特許6843233オーバーコーティングされたフォトレジストと共に使用するためのコーティング組成物

発明の名称　オーバーコーティングされたフォトレジストと共に使用するためのコーティング組成物

出願人　ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ・コリア・リミテッド　（識別番号 509266480）

　　　　特許公開件数ランキング 1270 位（17件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1497 位（13件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6843233

公報発行日　2021年3月17

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6843233

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