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特許第6842575号(P6842575)
IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版
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特許
6842575
窒素ドープされた空孔優勢であるシリコンインゴット、およびそれから形成された半径方向に均一に分布した酸素析出の密度およびサイズを有する熱処理されたウエハ
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