特許第6853440号(P6853440)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6853440金属銅及び酸化銅含有粉、金属銅及び酸化銅含有粉の製造方法、及び、スパッタリングターゲット材、スパッタリングターゲット材の製造方法
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