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特許6851410光回路集積ウェハ用光電融合プローブ及び測定方法
発明の名称 光回路集積ウェハ用光電融合プローブ及び測定方法
出願人 沖電気工業株式会社 （識別番号 295）
特許公開件数ランキング 74 位（348件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 141 位（195件）（共同出願を含む）
出願人 技術研究組合光電子融合基盤技術研究所 （識別番号 513065077）
特許公開件数ランキング 30447 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 24615 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6851410
公報発行日 2021年3月31
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6851410
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