特許 6851348 真空装置及び復旧支援方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6851348

(24)【登録日】2021年3月11日

(45)【発行日】2021年3月31日

(54)【発明の名称】真空装置及び復旧支援方法

(51)【国際特許分類】

   H01J 37/24 20060101AFI20210322BHJP

【ＦＩ】

   H01J37/24

【請求項の数】5

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2018-152838(P2018-152838)

(22)【出願日】2018年8月15日

(65)【公開番号】特開2020-27773(P2020-27773A)

(43)【公開日】2020年2月20日

【審査請求日】2020年1月31日

(73)【特許権者】

【識別番号】000004271

【氏名又は名称】日本電子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100090387

【弁理士】

【氏名又は名称】布施 行夫

(74)【代理人】

【識別番号】100090398

【弁理士】

【氏名又は名称】大渕 美千栄

(72)【発明者】

【氏名】▲塚▼本 一徳

【審査官】 鳥居 祐樹

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００３−１０８２２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０７−０３６７２９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｊ ３７／２４

Ｈ０１Ｊ ３７／２０

Ｇ０１Ｎ １／００

Ｂ０７Ｃ ５／３４ − ５／３６

Ｈ０１Ｊ ３７／２６

Ｈ０１Ｊ ３７／３０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

試料を搬送する自動搬送機構と、装置の状態を検出するセンサとを備えた真空装置であって、
前記センサからの信号に基づいて、復旧可能なエラーが発生したか否かを判定する判定部と、
復旧可能なエラーが発生したと判定された場合に、復旧操作の手順をウィザード形式で表示部に表示させる表示制御部とを含み、
前記表示制御部は、
前記センサからの信号に基づいて前記表示部に表示されている手順通りに復旧操作が行われたか否かを判定し、前記手順通りに復旧操作が行われたと判定した場合に、復旧操作の次の手順を前記表示部に表示させる、真空装置。

【請求項2】

請求項１において、
前記表示制御部は、
復旧操作の手順に装置を動作させる手順が含まれる場合に、装置を動作させるための制御ボタンを前記表示部に表示させ、
前記制御ボタンに対する操作に応じて装置を動作させる制御を行う駆動制御部を更に含む、真空装置。

【請求項3】

請求項１又は２において、
前記表示制御部は、
復旧操作の手順通りに復旧操作が行われたか否かを前記センサからの信号に基づき判定できない場合は、判定できる状態にするための操作手順を前記表示部に表示させる、真空装置。

【請求項4】

請求項１乃至３のいずれか１項において、
前記表示制御部は、
前記表示部に表示されている手順通りに復旧操作が行われたと判定した場合に、復旧操作の次の手順を示す画面に移行するための移行ボタンを有効化し、前記移行ボタンの操作が行われた場合に、前記次の手順を前記表示部に表示させる、真空装置。

【請求項5】

試料を搬送する自動搬送機構と、装置の状態を検出するセンサとを備えた真空装置の復旧支援方法であって、
前記センサからの信号に基づいて、復旧可能なエラーが発生したか否かを判定する判定ステップと、
復旧可能なエラーが発生したと判定された場合に、復旧操作の手順をウィザード形式で表示部に表示させる表示制御ステップとを含み、
前記表示制御ステップでは、
前記センサからの信号に基づいて前記表示部に表示されている手順通りに復旧操作が行われたか否かを判定し、前記手順通りに復旧操作が行われたと判定した場合に、復旧操作の次の手順を前記表示部に表示させる、復旧支援方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、真空装置及び復旧支援方法に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、電子装置の不具合発生時に、採集した診断情報から原因を究明し、故障原因と処置とに基づき該当する復旧手順を読み出して復旧支援画面表示部に表示する復旧支援装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平７−３６７２９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記のような復旧支援装置では、ユーザが復旧支援画面を見て復旧作業を行う場合、手順や操作の正誤をユーザが判断することになり、復旧操作を間違え、更には装置を壊してしまうリスクがある。

【0005】

本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様によれば、ユーザが簡単に復旧することが可能な真空装置及び復旧支援方法を提供することができる。

【課題を解決するための手段】

【0006】

（１）本発明に係る真空装置は、試料を搬送する自動搬送機構と、装置の状態を検出するセンサとを備えた真空装置であって、前記センサからの信号に基づいて、復旧可能なエラーが発生したか否かを判定する判定部と、復旧可能なエラーが発生したと判定された場合に、復旧操作の手順をウィザード形式で表示部に表示させる表示制御部とを含み、前記表示制御部は、前記センサからの信号に基づいて前記表示部に表示されている手順通りに復旧操作が行われたか否かを判定し、前記手順通りに復旧操作が行われたと判定した場合に、復旧操作の次の手順を前記表示部に表示させる。

【0007】

また、本発明に係る復旧支援方法は、試料を搬送する自動搬送機構と、装置の状態を検出するセンサとを備えた真空装置の復旧支援方法であって、前記センサからの信号に基づいて、復旧可能なエラーが発生したか否かを判定する判定ステップと、復旧可能なエラーが発生したと判定された場合に、復旧操作の手順をウィザード形式で表示部に表示させる表示制御ステップとを含み、前記表示制御ステップでは、前記センサからの信号に基づいて前記表示部に表示されている手順通りに復旧操作が行われたか否かを判定し、前記手順通りに復旧操作が行われたと判定した場合に、復旧操作の次の手順を前記表示部に表示させる。

【0008】

本発明によれば、復旧操作の手順をウィザード形式で表示し、センサからの信号に基づいて手順通りに復旧操作が行われたと判定した場合に、次の手順を示す画面を表示することで、ユーザが簡単にミスなく復旧操作を行うことができる。

【0009】

（２）本発明に係る真空装置及び復旧支援方法では、前記表示制御部は（前記表示制御ステップでは）、復旧操作の手順に装置を動作させる手順が含まれる場合に、装置を動作させるための制御ボタンを前記表示部に表示させ、前記制御ボタンに対する操作に応じて
装置を動作させる制御を行う駆動制御部（駆動制御ステップ）を更に含んでもよい。

【0010】

本発明によれば、復旧操作の手順に装置を動作させる手順が含まれる場合に、装置を動作させるための制御ボタンを表示することで、ユーザが迷いなく復旧操作を行うことができる。

【0011】

（３）本発明に係る真空装置及び復旧支援方法では、前記表示制御部は（前記表示制御ステップでは）、復旧操作の手順通りに復旧操作が行われたか否かを前記センサからの信号に基づき判定できない場合は、判定できる状態にするための操作手順を前記表示部に表示させてもよい。

【0012】

本発明によれば、復旧操作の手順通りに復旧操作が行われたか否かをセンサで判定できない場合は、センサで判定できるところまで操作を誘導して、復旧操作の手順通りに復旧操作が行われたか否かを判定することで、ユーザがミスなく復旧操作を行うことができる。

【0013】

（４）本発明に係る真空装置及び復旧支援方法では、前記表示制御部は（前記表示制御ステップでは）、前記表示部に表示されている手順通りに復旧操作が行われたと判定した場合に、復旧操作の次の手順を示す画面に移行するための移行ボタンを有効化し、前記移行ボタンの操作が行われた場合に、前記次の手順を前記表示部に表示させてもよい。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本実施形態に係る真空装置の一例を模式的に示す図。

【図2】本実施形態に係る真空装置の機能ブロック図の一例を示す図。

【図3】ウィザード形式で表示される復旧操作の手順の一例を示す図。

【図4】ウィザード形式で表示される復旧操作の手順の一例を示す図。

【図5】ウィザード形式で表示される復旧操作の手順の一例を示す図。

【図6】ウィザード形式で表示される復旧操作の手順の一例を示す図。

【図7】ウィザード形式で表示される復旧操作の手順の一例を示す図。

【図8】ウィザード形式で表示される復旧操作の手順の一例を示す図。

【図9】ウィザード形式で表示される復旧操作の手順の一例を示す図。

【図10】本実施形態に係る真空装置の処理の流れを示すフローチャート。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。

【0016】

１．構成
図１に、本実施形態に係る真空装置の一例を模式的に示す。なお本実施形態の真空装置は図１の構成要素（各部）の一部を省略した構成としてもよい。真空装置１は、電子顕微鏡等の観察装置や、ＥＰＭＡ（電子線マイクロアナライザ）等の分析装置や、ＦＩＢ（集束イオンビーム装置）等の加工装置に備わる真空装置である。真空装置１は、試料室２と、試料交換室３と、試料交換室３に設けられる試料交換棒４とを含む。試料室２は、観察（分析、加工）時に試料を置くための空間であり、試料交換室３は、試料室２を大気圧にすることなく試料を出し入れするために設けられた空間である。試料交換室３は、試料交換室３の試料室２側には仕切弁５が設けられ、試料交換室３の大気圧側には交換室扉６が設けられており、予備排気できるように構成されている。

【0017】

試料は試料ホルダ７に取り付けられ、試料ホルダ７は、ホルダアダプタ８に取り付けら
れる。図中実線で示す試料ホルダ７及びホルダアダプタ８は、試料室２内の試料ステージ９上にある状態を示しており、図中点線で示す試料ホルダ７及びホルダアダプタ８は、試料交換室３内にある状態を示している。試料ステージ９は、試料ホルダ７及びホルダアダプタ８を試料室２内で水平方向及び垂直方向に移動させる。

【0018】

試料交換棒４は、試料交換の際に試料室２と試料交換室３の間で試料を搬送（出し入れ）する自動搬送機構を構成する。試料交換棒４は、交換棒駆動モータ１０によって駆動され、その先端部が左右方向に移動する。試料交換棒４の先端部は、ホルダアダプタ８に連結可能に構成される。試料交換棒４の先端部は、１回押し込まれるごとに９０°回転し、垂直状態から水平状態、或いは水平状態から垂直状態になる。試料交換棒４の先端部が垂直状態でホルダアダプタ８に当接しホルダアダプタ８側に押し込まれると、先端部が回転して水平状態となり、ホルダアダプタ８に連結される。また、試料交換棒４の先端部が水平状態（ホルダアダプタ８に連結された状態）でホルダアダプタ８側に押し込まれると、先端部が回転して垂直状態となり、ホルダアダプタ８との連結が解除される。試料交換棒４の先端部が試料交換室３内にあるホルダアダプタ８に連結した状態で、先端部を試料室２側（右方向）に移動することで、試料ホルダ７を試料交換室３から試料室２に搬送することができる。また、試料交換棒４の先端部を試料室２内にあるホルダアダプタ８に連結した状態で、先端部を試料交換室３側（左方向）に移動することで、試料ホルダ７を試料室２から試料交換室３に搬送することができる。

【0019】

試料交換室３には、試料交換室３の圧力を測るセンサ１１（真空計）と、交換室扉６の開閉を検出するセンサ１２と、試料交換棒４の先端部の回転状態（水平状態か垂直状態か）を検出するセンサ１３と、試料交換棒４の先端部の位置を検出するセンサ１４、１５が設けられている。センサ１４により試料交換棒４の先端部が左端位置にある（試料交換棒４が縮みきった状態となっている）ことを検出することができ、センサ１５により試料交換棒４の先端部が右端位置にある（試料交換棒４が伸びきった状態となっている）ことを検出することができる。なお、センサ１３は、試料交換棒４の先端部が左端位置にある場合のみ、先端部の回転状態を検出することができる。また、試料室２には、仕切弁５の開閉を検出するセンサ１６と、試料ステージ９の試料室２内での位置を検出するセンサ１７が設けられている。また、真空装置１には、ホルダアダプタ８の位置を検出するセンサ１８〜２１が設けられ、そのうち、センサ１８、１９が試料交換室３に設けられ、センサ２０が試料室２内のＴ字部２２に設けられ、センサ２１が試料ステージ９に設けられている。センサ１８、１９によりホルダアダプタ８が試料交換室３に位置することを検出することができ、センサ２０によりホルダアダプタ８が試料交換室３と試料室２の間（仕切弁５を跨いだ位置）に位置することを検出することができ、センサ２１によりホルダアダプタ８が試料ステージ９上に位置することを検出することができる。

【0020】

図２に、本実施形態に係る真空装置の機能ブロック図の一例を示す。真空装置１は、処理部１００と、操作部１１０と、検出部１２０（センサ）と、表示部１３０と、駆動機構１４０と、記憶部１５０を含む。

【0021】

操作部１１０は、ユーザが操作情報を入力するためのものであり、入力された操作情報を処理部１００に出力する。操作部１１０の機能は、キーボード、マウス、ボタン、タッチパネル、タッチパッドなどのハードウェアにより実現することができる。

【0022】

検出部１２０は、装置（真空装置１、自動搬送機構）の状態を検出するセンサであり、センサ１１〜２１を含む。検出部１２０に含まれる各センサの検出信号は処理部１００に出力される。

【0023】

表示部１３０は、処理部１００によって生成された画像を表示するものであり、その機
能は、ＬＣＤ、ＣＲＴ、操作部１１０としても機能するタッチパネルなどにより実現できる。

【0024】

駆動機構１４０は、試料交換棒４の駆動装置（交換棒駆動モータ１０）と、真空ポンプの駆動装置と、真空バルブの駆動装置と、試料ステージ９の駆動装置とを含む。

【0025】

記憶部１５０は、処理部１００の各部としてコンピュータを機能させるためのプログラムや各種データを記憶するとともに、処理部１００のワーク領域として機能し、その機能はハードディスク、ＲＡＭなどにより実現できる。

【0026】

処理部１００（コンピュータ）は、操作情報や検出部１２０からの信号、プログラムなどに基づいて、各種処理を行う。処理部１００の機能は、各種プロセッサ（ＣＰＵ、ＤＳＰ等）などのハードウェアや、プログラムにより実現できる。処理部１００は、判定部１０１、表示制御部１０２、駆動制御部１０３を含む。

【0027】

判定部１０１は、検出部１２０に含まれる１つ又は複数のセンサからの信号に基づいて、復旧可能な（ユーザの操作により復旧できる）エラーが発生したか否かを判定する。例えば、検出部１２０に含まれる各センサからの信号の組み合わせに対応する復旧可能なエラーの種類を特定するデータを記憶部１５０に記憶しておき、判定部１０１は、各センサからの信号の組み合わせに基づいて、当該データを参照して、当該組み合わせに対応するエラーがあるか否かを判定する。

【0028】

表示制御部１０２は、判定部１０１によって復旧可能なエラーが発生したと判定された場合に、当該エラーを復旧するための復旧操作の手順をウィザード形式で表示部１３０に表示させる制御を行う。例えば、復旧可能な各エラーの種類に対応付けて、復旧操作の手順をウィザード形式で表示するためのデータを記憶部１５０に記憶しておき、表示制御部１０２は、発生したエラーの種類に対応するデータを読み出して、当該エラーを復旧するための復旧操作の手順をウィザード形式で表示させる。復旧操作の各手順は、操作手順を示す文章、図、写真、或いは、これらの組み合わせにより表示される。

【0029】

また、表示制御部１０２は、検出部１２０に含まれる１つ又は複数のセンサからの信号に基づいて表示部１３０に表示されている手順通りに復旧操作が行われたか否かを判定し、当該手順通りに復旧操作が行われたと判定した場合に、復旧操作の次の手順を表示部１３０に表示させる。また、表示制御部１０２は、表示部１３０に表示されている手順通りに復旧操作が行われたと判定した場合に、復旧操作の次の手順を示す画面に移行するための移行ボタンを有効化し、有効化された移行ボタンに対する操作が行われた場合に、当該次の手順を表示部１３０に表示させてもよい。移行ボタンを有効化するとは、移行ボタンを操作不能状態から操作可能状態にすることである。移行ボタンを有効化する際には、移行ボタンを非表示状態から表示状態にしてもよいし、半透明で表示していた移行ボタンを不透明で表示してもよい。また、表示制御部１０２は、復旧操作の手順に装置を動作させる手順が含まれる場合には、装置を動作させるための制御ボタンを表示部１３０に表示させる。また、表示制御部１０２は、復旧操作の手順通りに復旧操作が行われたか否かを検出部１２０に含まれるセンサからの信号に基づき判定できない場合は、検出部１２０からの信号に基づき判定できる状態にするための操作手順を表示部１３０に表示させる。

【0030】

駆動制御部１０３は、駆動機構１４０に制御信号を出力して、駆動機構１４０を動作させる制御を行う。例えば、駆動制御部１０３は、ユーザによって試料ホルダ７を試料ステージ９に挿入することを指示する操作が行われた場合に、交換棒駆動モータ１０を駆動して、ホルダアダプタ８に連結された試料交換棒４の先端部を試料室２側に移動することで、試料ホルダ７を試料ステージ９に搬送し、ホルダアダプタ８との連結を解除した試料交
換棒４の先端部を試料交換室３側に移動する。また、駆動制御部１０３は、ユーザによって試料ホルダ７の取り出しを指示する操作が行われた場合に、交換棒駆動モータ１０を駆動して、ホルダアダプタ８に連結されていない試料交換棒４の先端部を試料室２側に移動させてホルダアダプタ８に連結させ、ホルダアダプタ８に連結された試料交換棒４の先端部を試料交換室３側に移動することで、試料ホルダ７を試料交換室３に搬送する。また、駆動制御部１０３は、復旧時のウィザードの画面に表示された制御ボタンに対する操作に応じて駆動機構１４０を動作させる。

【0031】

２．本実施形態の手法
次に本実施形態の手法について図面を用いて説明する。図３〜図９に、復旧可能なエラーが発生した場合に表示部１３０に表示される復旧ウィザード（ウィザード形式で表示される復旧操作の手順）の一例を示す。この例では、センサ２１からの信号により試料ホルダ７及びホルダアダプタ８が試料ステージ９上にあることを検出し、センサ１４からの信号により試料交換棒４の先端部が左端位置にあることを検出し、センサ１３からの信号により試料交換棒４の先端部が水平状態となっていることを検出したため、復旧可能なエラー（試料交換棒４先端の回転状態の異常）が発生したと判定している。この場合、試料交換棒４の先端部が水平状態となっているため、ユーザが試料ホルダ７の取り出しを指示する操作を行っても、試料交換棒４の先端部がホルダアダプタ８に連結されず、試料ホルダ７を取り出すことができない。このエラーを復旧するには、ユーザは、試料交換棒４の先端部を手で押し込んで、先端部を水平状態から垂直状態にする復旧操作を行う必要がある。

【0032】

図３に、復旧ウィザードの最初の画面を示す。図３に示す画面２０１には、試料室２と試料交換室３と試料ホルダ７の状態を示す図が表示されている。この図は、試料ホルダ７が試料室２にあり、試料室２と試料交換室３が排気されていることを示している。また、画面２０１には、復旧操作の最初の手順として、試料交換室３を大気圧にすることが表示されている。また、画面２０１には、「ＯＫ」ボタン（制御ボタン）が表示され、ユーザが「ＯＫ」ボタンを押す操作を行うと、センサ１６からの信号に基づき仕切弁５が閉じていることが検出された後、真空バルブが駆動され試料交換室３が大気圧にされる。なお、ユーザが「Ｃａｎｃｅｌ」ボタンを押す操作を行うと、復旧ウィザードは終了する。

【0033】

センサ１１からの信号に基づき試料交換室３が大気圧になったことが検出されると、図４に示す画面２０２に移行する。画面２０２に表示された図は、試料交換室３が大気圧になっていることを示している。ユーザが、画面２０２に表示された「次へ」ボタン（移行ボタン）を押す操作を行うと、図５に示す画面２０３に移行する。

【0034】

画面２０３には、復旧操作の次の手順として、交換室扉６を開けることが表示され、また、交換室扉６を開いた状態を示す写真が表示されている。ユーザが表示された手順通りに交換室扉６を開けて、センサ１２からの信号に基づき交換室扉６が開いたことが検出されると、画面２０３に表示された「次へ」ボタン（移行ボタン）が有効化される。ユーザが有効化された「次へ」ボタンを押す操作を行うと、図６に示す画面２０４に移行する。

【0035】

画面２０４には、復旧操作の次の手順として、試料交換棒４の先端部を左端位置から所定距離（数ｃｍ）だけ試料室２側に移動させる（ＩＮ状態にする）ことが表示され、また、ＩＮ状態の先端部を示す写真が表示されている。また、画面２０４には、試料交換棒４の先端部をＩＮ状態にするための「ＩＮ」ボタン（制御ボタン）が表示される。ユーザが「ＩＮ」ボタンを押す操作を行うと、交換棒駆動モータ１０が駆動され、試料交換棒４の先端部が左端位置から所定距離だけ試料室２側に移動し、図７に示す画面２０５に移行する。

【0036】

画面２０５には、復旧操作の次の手順として、試料交換棒４の先端部を手で押し込んで垂直状態にした後、試料交換棒４の先端部を左端位置まで移動させる（ＯＵＴ状態にする）ことが表示され、また、試料交換棒４の先端部を手で押し込む様子を示す写真と、垂直状態の先端部を示す写真と、水平状態の先端部を示す写真が表示されている。また、画面２０５には、試料交換棒４の先端部をＯＵＴ状態にするための「ＯＵＴ」ボタン（制御ボタン）が表示される。ユーザが表示された手順通りに試料交換棒４の先端部を手で押し込んで垂直状態にして、「ＯＵＴ」ボタンを押す操作を行うと、交換棒駆動モータ１０が駆動され、試料交換棒４の先端部が左端位置まで移動し、センサ１３からの信号に基づき試料交換棒４の先端部が垂直状態になったことが検出されると、画面２０５に表示された「次へ」ボタン（移行ボタン）が有効化される。ここで、試料交換棒４の先端部を手で押し込んで垂直状態にした段階では、試料交換棒４の先端部が左端位置にない（ＯＵＴ状態でない）ため、先端部が垂直状態となったか否かをセンサ１３からの信号に基づき判定することができない。そこで、この手順では、先端部をＯＵＴ状態（先端部が垂直状態となったことをセンサ１３からの信号に基づき判定できる状態）にするための操作手順及び制御ボタンを表示し、当該手順に従って先端部がＯＵＴ状態にされた段階で、センサ１３からの信号に基づき先端部が垂直状態となったか否かを判定する。ユーザが有効化された「次へ」ボタンを押す操作を行うと、図８に示す画面２０６に移行する。

【0037】

画面２０６には、復旧操作の次の手順として、交換室扉６を閉めて試料交換室３を排気することが表示されている。ユーザが表示された手順通りに交換室扉６を閉めて、センサ１２からの信号に基づき交換室扉６が閉じたことが検出されると、画面２０６に表示された「排気」ボタン（制御ボタン）が有効化される。ユーザが有効化された「排気」ボタンを押す操作を行うと、真空ポンプが駆動され試料交換室３が排気され、センサ１１からの信号に基づき試料交換室３が排気されたことが検出されると、画面２０６に表示された「次へ」ボタン（移行ボタン）が有効化される。ユーザが有効化された「次へ」ボタンを押す操作を行うと、図９に示す画面２０７に移行する。

【0038】

画面２０７には、復旧が完了し、通常の試料交換操作（試料ホルダ７の取り出しを指示する操作）により試料ホルダ７を取り出すことができる旨のメッセージが表示されている。ユーザが画面２０７に表示された「完了」ボタンを押す操作を行うと、復旧ウィザードは終了する。

【0039】

このように本実施形態によれば、センサからの信号に基づいて復旧可能なエラーが発生したと判定された場合に、復旧操作の手順をウィザード形式で表示し、センサからの信号に基づいて表示された手順通りに復旧操作が行われたか否かを判定し、手順通りに復旧操作が行われたと判定した場合に、次の手順を示す画面に移行するための移行ボタンを有効化し、有効化された移行ボタンの操作が行われた場合に、次の手順を示す画面を表示し、また、手順通りに復旧操作が行われたか否かをセンサで判定できない場合は、センサで判定できるところまで操作を誘導して、手順通りに復旧操作が行われたか否かを判定することで、ユーザが簡単にミスなく復旧操作を行うことができる。また、本実施形態によれば、復旧操作の手順に装置を動作させる手順が含まれる場合に、装置を動作させるための制御ボタンを表示することで、ユーザが迷いなく復旧操作を行うことができる。

【0040】

なお、復旧ウィザードの画面に移行ボタンを表示しないようにしてもよい。この場合、表示された手順通りに復旧操作が行われたと判定した場合に、自動で（ユーザの操作に依らずに）次の手順を示す画面を表示すればよい。

【0041】

３．処理
次に、本実施形態に係る真空装置の処理の一例について図１０のフローチャートを用いて説明する。

【0042】

まず、判定部１０１は、検出部１２０（センサ１１〜２１）からの信号に基づいて、復旧可能なエラーが発生したか否かを判断する（ステップＳ１０）。復旧可能なエラーが発生した場合（ステップＳ１０のＹ）には、表示制御部１０２は、複数種類のエラーのそれぞれに対応する復旧操作の手順の中から、発生したエラーに対応する復旧操作の手順を選択し（ステップＳ１１）、変数Ｎに１をセットする（ステップＳ１２）。

【0043】

次に、表示制御部１０２は、選択された復旧操作のＮ番目の手順を示す画面を表示部１３０に表示させる（ステップＳ１３）。次に、駆動制御部１０３は、画面に表示された制御ボタンに対する操作が行われたか否かを判断し（ステップＳ１４）、当該制御ボタンに対する操作が行われた場合（ステップＳ１４のＹ）には、操作された制御ボタンに応じて駆動機構１４０を動作させる制御を行う（ステップＳ１５）。次に、表示制御部１０２は、検出部１２０からの信号に基づいて、表示部１３０に表示されているＮ番目の手順通りに復旧操作が行われたか否かを判断する（ステップＳ１６）。Ｎ番目の手順通りに復旧操作が行われていない場合（ステップＳ１６のＮ）には、ステップＳ１４に移行する。Ｎ番目の手順通りに復旧操作が行われた場合（ステップＳ１６のＹ）には、復旧が完了した（復旧操作の全ての手順が実施された）か否かを判断し（ステップＳ１７）、復旧が完了した場合（ステップＳ１７のＹ）には、処理を終了する。

【0044】

復旧が完了していない場合（ステップＳ１７のＮ）には、表示制御部１０２は、画面内の移行ボタンを有効化する（ステップＳ１８）。次に、表示制御部１０２は、有効化された移行ボタンに対する操作が行われた否かを判断し（ステップＳ１９）、当該移行ボタンに対する操作が行われた場合（ステップＳ１９のＹ）には、変数Ｎに１を加算し（ステップＳ２０）、ステップＳ１３に移行する。以降、復旧操作の全ての手順が実施されるまで、ステップＳ１３〜Ｓ２０の処理を繰り返す。

【0045】

なお、本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。

【符号の説明】

【0046】

１…真空装置、２…試料室、３…試料交換室、４…試料交換棒、５…仕切弁、６…交換室扉、７…試料ホルダ、８…ホルダアダプタ、９…試料ステージ、１０…交換棒駆動モータ、１１〜２１…センサ、２２…Ｔ字部、１００…処理部、１０１…判定部、１０２…表示制御部、１０３…駆動制御部、１１０…操作部、１２０…検出部、１３０…表示部、１４０…駆動機構、１５０…記憶部、２０１〜２０７…画面

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】