特許 6843166 減湿システム及びその減湿システムの運転方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6843166

(24)【登録日】2021年2月25日

(45)【発行日】2021年3月17日

(54)【発明の名称】減湿システム及びその減湿システムの運転方法

(51)【国際特許分類】

   B01D 53/26 20060101AFI20210308BHJP

   F24F 11/70 20180101ALI20210308BHJP

【ＦＩ】

   B01D53/26 220

   F24F11/70

【請求項の数】5

【全頁数】33

(21)【出願番号】特願2019-27355(P2019-27355)

(22)【出願日】2019年2月19日

(65)【公開番号】特開2020-131106(P2020-131106A)

(43)【公開日】2020年8月31日

【審査請求日】2019年2月19日

(73)【特許権者】

【識別番号】390018474

【氏名又は名称】新日本空調株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002321

【氏名又は名称】特許業務法人永井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】綾目 久雄

(72)【発明者】

【氏名】永坂 茂之

【審査官】 岡田 三恵

(56)【参考文献】

【文献】 特開平１１−０００５２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１７−０４４３８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−０８７７６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−２３００９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−２４７０４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−０１４７８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−０９９６５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２０１５−５０１１９６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−０８５０３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１６−０６８０６７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１２／０１４５０００（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２０１１−０９４８５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−１４５０００（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−０５９０９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１６−００２５１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−２１４７４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０８５２７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−０７５８１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−０９４７５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−１８４０８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１６−０６８０５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第０６４４７５８３（ＵＳ，Ｂ１）

【文献】 特開平１０−３１４５４０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ０１Ｄ ５３／２６

Ｆ２４Ｆ １１／７０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

軸心周りに回転駆動される吸着ロータを有し、
前記吸着ロータには、区画された吸着部材が複数回転方向に並んでおり、
各前記吸着部材が軸芯方向に貫通する筒部を多数有し、この筒部を通じて通気可能となっており、
前記吸着ロータは回転方向に並んで配された、前記筒部に冷却空気を通過させる減湿域と、前記筒部に加熱空気を通過させる再生域と、前記筒部にパージ空気を通過させるパージ域を有し、
前記吸着ロータの回転で各前記筒部が前記減湿域、前記再生域、前記パージ域の順の移動を繰り替えし、
前記吸着ロータにおける前記加熱空気の出口温度が所定の温度幅で振動し、
前記吸着ロータを通過する加熱空気の出口側端面に備わる第１チャンバの加熱空気出口区域において、当該加熱空気出口区域のうちの冷却空気入口区域側の仕切り板を位置角度０°として吸着ロータの回転方向に位置角度が６５°以上の位置に、第１温度計が備わり、
前記加熱空気の出口温度を、前記第１温度計で測定した測定値の情報から演算された設定風量の加熱空気を前記再生域に通過させ、前記第１温度計の測定値が予め設定された温度に近づくように制御され、
前記第１チャンバの加熱空気出口区域における前記位置角度が５７°以下の位置に、第２温度計が備わり、
前記加熱空気の出口温度を、前記第２温度計で測定して測定値を得て、
前記第１温度計の測定値と前記第２温度計の測定値との温度差の情報から演算された加熱空気の設定風量を前記再生域に通過させ、前記温度差が予め設定された数値に近づくように制御される、
ことを特徴とする減湿システム。

【請求項2】

前記吸着部材相互がシール材で接合された接合部を複数有する、
請求項１に記載の減湿システム。

【請求項3】

前記減湿域を通過する前記冷却空気と前記パージ域を通過するパージ空気が同方向に前記吸着ロータの筒部を通過し、かつ前記減湿域を通過する前記冷却空気と前記再生域を通過する前記加熱空気が逆方向に前記吸着ロータの筒部を通過し、
前記吸着ロータにおける前記冷却空気の出口側の端面に、前記吸着ロータの筒部を通過する空気の通過域である第２チャンバが隣接して備わり、
前記第２チャンバが前記冷却空気を通過させる冷却空気出口区域と、前記パージ空気を通過させるパージ空気出口区域とを有し、
前記冷却空気出口区域と前記パージ空気出口区域が仕切られ、
前記冷却空気出口区域の気圧が前記パージ空気出口区域の気圧よりも高い、
請求項１に記載の減湿システム。

【請求項4】

請求項３に記載の減湿システムを用いて、
前記第１温度計の測定値の情報から加熱空気の設定風量が演算される演算工程と、
前記演算工程で演算された加熱空気の設定風量を前記再生域に通過させ、前記第１温度計の測定値が予め設定された温度に近づくように制御される制御工程と、
前記制御工程と同時に、前記冷却空気出口区域の気圧を前記パージ空気出口区域の気圧よりも高く維持する圧力差維持工程と、
を備える減湿システムの運転方法。

【請求項5】

請求項１に記載の減湿システムを用いて、
前記第１温度計の測定値の情報と前記第２温度計の測定値の情報を受信して、これら２つの測定値の情報から加熱空気の設定風量が演算される演算工程と、
前記演算工程で演算された加熱空気の設定風量を前記再生域に通過させ、前記第１温度計の測定値と前記第２温度計の測定値の温度差が予め設定された数値に近づくように制御される制御工程と、
を備える減湿システムの運転方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ロータ式乾式減湿機を備えた減湿システム及びその減湿システムの運転方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来より物資を冷凍保管する倉庫やリチウムイオン電池の製造工場等において室内を継続的に低湿に維持する空調システムの需要がある。この室内では露点を所定値以下に維持することが求められる。ここで、露点を所定値以下に維持された室内のことを低露点室という。室内の露点を所定値以下に維持するために、低露点の空気を生成して低露点室に連続的に供給するロータ式乾式減湿機（デシカント減湿機）が一例に用いられる。このデシカント減湿機は吸着ロータを回転させつつ、減湿された空気を低露点室に供給するものである。デシカント減湿機の再生域において水分の脱着が安定的になされると、減湿域で減湿された空気を安定的に供給でき好ましい。しかしながら、再生される空気が安定的に定温とはならず、温度変化していることが非特許文献１に開示されている。

【0003】

また、非特許文献１は、「・・・分割部では、除湿ロータ表面がシール材で塞がれているため、空気の流れがない。そのため分割部内部にある熱容量の大きい補強材は、加熱され難く冷却し難い状態にある。また分割部に近接する吸着材は、補強材との間の熱伝導によって、再生、パージ区画で加熱、冷却が不足すると考えられる。よって、処理区画で、分割部付近の吸着材を通過する空気の露点が、他の吸着材より高くなったと考えられる。・・・」としている。つまり、同文献は、再生域の補強材に近接する箇所での水分の脱着不足によって、減湿域を通過した空気の露点が高くなる、ということを示している。このことは、再生域で水分の脱着が安定的ではないため、減湿域で減湿された空気の露点が一定とならず、低露点の空気を安定的に低露点室に供給できないことを示す。

【先行技術文献】

【非特許文献】

【0004】

【非特許文献1】今若直征服他、「ロータ式減湿機システムの供給空気の露点変動に関する研究」２０１０年度日本冷凍空調学会年次大会講演論文集（２０１０．９．１４−１８，金沢）（Ａ１２４−１）

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

低露点室では露点が所定値以下に維持されることが求められるので、供給される空気の露点が大きく変化することは好ましくない。そこで、低露点室に所定値以下の露点を供給するために、再生域に加熱空気を必要以上に導入させて水分を十分に脱着して同再生域を乾燥させ、その後の減湿域で水分を吸着させることで、過度に低露点化された空気を低露点室に供給している。これは、加熱空気を生成するためのヒータの熱量の増加、再生域に導入させる風量の増加等をもたらし、ランニングコストを高める結果につながる。

【0006】

そこで、本発明が解決しようとする主たる課題は、ランニングコストを抑えることができる再生効率に優れた減湿システム及びその減湿システムの運転方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記課題を解決するための手段は、
軸心周りに回転駆動される吸着ロータを有し、
前記吸着ロータには、区画された吸着部材が複数回転方向に並んでおり、
各前記吸着部材が軸芯方向に貫通する筒部を多数有し、この筒部を通じて通気可能となっており、
前記吸着ロータは回転方向に並んで配された、前記筒部に冷却空気を通過させる減湿域と、前記筒部に加熱空気を通過させる再生域と、前記筒部にパージ空気を通過させるパージ域を有し、
前記吸着ロータの回転で各前記筒部が前記減湿域、前記再生域、前記パージ域の順の移動を繰り替えし、
前記吸着ロータにおける前記加熱空気の出口温度が所定の温度幅で振動し、
前記温度幅が１０℃以上２５℃以下となる箇所に、第１温度計が設置されており、
前記第１温度計の測定値の情報から演算された設定風量の加熱空気を前記再生域に通過させ、前記第１温度計の測定値が予め設定された温度に近づくように制御される、
ことを特徴とする減湿システムである。

【0008】

また、
上記減湿システムを用いて、
前記第１温度計の測定値の情報から加熱空気の設定風量を演算する演算工程と、
前記演算工程で演算された加熱空気の設定風量を前記再生域に通過させ、前記第１温度計の測定値が予め設定された温度に近づくように制御される制御工程と、
を備える減湿システムの運転方法である。

【0009】

本発明の減湿システムでは吸着ロータを回転駆動させつつ、区画された吸着部材を多数有する筒部に加熱空気を通過させて、吸着部材を再生（水分の脱着）させるものである。発明者は鋭意研究の結果、この加熱空気の出口温度が所定の温度幅（Δ℃）で振動することを知り得た。振動の理由は明らかではないが、おそらく次の理由によるものと推測される。ここで、温度幅とは振動する加熱空気の出口温度における最大温度と最小温度との温度幅（（Δ℃））をいう。

【0010】

吸着ロータは区画された吸着部材が複数、回転方向に並んで成形されている。吸着部材には筒部が吸着ロータの軸芯方向に複数設けられ、空気がこの筒部を通過する。吸着部材相互間には筒部がない。吸着ロータにおける加熱空気の出口に設置された第１温度計は、加熱空気の出口の温度を測定するものである。吸着ロータにおける第１温度計と対向する位置には、吸着ロータの回転で、吸着部材が位置した後、吸着部材相互間が位置し、その後吸着部材が位置し、さらにその後、吸着部材相互間が位置し、・・・これを繰り返す。すなわち、吸着部材と吸着部材相互間が交互に第１温度計の近傍を通り過ぎる。

【0011】

第１温度計と対向する位置に吸着部材が位置する場合、吸着部材から加熱空気が導出され第１温度計の測定値が相対的に上昇する。一方、第１温度計と対向する位置に吸着部材相互間が位置する場合、吸着部材相互間に筒部がないので第１温度計の測定値はその値を維持する、又は相対的に下降する。この現象、すなわち、吸着ロータにおける加熱空気の出口温度が所定の温度幅で振動する、ということを発明者が知見した。

【0012】

再生域における減湿域側の位置（すなわち後述する位置角度が小さい位置）では加熱空気に曝られる時間が相対的に短く、再生域の水分の脱着（乾燥）量が相対的に多い。一方、再生域におけるパージ域側の位置（すなわち後述する位置角度が大きい位置）では加熱空気に曝られる時間が相対的に長く、再生域の水分の脱着（乾燥）量が相対的に少ない。加熱空気の出口温度と脱着量については、一般的に吸着部材が乾燥しているとさらなる脱着量が少ないので出口温度が相対的に高くなり、一方、吸着部材の乾燥が不十分、すなわち脱着量が十分ではないと出口温度が相対的に低くなるという関係にある。

【0013】

また、位置角度が小さいと振動する温度幅が相対的に小さく、位置角度が大きいと振動する温度幅が相対的に大きいことを発明者が知見した。

【0014】

温度幅が１０℃以上２５℃以下、特に１５℃以上２０℃以下となる箇所は温度幅の振動が相対的に激しくなく好ましい。この箇所に第１温度計を設置して温度を測定すると、演算により使用される測定値の振動が激しくないため、演算の入力値が相対的に小さい変動であり、演算結果が安定する。また、加熱空気の風量変化によって第１温度計の測定値が変動するので、再生域の脱着具合に応じて加熱空気風量を増加または減少させるように制御できるという効果を有する。

【発明の効果】

【0015】

この発明によれば、ランニングコストを抑えることができる再生効率に優れた減湿システム及びその減湿システムの運転方法となる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明に係る除湿システムの概念図である。

【図2】吸着ロータ及びチャンバの概念図である。

【図3】図２のＢ−Ｂ線断面図である。

【図4】位置角度各々における温度の振動を表す図である。

【図5】吸着ロータの構成部材を表す説明図である。

【図6】吸着ロータの成形手段を表す説明図であり、吸着ロータを軸心方向に見た図である。

【図7】２本の温度計の測定値の差の振動を表す図である。

【図8】位置角度各々における温度の測定値を平均値化した図である。

【図9】吸着ロータの成形手段を表す説明図である。

【図10】吸着ロータの成形手段を表す説明図である。

【図11】吸着ロータの成形手段を表す説明図である。

【図12】図２のＡ−Ａ線断面図である。

【図13】除湿システムの別の実施形態の概念図である。

【図14】除湿システムの別の実施形態の概念図である。

【図15】ＰＬＣにおける送受信を表す説明図である。

【図16】除湿システムの別の実施形態の概念図である。

【図17】吸着ロータの成形手段の別の実施形態を表す説明図である。

【図18】２本の温度計の測定値の平均値各々についての差の振動を表す図である。

【図19】本実施形態における風量と露点の関係を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

以下、本発明を実施するための形態について詳述する。なお、以下の説明及び図面は、本発明の一実施形態を示したものにすぎない。除湿システム１０の構成を図１を参照しつつ説明する。また、特に断りがない場合は、低露点室Ｒで作業員が作業している状態で除湿システム１０が稼働しているものとする。

【0018】

本発明における第１実施形態である除湿システム１０外の外気ＯＡ１は、冷却コイル３５、及び冷却コイル３５の下流側に位置する温度計Ｔ２、を備えたダクト４２から、供給ファン１７入口へ導入され、供給ファン１７出口からダクト４６を通過し、チャンバ３２の冷却空気入口区域３２ｃに流入される。ダクト４２は外気ＯＡ１を除湿システム１０内に取り入れるものである。冷却コイル３５の冷却水の流量は、温度計Ｔ２で測定した温度に基づき調節計２６で調節される。冷却空気入口区域３２ｃに流入された空気（外気ＯＡ１）は、吸着ロータ３１の減湿域３１ｃ、チャンバ３３の冷却空気出口区域３３ｃを順に通過し、冷却空気出口区域３３ｃに接続されたダクト４５に導入される。ダクト４５には上流側から下流側にかけて圧力計Ｐ２、露点計Ｄ２、ダンパユニットＶ１が順に備わる。ここで、圧力計Ｐ２に基づき供給ファン１７を制御する調節計１２が設けられている。ダクト４５の下流端は低露点室Ｒに接続されており、ダクト４５に導入された空気はダクト４５の下流端から低露点室Ｒに給気ＳＡとして供給される。

【0019】

低露点室Ｒには、このダクト４５とダクト４１が接続され、同低露点室Ｒ内には圧力計Ｐ３、排気ＥＡ２を同低露点室Ｒ外に排出する排出口が備わる。

【0020】

ダクト４１は上流端を低露点室Ｒ、下流端をダクト４２に接続され、室内の空気の一部である還気ＲＡがダクト４１からダクト４２に導入される。ダクト４１はダクト４２に設置される温度計Ｔ２よりも下流側であって、供給ファン１７よりも上流側の位置に接続される。ダクト４１には上流側から下流側にかけてＰＣＤ２４（プレッシャコントロールダンパ）、露点計Ｄ１が備わる。また、圧力計Ｐ３で測定された圧力に基づきＰＣＤ２３を制御する調節計２４が備わる。

【0021】

除湿システム１０外の外気ＯＡ２は、ダンパユニットＶ３を備えたダクト４９から、同ダクト４９の下流端に接続されるダクト４４に導入され、ダクト４４の下流端に接続されるチャンバ３３の加熱空気入口区域３３ａに流入される。ダクト４４は外気ＯＡ２を除湿システム１０内に取り入れるものである。ダクト４４には上流側から下流側にかけてヒータ３４、温度計Ｔ１が順に備わる。また、温度計Ｔ１で測定された温度に基づきヒータ３４を制御する調節計１５が備わる。加熱空気入口区域３３ａに流入された空気（外気ＯＡ２と、後述のダクト４８を流れてきたパージ出口空気との混合空気）は、吸着ロータ３１の再生域３１ａ、チャンバン３２の加熱空気出口区域３２ａを順に通過し、加熱空気出口区域３２ａに接続されたダクト５０に導入される。加熱空気出口区域３２ａには温度計２７が備わる。また、加熱空気出口区域３２ａに別途温度計２８を設けてもよいし、温度計２７、温度計２８に加えて別途１つ以上の温度計をさらに設けてもよい。

【0022】

ダクト５０に導入された空気はダクト５０の下流端に接続された再生ファン１６入口に流入し、同再生ファン１６出口に接続されたダクト４３を通過し、排気ＥＡ１として除湿システム１０外に排出される。

【0023】

ダクト４６からダクト４７が分岐して配され、ダクト４７の下流端がチャンバ３２のパージ空気入口区域３２ｂに接続される。ダクト４７にはダンパユニットＶ２を設けておくとよい。給気ファン１７からダクト４６に導入された空気の一部はダクト４７を通過しパージ空気入口区域３２ｂに流入する。パージ空気入口区域３２ｂに流入した空気は、パージ域３１ｂ、パージ空気出口区域３３ｂを順に通過し、パージ空気出口区域３３ｂに接続されたダクト４８に導入される。ダクト４８には圧力計Ｐ１が備わる。圧力計Ｐ１で測定された圧力に基づき再生ファン１６を制御する調節計１１が備わる。ダクト４８の下流端がダクト４９におけるダンパユニットＶ３の下流側に接続され、ダクト４８を通過した空気がダクト４９に導入され、ダクト４９の空気（外気ＯＡ２）に合流する。

【0024】

加熱空気出口区域３２ａに備わる温度計２７（温度計２８や別途１つ以上の温度計を設けている場合はこれら全ての温度計）の測定値の入力信号を受け、この入力信号に基づいてダンパユニットＶ１、ダンパユニットＶ２、ダンパユニットＶ３の各々に出力信号を発する演算装置（ＰＬＣ）が設けられている。

【0025】

本実施形態に備わる調節計１１、調節計１２、調節計１５，調節計２４，調節計２６、演算装置ＰＬＣはそれぞれ独立に各機器（再生ファン１６、供給ファン１７、ヒータ３４、圧力調整ダンパＰＣＤ、冷却コイル３５、ダンパユニット（ダンパユニットＶ１、ダンパユニットＶ２、ダンパユニットＶ３））の運転を調節する。しかしながら、これら調節計全部又は一部と演算装置ＰＬＣの演算を総括して行うメイン演算装置（図示しない）を別途備えて、有機的な調節を行うようにしてもよい。例えば、一例として調節計１７や調節計１２からの信号をメイン演算装置（図示しない）が受信し、ダンパユニットに開度調節の信号を発信するように調節する制御をしてもよい。ダンパユニットにはＶＡＶユニット、風量調節機能を備えたダンパなどを用いることができる。

【0026】

以下、各々の機器・機材について説明する。

【0027】

（吸着ロータ）
減湿システム１０には、軸心周りに回転駆動される吸着ロータ３１を有し、吸着ロータ３１には、区画された吸着部材が複数回転方向に並んでおり、各吸着部材が軸芯方向に貫通する筒部を多数有し、この筒部を通じて通気可能となる形態を一例に提示できる。吸着部材相互は例えば、シール材で接合されてよく、接合された接合部が回転方向に間隔を空けて複数、軸芯から放射状に延在する形態にすることができる。

【0028】

吸着ロータ３１の吸着部材は、空気に含まれる水分が吸着される吸着材（乾燥材）を備えている。吸着材（乾燥材）にはシリカゲルやゼオライト、吸湿系樹脂が用いられる。また、吸着部材には吸着材（乾燥材）を備えず吸収液、例えば、塩化リチウムや塩化カルシウムを含侵させたものを用いることもできる。

【0029】

前述の筒部は例えば、六角柱や三角柱を一例とすることができるがこれに限るものではない。吸着ロータ３１の形状は六角柱の筒部を実質、隙間なく並べて円柱構造体（すなわち、ハニカム構造体）としたものや三角柱の筒部を実質、隙間なく並べて円柱構造体（以下、「ハニカム構造体等）という。）としたものを一例とするがこれに限るものではない。そして、この吸着ロータ３１は、この多数の筒部の貫通方向、すなわち、厚さ方向（軸芯方向）に空気が貫通される構造になっている。

【0030】

吸着ロータ３１は、冷却された外気ＯＡ１と還気ＲＡとで混合された空気を減湿処理して低露点室Ｒに空気を供給する冷却空気の通過域（減湿域）と、パージされた空気と外気ＯＡ２とで混合して加熱された加熱空気を加湿し排気ＥＡ１として排出する加熱空気の通過域（再生域）と、加熱空気の通過で再生され昇温した吸着ロータ３１に外気ＯＡ１を送風して放熱するパージ空気の通過域（パージ域）とに跨って配設される。軸芯６０を中心に軸心回りの回転で吸着ロータ３１の各筒部が冷却空気の通過域（減湿域）、加熱空気の通過域（再生域）、パージ空気の通過域（パージ域）の順に移動を繰り返すことになる。またこの吸着ロータ３１は、軸芯６０を中心に連続回転しながら、減湿域を通過する空気中の水分を吸着して空気を減湿し、吸着した水分を再生域を通過する加熱空気に脱着させることを繰り返し行っている。

【0031】

吸着ロータ３１は同吸着ロータ３１の軸芯６０を中心に回転稼働する。吸着ロータ３１の回転速度（回転数）は、一定速度とすることもできるし、可変速度とすることもできる。回転数は対象とする低露点室Ｒの容積、部屋数、同室Ｒ内の物資や作業員の数、吸着ロータ３１の性能等により適宜調節できる。例えば、１時間当たりの回転数（ｒｐｈ）を２〜１５ｒｐｈとすることができる。

【0032】

吸着ロータ３１の回転手法は特に限定されないが、一例として、吸着ロータ３１の周面にベルトを張りギアモータ等で回転させる手法とすることができる。吸着ロータ３１の回転速度はギアモータ等をインバータによる周波数で制御することができる。

【0033】

（空気通過域）
吸着ロータ３１は軸芯６０を中心軸とする回転で順次入れ替わる減湿域３１ｃと再生域３１ａとパージ域３１ｂに跨って設置される。減湿域３１ｃは冷却空気入口区域３２ｃから吸着ロータ３１に導入された冷却空気が冷却空気出口区域３３ｃに導出される場合に通過する冷却空気が通過する吸着ロータ３１の領域をいう。再生域３１ａは加熱空気入口区域３２ｂから吸着ロータ３１に導入された加熱空気が加熱空気出口区域３２ａに導出される場合にこの加熱空気が通過する吸着ロータ３１の領域をいう。パージ域３１ｂはバージ入口区域３２ｂから吸着ロータ３１に導入されたパージ空気がパージ空気出口区域３３ｂに導出される場合にパージ空気が通過する吸着ロータ３１の領域をいう。例えば、吸着ロータ３１の回転で吸着ロータ３１の吸着部材の各筒部が、減湿域３１ｃから再生域３１ａに移動し、その後パージ域３１ｂに移動し、その後再度減湿域３１ｃに移動する。この筒部はこれら３つの領域間の移動を繰り返す。吸着ロータ３１が回転方向７１に回転し、チャンバ３２に設けられた仕切り板５２ａをθ＝０°と仮定すると、例えば、チャンバ３２のθ＝０°〜９０°までの区域（加熱空気出口区域３２ａ）に対向する吸着ロータ３１の領域が再生域３１ａ、θ＝９０°〜１３５°までの区域（パージ空気入口区域３２ｂ）に対向する吸着ロータ３１の領域がパージ域３１ｂ、θ＝１３５°〜３６０°（＝０°）までの区域（冷却空気入口区域３２ｃ）に対向する吸着ロータ３１の領域が減湿域３１ｃとなる。しかしながら、チャンバ３２の３つの区域、チャンバ３３の３つの区域の仕切り板の位置角度が異なるときは吸着ロータ３１の前述の３つのゾーンの容積も同仕切り板の位置角度に対向するように異なったものとなる。

【0034】

吸着ロータ３１の成形について一例を示す。吸着ロータ３１は、図５、図６に示すように、同形の２つの半円柱体である吸着部材６３ａと吸着部材６３ｂの接合面を対向させて成形する。具体的には吸着部材６３ａの中心軸方向の切断面（接合面）と吸着部材６３ｂの中心軸方向の切断面（接合面）を対向させて円柱体に成形する。成形される吸着ロータ３１の中心軸には同吸着ロータ３１を回転させるための軸芯６０が配される。また、吸着部材６３ａの中心軸方向の切断面（接合面）と吸着部材６３ｂの中心軸方向の切断面（接合面）の間に補強材６２を介装させると、吸着ロータ３１の型崩れを防ぐことができ好適である。しかしながら、補強材６２を介装させずに成形してもよい。

【0035】

前述のとおりに成形された吸着ロータ３１の周面をリム６１で覆ってもよい。吸着ロータ３１の型崩れを防止できる。また、吸着ロータ３１の両端面に硬化材を備えるとよい。減湿システム１０の稼働時には、チャンバ３２、３３の仕切り板における同端面に対向する端縁に、吸着ロータ３１の両端面が接触しつつ回転する。同両端面に硬化材を備えて補強することで除湿システム１０の長期的使用による、吸着ロータ３１の両端面の摩耗、すり減りを防止できる。

【0036】

吸着部材６３ａにおける端面（半円形面）の弦（直径部分）６６ａと、この弦に対向する弦（すなわち、円柱体６３ｂにおける端面（半円形面）の弦（直径部分））６６ｂとで形成される隙間を塞ぐように、これらの対向する弦６６ａ、６６ｂに沿ってシール材６４（図５の斜線部で囲まれた部分）を配してもよい。吸着ロータ３１の回転軸方向に空気を通過させる場合、この隙間があると空気がこの隙間を通過してしまい、水分の吸着及び脱着が不十分となるおそれがある。この隙間をシール材６４で塞ぐことで、空気が同隙間に流れ込むのを防止できる。

【0037】

前述のほか、吸着部材６３ａと吸着部材６３ｂの対向面（接合面）の全面又は一部にシール材６４を設ける形態としてもよい。

【0038】

吸着ロータ３１の成形について別の例を示すことができる。円柱体の中心軸を中心軸方向に十字に切断された４つの吸着部材６５ａ、６５ｂ、６５ｃ、６５ｄについて、まず、吸着部材６５ａの切断面（接合面）と吸着部材６５ｂの切断面（接合面）を対向させて半円柱体の吸着部材（６５ａ、６５ｂ）に成形する。同様に吸着部材６５ｃの切断面（接合面）と吸着部材６５ｄの切断面（接合面）を対向させて半円柱体の吸着部材（６５ｃ、６５ｄ）を成形する。次に、円柱体が成形されるように、半円柱体の吸着部材（６５ａ、６５ｂ）の中心軸方向の切断面（接合面）と半円柱体の吸着部材（６５ｃ、６５ｄ）の中心軸方向の切断面（接合面）とを対向させることにより、吸着ロータ３１が成形される。成形された吸着ロータ３１の中心軸には同吸着ロータ３１を回転させるための軸芯６０（図示しない）が配される。また、前述のように対向させる場合は、対向される切断面間に補強材６２を介装させることができる。しかしながら、補強材６２を介在させずに成形してもよい。

【0039】

このように成形された吸着ロータ３１に対しても、前述同様、同吸着ロータ３１の周面をリム６１で覆うとよい。また、吸着ロータ３１の両端面に硬化材を備えるとよい。そして、吸着部材６５ａの一方の端面（扇形面）における直線状の端縁（半径部分）６７ａ、６８ａと、吸着部材６５ｂの一方の端面（扇形面）における直線状の端縁（半径部分）６７ｂ、６８ｂと、吸着部材６５ｃの一方の端面（扇形面）における直線状の端縁（半径部分）６７ｃ、６８ｃと、吸着部材６５ｄの一方の端面（扇形面）における直線状の端縁（半径部分）６７ｄ、６８ｄとが対向して形成される隙間の各々を塞ぐようにシール材６４を配するとよい。

【0040】

同様に、吸着部材６５ａの他方の端面（扇形面）における直線状の端縁（半径部分）と、吸着部材６５ｂの他方の端面（扇形面）における直線状の端縁（半径部分）と、吸着部材６５ｃの他方の端面（扇形面）における直線状の端縁（半径部分）と、吸着部材６５ｂの他方の端面（扇形面）における直線状の端縁（半径部分）とが対向して形成される隙間の各々を塞ぐようにシール材６４を配するとよい。

【0041】

また、図１７に示すようにシール材６４を設ける範囲を次記のとおりにしてもよい。吸着部材６５ａの切断面（接合面）と吸着部材６５ｂの切断面（接合面）との対向面の全面又は一部にシール材６４ａを設けてもよい。同様に、吸着部材６５ｃの切断面（接合面）と吸着部材６５ｄの切断面（接合面）との対向面の全面又は一部にシール材６４ａを設けてもよい。また、半円柱体の吸着部材（６５ａ、６５ｂ）の中心軸方向の切断面（接合面）と半円柱体の吸着部材（６５ｃ、６５ｄ）の中心軸方向の切断面（接合面）との対向面の全面又は一部にシール材６４ａを設けてもよい。

【0042】

前述のとおり吸着部材の接合面をシール材６４で接合した接合部は吸着ロータ３１の回転方向に間隔を空けて複数、軸芯から放射状に延在されたものとなる。前述では一つの吸着ロータ３１に対して接合部は２又は４つ備わることになるが、吸着部材を変形させて、接合部を２〜８つ備わるように成形してもよい。

【0043】

シール材６４は吸着部材相互を接合できればよく、シリコンシールを用いることができる。しかしながら、これに限るものではなく、適宜公知の接合材を用いることができる。

【0044】

（チャンバ）
吸着ロータ３１の一方の端面には空気が通過するチャンバ３２が備わる。吸着ロータ３１の回転方向に沿って、チャンバ３２は３つの区域、すなわち、冷却空気入口区域３２ｃ、加熱空気出口区域３２ａ、パージ空気入口区域３２ｂに区分される。冷却空気入口区域３２ｃと加熱空気出口区域３２ａの境界には仕切り板５２ａが設けられ、両区域が仕切られている。加熱空気出口区域３２ａとパージ空気入口区域３２ｂの境界には仕切り板５２ｂが設けられ、両区域が仕切られている。パージ空気入口区域３２ｂと冷却空気入口区域３２ｃの境界には仕切り板５２ｃが設けられ、両区域が仕切られている。

【0045】

また、吸着ロータ３１における冷却空気の出口側の端面に、吸着ロータ３１の筒部を通過する空気の通過域であるチャンバ３３が隣接して備わる。吸着ロータ３１の回転方向に沿って、チャンバ３３は３つの区域、すなわち、冷却空気出口区域３３ｃ、加熱空気入口区域３３ａ、パージ空気出口区域３３ｂに区分される。加熱空気入口区域３３ａとパージ空気出口区域３３ｂの境界には仕切り板５３ｂが設けられ、両区域が仕切られている。パージ空気出口区域３３ｂと冷却空気出口区域３３ｃの境界には仕切り板５３ｃが設けられ、両区域が仕切られている。冷却空気出口区域３３ｃと加熱空気入口区域３３ａの境界には仕切り板５３ａが設けられ、両区域が仕切られている。

【0046】

仕切り板５２ａ、５２ｂ、５２ｃのそれぞれは、チャンバ３２内を吸着ロータ３１の軸芯方向に配され、冷却空気入口区域３２Ｃと加熱空気出口区域３２ａとパージ空気入口区域３２ｂを区分している。この仕切り板５２ａ、５２ｂ、５２ｃにより冷却空気入口区域３２Ｃと加熱空気出口区域３２ａとパージ空気入口区域３２ｂの相互間で空気の流通がほとんどない又はないようにすることができる。

【0047】

また、仕切り板５３ａ、５３ｂ、５３ｃのそれぞれは、チャンバ３３内を吸着ロータ３１の軸芯方向に配され、冷却空気出口区域３３ｃと加熱空気入口区域３３ａとパージ空気出口区域３３ｂを区分している。この仕切り板５３ａ、５３ｂ、５３ｃにより冷却空気出口区域３３ｃと加熱空気入口区域３３ａとパージ空気出口区域３３ｂの相互間で空気の流通がほとんどない又はないようにすることができる。

【0048】

吸着ロータ３１の回転方向７１の座標θ（位置角度θ）を用い、仕切り板５２ａをθ＝０°としてチャンバ３２の各区域を説明すると、一例として加熱空気出口区域３２ａをθ＝０°〜９０°（すなわち中心角９０°）、パージ空気入口区域３２ｂをθ＝９０°〜１３５°（すなわち中心角４５°）、冷却空気入口区域３２ｃをθ＝１３５°〜３６０°（すなわち中心角２２５°）とすることができる。しかしながら、低露点室Ｒの用途、諸機器（ヒータや冷却コイル、ファンなど）の性能等に応じ各区域の大きさ（すなわち、中心角）を適宜設計できる。例えば、加熱空気出口区域３２ａの中心角を６０〜１８０°の範囲とし、パージ空気入口区域３２ｂの中心角を１５〜９０°の範囲とし、冷却空気入口区域３２ｃの中心角を１８０〜２８５°の範囲として設計可能である。
チャンバ３３の各区域の位置角度及び中心角は、チャンバ３２の各区域の位置角度及び中心角と対向するようにする。具体的には、吸着ロータ３１の回転方向の座標θ（位置角度）を用い、一例として仕切り板５３ａをθ＝０°とすると、加熱空気入口区域３３ａをθ＝０°〜９０°（すなわち中心角９０°）、パージ空気出口区域３３ｂをθ＝９０°〜１３５°（すなわち中心角４５°）、冷却空気出口区域３３ｃをθ＝１３５°〜３６０°（すなわち中心角２２５°）とする。このようにすると、例えば、冷却空気入口区域３２ｃから吸着ロータ３１に導入された空気が冷却空気出口区域３３ｃを通過することになる。チャンバ３３の各区域の大きさ（すなわち、中心角）はチャンバ３２の区画の大きさ（すなわち、中心角）に対向させて適宜設計するとよい。

【0049】

加熱空気出口区域３２ａには温度計２７（請求項における「第１温度計」をいう。）が設置されている。吸着ロータ３１の回転で加熱空気の出口温度は所定の温度幅で振動する。そして、加熱空気出口区域３２ａ内でこの温度幅が１０℃以上２５℃以下、好ましくは１５℃以上２０℃以下となる箇所に温度計２７を設置するとよい。

【0050】

さらに、加熱空気出口区域３２ａに温度計２８（請求項における「第２温度計」をいう。）を設置してもよい。設置する場合、加熱空気出口区域３２ａ内で振動する温度幅が５℃以上１０℃未満となる箇所に温度計２８を設置するとよい。

【0051】

温度計２７及び温度計２８を備えた場合、それぞれの温度計の測定値の情報を演算装置ＰＬＣで受信され、この情報に基づき再生域３１ａに導入される加熱空気風量が演算される。演算の入力値の一例としては、特定の時刻における温度計２７の測定値と温度計２８の測定値との差を求め、その差を演算の入力値とする手法を提示できる。ここで、演算の入力値がロータ３１の回転に伴い振動すると、演算結果である加熱空気の風量（出力値）も同入力値に対応して変動するものとなる。

【0052】

温度計２７の測定値と温度計２８の測定値の差（温度差８２）を加熱空気風量の演算の入力値とすることができる。例えば、温度計２７で加熱空気出口区域３２ａにおける位置角度６５°の加熱空気の出口温度を測定する。また、温度計２８で加熱空気出口区域３２ａにおける位置角度３３°の加熱空気の出口温度を測定する。温度計２７の測定値と温度計２８の測定値との差（温度差８２）を縦軸にとり、吸着ロータ３１の回転に伴う時間経過を横軸とすると、温度差８２が時間経過とともに振動する（図７参照）。時間経過に伴うこの振動による温度幅は、温度計２７のみによる測定値の振動による温度幅ほど大きいものとならない場合がある。この温度差８２を加熱空気風量の演算の入力値とすることができる。

【0053】

温度計２７設置して減湿システム１０を稼働させた場合、温度計を加熱空気出口区域３２ａに設けずに稼働させた場合と比較すると、単位時間当たりの加熱空気の総風量を３１％削減でき、ランニングコストを抑えることができ再生効率に優れる減湿システム１０の稼働を図ることができる。

【0054】

また、前述のように温度計２７と温度計２８を設置して減湿システム１０を稼働させた場合、温度計を加熱空気出口区域３２ａに設けずに加熱空気風量を一定にして稼働させた場合と比較すると、単位時間当たりの加熱空気の総風量を４９％削減でき、省エネルギー化を図ることができる、ことを発明者は知見している。なお、温度計を設けずに稼働させる場合、加熱空気の風量を一定にして運転する手法を一例に示すことができる。

【0055】

この他、移動平均法により温度計２７の測定値の移動平均値（例えば、第１平均値ともいう。）と温度計２８の測定値の移動平均値（例えば、第２平均値ともいう。）とをそれぞれ求め、特定の時刻におけるこれら移動平均値の差を演算の入力値としてもよい。また、相加平均（算術平均）法や相乗平均（幾何平均）法、調和平均法など種々の平均法で温度計２７の測定値の移動平均値と温度計２８の測定値をそれぞれ算出して利用できる。温度計２７及び温度計２８による温度測定は１〜６０秒毎に１回、好ましくは１〜１０秒ごとに１回行うとよい。１秒よりも短い時間で測定される温度が大きく変化することは稀であり、６０秒よりも長いと吸着ロータ３１等の環境変化への追従が鈍くなる。平均する時間は適宜調節でき例えば、１０秒〜６００秒、好ましくは６０秒〜３００秒とするとよい。１０秒より短いと平均の効果が薄れ、６００秒より長いと吸着ロータ３１等の環境変化への追従が鈍くなる。

【0056】

図８を参照しつつ説明すると、加熱空気出口区域３１ａの各位置角度（θ＝８１°、７３°、６５°、５７°、４９°、４１°、３３°、２５°、１７°、９°）の温度変化、すなわち、加熱空気の出口温度の変化を移動平均法で表した場合、各位置角度における温度の振動が相対的に小さくなる。図８は各位置角度について、５秒ごとの温度測定値を５分の間隔で移動平均法により算出した移動平均値をプロットしたグラフである。

【0057】

振動する温度幅が１０℃以上２５℃以下に設置された温度計２７（例えば、位置角度θ＝６５°に設置された温度計）の測定値に基づく移動平均値と、振動する温度幅が５℃以上１０℃未満に設置された温度計２８（例えば、位置角度θ＝３３°に設置された温度計）の測定値に基づく移動平均値とから差（温度差８３）を求め、その差８３を加熱空気風量の演算の入力値とすることができる。例えば、同差を縦軸にとり、吸着ロータ３１の回転に伴う時間経過を横軸とすると、この温度差８３が時間経過とともに振動する（図８参照）。しかしながら、この場合の振動による温度幅は前述した平均値を用いない場合の振動による温度幅（すなわち、図７に示す温度差８２の振動による温度幅）よりも相対的に小さいものとなっている。

【0058】

この温度差８３を加熱空気風量の演算の入力値とすると、演算された加熱空気の風量が時間経過に対して相対的に大きく変動し難くなる。

【0059】

（ヒータ）
ヒータ３４はダクト４４に設けられ、ダクト４４に導入された空気を加熱するものである。加熱された空気は再生域３１ａに導入される。加熱された空気が再生域３１ａの水分を脱着させ、再生域３１ａを乾燥させることで、吸着ロータ３１が再度水分を吸着できるように再生される。

【0060】

予め設定された温度（設定温度、例えば、１４０〜２００℃）を調節計１５に設定しておき、温度計Ｔ１で測定された温度が同設定温度と異なるときは、同設定温度に近づくように調節される。ヒータ３４の温度は、一例として、ヒータ３４内の抵抗部に流れる平均電流値をＳＳＲの発信頻度を変化させる等して調節される。調節の方式は、特に限定されないが、ＰＩＤ制御、ＰＩ制御を一例とすることができる。例えば、温度計Ｔ１で測定された温度が設定温度よりも高い場合、平均電流値を小さくしてヒータ３４の温度を下げる。結果、温度計Ｔ１で測定される空気の温度が低くなり、設定温度に近づく。一方、温度計Ｔ１で測定された温度が設定温度よりも低い場合、平均電流値を大きくしてヒータ３４の温度を上げる。結果、温度計Ｔ１で測定される空気の温度が高くなり、設定温度に近づく。温度計Ｔ１で測定される温度が設定温度になった場合、同設定温度の状態が維持される。

【0061】

（供給ファン）
供給ファン１７は、ダクト４２に導入された外気ＯＡ１を減湿域３１ｃに送風して、減湿域３１を通過して減湿された空気を低露点室Ｒに供給するものである。また、供給ファン１７は、またパージ域３１ｂに空気を送風するものである。供給ファン１７の回転数は供給ファン１７に備わるインバータで制御され、風量が調節される。インバータの周波数は圧力計Ｐ２で測定された圧力をもとに調節計１２で制御される。制御方式は特に限定されないが、ＰＩＤ制御、ＰＩ制御を一例に示すことができる。圧力計Ｐ２は特に限定されないが、冷却空気出口区域３３ｃに接続されたダクト４５の上流側に設置すると、圧力損失が少なく好適である。風量の調節は、予め設定された圧力値（設定圧力値）ＳＶ２にＰ２で測定された圧力値を一致させるようにインバータ周波数を制御して行う。例えば、Ｐ２で測定された圧力値が設定圧力値ＳＶ２よりも低い場合には、インバータ周波数を増加させて風量を増加させることで、Ｐ２で測定される圧力値が高くなり、設定圧力値ＳＶ２に近づく。Ｐ２で測定された圧力値が設定圧力値ＳＶ２よりも高い場合には、インバータ周波数を減少させて風量を減少させことでＰ２で測定される圧力値が低くなり設定圧力値ＳＶ２に近づく。Ｐ２で測定される圧力値が設定圧力値ＳＶ２となった場合、ダクト４５における圧力計Ｐ２付近の圧力値は設定圧力値ＳＶ２の状態に維持される。

【0062】

（再生ファン）
再生ファン１６は、再生域３１ａの通過により加湿された空気を除湿システム１０外に排気ＥＡ１として排出するものである。再生ファン１６の回転数は再生ファン１６に備わるインバータで制御され、風量が調節される。インバータの周波数は圧力計Ｐ１で測定された圧力をもとに調節計１２で制御される。制御方式は特に限定されないが、ＰＩＤ制御、ＰＩ制御を一例に示すことができる。圧力計Ｐ１は特に限定されないが、パージ空気出口区域３３ｂに接続されたダクト４８の上流側に設置すると、圧力損失が少なく好適である。風量の調節は、予め設定された圧力値（設定圧力値）ＳＶ１にＰ１で測定された圧力値を一致させるようにインバータ周波数を制御して行う。例えば、Ｐ１で測定された圧力値が設定圧力値ＳＶ１よりも低い場合には、インバータ周波数を増加させて、風量を増加させることで、Ｐ１で測定される圧力値が高くなり、設定圧力値ＳＶ１に近づく。Ｐ１で測定された圧力値が設定圧力値ＳＶ１よりも高い場合には、インバータ周波数を減少させて風量を減少させることでＰ１で測定される圧力値が低くなり設定圧力値ＳＶ１に近づく。Ｐ１で測定される圧力値が設定圧力値ＳＶ１となった場合、ダクト４８における圧力計Ｐ１付近の圧力値は設定圧力値ＳＶ１の状態に維持される。

【0063】

予め設定された圧力値（設定圧力値）ＳＶ２と、予め設定された圧力値（設定圧力値）ＳＶ１とはそれぞれ独立に設定されてもよい。具体的には本実施形態では供給ファン１７の風量を増減させつつ除湿システム１０を稼働させるのでダクト４５の圧力値も増減する。また、ダンパユニットＶ２のダンパ部の開度が設定風量により可変するのでダクト４８の圧力値も増減する。そして、ダクト４５の圧力値とダクト４８の圧力値は互いに独立して増減する。しかしながら、予め設定された圧力値（設定圧力値）ＳＶ２を、予め設定された圧力値（設定圧力値）ＳＶ１よりも高く設定しておくことは次の理由により好ましい。

【0064】

低露点室Ｒは常に所定値Ｄｐ以下の露点に維持されることが求められる。冷却空気出口区域３３ｃの雰囲気中の水分濃度とパージ空気出口区域３３ｂの雰囲気中の水分濃度の比は、およそ（冷却空気出口区域３３ｃの雰囲気中の水分濃度）：（パージ空気出口区域３３ｂの雰囲気中の水分濃度）＝１：１００である。仮に、パージ空気出口区域３３ｂから冷却空気出口区域３３ｃへ空気漏れが発生すると、冷却空気出口区域３３ｃの雰囲気中の水分濃度が高まり、結果、低露点室Ｒの露点が求められる露点Ｄｐを超過するおそれがある。

【0065】

吸着ロータ３１の稼働時には、仕切り板５３ｃにおける吸着ロータ３１側の端縁を吸着ロータ３１が擦れつつ回転する。この時仕切り板５３ｃにおける吸着ロータ３１側の端縁とロータ３１との間で空気のごく僅かな連通が生じる可能性がある。そこで、冷却空気出口区域３３ｃ付近の圧力値（すなわち、設定圧力値ＳＶ２）をパージ空気出口区域３３ｂ付近の圧力値（すなわち、設定圧力値ＳＶ１）よりも高めておく、そして、これらの圧力さを維持しておくことで、パージ空気出口区域３３ｂから冷却空気出口区域３３ｃへの空気の流入を防止できる。結果、低露点室Ｒは所定値Ｄｐ以下の露点に維持される。

【0066】

（ダンパユニットＶ２）
ダンパユニットＶ２はダクト４７の空気風量を測定するものである。また、ダンパユニットＶ２はダンパ部を備え、ダクト４７を流れる空気の風量を調節し、結果、パージ域３１ｂを通過する空気の風量を調節するものである。また、パージ域３１ｂを通過した空気はダクト４８、ダクト４４を順次通過し、再生域３１ａに導入される。よって、ダンパユニットＶ２は再生域３１ａを通過する空気の風量を調節するものでもある。

【0067】

ダンパユニットＶ２による風量調節は次記のとおりに行う。ダクト４７に流すべき風量（すなわち、設定風量）の情報をダンパユニットＶ２が演算装置ＰＬＣから予め受信する。実際に流れる風量がダンパユニットＶ２で測定され、（１）設定風量と実際に流れる風量とのズレがない、又は僅少である場合、実際に流れる風量を維持する。（２）設定風量と実際に流れる風量とのズレがない、又は僅少である場合でない場合（すなわち、上記（１）でない場合）、ダンパユニットＶ２のダンパ部が開閉されて、設定風量に近づくように実際に流れる風量が調節される。また、設定風量を変更した場合であって上記（２）に該当する場合、ダンパユニットＶ２のダンパ部が開閉されて、設定風量に近づくように実際に流れる風量が調節される。ダンパ部の開閉により、実際に流れる風量が設定風量になった場合、その実際に流れる風量が維持される。

【0068】

例えば、ダンパユニットＶ２の設定風量が実際の風量より大きく設定変更された場合、ダンパユニットＶ２のダンパ部が開き方向に調節され、ダクト４７に流れる空気の風量が増加する。そして、この風量が増加された空気がダクト４８、ヒータ３４を備えたダクト４４を通過して、再生域３１ａに流入する。ここで、再生域３１ａに流入する空気はヒータ３４により加熱される。この空気の流入量の増加により再生域３１ａでは水分の脱着が促進されつつ、再生域３１ａでの昇温が加速される。結果、再生域３１ａの出口に備わる加熱空気出口区域３２ａの雰囲気が昇温される。

【0069】

一方、ダンパユニットＶ２の設定風量が実際の風量より小さく設定変更された場合、ダンパユニットＶ２のダンパ部が閉じ方向に調節され、ダクト４７に流れる空気の風量が減少する。そして、この風量が減少された空気がダクト４８、ヒータ３４を備えたダクト４４を通過して、再生域３１ａに流入する。この空気の流入量の減少により再生域３１ａでは水分の脱着が抑制されつつ、再生域３１ａでの昇温が減速される。結果、再生域３１ａの出口に備わる加熱空気出口区域３２ａの雰囲気が降温される。

【0070】

（ダンパユニットＶ３）
ダンパユニットＶ３はダクト４９の空気風量を測定するものである。また、ダンパユニットＶ３はダンパ部を備え、ダクト４９を流れる空気の風量を調節し、結果、ダクト４４及び再生域３１ａに導入される空気の風量を調節するものである。再生域３１ａに導入される空気は、パージ域３１ｂを通過した空気と外気ＯＡ２とで構成される。そして、通常稼働時ではパージ域３１ｂを通過した空気の方が外気ＯＡ２よりも多い。再生域３１ａに導入される空気をパージ域３１ｂを通過した空気で賄おうとした場合に、再生域３１ａにおいて吸着材からの水分の脱着（すなわち、再生）が不十分なときがある。このとき、外気ＯＡ２を導入してパージ域３１ｂを通過した空気と合流させて、この合流した空気を再生域３１ａに導入させることで吸着材からの水分の脱着（すなわち、再生）を図る。外気ＯＡ２の導入量は、特に限定されないが、例えば、必要とされる再生に必要な空気量のうち、パージ域３１ｂを通過した空気量だけでは不十分である場合、再生に必要な空気量を補う量とすることができる。また、外気ＯＡ２の導入量をパージ域３１ｂを通過した空気量に比例または反比例させた量としてもよい。

【0071】

ダンパユニットＶ３による風量調節は次記のとおりに行う。ダクト４９に流すべき風量（すなわち、設定風量）の情報をダンパユニットＶ２が演算装置ＰＬＣから予め受信する。実際に流れる風量がダンパユニットＶ３で測定され、（１）設定風量と実際に流れる風量とのズレがない、又は僅少である場合、実際に流れる風量を維持する。（２）設定風量と実際に流れる風量とのズレがない、又は僅少である場合でない場合（すなわち、上記（１）でない場合）、ダンパユニットＶ３のダンパ部が開閉されて、設定風量に近づくように実際に流れる風量が調節される。また、設定風量を変更した場合であって上記（２）に該当する場合、ダンパユニットＶ３のダンパ部が開閉されて、設定風量に近づくように実際に流れる風量が調節される。ダンパ部の開閉により、実際に流れる風量が設定風量になった場合、その実際に流れる風量が維持される。

【0072】

（冷却コイル）
冷却コイル３５はダクト４２に設けられるものであり、ダクト４２に導入された外気ＯＡ１を冷却するものである。除湿システム１０に外気ＯＡ１を導入する場合、外気ＯＡ１には多量の湿気が含まれるため、導入された外気ＯＡ１が冷却コイル３５で冷却されつつ減湿される。予め設定された温度（設定温度）を調節計２６に設定しておき、温度計Ｔ２で測定された温度が同設定温度と異なるときは、同設定温度に近づくように調節される。調節の方式は、特に限定されないが、ＰＩＤ制御、ＰＩ制御を一例とすることができる。例えば、温度計Ｔ２で測定された温度が設定温度よりも高い場合、調節計２６が図示しない電動バルブの開度を開き方向に変更して冷却コイル３５に流れる冷却水量を増加させる。結果、外気ＯＡ１がより冷却され、設定温度に近づく。一方、温度計Ｔ２で測定された温度が設定温度よりも低い場合、調節計２６が図示しない電動バルブの開度を閉じ方向に変更して冷却コイル３５に流れる冷却水量を減少させる。結果、外気ＯＡ１の冷却が緩和されて、設定温度に近づく。温度計Ｔ２で測定される温度が設定温度になった場合、同設定温度の状態が維持される。

【0073】

（ダンパユニットＶ１）
ダンパユニットＶ１はダクト４５の空気風量を測定するものである。また、ダンパユニットＶ１はダンパ部を備え、ダンパユニットＶ１（ダクト４５）を流れる空気の風量を調節し、結果、低露点室Ｒに供給される給気ＳＡの風量を調節するものである。例えば、低露点室Ｒ外に排出される空気（還気ＲＡ）量相当量を給気ＳＡとして供給するようにダンパユニットＶ１の風量を調節することができる。

【0074】

ダンパユニットＶ１による風量調節は次記のとおりに行う。ダンパユニットＶ１はダクト４５に流すべき風量（すなわち、設定風量）の情報を演算装置ＰＬＣから予め受信する。実際に流れる風量がダンパユニットＶ１で測定され、（１）設定風量と実際に流れる風量とのズレがない、又は僅少である場合、実際に流れる風量を維持する。（２）設定風量と実際に流れる風量とのズレがない、又は僅少である場合でない場合（すなわち、上記（１）でない場合）、ダンパユニットＶ１のダンパ部が開閉されて、設定風量に近づくように実際に流れる風量が調節される。また、設定風量を変更した場合であって上記（２）に該当する場合、ダンパユニットＶ１のダンパ部が開閉されて、設定風量に近づくように実際に流れる風量が調節される。ダンパ部の開閉により、実際に流れる風量が設定風量になった場合、その実際に流れる風量が維持される。

【0075】

例えば、低露点室Ｒに作業員がいる場合等、低露点室Ｒの湿度が増加する要因がある場合、設定風量がより大きく設定され、ダンパ部の開度が開き方向に調節され、給気ＳＡ量が増加する。一方、低露点室Ｒの湿度が増加する要因がない場合、設定風量は変更されないか、又はより小さく設定（この場合設定できる最小風量に設定されることを含む）される。設定風量がより小さく設定されたときは、ダンパ部の開度が閉じ方向に調節され、給気ＳＡ量が減少する。

【0076】

（排気）
低露点室Ｒは、露点を所定値以下に保つため、同室Ｒ内外の空気の出入りを、給気ＳＡと還気ＲＡのみとしてよい。しかしながら、この給気ＳＡと還気ＲＡの他に、同室Ｒ内の空気の一部を排気ＥＡ２として同室Ｒ外に排出する排気口を設けてもよい。排気口を設ける場合は、同室Ｒ内の圧力を同室Ｒ外の圧力よりも高めにするとよい。このようにすると同室Ｒ内の空気の一部が同室Ｒ外に排気ＥＡ２として排出され、同室Ｒ外の湿気を含む空気がこの排気口から同室Ｒ内に流入するのを防ぐことができ、望ましい。

【0077】

（圧力調節ダンパ）
低露点室Ｒの室内圧力（気圧）を所定圧力に保つためダクト４１の上流側（低露点室Ｒ側）に圧力調節ダンパＰＣＤを設置するとよい。圧力調節ダンパＰＣＤは、この圧力調節ダンパＰＣＤが取り付けられているダクト内の気圧、ひいてはこのダクトに接続される低露点室Ｒの気圧（気圧）を調節するためのものである。圧力調節ダンパＰＣＤに備わるダンパの開閉により、低露点室Ｒ内の圧力が調節される。低露点室Ｒの露点や吸着ロータ３１の回転速度、給気ファン１７、各ダンパユニット等の設定状態により低露点室Ｒ内への給気ＳＡの量が変化する。低露点室Ｒ内の圧力（気圧）を低露点室Ｒ外の圧力（気圧）よりも高くなるように圧力調整ダンパ２３で調節することで排気ＥＡ２が低露点室Ｒ外へ定常的に排出される状態を維持できる。予め設定された圧力値（設定圧力値）を圧力調整ダンパ２３に設定しておき、圧力調整ダンパ２３が低露点室Ｒの圧力計Ｐ３により測定された圧力値を調節計２４から受ける。測定された圧力値と設定圧力値が異なるときは、低露点室Ｒの圧力値が設定圧力値に近づくよう調節される。調節の方式は、特に限定されない。例えば、圧力計Ｐ３で測定された圧力値が設定圧力値よりも高い場合、圧力調整ダンパ２３の開度を開き方向に変更して還気ＲＡの量を増加させることで、低露点室Ｒが減圧される。一方、圧力計Ｐ３で測定された圧力値が設定圧力値よりも低い場合、圧力調整ダンパ２３の開度を閉じ方向に変更して還気ＲＡの量を減少させることで、低露点室Ｒが加圧される。圧力計Ｐ３で測定される圧力値が設定圧力値になった場合、同設定圧力値の状態が維持される。

【0078】

＜作業員不在時＞
低露点室Ｒに作業員が不在である場合、前述の各機器・機材の稼働状態、調節機構、制御方式等は作業員が在中する場合と原則的に同様である。しかしながら、省エネルギー化を図るため作業員が不在である場合、各機器・機材の稼働状態、調節機構、制御方式等を以下のようにすることが可能である。

【0079】

（供給ファン）
低露点室Ｒに作業員が不在である場合、低露点室Ｒの露点の変化が小さい。そこで、供給ファン１７のインバータ周波数を下げ、減湿域３１ｃを通過させる空気量を減らし、結果、給気ＳＡを減らすことができる。例えば、ダクト４５の圧力計Ｐ２で測定される圧力値を相対的に低い状態で一定に制御することができる。また、ダンパユニットＶ１を閉じ方向に調整して給気ＳＡ量を減らすようにしてもよい。

【0080】

（再生ファン）
再生ファン１６のインバータ周波数を下げ、再生域３１ａを通過させる空気量を減らし、結果、排気ＥＡ１を減らすことができる。例えば、ダクト４８の圧力計Ｐ１で測定される圧力値を相対的に低い状態で一定に制御することができる。しかしながら、予め設定された圧力値（設定圧力値）ＳＶ２が、予め設定された圧力値（設定圧力値）ＳＶ１よりも高く設定しておくことは前述のとおり好ましい。

【0081】

また、ダンパユニットＶ２のダンパ開度を小さく設定することで再生域３１ａに供給される風量を減らし省エネルギー化を図ることができる。さらにダンパユニットＶ２に加えて、ダンパユニットＶ３のダンパ開度も小さく設定することでより再生域３１ａに供給される風量を減らし省エネルギー化を図ることができる。

【0082】

（冷却コイル、ヒータ）
冷却コイル３５やヒータ３４の稼働状態を頻度よく変更させることは、省エネルギー化を図る上で好ましくない。そこで、ダクト４４における温度計Ｔ１付近の温度や、ダクト４２における温度計Ｔ２付近の温度が過度に変化しないように、冷却コイル３５の冷却水流量及びヒータ電流値を制御するとよい。

【0083】

（ダンパユニット）
設定できる最低の風量となるようにダンパユニットＶ１のダンパ部の開度を調節するとよい。

【0084】

加熱空気出口区域３２ａの温度計２７の測定温度に基づきダンパユニットＶ２のダンパ部の開度を閉じ方向に調節することで、パージ域３１ｂ及び再生域３１ａに通過させる空気量を減らすことができ省エネルギー化を図ることができ好ましい。

【0085】

外気ＯＡ２の風量をダンパユニットＶ２を通過する風量に比例させるようにダンパユニットＶ３のダンパ部の開度を調節することで、ダンパユニットＶ２を通過する風量の減少に伴い、ダンパユニットＶ３を通過する外気ＯＡ２の風量も減少させることができる。

【0086】

本実施形態においては加熱空気出口区域３２ａの温度に基づき加熱空気風量が決定される。温度幅が１０℃以上２５℃以下、さらに好ましくは１５℃以上２０℃以下で振動する箇所の温度を測定して、この測定温度に基づき加熱空気風量を決定することで、安定した制御が可能となる。

【0087】

温度測定値が１００℃よりも高温となる箇所に第１温度計を設置すると、振動する温度幅が大きく演算される設定風量が頻繁に変動するため、安定した制御に不向きである。また、温度測定値が５０℃より低温となる箇所に同第１温度計を設置すると、振動する温度幅が小さく演算される設定温度の変動が鈍く、環境変化に対する応答性がよくない。

【0088】

（演算装置）
演算装置ＰＬＣは加熱空気出口区域３２ａに設けた温度計２７や温度計２８（また別途１つ以上の温度計）の温度測定値の情報を受信して、温度測定値の情報から演算を行い、ダンパユニットＶ１、ダンパユニットＶ２、ダンパユニットＶ３各々の設定風量を演算する演算部８１を備え、この演算の結果から、演算された設定風量の情報をダンパユニットＶ１、ダンパユニットＶ２、ダンパユニットＶ３各々に送信する装置である。

【0089】

しかしながら、ダンパユニットＶ１に送信する設定風量の情報は、温度測定値の情報から換算することを必ずしも要しない。例えば、低露点室Ｒに作業員がいる場合等、低露点室Ｒの湿度が増加する要因がある場合の設定風量の情報を演算装置ＰＬＣに予め設定しておく。また、低露点室Ｒの湿度が増加する要因がない場合の設定風量の情報を演算装置ＰＬＣに予め設定しておく。そして、演算装置ＰＬＣが前者の場合と後者の場合のそれぞれの設定風量の情報をダンパユニットＶ１に送信するように制御してもよい。

【0090】

（制御）
加熱空気の風量制御の一例については、先ず温度計２７の測定値（場合により温度計２７の測定値に加え、温度計２８の測定値）の情報を演算装置ＰＬＣが受信する。受信された測定値の情報から加熱空気の設定風量が演算される。この設定風量の情報がダンパユニットＶ２（必要に応じてダンパユニットＶ２及びダンパユニットＶ３）に送信される。設定風量の情報を受信したダンパユニットＶ２（必要に応じてダンパユニットＶ２及びダンパユニットＶ３）によってダンパ部の開度が調節され、再生域３１ａに設定風量の加熱空気が導入される。しかしながら、加熱空気の風量制御はこれに限るものではなく、供給ファン１７の風量を増減させたり、ダンパユニットＶ１のダンパ部の開度が調節されて、設定風量を再生域３１ａに導入されるようにしてもよい。また、その他の機器、例えば、再生ファン１６、冷却コイル３５、ヒータ３４等の設定が適宜調節されて設定風量が定まるようにしてもよい。

【0091】

また別の制御として、次記の例を提示できる。例えば、温度計２７の測定値の情報を演算装置ＰＬＣが受信する。受信された測定値の情報からダンパユニットＶ２を流れる第１設定風量とダンパユニットＶ３を流れる第２設定風量とが演算される。この第１設定風量の情報をダンパユニットＶ２が受信する。また、第２設定風量の情報をダンパユニットＶ３が受信する。ダンパユニットＶ２がこの第１設定風量の外気ＯＡ１を送風する。ダンパユニットＶ３がこの第２設定風量の冷却空気を送風する。

【0092】

ところで、再生域３１ｂでは、ヒータ３４で加熱された空気が連続的に通過する。吸着ロータ３１の回転により、吸着ロータ３１の吸着部材が有する各筒部は、減湿域３１ｃから再生域３１ａへ、その後パージ域３１ｂへ移動し、さらにその後、再度減湿域３１ｃへ移動し、この回転を繰り返す。この各筒部が減湿域３１ｃから再生域３１ａへ差し掛かった直後では、当該筒部に水分が多量に吸着されており、相対的に低温である。その後、吸着ロータ３１が回転し、この当該筒部が再生域３１ａからパージ域３１ｂへ差し掛かる直前では、当該筒部から水分が脱着されており、相対的に高温である。よって、加熱空気出口区域３２ａにおけるパージ空気入口区域３２ｂ側（すなわち、図３の位置角度θが９０°側）を流れる空気の温度の方が、加熱空気出口区域３２ａにおける冷却空気入口区域３２ｃ側（すなわち、図３の位置角度θが０°側）を流れる空気の温度よりも高い。換言すれば、図４に示すように、加熱空気出口区域３２ａにおける位置角度の大きい側（例えば、θ＝８１°）の温度の方が位置角度の小さい側（例えば、θ＝３３°）の温度よりも高温である。

【0093】

再生域３１ａを通過する空気の風量が増加すると、再生域３１ａにおける位置角度が大きい箇所ほど水分の脱着が促進される。しかしながら、位置角度が相対的に小さい箇所では依然として、水分が多量に吸着している。そうすると、例えば、風量を増加させる前よりも増加させた後の方が、加熱空気出口区域３２ａの位置角度６５°（すなわち、位置角度が相対的に大きい角度）における空気の温度は上昇する。一方、加熱空気出口区域３２ａの位置角度３３°（すなわち、位置角度が相対的に小さい角度）における空気の温度は、位置角度６５°のおける空気の温度ほど上昇しない。したがって、風量を増加させることで加熱空気出口区域３２ａに設置された、温度計２７の温度測定値、温度計２８の温度測定値との差（温度差）は大きくなる。

【0094】

他方、再生域３１ａを通過する空気の風量が減少すると、再生域３１ａにおける位置角度が大きい箇所でも水分の脱着は促進され難くなる。また、位置角度が相対的に小さい箇所も依然として、水分が多量に吸着している。そうすると、例えば、風量を減少させる前よりも減少させた後の方が、加熱空気出口区域３２ａの位置角度θ＝６５°（すなわち、位置角度が相対的に大きい角度）における空気の温度は降下する。一方、加熱空気出口区域３２ａの位置角度θ＝３３°（すなわち、位置角度が相対的に小さい角度）における空気の温度は、位置角度θ＝６５°における空気の温度ほど降下しない。したがって、風量を減少させることで加熱空気出口区域３２ａに設置された、温度計２７の温度測定値、温度計２８の温度測定値との差（測定温度差）は小さくなる。

【0095】

（工程）
ダクト４２に導入された外気ＯＡ１が冷却コイル３５を通過した後の空気の温度は特に限定されないがおよそ５℃程度となる。冷却が不十分な場合は、調節計２６による調節で冷却コイル３５を流れる冷却水流量が増加し所望の空気温度になる。しかしながら、例えば、冬季では外気ＯＡ１の温度が調節計２６の設定温度よりも低い場合は、空気の温度が設定温度よりも低いまま供給ファン１７に導入されてもよい。次いで、供給ファン１７に冷却後の空気が導入され、減湿域３１ｃ、そしてその下流側の低露点室Ｒに空気が供給される。減湿域３１ｃでは供給ファン１７から送風された空気に含まれる水分が減湿域３１ｃに備わる吸着材に吸着される。減湿されたおよそ４０℃程度の空気が、減湿域３１ｃ、冷却空気出口区域３３ｃを通過して冷却空気出口区域３３ｃの下流端に備わるダクト４５から低露点室Ｒに給気ＳＡとして供給される。ダクト４５にはダンパユニットＶ１が備わり、給気ＳＡの供給風量が所定値になるよう調節される。ダクト４５には露点計Ｄ２を設けることができ、露点の測定値の情報を記録している。しかしながら、露点の測定値の情報を演算装置ＰＬＣに送信し、演算装置ＰＬＣが露点の測定値を記録するようにしてもよい。また、供給ファン１７による風量を必要以上に高めることは、主に必要除湿量が増え、冷却コイル３５の処理熱量と吸着ロータ３１の水分脱着に要する加熱空気風量が増えるため、省エネルギー化を図る観点からは適切ではない。圧力計Ｐ２をダクト４５の任意の場所、好ましくは冷却空気出口区域３３ｃに近接する場所、に設けるとよい。ダクト４５の圧力値を所定の圧力とすることで、低露点室Ｒに供給される給気ＳＡ量を所定量に維持でき省エネルギー化を図ることができる。

【0096】

低露点室Ｒの室温は室内で作業する作業員の人数や低露点室Ｒ外の雰囲気により変動するものの、およそ２０℃程度の室温となる。低露点室Ｒに例えば作業員が在中する場合、同室Ｒ内湿度が増加するので低露点状態を保つため、給気ＳＡを継続的又は断続的に供給されるとよい。そして、低露点室Ｒ内の空気の一部を還気ＲＡとして低露点室Ｒに接続されたダクト４１で同室Ｒ外に排除することで低露点室Ｒの低露点状態を保つようにできる。ダクト４１に備わる圧力調整ダンパＰＣＤとこの圧力調節ダンパＰＣＤに設定圧力値を発信する調節計２４で低露点室Ｒの圧力値を所定値に維持することは前述のとおりである。ダクト４１には還気ＲＡの露点を測定するための露点計Ｄ１を設けることができる。露点計Ｄ１を設ける位置は特に限定されないが、ダクト４１における圧力調整ダンパＰＣＤの下流側に設置すると、測定値が安定し好適である。この露点計Ｄ１で露点の測定値の情報を記録している。しかしながら、露点の測定値の情報を演算装置ＰＬＣに送信し、演算装置ＰＬＣが露点の測定値を記録するようにしてもよい。

【0097】

ダクト４６からパージ空気入口区域３２ｂに配されるダクト４７が設けられている。ダクト４７に設けられたダンパユニットＶ２は、パージ域３１ｂ及びその下流側にある再生域３１ａに導入される風量を調節している。再生ファン１６の運転でパージ域３１ｂ、次いでパージ空気出口区域３３ｂの下流側に接続されたダクト４８を通過した空気が、ヒータ３４を備えたダクト４４に導入される。ヒータ３４を通過した空気はおよそ１４０〜２００℃程度となり加熱空気入口区域３１ａを通過し再生域３１ｂ導入される。温度計Ｔ１の測定値が調節計１５の設定温度と異なる場合は、調節計１５による調節で加熱空気入口区域３２ｂに導入される空気温度が所望の温度となる。再生ファン１６はパージ空気出口区域３３ｂに接続されたダクト４８の圧力値を所定の圧力に保つことを目的の一つとする。

【0098】

減湿域３１ｃで水分を吸着した吸着部材が吸着ロータ３１の回転で再生域３１ａに到達すると、加熱空気入口区域３２ｂからの高熱空気の導入で吸着された水分が徐々に脱着し始める。さらなる吸着ロータ３１の回転で再生域３１ａの位置角度が大きくなるにつれ水分が十分量脱着する。高熱空気の連続的な通過により再生域３１ａにおける水分の脱着とともに当該吸着部材は次第に高温（例えば、８０〜１４０℃）となる。再生域３１ａから温度計２７（別途温度計２８やその他の温度計が備わる場合はそれらの温度計）を備えた加熱空気出口区域３２ａを通過した空気は再生ファン１６を経てダクト４３を通り除湿システム１０外へ排気ＥＡ１として排出される。

【0099】

再生域３１ａに導入される空気はパージ域３１ｂ通過後の空気のみでは不足し、十分な水分の脱着（再生）を行えない場合がある。この場合、ダクト４４に接続されるダクト４９に外気ＯＡ２を導入することで補うことができる。外気ＯＡ２の導入量を調節するためダンパユニットＶ３がダクト４９に備わる。

【0100】

ダンパユニットＶ１、ダンパユニットＶ２、ダンパユニットＶ３の調節については、温度計２７（別途温度計２８やその他の温度計が備わる場合はそれらの温度計）の測定温度の情報を演算装置ＰＬＣが受信し、その測定温度の情報から設定風量を換算し、換算された設定風量をダンパユニットＶ１、ダンパユニットＶ２、ダンパユニットＶ３に送信する。温度計が複数の場合（例えば、温度計２７と温度計２８が備わる場合）は、これらの測定温度の情報を演算装置ＰＬＣが受信し、これらの測定温度の情報から例えば、これら２つの温度測定値の差を演算し、演算結果から設定風量を換算し、換算された設定風量をダンパユニットＶ１、ダンパユニットＶ２、ダンパユニットＶ３ユニットに送信する。

【0101】

ダンパユニットＶ１に関しては、システム上設定できる最大風量と、最小風量をそれぞれ最大設定風量、最小設定風量に決めておき、（１）低露点室Ｒの低露点状態が維持される場合は、最小設定風量をダンパユニットＶ１に送信し、（１）以外の場合は、最大設定風量をダンパユニットＶ２に送信するという制御を行ってもよい。

【0102】

本実施形態では、減湿域３１ｃを通過する冷却空気とパージ域３１ｂを通過するパージ空気が同方向に吸着ロータ３１の筒部を通過する。またパージ域３１ｂを通過する空気の風向を再生域３１ａを通過する空気の風向と実質的に逆方向としている。逆向きとすると次の利点がある。低露点室Ｒに供給される給気ＳＡの湿度は、減湿域３１ｃの減湿性能に依存する。そして、この給気ＳＡの湿度は特に減湿域３１ｃの出口側の空気の湿度に依存する。通常の稼働時ではヒータ３４で加熱された空気が再生域３１ａに導入されるので、再生域３１ａ入口付近の水分は十分に脱着される。一方、再生域３１ａ出口付近の水分は再生域３１ａ入口付近の水分と比較して同程度に脱着されていてもよいし、脱着されていなくてもよい。また、再生域３１ａにおけるパージ域３１ｂ寄りで、かつ軸芯方向の温度分布は、再生域３１ａ入口付近の方が再生域３１ａ出口付近よりも高い状態となる。この状態で吸着ロータ３１が回転するので、再生域３１ａ入口付近に近接するパージ域３１ｂ出口付近の温度が、パージ域３１ｂ入口付近の温度よりも相対的に高い状態となる。さらにこの状態で吸着ロータ３１が回転するので、減湿域３１ｃにおいては出口付近の方が入口付近よりも温度が高く水分の脱着が十分になされる。よって、減湿域３１ｃを通過する空気が減湿域３１ｃ出口付近に至るまでに確実に吸着される。減湿域３１ｃから導出された空気は確実に減湿されているので、低露点室Ｒの露点条件を満足する給気ＳＡが低露点室Ｒに供給されることになる。

【0103】

しかしながら、パージ域３１ｂを通過する空気の風向を再生域３１ａを通過する空気の風向と実質的に同方向としてもよい（図１６参照）。この場合、パージ域３１ｂに接続されるダクト８１をダクト４５から分岐させ、パージ域３１ｂを通過した空気をダクト５０に導入させるために、ダクト８２の上流端をパージ域３１ｂ側、下流端をダクト５０に接続するとよい。

【0104】

＜第２実施形態＞
除湿システム１０の第２実施形態を図１３を参照しつつ説明する。第２実施形態が前述の第１実施形態と異なる点は、冷却コイル３５ａ、温度計Ｔ２ａ、調節計２６ａを追加した点と、ダンパユニットＶ２の位置をダクト４３に移動させた点である。

【0105】

予め設定された温度（設定温度）を調節計２６ａに設定しておき、温度計Ｔ２ａで測定された温度が同設定温度と異なるときは、同設定温度に近づくように調節される。調節の方式は、特に限定されないが、ＰＩＤ制御、ＰＩ制御を一例とすることができる。例えば、温度計Ｔ２ａで測定された温度が設定温度よりも高い場合、調節計２６ａが図示しない電動バルブの開度を開き方向に変更して冷却コイル３５ａに流れる冷却水量を増加させる。結果、減湿域３１ｃを通過した空気が冷却され、設定温度に近づく。一方、温度計Ｔ２ａで測定された温度が設定温度よりも低い場合、調節計２６ａが図示しない電動バルブの開度を閉じ方向に変更して冷却コイル３５ａに流れる冷却水量を減少させる。結果、減湿域３１ｃを通過した空気の冷却が緩和されて、設定温度に近づく。温度計Ｔ２ａで測定される温度が設定温度になった場合、同設定温度の状態が維持される。

【0106】

例えば、減湿域３１ｃを通過した直後の空気の温度が４０℃程度である場合、冷却コイル３５ａにより同空気を冷却することで低露点室Ｒに冷却された給気ＳＡを供給することができる。

【0107】

また、再生域３１ａを通過する空気はパージ域３１ｂを通過した空気と外気ＯＡ２とが合流された空気で構成される。ダンパユニットＶ２のダンパ部の開度とダンパユニットＶ３のダンパ部の開度を調節することでパージ域３１ｂを通過する空気量が決定される。例えば、ダンパユニットＶ２を流れる空気量をＡ２、ダンパユニットＶ３を流れる空気量をＡ３とすると、パージ域３１ｂを通過する空気量がＡ２−Ａ３（Ａ２からＡ３を差し引いた量）となる（ただし、Ａ２＞Ａ３とする。）。

【0108】

＜第３実施形態＞
除湿システム１０の第３実施形態を図１４を参照しつつ説明する。第３実施形態が前述の第１実施形態と異なる点は、調節計１１、調節計１２、調節計１５、調節計２４、調節計２６を設けず、これら調節計の機能を演算装置ＰＬＣに担わせた点である。温度計２７、温度計２８からの測定値の情報を演算装置ＰＬＣが受信し、演算結果に基づく設定値の情報をダンパユニットＶ１、ダンパユニットＶ２、ダンパユニットＶ３に発信する手段は、第１実施形態と同様である。これに加えて、第３実施形態では温度計Ｔ１、温度計Ｔ２、圧力計Ｐ１、圧力計Ｐ２、圧力計Ｐ３の測定値の情報を演算装置ＰＬＣが送信する。演算装置ＰＬＣで演算された結果に基づく調節値（制御値）の情報が冷却コイル３５、供給ファン１７、ＰＣＤ２３、ヒータ３４、再生ファン１６に送信される。これらの送信及び受信は有線で行われてもよいし、無線で行われてもよい。

【0109】

具体的には、冷却コイル３５の調節については、まず温度計Ｔ２で測定された温度の情報が演算装置ＰＬＣに送信される。予め設定された温度（設定温度）と測定された温度が異なるときは、演算装置ＰＬＣが、温度計Ｔ２で測定される温度を設定温度に近づけるように調節する信号を冷却コイル３５に送信する。また、設定温度と測定された温度が一致又はほぼ一致するときは、演算装置ＰＬＣは温度計Ｔ２で測定される温度を設定温度に近づけるように調節する信号を冷却コイル３５に送信しない。なお、設定温度の情報は演算装置ＰＬＣに格納しておくとよい。

【0110】

ヒータ３４の調節については、まず温度計Ｔ１で測定された温度の情報が演算装置ＰＬＣに送信される。予め設定された温度（設定温度）と測定された温度が異なるときは、演算装置ＰＬＣが、温度計Ｔ１で測定される温度を設定温度に近づけるように調節する信号をヒータ３４に送信する。また、設定温度と測定された温度が一致又はほぼ一致するときは、演算装置ＰＬＣは温度計Ｔ１で測定される温度を設定温度に近づけるように調節する信号をヒータ３４に送信しない。なお、設定温度の情報は演算装置ＰＬＣに格納しておくとよい。

【0111】

供給ファン１７の調節については、まず圧力計Ｐ２で測定された圧力値の情報が演算装置ＰＬＣに送信される。予め設定された圧力値（設定圧力値）と測定された圧力値が異なるときは、演算装置ＰＬＣが、圧力計Ｐ２で測定される圧力値を設定圧力値に近づけるように調節する信号を供給ファン１７に送信する。また、設定圧力値と測定された圧力値が一致又はほぼ一致するときは、演算装置ＰＬＣは圧力計Ｐ２で測定される温度を設定圧力値に近づけるように調節する信号を供給ファン１７に送信しない。なお、設定圧力値の情報は演算装置ＰＬＣに格納しておくとよい。

【0112】

再生ファン１６の調節については、まず圧力計Ｐ１で測定された圧力値の情報が演算装置ＰＬＣに送信される。予め設定された圧力値（設定圧力値）と測定された圧力値が異なるときは、演算装置ＰＬＣが、圧力計Ｐ１で測定される圧力値を設定圧力値に近づけるように調節する信号を再生ファン１６に送信する。また、設定圧力値と測定された圧力値が一致又はほぼ一致するときは、演算装置ＰＬＣは圧力計Ｐ１で測定される圧力値を設定圧力値に近づけるように調節する信号を再生ファン１６に送信しない。なお、設定圧力値の情報は演算装置ＰＬＣに格納しておくとよい。

【0113】

圧力調整ダンパ２３の調節については、まず圧力計Ｐ３で測定された圧力値の情報が演算装置ＰＬＣに送信される。予め設定された圧力値（設定圧力値）と測定された圧力値が異なるときは、演算装置ＰＬＣが、圧力計Ｐ３で測定される圧力値を設定圧力値に近づけるように調節する信号を圧力調整ダンパ２３に送信する。また、設定圧力値と測定された圧力値が一致又はほぼ一致するときは、演算装置ＰＬＣは圧力計Ｐ１で測定される圧力値を設定圧力値に近づけるように調節する信号を圧力調整ダンパ２３に送信しない。なお、設定圧力値の情報は圧力調整ダンパ２３又は演算装置ＰＬＣに格納しておくとよい。

【0114】

測定される温度と設定温度との調節の方式、及び測定される圧力値と設定圧力値との調節の方式は、特に限定されないが、ＰＩＤ制御、ＰＩ制御を一例とすることができる。第３実施形態では、演算装置ＰＬＣが、第１実施形態で設けている調節計１１、調節計１２、調節計１５、調節計２４、調節計２６に代わって、調節計の機能を備えている。演算装置ＰＬＣは、これら調節計全てに代わって同調節計の機能を備えてもよいし、これら調節計の一部（例えば、温度に関わる調節計１５、調節計２６）に代わって同調節計の機能を備えてもよい。演算装置ＰＬＣに調節計の機能を持たせ、調節計全部または一部を設置しないことで調節計全部又は一部を設置するコストを低減できる利点がある。

【0115】

前述の、課題を解決するための手段に次の形態をさらに備えた手段を、好ましい手段として次記に提示できる。
＜形態１に係る手段＞
前記吸着部材相互がシール材で接合された接合部を複数有する、
減湿システム。

【0116】

吸着ロータを通過する空気は区画された吸着部材に備わる筒部を通過するのが好ましい。しかしながら、この筒部ではなく、吸着部材相互の接合部を空気が通過すると、水分の吸着及び脱着の効率が低下する。接合部にシール材を備え、吸着部材相互が接合部で接着されていると、接合部を流れる空気量が減少する。そうすると、吸着部材に備わる筒部を通過する空気が増加するので水分の吸着及び脱着の効率化が図られる。

【0117】

＜形態２に係る手段＞
前記減湿域を通過する前記冷却空気と前記パージ域を通過するパージ空気が同方向に前記吸着ロータの筒部を通過し、
前記吸着ロータにおける前記冷却空気の出口側の端面に、前記吸着ロータの筒部を通過する空気の通過域であるチャンバが隣接して備わり、
前記チャンバが前記冷却空気を通過させる冷却空気出口区域と、前記パージ空気を通過させるパージ空気出口区域とを有し、
前記冷却空気出口区域と前記パージ空気出口区域が仕切られ、
前記冷却空気出口区域の気圧が前記パージ空気出口区域の気圧よりも高い、
減湿システム。

【0118】

冷却空気出口区域の圧力をパージ空気出口区域の圧力よりも高め、これらの圧力差を維持しておくことで、パージ空気出口区域から冷却空気出口区域への空気の流入を防止できる。結果、低露点室Ｒは所定値Ｄｐ以下の露点に維持される。

【0119】

＜形態３に係る手段＞
前記温度幅が５℃以上１０℃未満となる箇所に、第２温度計が設置されており、
前記第１温度計の測定値と前記第２温度計の測定値との温度差の情報から演算された加熱空気の設定風量を前記再生域に通過させ、前記温度差が予め設定された数値に近づくように制御される、
減湿システム。

【0120】

温度幅が５℃以上１０℃未満となる箇所に、第２温度計を設置して、第１温度計の測定値の情報と第２温度計の測定値の情報を得ることで、加熱空気出口領域における２箇所の位置角度における温度を測定できる。設定風量の演算に用いられる入力値が２つ（つまり、２箇所の位置角度における温度の測定値）あり受信される情報量が多いので、再生域３１ａに導入すべき加熱空気風量の演算が迅速になされる。結果、低露点室Ｒの露点の変化に対する加熱空気風量の即応性が向上する。ここで、予め設定された数値を６７〜８３℃とすると加熱空気風量の即応性の向上が認められ好適である。しかしながら、６７〜８３℃以外の範囲でも適宜定めることができる。

【0121】

＜形態４に係る手段＞
前記第１温度計で所定の時刻から１０〜６００秒間に測定された複数の測定値から第１平均値を求め、
前記第２温度計で前記所定の時刻から１０〜６００秒間に測定された複数の測定値から第２平均値を求め、
前記第１平均値と前記第２平均値との差の情報から演算された加熱空気の設定風量を前記再生域に通過させ、前記第１平均値と前記第２平均値の差が予め設定された数値に近づくように制御される、
減湿システム。

【0122】

第１平均値と第２平均値の差を入力値とすると、吸着ロータ３１の回転に伴う、これらの平均値の差の振動が緩和される。これらの平均値の差から演算された加熱空気の風量が時間経過に対して振動し難くなる。

【0123】

＜形態５に係る方法＞
前記第１温度計の測定値の情報から加熱空気の設定風量が演算される演算工程と、
前記演算工程で演算された加熱空気の設定風量が前記再生域を通過し、前記第１温度計の測定値が予め設定された温度に近づくように制御される制御工程と、
を備える減湿システムの運転方法。

【0124】

演算工程では、第１温度計（温度計２７）の測定値の情報を演算装置ＰＬＣが受信し、その情報をもとに、例えば、演算装置ＰＬＣに備わる温度と設定風量の換算式により加熱空気の設定風量が算出される。その他、温度と設定風量の対応表により加熱空気の設定温度が算出されるとしてもよい。また、温度計２７の測定値に加え、減湿域を通過する風量の変化の情報も演算装置ＰＬＣが受信する形態としてもよい。その設定風量の情報の送信を受けたダンパユニットＶ２とダンパユニットＶ３の少なくとも一方のダンパ開度が調節される。そして、加熱空気の設定風量を再生域３１ａに通過させ、温度計２７の測定値が予め設定された温度に近づくように制御される。このような工程による制御で前述の課題を解決する手段の効果と同様の効果を有する。

【0125】

＜形態６に係る方法＞
前記第１温度計の測定値の情報から加熱空気の設定風量が演算される演算工程と、
前記演算工程で演算された加熱空気の設定風量を前記再生域に通過させ、前記第１温度計の測定値が予め設定された温度に近づくように制御される制御工程と、
を備える減湿システムの運転方法。

【0126】

態様１に係る手段と同様の効果を奏する。

【0127】

＜形態７に係る方法＞
前記第１温度計の測定値の情報から加熱空気の設定風量が演算される演算工程と、
前記演算工程で演算された加熱空気の設定風量を前記再生域に通過させ、前記第１温度計の測定値が予め設定された温度に近づくように制御される制御工程と、
前記制御工程と同時に、前記冷却空気出口区域の気圧を前記パージ空気出口区域の気圧よりも高く維持する圧力差維持工程と、
を備える減湿システムの運転方法。

【0128】

態様２に係る手段と同様の効果を奏する。圧力差維持工程は、演算工程及び制御工程に先立ち、行われてもよいが、同時に行われると好適である。

【0129】

＜形態８に係る方法＞
前記第１温度計の測定値の情報と前記第２温度計の測定値の情報を受信して、これら２つの測定値の情報から加熱空気の設定風量が演算される演算工程と、
前記演算工程で演算された加熱空気の設定風量を前記再生域に通過させ、前記第１温度計の測定値と前記第２温度計の測定値の温度差が予め設定された数値に近づくように制御される制御工程と、
を備える減湿システムの運転方法。

【0130】

演算工程には、加熱空気出口区域３２ａに設置する温度計を２本以上、例えば、３本〜５本設置する形態としてもよい。例えば、振動する温度幅が０〜５℃となる位置や、５℃以上１０℃未満となる位置、１５〜２５℃となる位置、２０〜３０℃となる位置のいずれか１箇所以上に温度計を備えることもできる。そして、設置したこれらの温度計のうちの２本の温度計を選択して、同２本の温度計の測定値の情報を受信して、これら２つの測定値の情報から加熱空気の設定風量が演算される演算工程とすることができる。そして、演算工程で演算された加熱空気の設定風量を前記再生域に通過させ、同２本の温度計それぞれの測定値の温度差が予め設定された数値に近づくように制御される制御工程としてもよい。

【0131】

＜形態９に係る方法＞
前記第１温度計の測定値の情報を受信して、前記所定の時刻から１０〜６００秒間に測定された複数の測定値から第１平均値を求める第１平均値演算工程と、
前記第２温度計の測定値の情報を受信して、前記所定の時刻から１０〜６００秒間に測定された複数の測定値から第２平均値を求める第２平均値演算工程と、
前記第１平均値演算工程で求められた前記第１平均値と前記第２平均値演算工程で求められた第２平均値との差の情報から加熱空気の設定風量が演算される演算工程と、
前記演算工程で演算された加熱空気の設定風量を前記再生域に通過させ、前記第１温度計の測定値と前記第２温度計の測定値の温度差が予め設定された数値に近づくように制御される制御工程と、
を備える減湿システムの運転方法。

【0132】

第１平均値演算工程では、温度計２７の測定値の情報を受信して、所定の時刻から１０〜６００秒間に測定された複数の測定値から第１平均値を求める工程である。また、第２平均値演算工程では、温度計２８の測定値の情報を受信して、所定の時刻から１０〜６００秒間に測定された複数の測定値から第２平均値を求める工程である。しかしながら、平均する時間は１０〜２０秒、２０〜３０秒、３０〜６０秒、６０〜１２０秒、１２０〜３００秒、３００〜６００秒としてもよい。また、平均値の求め方は 前述の種々の平均法で行うことができる。また、第１平均値演算工程と第２平均値演算工程で平均する時間帯を必ずしも同時刻とする必要はない。例えば、第１平均値演算工程では所定の時刻から１０〜２０秒間に測定された複数の測定値から第１平均値を求める。第２平均値演算工程では所定の時刻から２０秒経過時点から１０〜２０秒間に測定された複数の測定値から第２平均値を求める。そして、第１平均値と第２平均値との差の情報から加熱風量の設定風量が演算される演算工程としてもよい。その後、演算工程で演算された加熱空気の設定風量を再生域に通過させ、第１温度計の測定値と第２温度計の測定値の温度差が予め設定された数値に近づくように制御される制御工程を行う。これにより、振動する温度幅の影響を受け難く、安定し、かつランニングコストを抑えた減湿システムの稼働を行うことができる。

【実施例】

【0133】

(実施例１)
（再生出口温度分布グラフ）
加熱空気出口区域３２ａの振動する温度幅が、同区域３２ａ内で異なることを発明者は知見している。この加熱空気出口区域３２ａの温度分布の一例を図４を参照しつつ説明する。加熱空気出口区域３２ａの位置角度３３°、４１°、４９°、５７°、６５°、７３°、８１°の箇所に温度計をそれぞれ設置し、それぞれの温度を測定した。測定は、１８時間程度継続したが、図４にはそのうちの一部の時間帯を示した。温度分布の傾向は、図４に示した時間帯だけではなく、測定した全ての時間帯において同様であった。この測定時に吸着ロータ３１に流した空気の風量はおよそ７００ｍ³／ｈであった。所定の時刻における、中心角を９０°とする加熱空気出口区域３２ａの温度分布については、吸着ロータ３１の回転方向の位置角度θが大きくなるにしたがい、温度が高まる傾向にある。例えば、時刻２：０６における加熱空気出口区域３２ａの温度は、吸着ロータ３１の回転方向の位置角度３３°の箇所では４１℃、位置角度４１°の箇所では５３℃、位置角度４９°の箇所では５５℃、位置角度５７°の箇所では６０℃、位置角度６５°の箇所では７４℃、位置角度７３°の箇所では９０℃、位置角度８１°の箇所では１１７℃である。また、時刻の経過にしたがい、位置角度３３°の箇所の温度が上下に振動する現象が生じている。この現象は、別の箇所、例えば、位置角度４１°の箇所、位置角度４９°の箇所、位置角度５７°の箇所、・・・でも生じている。そして、おおよそ位置角度が大きい箇所ほど、この振動の温度幅が大きくなる傾向にある。例えば、この温度幅は位置角度３３°では９．１℃、位置角度４１°では７℃、位置角度４９°では８．１℃、位置角度５７°では９．１℃、位置角度６５°では１６．５℃、位置角度７３°では２９．２℃、位置角度８１°では４１℃となっている。また、各位置角度相互における振動の周期はおよそ一致している。なお、図４に示す再生出口温度分布グラフの時刻に対する温度幅の曲線は、吸着ロータ３１に流した空気の風量をおよそ１４００ｍ³／ｈ、３５０ｍ³／ｈにした場合においてもほぼ同様の曲線になった。

【0134】

前述で示した現象が生じる理由は定かではないが、おそらくシール材６４の関与によるものと思われる。吸着ロータ３１を構成する吸着部材とシール材６４とで熱容量がことなる可能性がある。この熱容量の相違により、吸着部材におけるシール材６４の近傍領域を通過する空気は相対的に低温となり、シール材６４の近傍領域から離れた領域を通過する空気は相対的に高温となる。
例えば、吸着ロータ３１の両端面にシール材６４が吸着ロータ３１の半径方向外方に複数配される形態を一例に示す。吸着ロータ３１の回転とともにシール材６４も回転するため、例えば第１のシール材６４が温度の測定箇所（例えば、位置角度６５°）に接近したときに流れる空気の温度が低下する。その後、吸着ロータ３１が回転を継続し第１のシール材６４が温度の測定箇所から離隔すると、流れる空気の温度が上昇する。その後、吸着ロータ３１が回転を継続し、次の第２のシール材６４が温度の測定箇所（例えば、位置角度６５°）に接近したときに、再度流れる空気の温度が低下する。さらにその後、吸着ロータ３１が回転を継続し、この第２のシール材６４が温度の測定箇所から離隔すると、再度流れる空気の温度が上昇する。このように、吸着ロータ３１の回転で第１のシール材６４、第２のシール部材６４、第３のシール部材６４、・・・が温度の測定箇所に接近することと離隔することを繰り返すため、温度の測定箇所における温度が上下に振動すると推測される。

【0135】

また、加熱空気出口区域３２ａの位置角度θが大きくなるにしたがって、当該位置角度における所定の時間（期間）の間測定された温度分布を平均した平均温度は、高くなる傾向にある。

【0136】

図４に示した時刻に関わらず除湿システム１０の稼働を継続する間において上記傾向が示され、また、位置角度が大きくなるほど上下に振動する温度幅も大きくなる、ことを発明者は知見している。
（実施例２）

【0137】

温度計２７を加熱空気出口区域３２ａの位置角度６５°に設置し、温度計２８を加熱空気出口区域３２ａの位置角度３３°に設置した。温度計２７の測定値と温度計２８の測定値との差が予め設定された温度３８℃に近づくように除湿システム１０を稼働させた。結果を図１９に示す。なお、給気ＳＡの露点が常時−５５℃以下である状態を良好と判断する。

【0138】

図１９で横軸は時間（単位：分）、左縦軸は露点（単位：℃）、右縦軸は風量（単位：ｍ³／ｈ）である。給気ＳＡの風量８４を当初（０分）〜４７分まで１４２２ｍ³／ｈ、４７分〜１０６分まで３５６ｍ³／ｈ、１０６分〜１２７分まで１４２２ｍ³／ｈとした。再生空気の出口風量８５は０分〜４７分までおよそ４５０ｍ³／ｈ、その後減少し当初から５８分後２００ｍ³／ｈになり、同５８分後〜１０６分後まで２００〜２２０ｍ³／ｈで推移し、その後同１０６分後〜１１５分後までおよそ４５０ｍ³／ｈに達し、その後１２７分まで４５０ｍ³／ｈに維持された。当初から１２７分まで給気ＳＡの露点８６が−５５℃よりも低く良好であった。
＜その他＞
本明細書に記載される「吸着」とは、物体の界面において、水分濃度が周囲よりも増加する現象をいう。例えば、水分が吸着ロータ３１の界面に付着することにより付着された部分の水分濃度がその部分の周囲よりも増加する現象をいうことができる。また、「脱着」とは、物体の界面において、水分濃度が周囲よりも減少する現象をいう。例えば、水分が吸着ロータ３１の界面から脱離することにより脱離された部分の水分濃度がその部分の周囲よりも減少する現象をいうことができる。

【0139】

以上、本発明に係る実施の形態を説明したが、本発明は係る実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。本発明が、ここに記載された実施形態に描かれ、実施形態はかなり詳細に記載されているが、出願人は、この記載によって添付する特許請求の範囲をいかようにも制限、限定する意図はない。追加の利点や修正は、当業者に理解され、一つの実施形態に記載された要素は、他の実施形態にも採用可能である。本発明は、広い面で特定の詳細事項に限定されず、各々の機器と実施例が示され、記載されている。したがって、出願人の一般的発明概念の精神と範囲から乖離しないで、これらの詳細に記載された事項から離れることもあり得る。

【産業上の利用可能性】

【0140】

本発明による減湿システム及びその減湿システムの運転方法は、各種分野において種々の目的のため空気を減湿することに利用することができる。

【符号の説明】

【0141】

１０ 除湿システム
１１ 調節計
１２ 調節計
１５ 調節計
１６ 再生ファン
１７ 供給ファン
２３ 圧力調整ダンパ
２４ 調節計
２６ 調節計
２７ 温度計
２８ 温度計
３１ 吸着ロータ
３１ａ 再生域
３１ｂ パージ域
３１ｃ 減湿域
３２ チャンバ
３２ａ 加熱空気出口区域
３２ｂ パージ空気入口区域
３２ｃ 冷却空気入口区域
３３ チャンバ
３３ａ 加熱空気入口区域
３３ｂ パージ空気出口区域
５２ａ 仕切り板
５２ｂ 仕切り板
５２ｃ 仕切り板
５３ａ 仕切り板
５３ｂ 仕切り板
５４ｃ 仕切り板
６４ シール材
７１ 吸着ロータの回転方向
８１ 演算部
８２ 温度差
８３ 温度差
ＯＡ１ 外気
ＯＡ２ 外気
ＥＡ１ 排気
ＰＬＣ 演算装置
Ｐ１ 圧力計
Ｐ２ 圧力計
Ｐ３ 圧力計
Ｔ１ 温度計
Ｔ２ 温度計
Ｖ１ ダンパユニット
Ｖ２ ダンパユニット
Ｖ３ ダンパユニット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】