特許 6853760 ライトガイド照明装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6853760

(24)【登録日】2021年3月16日

(45)【発行日】2021年3月31日

(54)【発明の名称】ライトガイド照明装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/84 20060101AFI20210322BHJP

   G02B 6/35 20060101ALI20210322BHJP

   G03B 15/05 20210101ALI20210322BHJP

   G03B 15/02 20210101ALI20210322BHJP

【ＦＩ】

   G01N21/84 E

   G02B6/35

   G03B15/05

   G03B15/02 H

   G03B15/02 Q

【請求項の数】3

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2017-181079(P2017-181079)

(22)【出願日】2017年9月21日

(65)【公開番号】特開2019-56624(P2019-56624A)

(43)【公開日】2019年4月11日

【審査請求日】2020年4月24日

(73)【特許権者】

【識別番号】000219314

【氏名又は名称】東レエンジニアリング株式会社

(72)【発明者】

【氏名】村田 浩之

【審査官】 吉田 将志

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０７−１９０７４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−１４９５６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭６１−２９３６５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−０９８９０６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭５９−１１９２４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−１５６５３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第０５３０２８３６（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｎ ２１／８４−９５８

Ｇ０２Ｂ ６／３５

Ｇ０３Ｂ １５／０２

Ｇ０３Ｂ １５／０５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

撮像対象物に設定された照明光照射領域に向けて照明光を照射する照明装置であって、
光源と、
前記光源から発せられた光を投射する投光部と、
前記投光部から投射された光を受光して前記照明光として導光する導光ユニットとを備え、
前記導光ユニットは、
前記投光部から投射された光を受光する受光部と、
前記照明光照射領域に対して各々異なる所定の傾斜角度で前記照明光を照射する出射部と、
前記受光部で受光した光を前記出射部へ導光する光ファイバ部とを備え、
前記光ファイバ部は、
前記受光部と前記出射部を接続する複数の光ファイバ素線の当該受光部側の端部が所定方向に配列されており、
前記配列の順と前記出射部の前記傾斜角度の順とが対応する様に、当該複数の光ファイバ素線の出射端が当該出射部に保持されており、
前記受光部に配列された前記複数の光ファイバ素線の受光端に沿って、前記投光部と前記受光部とを相対的に移動させるスライダ部を備えた
ことを特徴とする、ライトガイド照明装置。

【請求項2】

前記導光ユニットは、
前記出射部が、前記照明光照射領域を囲む放射状に配置されており、
前記複数の光ファイバ素線は、前記出射部において前記傾斜角度が同じないし所定範囲内のもの同士の各受光端が、前記受光部において前記スライダ部の移動方向とは直交する方向に配列されていることを特徴とする、請求項１に記載のライトガイド照明装置。

【請求項3】

前記投光部は、前記受光端に投射する光の範囲を調節する光投射範囲調節部を備えた
ことを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載のライトガイド照明装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、撮像対象物に設定された照明光照射領域に向けて照明光を照射する照明装置であって、光源から発せられた光を導く複数の光ファイバを有するライトガイド照明装置に関する。

【背景技術】

【0002】

電子部品が表面実装された回路基板の検査、半導体装置の製造工程における回路パターン検査やワイドギャップ半導体の欠陥検査や欠陥分類など、種々の場面で撮像が行われており、電球や蛍光灯、ＬＥＤ、レーザ等を用いた照明装置が用いられている。

【0003】

そして、照明装置に用いる照明光は、斜光式や同軸落斜式など傾斜角度（撮像対象物に対する角度）や照射方向が多岐にわたり、その中から試行錯誤して撮像に適した形態が選定されている。

【0004】

さらに、撮像対象が多品種の場合でも、各品種に応じて最適な照射の方向を切り替えたり、照射の角度や強度を調節するための技術が提案されている（例えば、特許文献１，２）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２００５−９１０４９号公報

【特許文献2】特開平１０−３２３８６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

撮像対象が多品種の場合でも、各品種において照明光の傾斜角度に対する許容範囲が広ければ、従来技術での対応が可能であった。

【0007】

一方、半導体ウエーハなどに回路パターンが形成されたものを撮像・検査する場合、撮像・検査対象とする回路パターンの線幅や膜厚の違い、異物やクラック、パターン欠陥などの種類や大きさなどの違いに応じて、これらの撮像・検査に最適な照明光の傾斜角度が少しずつ異なる（つまり、傾斜角度に対する許容範囲が狭い）。また、他の撮像対象でも、照明光の傾斜角度に対する許容範囲が狭いものがあり、撮像対象が多品種の場合、よりシビアに照明光の傾斜角度を調節・設定したいという要求がある。

【0008】

しかし、特許文献１の様に、ある角度のローアングル光やランダムな立体入射角度を有する補助光（拡散光）を切り替えるだけでは、上述の様なシビアな角度設定を具現化することが困難である。

【0009】

また、特許文献２の様な技術では、多段階で照明光の傾斜角度を設定したい場合、当該段階数に応じて照明用光源を準備する必要があり、多段階の角度調節は非現実的である。

【0010】

つまり従来技術では、照明用光源の台数を増やすことなく、照明光の傾斜角度を多段階または複数段階で変更・設定できないという課題があった。

【0011】

そこで本発明は、照明用光源の台数を増やすことなく、照明光の傾斜角度を多段階または複数段階で変更・設定できるライトガイド照明装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0012】

以上の課題を解決するために、本発明に係る一態様は、
撮像対象物に設定された照明光照射領域に向けて照明光を照射する照明装置であって、
光源と、
光源から発せられた光を投射する投光部と、
投光部から投射された光を受光して照明光として導光する導光ユニットとを備え、
導光ユニットは、
投光部から投射された光を受光する受光部と、
照明光照射領域に対して各々異なる所定の傾斜角度で照明光を照射する出射部と、
受光部で受光した光を出射部へ導光する光ファイバ部とを備え、
光ファイバ部は、
受光部と出射部を接続する複数の光ファイバ素線の当該受光部側の端部が所定方向に配列されており、
配列の順と出射部の傾斜角度の順とが対応する様に、当該複数の光ファイバ素線の出射端が当該出射部に保持されており、
受光部に配列された複数の光ファイバ素線の受光端に沿って、投光部と受光部とを相対的に移動させるスライダ部を備えた
ことを特徴とする、ライトガイド照明装置である。

【発明の効果】

【0013】

照明用光源の台数を増やすことなく、照明光の傾斜角度を多段階または複数段階で変更・設定できる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】本発明を具現化する形態の一例の全体構成を示す概略図である。

【図2】本発明を具現化する形態の一例の要部を示す平面図である。

【図3】本発明を具現化する形態の別例の要部を示す概略図である。

【図4】本発明を具現化する別の形態の一例の全体構成を示す概略図である。

【図5】本発明を具現化する別の形態の一例の要部を示す平面図である。

【図6】本発明を具現化する別の形態の別例の要部を示す平面図である。

【図7】本発明を具現化する別の形態の別例の要部を示す平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下に、本発明を実施するための形態について、図を用いながら説明する。
なお、各図では、水平方向をｘ方向、ｙ方向と表現し、ｘｙ平面に垂直な方向（つまり、重力方向）をｚ方向と表現する。また、ｚ方向の矢印側を上、その逆を下と呼ぶことがある。また、ｘｙ平面に対する照明光の入射角度を傾斜角度θと呼ぶ。

【0016】

図１は、本発明を具現化する形態の一例の全体構成を示す概略図であり、ライトガイド照明装置１を構成する各部の配置の概略が断面図的に図示されている。

【0017】

本発明に係るライトガイド照明装置１は、撮像対象物Ｗに設定された照明光照射領域Ｒに向けて照明光Ｌを照射するものである。具体的には、ライトガイド照明装置１は、光源２と、投光部３と、導光ユニット４と、スライダ部５とを備えている。また参考のため、本発明に係るライトガイド照明装置１を用いて、撮像対象物Ｗに設定された照明光照射領域Ｒ内を観察する観察手段Ｃを破線で図示する。

【0018】

図２は、本発明を具現化する形態の一例の要部を示す平面図であり、ライトガイド照明装置１を構成する導光ユニット４を上方から見下ろした平面図として図示されている。

【0019】

光源２は、撮像に必要なエネルギーおよび波長の光を発するものである。
具体的には、光源２として白色ＬＥＤを例示するが、それ以外に、レーザダイオード、ハロゲン照明、蛍光灯などで構成しても良い。

【0020】

投光部３は、光源から発せられた光を投射するものである。具体的には、投光部３は、光源２から発せられた光が所定範囲を照らす光束に集光・成形する構成をしている。より具体的には、投光部３は、光源２が収められた筐体に設けられた開口マスク部と、開口マスク部に取り付けられた投影レンズとを含んで構成されている。なお、ここでは、投光部３から投射された光（投射光とも言う）Ｌｓとして、所定径の円形状に集光・成形された光束を例示する。

【0021】

導光ユニット４は、投光部３から投射された光Ｌｓを受光して照明光Ｌとして導光するものである。具体的には、導光ユニット４は、受光部４０と、出射部４２と、光ファイバ部４１とを備えている。

【0022】

受光部４０は、投光部３から投射された光Ｌｓを受光するものである。具体的には、受光部４０は、光ファイバ部４１を構成する複数の光ファイバの一方の端部（つまり、受光端）４１ｒが、所定方向に配列されている。

【0023】

光ファイバ部４１は、受光部４０で受光した光Ｌｓを出射部４２へ導光するものである。具体的には、光ファイバ部４１は、複数の光ファイバ素線（エレメントとも言う）で構成されており、受光部４０と出射部４２とを接続している。そして、光ファイバ部４１を構成する各光ファイバ素線は、受光部４０側の端部（つまり、受光端）４１ｒが直線状に（例えば、ｘ方向に一列に並んだ状態）に配列されている。

【0024】

出射部４２は、照明光照射領域Ｒに対して各々異なる所定の角度で照明光Ｌを照射するものである。具体的には、出射部４２は、光ファイバ部４１の受光端４１ｒとは反対側の端部（つまり、出射端）４１ｓを所定の角度（つまり、傾斜角度θ）で保持するものであり、各出射端の傾斜角度θは、図示された様な傾斜角度θｈ〜θＬのように、照明光照射領域Ｒに対して垂直に近い角度から水平に近い角度まで、段階的に異なる角度に設定されている。

【0025】

より具体的には、出射部４２は、アーチ型の筐体の側面に一列に設けられた貫通孔が配置された構成されている。また、当該筐体の上部側方には観察手段Ｃが配置されている。

【0026】

そして、光ファイバ部４１を構成する各光ファイバ素線の出射端４１ｓは、これら光ファイバの受光端４１ｒが所定方向（上述の場合、ｘ方向）に配列されている順と、それぞれの出射端４１ｓの傾斜角度θ（つまり、各々異なる所定の角度）の順が対応する様に、出射部４２に保持されている。換言すれば、出射部４２に保持された各光ファイバ素線の出射端４１ｓの傾斜角度がθｈからθＬへ徐々に浅くなるような傾斜角度θの順に、各光ファイバ素線の受光端４１ｒが直線状に並べられた状態で受光部４０に配列されている。

【0027】

そして、導光ユニット４は、受光部４０に配置された複数の光ファイバ素線の受光端４１ｒのいずれかに、投光部３から投射される光（つまり、投射光）Ｌｓが投射されるように各部が配置されており、所定の傾斜角度θで出射部４２から照明光照射領域Ｒに向けて照明光Ｌが照射される構成をしている。そのため、導光ユニット４は、受光部４０に対する投射光Ｌｓの位置をｘ方向に変更することで、出射部４２から照明光照射領域Ｒに向けて照射される照明光Ｌの傾斜角度θを変更することができる。

【0028】

スライダ部５は、受光部４０に配列された光ファイバ部４１の受光端４１ｒに沿って、投光部３と受光部４０とを相対的に移動させるものである。具体的には、スライダ部５は、光ファイバ４１の受光端４１ｒが並べられた方向（例えば、ｘ方向）に光源２および投光部３を直線状に移動させ、所定の位置で静止させるものである。例えば、図中の実線で図示する位置で投射光Ｌｓを受光部４０に対して照射すれば、垂直に近い傾斜角度θｈで照明光Ｌを出射させることができる。一方、図中の波線で図示する位置で投射光Ｌｓ’を受光部４０に対して照射すれば、水平に近い傾斜角度θＬで照明光Ｌ’を出射させることができる。

【0029】

より具体的には、スライダ部５は、ｘ方向に延びるガイドレールと、そのガイドレール上を所定の速度で移動したり所定の位置で静止させたりできるスライダーを備えた、１軸アクチュエータで構成されている。そして、このスライダーには光源２が取り付けられている。なお、この１軸アクチュエータとしては、リニアモータや、サーボモータとボールネジを組み合わせたもの（つまり、電動アクチュエータ）等が例示できる。

【0030】

この様な構成をしているため、本発明に係るライトガイド照明装置１は、スライダ部５によって投光部３を移動させ、投光部３と受光部４０との相対位置を変更し、多段階に傾斜角度θが設定された出射部４２に接続された光ファイバのいずれに導光させるかを選択できる。つまり、本発明に係るライトガイド照明装置１は、投光部３と受光部４０との相対位置を変更・設定することで、照明光Ｌの傾斜角度θを適宜変更・設定することができる。例えば、図１に図示する様に光源２および投光部３が実線で示す位置にあれば、照明光Ｌは垂直に近い角度θｈから照射され、光源２および投光部３が破線で示す位置にあれば、照明光Ｌ’は水平に近い浅い角度θＬから照射され、この間で段階的に照明光の傾斜角度を調節ができる。そのため、照明用光源の台数を増やすことなく、照明光Ｌの傾斜角度θを多段階に変更・設定できる。

【0031】

なお上述では、導光ユニット４の受光部４０に配列された各光ファイバ素線の受光端４１ｒが直線状（ｘ方向）に並べられた構成を例示し、投光部３および投射光Ｌｓを移動させるスライダ部５も直線状（ｘ方向）に移動させ、所定の位置で静止させる構成を例示したが、次の様な構成であっても良い。また、スライダ部５は、電動アクチュエータ等に限らず、手動で位置を変更・設定する構成であっても良い。

【0032】

図３は、本発明を具現化する形態の別例の要部を示す概略図である。
１）図３（ａ）に示す様に、受光部４０に配列された各光ファイバ素線の受光端４１ｒが、円弧状に並べられており、光源２，投光部３，投射光Ｌｓを移動させるスライダ部５も同様の円弧状に移動させ、所定の位置で静止させる構成。
２）図３（ｂ），（ｃ）に示す様に、受光部４０に配列された各光ファイバ素線の受光端４１ｒが、それぞれ離隔してジグザク状に並べられており、光源２，投光部３，投射光Ｌｓを移動させるスライダ部５も同様のジグザク状に移動させ、受光部４０に投射光Ｌｓが照射される位置で静止させる構成。
３）図３（ｄ），（ｅ）に示す様に、受光部４０に配列された各光ファイバ素線の受光端４１ｒが、それぞれ離隔しつつ直線状に並んでおり、光源２，投光部３，投射光Ｌｓを移動させるスライダ部５を破線Ｋで示す軌跡の様にジグザク状に移動させ、受光部４０に投射光Ｌｓが照射される位置で静止させる構成。

【0033】

［別の形態］
なお上述では、本発明に係るライトガイド照明装置１として、平面視すれば一方向から（つまり、上方から下方を見下ろした状態で、紙面右側から左側に向けて）、照明光Ｌが照射される構成（つまり、傾斜角度切替式の斜光照明）を図示しつつ例示した。

【0034】

しかし、本発明を具現化する上では、上述の様な斜光照明方式のライトガイド照明装置１に限らず、下述する様な別の形態のライトガイド照明装置１Ｂであっても良い。

【0035】

図４は、本発明を具現化する別の形態の一例の全体構成を示す概略図であり、ライトガイド照明装置１Ｂを構成する各部の配置の概略が断面図的に図示されている。

【0036】

本発明に係るライトガイド照明装置１Ｂは、光源２と、投光部３Ｂと、導光ユニット４Ｂと、スライダ部５とを備えている。

【0037】

なお、投光部３Ｂ、導光ユニット４Ｂは、上述の投光部３、導光ユニット４と同様の構成をしており、同様の機能を奏するものであるため、詳細な説明は省略し、相違点に着目して下述する。

【0038】

図５は、本発明を具現化する別の形態の一例の要部を示す平面図であり、ライトガイド照明装置１Ｂを構成する導光ユニット４Ｂを上方から見下ろした平面図として図示されている。なお、照明光照射領域Ｒに対して照明光Ｌ２が照射される方向を、照射方向ω１〜ω８と呼ぶ。そして、各照射方向ω１〜ω８は、それぞれ４５度ずれた方向で、照明光照射領域Ｒを取り囲んで配置されている。

【0039】

投光部３Ｂは、光源から発せられた光を集光・成形し、導光ユニット４Ｂの受光部４０Ｂに光を投射するものである。ここでは、投光部３Ｂから投射された光Ｌｓ２として、ｘ方向に所定の幅でｙ方向に所定の長さ（つまり、所定面積）を有する矩形状に集光・成形された光束を例示する。

【0040】

導光ユニット４Ｂは、投光部３Ｂから投射された光Ｌｓ２を受光して照明光Ｌ２として導光するものである。具体的には、導光ユニット４Ｂは、受光部４０Ｂと、出射部４２Ｂと、光ファイバ部４１Ｂとを備えている。

【0041】

受光部４０Ｂは、投光部３Ｂから投射された光Ｌｓ２を受光するものである。光ファイバ部４１Ｂは、受光部４０Ｂで受光した光Ｌｓ２を出射部４２Ｂへ導光するものである。出射部４２Ｂは、照明光照射領域Ｒに対して各々異なる所定の角度（つまり、傾斜角度θ）で、複数の方向（つまり照射方向ω１〜ω８）から照明光Ｌ２を照射するものである。

【0042】

具体的には、受光部４０Ｂには、光ファイバ部４１Ｂを構成する複数の光ファイバ（つまり、素線）の受光端４１ｒが、平面状に並べられて構成されている。そして、光ファイバ部４１Ｂを構成する各光ファイバ素線は、照明光照射領域Ｒに対する同じ照射方向（例えば、ω１）のものが線状（例えば、ｘ方向に一列に並んだ状態）に配列されており、さらにこの配列方向と直交する方向（例えば、ｙ方向）に、複数列の光ファイバ（例えば、照射方向ω２〜ω８のもの）が配列されている。

【0043】

一方、出射部４２Ｂは、半球ドーム型の筐体の側面に放射状に設けられた貫通孔（つまり、複数列の光ファイバ素線の出射端４１ｓ）が、照明光照射領域Ｒを囲んで配置された構成をしている。そして、各列の出射端４１ｓは、それぞれ傾斜角度θがθｈからθＬへ徐々に浅くなるように配置されている。そして、各列の出射端４１ｓ同士を比較すれば、傾斜角度θがθｈからθＬまで、各々同じないし所定範囲内に設定されている。また、当該筐体の中央上部には観察手段Ｃのレンズを配置するための開口部４２ｈが設けられている。

【0044】

より具体的には、光ファイバ部４１Ｂを構成する各光ファイバ素線は、出射端４１ｓの傾斜角度θの順に（例えば、傾斜角度がθｈからθＬへ徐々に浅くなるように）出射部４２に保持されており、この順に対応するように受光端４１ｒがｘ方向に線状に並んで受光部４１に配列されている。換言すれば、光ファイバ部４１Ｂは、受光部４０Bにｘ方向に配列されたこれら複数列の光ファイバ素線の受光端４１ｒをこれら配列方向とは直交方向（この場合、ｙ方向）に見れば、出射部４２Ｂから照明光照射領域Ｒに向けて照射される照明光Ｌ２の傾斜角度θが同じないし所定範囲内のもの同士がｙ方向に並んだ状態で配列されている。

【0045】

そして、導光ユニット４Ｂは、投光部３Ｂから投射される光Ｌｓ２が、受光部４０Ｂに対してｘ方向に所定の幅でｙ方向の全域に投射されるように設定されており、所定の傾斜角度θで出射部４２Ｂから照明光照射領域Ｒに向けて照明光Ｌ２が照射される構成をしている。

【0046】

なお、導光ユニット４Ｂは、上述の様に、照明光照射領域Ｒに対する同じ照射方向（例えば、ω１）のものが線状（例えば、ｘ方向に一列に並んだ状態）に配列した構成に限らず、下述の様な構成としても良い。

【0047】

図６は、本発明を具現化する別の形態の別例の要部を示す平面図であり、ライトガイド照明装置１Ｂを構成する導光ユニット４Ｂの別例を上方から見下ろして図示されている。

【0048】

ここに示す構成は、光ファイバ部４１Ｂを構成する複数の光ファイバ素線はそれぞれ、出射部４２Ｂにおいて傾斜角度θが同じないし所定範囲内のもの同士の受光端４１ｒが、照射方向ωはランダムながらも受光部４０Ｂにおいてｙ方向に１列に配列されており、さらに傾斜角度がθｈからθＬへ徐々に浅くなるにつれて、紙面右側（つまり、ｘ方向）に配置されるように配列されている（つまり、傾斜角度θの順に所定方向に配列されている）。

【0049】

この様な構成をしているため、本発明に係るライトガイド照明装置１Ｂは、スライダ部５を移動させて、導光ユニット４Ｂの受光部４０Ｂに対する投射光Ｌｓ２の位置をｘ方向に変更すれば、出射部４２Ｂから照明光照射領域Ｒに向けて照射される照明光Ｌ２の傾斜角度θを変更することができる。例えば、図４にて実線で示す様な位置に投光部３Ｂや投射光Ｌｓ２があれば、照明光Ｌ２は垂直に近い傾斜角度θｈで照射され、破線で示す様な位置に投光部３Ｂや投射光Ｌｓ２’があれば、照明光Ｌ２’は水平に近い浅い傾斜角度θＬで照射され、この間で段階的に照明光の傾斜角度を調節ができる。そのため、照明用光源の台数を増やすことなく、照明光Ｌ２の傾斜角度θを多段階に変更・設定できる。

【0050】

なお上述では、光ファイバ部４１Ｂを構成する複数の光ファイバ素線のうち、出射部４２Ｂにおいて傾斜角度θが同じないし所定範囲内のもの同士の受光端４１ｒが、受光部４０Ｂにおいてｙ方向に１列に配列された構成を例示したが、２列やそれ以上であっても良い。

【0051】

また、光ファイバ部４１Ｂを構成する複数の光ファイバ素線のうち、出射部４２Ｂにおいて傾斜角度θが同じないし所定範囲内のもの同士の受光端４１ｒは、投射光Ｌ２が矩形に照射される様に矩形状にグルーピングして配列するのみならず、円形状にグルーピングして配列されていても良い。

【0052】

なお上述では、出射部４２Ｂから照射される照明光Ｌ２の照射方向ωが８方向（つまり、ω１〜ω８）である構成を例示したが、当該方向に限らず、それ以上（例えば、１６方向や３２方向など）でも良い。このとき、出射部４２Ｂは、同じないし所定範囲内の傾斜角度θのもの同士が、円形に配列された環状であっても良いし、矩形に配列された環状であっても良い。一方、出射部４２Ｂは、上述の様な８方向より少ない方向（例えば４方向や２方向など）から照明光Ｌ２を照射する構成であっても良い。

【0053】

［別の形態］
なお上述のライトガイド照明装置１，１Ｂでは、投光部３から受光部４０に投射される光Ｌｓとして、所定径の円形状に集光・成形された光束を例示し、投光部３Ｂから受光部４０Ｂに投射される光Ｌｓ２として、ｘ方向に所定の幅でｙ方向に所定の長さを有する矩形状に集光・成形された光束を例示した。この様な構成であれば、出射部４２，４２Ｂから照明光照射領域Ｒに向けて照射される照明光Ｌ，Ｌ２が所定範囲の角度を有する光束としつつ、傾斜角度θを変更・設定することができる。

【0054】

しかし、本発明を具現化する上でライトガイド照明装置１，１Ｂは、この様な構成に限らず、投光部３，３Ｂが下述の様な光投射範囲調節部７を備えた構成であっても良い。

【0055】

光投射範囲調節部７は、投光部３，３Ｂから受光部４，４Ｂの受光端４１ｒに投射する光（つまり、投射光）Ｌｓ、Ｌｓ２の範囲を調節するものである。具体的には、光投射範囲調節部７として、次の様な構成が例示できる。
１）光ファイバ素線の受光端４１ｒが線状に配列された方向（例えば、ｘ方向）に表面が湾曲したシリンドリカルレンズを投射光Ｌｓ，Ｌｓ２の光路中の所定の位置に配置し、当該シリンドリカルレンズと受光部４，４Ｂとの距離を調節する構成。
２）同上のシリンドリカルレンズを光源２と受光端４１ｒとの間で位置調整（例えば、ｚ方向に移動）し、所定の位置で静止させる構成。
３）同上のシリンドリカルレンズを脱着したり、曲率（つまり、焦点距離）の異なるシリンドリカルレンズを脱着したりする構成。
４）投光部３，３Ｂと受光部４，４Ｂとの間隔を調整するアクチュエータを備え、受光部４，４Ｂに投射される光Ｌｓ，Ｌｓ２の照射範囲を調節する構成。

【0056】

この様な構成であれば、受光部４，４Ｂに投射される光Ｌｓ，Ｌｓ２をｘ方向に引き伸ばしたり集光させたりすることができるので、照明光照射領域Ｒに向けて照射される照明光Ｌ，Ｌ２の傾斜角度θのみならず、傾斜角度の範囲も変更・設定することができる。

【0057】

［変形例］
なお上述の各形態では、照明光Ｌの傾斜角度θ（θｈ〜θＬ）が８段階で調節・設定できる構成を図示しつつ例示したが、それ以上の光ファイバ素線を配列させて多段階（例えば、１６段階、６４段階など）に変更・設定できる構成としても良い。或いは、上述より少ない光ファイバ素線を並べた状態で配列させ、複数段階に変更・設定できる構成としても良い。また、これら光ファイバ素線の受光端４１ｒや出射端４１ｓは、隣接配置させても良いし、離隔配置させても良い。

【0058】

また上述では、照明光照射領域Ｒに向けて照射される照明光Ｌ，Ｌ２の照射方向が、傾斜角度θを変えても、同じ方向である構成を例示した。しかし、本発明を具現化する上では、この様な構成に限定されず、図７に示す様に、照明光Ｌ２の傾斜角度θ（θｈ〜θＬ）によって、照明光照射領域Ｒに向けて照射される照明光Ｌ２の照射方向を増減させる構成であっても良い。

【0059】

図７は、本発明を具現化する別の形態の別例の要部を示す平面図であり、ライトガイド照明装置１Ｂを構成する導光ユニット４Ｂの別例を上方から見下ろして図示されている。

【0060】

例えば、導光ユニット４Ｂの出射部４２Ｂは、傾斜角度θ（θｈ〜θＬ）によって、照明光Ｌ２の照射方向が８方向、１６方向、２４方向、３２方向に設定されている。具体的には、出射部４２Ｂは、垂直に近い傾斜角度θｈの場合は、８方向から照明光Ｌ２を照射し、水平に近い傾斜角度θＬの場合は３２方向から照明光Ｌ２’を照射し、その間の傾斜角度θｍの場合は１６方向から照明光を照射する様に配置されている。そして、これら出射部４２に接続されている光ファイバ部４１Ｂの複数の光ファイバ素線のうち、同じ傾斜角度ないし所定範囲内のもの同士の受光端４１ｒが、受光部４０Ｂにｙ方向に並んで配列されており、傾斜角度θの順（例えば、θｈ〜θＬ）にｘ方向に並んで配置されている。そして、スライダ部５は、ｘ方向に移動し所定の位置で静止する様に配置されている。

【0061】

なお、この様な構成の場合、ｙ方向に見れば光ファイバ素線の受光端の数（つまり、受光面積）が異なるので、光投射範囲調節部７は、投射光Ｌｓ，Ｌｓ２の投射範囲をこれら受光端の受光面積に応じて調節できる構成とする。

【0062】

具体的には、光投射範囲調節部７は、ｙ方向に表面が湾曲したシリンドリカルレンズをｚ方向に移動・静止させたり、脱着したりする。そうすることで、図中の破線で示す様に投射光Ｌｓ２’をｙ方向に引き延ばして受光部４０Ｂに投射することができる。

【符号の説明】

【0063】

１ ライトガイド照明装置
２ 光源
３ 投光部
４ 導光ユニット
５ 移動部
４０ 受光部
４１ 光ファイバ部
４１ｒ 受光端
４１ｓ 出射端
４２ 出射部
Ｃ 観察手段
Ｗ 撮像対象物
Ｒ 照明光照射領域
θ 傾斜角度
ω，ω１〜ω８ 照射方向
Ｌｓ 投光部から投射された光
Ｌｓ’ 投光部から投射された光
Ｌ 照明光
Ｌ’ 照明光（傾斜角度が浅い）
１Ｂ ライトガイド照明装置
２Ｂ 光源
３Ｂ 投光部
４Ｂ 導光ユニット
４０Ｂ 受光部
４１Ｂ 光ファイバ部
４２Ｂ 出射部
４２ｈ 開口部
Ｌｓ２ 投光部から投射された光
Ｌｓ２’ 投光部から投射された光
Ｌ２ 照明光
Ｌ２’ 照明光（傾斜角度が浅い）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】