特許 6843676 剤料供給方法及び対象構造体

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6843676

(24)【登録日】2021年2月26日

(45)【発行日】2021年3月17日

(54)【発明の名称】剤料供給方法及び対象構造体

(51)【国際特許分類】

   B05D 3/00 20060101AFI20210308BHJP

   G11B 5/60 20060101ALI20210308BHJP

   G11B 21/21 20060101ALI20210308BHJP

   B05D 1/26 20060101ALI20210308BHJP

【ＦＩ】

   B05D3/00 B

   G11B5/60 P

   G11B21/21 D

   B05D1/26 Z

   B05D3/00 D

【請求項の数】10

【全頁数】25

(21)【出願番号】特願2017-68624(P2017-68624)

(22)【出願日】2017年3月30日

(65)【公開番号】特開2018-167231(P2018-167231A)

(43)【公開日】2018年11月1日

【審査請求日】2019年8月7日

(73)【特許権者】

【識別番号】000004640

【氏名又は名称】日本発條株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100110629

【弁理士】

【氏名又は名称】須藤 雄一

(74)【代理人】

【識別番号】100166615

【弁理士】

【氏名又は名称】須藤 大輔

(72)【発明者】

【氏名】寺本 祥宏

(72)【発明者】

【氏名】井上 勝

(72)【発明者】

【氏名】下田 武志

【審査官】 塩屋 雅弘

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００４−０７１２２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−０２３４４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００８／００５６９１５（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２０１２−０３８９１４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１２／００３３３９５（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 中国特許出願公開第１０２３７８４９０（ＣＮ，Ａ）

【文献】 特開２０１１−０６２５７９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ０５Ｃ ５／００−２１／００

Ｂ０５Ｄ １／００−７／２６

Ｇ１１Ｂ ５／５６−５／６０

２１／１６−２１／２６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

供給部が対象構造体の複数の本打ち部に間欠的に移動しながら流動性の剤料を規定された量で供給する剤料供給方法であって、
前記対象構造体は、半製品部及び半製品部から分離が予定されるフレーム部を含み、
前記フレーム部は、前記流動性の剤料の捨て打ち部を含み、
前記供給部の前記間欠的な移動による供給の開始動作を、前記供給部が前記捨て打ち部へ前記規定された量と同一の量を捨て打ちしてから行ない、
前記半製品部は、前記フレーム部に対し前記本打ち部を複数含む対象物が複数並んで連鎖状態をなし、
前記複数の対象物は、複数含む本打ち部が同一の位置関係の形態で備えられ、
前記捨て打ち部は、前記対象物が含む複数の本打ち部と同一の位置関係の形態とされ、
前記フレーム部の捨て打ち部と隣接する前記対象物の本打ち部との間のピッチは、各対象物間での本打ち部のピッチに一致する、
ことを特徴とする剤料供給方法。

【請求項2】

請求項１記載の剤料供給方法であって、
前記対象物は、前記本打ち部と共に基準孔を備えると共に、前記フレーム部は、前記捨て打ち部と共に疑似基準孔を備え、
前記供給部は、前記疑似基準孔を用いた画像処理により前記捨て打ち部に位置決められて前記捨て打ちを行った後に前記基準孔を用いた画像処理により隣接する最初の対象物の本打ち部に位置決められて本打ちを行い前記間欠的な移動に移る、
ことを特徴とする剤料供給方法。

【請求項3】

請求項１又は２記載の剤料供給方法であって、
前記捨て打ち部は、前記本打ち部を含む前記対象物の部分的な形状と同一の形状の疑似部に含まれて前記フレーム部に備えられ、
前記供給部は、前記疑似部を用いた画像処理により前記捨て打ち部に位置決められて前記捨て打ちを行った後に前記疑似部に隣接する最初の対象物の部分的な形状を用いた画像処理により前記隣接する最初の対象物の本打ち部に位置決められて本打ちを行い前記間欠的な移動に移る、
ことを特徴とする剤料供給方法。

【請求項4】

請求項１〜３の何れか１項記載の剤料供給方法であって、
前記各対象物は、ヘッドサスペンションに用いるフレキシャーの半製品であり、
前記対象構造体は、前記フレキシャーの半製品が連鎖状態をなす連鎖シートであり、
前記供給部は、前記フレキシャーの半製品ごとに前記間欠的な移動を行なう、
ことを特徴とする剤料供給方法。

【請求項5】

請求項１〜４の何れか１項記載の剤料供給方法であって、
前記捨て打ち部は、前記本打ち部と同一の表面性状とされた、
ことを特徴とする剤料供給方法。

【請求項6】

流動性の剤料の供給を受ける本打ち部を有し、
半製品部及び半製品部から分離が予定されるフレーム部と、
前記フレーム部に形成され前記流動性の剤料の捨て打ち部とを備えた、
対象構造体であって、
前記半製品部は、前記フレーム部に対し前記本打ち部を複数含む対象物が複数並んで連鎖状態をなし、
前記複数の対象物は、複数含む本打ち部が同一の位置関係の形態で備えられ、
前記捨て打ち部は、前記対象物が含む複数の本打ち部と同一の位置関係の形態とされ、
前記フレーム部の捨て打ち部と隣接する前記対象物の本打ち部との間のピッチは、各対象物間での本打ち部のピッチに一致する、
ことを特徴とする対象構造体。

【請求項7】

請求項６記載の対象構造体であって、
前記対象物は、画像処理に用いる本打ち用の基準孔を前記本打ち部と共に備え、
前記フレーム部は、画像処理に用いる捨て打ち用の疑似基準孔を前記捨て打ち部と共に備えた、
ことを特徴とする対象構造体。

【請求項8】

請求項６又は７記載の対象構造体であって、
前記捨て打ち部は、前記本打ち部を含む前記対象物の部分的な形状と同一の形状の疑似部に含まれて前記フレーム部に備えられた、
ことを特徴とする対象構造体。

【請求項9】

請求項６〜８の何れか１項記載の対象構造体であって、
前記対象物は、ヘッドサスペンションに用いるフレキシャーの半製品である、
ことを特徴とする対象構造体。

【請求項10】

請求項６〜９の何れか１項記載の対象構造体であって、
前記捨て打ち部は、前記本打ち部と同一の表面性状とされた、
ことを特徴とする対象構造体。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、対象物に未硬化の接着剤等の流動性の剤料を供給するための剤料供給方法及び剤料供給方法を適用する対象構造体に関する。

【背景技術】

【0002】

従来より、パーソナルコンピュータ等の情報処理装置に、ハードディスク装置（ＨＤＤ）が使用されている。このハードディスク装置に用いられるヘッドサスペンションは、ロードビーム(load beam)と、ロードビームに重ねて配置されるフレキシャー(flexure)などを含んでいる。フレキシャーの先端付近に形成されたジンバル部には、磁気ヘッドを構成するスライダーが取付けられている。スライダーには、データの読取りあるいは書込み等のアクセスを行なうための素子（トランスジューサ）が設けられている。

【0003】

かかるハードディスク装置において、ディスクの高記録密度化に対応するためには、ディスクの記録面に対して磁気ヘッドをさらに高精度に位置決めできることが肝要である。

【0004】

この位置決めのためには、ポジショニング用モーター（ボイスコイルモーター）と、圧電素子（ＰＺＴ「ジルコンチタン酸鉛」）等のマイクロアクチュエーター素子とを併用するデュアルアクチュエータ方式（ＤＳＡ：Dual Stage Actuator）のヘッドサスペンションが開発されている。

【0005】

ＤＳＡのヘッドサスペンションでは、当初、ロードビームとベースプレートとの間にマイクロアクチュエーター素子を配した。このマイクロアクチュエーター素子に電圧を印加し、マイクロアクチュエーター素子を変形させることによって、ヘッドサスペンションの先端の磁気ヘッド側をスウェイ方向（トラック幅方向）に高速で微小量変位させることができるようにした。

【0006】

かかる技術がさらに伸展し、近年では特許文献１などのように、磁気ヘッド近傍に並べてマイクロアクチュエーター素子を配置した並設（Co-located）タイプも量産が開始されている。

【0007】

この並設タイプでは、マイクロアクチュエーター素子がミリアクチュエータータイプよりも小さく、これを取り付ける端子サイズも０．１ｍｍ角程度と非常に小さくなっている。

【0008】

このため、マイクロアクチュエーター素子を取り付ける接着剤やはんだペーストなどの未硬化の剤料の供給量管理が非常に重要となっている。

【0009】

ヘッドサスペンションの量産ラインでは、図２０で示す複数のフレキシャー要素１０３が並んで連鎖状態をなしている連鎖シート１０１に対し、未硬化の剤料を塗布する。具体的には、連鎖シート１０１に対して供給ヘッド１０５（供給部）を間欠的に移動させ、未硬化の剤料を規定された量で各フレキシャー要素１０３の指定された箇所に液滴状に供給する（図では各フレキシャー要素１０３に矢印で概念的に示す。）。なお、剤料の供給が指定された箇所を以下本打ち部といい、本打ち部への供給を本打ちという。

【0010】

この場合、待機位置の供給ヘッド１０５が連鎖シート１０１上のフレキシャー要素１０３上へ直接移動し、間欠的な移動による供給の開始動作を始めると、開始当初にフレキシャー要素１０３に供給する剤料の量が規定に満たない等のように安定しないという問題がある。

【0011】

このため、従来は、特許文献２〜６に記載の技術と同様の考え方で、捨て打ち用のステージ１０７を配置し、このステージ１０７により本打ちを開始する前に捨て打ちを行なっていた。なお、捨て打ちを行なった箇所を、捨て打ち部と称する。

【0012】

つまり、供給ヘッド１０５を待機位置からＡのようにステージ１０７に移動させて捨て打ちを行い、次いでＢのように供給ヘッド１０５を移動させて最初のフレキシャー要素１０３に本打ちを行い、その後Ｃのように供給ヘッド１０５を一定ピッチで移動させ、各フレキシャー要素１０３に本打ちを行った。

【0013】

しかし、かかるステージ１０７を利用した捨て打ちによっても問題の解決は不十分なものであった。

【0014】

かかる問題は、ステージ１０７上の捨て打ち部から最初のフレキシャー要素１０３の本打ち部までの供給ヘッド１０５の移動距離が、各フレキシャー要素１０３の本打ち部間の移動距離に比較して大きいことが原因となっていた。また、ステージ１０７上の捨て打ち部の形状がフレキシャー要素１０３上の本打ち部の形状と異なっていることにも原因があった。

【0015】

供給ヘッド１０５の移動距離に関しては、揮発等により剤料の性状が変化することで問題を招く。

【0016】

捨て打ち部の形状が本打ち部の形状と異なっていることに関しては、捨て打ち後に供給ヘッド１０５のノズルに残る剤料と、フレキシャー要素１０３への本打ち後にノズルに残る剤料の量とが、形状の相違に起因して異なるという問題となっていた。

【0017】

これらにより、ステージ１０７での捨て打ち後、連鎖シート１０１上の各フレキシャー要素１０３に対する剤料の供給の開始動作を始めると、開始当初のフレキシャー要素１０３に対する剤料の量が安定しないという問題は依然として残っていた。

【0018】

これに対し、特許文献２などでは、基板本体に捨て打ち領域を形成している。

【0019】

しかし、捨て打ち領域は、基板本体に備えられているため基板が拡大されてしまうという難点があった。

【0020】

また、捨て打ち領域と配線を形成する領域との間で形状までを合わせることは考慮されておらず、捨て打ち後に供給部を構成する供給ヘッド１０５、特にノズルに残る剤料と本打ち後にノズルに残る剤料との量が異なる恐れがあった。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0021】

【特許文献1】特開２０１５−００１９９３号公報

【特許文献2】特開２００６−１４０２８８号公報

【特許文献3】特開２００７−１４４３４８号公報

【特許文献4】特開２０１１−０６２５７９号公報

【特許文献5】特開平８−２０６５６０号公報

【特許文献6】特開２００７−０３８１４１号公報

【特許文献7】特開２０１２−０２４７１５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0022】

解決しようとする問題点は、捨て打ち部と本打ち部との間と本打ち部相互間とで供給部に残る剤料の性状、或いは量が異なる点である。

【課題を解決するための手段】

【0023】

本発明の剤料供給方法は、捨て打ち部と本打ち部との間と本打ち部相互間とで供給部に残る剤料の性状、或いは量を安定させることを可能とするため、供給部が対象構造体の複数の本打ち部に間欠的に移動しながら流動性の剤料を規定された量で供給する剤料供給方法であって、前記対象構造体は、分離が予定されるフレーム部を含み、前記フレーム部に、前記剤料の捨て打ち部を含み、前記供給部の前記間欠的な移動による供給の開始動作を、前記供給部が前記捨て打ち部へ前記規定された量と同一の量を捨て打ちしてから行ない、前記半製品部は、前記フレーム部に対し前記本打ち部を複数含む対象物が複数並んで連鎖状態をなし、前記複数の対象物は、複数含む本打ち部が同一の位置関係の形態で備えられ、前記捨て打ち部は、前記対象物が含む複数の本打ち部と同一の位置関係の形態とされ、前記フレーム部の捨て打ち部と隣接する前記対象物の本打ち部との間のピッチは、各対象物間での本打ち部のピッチに一致することを特徴とする。

【0024】

本発明の対象構造体は、流動性の剤料の供給を受ける本打ち部を有し、半製品部及び半製品部から分離が予定されるフレーム部と、前記フレーム部に形成され前記流動性の剤料の捨て打ち部とを備えた対象構造体であって、前記半製品部は、前記フレーム部に対し前記本打ち部を複数含む対象物が複数並んで連鎖状態をなし、前記複数の対象物は、複数含む本打ち部が同一の位置関係の形態で備えられ、前記捨て打ち部は、前記対象物が含む複数の本打ち部と同一の位置関係の形態とされ、前記フレーム部の捨て打ち部と隣接する前記対象物の本打ち部との間のピッチは、各対象物間での本打ち部のピッチに一致することを特徴とする。

【発明の効果】

【0025】

本発明に係る剤料供給方法は、前記半製品部が、前記フレーム部に対し前記本打ち部を複数含む対象物が複数並んで連鎖状態をなし、前記複数の対象物は、複数含む本打ち部が同一の位置関係の形態で備えられ、前記捨て打ち部は、前記対象物が含む複数の本打ち部と同一の位置関係の形態とされ、前記フレーム部の捨て打ち部と隣接する前記対象物の本打ち部との間のピッチは、各対象物間での本打ち部のピッチに一致する。

【0026】

従って、捨て打ち部と本打ち部との間と本打ち部相互間とで供給部に残る剤料の性状、或いは量を安定させることができ、開始当初に本打ち部に供給する剤料の規定された量を安定させることができる。

【0027】

対象構造体のフレーム部は、分離することができ、半製品部、ひいては製品が不必要に拡大することもない。

【0028】

本発明の対象構造体は、フレーム部に、流動性の剤料の捨て打ち部を含み、捨て打ち部は、本打ち部と同一の形態とされ、本発明の剤料供給方法に適している。

【図面の簡単な説明】

【0029】

【図1】ヘッドサスペンションの斜視図である。

【図2】ヘッドサスペンションのアクチュエーター搭載部をスライダー側から見た斜視図である。

【図3】アクチュエーター搭載部を反スライダー側から見た、ロードビームを省略した状態の斜視図である。

【図4】マイクロアクチュエーター素子の接着剤による固定を示す要部断面図である。

【図5】剤料供給装置の外観を示す平面図である。

【図6】供給ヘッドを示す側面図である。

【図7】連鎖シートの斜視図である。（実施例１）

【図8】図７の連鎖シートのＩＩＸ部の要部拡大平面図である。（実施例１）

【図9】アクチュエーター搭載部を示すフレキシャー要素の要部拡大平面図である。

【図10】アクチュエーター搭載部の本打ち部を示す要部拡大平面図である。（実施例１）

【図11】（Ａ）は、第１の本打ち部を示す要部拡大断面図、（Ｂ）は、対応する第１の捨て打ち部を示す要部拡大断面図である。（実施例１）

【図12】（Ａ）は、第１の捨て打ち部の一方を示す要部拡大断面図、（Ｂ）は、同要部拡大平面図である。（実施例１）

【図13】（Ａ）は、第１の捨て打ち部の他方を示す要部拡大断面図、（Ｂ）は、同要部拡大平面図である。（実施例１）

【図14】（Ａ）は、マイクロアクチュエーター素子の搭載後における第２の本打ち部を示す要部拡大断面図、（Ｂ）は、対応する第２の捨て打ち部を示す要部拡大断面図である。（実施例１）

【図15】（Ａ）は、マイクロアクチュエーター素子の搭載後における第２の捨て打ち部の一方を示す要部拡大断面図、（Ｂ）は、同要部拡大平面図である。（実施例１）

【図16】（Ａ）は、マイクロアクチュエーター素子の搭載後における第２の捨て打ち部の他方を示す要部拡大断面図、（Ｂ）は、同要部拡大平面図である。（実施例１）

【図17】（Ａ）は、アクチュエーター搭載部において第１の本打ち部への本打ちの状態を片側で示したフレキシャー要素の要部拡大平面図、（Ｂ）は、アクチュエーター搭載部において第２の本打ち部への本打ちの状態を片側で示したフレキシャー要素の要部拡大平面図である。（実施例１）

【図18】図７の連鎖シートのＩＩＸ部に対応した図８と同様の要部拡大平面図である。（実施例２）

【図19】捨て打ち部の要部拡大平面図である。（実施例２）

【図20】連鎖シートの斜視図である。（従来例）

【発明を実施するための形態】

【0030】

本発明は、捨て打ち部と本打ち部との間と本打ち部相互間とで供給部に残る剤料の性状、或いは量を安定させることを可能にするという目的を、捨て打ち部と本打ち部とを同一の形態にすることにより実現した。

【0031】

つまり、供給ヘッドがフレキシャー要素の連鎖シートの複数の本打ち部に対し、間欠的に移動しながら未硬化の接着剤を規定された量で各本打ち部に液滴状に供給する剤料供給方法であって、連鎖シートは、半製品部及び半製品部から分離が予定されるフレーム部を含み、フレーム部に、接着剤の捨て打ち部を含み、捨て打ち部は、本打ち部と同一の表面性状、位置関係とされ、間欠的な移動による供給の開始動作を、捨て打ち部へ前記規定された量と同一の量で捨て打ちを行なってから行なう形態とした。

【0032】

連鎖シートは、未硬化の接着剤の供給を受ける本打ち部を有し、半製品部及び半製品部から分離が予定されるフレーム部を含み、フレーム部に、液滴状の接着剤の捨て打ち部を含み、捨て打ち部は、本打ち部と同一の表面性状、位置関係の形態とされた。

【実施例1】

【0033】

本発明は、供給部が対象構造体の複数の本打ち部に間欠的に移動しながら流動性の剤料を規定された量で供給する剤料供給方法である。

【0034】

具体的には、一例として、磁気ヘッド近傍にマイクロアクチュエーター素子を並べて配置した並設（Co-located）タイプのヘッドサスペンションに適用し、一対のマイクロアクチュエーター素子の接着に関する剤料供給方法である。但し、本発明の剤料供給方法は、その他の部材の接着、例えばベースプレートとロードビームとの間のマイクロアクチュエーター素子の接着、或は、特許文献２〜６に記載の他の技術にも矛盾しない限り適用することができる。

【0035】

ここで、剤料供給方法の説明の前に、並設（Co-located）タイプのヘッドサスペンションについてアクチュエーター搭載部周辺の概要を図１〜図４の類似構造を用いて説明する。

【0036】

［ヘッドサスペンション］
図１は、ヘッドサスペンションを反スライダースライダー側から見た斜視図である。図２は、ヘッドサスペンションのアクチュエーター搭載部をスライダー側から見た斜視図である。

【0037】

図１のヘッドサスペンション１は、ベースプレート３と、ロードビーム５と、配線付きフレキシャー(flexure with conductors)７と、アクチュエーター搭載部９等を備えている。

【0038】

ベースプレート３は、キャリッジのアームに固定される構成となっている。ベースプレート３には、アームに形成された孔に挿入されるボス部３ａが形成されている。

【0039】

図１に矢印Ｘで示す方向がロードビーム５の長手方向すなわちヘッドサスペンション１の長手方向（前後方向）である。矢印Ｙの旋回方向がスウェイ方向である。スウェイ方向に対する接線方向がスライダー１１の幅方向である。ロードビーム５の基部（後端部）には、ばね部１３が形成されている。フレキシャー７はロードビーム５に沿って配置されている。

【0040】

図２のように、磁気ヘッドをなすスライダー１１の端部には、例えばＭＲ素子のように磁気信号と電気信号とを変換可能な素子１５が設けられている。これらの素子１５によって、ディスクに対するデータの書込みあるいは読取り等のアクセスが行なわれる。スライダー１１と、ロードビーム５と、フレキシャー７などによって、ヘッドジンバルアセンブリ（head gimbal assembly）が構成されている。

【0041】

アクチュエーター搭載部９は、ジンバル部１７と、一対のマイクロアクチュエーター素子１９、２１とを含んでいる。ジンバル部１７は、フレキシャー７の先端部に形成されている。一対のマイクロアクチュエーター素子１９、２１は、ジンバル部１７においてスライダー１１の幅方向の両側に配置されている。

【0042】

マイクロアクチュエーター素子１９、２１は、それぞれＰＺＴ等の板状の圧電体からなり、スライダー１１をスウェイ方向に回動させて位置決める機能を有している。

【0043】

図３は、アクチュエーター搭載部を反スライダー側から見た斜視図である。図４は、マイクロアクチュエーター素子の接着剤による固定を示す要部断面図である。図４の断面は、一方のマイクロアクチュエーター素子１９を図１のＸ方向（以下、Ｘ方向は図１のＸ方向を意味する。）の面で切断して示すものである。なお、他方のマイクロアクチュエーター素子２１も基本的には同一構成であり、その説明はマイクロアクチュエーター素子１９を代表する。

【0044】

図１〜図４のように、ジンバル部１７は、タング部２３を備えている。タング部２３に、スライダー１１が搭載されている。タング部２３は、固定側２３ａと可動側２３ｂとで構成されている。固定側２３ａと可動側２３ｂとは、ヒンジ部２３ｃで結合され、可動側２３ｂが固定側２３ａに対し、スウェイ方向に動作可能となっている。

【0045】

タング部２３の固定側２３ａには、アクチュエーター素子１９の第１の支持部２５が形成されている。また、タング部２３の固定側２３ａには、基準孔３０が備えられている。基準孔３０は、タング部２３にアクチュエーター素子１９を搭載する際の画像処理において用いられる。

【0046】

タング部２３の可動側２３ｂには、マイクロアクチュエーター素子１９の第２の支持部２７が形成されている。可動側２３ｂには、スライダー１１に接続される配線部２９の端子２９ａが形成されている。これらの端子２９ａは、配線部２９の書込側２９ｂと読取側２９ｃとの導体に分けて導通されている。

【0047】

アクチュエーター搭載部９を備えたフレキシャー７は、薄い金属箔からなるメタルベース３１を有している。メタルベース３１に沿って前記配線部２９が配置されている。メタルベース３１の材料である金属箔の一例は、オーステナイト系ステンレス鋼であり、厚さの一例は１８μｍ（１２〜２５μｍ）である。メタルベース３１は、レーザー溶接などによってロードビーム５に固定されている。フレキシャー７の後部はベースプレート３の後方に延びている。

【0048】

フレキシャー７のメタルベース３１には、アクチュエーター搭載部９においてアウトリガー部３３が構成されている。アウトリガー部３３は、スライダー１１を弾性的に支持する。

【0049】

アクチュエーター搭載部９において配線部２９の両側には、マイクロアクチュエーター素子１９用の端子部３５が設けられている。端子部３５は、第１の支持部２５に配置されている。第２の支持部２７には、グランド側の端子部３７が配置されている。グランド側の端子部３７はメタルベース３１に導通している。

【0050】

配線部２９の層構造又は断面構造として、絶縁層３９、書込側２９ｂ及び読取側２９ｃの導体、カバー層４１を含んでいる。絶縁層３９は、ポリイミド等の電気絶縁性の樹脂からなる。書込側２９ｂ及び読取側２９ｃの導体は、銅箔などの配線パターンで形成されている。カバー層４１は、ポリイミド等の電気絶縁性の樹脂からなる。

【0051】

絶縁層３９の厚さの一例は１０μｍ（５〜２０μｍ）、書込側２９ｂ及び読取側２９ｃの導体の厚さの一例は９μｍ（４〜１５μｍ）、カバー層４１の厚さの一例は５μｍ（２〜１０μｍ）である。メタルベース３１の厚さは例えば１２〜２５μｍであり、ロードビーム５の厚さ（例えば３０μｍ）よりも小さい。

【0052】

マイクロアクチュエーター素子１９は、Ｘ方向の両端部が第１、第２の支持部２５，２７に電気絶縁性の第１の接着剤４３により固定されている。

【0053】

マイクロアクチュエーター素子１９は、両電極が、第１、第２の支持部２５、２７上の端子部３５、３７に導電性の第２の接着剤４５により導通接続されている。

【0054】

第２の接着剤４５の一例は銀ペーストである。銀ペーストは、有機物バインダとして機能する樹脂基材と、樹脂基材中に混入された多量の導電粒子（銀の粒子）とを有している。未硬化の銀ペーストが常温あるいは加熱により硬化すると、導電粒子（銀の粒子）が互いに電気的に接触する。なお、第２の接着剤４５が半田ペーストであってもよい。

【0055】

ロードビーム５の先端付近にディンプル４７が形成されている（図１）。ディンプル４７は、フレキシャー７のジンバル部１７に向かって突出する凸側の面を有している。この凸側の面の頂部がタング部２３のヒンジ部２３ｃに当接している（図３）。ジンバル部１７は、ディンプル４７の先端とヒンジ部２３ｃとの接点Ｐ１を中心として、ロードビーム５に対して揺動可能に支持されている。

【0056】

従って、ポジショニング用モーターによってキャリッジの旋回を介し、ヘッドサスペンション１がディスクの径方向に旋回すると、磁気ヘッドのスライダー１１がディスクの記録面の所望トラックまで移動する。

【0057】

このとき、マイクロアクチュエーター素子１９、２１に電圧をかけることにより、その一方が縮み、他方が伸び、タング部２３をスウェイ方向へ微小動作させ、スライダー１１の素子１５をスウェイ方向で高速かつ高精度に位置決めることができる。

【0058】

［剤料供給方法の概要］
図５は、剤料供給装置の外観を示す平面図である。図６は、供給ヘッドを示す側面図である。図７は、連鎖シートの斜視図である。図８は、図７の連鎖シートのＩＩＸ部の要部拡大平面図である。

【0059】

ヘッドサスペンション１のマイクロアクチュエーター素子１９、２１を第１、第２の支持部２５、２７に接着剤により取り付ける場合に、第１、第２の支持部２５、２７に流動性の剤料として未硬化の接着剤を本発明実施例の剤料供給方法により液滴状に供給する。

【0060】

使用する供給部としては、一例として図５、図６で示す剤料供給装置１のディスペンサー４９及び供給ヘッド５１が構成している。対象構造体は、一例として図７、図８で示すフレキシャー要素５３の連鎖シート５５である。なお、フレキシャー要素５３とは、部品取り付け中に係るフレキシャーの半製品である。

【0061】

本実施例の剤料供給方法は、連鎖シート５５の各フレキシャー要素５３にマイクロアクチュエーター素子１９、２１を組み付けるための未硬化の接着剤の本打ちを行うものであり、最初のフレキシャー要素５３の本打ち時に、本打ち部に対して規定された量と同一の量を連鎖シート５５上の捨て打ち部へ捨て打ちしてから行なうものである。

【0062】

［剤料供給装置］
図５、図６のように、実施例に係る剤料供給装置５６は、ディスペンサー４９及び供給ヘッド５１の他に、ＸＹ軸アーム機構部５７、Ｚ軸駆動機構部５９、コンベア６１、本打ちステージ６３、及びタッチセンサー６５を備えている。

【0063】

ＸＹ軸アーム機構部５７は、Ｘ軸アーム５７ａと、Ｙ軸アーム５７ｂと、Ｘ軸駆動モーター５７ｃと、Ｙ軸駆動モーター５７ｄとを有する。

【0064】

Ｘ軸駆動モーター５７ｃによって、Ｙ軸アーム５７ｂをＸ軸アーム５７ａに沿って往復移動させることができる。また、Ｙ軸駆動モーター５７ｄによって、Ｚ軸駆動機構部５９をＹ軸アーム５７ｂに沿って往復移動させることができる。

【0065】

ＸＹ軸アーム機構部５７では、制御装置からの駆動制御信号が、駆動回路に与えられると、Ｘ軸駆動モーター５７ｃ及びＹ軸駆動モーター５７ｄが駆動される。この駆動によりＸＹ軸アーム機構部５７が動作して、供給ヘッド５１がＸＹ軸方向の指令位置まで移動する。

【0066】

Ｚ軸駆動機構部５９は、基部５９ａ、ロッド５９ｂ、中間支持部５９ｃ、ロッド５９ｄ、及び係止部５９ｅを有する。

【0067】

基部５９ａは、Ｙ軸アーム５７ｂに対して往復移動可能に支持されている。この基部５９ａには、ロッド５９ｂをＺ軸方向に往復移動させるＺ軸駆動モーター５９ａ１が備えられている。

【0068】

ロッド５９ｂは、Ｚ軸駆動モーター５９ａ１の駆動動作を中間支持部５９ｃ及びロッド５９ｄに伝達する機能を有する。

【0069】

Ｚ軸駆動機構部５９では、制御装置からの駆動制御信号が駆動回路に与えられると、Ｚ軸駆動モーター５９ａ１が作動するように構成されている。この作動によりＺ軸駆動機構部５９が動作して、供給ヘッド５１がＺ軸方向の指令位置まで移動するように構成されている。

【0070】

供給ヘッド５１は、待機位置から本打ちステージ６３に対して移動可能に備えられ、未硬化の接着剤の本打ち動作又は捨て打ち動作を行う機能を有する。

【0071】

図６のように、供給ヘッド５１は、略円筒形状のシリンジ５１ａ、シリンジ５１ａの下端側に設けたノズル５１ｂ、シリンジ５１ａの上端側に設けた蓋部５１ｃ、及びチューブ５１ｄを備えてなる。供給ヘッド５１は、ロッド５９ｄを介して先端側の係止部５９ｅによって垂直（Ｚ軸）方向に係止固定されている。

【0072】

シリンジ５１ａには、供給が予定される接着剤４３の未硬化の剤料が収容されている。接着剤４３の未硬化の剤料として同符号を用いると、剤料４３は、ディスペンサー４９からシリンジ５１ａ内に送り込まれた圧縮空気によってノズル５１ｂの先端から吐出されるようになっている。剤料４３には、例えば、熱硬化性又は紫外線硬化性のなどのものを採用することができる。

【0073】

ノズル５１ｂは、供給部の内の剤料を吐出する部分であり、本実施例ではマルチノズルが採用されている。マルチノズルは、後述する本打ち部の供給箇所の数に応じた供給口を備えたものである。このノズル５１ｂによってアクチュエーター搭載部９の後述する本打ち部の４箇所に剤料４３を一度に液滴状に供給する。マルチノズルの供給口の数は、供給箇所の数に応じて適宜変更することができる。

【0074】

なお、ノズル５１ｂとしてシングルノズルを採用することもできる。シングルノズルでは、本打ち部の４箇所に順に剤料を供給することになる。

【0075】

蓋部５１ｃには、シリンジ５１ａ内に圧縮空気を送り込むためのチューブ５１ｄが備えられている。このチューブ５１ｄの他側には、ディスペンサー４９が接続されている。

【0076】

本打ちステージ６３は、コンベア６１上に設けられている。

【0077】

タッチセンサー６５は、供給ヘッド５１のＺ軸方向における原点位置決めを行う際に用いられる。

【0078】

本実施例において、本打ちステージ６３には、図７の連鎖シート５５が載置されている。

【0079】

［連鎖シート］
図７の連鎖シート５５は、フレキシャーの製造過程で使用される。連鎖シート５５は、複数のフレームユニット６９ａ、６９ｂ、６９ｃ、６９ｄを含んでいる。これらフレームユニット６９ａ〜６９ｄは、フレーム部７１に各半製品部７３を備えている。

【0080】

フレーム部７１は、各半製品部７３に部品を組み付けた後、切り離しによる分離が予定されている。

【0081】

フレーム部７１は、外縦枠部７４、７５と外横枠部７７、７８と複数の中横枠部７９とを備えている。外縦枠部７４、７５は、第１の位置決め孔８１等を備え、外横枠部７７は、第２の位置決め孔８３等を備えている。中横枠部７９は、外縦枠部７４、７５及び外横枠部７７、７８の内側をフレームユニット６９ａ〜６９ｄ毎に区画する。

【0082】

半製品部７３は、各フレームユニット６９ａ〜６９ｄに形成されている。半製品部７３は、複数の対象物としてフレキシャー要素５３が並んで連鎖状態をなしている。フレキシャー要素５３の連鎖の数は、例えば数十〜数百個である。

【0083】

各フレームユニット６９ａ〜６９ｄのフレキシャー要素５３の連鎖は、横方向に２グループに分けられている。グループ間は、フレキシャー要素５３の連鎖のピッチよりも大きな間隔を有している。この間隔は、剤料の性状変化に影響を及ぼさない程度となっている。

【0084】

フレキシャー要素５３は、部品が組み付けられてヘッドサスペンションに用いるフレキシャーとして切り離される。

【0085】

以下、フレキシャー要素５３の説明では、概ね対応するフレキシャー７の各部に対応する構成部分に当該各部に付した符号を用い、重複した説明を省略する。また、本打ち部に関する基本的な説明は、マイクロアクチュエーター素子１９側について行い、マイクロアクチュエーター素子２１については、適宜付随的に行なう。

【0086】

フレーム部７１と半製品部７３のフレキシャー要素５３とは、１枚の金属箔（例えばステンレス鋼の箔）をエッチングしてなる共通のメタルベース８５を備えている。メタルベース８５は、フレキシャー要素５３において、フレキシャー７のメタルベース３１に対応している。

【0087】

フレキシャー要素５３は、メタルベース８５上に形成された配線部２９を有している。

【0088】

図９は、アクチュエーター搭載部を示すフレキシャー要素の要部拡大平面図である。図１０は、アクチュエーター搭載部の本打ち部を示す要部拡大平面図である。

【0089】

図７〜図１０のように、フレキシャー要素５３は、アクチュエーター搭載部９を備えている。アクチュエーター搭載部９は、タング部２３、第１、第２の支持部２５、２７、端子部３５、３７、及びアウトリガー部３３等を備えている。

【0090】

また、タング部２３の固定側２３ａには、基準孔８４が備えられている。基準孔８４は、タング部２３にマイクロアクチュエーター素子１９を搭載する際の画像処理において用いられる。

【0091】

第１、第２の支持部２５、２７には、剤料の本打ち部８６が備えられている。本打ち部８６は、第１、第２の接着剤４３、４５の未硬化の剤料を本打ちする領域である。剤料は、第１の接着剤４３が未硬化の非導電性の接着剤であり、第２の接着剤４５が未硬化の銀ペーストなどの導電性の接着剤である。

【0092】

本打ち部８６は、一対のマイクロアクチュエーター素子１９、２１のそれぞれに対応して、Ｘ方向の前後にそれぞれ第１、第２の本打ち部８７、８９を備えている。

【0093】

図１０で示す第１の本打ち部８７は、Ｘ方向両側の一方の本打ち部８７ａ、他方の本打ち部８７ｂを備えている。第１の本打ち部８７ａ、８７ｂは、マイクロアクチュエーター素子１９を固定するために未硬化の非導電性の剤料を供給する領域である。

【0094】

第１の本打ち部８７ａ、８７ｂは、アクチュエーター搭載部９上で一対のマイクロアクチュエーター素子１９、２１に合わせて４箇所に備えられている。この第１の本打ち部８７ａ、８７ｂの４箇所には、マルチノズルのノズル５１ｂにより剤料４３が一度に供給される。

【0095】

図１０で示す第２の本打ち部８９は、第１の本打ち部８７にＸ方向で隣接している。第２の本打ち部８９は、Ｘ方向両側の端子部３５、３７を含めて一方の本打ち部８９ａ及び他方の本打ち部８９ｂを備えている。第２の本打ち部８９ａ、８９ｂは、マイクロアクチュエーター素子１９を端子部３５、３７に導通接続するためにペースト状の導電性の剤料を供給する領域である。

【0096】

第２の本打ち部８９ａ、８９ｂは、アクチュエーター搭載部９上で合わせて４箇所に備えられている。この４箇所の第２の本打ち部８９ａ、８９ｂには、第２の本打ち部８９ａ、８９ｂ用のマルチノズルにより剤料が一度に供給される。

【0097】

一方、図８のように、フレーム部７１の外縦枠部７５には、捨て打ち部９１が備えられている。捨て打ち部９１は、各フレームユニット６９ａ〜６９ｄにそれぞれ備えられている。

【0098】

捨て打ち部９１は、本打ち部８６と同一の形態とされている。つまり、捨て打ち部９１の表面性状は、本打ち部８６の表面性状と同一に設定されている。表面性状には、表面の平面形状、表面の段差を含めた断面形状、表面の粗さ等を含む。

【0099】

但し、１本打ち部８６とその多少の周辺形状に対応させ、捨て打ち部９１の周辺には、多少の周辺形状が合わせて形成されている。

【0100】

捨て打ち部９１を、周辺の形状を除いて設定することもできる。

【0101】

また、捨て打ち部９１は、フレーム部７１の外縦枠部７５に隣接する本打ち部８６との位置的な関係が、各本打ち部８６相互間の位置的な関係と同一に設定されている。

【0102】

図１１（Ａ）は、Ｘ方向での本打ち部を示す要部拡大断面図、（Ｂ）は、対応する捨て打ち部を示す要部拡大断面図である。

【0103】

図８、図１１のように、捨て打ち部９１は、フレキシャー要素５３の端子部３５、３７に対応した捨て打ち用の擬似端子部９３、９５を備えている。断面形状等については後述する。

【0104】

捨て打ち部９１には、第１、第２の捨て打ち部９７、９９と捨て打ち用の擬似基準孔１００とが備えられている。

【0105】

第１、第２の捨て打ち部９７、９９は、第１、第２の本打ち部８７、８９に対応し、捨て打ち用の擬似基準孔１００は、本打ち用の基準孔８４に対応している。

【0106】

第１の捨て打ち部９７は、Ｘ方向両側の一方の捨て打ち部９７ａ、他方の捨て打ち部９７ｂを備えている。

【0107】

第１の捨て打ち部９７ａ、９７ｂは、第１の本打ち部８７ａ、８７ｂと同一の表面性状に設定され、同一の平面形状、断面形状、表面粗さである。但し、ノズル５１ｂに残る剤料の量に影響を与えない範囲で、平面形状、断面形状、表面粗さは、何れか、或いは全てが若干異なることもあり、そのような場合も同一の表面性状に含まれる。

【0108】

第１の捨て打ち部９７ａ、９７ｂは、最初のフレキシャー要素５３の第１の本打ち部８７ａ、８７ｂに本打ちする前に未硬化の非導電性の剤料４３を捨て打ちする領域である。

【0109】

第１の捨て打ち部９７ａ、９７ｂは、第１の本打ち部８７ａ、８７ｂに対応し合わせて４箇所に備えられている。この４箇所の一方の捨て打ち部９７ａ及び他方の捨て打ち部９７ｂには、本打ち部８７に用いるノズル５１ｂ（マルチノズル）により剤料が一度に捨て打ちされる。

【0110】

第２の捨て打ち部９９は、第１の捨て打ち部９７にＸ方向で隣接している。第２の捨て打ち部９９は、Ｘ方向両側の捨て打ち用の端子部９３、９５を含めて一方の捨て打ち部９９ａ及び他方の捨て打ち部９９ｂを備えている。第２の捨て打ち部９９ａ、９９ｂは、第２の本打ち部８９ａ、８９ｂと同一の表面性状に設定され、同一の平面形状、断面形状、表面粗さである。但し、平面形状、断面形状、表面粗さは、ノズル５１ｂに残る剤料の量に影響を与えない範囲で、何れか、或いは全てが若干異なることもあり、そのような場合も同一の表面性状に含まれる。

【0111】

第２の捨て打ち部９９ａ、９９ｂは、最初のフレキシャー要素５３の第２の本打ち部８９ａ、８９ｂに本打ちする前に未硬化の導電性の剤料を捨て打ちする領域である。

【0112】

第２の捨て打ち部９９ａ、９９ｂは、第２の本打ち部８９ａ、８９ｂに対応し合わせて４箇所に備えられている。この４箇所の第２の捨て打ち部９９ａ、９９ｂには、第２の本打ち部８９ａ、８９ｂに用いるマルチノズルにより剤料が一度に捨て打ちされる。

【0113】

図８の連鎖シート５５上の縦方向（フレームユニットの並び方向）及び横方向（フレキシャー要素の並び方向）において、第１の捨て打ち部９７ａ、９７ｂ及び第２の捨て打ち部９９ａ、９９ｂの各４箇所の相互位置関係は、第１の本打ち部８７ａ、８７ｂ及び第２の本打ち部８９ａ、８９ｂの各４箇所の相互位置関係に一致している。

【0114】

捨て打ち部９１と隣接するフレキシャー要素５３の本打ち部８６との間のピッチは、各フレキシャー要素５３の本打ち部８６間のピッチに一致している。

【0115】

つまり、捨て打ち部９１と本打ち部８６との間でのノズルの移動ピッチが一致する。

【0116】

連鎖シート５５上の縦方向及び横方向において捨て打ち用の擬似基準孔１００の位置は、本打ち用の基準孔８４の位置に一致している。

【0117】

つまり、擬似基準孔１００を基準孔８４と同様に画像処理に用いることができる。

【0118】

図１２（Ａ）は、Ｘ方向での第１の捨て打ち部の一方を示す要部拡大断面図、（Ｂ）は、同要部拡大平面図である。図１３（Ａ）は、Ｘ方向での第１の捨て打ち部の他方を主に示す要部拡大断面図、（Ｂ）は、同要部拡大平面図である。

【0119】

図１０、１１（Ａ）の本打ち部８６の第１の本打ち部８７の平面形状、断面形状に対し、図１１（Ｂ）、図１２（Ａ）、（Ｂ）、図１３（Ａ）、（Ｂ）の捨て打ち部９１の第１の捨て打ち部９７の平面形状、断面形状が同一となっている。

【0120】

なお、本打ち部８６において第１、第２の支持部２５、２７間にメタルベース８５が存在しないのに対し、捨て打ち部９１において第１、第２の擬似支持部２５Ａ、２７Ａ間にメタルベース８５が連続している。このメタルベース８５の連続は、捨て打ち部９１の平面形状、断面形状には影響しない。

【0121】

その他、本打ち部８６側の絶縁層３９、カバー層４１に対応して捨て打ち部９１は、同一形状で絶縁層３９Ａ、カバー層４１Ａを備えている。

【0122】

本打ち部８６において、カバー層４１の端縁から第１、第２の支持部２５、２７の各端縁までの距離はＬ１とする。カバー層４１の端縁から距離Ｌ１内に形成される第１の本打ち部８７ａ、８７ｂの範囲はＬ２とする。メタルベース８５からカバー層４１表面までの高さはＨ１とする。第１の本打ち部８７ａ、８７ｂの幅はＷ１とする。

【0123】

範囲Ｌ２は、距離Ｌ１よりも若干小さく設定されている。マイクロアクチュエーター素子１９を載せたときに剤料４３が第１、第２の支持部２５、２７から極力はみ出ないようにするためである。但し、範囲Ｌ２を距離Ｌ１に一致させることもできる。

【0124】

第１の本打ち部８７の一方の本打ち部８７ａにおいて、範囲Ｌ２では、メタルベース８５上に絶縁層３９の段差がある。第１の本打ち部８７の他方の本打ち部８７ｂにおいて、範囲Ｌ２では、第２の支持部２７の端縁までメタルベース８５上を絶縁層３９が覆うから段差が無い。

【0125】

範囲Ｌ２、高さＨ１、及び平面方向から見た第１の本打ち部８７ａ、８７ｂの幅Ｗ１に対応させて剤料供給装置５６のノズル５１ｂ側が設定されている。

【0126】

図１１（Ａ）、（Ｂ）、図１２（Ａ）、図１３（Ａ）の断面のように、第１の捨て打ち部９７ａ、９７ｂは、範囲Ｌ２、高さＨ１としている。第１の捨て打ち部９７の範囲Ｌ２、高さＨ１は、第１の本打ち部８７ａ、８７ｂの範囲Ｌ２、高さＨ１と等しく設定されている。

【0127】

第１の捨て打ち部９７の一方の捨て打ち部９７ａにおいて、範囲Ｌ２では、メタルベース８５上に絶縁層３９の段差を本打ち部８７ａ同様に設定している。第１の捨て打ち部９７の他方の捨て打ち部９７ｂにおいて、範囲Ｌ２では、本打ち部８７ｂ同様に段差を設定しない。

【0128】

図１２（Ｂ）、図１３（Ｂ）の平面のように、第１の捨て打ち部９７ａ、９７ｂは、幅Ｗ１としている。第１の捨て打ち部９７ａ、９７ｂの幅Ｗ１は、第１の本打ち部８７ａ、８７ｂの幅Ｗ１に等しく設定されている。

【0129】

幅Ｗ１は、マイクロアクチュエーター素子１９の幅よりも若干大きく設定されている。但し幅Ｗ１をマイクロアクチュエーター素子１９の幅に一致させ、或いは小さく設定することもできる。

【0130】

図１４（Ａ）は、マイクロアクチュエーター素子の搭載後におけるＸ方向での第２の本打ち部を示す要部拡大断面図、（Ｂ）は、対応する第２の捨て打ち部を示す要部拡大断面図である。図１５（Ａ）は、マイクロアクチュエーター素子の搭載後におけるＸ方向での第２の捨て打ち部の一方を示す要部拡大断面図、（Ｂ）は、同要部拡大平面図である。図１６（Ａ）は、マイクロアクチュエーター素子の搭載後におけるＸ方向での第２の捨て打ち部の他方を示す要部拡大断面図、（Ｂ）は、同要部拡大平面図である。

【0131】

図１０、図１４（Ａ）の本打ち部８６の第２の本打ち部８９の端子部３５、３７、マイクロアクチュエーター素子１９を含めた平面形状、断面形状に対し、図１４（Ｂ）、図１５（Ａ）、（Ｂ）、図１６（Ａ）、（Ｂ）の捨て打ち部９１の第２の捨て打ち部９９の擬似端子部９３、９５、マイクロアクチュエーター素子１９を含めた平面形状、断面形状が同一になっている。なお、捨て打ち部９１のマイクロアクチュエーター素子１９は、擬似的なものでもよい。

【0132】

第２の本打ち部８９ａ、８９ｂにおいて、マイクロアクチュエーター素子１９の端縁から端子部３５、３７を覆う範囲をＬ３とする。マイクロアクチュエーター素子１９の表面からカバー層４１の表面までの高さをＨ２とする。第２の本打ち部８９ａ、８９ｂの幅はＷ２とする。

【0133】

第２の本打ち部８９ａ、８９ｂにおいて範囲Ｌ３では、接着剤４３及び端子部３５、３７とカバー層４１との間に段差がある。

【0134】

範囲Ｌ３、高さＨ２、及び平面方向から見た第２の本打ち部８９ａ、８９ｂの幅Ｗ２に応じて剤料供給装置５６のノズル５１ｂ側が設定されている。

【0135】

図１４（Ａ）、（Ｂ）、図１５（Ａ）、図１６（Ａ）の断面のように、第２の捨て打ち部９９ａ、９９ｂは、範囲Ｌ２、高さＨ２とされている。範囲Ｌ２、高さＨ２は、第２の本打ち部８９ａ、８９ｂの範囲Ｌ３、高さＨ２と等しく設定されている。

【0136】

第２の捨て打ち部９９ａ、９９ｂにおいて範囲Ｌ３では、端子部９３、９５で第２の本打ち部８９同様にカバー層４１Ａによる段差を設定している。範囲Ｌ３では、接着剤４３Ａも段差等を形成している。

【0137】

図１５（Ｂ）、図１６（Ｂ）の平面のように、第２の捨て打ち部９９ａ、９９ｂは、幅をＷ２としている。幅Ｗ２は、マイクロアクチュエーター素子１９の幅に対応して同一の幅に設定されている。但し幅Ｗ２をマイクロアクチュエーター素子１９の幅よりも大きく、或いは小さく設定することもできる。

【0138】

［剤料供給方法］
図５、図６において、制御装置からの制御信号に従って、供給ヘッド５１は、待機位置から本打ちステージ６３へそのまま移動する。

【0139】

本打ちステージ６３上では、図８で示すフレーム部７１の外縦枠部７５上で捨て打ち部９１にノズル５１ｂが位置決められる。

【0140】

この位置決めでは、捨て打ち部９１が擬似基準孔１００を含めて全体としてカメラで撮像される。この撮像により、擬似基準孔１００を基準として画像処理によりノズル５１ｂが位置決められる。本打ちステージ６３上に位置決めピンを設けて擬似基準孔１００に差し込ませることもできる。

【0141】

この決められた位置で、ディスペンサー４９からシリンジ５１ａ内に送り込まれた圧縮空気によってノズル５１ｂの先端から剤料４３が吐出される。

【0142】

この吐出により、図８、図１１〜図１６の第１の捨て打ち部９７ａ、９７ｂの４箇所に、本打ち部８６に対して規定された量と同一の量で捨て打ちが行なわれる。

【0143】

この捨て打ちで、待機位置から捨て打ち部９１までのノズル５１ｂの移動時にノズル５１ｂの先端に付着して揮発等により性状が変化した剤料が排出され、ノズル５１ｂに新たな剤料が待機する。

【0144】

捨て打ち部９１での捨て打ち後は、隣接するフレキシャー要素５３の最初の本打ち部８６に位置決められる。

【0145】

この位置決めでは、本打ち部８６が基準孔８４（図８）を含めて全体としてカメラで撮像される。この撮像により基準孔８４を基準として画像処理によりノズル５１ｂが位置決められる。この場合、本打ちステージ６３上に位置決めピンを設けて基準孔８４に差し込ませることもできる。

【0146】

この決められた位置で、ディスペンサー４９からシリンジ５１ａ内に送り込まれた圧縮空気によってノズル５１ｂの先端から剤料４３が吐出される。

【0147】

この吐出により、図８〜図１１の第１の本打ち部８７ａ、８７ｂの４箇所に規定された量で本打ちが行なわれる。

【0148】

本打ち部８６及び捨て打ち部９１間のピッチは、本打ち部８６相互間のピッチと同一である。なお、ノズル５１ｂに残る剤料の粘度等の性状の同一性を確保できる範囲で、本打ち部８６及び捨て打ち部９１間のピッチを本打ち部８６相互間のピッチと異ならせてもよい。

【0149】

このピッチによる間欠動作のタイミングで以下連設された各フレキシャー要素５３の本打ち部８６の４箇所に同一の量で本打ちが順次行なわれる。

【0150】

つまり、ノズル５１ｂの間欠的な移動による本打ち部８６への剤料４３の供給の開始動作を、捨て打ち部９１へ捨て打ちしてから行なった。ここで、間欠的な移動とは、複数のフレキシャー要素５３の本打ち部８６間を移動するノズル５１ｂが、本打ち部８６へ本打ちするために一旦移動を停止し、その本打ち部８６に本打ちした後、次の本打ち部８６へ移動し、この次の本打ち部８６へ本打ちするために一旦移動を停止するという繰り返しの動作を伴う移動を意味する。

【0151】

次いで、剤料４３が供給された捨て打ち部９１及び本打ち部８６において、図１４のように、マイクロアクチュエーター素子１９を搭載する。マイクロアクチュエーター素子１９は、接着剤４３、４３Ａにより第１、第２の支持部２５、２７、第１、第２の擬似支持部２５Ａ、２７Ａにそれぞれ取り付けられる。

【0152】

このとき、他方のマイクロアクチュエーター素子２１も同様に搭載される。

【0153】

次に、コンベア６１の駆動により本打ちステージ６３を移動させる。この移動でステージ６３は、剤料を接着剤４５、４５Ａの銀ペーストとする剤料供給装置側へ移動する。剤料供給装置は、ノズルが第２の本打ち部８９に応じて備えられている。この剤料供給装置により、第２の本打ち部８９において第２の本打ち部８９ａ、８９ｂの４箇所に剤料が供給される。

【0154】

このときの供給も、同様に行なわれ、第２の本打ち部８９ａ、８９ｂへの剤料の供給の開始動作が、第２の捨て打ち部９９ａ、９９ｂの４箇所へ、第２の本打ち部８９ａ、８９ｂに対して規定された量と同一の量で捨て打ちしてから行なわれる。

【0155】

図１７（Ａ）は、アクチュエーター搭載部において第１の本打ち部への本打ちの状態を片側で示したフレキシャー要素の要部拡大平面図、（Ｂ）は、アクチュエーター搭載部において第２の本打ち部への本打ちの状態を片側で示したフレキシャー要素の要部拡大平面図である。

【0156】

上記のような第１の本打ち部８７への本打ちにより、図１７（Ａ）のように剤料４３が本打ちされる。図では、説明上片側のみ本打ちされているが、両側の第１の本打ち部８７の４箇所に本打ちが行われる。

【0157】

次いで、マイクロアクチュエータ素子１９（２１）を載せて、上記のような第２の本打ち部８９への本打ちにより、図１７（Ｂ）のように銀ペーストの剤料４５が本打ちされる。図では、説明上片側のみ本打ちされているが、両側の第２の本打ち部８９へ本打ちが行われる。

【0158】

かかる図１７の本打ちと同様の状態で図８、図１１等で示す捨て打ち部９１においても剤料の供給が行なわれる。

【0159】

［実施例１の効果］
本発明の実施例の連鎖シート５５は、フレキシャー要素５３が一定ピッチで並び連鎖状態をなしている。この連鎖シート５５は、フレーム部７１を備えている。フレーム部７１の外縦枠部７５上に、液滴状の剤料の捨て打ち部９１を含んでいる。捨て打ち部９１は、本打ち部８６と同一の形状とされている。捨て打ち部９１は、ノズル５１ｂが開始動作を行なう最初の本打ち部８６との位置的な関係を各本打ち部８６相互間の位置的な関係と同一に設定されている。つまり、フレーム部７１の縦方向で同一の位置に設定され、同横方向で同一のピッチに設定されている。

【0160】

そして、ノズル５１ｂはピッチにより間欠的な移動を行なう。この移動による本打ち部８６への剤料の規定された量での供給の開始動作を、ノズル５１ｂが本打ち部８６に対して規定された量と同一の量で捨て打ち部９１へ捨て打ちしてから行なう。

【0161】

このため、ノズル５１ｂの先端部に付着して残り、待機位置からの移動で揮発等により性状の変化しいている剤料を除去してから本打ちを開始することができる。

【0162】

なお、捨て打ちの量は、実施例１において、本打ちに対して規定された量と同一の量であるが、同一の量は、ノズル５１ｂに残る剤料の状態を本打ち後のものと同一にできる範囲であれば、捨て打ちの量を本打ちの量に対して増減させたものも含む。

【0163】

捨て打ち部９１は、本打ち部８６と同一の形状等で捨て打ちすることができる。このため、捨て打ち後に供給部であるディスペンサー４９及び供給ヘッド５１、特にノズル５１ｂに残る剤料は、本打ち部８６後にノズル５１ｂに残る剤料と同一の状況にすることができる。例えば、捨て打ち後及び本打ち後の双方でノズル５１ｂに残る剤料の量をほぼ同一にすることができる。

【0164】

さらに、捨て打ち部９１から最初の本打ち部８６へ平行移動するピッチが、各本打ち部８６相互間の平行移動のピッチと同一であるから、ノズル５１ｂの捨て打ち部９１から最初の本打ち部８６への移動と各本打ち部８６相互間の移動との間でノズル５１ｂに残る剤料を同一の状況に維持させることができる。

【0165】

このため、捨て打ち部９１と本打ち部８６との間と本打ち部８６相互間とでノズル５１ｂに残る剤料の性状、或いは量を安定させることができる。結果的に、開始当初に本打ち部８６に供給する剤料の規定された量を安定させることができる。

【0166】

連鎖シート５５のフレーム部７１は、分離されるので、フレキシャー要素５３、ひいてはフレキシャー７が不必要に拡大することもない。

【0167】

本発明の実施例の連鎖シート５５は、フレーム部７１の外縦枠部７５上に、剤料の捨て打ち部９１を含んでいる。捨て打ち部９１は、本打ち部８６と同一の形状とされている。捨て打ち部９１は、ノズル５１ｂが開始動作を行なう最初の本打ち部８６との位置的な関係を各本打ち部８６相互間の位置的な関係と同一に設定されている。

【0168】

従って、連鎖シート５５により、本発明実施例の剤料供給方法による捨て打ちを効果的に行わせることができる。

【0169】

［変形例］
捨て打ちは、接着剤４３、４５の本打ちの何れか一方のみで実行させることもできる。

【0170】

上記実施例では、非導電性接着剤の供給、素子搭載、導電性接着剤の供給の順で組み付け構成したが、製品の構成により順番及び構成を代えることができる。例えば、導電性接着剤の供給、素子搭載、非導電性接着剤の供給の順で組み付け、或いは素子搭載、導電性接着剤の供給、導電性接着剤の供給、非導電性接着剤の供給の順で組み付ける構成などにすることもできる。

【0171】

供給部は、本打ちと捨て打ちができればよく、ノズル５１ｂの形状の設定は自由である。例えば、未硬化の接着剤を液滴状に限らず直線状に供給する形態でもよい。インクジェットノズルなど種々のものも含まれる。

【0172】

対象構造体は、複数の本打ち部を備えればよく、フレキシャー要素５３の連鎖シート５５に限らず、回路基板等も含まれる。

【0173】

複数の本打ち部は、一定ピッチで連続的に並ぶもの以外に、多少ピッチがずれ、並びもずれるものでもよい。

【0174】

また、各本打ち部は、実施例のように複数個所（第１及び第２の本打ち部８７ａ、８７ｂ、９７ａ、９７ｂ）に剤料を塗布する必要がある場合に限らず、単一ヵ所に剤料を塗布するものであってもよい。

【0175】

流動性の剤料は、非導電性、導電性の接着剤に限らず、流動性で対象箇所に供給されるものであれば、インク剤等も含まれる。

【0176】

捨て打ち部と本打ち部との同一の形態は、表面形状等の表面性状及び位置的な関係の双方、又は何れか一方を意味する。従って、同一の表面性状であれば、供給部が開始動作を行なう最初の本打ち部と捨て打ち部との位置的な関係は、各本打ち部相互間の位置的な関係と多少ずれてもよい。又、供給部が開始動作を行なう最初の本打ち部との位置的な関係が各本打ち部相互間の位置的な関係と同一に設定されるとき、捨て打ち部は、本打ち部と多少形状等が異なってもよい。フレーム部７１に特別な捨て打ち部を備えず、平面状の捨て打ち部とし、例えばマルチノズル等で４箇所に剤量を供給できるものも同一の形態に含まれる。

【実施例2】

【0177】

図１８は、図７の連鎖シートのＩＩＸ部に対応した図８と同様の要部拡大平面図である。図１９は、捨て打ち部の要部拡大平面図である。

【0178】

本実施例２では、フレーム部７１の外縦枠部７５上に、擬似タング部２３Ａを形成した。擬似タング部２３Ａの断面形状は、図１１（Ｂ）と同一に形成されている。擬似タング部２３Ａの平面形状は、タング部２３を切り取った形状に形成されている。

【0179】

従って、擬似タング部２３Ａは、擬似端子部９３、９５、擬似基準孔１００、スライダー１１に接続される擬似端子２９Ａａを備えている。

【0180】

この擬似タング部２３Ａの捨て打ち部９１は、実施例１と同様に本打ち部８６と同一の形状等に形成されている。また、捨て打ち部９１は、ノズル５１ｂが開始動作を行なう最初の本打ち部８６との位置的な関係を各本打ち部８６相互間の位置的な関係と同一に設定されている。つまり擬似タング部２３Ａが、タング部２３に並んで平行に配置され、捨て打ち部９１のタング部２３Ａと最初の本打ち部８６のタング部２３との間のピッチが、本打ち部８６のタング部２３相互間のピッチとが同一に設定されている。

【0181】

擬似端子部９３、９５周辺は、図１１〜図１６と同様に、絶縁層３９Ａ、カバー層４１Ａを同様に備え、距離Ｌ１、範囲Ｌ２、Ｌ３、高さＨ１、幅Ｗ１、Ｗ２が同様に設定されている。

【0182】

そして本実施例でも、実施例１と同様に捨て打ちと本打ちとが実行される。

【0183】

本実施例では、ノズルの位置決め時における画像処理において、タング部２３と同じ形状の擬似タング部２３Ａを撮像することで、より正確な位置決めを行なわせることが可能となる。

【0184】

その他、実施例１と同様の作用効果を得ることができる。

【0185】

実施例１の変形例は、実施例２でも同様である。

【符号の説明】

【0186】

２３ タング部
２３Ａ 擬似タング部
３５、３７ 端子部
５１ 供給ヘッド
５１ｂ ノズル
５３ フレキシャー要素
５５ 連鎖シート
５６ 剤料供給装置
７１ フレーム部
７５ 外縦枠部
８４ 基準孔
８６ 本打ち部
８７ 第１の本打ち部
８７ａ 一方の第１の本打ち部
８７ｂ 他方の第１の本打ち部
８９ 第２の本打ち部
８９ａ 一方の第２の本打ち部
８９ｂ 他方の第２の本打ち部
９１ 捨て打ち部
９３、９５ 擬似端子部
９７ 第１の捨て打ち部
９７ａ 一方の第１の捨て打ち部
９７ｂ 他方の第１の捨て打ち部
９９ 第２の捨て打ち部
９９ａ 一方の第１の捨て打ち部
９９ｂ 他方の第１の捨て打ち部
１００ 擬似基準孔
Ｌ１ 距離
Ｌ２、Ｌ３ 範囲
Ｗ１、Ｗ２ 幅

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】