特許6848064層間境界をカバーする蒸着層を含む半導体製造用部品及びその製造方法

発明の名称　層間境界をカバーする蒸着層を含む半導体製造用部品及びその製造方法

出願人　トーカイ　カーボン　コリア　カンパニー．，リミテッド　（識別番号 518450083）

　　　　特許公開件数ランキング 12174 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 25341 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6848064

公報発行日　2021年3月24

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6848064

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