特許 6846903 触媒ＣＶＤ法に用いる触媒体ユニット及びこれを備えた成膜装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6846903

(24)【登録日】2021年3月4日

(45)【発行日】2021年3月24日

(54)【発明の名称】触媒ＣＶＤ法に用いる触媒体ユニット及びこれを備えた成膜装置

(51)【国際特許分類】

   C23C 16/44 20060101AFI20210315BHJP

   B01J 35/02 20060101ALI20210315BHJP

【ＦＩ】

   C23C16/44 B

   B01J35/02 B

【請求項の数】14

【全頁数】21

(21)【出願番号】特願2016-198745(P2016-198745)

(22)【出願日】2016年10月7日

(65)【公開番号】特開2018-59168(P2018-59168A)

(43)【公開日】2018年4月12日

【審査請求日】2019年9月30日

(73)【特許権者】

【識別番号】000253503

【氏名又は名称】キリンホールディングス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100099645

【弁理士】

【氏名又は名称】山本 晃司

(72)【発明者】

【氏名】木下 悟

(72)【発明者】

【氏名】田渕 博康

【審査官】 山本 一郎

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１０−０５９４６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−２８７０６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−１２８３２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−０２６１５５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−２５５５７４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｃ２３Ｃ １６／４４

Ｂ０１Ｊ ３５／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

触媒ＣＶＤ法に用いる触媒体ユニットであって、
前記触媒体ユニットを支持構造に取り付けるための基礎となる部品としてのベースと、
前記ベースから一方向に延びるように設けられた原料ガスの供給管と、
線状に形成され、途中で曲げ返されて両端部が前記ベース側に向けられるように前記供給管に沿って配置された少なくとも１本の触媒体と、
前記触媒体に通電するために設けられ、前記ベースから前記供給管に沿って延ばされた棒状の一対の電極と、
前記触媒体の各端部と前記一対の電極のそれぞれとの間に介在し、前記触媒体の前記端部のそれぞれと前記電極とが電気的に接続されるようにして前記触媒体を前記電極に対して着脱自在に連結する電極ごとの連結具と、を備え、
前記連結具は、各電極の端面に取り付けられる導電性の取付基部と、前記触媒体の前記端部と前記取付基部とが電気的に接続されるようにして前記端部を前記取付基部に拘束する触媒拘束手段とを含み、
前記取付基部には、前記供給管との干渉を防ぐように前記供給管に沿って湾曲する凹部が設けられ、
前記取付基部と前記電極の前記端面との連結位置は、前記取付基部の前記凹部が設けられる側に対する反対側に設定され、
前記触媒拘束手段は、前記連結具を前記一方向からみたときに、前記連結位置に対して当該取付基部の側方にずれた位置にて前記触媒体の前記端部を前記取付基部に拘束するように設けられている、触媒体ユニット。

【請求項2】

前記触媒体の各端部は、前記連結位置よりも前記供給管側に後退した位置にて前記触媒拘束手段により拘束されている請求項１に記載の触媒体ユニット。

【請求項3】

前記少なくとも１本の触媒体として複数の触媒体が設けられ、
前記複数の触媒体のそれぞれの一方の極の端部が一方の電極側の連結具における共通の取付基部に前記触媒拘束手段を介して装着され、前記複数の触媒体のそれぞれの他方の極の端部が他方の電極側の連結具における共通の取付基部に前記触媒拘束手段を介して装着されている請求項１に記載の触媒体ユニット。

【請求項4】

各連結具の前記触媒拘束手段は、前記触媒体の前記端部が着脱自在に挿入されるようにして前記取付基部に設けられた穴部と、前記端部を前記穴部内に拘束する端部拘束手段とを含んでいる請求項１〜３のいずれか一項に記載の触媒体ユニット。

【請求項5】

各連結具の前記触媒拘束手段は、前記触媒体の前記端部が脱着不能に接合される端子部品と、前記端子部品が着脱自在に装着されるようにして前記取付基部に設けられた端子装着部と、前記端子部品を前記端子装着部に拘束する端子拘束手段とを含んでいる請求項１〜３のいずれか一項に記載の触媒体ユニット。

【請求項6】

前記端子部品には、前記触媒体の前記端部と接合される接合部と、前記接合部から延ばされて前記端子拘束手段により前記端子装着部に拘束される固定部とが設けられている請求項５に記載の触媒体ユニット。

【請求項7】

前記固定部が前記接合部に接合される前記端部の軸線方向に沿って軸状に延ばされている請求項６に記載の触媒体ユニット。

【請求項8】

前記固定部が前記接合部から平板状に延ばされている請求項６に記載の触媒体ユニット。

【請求項9】

各連結具の前記触媒拘束手段は、前記触媒体ごとに設けられて各触媒体の前記端部が脱着不能に接合される端子部品と、各端子部品が着脱自在に装着されるようにして前記取付基部に設けられた端子装着部と、各端子部品を前記端子装着部に拘束する端子拘束手段とを含み、
前記端子部品には、前記触媒体の前記端部と接合される接合部と、前記接合部から平板状に延ばされて表面が前記端子装着部に接した状態で前記端子拘束手段により前記端子装着部に拘束される固定部とが設けられ、
前記端子装着部は、前記取付基部の同一方向に向けられた側面に設けられている請求項３に記載の触媒体ユニット。

【請求項10】

各連結具の前記触媒拘束手段は、前記触媒体ごとに設けられて各触媒体の前記端部が脱
着不能に接合される端子部品と、各端子部品が着脱自在に装着されるようにして前記取付基部に設けられた端子装着部と、各端子部品を前記端子装着部に拘束する端子拘束手段とを含み、
前記端子部品には、前記触媒体の前記端部と接合される接合部と、前記接合部から平板状に延ばされて表面が前記端子装着部に接した状態で前記端子拘束手段により前記端子装着部に拘束される固定部とが設けられ、
前記端子装着部は、前記取付基部の一側面と、前記一側面に対する反対側の側面とに設けられている請求項３に記載の触媒体ユニット。

【請求項11】

各連結具の前記触媒拘束手段は、前記触媒体ごとに設けられて各触媒体の前記端部が脱着不能に接合される端子部品と、各端子部品が着脱自在に装着されるようにして前記取付基部に設けられた端子装着部と、各端子部品を前記端子装着部に拘束する端子拘束手段とを含み、
前記端子部品には、前記触媒体の前記端部と接合される接合部と、前記接合部から平板状に延ばされて表面が前記端子装着部に接した状態で前記端子拘束手段により前記端子装着部に拘束される固定部とが設けられ、
前記端子装着部は、前記取付基部の複数の側面のそれぞれに設けられ、かつ前記複数の側面はそれぞれの法線が互いに直交し、又は斜めに交差する方向に向けられている請求項３に記載の触媒体ユニット。

【請求項12】

触媒ＣＶＤ法に用いる触媒体ユニットであって、
線状に形成された少なくとも１本の触媒体と、
前記触媒体に通電するための一対の電極と、
前記触媒体の端部と前記一対の電極のそれぞれとの間に介在し、前記触媒体の前記端部と前記電極とが電気的に接続されるようにして前記触媒体を前記電極に対して着脱自在に連結する電極ごとの連結具と、を備え、
前記連結具は、前記触媒体の前記端部を挟み込むようにして組み合わされる一対の保持部材を含み、前記一対の保持部材の少なくともいずれか一方が前記電極に取り付けられ、
前記触媒体は途中で折り返されて一方の端部が一方の電極側の連結具の一対の保持部材間に、他方の端部が他方の電極側の一対の保持部材間にそれぞれ挟み込まれ、
前記一対の保持部材のそれぞれの前記触媒体を挟む面には、前記触媒体の端部が配置されるべき溝部が設けられている触媒体ユニット。

【請求項13】

前記連結具には、前記一対の保持部材の分離を規制する分離規制手段がさらに設けられている請求項１２に記載の触媒体ユニット。

【請求項14】

成膜用のチャンバ内に請求項１〜１３のいずれか一項に記載の触媒体ユニットが配置された成膜装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、触媒ＣＶＤ法に用いる触媒体ユニット等に関する。

【背景技術】

【0002】

容器等の被処理物に成膜する方法として、成膜用の原料ガスを加熱された線状の触媒体に接触させて成膜種を生成し、その成膜種を被処理物の表面上に堆積させる触媒ＣＶＤ法が知られている。その種の成膜方法に用いられる触媒体ユニットとして、Ｕ字状、Ｖ字状又はＪ字状に曲げられた線状の触媒体の両端部が、一対の棒状の電極と概ね同軸的に接続された触媒体ユニットが提案されている（例えば特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１６−１２８６０７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

触媒ＣＶＤ法に用いられる触媒体は、成膜の繰り返しに伴って徐々に劣化する。そのため、触媒体を電極から取り外して新しい触媒体を装着する交換作業を定期的に行う必要がある。特許文献１のように触媒体を電極に直結するような構造では、触媒体を取り外す際にこれが折れて電極側に触媒体の一部が取り残され、その除去に手間取るといった不都合が生じるおそれがある。容器等の成膜工程では、多数の触媒体ユニットを用いて同時並行的に大量の被処理物を成膜するため、個々の触媒体ユニットの触媒体交換作業に手間がかかると、それによって失われる時間的又は経済的な損失が相当に拡大する。

【0005】

そこで、本発明は触媒体を電極に対して効率よく着脱することが可能な触媒体ユニット等を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一態様に係る触媒体ユニットは、触媒ＣＶＤ法に用いる触媒体ユニット（３）であって、線状に形成された少なくとも１本の触媒体（１１）と、前記触媒体に通電するための一対の電極（１５Ａ、１５Ｂ）と、前記触媒体の端部（１１ａ、１１ｂ）と前記一対の電極のそれぞれとの間に介在し、前記触媒体の前記端部と前記電極とが電気的に接続されるようにして前記触媒体を前記電極に対して着脱自在に連結する電極ごとの連結具（２０；６０；７０）と、を備えたものである。

【0007】

上記態様の触媒体ユニットによれば、触媒体の端部と電極との間に連結具を介在させ、その連結具を介して触媒体を電極に着脱自在に連結しているので、触媒体と連結具との間、あるいは連結具と電極との間が容易に着脱できるように連結具を適宜に構成することにより、触媒体を電極に直結する構造と比較して、触媒体の着脱時の手間の軽減を図ることができる。しかも、触媒体が折れてその切片が連結具側に残るといった不都合が生じた場合には、連結具を電極から取り外せばよく、電極から切片を取り除くような面倒な作業を実施する必要がない。したがって、触媒体を電極に対して効率よく着脱することが可能な触媒体ユニットを実現することができる。

【0008】

上記態様の触媒体ユニットにおいて、前記連結具（２０）は、各電極に取り付けられる導電性の取付基部（２２；３５；４５；５０）と、前記触媒体の前記端部と前記取付基部とが電気的に接続されるようにして前記端部を前記取付基部に拘束する触媒拘束手段（２３、２４；２３、２４、３０；４０、４３、４４）とを含んでもよい。これによれば、電極に取付基部を取り付ける一方で、その取付基部に触媒体の端部を拘束しているので、触媒体が容易に着脱できるように取付基部や触媒拘束手段を構成して触媒体の着脱に要する手間の軽減を図ることができる。

【0009】

さらに、前記少なくとも１本の触媒体として複数の触媒体が設けられ、前記複数の触媒体のそれぞれの一方の極の端部（１１ａ）が一方の電極側の連結具（２０）における共通の取付基部に前記触媒拘束手段を介して装着され、前記複数の触媒体のそれぞれの他方の極の端部（１１ｂ）が他方の電極側の連結具における共通の取付基部に前記触媒拘束手段を介して装着されてもよい。これによれば、複数の触媒体の一方の極の端部のそれぞれを共通の取付基部に拘束しているので、触媒体の端部ごとに取付基部を用意する場合と比較して部品点数を削減できる。また、取付基部の電極への取り付けに必要な電極周囲のスペースを削減することができる。そのため、例えば容器の口部内に、あるいはさらに奥の胴部内に取付基部を挿入して触媒体の全体をその容器の内部に挿入するといったように、取付基部を被処理物の口部、あるいはさらに奥の胴部等の内部領域に挿入する必要がある場合において、その被処理物の口部の内径の制限を緩和することができる。また、取付基部の熱容量を減らして、口部、あるいはさらに奥の被処理物の内部領域への熱の影響を抑えることもできる。

【0010】

上記態様において、各連結具（２０）の前記触媒拘束手段は、前記触媒体の前記端部が着脱自在に挿入されるようにして前記取付基部に設けられた穴部（２３）と、前記端部を前記穴部内に拘束する端部拘束手段（２４）とを含んでもよい。これによれば、穴部に挿入された触媒体の端部を穴部内に拘束するという比較的簡単な構成で触媒体を電極に連結することができるので、触媒体の着脱に要する手間を確実に軽減することができる。

【0011】

上記態様において、各連結具（２０）の前記触媒拘束手段は、前記触媒体の前記端部が脱着不能に接合される端子部品（３０；４０）と、前記端子部品が着脱自在に装着されるようにして前記取付基部に設けられた端子装着部（２３；４３）と、前記端子部品を前記端子装着部に拘束する端子拘束手段（２４；４４）とを含んでもよい。これによれば、触媒体の端部に端子部品を接合し、その端子部品を端子装着部に装着して端子拘束手段で拘束するという比較的簡単な構成で触媒体を電極に連結することができる。それにより、触媒体の着脱に要する手間を確実に軽減することができる。端子部品を拘束するようにしたので、その拘束力が触媒体の端部に直接的に作用するおそれがない。そのため、触媒体における内部応力の蓄積を抑え、内部応力の影響で触媒体の端部に曲げや折損が生じるおそれを低減することができる。触媒体の端部に曲げが生じると、被処理物の表面と触媒体との距離がばらついて成膜品質にもばらつきが生じるおそれがあるが、その曲げを抑えることにより成膜品質の向上を図ることもできる。触媒体が曲がって被処理物に接触するといった不都合の発生を抑えることもできる。

【0012】

また、前記端子部品には、前記触媒体の前記端部と接合される接合部（３１；４１）と、前記接合部から延ばされて前記端子拘束手段により前記端子装着部に拘束される固定部（３２；４２）とが設けられてもよい。これによれば、端子部品の固定部を端子拘束手段にて拘束するので、その拘束力が接合部側に及びにくく、触媒体の曲げを効果的に抑制することができる。

【0013】

さらに、前記固定部（３２）が前記接合部に接合される前記端部の軸線方向に沿って軸状に延ばされてもよい。これによれば、軸状の固定部を端子拘束手段にて拘束することにより、触媒体を電極に連結することができる。固定部が軸状であれば、触媒体の端部を拘束する場合と同様の構成で触媒体を取付基部に拘束することが可能である。

【0014】

あるいは、前記固定部（４２）が前記接合部から平板状に延ばされてもよい。これによれば、平板状の固定部を端子拘束手段にて拘束しているため、その拘束力を確実に作用させて触媒体を堅固に連結することができる。拘束力が接合部側により伝わり難くなるため、触媒体の曲げをより効果的に抑制することができる。固定部が平板状の場合には、その固定部を端子装着部に押し付けて拘束力を端子装着部で受け止めつつ固定部を定位置にて拘束することができる。そのため、必要以上に大きな拘束力を加えても端子部品の固定部が拘束力の方向に曲がるような変形は生じない。したがって、作業者の個人差等に起因して端子部品が過度の力で拘束されても、触媒体に曲げが生じるといった不具合が生じ難い。それにより、触媒体の交換作業の品質のばらつきを抑えることが可能である。

【0015】

上記態様において、各連結具（２０）の前記触媒拘束手段は、前記触媒体ごとに設けられて各触媒体の前記端部が脱着不能に接合される端子部品（４０）と、各端子部品が着脱自在に装着されるようにして前記取付基部（３５）に設けられた端子装着部（４３）と、各端子部品を前記端子装着部に拘束する端子拘束手段（４４）とを含み、前記端子部品には、前記触媒体の前記端部と接合される接合部（４１）と、前記接合部から平板状に延ばされて表面が前記端子装着部に接した状態で前記端子拘束手段により前記端子装着部に拘束される固定部（４２）とが設けられ、前記端子装着部は、前記取付基部の同一方向に向けられた側面（３５ａ）に設けられてもよい。これによれば、端子装着部を同一側面に配置することにより、取付基部の薄型化、つまりその側面と反対側の側面との間の厚さの削減を図ることができる。

【0016】

上記態様において、各連結具（２０）の前記触媒拘束手段は、前記触媒体ごとに設けられて各触媒体の前記端部が脱着不能に接合される端子部品（４０）と、各端子部品が着脱自在に装着されるようにして前記取付基部（４５）に設けられた端子装着部（４３）と、各端子部品を前記端子装着部に拘束する端子拘束手段（４４）とを含み、前記端子部品には、前記触媒体の前記端部と接合される接合部（４１）と、前記接合部から平板状に延ばされて表面が前記端子装着部に接した状態で前記端子拘束手段により前記端子装着部に拘束される固定部（４２）とが設けられ、前記端子装着部は、前記取付基部の一側面（４５ａ）と、前記一側面に対する反対側の側面（４５ｂ）とに設けられてもよい。これによれば、端子装着溝が設けられる一側面とその反対側の側面との間における取付基部の幅寸法の削減を図ることができる。

【0017】

上記態様において、各連結具（２０）の前記触媒拘束手段は、前記触媒体ごとに設けられて各触媒体の前記端部が脱着不能に接合される端子部品（４０）と、各端子部品が着脱自在に装着されるようにして前記取付基部（５０）に設けられた端子装着部（４３）と、各端子部品を前記端子装着部に拘束する端子拘束手段（４４）とを含み、前記端子部品には、前記触媒体の前記端部と接合される接合部（４１）と、前記接合部から平板状に延ばされて表面が前記端子装着部に接した状態で前記端子拘束手段により前記端子装着部に拘束される固定部（４２）とが設けられ、前記端子装着部は、前記取付基部の複数の側面（５０ａ、５０ｂ）のそれぞれに設けられ、かつ前記複数の側面はそれぞれの法線が互いに直交し、又は斜めに交差する方向に向けられてもよい。これによれば、取付基部の角部の突出を抑えることができる。

【0018】

上記態様において、前記連結具には、前記触媒体の前記端部と接合される接合部（６１）と、前記接合部から延ばされた固定部（６２）とを含んだ端子部品（６０）が設けられ、前記端子部品の前記固定部が前記電極に着脱自在に装着されてもよい。これによれば、端子部品を介して触媒体の端部を電極と連結しているので、触媒体の端部に曲げ作用が生じるおそれを低減することができる。曲げが生じ難いので、触媒体を装着する作業を手際よく行うことができる。端子部品それ自体を連結具として利用して端子部品を電極に連結しているので、取付基部を用いる場合と比較して部品点数を削減することができる。また、電極と触媒体との連結部分をコンパクトに構成し、触媒体を挿入可能な被処理物の口部内径の制限をさらに緩和することができる。触媒体と電極の連結部分の熱容量を低減してその連結部分が被処理物の口部、あるいはさらに奥の被処理物の内部領域に与える熱の影響をより効果的に抑えることができる。

【0019】

また、前記少なくとも１本の触媒体として複数の触媒体が設けられ、前記複数の触媒体のそれぞれの一方の極の端部（１１ａ）が一方の電極（１５Ａ）に前記端子部品（６０）を介して装着され、前記複数の触媒体のそれぞれの他方の極の端部（１１ｂ）が他方の電極（１５Ｂ）に前記端子部品（６０）を介して装着されてもよい。これによれば、複数の触媒体の同一極側の端部のそれぞれを端部ごとの端子部品を介して共通の電極に連結することができる。

【0020】

さらに、前記一対の電極のそれぞれが棒状に形成され、前記端子部品（６０）の前記固定部（６２）は前記接合部（６１）に接合される前記端部の軸線方向に対して略直交する方向に延ばされ、前記複数の触媒体の一方の端部（１１ａ）のそれぞれと接合される端子部品の前記固定部が前記一方の電極の端面上に互いに重ね合わされるようにして装着され、前記複数の触媒体の他方の端部（１１ｂ）のそれぞれと接合される端子部品の前記固定部が前記他方の電極の端面上に互いに重ね合わされるようにして装着されてもよい。これによれば、端子部品の固定部を互いに重ね合わせて電極の端面上に配置することにより、少ないスペースで複数の端部を共通の電極に連結することができる。

【0021】

上記態様において、前記連結具（７０）は、前記触媒体の前記端部を挟み込むようにして組み合わされる一対の保持部材（７１、７２）を含み、前記一対の保持部材の少なくともいずれか一方が前記電極に取り付けられてもよい。これによれば、一対の保持部材間で触媒体の端部を挟み込むようにしているので、触媒体の着脱時には保持部材同士を分離して触媒体の取り付け部分を開放することができる。これにより、触媒体を手際よく着脱することができる。触媒体の切片が保持部材間に残ったとしても、その除去も容易である。

【0022】

また、前記連結具には、前記一対の保持部材の分離を規制する分離規制手段（７５、７６）がさらに設けられてもよい。これによれば、保持部材の分離を規制することにより、触媒体を挟み込んでいる部分が開くような変位を抑えて触媒体の端部を連結具にて確実に保持することができる。

【0023】

本発明の一態様に係る成膜装置（１）は、成膜用のチャンバ（２）内に上述したいずれかの態様の触媒体ユニット（３）が配置されたものである。これによれば、触媒体を効率よく着脱できるという上述した触媒体ユニットの利点を活かして、触媒体交換作業に要する時間的又は経済的損失を抑え、成膜処理の効率を高めることができる。

【0024】

本発明の一態様に係る触媒体の接続方法は、触媒ＣＶＤ法に用いられる少なくとも１本の線状の触媒体（１１）を一対の電極（１５Ａ、１５Ｂ）のそれぞれと接続するための触媒体の接続方法であって、前記触媒体と前記一対の電極のそれぞれとの間に電極ごとの連結具（２０；６０；７０）を介在させ、前記触媒体の前記端部と前記電極とが電気的に接続されるようにして前記触媒体を前記電極に対して前記連結具を介して着脱自在に連結するものである。

【0025】

上記態様の接続方法によれば、上記態様の触媒体ユニットに関して説明したように、触媒体と連結具との間、あるいは連結具と電極との間が容易に着脱できるように連結具を適宜に構成することにより、触媒体の着脱時の手間の軽減を図ることができる。しかも、触媒体が折れてその切片が連結具側に残るといった不都合が生じた場合には、連結具を電極から取り外せばよく、電極から切片を取り除くような面倒な作業を実施する必要がない。したがって、触媒体を電極に対して効率よく着脱することが可能である。

【0026】

なお、以上の説明では本発明の理解を容易にするために添付図面の参照符号を括弧書きにて付記したが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

【0027】

【図1】本発明の一形態に係る触媒体ユニットが用いられる成膜装置の概要を示す図。

【図2】第１の形態に係る触媒体ユニットの全体構成を示す斜視図。

【図3】図２の触媒体ユニットにおける電極と触媒体との連結部分を拡大して示す図。

【図4】第１の形態に係る連結具の正面図。

【図5】図４の連結具における同図の矢印Ｖ方向からの平面図。

【図6】第２の形態に係る触媒ユニットに設けられる連結具の図４と同一方向からの正面図。

【図7】第３の形態に係る触媒ユニットに設けられる連結具の図４と同一方向からの正面図。

【図8】図７の連結具における同図の矢印VIII方向からの平面図。

【図9】第４の形態に係る触媒ユニットに設けられる連結具の図４と同一方向からの正面図。

【図10】図９の連結具における同図の矢印Ｘ方向からの平面図。

【図11】第５の形態に係る触媒ユニットに設けられる連結具の図４と同一方向からの正面図。

【図12】図１１の連結具における同図の矢印XII方向からの平面図。

【図13】第６の形態に係る触媒体ユニットにおける電極と触媒体との連結部分を拡大して示す図。

【図14】図１３の触媒体ユニットにおける１本の触媒体と電極との連結部分を示す分解斜視図。

【図15】第７の形態に係る触媒ユニットに設けられる連結具の分解斜視図。

【図16】第８の形態に係る触媒ユニットに設けられる連結具の分解斜視図。

【発明を実施するための形態】

【0028】

まず、図１を参照して、本発明の一形態に係る触媒体ユニットが用いられる成膜装置の概要を説明する。成膜装置１は、真空チャンバ２と、真空チャンバ２内に配置される触媒体ユニット３とを備えている。真空チャンバ２は、一例として、上下方向に並べて配置された成膜室４及び待機室５とがゲートバルブ６を介して接続された二室構造のチャンバである。ゲートバルブ６は、成膜室４及び待機室５との間を開通させる開放状態と両室４、５を気密に仕切る閉鎖状態との間で切り替え動作可能である。成膜室４及び待機室５のそれぞれは連結部４ａ、５ａを介して不図示の真空ポンプに連結されている。真空ポンプは各室４、５に対して個別に設けられている。そのため、ゲートバルブ６を閉じることにより、成膜室４及び待機室５のそれぞれの圧力を互いに独立して調整することができる。

【0029】

成膜室４は成膜の原料ガスの供給装置（不図示）と接続される。原料ガスは、炭素と水素とを構成元素として含むガスであり、成膜の目的に応じて適宜に選択可能である。原料ガスは、例えば、四塩化ケイ素、ヘキサメチルジシラン、ビニルトリメチルシラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチルシラン、ビニルシラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシラン、メチルトリエトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン若しくはメチルトリエトキシシランなどの有機シラン化合物、オクタメチルシクロテトラシロキサン、１，１，３，３−テトラメチルジシロキサン、テトラエトキシシラン若しくはヘキサメチルジシロキサンなどの有機シロキサン化合物、又は、ヘキサメチルシラザンなどの有機シラザン化合物が使用される。また、これらの材料以外にも、アミノシランなども用いられる。

【0030】

また、原料ガスは、例えば、メタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタン、ヘキサンなどのアルカン系ガス類、エチレン、プロピレン、ブチンなどのアルケン系ガス類、ブタジエン、ペンタジエンなどのアルカジエン系ガス類、アセチレン、メチルアセチレンなどのアルキン系ガス類、ベンゼン、トルエン、キシレン、インデン、ナフタレン、フェナントレンなどの芳香族炭化水素ガス類、シクロプロパン、シクロヘキサンなどのシクロアルカン系ガス類、シクロベンテン、シクロヘキセンなどのシクロアルケン系ガス類、メタノール、エタノールなどのアルコール系ガス類、アセトン、メチルエチルケトンなどのケトン系ガス類、フォルムアルデヒド、アセトアルデヒドなどのアルデヒド系ガス類であってもよい。

【0031】

これらの原料ガスは単独で又は組合せて使用する。例えば、水素含有ＳｉＮｘ薄膜、水素含有ＤＬＣ薄膜、水素含有ＳｉＯｘ薄膜又は水素含有ＳｉＣｘＮｙ薄膜などのバリア性の付与向上等を目的とする成膜（以下、バリア成膜と呼ぶことがある。）では、これらの原料ガスのうち、酸素又は窒素を構成元素に含まない有機シラン化合物を用いることができる。有機シラン化合物のうち、構成元素において珪素より炭素の割合が高く、常温常圧で気体として扱えるという利用しやすさの観点では、ビニルシラン、ジメチルシラン、トリメチルシラン又はテトラメチルシランを用いることができる。

【0032】

触媒体ユニット３は、原料ガス供給管１０と、その原料ガス供給管１０に沿って設けられた線状の触媒体１１とを備えている。触媒体ユニット３の詳細は後述する。成膜室４は不図示の開閉機構により外部に対して開放可能である。成膜室４が開放された状態で、成膜室４に対して被処理物の一例としての樹脂製のボトルＢＴが上下方向に反転された状態で搬入され、又は搬出される。

【0033】

待機室５には昇降ユニット７が設けられている。昇降ユニット７は、触媒体ユニット３を、その原料ガス供給管１０及び触媒体１１が成膜室４に進出した状態と、待機室５内に後退した状態との間で昇降させる。ボトルＢＴの搬入搬出時にはゲートバルブ６が閉じられ、触媒体ユニット３は待機室５内に後退した位置に保持される。このとき、待機室５は所定の真空圧に維持されている。ボトルＢＴが成膜室４に搬入され、成膜室４が成膜に適した真空圧まで減圧されるとゲートバルブ６が開かれ、触媒体ユニット３が上昇してボトルＢＴ内に挿入される。その後、触媒体ユニット３の触媒体１１に対して電力が供給されて触媒体１１が発熱し、成膜室４内に原料ガス供給管１０を介して原料ガスが導入されてボトルＢＴに対する成膜が行われる。成膜完了後は触媒体ユニット３が待機室５に後退し、ゲートバルブ６が閉じられて成膜後のボトルＢＴが搬出され、成膜前の新たなボトルＢＴが成膜室４に搬入される。その間、待機室５は真空圧に維持される。

【0034】

次に、触媒体ユニットの各種の実施形態を説明する。なお、図１に示した成膜装置１の構成は触媒体ユニット３が適用される成膜装置の一例である。触媒体ユニット３は、例えば触媒体１１を成膜室４に固定的に配置し、待機室５に搬入されたボトルＢＴ等の被処理物をその待機室５と成膜室４との間で往復移動させる成膜装置に適用されてもよい。真空チャンバ２は成膜室４と待機室５とを備えた二室構造に限定されず、単室構造であってもよい。その他、成膜装置の構成は、所定の成膜環境に調整されたチャンバ内に触媒体ユニットを配置し、その触媒体ユニットの触媒体を発熱させることによりチャンバ内の被処理物に成膜する触媒ＣＶＤ法を用いるものである限り、適宜の変更が可能である。

【0035】

（第１の形態）
図２は第１の形態に係る触媒体ユニット３の全体構成を示している。触媒体ユニット３は、円盤状のベースプレート１２を有している。ベースプレート１２は、触媒体ユニット３をその支持構造に取り付けるための基礎となる部品である。支持構造は例えば図１に示した昇降ユニット７であるが、これに限らず、触媒体ユニット３は適宜の支持構造体により支持されてよい。ベースプレート１２の中心には、原料ガス供給管１０がベースプレート１２の中心線に沿って上方に真っ直ぐ延びるようにして装着される。原料ガス供給管１０は、不図示の原料ガス供給装置と接続されることにより、成膜室４に原料ガスを供給する流路の一部として機能する。原料ガス供給管１０の適宜の位置、例えば原料ガス供給管１０の上端には原料ガスを流出させる開口部（不図示）が設けられる。開口部は、原料ガス供給管１０の上端に加え、又は代えて、原料ガス供給管１０の外周の適宜の位置に設けられてもよい。

【0036】

触媒体ユニット３には、ベースプレート１２の上面側に絶縁体１３を介して取り付けられる一対の導電性の中継台１４Ａ、１４Ｂと、それらの中継台１４Ａ、１４Ｂから上方に延ばされた一対の棒状の電極１５Ａ、１５Ｂとがさらに設けられている。なお、以下では、中継台１４Ａ、１４Ｂを中継台１４と表記することがある。電極１５Ａ、１５Ｂも同様に電極１５と表記することがある。中継台１４は、原料ガス供給管１０を挟んで対称的に設けられている。各中継台１４は、導電性の接続ピン１６と電気的に接続される。触媒体ユニット３を支持構造体に装着したとき、それらの接続ピン１６が不図示の電源装置の陽極及び陰極のそれぞれと接続されることにより、電極１５Ａ、１５Ｂが電源装置の陽極及び陰極のそれぞれと電気的に接続される。

【0037】

原料ガス供給管１０の周囲には２本の触媒体１１が互いに平行に設けられている。各触媒体１１は、ボトルＢＴの内部に挿入可能なＵ字状に形成されている。触媒体１１は、成膜時に触媒活性反応を生じさせる材料にて形成されている。触媒体１１の材料は、例えば、タンタル、タングステン、モリブデン、ニオブの群の中から選ばれる一又は二以上の金属元素を含んでもよい。金属元素を含む材料は、純金属、合金、添加剤を含有させた金属若しくは合金又は金属間化合物であってもよい。合金又は金属間化合物を形成する金属は、上述した金属の中から二つ以上を組合せるか、又は上述した金属とその他の金属との組合せであってもよい。その他の金属は、例えば、クロムである。合金又は金属間化合物は、例えば、タンタル、タングステン、モリブデン、ニオブの群の中から選ばれる一つ又は二つ以上の金属元素を合計で８０原子％以上含有してもよい。添加剤は、例えば、ジルコニア、イットリア、カルシア又はシリカなどの酸化物である。添加剤の添加量は、例えば、１質量％以下であってもよい。バリア成膜では、触媒体１１として、例えば、タンタル又は炭化タンタルを用いることができる。

【0038】

触媒体１１は、その返し部分が上方となるように上下方向に反転された状態で触媒体ユニット３に装着されている。触媒体１１は、原料ガス供給管１０の外周の適宜の位置に設けられた絶縁体製のリング状のガイド１７に通されつつ下方に延び、その両端部（図では下端部）１１ａ、１１ｂは電極１５ごとの連結具２０を介して電極１５Ａ、１５Ｂに着脱自在に連結される。その装着状態で、触媒体１１の上端部、つまり返し部分は原料ガス供給管１０の上端よりも幾らか上方に突出する。ガイド１７は、触媒体１１の中間部分をその半径方向に関してほぼ定位置に保持するために設けられている。一方の電極１５Ａに取り付けられる連結具２０には、２本の触媒体１１の一方の端部１１ａが装着され、他方の電極１５Ｂに取り付けられる連結具２０には、２本の触媒体１１の他方の端部１１ｂが装着される。

【0039】

図３は、連結具２０による触媒体１１の連結部分の詳細を示している。各連結具２０は、電極１５の上端部にボルト２１を介して着脱自在に取り付けられる取付基部の一例としてのブロック２２を備えている。ブロック２２は導電性であり、その材料には例えばアルミニウム、鉄（一例としてステンレス鋼）、銅といった導電性の金属材料、導電性セラミックスといった各種の導電材料が用いられる。図４及び図５にも示したように、ブロック２２には、触媒体１１の端部１１ａ、１１ｂが着脱自在に挿入される一対の穴部２３が形成されている。なお、図４及び図５は２本の触媒体１１の一方の極側の端部１１ａに対応する連結具２０を示すが、他方の端部１１ｂに対応する連結具２０も同一構成である。

【0040】

穴部２３内に挿入された触媒体１１の端部１１ａ（又は１１ｂ、以下同様である。）は、穴部２３の軸線と直交する方向からブロック２２にねじ込まれる止めねじ２４にて穴部２３内に拘束される。それにより、触媒体１１の端部１１ａと電極１５とがブロック２２を介して電気的に接続された状態で触媒体１１の端部１１ａがブロック２２と着脱自在に連結される。したがって、各連結具２０の穴部２３と止めねじ２４とは連結具２０における触媒拘束手段の一例として機能し、その止めねじ２４が端部拘束手段として機能する。図５ではブロック２２の一方の側から止めねじ２４を装着する状態を示すが、反対側からも止めねじ２４が装着される。触媒体１１の端部１１ａは、それらの一対の止めねじ２４間に挟まれるようにして穴部２３内に拘束される。

【0041】

なお、ブロック２２には、原料ガス供給管１０との干渉を防ぐために円弧状に湾曲した凹部２５が形成されている。また、凹部２５の反対側には突出部２６が形成され、その突出部２６に跨がるようにしてボルト孔２７が形成されている。ボルト２１はそのボルト孔２７に挿入されて電極１５の端面にねじ込まれる。ボルト孔２７の位置からみて、穴部２３は原料ガス供給管１０側、すなわち触媒体ユニット３の全体の中心線側に幾らか後退した位置に配置される。これにより、ブロック２２が電極１５に取り付けられたときのブロック２２の半径方向外周側への突出量が削減される。成膜時における触媒体１１の熱がボトルＢＴの口部に与える影響を低減するため、触媒体１１はボトルＢＴの口部よりも奥まで挿入されることが好ましい。そのため、電極１５の突出高さは、ブロック２２がボトルＢＴの口部の内側の領域、あるいはさらに奥の胴部内に挿入されるように調整される。したがって、ブロック２２の半径方向外周側への突出量を低減することにより、触媒体１１を挿入可能なボトルＢＴの口部内径の制限を緩和することができる。また、ブロック２２が小型化されることにより、その熱容量を低減してブロック２２がボトルＢＴの口部、あるいは口部及び胴部の両者に与える熱の影響を抑えることができる。

【0042】

以上の触媒体ユニット３によれば、一対の電極１５Ａ、１５Ｂのそれぞれに連結具２０のブロック２２を装着し、そのブロック２２の穴部２３に触媒体１１の端部１１ａ、１１ｂを挿入して止めねじ２４にて端部１１ａ、１１ｂを穴部２３内に拘束することにより触媒体１１を電極１５に電気的に接続された状態で電極１５に連結することができる。触媒体１１の交換時には止めねじ２４を緩めて古い触媒体１１を穴部２３から抜き取り、新たな触媒体１１の端部１１ａ、１１ｂを穴部２３に挿入して止めねじ２４を締め付ければよい。したがって、触媒体１１の交換作業に要する手間を軽減し、作業の効率化を図ることができる。なお、ブロック２２は触媒体１１の交換時でも電極１５に取り付けたままでよいが、必要に応じて取り外してもよい。触媒体１１が折れてその切片が穴部２３に残った場合、あるいは止めねじ２４が固着して脱着できないといった不具合が生じた場合には、連結具２０を交換すればよい。中継台１４や電極１５を分解して触媒体１１の切片を取り除くような手間が生じるおそれもない。複数本（図示例では２本）の触媒体１１の端部１１ａ（又は１１ｂ）を共通のブロック２２に装着しているので、触媒体１１ごとにブロック２２を設ける場合と比較して部品点数を削減し、かつブロック２２の装着に必要な電極１５の周囲のスペースを削減することができる。ブロック２２を共通化した場合にはブロック２２の小型化や熱容量の低減にも有利である。

【0043】

（第２の形態）
次に、触媒体ユニットの第２の形態を説明する。なお、第２の形態以降の説明では、先に説明した形態と共通する構成要素に対して同一の参照符号を使用し、各形態における連結具の相違点、特徴点を中心に説明する。また、触媒体ユニットの連結具以外の部分は第１の形態と同様であるものとする。

【0044】

図６は第２の形態に係る連結具２０を図４と同一方向から見た状態を示している。図６でも２本の触媒体１１の一方の極側の端部１１ａに対応する連結具２０を示すが、他方の端部１１ｂに対応する連結具２０も同一構成である。第２の形態の連結具２０は、ブロック２２を介して電極１５と触媒体１１とを連結する点で第１の形態と共通するが、触媒体１１の端部１１ａ、１１ｂに装着される端子部品の一例としての棒状の圧着端子３０が連結具２０にさらに含まれている点で第１の形態の連結具２０と相違する。

【0045】

圧着端子３０は、触媒体１１の端部１１ａ（又は１１ｂ、以下同様である。）が接合される接合部３１と、その接合部３１に接合された端部１１ａの軸線方向に沿って軸状に延ばされた固定部３２とを備えている。接合部３１は、触媒体１１の端部１１ａが挿入された状態でカシメ加工されることにより、端部１１ａに圧着される。それにより、触媒体１１の端部１１ａが接合部３１に対して脱着不能となるように端部１１ａが接合部３１に接合される。ブロック２２の穴部２３は、固定部３２が嵌まり合う内径に形成される。なお、凹部２５、突出部２６及びボルト孔２７は図４の形態と同様に形成される。

【0046】

本形態では、触媒体１１の端部１１ａ、１１ｂに圧着端子３０の接合部３１を圧着し、圧着端子３０の固定部３２を穴部２３に挿入して止めねじ２４で穴部２３内に拘束することにより、触媒体１１の端部１１ａ、１１ｂと電極１５とがブロック２２を介して電気的に接続された状態で触媒体１１がブロック２２と着脱自在に連結される。したがって、各連結具２０の穴部２３、止めねじ２４及び圧着端子３０は連結具２０における触媒拘束手段の一例として機能する。また、穴部２３は端子装着部の一例として機能し、止めねじ２４は端子拘束手段の一例として機能する。なお、触媒体１１を取り外すには、止めねじ２４を緩めて圧着端子３０を穴部２３から抜き取ればよい。圧着端子３０は使い捨てであり、新たな触媒体１１を装着する際には新規の圧着端子３０が使用される。

【0047】

上記のように圧着端子３０を介して触媒体１１の端部１１ａ、１１ｂをブロック２２と連結する場合も、触媒体１１を効率よく着脱することができる。しかも、圧着端子３０を止めねじ２４にて拘束するので、止めねじ２４の締付力で触媒体１１の端部１１ａ、１１ｂが曲がるおそれがない。つまり、触媒体１１の端部１１ａ、１１ｂを止めねじ２４で押し込むと、その力が触媒体１１に直接作用して触媒体１１に内部応力が蓄積され、触媒体１１に曲がりが生じるおそれがある。内部応力の蓄積は触媒体１１が折損（断線）する要因ともなり得る。これに対して、本形態では、圧着端子３０の固定部３２を止めねじ２４で押し込んでいるので、触媒体１１に拘束力が直接作用せず、触媒体１１における内部応力の蓄積を抑えることができる。触媒体１１の端部１１ａ、１１ｂに曲がりが生じると、ガイド１７にて触媒体１１の中間部が保持されていても、それらのガイド１７間で触媒体１１が蛇行するように変形するおそれがある。触媒体１１からボトルＢＴの内面までの距離は成膜品質に影響するパラメータの一つであるため、圧着端子３０を利用して端部１１ａ、１１ｂの曲がりを防止すれば、触媒体１１の変形を抑えて成膜品質の向上を図ることができる。触媒体１１が曲がってボトルＢＴの内面に接触するといった不都合が生じるおそれも回避できる。また、止めねじ２４を締め付けても端部１１ａ、１１ｂが曲がりにくいため、触媒体１１を装着する作業をさらに手際よく行うことができる。

【0048】

（第３の形態）
図７及び図８は第３の形態に係る連結具２０を図４及び図５と同一方向から見た状態をそれぞれ示している。図７及び図８でも２本の触媒体１１の一方の極側の端部１１ａに対応する連結具２０を示すが、他方の端部１１ｂに対応する連結具２０も同一構成である。第３の形態の連結具２０は、第１の形態のブロック２２と概ね同一形状のブロック３５を取付基部の一例として備えるとともに、端子部品の一例として、第２の形態の棒状の圧着端子３０に代えて、丸型の圧着端子４０を備えている。圧着端子４０は、触媒体１１の端部１１ａ（又は１１ｂ、以下同様である。）が接合される接合部４１と、その接合部４１に接合された端部１１ａの軸線方向に沿って平板状に延ばされた固定部４２とを備えている。接合部４１は第２の形態の接合部３１と同様に触媒体１１の端部１１ａに圧着され、それにより接合部４１には端部１１ａが脱着不能な状態で接合される。固定部４２は概ね滴形状であり、その中心部には抜き孔４２ａが形成されている。

【0049】

ブロック３５は、第１及び第２の形態における穴部２３に代えて、圧着端子４０の固定部４２を受け入れる端子装着溝４３が形成されている点でブロック２２と相違する。端子装着溝４３は、ブロック３５の同一方向に向けられた側面３５ａ上に形成されている。端子装着溝４３の上端部は、圧着端子４０の接合部４１が上方に突出できるようにブロック３５の上面３５ｂに開口する。なお、ブロック３５にも、図４の形態と同様に凹部２５、突出部２６及びボルト孔２７が形成される。

【0050】

本形態の連結具２０によれば、触媒体１１の端部１１ａ、１１ｂに圧着端子４０の接合部４１を圧着し、圧着端子４０の固定部４２を端子装着溝４３にその表面が接するように装着し、その固定部４２をボルト４４にてブロック３５に固定することにより、触媒体１１の端部１１ａ、１１ｂと電極１５とがブロック３５を介して電気的に接続された状態で触媒体１１がブロック３５と着脱自在に連結される。この場合、各連結具２０の圧着端子４０、端子装着溝４３、及びボルト４４は連結具２０における触媒拘束手段の一例として機能する。また、端子装着溝４３は端子装着部の一例として機能し、ボルト４４は端子拘束手段の一例として機能する。なお、触媒体１１を取り外すには、ボルト４４を取り外して圧着端子４０を端子装着溝４３から抜き取ればよい。圧着端子４０は使い捨てであり、新たな触媒体１１を装着する際には新規の圧着端子４０が使用される。

【0051】

本形態の連結具２０によっても、圧着端子４０を介して触媒体１１の端部１１ａ、１１ｂをブロック３５と連結しているので、触媒体１１を効率よく着脱することができる。ボルト４４の締付力で触媒体１１に内部応力が蓄積されてその端部１１ａ、１１ｂ等が曲がるおそれもない。そのため、成膜品質の向上を図ることができ、触媒体１１を装着する作業をさらに手際よく行うことができる。固定部４２が平板状であって、その表面が端子装着溝４３に接する状態でボルト４４を締め付けて圧着端子４０をブロック３５に拘束しているので、触媒体１１を曲げる作用が第２の形態に比してさらに生じ難い。ボルト４４を締め過ぎても、その締付力は端子装着溝４３側で受け止められて圧着端子４０の固定部４２は定位置に拘束される。つまり、ボルト４４を締め過ぎてもそれにより触媒体１１が締め付け方向に曲げられるといった変形が生じるおそれもない。したがって、ボルト４４の締付作業に関する作業者の個人差に関わりなく、触媒体１１を一定品質で交換することができる。端子装着溝４３を同一方向に向けられた側面３５ａ上に形成しているので、ブロック３５の薄型化、すなわち図８の上下方向におけるブロック３５の厚さの削減に有利である。

【0052】

（第４の形態）
図９及び図１０は第４の形態に係る連結具２０を図７及び図８と同一方向から見た状態をそれぞれ示している。図９及び図１０においても２本の触媒体１１の一方の極側の端部１１ａに対応する連結具２０を示すが、他方の極側の端部１１ｂに対応する連結具２０も同一構成である。第４の形態の連結具２０は、取付基部の一例としてのブロック４５を有し、かつ丸型の圧着端子４０とボルト４４とを利用して触媒体１１の端部１１ａ、１１ｂをブロック４５と連結する点で第３の形態の連結具２０と共通する。しかし、ブロック４５に形成された端子装着溝４３の位置が第３の形態のそれと異なる。ブロック４５において、端子装着溝４３は、ブロック４５の一側面（図では左側面）４５ａと、その側面４５ａに対して反対側の側面４５ｂとに設けられている。つまり、ブロック４５のボルト孔２７を挟んで左右方向に対向する一対の側面４５ａ、４５ｂに端子装着溝４３が設けられ、一対の圧着端子４０は、それらの固定部４２が互いに向かい合うようにしてブロック４５に取り付けられる。

【0053】

本形態によっても第３の形態と同様に丸型の圧着端子４０を用いた利点が得られる。また、端子装着溝４３の位置を上記の通りに変更しているため、例えば複数の固定部４２を図７のように左右方向に並べる場合と比較して、ブロック４５の幅を削減することができる。つまり、本形態では、複数の触媒体１１の同一極側の端部１１ａ（又は１１ｂ）を共通のブロック４５に取り付けつつ、それらの端部の並び方向（図の左右方向）におけるブロック４５の幅の拡大を抑えることができる。したがって、ブロック４５を挿入することが可能なボトルＢＴの口部内径についての制限を緩和することが可能である。なお、本形態でも、各連結具２０の圧着端子４０、端子装着溝４３、及びボルト４４が連結具２０における触媒拘束手段の一例として機能し、端子装着溝４３が端子装着部の一例として機能し、ボルト４４が端子拘束手段の一例として機能する。

【0054】

（第５の形態）
図１１及び図１２は第５の形態に係る連結具２０を図７及び図８と同一方向から見た状態をそれぞれ示している。図１１及び図１２においても２本の触媒体１１の一方の極側の端部１１ａに対応する連結具２０を示すが、他方の極側の端部１１ｂに対応する連結具２０も同一構成である。第５の形態の連結具２０は、取付基部の一例としてのブロック５０を有し、かつ丸型の圧着端子４０とボルト４４とを利用して触媒体１１の端部１１ａ（又は１１ｂ、以下同様。）をブロック５０と連結する点で第３及び第４の形態の連結具２０と共通する。しかし、ブロック５０に形成された端子装着溝４３の位置が第３及び第４の形態のそれらと異なる。ブロック５０において、端子装着溝４３は、ブロック５０の複数の側面５０ａ、５０ｂに設けられている。しかも、側面５０ａ、５０ｂは、それぞれの法線が互いに直交し、又は斜めに交差する方向に向けられている。言い換えれば、ブロック５０をそのボルト孔２７が左右方向の中心に位置するようにして見たとき、一対の側面５０ａ、５０ｂは斜め外側を向くように傾けて形成され、それらの側面５０ａ、５０ｂに端子装着溝４３が設けられている。一対の圧着端子４０は、それらの固定部４２の表面が端子装着溝４３に接するようにしてボルト４４によりブロック５０に取り付けられる。

【0055】

本形態によっても第３の形態と同様に丸型の圧着端子４０を用いた利点が得られる。また、端子装着溝４３を斜め外側に向けられた側面５０ａ、５０ｂ上に設けているため、ブロック５０の角部の突出を抑えることができる。それにより、ブロック５０を挿入することが可能なボトルＢＴの口部内径に関する制限を緩和することが可能である。なお、本形態でも、各連結具２０の圧着端子４０、端子装着溝４３、及びボルト４４が連結具２０における触媒拘束手段の一例として機能し、端子装着溝４３が端子装着部の一例として機能し、ボルト４４が端子拘束手段の一例として機能する。

【0056】

（第６の形態）
図１３及び図１４は第６の形態に係る連結具を用いて３本の触媒体１１を一方の電極１５Ａと連結した状態を示している。なお、他方の電極１５Ｂにおける触媒体１１の連結構造も図１３と同一である。本形態では、上述した取付基部の一例としてのブロック２２、３５、４５、５０が省略され、端子部品の一例としての丸型の圧着端子６０それ自体が連結具として使用される。圧着端子６０は、上述した丸型の圧着端子４０と同様に、触媒体１１の端部１１ａ（又は１１ｂ、以下同様である。）が接合される接合部６１と、その接合部６１から平板状に延ばされた固定部６２とを備えている。ただし、図１４から明らかなように、本形態の圧着端子６０において、固定部６２は接合部６１に接合される触媒体１１の端部１１ａの軸線方向に対して略直交する方向に延ばされている。固定部６２の中心には抜き孔６２ａが形成されている。このような圧着端子６０は、例えば上述した圧着端子４０の固定部４２を接合部４１に対して略直角に曲げ加工して得ることができる。なお、図１３ではかしめ加工されて変形した接合部６１を示し、図１４では接合部６１がかしめ加工が施される前の接合部１１を示している。

【0057】

本形態においても、接合部６１は触媒体１１の端部１１ａに圧着され、それにより端部１１ａは接合部６１に対して脱着不能に接合される。その状態で、同一の電極１５Ａに連結されるべき３本の触媒体１１のそれぞれの端部１１ａに装着された圧着端子６０の固定部６２が電極１５Ａの端面に互いに重ね合わされるようにして電極１５Ａ上に配置される。さらに、固定部６２のボルト孔６２ａを貫くようにボルト６４が電極１５Ａの上端のねじ穴１５ａにねじ込まれる。それにより、圧着端子６０が電極１５Ａの上端に共締めされ、触媒体１１が電極１５Ａに電気的に接続されるようにして電極１５Ａに着脱自在に連結される。なお、触媒体１１を取り外すには、ボルト６４を取り外して圧着端子６０を電極１５から除去すればよい。圧着端子６０は使い捨てであり、新たな触媒体１１を装着する際には新規の圧着端子６０が使用される。

【0058】

本形態によれば、圧着端子６０を介して触媒体１１の端部１１ａ、１１ｂを電極１５と連結しているので、ボルト６４の締付力が触媒体１１の端部１１ａ、１１ｂに直接作用して触媒体１１に内部応力が蓄積されるおそれがない。したがって、触媒体１１の端部１１ａ、１１ｂに曲げが生じるおそれもない。そのため、成膜品質の向上を図ることができ、また、触媒体１１を装着する作業を手際よく行うことができる。圧着端子６０を電極１５に直接的に装着しているので、上述したブロック２２、３５、４５、５０を用いる場合と比較して部品点数を削減することができ、触媒体１１を挿入可能なボトルＢＴの口部内径の制限をさらに緩和することができ、触媒体１１と電極１５の連結部分の熱容量を低減してその連結部分がボトルＢＴの口部、あるいは口部及び胴部の両者に与える熱の影響をより効果的に抑えることができる。ボルト６４の締付力が電極１５Ａ、１５Ｂにて受け止められる点は上述した第３〜第５の形態と同様であり、ボルト６４の締め過ぎで触媒体１１が締付力の方向に曲がるおそれがないため、ボルト６４の締付作業に関する作業者の個人差に関わりなく、触媒体１１を一定品質で交換することができる。電極１５Ａ、１５Ｂ上に圧着端子６０の固定部６２を重ね合わせているので、触媒体１１の本数の増減に容易に対応することが可能である。

【0059】

（第７の形態）
図１５は第７の形態に係る連結具７０を示している。連結具７０は、一対の導電性の保持部材７１、７２を備えている。一方の保持部材７１は、基部７３と、その基部７３から上方に延ばされた壁部７４とを備えている。壁部７４の一方の側面７４ａは基部７３に受け面７３ａが生じるように反対側の側面７４ｂに向かって後退する。その後退した側面７４ａには上下方向に互いに平行に延ばされた一対の溝部７４ｃが形成されている。溝部７４ｃの断面は概ね半円弧状である。基部７３の受け面７３ａには下方に窪んだ嵌合溝７３ｂが形成されている。側面７４ａには、その嵌合溝７３ｂと位置を合わせるように上下方向の突条部７４ｄが形成され、その突条部７４ｄにはねじ穴７４ｅが形成されている。

【0060】

他方の保持部材７２は、一方の保持部材７１の受け面７３ａ及び側面７４ａに突き当てられるようにして保持部材７１と着脱自在に組み合わされる概略平板状に形成されている。保持部材７１、７２を互いに組み合わせたとき、連結具７０の外観は概ね直方体形状となる。保持部材７２の下面側には嵌合溝７３ｂに嵌まり合う突条部７２ａが形成されている。保持部材７１の側面７４ａに接するべき保持部材７２の側面７２ｂには、上下方向に互いに平行に延ばされた一対の溝部７２ｂが、保持部材７１の溝部７４ａと位置を合わせて形成されている。溝部７２ｂの断面も概ね半円弧状である。溝部７２ｂの間には、保持部材７１の突条部７４ｄが嵌まり合う嵌合溝７２ｄが形成されている。さらに、保持部材７２には、嵌合溝７２ｄに開口するようにしてボルト孔７２ｅが形成されている。

【0061】

以上の連結具７０においては、保持部材７１、７２が分離された状態で溝部７４ｃ、７２ｃの間に２本の触媒体１１の同一極側の端部１１ａ（又は１１ｂ、以下同様である。）が配置され、その後に保持部材７１、７２同士が組み合わされて保持部材７１、７２間に触媒体１１の端部１１ａが挟み込まれる。さらに、ボルト孔７２ｅにボルト７７が挿通されてねじ穴７４ｅにねじ込まれることにより、保持部材７１、７２間にて触媒体１１の端部１１ａが拘束される。連結具７０は保持部材７１の底面に設けられたねじ穴７３ｃを利用して電極１５に取り付けられる。それにより、触媒体１１の端部１１ａが電極１５と連結具７０を介して電気的に接続されるようにして触媒体１１が電極１５に着脱自在に連結される。

【0062】

本形態によれば、保持部材７１、７２を組み合わせてボルト７７を締め付けても、触媒体１１を曲げる作用が生じないので、成膜品質の向上を図ることができ、また、触媒体１１を装着する作業を手際よく行うことができる。触媒体１１の端部１１ａを一対の保持部材７１、７２で挟み込むようにしたので、触媒体１１の取り付け時、取り外し時のいずれにおいても、保持部材７１、７２を分離することにより、溝部７４ｃ、７２ｃを開いて触媒体１１を効率よく取り付け、あるいは取り外すことができる。取り外し時に触媒体１１が折れた場合でもその切片を容易に取り除くことが可能である。なお、本形態においては、触媒体１１の端部１１ａ、１１ｂに圧着端子３０（図６）を装着し、その固定部３２を保持部材７１、７２にて挟み込むようにしてもよい。

【0063】

（第８の形態）
図１６は第８の形態に係る連結具７０を示している。本形態の連結具７０は、上述した第７の形態の連結具７０に対して、一方の保持部材７１の上端面にフック部７５が、そのフック部７５と噛み合う突起部７６が他方の保持部材７２の上端面にそれぞれ設けられたものである。本形態によれば、保持部材７１、７２を相互に組み合わせる際に、突起部７６をフック部７５に引っ掛けることにより、保持部材７１、７２の分離を規制し、それにより溝部７４ｃ、７２ｃが開くような変位を抑えて触媒体１１の端部１１ａ、１１ｂを連結具７０にて確実に保持することができる。この場合、フック部７５及び突起部７６が分離規制手段の一例として機能する。

【0064】

本発明は上述した各形態に限定されず、適宜の変形又は変更が施された形態にて実施されてよい。例えば、触媒体の端部が連結されるべき電極は棒状に限らず、各種の形状に形成されてよい。触媒体ユニットは容器等の被処理物の内部に挿入されることを前提として構成される例に限らない。触媒ＣＶＤ法に用いられる限り、触媒体ユニットは適宜に構成されてよい。触媒体拘束手段、端部拘束手段、あるいは端子拘束手段は、止めねじやボルトを利用する例に限らず、触媒体の端部、あるいは端子部品の固定部を定位置に拘束できる限りにおいて、適宜の変更が可能である。例えば、ナットその他のねじ締結手段、クサビ等を利用した締結構造等がそれらの拘束手段として利用されてもよい。端子部品は棒状の圧着端子、又は丸型の圧着端子に限らず、例えば固定部が二股状に分岐された端子部品、固定部が矩形平板状に形成された端子部品等が適宜に利用されてよい。端子装着部は溝状に形成される例に限らず、平面上あるいは突起上に端子部品の固定部が連結されてもよい。
成膜が施されるべき被処理物は樹脂製のボトルに限定されず、適宜の物品が成膜対象の被処理物として採用されてよい。

【符号の説明】

【0065】

１ 成膜装置
２ 真空チャンバ（成膜用のチャンバ）
３ 触媒体ユニット
１０ 原料ガス供給管
１１ 触媒体
１１ａ、１１ｂ 触媒体の端部
１５Ａ、１５Ｂ 電極
２０ 連結具
２２ ブロック（取付基部）
２３ 穴部（触媒拘束手段）
２４ 止めねじ（触媒拘束手段、端部拘束手段、端子拘束手段）
３０ 圧着端子（触媒拘束手段、端子部品）
３１ 接合部
３２ 固定部
３５ ブロック（取付基部）
４０ 圧着端子（触媒拘束手段、端子部品）
４１ 接合部
４２ 固定部
４３ 端子装着溝（触媒拘束手段、端子装着部）
４４ ボルト（触媒拘束手段、端子拘束手段）
４５ ブロック（取付基部）
５０ ブロック（取付基部）
６０ 圧着端子（連結具、端子部品）
６１ 接合部
６２ 固定部
７０ 連結具
７１、７２ 保持部材
７５ フック部（分離規制手段）
７６ 突起部（分離規制手段）
ＢＴ ボトル

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】