特許第6839331号(P6839331)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6839331硫黄含有フルオロカーボン化合物を含むドライエッチングガス組成物を用いたドライエッチング方法
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  • 特許6839331-硫黄含有フルオロカーボン化合物を含むドライエッチングガス組成物を用いたドライエッチング方法 図000013
  • 特許6839331-硫黄含有フルオロカーボン化合物を含むドライエッチングガス組成物を用いたドライエッチング方法 図000014
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