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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】6852893
(24)【登録日】2021年3月15日
(45)【発行日】2021年3月31日
(54)【発明の名称】液体圧検出装置
(51)【国際特許分類】
G01L 19/06 20060101AFI20210322BHJP
【ＦＩ】
G01L19/06 102
【請求項の数】5
【全頁数】27
(21)【出願番号】特願2017-95810(P2017-95810)
(22)【出願日】2017年5月12日
(65)【公開番号】特開2018-194330(P2018-194330A)
(43)【公開日】2018年12月6日
【審査請求日】2020年3月18日
(73)【特許権者】
【識別番号】000233790
【氏名又は名称】株式会社ノーケン
(74)【代理人】
【識別番号】110001195
【氏名又は名称】特許業務法人深見特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】北脇 哲雄
【審査官】
森 雅之
(56)【参考文献】
【文献】
特許第６２３８８２４（ＪＰ，Ｂ２）
【文献】
英国特許出願公開第３１１９６７（ＧＢ，Ａ）
(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）
Ｇ０１Ｌ
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
外部の空間に連通することにより、液体が通流可能に構成された液体通流部と、
前記液体通流部に連通し、前記液体通流部を経由することで流入する液体によって充填される受圧室と、
前記受圧室の圧力を検出する検出素子と、
前記液体通流部に設けられ、液体を通じて伝播され得る衝撃圧力を緩衝する緩衝機構とを備え、
前記緩衝機構は、絞り部と、前記絞り部よりも前記受圧室側に位置する弁部とを含み、
前記弁部は、前記絞り部側に位置する弾性板および前記受圧室側に位置する硬質板からなる積層体にて構成されるとともに、その外周部が前記弾性板および前記硬質板の積層方向において挟み込まれることで保持され、
前記弾性板は、前記弁部の前記外周部に該当する被保持領域と、前記被保持領域の内側に位置し、前記硬質板側に向けて押し付けられることで前記硬質板に密着可能な非保持領域とを有し、
前記絞り部には、外部の空間に連通する第１連通孔と、前記第１連通孔よりも開口面積が大きく、前記非保持領域に対向するとともに前記第１連通孔に連通する第２連通孔とが設けられ、
前記第１連通孔は、前記第２連通孔を介して前記非保持領域に対向し、
前記非保持領域には、前記第２連通孔に連通する第１貫通孔が設けられ、
前記非保持領域に対向する部分の前記硬質板には、前記受圧室に連通する第２貫通孔が設けられ、
前記弾性板および前記硬質板の積層方向に沿って見た場合に、前記第１連通孔と前記第１貫通孔とが重なっておらず、かつ、前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とが重なっておらず、
前記硬質板の前記弾性板側の表面のうちの前記非保持領域に対向する部分に、環状溝が設けられ、
前記弾性板および前記硬質板の積層方向に沿って見た場合に、前記環状溝が、前記第１貫通孔および前記第２貫通孔のうちのいずれか一方のみを取り囲んでいる、液体圧検出装置。
前記液体通流部に連通し、前記液体通流部を経由することで流入する液体によって充填される受圧室と、
前記受圧室の圧力を検出する検出素子と、
前記液体通流部に設けられ、液体を通じて伝播され得る衝撃圧力を緩衝する緩衝機構とを備え、
前記緩衝機構は、絞り部と、前記絞り部よりも前記受圧室側に位置する弁部とを含み、
前記弁部は、前記絞り部側に位置する弾性板および前記受圧室側に位置する硬質板からなる積層体にて構成されるとともに、その外周部が前記弾性板および前記硬質板の積層方向において挟み込まれることで保持され、
前記弾性板は、前記弁部の前記外周部に該当する被保持領域と、前記被保持領域の内側に位置し、前記硬質板側に向けて押し付けられることで前記硬質板に密着可能な非保持領域とを有し、
前記絞り部には、外部の空間に連通する第１連通孔と、前記第１連通孔よりも開口面積が大きく、前記非保持領域に対向するとともに前記第１連通孔に連通する第２連通孔とが設けられ、
前記第１連通孔は、前記第２連通孔を介して前記非保持領域に対向し、
前記非保持領域には、前記第２連通孔に連通する第１貫通孔が設けられ、
前記非保持領域に対向する部分の前記硬質板には、前記受圧室に連通する第２貫通孔が設けられ、
前記弾性板および前記硬質板の積層方向に沿って見た場合に、前記第１連通孔と前記第１貫通孔とが重なっておらず、かつ、前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とが重なっておらず、
前記硬質板の前記弾性板側の表面のうちの前記非保持領域に対向する部分に、環状溝が設けられ、
前記弾性板および前記硬質板の積層方向に沿って見た場合に、前記環状溝が、前記第１貫通孔および前記第２貫通孔のうちのいずれか一方のみを取り囲んでいる、液体圧検出装置。
【請求項2】
前記弾性板が、ゴム製であり、
前記硬質板が、樹脂製である、請求項１に記載の液体圧検出装置。
前記硬質板が、樹脂製である、請求項１に記載の液体圧検出装置。
【請求項3】
前記環状溝が、同心円状に設けられた複数の溝部にて構成されている、請求項１または２に記載の液体圧検出装置。
【請求項4】
前記弾性板および前記硬質板が、同軸上に配置された円盤状の形状を有し、
前記第１連通孔、前記第２連通孔および前記第２貫通孔が、同軸上に配置された前記弾性板および前記硬質板の軸線上に設けられ、
前記第１貫通孔が、前記軸線を中心とする仮想円上の位置に当該仮想円の周方向に沿って等間隔に複数設けられ、
前記弾性板および前記硬質板の積層方向に沿って見た場合に、前記環状溝が、前記第２貫通孔のみを取り囲んでいる、請求項１から３のいずれかに記載の液体圧検出装置。
前記第１連通孔、前記第２連通孔および前記第２貫通孔が、同軸上に配置された前記弾性板および前記硬質板の軸線上に設けられ、
前記第１貫通孔が、前記軸線を中心とする仮想円上の位置に当該仮想円の周方向に沿って等間隔に複数設けられ、
前記弾性板および前記硬質板の積層方向に沿って見た場合に、前記環状溝が、前記第２貫通孔のみを取り囲んでいる、請求項１から３のいずれかに記載の液体圧検出装置。
【請求項5】
前記緩衝機構から見て前記受圧室側に位置し、前記硬質板に当接するクッションパッドと、
前記弾性板および前記硬質板の積層方向において前記クッションパッドを前記弾性板に向けて押圧することにより、前記クッションパッドを前記弁部に固定する固定部材とをさらに備え、
前記硬質板の前記クッションパッド側の表面の中央部に、前記第２貫通孔に連通する凹部が設けられ、
前記凹部に対向する部分の前記クッションパッドに、前記受圧室と前記凹部とに連通する第３連通孔が設けられている、請求項１から４のいずれかに記載の液体圧検出装置。
前記弾性板および前記硬質板の積層方向において前記クッションパッドを前記弾性板に向けて押圧することにより、前記クッションパッドを前記弁部に固定する固定部材とをさらに備え、
前記硬質板の前記クッションパッド側の表面の中央部に、前記第２貫通孔に連通する凹部が設けられ、
前記凹部に対向する部分の前記クッションパッドに、前記受圧室と前記凹部とに連通する第３連通孔が設けられている、請求項１から４のいずれかに記載の液体圧検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、液体の圧力である液体圧を検出する液体圧検出装置に関し、特に、液体に浸漬されることによって外部から流入する液体にて充填される受圧室と、当該受圧室の圧力を検出する検出素子とを備えた液体圧検出装置に関する。
【背景技術】
【0002】
各種の産業分野において、液体の状態や挙動を把握または制御するために液体圧の検出が広く行なわれている。液体圧は、液体圧自体を計測する場合に限られず、液体の液位（液面レベル）や流量、流速等を計測する場合においてもその検出が行なわれる場合がある。たとえば、液体の液位を計測するある種の液位計においては、液体圧検出装置が検出部として当該液位計に組み込まれ、液体圧検出装置から出力される信号に基づいて液体の液位が計測可能に構成されている。
【0003】
従来、液体圧を検出する液体圧検出方法として、各種のものが知られている。その一つに、圧力を検出することができる検出素子（たとえば半導体圧力センサ等）を液体中に浸漬し、これにより液体圧を直接的に検出する検出方法がある。当該検出方法が適用された液体圧検出装置においては、液体に浸漬されることで外部から流入する液体よって充填される受圧室が設けられることが一般的であり、この受圧室の圧力が検出可能となるように上述した検出素子が設置される。
【0004】
しかしながら、この種の液体圧検出装置において、液体圧に想定を超える急激でかつ大きな変動が生じた場合には、これが衝撃圧力となって検出素子に印加されることとなってしまい、場合によっては検出素子が破損してしまうことがある。たとえば、上述した如くの検出方法が適用された液体圧検出装置を検出部として備えてなる液位計を、振動が生じ得る環境下に設置されたタンク（たとえば船舶や工場等に設置されるタンク）等に貯留された液体の液位計測に利用する場合や、河川や池、海、井戸、下水道といった通流環境下にあるポイントにおける液体の液位計測に利用する場合等においては、想定を超えた衝撃圧力が検出素子に印加されることで検出素子が破損するケースがあり、その交換が余儀なくされてしまうことがあった。
【0005】
より具体的には、たとえば船舶に設置されるタンクに貯留された液体の液位計測に利用される液位計においては、船舶が横波や横風を受けることで船舶にローリングと称される揺れが生じたり、船舶が縦波や向かい風あるいは追い風を受けることで船舶にピッチングと称される揺れが生じたりした場合に、船舶の揺れを受けてタンクに貯留された液体にも大きな揺れが発生し、これが原因となってタンク内の液体に衝撃圧力が発生するため、当該衝撃圧力が検出素子に印加されることで検出素子が破損するケースがある。
【0006】
衝撃圧力が液体を通じてそのまま検出素子に印加されることがないように緩衝機構が設けられてなる液位計としては、たとえば特開２０１５−２００５９７号公報（特許文献１）に開示のものがある。
【0007】
当該特許文献１に開示された緩衝機構は、絞り部と弁部とを含んでおり、絞り部を外部の空間側に設置するとともに弁部を受圧室側に設置し、このうちの弁部を２枚の弾性板の積層体にて構成するとともに、当該２枚の弾性板の外周部を保持することでこれら２枚の弾性板の各々に撓み変形が可能な領域を形成し、これら撓み変形が可能な領域に互いに非対向となるように貫通孔が設けられてなるものである。
【0008】
このように構成された緩衝機構においては、単なるオリフィス等からなる緩衝機構に比べて緩衝機構自体の大きさを大幅に小型化することができるばかりでなく、衝撃圧力が印加された場合において２枚の弾性板が密着することで外部の空間と受圧室とが非連通となるため、液体を通じて伝播され得る衝撃圧力が検出素子に悪影響を与えてしまうことが確実に防止できることになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0009】
【特許文献1】特開２０１５−２００５９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0010】
しかしながら、上記特許文献１に開示の緩衝機構においては、長期間の使用によって弾性板に経年劣化が生じた場合に、緩衝機能が低下してしまう問題がある。これは、繰り返しの撓み変形等によって徐々に弾性板に永久歪みが発生し、この永久歪みが蓄積することで２枚の弾性板の間に徐々に意図しない大きな隙間が発生してしまうことが原因である。
【0011】
すなわち、上記隙間に異物（たとえば、微小な水中生物やその死骸、砂礫、その他微小な粒状体等）が侵入することにより、この異物が２枚の弾性板の間に挟まり、結果として衝撃圧力が印加された場合の２枚の弾性板の密着性がこの異物の存在によって大幅に低下してしまうことになり、これによって上述した緩衝機能の低下が発生してしまう。
【0012】
したがって、本発明は、上述した問題を解決すべくなされたものであり、液体を通じて伝播され得る衝撃圧力に起因した検出素子の破損の発生を長期間にわたって抑制することができる液体圧検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0013】
本発明に基づく液体圧検出装置は、外部の空間に連通することにより、液体が通流可能に構成された液体通流部と、上記液体通流部に連通し、上記液体通流部を経由することで流入する液体によって充填される受圧室と、上記受圧室の圧力を検出する検出素子と、上記液体通流部に設けられ、液体を通じて伝播され得る衝撃圧力を緩衝する緩衝機構とを備えている。上記緩衝機構は、絞り部と、上記絞り部よりも上記受圧室側に位置する弁部とを含んでいる。上記弁部は、上記絞り部側に位置する弾性板および上記受圧室側に位置する硬質板からなる積層体にて構成されるとともに、その外周部が上記弾性板および上記硬質板の積層方向において挟み込まれることで保持されている。上記弾性板は、上記弁部の上記外周部に該当する被保持領域と、上記被保持領域の内側に位置し、上記硬質板側に向けて押し付けられることで上記硬質板に密着可能な非保持領域とを有している。上記絞り部には、外部の空間に連通する第１連通孔と、上記第１連通孔よりも開口面積が大きく、上記非保持領域に対向するとともに上記第１連通孔に連通する第２連通孔とが設けられている。上記第１連通孔は、上記第２連通孔を介して上記非保持領域に対向している。上記非保持領域には、上記第２連通孔に連通する第１貫通孔が設けられており、上記非保持領域に対向する部分の上記硬質板には、上記受圧室に連通する第２貫通孔が設けられている。上記弾性板および上記硬質板の積層方向に沿って見た場合に、上記第１連通孔と上記第１貫通孔とは、重なっておらず、また、上記第１貫通孔と上記第２貫通孔とは、重なっていない。上記硬質板の上記弾性板側の表面のうちの上記非保持領域に対向する部分には、環状溝が設けられており、上記弾性板および上記硬質板の積層方向に沿って見た場合に、上記環状溝が、上記第１貫通孔および上記第２貫通孔のうちのいずれか一方のみを取り囲んでいる。
【0014】
上記本発明に基づく液体圧検出装置にあっては、上記弾性板が、ゴム製であることが好ましく、また、上記硬質板が、樹脂製であることが好ましい。
【0015】
上記本発明に基づく液体圧検出装置にあっては、上記環状溝が、同心円状に設けられた複数の溝部にて構成されていることが好ましい。
【0016】
上記本発明に基づく液体圧検出装置にあっては、上記弾性板および上記硬質板が、同軸上に配置された円盤状の形状を有していることが好ましい。その場合には、上記第１連通孔、上記第２連通孔および上記第２貫通孔が、同軸上に配置された上記弾性板および上記硬質板の軸線上に設けられていることが好ましく、また、上記第１貫通孔が、上記軸線を中心とする仮想円上の位置に当該仮想円の周方向に沿って等間隔に複数設けられていることが好ましい。さらに、その場合には、上記弾性板および上記硬質板の積層方向に沿って見た場合に、上記環状溝が、上記第２貫通孔のみを取り囲んでいることが好ましい。
【0017】
上記本発明に基づく液体圧検出装置は、さらに、上記緩衝機構から見て上記受圧室側に位置し、上記硬質板に当接するクッションパッドと、上記弾性板および上記硬質板の積層方向において上記クッションパッドを上記弾性板に向けて押圧することにより、上記クッションパッドを上記弁部に固定する固定部材とを備えていてもよい。その場合には、上記硬質板の上記クッションパッド側の表面の中央部に、上記第２貫通孔に連通する凹部が設けられていることが好ましく、またその場合に、上記凹部に対向する部分の上記クッションパッドに、上記受圧室と上記凹部とに連通する第３連通孔が設けられていることが好ましい。
【発明の効果】
【0018】
本発明によれば、液体を通じて伝播され得る衝撃圧力に起因した検出素子の破損の発生を長期間にわたって抑制することができる液体圧検出装置とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【0019】
【図1】実施の形態１における液体圧検出装置の一部破断側面図である。
【図10】第１変形例に係る液体圧検出装置の緩衝機構を受圧室側から見た平面図である。
【図12】第２変形例に係る液体圧検出装置の緩衝機構を受圧室側から見た平面図である。
【図16】実施の形態２における液体圧検出装置の受圧室近傍の模式断面図である。
【図17】実施の形態３における液体圧検出装置の受圧室近傍の模式断面図である。
【図18】実施の形態４における液体圧検出装置の受圧室近傍の模式断面図である。
【図19】実施の形態５における液体圧検出装置の受圧室近傍の模式断面図である。
【図20】実施の形態６における液体圧検出装置の受圧室近傍の模式断面図である。
【図21】実施の形態７における液体圧検出装置の一部破断側面図である。
【発明を実施するための形態】
【0020】
以下、実施の形態について、図を参照して詳細に説明する。以下に示す実施の形態は、液体の液位（液面レベル）を計測する液位計に検出部として具備されてなる液体圧検出装置に本発明を適用した場合を例示するものである。なお、以下に示す実施の形態においては、同一のまたは共通する部分について図中同一の符号を付し、その説明は繰り返さない。
【0021】
（実施の形態１）図１は、実施の形態１における液体圧検出装置の一部破断側面図である。また、図２は、図１に示す液体圧検出装置の受圧室近傍の模式断面図であり、図１において示す領域ＩＩの拡大図である。まず、これら図１および図２を参照して、本実施の形態における液体圧検出装置１Ａの概略的な構成について説明する。
【0022】
図１および図２に示すように、液体圧検出装置１Ａは、略円筒状のハウジング１０と、ハウジング１０の中空状の内部空間に収容された各種の構成部品と、ハウジング１０の一方の軸方向端部から引き出されたケーブル４０とを主として備えている。
【0023】
ハウジング１０は、たとえばステンレス合金製の部材からなり、筒状部１１および底部１２を有している。底部１２は、ケーブル４０が引き出された上述したハウジング１０の一方の軸方向端部とは反対側に位置する他方の軸方向端部に位置している。底部１２は、筒状部１１の上記他方の軸方向端部から内側に向けて突設された円環板状の部位にて構成されており、これにより底部１２の中央部には、平面視円形状の開口部１３が位置している。当該開口部１３は、ハウジング１０の外部の空間とハウジング１０の内部空間とを連通させるための部位である。
【0024】
図２に示すように、ハウジング１０の内部空間のうちの開口部１３寄りに位置する空間は、液体通流部Ｓ１と受圧室Ｓ２とを含んでいる。これら液体通流部Ｓ１および受圧室Ｓ２は、底部１２が位置する上述したハウジング１０の他方の軸方向端部からこの順で位置している。
【0025】
液体通流部Ｓ１は、ハウジング１０の内部空間のうちの上述したハウジング１０の底部１２に隣接した部分にて構成されている。液体通流部Ｓ１は、上述した開口部１３を介してハウジング１０の外部の空間に連通している。これにより、液体通流部Ｓ１は、その内部を液体が通流可能となるように構成されている。
【0026】
液体通流部Ｓ１には、緩衝機構２０Ａが配置されている。緩衝機構２０Ａは、絞り部２１と弁部２２とを含んでおり、より具体的には、絞り部形成部材２３と、弾性板２４と、硬質板２５とによって構成されている。これら絞り部形成部材２３、弾性板２４および硬質板２５は、ハウジング１０の筒状部１１に内挿されており、底部１２が位置する上述したハウジング１０の他方の軸方向端部からこの順で積層されている。
【0027】
絞り部形成部材２３は、たとえばフッ素ゴム、ニトリルブタジエンゴム、シリコーンゴム等のゴム製の部材、あるいは、たとえばフッ素樹脂等の樹脂製の部材にて構成されている。弾性板２４は、たとえばフッ素ゴム、ニトリルブタジエンゴム、シリコーンゴム等のゴム製の部材にて構成されている。硬質板２５は、たとえばフッ素樹脂等の樹脂製の部材にて構成されている。
【0028】
ここで、緩衝機構２０Ａは、液体を通じて伝播され得る衝撃圧力を緩衝するためのものであるが、その詳細な構成や機能については、後述することとする。
【0029】
受圧室Ｓ２は、ハウジング１０の内部空間のうちの液体通流部Ｓ１に隣接した部分に位置している。当該受圧室Ｓ２は、上述した緩衝機構２０Ａと、後述する受圧室形成部材３１および素子マウント３２によって主として規定されている。
【0030】
ハウジング１０の内部空間のうちの、緩衝機構２０Ａから見て受圧室Ｓ２が位置する側の空間には、受圧室形成部材３１、素子マウント３２、検出素子３３および固定部材３４が主として配置されている。
【0031】
受圧室形成部材３１は、たとえばフッ素樹脂等の樹脂製の部材からなり、ハウジング１０の筒状部１１に内挿されている。受圧室形成部材３１は、その相対して位置する一対の主表面のそれぞれに平面視円形状の凹部が形成されてなる略円盤状の部材からなる。
【0032】
上述した一対の凹部のそれぞれの底面を規定する部分である受圧室形成部材３１の隔壁部には、これら凹部によって規定される空間を連通させるための平面視円形状の通路孔３１ａが設けられている。これにより、受圧室Ｓ２は、上述した一対の凹部によって規定される空間と、当該通路孔３１ａによって規定される空間とによって主として構成されることになる。
【0033】
素子マウント３２は、たとえばステンレス合金製の略円盤状の部材からなり、上述したハウジング１０の筒状部１１に内挿されている。素子マウント３２の上述した受圧室Ｓ２に面する側の主表面上には、検出素子３３が実装されており、素子マウント３２の周面には、Ｏリング等からなるパッキン３２ａが収容された環状凹部が設けられている。
【0034】
検出素子３３は、ピエゾ抵抗式の半導体圧力センサからなり、感圧部としてのダイヤフラムを備えてなるものである。検出素子３３の感圧部としてのダイヤフラムは、その感圧面が受圧室Ｓ２に面するように配置されている。
【0035】
固定部材３４は、たとえばステンレス合金製の環状の部材からなり、圧入やビス止め、螺合、溶接、係止またはそれらの組み合わせ等によってハウジング１０の筒状部１１に固定されている。固定部材３４は、緩衝機構２０Ａ、受圧室形成部材３１および素子マウント３２をハウジング１０の軸方向に沿って底部１２側に向けて押圧することにより、これら緩衝機構２０Ａ、受圧室形成部材３１および素子マウント３２をハウジング１０の内部において固定するための部材である。
【0036】
これにより、緩衝機構２０Ａを構成する上述した絞り部形成部材２３、弾性板２４および硬質板２５は、その外周部がハウジング１０の軸方向（すなわち、弾性板２４および硬質板２５の積層方向）において挟み込まれることで保持されることになる。
【0037】
より詳細には、絞り部形成部材２３、弾性板２４および硬質板２５は、互いに接触するように積層して配置されており、絞り部形成部材２３の外周部がハウジング１０の底部１２に当て留めされるとともに、硬質板２５の外周部が受圧室形成部材３１および素子マウント３２を介して固定部材３４によってハウジング１０の底部１２側に向けて押圧されることにより、緩衝機構２０Ａがハウジング１０の内部において固定されている。
【0038】
図１に示すように、ケーブル４０の内部には、信号線としての導線４１が挿通されている。導線４１は、たとえば導電性の芯線をポリエチレン樹脂製の被覆材にて覆った被覆付き電線にて構成される。当該導線４１は、検出素子３３から出力される電気信号あるいは当該電気信号を処理した後の電気信号を伝送するためのものである。なお、導線４１に代えて光ファイバ等を信号線として利用することとしてもよい。
【0039】
本実施の形態における液体圧検出装置１Ａは、上述したように液位計に検出部として具備されてなるものである。そのため、当該液体圧検出装置１Ａは、液体に浸漬された状態で使用されることになる。その際、受圧室Ｓ２は、液体通流部Ｓ１を経由することで流入する液体によって充填されることになり、検出素子３３は、当該受圧室Ｓ２の圧力を検出することで液体圧を検出する。
【0040】
なお、ハウジング１０から引き出されたケーブル４０の他端は、液体の外部に設置された液位計の本体部（不図示）に接続されており、液体圧検出装置１Ａにて検出された液体圧に応じた所定の電気信号が、当該ケーブル４０に挿通された導線４１を介して液位計の本体部に伝送されることになる。液位計の本体部においては、当該伝送された所定の電気信号に基づいて液位（液面レベル）が計測される。
【0041】
図３は、図２に示す緩衝機構を受圧室側から見た平面図であり、図４は、当該緩衝機構の分解斜視図である。また、図５は、図２に示す緩衝機構の硬質板を絞り部側から見た底面図であり、図６は、当該緩衝機構の要部の拡大断面図である。次に、これら図３ないし図６および前述の図２を参照して、本実施の形態における液体圧検出装置１Ａの緩衝機構２０Ａの構成についてより詳細に説明する。
【0042】
図２を参照して、液体通流部Ｓ１に配置された緩衝機構２０Ａは、上述したように絞り部２１と弁部２２とを含んでいる。絞り部２１は、ハウジング１０の底部１２に設けられた開口部１３側に位置しており、弁部２２は、絞り部２１よりも受圧室Ｓ２側に位置している。
【0043】
絞り部２１は、単一のゴム製または樹脂製の部材からなる略円盤状の絞り部形成部材２３によって構成されており、弁部２２は、ゴム製の部材からなる略円盤状の弾性板２４と、樹脂製の部材からなる略円盤状の硬質板２５の積層体にて構成されている。これら絞り部形成部材２３、弾性板２４および硬質板２５は、同軸上に配置されている。ここで、弾性板２４は、絞り部形成部材２３側に位置しており、硬質板２５は、弾性板２４よりも受圧室Ｓ２側に位置している。
【0044】
上述したように、これら絞り部形成部材２３、弾性板２４および硬質板２５は、受圧室形成部材３１および素子マウント３２を介して固定部材３４によってハウジング１０の底部１２側に向けてその周縁が押圧された状態で保持されている。
【0045】
そのため、図２および図４に示すように、弾性板２４は、弁部２２の外周部に該当する被保持領域２４ａと、この被保持領域２４ａの内側に位置し、硬質板２５側に向けて押し付けられることで硬質板２５に密着可能な非保持領域２４ｂとを有している。ここで、被保持領域２４ａは、上述した受圧室形成部材３１および素子マウント３２を介して固定部材３４および底部１２によって挟み込まれて保持された部位であり、非保持領域２４ｂは、硬質板２５に実質的に宛がわれているものの、固定部材３４および底部１２によって挟み込まれていないことにより、弾性的に変形可能に構成された部位である。
【0046】
図２ないし図４に示すように、絞り部形成部材２３の中央部には、開口部１３を介してハウジング１０の外部の空間に連通する平面視円形状の１つの第１連通孔２３ａと、当該第１連通孔２３ａよりも開口面積が大きく、弾性板２４の非保持領域２４ｂに対向するとともに第１連通孔２３ａに連通する平面視円形状の１つの第２連通孔２３ｂとが設けられている。
【0047】
ここで、第１連通孔２３ａは、絞り部形成部材２３の開口部１３側に位置する主表面から厚み方向に沿って延在しており、第２連通孔２３ｂは、絞り部形成部材２３の受圧室Ｓ２側に位置する主表面から厚み方向に沿って延在している。これにより、第１連通孔２３ａおよび第２連通孔２３ｂは、これらが互いに絞り部形成部材２３の内部において繋がっており、第１連通孔２３ａは、第２連通孔２３ｂを介して弾性板２４の非保持領域２４ｂに対向している。なお、第１連通孔２３ａおよび第２連通孔２３ｂは、これらの軸線が絞り部形成部材２３の軸線上に重なるように同軸上に設けられている。
【0048】
弾性板２４の非保持領域２４ｂには、平面視円形状の２つの第１貫通孔２４ｃが設けられている。これら２つの第１貫通孔２４ｃは、弾性板２４の軸線を中心とする仮想円上の位置に当該仮想円の周方向に沿って１８０°間隔で設けられており、その各々の開口径は、いずれも同一とされている。
【0049】
当該２つの第１貫通孔２４ｃの弾性板２４の軸線側に位置する部分の各々は、当該軸線方向に沿って見た場合に、上述した絞り部形成部材２３に設けられた第２連通孔２３ｂに面するように位置している。一方、当該２つの第１貫通孔２４ｃの弾性板２４の軸線側とは反対側に位置する部分の各々は、当該軸線方向に沿って見た場合に、絞り部形成部材２３によって覆われるように位置している。
【0050】
硬質板２５には、平面視円形状の１つの第２貫通孔２５ａが設けられている。当該第２貫通孔２５ａは、硬質板２５のうちの弾性板２４の非保持領域２４ｂに対向する部分に位置しており、より詳細には、硬質板２５の軸線上に重なるように設けられている。これにより、第２貫通孔２５ａは、当該軸線方向に沿って見た場合に、上述した弾性板２４によって覆われることになる。
【0051】
すなわち、第１連通孔２３ａ、第２連通孔２３ｂおよび第２貫通孔２５ａは、同軸上に配置された絞り部形成部材２３、弾性板２４および硬質板２５の軸線上に設けられており、第１貫通孔２４ｃは、この軸線を中心とする仮想円上の位置に当該仮想円の周方向に沿って等間隔に複数設けられている。
【0052】
以上により、弾性板２４および硬質板２５の積層方向（すなわち、これら弾性板２４および硬質板２５の軸線方向）に沿って緩衝機構２０Ａを見た場合に、絞り部形成部材２３に設けられた第１連通孔２３ａおよび弾性板２４に設けられた第１貫通孔２４ｃは、これらが互いに重ならない位置に配置されることになり、また、弾性板２４に設けられた第１貫通孔２４ｃおよび硬質板２５に設けられた第２貫通孔２５ａは、これらが互いに重ならない位置に配置されることになる。
【0053】
ここで、図２ないし図６に示すように、硬質板２５の弾性板２４側の表面のうちの非保持領域２４ｂに対向する部分には、環状溝２５ｂが設けられている。この環状溝２５ｂは、硬質板２５の軸線を中心として同心円状に設けられた複数の溝部にて構成されており、弾性板２４および硬質板２５の積層方向に沿って見た場合に、第２貫通孔２５ａを取り囲むように形成されている。
【0054】
これにより、図２、図３および図６に示すように、弾性板２４と硬質板２５との界面において、２つの第１貫通孔２４ｃと１つの第２貫通孔２５ａとの間を横断するように環状溝２５ｂが位置することになる。この環状溝２５ｂは、弁部２２が設けられた部分の液体通流部Ｓ１を通流する液体に含まれる異物（たとえば、微小な水中生物やその死骸、砂礫、その他微小な粒状体等）をトラップ（捕捉）するためのものであるが、その詳細については後述することとする。
【0055】
図７ないし図９は、図１に示す液体圧検出装置の緩衝機構の機能を説明するための図である。ここで、図７は、検出すべき液体圧が漸増している場合の緩衝機構の状態を示す模式図であり、図８は、検出すべき液体圧が漸減している場合の緩衝機構の状態を示す模式図である。また、図９は、衝撃圧力が印加された場合の緩衝機構の状態を示す模式図である。次に、これら図７ないし図９を参照して、本実施の形態における液体圧検出装置１Ａの緩衝機構２０Ａの機能について詳細に説明する。
【0056】
なお、検出すべき液体圧が漸増および漸減している場合とは、液体圧の変動が想定範囲内に収まっている場合を意味し、換言すれば、想定を超える急激でかつ大きな液体圧の変動が生じていない定常条件下にある場合のことを意味している。一方、衝撃圧力が印加された場合とは、想定を超える急激でかつ大きな液体圧の変動が生じた場合を意味し、仮に緩衝機構２０Ａを具備していない場合に検出素子３３に破損が生じ得る状況にある場合を意味している。
【0057】
図７に示すように、検出すべき液体圧が漸増している場合においては、弁部２２を構成する弾性板２４に特段の大きな負荷がかかっていない状況にあるため、弾性板２４に大きな変形は生じておらず、弾性板２４と硬質板２５とは密着した状態にはない。この状態においては、液体圧の増加に伴い、ハウジング１０の外部に位置する液体の一部が、第１連通孔２３ａ、第２連通孔２３ｂ、第１貫通孔２４ｃおよび第２貫通孔２５ａをこの順で経由して受圧室Ｓ２へと流入することになる。
【0058】
このとき、上述したように、弾性板２４と硬質板２５とは密着した状態にないため、弾性板２４と硬質板２５との間には、液体が通流するために十分な隙間が形成されることになり、第１貫通孔２４ｃに達した液体は、当該隙間を介して第２貫通孔２５ａへと流入する。これにより、受圧室Ｓ２は、当該液体を通じて圧力が適切に伝播された状態となり、受圧室Ｓ２の圧力は、ハウジング１０の外部に位置する液体の圧力に等しくなる。
【0059】
図８に示すように、検出すべき液体圧が漸減している場合においては、弁部２２を構成する弾性板２４に特段の大きな負荷がかかっていない状況にあるため、弾性板２４に大きな変形は生じておらず、弾性板２４と硬質板２５とは密着した状態にはない。この状態においては、液体圧の減少に伴い、受圧室Ｓ２の内部に位置する液体の一部が、第２貫通孔２５ａ、第１貫通孔２４ｃ、第２連通孔２３ｂおよび第１連通孔２３ａをこの順で経由してハウジング１０の外部へと流出することになる。
【0060】
このとき、上述したように、弾性板２４と硬質板２５とは密着した状態にないため、弾性板２４と硬質板２５との間には、液体が通流するために十分な隙間が形成されることになり、第２貫通孔２５ａに達した液体は、当該隙間を介して第１貫通孔２４ｃへと流入する。これにより、受圧室Ｓ２は、当該液体を通じて圧力が適切に伝播された状態となり、受圧室Ｓ２の圧力は、ハウジング１０の外部に位置する液体の圧力に等しくなる。
【0061】
一方、図９に示すように、衝撃圧力が印加された場合においては、弁部２２に大きな負荷がかかる。これは、ハウジング１０の外部に位置する液体から伝播した衝撃圧力が、絞り部形成部材２３に設けられた第１連通孔２３ａによって絞られた状態で第２連通孔２３ｂ内に進入し、そのまま弾性板２４の非保持領域２４ｂの第１貫通孔２４ｃが設けられていない中央部に大きな負荷をかけるためである。
【0062】
このとき、弾性板２４は、大きな負荷を受けることでその非保持領域２４ｂが硬質板２５側に向けて変位することになるが、硬質板２５は、十分に剛性の高い部材にて構成されているため、硬質板２５に大きな変形は生じない。そのため、弾性板２４が硬質板２５に向けて押し付けられることになり、結果として弾性板２４と硬質板２５とが密着した状態となる。
【0063】
ここで、本実施の形態においては、絞り部形成部材２３に設けられた第１連通孔２３ａが弾性板２４の中央部に対向した位置に設けられているため、効率的に弾性板２４の非保持領域２４ｂを変位させることが可能になり、弾性板２４と硬質板２５とを確実に密着させることができる。
【0064】
これにより、第１貫通孔２４ｃと第２貫通孔２５ａとの間に位置する部分の弾性板２４と硬質板２５との間の隙間が閉塞されることになり、第１貫通孔２４ｃに達した液体は、硬質板２５によって堰き止められることになり、その衝撃圧力がそのまま受圧室Ｓ２に伝播されてしまうことが防止できる。すなわち、当該衝撃圧力は、その大部分が弾性板２４と硬質板２５とによって吸収されることになり、当該衝撃圧力が受圧室Ｓ２に伝達されることが効果的に抑制できることになる。
【0065】
なお、当該衝撃圧力が消失した後においては、弾性板２４に生じていた変位が解消されることになり、上述した図７の状態あるいは図８の状態等（すなわち、弾性板２４と硬質板２５との間に、液体が通流するために十分な隙間が形成された状態）に復帰することになる。
【0066】
このように、本実施の形態における液体圧検出装置１Ａにあっては、上述した如くの緩衝機構２０Ａを設けることにより、衝撃圧力が印加された場合においても当該衝撃圧力が緩衝機構２０Ａによって適切に緩衝されることになるため、液体を通じて伝播され得る衝撃圧力に起因した検出素子３３の破損の発生が効果的に抑制できることになる。
【0067】
ここで、上述したように、本実施の形態における液体圧検出装置１Ａにおいては、弁部２２を構成する２枚の板状部材が、弾性板２４と硬質板２５とによって構成されており、特に受圧室Ｓ２側に配置された板状部材が、硬質板２５によって構成されている。このように構成することにより、これら２枚の板状部材をいずれも弾性板にて構成した場合に比べ、経年劣化による緩衝機能の低下を防止することができる。
【0068】
すなわち、硬質板２５は、衝撃圧力が印加された場合にも実質的に変形が生じない剛性が高い部材であるため、これを弾性板にて構成した場合と異なり、永久歪みが発生することが大幅に抑制できる。また、弾性板２４についても、硬質板２５に宛がわれることによってその変形が大幅に抑制されることになるため、永久歪みの蓄積が効果的に抑制できることになる。
【0069】
そのため、長期間の使用によっても（すなわち繰り返しの衝撃圧力の印加によっても）、弾性板２４と硬質板２５との間に意図しない大きな隙間が発生してしまうことが防止できる。したがって、衝撃圧力が印加された場合の弾性板２４と硬質板２５との密着性が持続的に維持できることになり、長期間にわたって所望の緩衝機能が確保できることになる。
【0070】
その反面、弁部２２を構成する２枚の板状部材を弾性板と硬質板とによって構成した場合において、何ら対策を施さなかった場合には、これら２枚の板状部材をいずれも弾性板にて構成した場合に比べ、衝撃圧力が印加された際に２枚の板状部材の間に異物が挟まった状態においてこれら２枚の板状部材の密着性が大幅に低下してしまう問題が発生し得る。
【0071】
これは、２枚の板状部材をいずれも弾性板にて構成した場合には、異物を取り囲むように２枚の弾性板の双方が変形することでこれらの密着性が確保できるのに対し、２枚の板状部材を弾性板と硬質板とによって構成した場合には、硬質板が実質的に変形せずに弾性板のみに変形が生じることになるため、異物を取り囲むように弾性板と硬質板とが十分に密着しないおそれが高まるためである。
【0072】
そのため、本実施の形態における液体圧検出装置１Ａにおいては、上述したように、弾性板２４と硬質板２５との界面において、２つの第１貫通孔２４ｃと１つの第２貫通孔２５ａとの間を横断するように環状溝２５ｂが設けられている。このように構成することにより、異物が当該環状溝２５ｂによってトラップされることになるため、弾性板２４と硬質板２５との密着性を確保することができる。
【0073】
すなわち、異物が環状溝２５ｂによってトラップされることにより、弾性板２４の非保持領域２４ｂとこれに対向する部分の硬質板２５との界面において、環状溝２５ｂが設けられ部分を除く部分において弾性板２４と硬質板２５とが密着し易くなるため、これによって弾性板２４と硬質板２５との間に仮に異物が挟まった状態においても、これら弾性板２４と硬質板２５との密着性を確保することが可能になる。
【0074】
したがって、本実施の形態における液体圧検出装置１Ａとすることにより、液体を通じて伝播され得る衝撃圧力に起因した検出素子３３の破損の発生を長期間にわたって抑制することができる液体圧検出装置とすることができる。
【0075】
また、本実施の形態における液体圧検出装置１Ａにあっては、上述した如くの緩衝機構２０Ａを設けることにより、オリフィスのみにて緩衝機構を構成した場合に比べ、開口部１３から検出素子３３に至るまでの部分の液体通流部Ｓ１および受圧室Ｓ２の容積を大幅に小さくする（特に当該経路の長さを大幅に短くする）ことができるため、液体圧検出装置を小型に構成することもできる。
【0076】
さらには、本実施の形態の如くの構成を採用することにより、ハウジング１０に設けられる開口部１３や、緩衝機構２０Ａに設けられる第１連通孔２３ａ、第２連通孔２３ｂ、第１貫通孔２４ｃおよび第２貫通孔２５ａの大きさを、オリフィスのみにて緩衝機構を構成する場合の当該オリフィスの大きさよりも十分に大きくすることができるため、異物がこれら孔に詰まることが抑制でき、そのメンテナンスがより容易化するメリットも得られる。
【0077】
また、本実施の形態の如くの構成を採用することにより、比較的簡素な形状のゴム製または樹脂製の部材を積層することによって簡便に緩衝機構２０Ａを構成することができるため、製造コストが圧迫されるおそれもない。
【0078】
加えて、本実施の形態の如くの構成を採用しつつ、絞り部形成部材２３、弾性板２４および硬質板２５の厚みや大きさ、材質、これら絞り部形成部材２３、弾性板２４および硬質板２５に設けられる第１連通孔２３ａ、第２連通孔２３ｂ、第１貫通孔２４ｃおよび第２貫通孔２５ａの大きさや形状、形成位置、個数等を適宜変更することにより、得られる緩衝効果の程度を容易に調節することができる。したがって、これらを仕様に応じて適切に設定することにより、弾性板２４の弾性係数以下の液体圧の変動に対しては、当該液体圧の受圧室Ｓ２への伝播を確実ならしめることができ、定常時における液体圧の検出が阻害されることもない。
【0079】
（第１変形例）図１０は、上述した本実施の形態に基づいた第１変形例に係る液体圧検出装置の緩衝機構を受圧室側から見た平面図であり、図１１は、当該緩衝機構の分解斜視図である。以下、これら図１０および図１１を参照して、第１変形例に係る液体圧検出装置１Ａ１の緩衝機構２０Ａ１について説明する。
【0080】
図１０および図１１に示すように、液体圧検出装置１Ａ１の緩衝機構２０Ａ１においては、弾性板２４の非保持領域２４ｂに平面視円形状の３つの第１貫通孔２４ｃが設けられており、硬質板２５に平面視円形状の１つの第２貫通孔２５ａが設けられている。
【0081】
このうち、３つの第１貫通孔２４ｃは、弾性板２４の軸線を中心とする仮想円上の位置に当該仮想円の周方向に沿って１２０°間隔で設けられており、その各々の開口径は、いずれも同一とされている。一方、第２貫通孔２５ａは、硬質板２５のうちの弾性板２４の非保持領域２４ｂに対向する部分に位置しており、より詳細には、硬質板２５の軸線上に重なるように設けられている。
【0082】
また、硬質板２５の弾性板２４側の表面のうちの非保持領域２４ｂに対向する部分には、環状溝２５ｂが設けられている。この環状溝２５ｂは、硬質板２５の軸線を中心として同心円状に設けられた複数の溝部にて構成されており、弾性板２４および硬質板２５の積層方向に沿って見た場合に、第２貫通孔２５ａを取り囲むように形成されている。
【0083】
このように構成した場合にも、上述した実施の形態１において説明した効果と概ね同様の効果が得られる。その一方で、当該構成の緩衝機構２０Ａ１は、上述した緩衝機構２０Ａとは第１貫通孔２４ｃの形成位置および個数が異なることにより、得られる緩衝効果の程度が異なったものとなる。
【0084】
（第２変形例）図１２は、上述した本実施の形態に基づいた第２変形例に係る液体圧検出装置の緩衝機構を受圧室側から見た平面図であり、図１３は、当該緩衝機構の分解斜視図である。また、図１４は、図１２に示す緩衝機構の硬質板を絞り部側から見た底面図であり、図１５は、当該緩衝機構の要部の拡大断面図である。以下、これら図１２ないし図１５を参照して、第２変形例に係る液体圧検出装置１Ａ２の緩衝機構２０Ａ２について説明する。
【0085】
図１２ないし図１５に示すように、液体圧検出装置１Ａ２の緩衝機構２０Ａ２においては、弾性板２４の非保持領域２４ｂに平面視円形状の２つの第１貫通孔２４ｃが設けられており、硬質板２５に平面視円形状の１つの第２貫通孔２５ａが設けられている。
【0086】
このうち、２つの第１貫通孔２４ｃは、弾性板２４の軸線を中心とする仮想円上の位置に当該仮想円の周方向に沿って１８０°間隔で設けられており、その各々の開口径は、いずれも同一とされている。一方、第２貫通孔２５ａは、硬質板２５のうちの弾性板２４の非保持領域２４ｂに対向する部分に位置しており、より詳細には、硬質板２５の軸線上に重なるように設けられている。
【0087】
また、硬質板２５の弾性板２４側の表面のうちの非保持領域２４ｂに対向する部分には、２つの環状溝２５ｂが設けられている。これら２つの環状溝２５ｂの各々は、同心円状に設けられた複数の溝部にて構成されており、弾性板２４および硬質板２５の積層方向に沿って見た場合に、それぞれ１つの第１貫通孔２４ｃのみを取り囲むように形成されている。
【0088】
これにより、図１２および図１５に示すように、弾性板２４と硬質板２５との界面において、２つの第１貫通孔２４ｃと１つの第２貫通孔２５ａとの間を横断するようにそれぞれ１つの環状溝２５ｂが位置することになる。これら環状溝２５ｂは、弁部２２が設けられた部分の液体通流部Ｓ１を通流する液体に含まれる異物をトラップすることができる。
【0089】
したがって、このように構成した場合にも、上述した実施の形態１において説明した効果と概ね同様の効果が得られることになる。（実施の形態２）
図１６は、実施の形態２における液体圧検出装置の受圧室近傍の模式断面図である。以下、この図１６を参照して、本実施の形態における液体圧検出装置１Ｂについて説明する。
【0090】
図１６に示すように、本実施の形態における液体圧検出装置１Ｂは、上述した実施の形態１における液体圧検出装置１Ａの緩衝機構２０Ａと異なる構成の緩衝機構２０Ｂを具備している点においてのみ、上述した実施の形態１における液体圧検出装置１Ａとその構成が相違している。具体的には、緩衝機構２０Ｂは、絞り部２１の構成において上述した緩衝機構２０Ａと相違しており、当該絞り部２１が、第１絞り部形成部材２３Ａと第２絞り部形成部材２３Ｂとの積層体によって構成されている。
【0091】
第１絞り部形成部材２３Ａは、その中央部に第１連通孔２３ａが設けられた略円盤状のゴム製または樹脂製の部材からなり、ハウジング１０の底部１２に設けられた開口部１３側に位置している。第２絞り部形成部材２３Ｂは、その中央部に第２連通孔２３ｂが設けられた略円盤状のゴム製または樹脂製の部材からなり、第１絞り部形成部材２３Ａよりも受圧室Ｓ２側に位置している。なお、これら第１絞り部形成部材２３Ａおよび第２絞り部形成部材２３Ｂに設けられた第１連通孔２３ａおよび第２連通孔２３ｂの構成は、上述した緩衝機構２０Ａのそれらと同様である。
【0092】
このように構成した場合にも、上述した実施の形態１において説明した効果と同様の効果が得られることになり、液体を通じて伝播され得る衝撃圧力に起因した検出素子３３の破損の発生を長期間にわたって抑制することができる液体圧検出装置とすることができる。
【0094】
図１７に示すように、本実施の形態における液体圧検出装置１Ｃは、上述した実施の形態２における液体圧検出装置１Ｂの緩衝機構２０Ｂと異なる構成の緩衝機構２０Ｃを具備している点においてのみ、上述した実施の形態２における液体圧検出装置１Ｂとその構成が相違している。具体的には、緩衝機構２０Ｃは、絞り部２１の構成において上述した緩衝機構２０Ｂと相違しており、当該絞り部２１が、ハウジング１０の底部１２Ａと、上述した第２絞り部形成部材２３Ｂとの積層体によって構成されている。
【0095】
ハウジング１０の底部１２Ａは、筒状部１１の軸方向端部から内側に向けて突設された円環板状の部位にて構成されており、これにより、底部１２Ａの中央部には、平面視円形状の第１連通孔２３ａが位置している。ここで、当該第１連通孔２３ａは、上述した実施の形態２においてハウジング１０の底部１２に形成されていた開口部１３よりも十分に小さく形成されたものであり、当該ハウジング１０の底部１２Ａに設けられた第１連通孔２３ａが、上述した緩衝機構２０Ｂにおいて第１絞り部形成部材２３Ａに設けられていた第１連通孔２３ａと同等の機能を発揮することになる。
【0096】
このように構成した場合にも、上述した実施の形態１において説明した効果と同様の効果が得られることになり、液体を通じて伝播され得る衝撃圧力に起因した検出素子３３の破損の発生を長期間にわたって抑制することができる液体圧検出装置とすることができるとともに、さらには、部品点数の削減と装置の小型化とが図られることになる。
【0098】
図１８に示すように、本実施の形態における液体圧検出装置１Ｄは、上述した実施の形態１における液体圧検出装置１Ａの緩衝機構２０Ａと異なる構成の緩衝機構２０Ｄを具備している点においてのみ、上述した実施の形態１における液体圧検出装置１Ａとその構成が相違している。具体的には、緩衝機構２０Ｄは、絞り部２１の構成において上述した緩衝機構２０Ａと相違しており、当該絞り部２１が、ハウジング１０の底部１２Ｂによって構成されている。
【0099】
ハウジング１０の底部１２Ｂは、筒状部１１の軸方向端部から内側に向けて突設された円環板状の部位にて構成されており、これにより、底部１２Ｂの中央部には、ハウジング１０の外部の空間側に位置する平面視円形状の第１連通孔２３ａと、受圧室Ｓ２側に位置する平面視円形状の第２連通孔２３ｂとが位置している。ここで、ハウジング１０の底部１２Ｂに設けられた第１連通孔２３ａおよび第２連通孔２３ｂの構成は、上述した緩衝機構２０Ａにおいて絞り部形成部材２３に設けられていた第１連通孔２３ａおよび第２連通孔２３ｂの構成と同様である。この場合には、当該絞り部２１を構成するハウジング１０の底部１２Ｂに隣接して、弁部２２を構成する弾性板２４および硬質板２５からなる積層体が配置されることになる。
【0100】
このように構成した場合にも、上述した実施の形態１において説明した効果と同様の効果が得られることになり、液体を通じて伝播され得る衝撃圧力に起因した検出素子３３の破損の発生を長期間にわたって抑制することができる液体圧検出装置とすることができるとともに、さらには、部品点数の削減と装置の小型化とが図られることになる。
【0102】
図１９に示すように、本実施の形態における液体圧検出装置１Ｅは、上述した実施の形態１における液体圧検出装置１Ａと比較した場合に、受圧室Ｓ２近傍に配置される構成部品の組付構造が異なっている点において主としてその構成が相違している。
【0103】
より詳細には、液体圧検出装置１Ｅにおいては、ハウジング１０の内部の空間のうち、弁部２２よりも受圧室Ｓ２側の空間に、受圧室形成部材３１、素子マウント３２、検出素子３３および固定部材３４等に加え、さらにクッションパッド３５を有している。
【0104】
クッションパッド３５は、緩衝機構２０Ｅの弁部２２と受圧室形成部材３１との間に配置されており、たとえばフッ素ゴム、ニトリルブタジエンゴム、シリコーンゴム等に代表されるゴム製の略円盤状の部材にて構成されている。クッションパッド３５は、検出素子３３を保護するために設けられるものである。当該クッションパッド３５には、液体通流部Ｓ１と受圧室Ｓ２とを連通されるための平面視円形状の第３連通孔３５ａが設けられている。
【0105】
クッションパッド３５は、固定部材３４によって受圧室形成部材３１および素子マウント３２を介して当該硬質板２５側に向けて押圧されることにより、緩衝機構２０Ｅの弁部に固定されている。これにより、クッションパッド３５は、緩衝機構２０Ｅのうちの硬質板２５に当接している。
【0106】
ここで、硬質板２５のクッションパッド３５側の表面の中央部には、第２貫通孔２５ａに連通する凹部２５ｃが設けられている。当該凹部２５ｃは、クッションパッド３５の組付けに際して当該クッションパッド３５の組付位置のずれを吸収するために設けられるものである。なお、上述した第３連通孔３５ａは、当該凹部２５ｃに対向する部分のクッションパッド３５に設けられており、これにより受圧室Ｓ２と凹部２５ｃとが連通している。
【0107】
このように構成した場合にも、上述した実施の形態１において説明した効果と同様の効果が得られることになり、液体を通じて伝播され得る衝撃圧力に起因した検出素子３３の破損の発生を長期間にわたって抑制することができる液体圧検出装置とすることができる。
【0109】
図２０に示すように、本実施の形態における液体圧検出装置１Ｆは、上述した実施の形態１における液体圧検出装置１Ａと比較した場合に、受圧室Ｓ２近傍に配置される構成部品の組付構造が異なっている点において主としてその構成が相違している。
【0110】
より詳細には、液体圧検出装置１Ｆは、略円筒状のハウジング１０に加え、有底略円筒状のカバー部材１４を備えており、当該カバー部材１４がハウジング１０の軸方向端部を覆うようにビス１５を用いてハウジング１０に固定されることにより、その外殻が構成されている。ここで、カバー部材１４の所定位置には、ハウジング１０の内部空間を外部の空間に連通させるための開口部１３が設けられており、当該開口部１３の内側縁部が底部１２を構成している。
【0111】
一方、ハウジング１０の筒状部１１の内周面の所定位置には、段差部１１ａが設けられている。当該段差部１１ａ上には、たとえばフッ素ゴム、ニトリルブタジエンゴム、シリコーンゴム等に代表されるゴム製の略円盤状の部材からなるクッションパッド３５が配置されている。クッションパッド３５は、検出素子３３を保護するために設けられるものである。当該クッションパッド３５には、液体通流部Ｓ１と受圧室Ｓ２とを連通させるための平面視円形状の第３連通孔３５ａが設けられている。
【0112】
本実施の形態における液体圧検出装置１Ｆにおいては、当該クッションパッド３５を境として、これよりも受圧室Ｓ２側に位置するハウジング１０の内部の空間に、受圧室形成部材３１、素子マウント３２、検出素子３３および固定部材３４等が配置されており、これよりも開口部１３側の空間が液体通流部Ｓ１として構成され、当該液体通流部Ｓ１内に緩衝機構２０Ｆが配置されている。なお、緩衝機構２０Ｆは、基本的に上述した実施の形態１において示した緩衝機構２０Ａと同様の構成を有しており、絞り部形成部材２３、弾性板２４および硬質板２５の積層体にて構成されている。
【0113】
当該構成においては、緩衝機構２０Ｆは、クッションパッド３５と上述したカバー部材１４とによって挟み込まれることで固定されている。すなわち、緩衝機構２０Ｆを構成する絞り部形成部材２３、弾性板２４および硬質板２５は、それらが互いに接触するように積層して配置されており、硬質板２５がクッションパッド３５に当て留めされるとともに、絞り部形成部材２３がカバー部材１４によってクッションパッド３５側に向けて押圧されることにより、これら絞り部形成部材２３、弾性板２４および硬質板２５がハウジング１０の内部において挟み込まれて保持された状態とされている。
【0114】
ここで、硬質板２５のクッションパッド３５側の表面の中央部には、第２貫通孔２５ａに連通する凹部２５ｃが設けられている。当該凹部２５ｃは、硬質板２５の組付けに際して、硬質板２５がクッションパッド３５に押し付けられることで発生し得るクッションパッド３５の組付位置のずれを吸収するために設けられるものである。なお、上述した第３連通孔３５ａは、当該凹部２５ｃに対向する部分のクッションパッド３５に設けられており、これにより受圧室Ｓ２と凹部２５ｃとが連通している。
【0115】
以上において説明した如くの構成を採用した場合にも、上述した実施の形態１において説明した効果と同様の効果が得られることになり、液体を通じて伝播され得る衝撃圧力に起因した検出素子３３の破損の発生を長期間にわたって抑制することができる液体圧検出装置とすることができる。
【0116】
（実施の形態７）図２１は、実施の形態７における液体圧検出装置の一部破断側面図である。また、図２２は、図２１に示す液体圧検出装置の受圧室近傍の模式断面図であり、図２１において示す領域ＸＸＩＩの拡大図である。さらに、図２３は、図２２に示す緩衝機構を受圧室側から見た平面図であり、図２４は、当該緩衝機構の分解斜視図である。まず、これら図２１ないし図２４を参照して、本実施の形態における液体圧検出装置１Ｇならびにこれに具備された緩衝機構２０Ｇの構成について説明する。
【0117】
図２１および図２２に示すように、本実施の形態における液体圧検出装置１Ｇは、略円筒状のハウジング１０と、ハウジング１０の中空状の内部空間に収容された各種の構成部品と、ハウジング１０の一方の軸方向端部から引き出されたケーブル４０とを主として備えており、上述した各種の構成部品のうちの緩衝機構２０Ｇが、上述した実施の形態１における液体圧検出装置１Ａの緩衝機構２０Ａと相違している。
【0118】
図２２に示すように、緩衝機構２０Ｇは、絞り部２１と弁部２２とを含んでおり、より具体的には、絞り部形成部材２３と、第１弾性板２６と、第２弾性板２７とによって構成されている。これら絞り部形成部材２３、第１弾性板２６および第２弾性板２７は、底部１２が位置するハウジング１０の軸方向端部からこの順で積層されており、たとえばフッ素ゴム、ニトリルブタジエンゴム、シリコーンゴム等のゴム製の部材にて構成されている。当該緩衝機構２０Ｇは、液体を通じて伝播され得る衝撃圧力を緩衝するためのものである。
【0119】
絞り部２１は、単一のゴム製の部材からなる略円盤状の絞り部形成部材２３によって構成されており、弁部２２は、ゴム製の部材からなる略円盤状の第１弾性板２６と、ゴム製の部材からなるカップ状の第２弾性板２７の積層体にて構成されている。ここで、第１弾性板２６は、絞り部形成部材２３側に位置しており、第２弾性板２７は、その大部分が第１弾性板２６よりも受圧室Ｓ２側に位置している。
【0120】
緩衝機構２０Ｇを構成する絞り部２１および弁部２２は、その外周部がハウジング１０の軸方向（すなわち、第１弾性板２６および第２弾性板２７の積層方向）において挟み込まれることで保持されている。
【0121】
より詳細には、絞り部形成部材２３、第１弾性板２６および第２弾性板２７は、互いに接触するように積層して配置されており、絞り部形成部材２３の外周部がハウジング１０の底部１２に当て留めされるとともに、第２弾性板２７の外周部が受圧室形成部材３１および素子マウント３２を介して固定部材３４によってハウジング１０の底部１２側に向けて押圧されることにより、緩衝機構２０Ｇがハウジング１０の内部において固定されている。
【0122】
ここで、第１弾性板２６の外径は、絞り部形成部材２３および第２弾性板２７の外径よりも小さく構成されており、円盤状の第１弾性板２６は、カップ状の第２弾性板２７の内部に収容されている。より具体的には、絞り部形成部材２３の外周部には、段差部２３ｃが設けられており、当該段差部２３ｃに第２弾性板２７の外周部に設けられた環状壁部２７ｂが嵌め込まれることにより、第１弾性板２６が、緩衝機構２０Ｇの内部において絞り部形成部材２３と第２弾性板２７とによって保持されている。
【0124】
一方、第２弾性板２７は、その中央に弾性的に撓み変形が可能に構成された第２変形領域２７ａを有しており、当該第２変形領域２７ａの周囲に円筒状の形状からなる上述した環状壁部２７ｂを有している。ここで、環状壁部２７ｂは、上述した固定部材３４および底部１２によって挟み込まれて保持された部分であるとともに、第１弾性板２６を取り囲む部分である。
【0125】
絞り部形成部材２３の中央部には、開口部１３を介してハウジング１０の外部の空間に連通する平面視円形状の１つの第１連通孔２３ａと、当該第１連通孔２３ａに連通するとともに当該第１連通孔２３ａよりも開口面積が大きい平面視円形状の１つの第２連通孔２３ｂとが設けられている。ここで、第１連通孔２３ａは、絞り部形成部材２３の開口部１３側に位置する主表面から厚み方向に沿って延在しており、第２連通孔２３ｂは、絞り部形成部材２３の受圧室Ｓ２側に位置する主表面から厚み方向に沿って延在している。これにより、第１連通孔２３ａおよび第２連通孔２３ｂは、これらが互いに絞り部形成部材２３の内部において繋がっている。なお、第１連通孔２３ａおよび第２連通孔２３ｂは、これらの軸線が絞り部形成部材２３の軸線上に重なるように同軸上に設けられている。
【0126】
第１弾性板２６の第１変形領域２６ａには、平面視円形状の２つの第１貫通孔２６ｂが設けられている。これら２つの第１貫通孔２６ｂは、第１弾性板２６の軸線を中心とした仮想円上の位置に当該仮想円の周方向に沿って１８０°間隔で設けられており、その各々の開口径は、いずれも同一とされている。当該２つの第１貫通孔２６ｂの第１弾性板２６の軸線側に位置する部分の各々は、当該軸線方向に沿って見た場合に、上述した絞り部形成部材２３に設けられた第２連通孔２３ｂに面するように位置している。一方、当該２つの第１貫通孔２６ｂの第１弾性板２６の軸線側とは反対側に位置する部分の各々は、当該軸線方向に沿って見た場合に、絞り部形成部材２３によって覆われるように位置している。
【0127】
第２弾性板２７の第２変形領域２７ａには、平面視円形状の２つの第２貫通孔２７ｃが設けられている。これら２つの第２貫通孔２７ｃは、第２弾性板２７の軸線を中心とした仮想円上の位置に当該仮想円の周方向に沿って１８０°間隔で設けられており、その各々の開口径は、いずれも同一とされている。当該２つの第２貫通孔２７ｃは、当該軸線方向に沿って見た場合に、上述した第１弾性板２６によって覆われるように位置している。
【0128】
ここで、２つの第１貫通孔２６ｂが配置された第１弾性板２６における上記仮想円と、２つの第２貫通孔２７ｃが配置された第２弾性板２７における上記仮想円とは、第１弾性板２６および第２弾性板２７の積層方向に沿ってこれらを見た場合に、互いに重なるように配置されている。これにより、これら２つの第１貫通孔２６ｂおよび２つの第２貫通孔２７ｃは、第１弾性板２６および第２弾性板２７の積層方向に沿って見た場合に、第１弾性板２６および第２弾性板２７の軸線を中心とした仮想円上の位置に当該仮想円の周方向に沿って互い違いに９０°間隔で配置されることになる。なお、第１弾性板２６に設けられた第１貫通孔２６ｂの開口径と、第２弾性板２７に設けられた第２貫通孔２７ｃの開口径とは、同一とされることが好ましい。
【0129】
図２５ないし図２７は、本実施の形態における液体圧検出装置の緩衝機構の機能を説明するための図である。ここで、図２５は、検出すべき液体圧が漸増している場合の緩衝機構の状態を示す模式図であり、図２６は、検出すべき液体圧が漸減している場合の緩衝機構の状態を示す模式図である。また、図２７は、衝撃圧力が印加された場合の緩衝機構の状態を示す模式図である。次に、これら図２５ないし図２７を参照して、本実施の形態における液体圧検出装置１Ｇの緩衝機構２０Ｇの機能について詳細に説明する。
【0130】
図２５に示すように、検出すべき液体圧が漸増している場合においては、弁部２２を構成する第１弾性板２６および第２弾性板２７のいずれにも特段の大きな負荷がかかっていない状況にあるため、これら第１弾性板２６および第２弾性板２７には、いずれも大きな変形は生じない。この状態においては、液体圧の増加に伴い、ハウジング１０の外部に位置する液体の一部が、第１連通孔２３ａ、第２連通孔２３ｂ、第１貫通孔２６ｂおよび第２貫通孔２７ｃをこの順で経由して受圧室Ｓ２へと流入することになる。
【0131】
このとき、上述したように、第１弾性板２６および第２弾性板２７のいずれにも大きな変形は生じていないため、第１弾性板２６と第２弾性板２７との間には、液体が通流するために十分な隙間が形成されることになり、第１貫通孔２６ｂに達した液体は、当該隙間を介して第２貫通孔２７ｃへと流入する。これにより、受圧室Ｓ２は、当該液体を通じて圧力が適切に伝播された状態となり、受圧室Ｓ２の圧力は、ハウジング１０の外部に位置する液体の圧力に等しくなる。
【0132】
図２６に示すように、検出すべき液体圧が漸減している場合においては、弁部２２を構成する第１弾性板２６および第２弾性板２７のいずれにも特段の大きな負荷がかかっていない状況にあるため、これら第１弾性板２６および第２弾性板２７には、いずれも大きな変形は生じない。この状態においては、液体圧の減少に伴い、受圧室Ｓ２の内部に位置する液体の一部が、第２貫通孔２７ｃ、第１貫通孔２６ｂ、第２連通孔２３ｂおよび第１連通孔２３ａをこの順で経由してハウジング１０の外部へと流出することになる。
【0133】
このとき、上述したように、第１弾性板２６および第２弾性板２７のいずれにも大きな変形は生じていないため、第１弾性板２６と第２弾性板２７との間には、液体が通流するために十分な隙間が形成されることになり、第２貫通孔２７ｃに達した液体は、当該隙間を介して第１貫通孔２６ｂへと流入する。これにより、受圧室Ｓ２は、当該液体を通じて圧力が適切に伝播された状態となり、受圧室Ｓ２の圧力は、ハウジング１０の外部に位置する液体の圧力に等しくなる。
【0134】
一方、図２７に示すように、衝撃圧力が印加された場合においては、弁部２２を構成する第１弾性板２６および第２弾性板２７のいずれにも大きな変形が生じる。これは、ハウジング１０の外部に位置する液体から伝播した衝撃圧力が、絞り部形成部材２３に設けられた第１連通孔２３ａによって絞られた状態で第２連通孔２３ｂ内に進入し、そのまま第１弾性板２６の第１変形領域２６ａの第１貫通孔２６ｂが設けられていない中央部に大きな負荷をかけるためであり、これによって第１弾性板２６が第２弾性板２７に向けて押し付けられることで第２弾性板２７にも大きな負荷がかかるためである。
【0135】
そのため、第１弾性板２６の第１変形領域２６ａおよび第２弾性板２７の第２変形領域２７ａは、当該衝撃圧力が印加されることによって受圧室Ｓ２側に向けて大きく撓み変形することになり、これら撓み変形した部分において第１弾性板２６と第２弾性板２７とが密着した状態となる。
【0136】
ここで、本実施の形態においては、絞り部形成部材２３に設けられた第１連通孔２３ａが第１弾性板２６の中央部に対向した位置に設けられているため、効率的に第１弾性板２６の第１変形領域２６ａを撓ませることができる。
【0137】
これにより、第１貫通孔２６ｂと第２貫通孔２７ｃとの間に位置する部分の第１弾性板２６と第２弾性板２７との間の隙間が閉塞されることになり、第１貫通孔２６ｂに達した液体は、第２弾性板２７によって堰き止められることとなり、その衝撃圧力がそのまま受圧室Ｓ２に伝播されてしまうことが防止できる。すなわち、当該衝撃圧力は、その大部分が第１弾性板２６および第２弾性板２７の撓み変形によって吸収されることになり、当該衝撃圧力が受圧室Ｓ２に伝達されることが効果的に抑制できることになる。
【0138】
なお、当該衝撃圧力が消失した後においては、第１弾性板２６および第２弾性板２７に生じていた撓み変形も解消されることになり、上述した図２５の状態あるいは図２６の状態等（すなわち、第１弾性板２６と第２弾性板２７との間に、液体が通流するために十分な隙間が形成された状態）に復帰することになる。
【0139】
このように、本実施の形態における液体圧検出装置１Ｇにあっては、上述した如くの緩衝機構２０Ｇを設けることにより、衝撃圧力が印加された場合においても当該衝撃圧力が緩衝機構２０Ｇによって適切に緩衝されることになるため、液体を通じて伝播され得る衝撃圧力に起因した検出素子３３の破損の発生が効果的に抑制できることになる。
【0140】
ここで、上述したように、弁部を構成する２枚の板状部材をいずれも弾性板にて構成した場合において、何ら対策を施さなかった場合には、経年劣化による緩衝機能の低下が発生してしまうことになる。
【0141】
この点、本実施の形態における液体圧検出装置１Ｇにおいては、第２弾性板２７に環状壁部２７ｂを設けた構成であるため、第２弾性板２７の外周部に肉厚の部位が位置することになり、これに伴って第２弾性板２７の第２変形領域２７ａに生じる永久歪みを大幅に軽減することができる。
【0142】
そのため、長期間の使用によっても（すなわち繰り返しの衝撃圧力の印加によっても）、第１弾性板２６と第２弾性板２７との間に意図しない大きな隙間が発生してしまうことが防止できる。したがって、衝撃圧力が印加された場合の第１弾性板２６と第２弾性板２７との密着性が持続的に維持できることになり、長期間にわたって所望の緩衝機能が確保できることになる。
【0143】
したがって、本実施の形態における液体圧検出装置１Ｇとすることにより、液体を通じて伝播され得る衝撃圧力に起因した検出素子３３の破損の発生を長期間にわたって抑制することができる液体圧検出装置とすることができる。
【0144】
また、本実施の形態における液体圧検出装置１Ｇにあっては、上述した如くの緩衝機構２０Ａを設けることにより、オリフィスのみにて緩衝機構を構成した場合に比べ、開口部１３から検出素子３３に至るまでの部分の液体通流部Ｓ１および受圧室Ｓ２の容積を大幅に小さくする（特に当該経路の長さを大幅に短くする）ことができるため、液体圧検出装置を小型に構成することもできる。
【0145】
さらには、本実施の形態の如くの構成を採用することにより、ハウジング１０に設けられる開口部１３や、緩衝機構２０Ｇに設けられる第１連通孔２３ａ、第２連通孔２３ｂ、第１貫通孔２６ｂおよび第２貫通孔２７ｃの大きさを、オリフィスのみにて緩衝機構を構成する場合の当該オリフィスの大きさよりも十分に大きくすることができるため、異物がこれら孔に詰まることが抑制でき、そのメンテナンスがより容易化するメリットも得られる。
【0146】
また、本実施の形態の如くの構成を採用することにより、比較的簡素な形状のゴム製の部材を積層することによって簡便に緩衝機構２０Ｇを構成することができるため、製造コストが圧迫されるおそれもない。
【0147】
加えて、本実施の形態の如くの構成を採用しつつ、絞り部形成部材２３、第１弾性板２６および第２弾性板２７の厚みや大きさ、材質、これら絞り部形成部材２３、第１弾性板２６および第２弾性板２７に設けられる第１連通孔２３ａ、第２連通孔２３ｂ、第１貫通孔２６ｂおよび第２貫通孔２７ｃの大きさや形状、形成位置、個数等を適宜変更することにより、得られる緩衝効果の程度を容易に調節することができる。したがって、これらを仕様に応じて適切に設定することにより、第１弾性板２６および第２弾性板２７の弾性係数以下の液体圧の変動に対しては、当該液体圧の受圧室Ｓ２への伝播を確実ならしめることができ、定常時における液体圧の検出が阻害されることもない。
【0148】
なお、本実施の形態においては、絞り部形成部材２３の外周部に段差部２３ｃを設けるとともに、当該段差部２３ｃに嵌合するように第２弾性板２７の外周部に環状壁部２７ｂを設けた場合を例示して説明を行なったが、必ずしもこのように構成する必要はなく、第２弾性板２７の外周部に環状壁部２７ｂを設け、当該環状壁部２７ｂによって取り囲まれるように第１弾性板２６の一部を配置することとすれば、上述した第２弾性板２７の第２変形領域２７ａに生じる永久歪みの軽減の効果が少なからず得られることになり、液体を通じて伝播され得る衝撃圧力に起因した検出素子３３の破損の発生を長期間にわたって抑制することが可能になる。
【0149】
（他の実施形態等）上述した本発明の実施の形態１ないし７およびその変形例においては、本発明が適用された液体圧検出装置として、液位計に検出部として具備されてなる液体圧検出装置を例示して説明を行なったが、本発明の適用対象はこれに限定さえるものではなく、本発明は、液体圧自体を計測する液体圧検出装置や、液体の流量や流速を計測する計測装置の検出部として具備される液体圧検出装置等、各種の液体圧検出装置にその適用が可能である。
【0150】
また、上述した本発明の実施の形態１ないし７およびその変形例において示した緩衝機構を構成する各種の部材の厚みや大きさ、材質等、および、当該緩衝機構に設けられる第１連通孔、第２連通孔、第１貫通孔および第２貫通孔の大きさや形状、形成位置、個数等は、いずれも例示に過ぎず、各種の変更を加えることが可能である。
【0151】
また、上述した本発明の実施の形態１ないし７およびその変形例においては、検出素子としてピエゾ抵抗式の半導体圧力センサを用いた場合を例示したが、静電容量式の半導体圧力センサや機械式の歪みゲージおよびベローズ式圧力計等を検出素子として用いる場合においても、本発明が効果的に適用できる。
【0152】
さらには、上述した本発明の実施の形態１ないし７およびその変形例において示した特徴的な構成は、本発明の趣旨に照らして逸脱しない範囲において相互にその組み合わせが可能である。
【0153】
このように、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではない。本発明の技術的範囲は特許請求の範囲によって画定され、また特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【符号の説明】
【0154】
１Ａ〜１Ｇ，１Ａ１，１Ａ２ 液体圧検出装置、１０ ハウジング、１１ 筒状部、１１ａ 段差部、１２，１２Ａ，１２Ｂ 底部、１３ 開口部、１４ カバー部材、１５ ビス、２０Ａ〜２０Ｇ，２０Ａ１，２０Ａ２ 緩衝機構、２１ 絞り部、２２ 弁部、２３ 絞り部形成部材、２３Ａ 第１絞り部形成部材、２３Ｂ 第２絞り部形成部材、２３ａ 第１連通孔、２３ｂ 第２連通孔、２３ｃ 段差部、２４ 弾性板、２４ａ 被保持領域、２４ｂ 非保持領域、２４ｃ 第１貫通孔、２５ 硬質板、２５ａ 第２貫通孔、２５ｂ 環状溝、２５ｃ 凹部、２６ 第１弾性板、２６ａ 第１変形領域、２６ｂ 第１貫通孔、２７ 第２弾性板、２７ａ 第２変形領域、２７ｂ 環状壁部、２７ｃ 第２貫通孔、３１ 受圧室形成部材、３１ａ 通路孔、３２ 素子マウント、３２ａ パッキン、３３ 検出素子、３４ 固定部材、３５ クッションパッド、３５ａ 第３連通孔、４０ ケーブル、４１ 導線、Ｓ１ 液体通流部、Ｓ２ 受圧室。