渡領域ＴＡにおける保持部３２の位置を調節するように回転搬送部３０の位置を変更してもよい。この場合、回転搬送部３０の全体を移動させる駆動機構を設ければよいので、処理装置１の簡素化に有効である。

【0101】

位置調節部４４は、受渡領域ＴＡにおける保持部３２の位置を調節するように、回転搬送部３０における保持部３２の位置を変更してもよい。この場合、保持部３２の位置調節に伴う移動が、回転搬送部３０の全体に影響を及ぼさないので、保持部３２の位置調節と並行して回転搬送部３０の他の部材での処理を行うができる。従って、電子部品Ｗの処理効率の向上に更に有用である。

【0102】

電子部品の処理装置１は、回転搬送部３０における保持部３２の姿勢を調節する姿勢調節部３４を更に備えていてもよい。この場合、回転搬送部１０と回転搬送部３０との間における電子部品Ｗの受け渡しの機会を利用して電子部品Ｗの保持姿勢をも調節することができる。

【0103】

電子部品の処理装置１は、保持部１２が保持する電子部品Ｗに処理を施す中間処理部５４と、保持部３２が保持する電子部品Ｗに処理を施す処理部６１と、を更に備え、保持部１２は電子部品Ｗの主面Ｗａを保持し、保持部３２は電子部品Ｗの主面Ｗｂを保持し、電子部品Ｗにおいて主面Ｗａと主面Ｗｂとが互いに離れていてもよい。この場合、回転搬送部１０と回転搬送部３０との間における電子部品Ｗの受け渡しの機会を保持方向の切り替えにも利用することができる。これにより、電子部品Ｗを保持した状態で多方向からの処理を施すことができる。

【0104】

電子部品の処理装置１は、処理部６１による処理前の電子部品Ｗを保持部１２から保持部３２に移し、処理部６１による処理後の電子部品Ｗを保持部３２から保持部１２に移すように回転搬送部１０及び回転搬送部３０を制御する持替制御部１１３を更に備えていてもよい。この場合、回転搬送部１０と回転搬送部３０との間における受け渡し機会に保持位置が調節された電子部品Ｗに対して、中間処理部５４により更なる処理を施すことが可能となる。

【0105】

電子部品の処理装置１は、保持部１２に対する電子部品Ｗの位置ずれを検出する外観検査部５４Ａと、保持部１２から保持部３２に移る前の位置ずれに比較して、保持部３２から保持部１２に移った後の位置ずれが小さくなるように、受渡領域ＴＡにおける保持部３２の目標位置を算出する目標位置算出部１１６と、受渡領域ＴＡにおいて保持部３２を目標位置に配置するように位置調節部４０，４４を制御する受渡位置制御部１１７と、を更に備えていてもよい。この場合、回転搬送部１０と回転搬送部３０との間における電子部品Ｗの受け渡しの機会において電子部品Ｗの保持位置をより高い精度で調節することができる。

【0106】

電子部品の処理装置１は、電子部品Ｗに対する処理部６１による処理位置を処理中に変えるように位置調節部４０により回転搬送部３０を移動させる処理位置制御部１１８を更に備えていてもよい。この場合、処理中における電子部品Ｗの位置変更にも位置調節部４０を有効活用することができる。

【0107】

受渡位置制御部１１７は、位置調節部４０による回転搬送部３０の移動期間の少なくとも一部を、回転搬送部１０による保持部１２の移動期間に重複させてもよい。また、受渡位置制御部１１７は、位置調節部４０による回転搬送部３０の移動期間の少なくとも一部を、回転搬送部３０による保持部３２の移動期間に重複させてもよい。この場合、位置調節部４０による回転搬送部３０の移動のみに割く時間が更に削減されるので、処理効率の更なる向上に有効である。また、回転搬送部１０による保持部１２の移動時間または回転搬送部３０による保持部３２の移動時間を利用することで、位置調節部４０による回転搬送部３０の移動時間に余裕を持たせ、無理な高速動作に起因する電子部品Ｗの位置ずれも抑制することができる。更に、無理な高速動作を避けることは、位置調節部４０の負荷を抑制するのにも有効である。

【0108】

下流側の中間処理部５４の数は、上流側の中間処理部５４の数より多くてもよい。この場合、保持部１２，３２間の受け渡しにより高められた電子部品Ｗの位置精度を、より多くの中間処理部５４において活かすことができる。

【0109】

以上、実施形態について説明したが、本発明は必ずしも上述した形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。

【符号の説明】

【0110】

１…電子部品の処理装置、１０…回転搬送部（第１回転搬送部）、１２…保持部（第１保持部）、３０…回転搬送部（第２回転搬送部）、３２…保持部（第２保持部）、３４…姿勢調節部、４０，４４…位置調節部、５４…中間処理部（第１処理部）、５４Ａ…外観検査部（位置ずれ検出部）、６１…処理部（第２処理部）、１１３…持替制御部、１１６…目標位置算出部、１１７…受渡位置制御部、１１８…処理位置制御部、ＣＲ１…円軌道（第１円軌道）、ＣＲ２…円軌道（第２円軌道）、Ｗ…電子部品。

【要約】

【課題】電子部品の処理効率の向上に有効な処理装置を提供する。
【解決手段】電子部品の処理装置１は、電子部品Ｗを保持する保持部１２を有し、保持部１２を円軌道ＣＲ１に沿って移動させる回転搬送部１０と、電子部品Ｗを保持する保持部３２を有し、保持部１２との間で電子部品Ｗの受け渡しが可能な受渡領域ＴＡを通る円軌道ＣＲ２に沿って保持部３２を移動させる回転搬送部３０と、受渡領域ＴＡにおける保持部３２の位置を調節する位置調節部４０，４４と、を備える。
【選択図】図１

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】