特許 6857095 圧力検出装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6857095

(24)【登録日】2021年3月23日

(45)【発行日】2021年4月14日

(54)【発明の名称】圧力検出装置

(51)【国際特許分類】

   G01L 19/00 20060101AFI20210405BHJP

   G01L 19/14 20060101ALI20210405BHJP

   H01L 29/84 20060101ALI20210405BHJP

【ＦＩ】

   G01L19/00 A

   G01L19/14

   H01L29/84 B

   H01L29/84 A

【請求項の数】8

【全頁数】20

(21)【出願番号】特願2017-132047(P2017-132047)

(22)【出願日】2017年7月5日

(65)【公開番号】特開2019-15568(P2019-15568A)

(43)【公開日】2019年1月31日

【審査請求日】2020年4月28日

(73)【特許権者】

【識別番号】591257111

【氏名又は名称】サーパス工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100112737

【弁理士】

【氏名又は名称】藤田 考晴

(74)【代理人】

【識別番号】100140914

【弁理士】

【氏名又は名称】三苫 貴織

(74)【代理人】

【識別番号】100136168

【弁理士】

【氏名又は名称】川上 美紀

(74)【代理人】

【識別番号】100172524

【弁理士】

【氏名又は名称】長田 大輔

(72)【発明者】

【氏名】小林 将道

(72)【発明者】

【氏名】田口 雅教

【審査官】 公文代 康祐

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１７−００９４６７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２００５−５２４０８１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１７／００２８１１９（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２０１１／００１１１７６（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｌ ７／００−２３／３２

Ｇ０１Ｌ ２７／００−２７／０２

Ｈ０１Ｌ ２９／８４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

圧力検出面に伝達される圧力を検出する圧力検出ユニットと、
流入口から流出口へ向けた流通方向に沿って流体を流通させる流路と該流路を流通する流体の圧力を前記圧力検出面に伝達するための圧力伝達面とが形成された流路ユニットと、
前記流路ユニットを前記圧力検出ユニットに着脱可能に取り付ける取付機構とを備え、
前記圧力検出ユニットは、前記圧力検出面と前記圧力伝達面とが接触した状態で前記流路ユニットが取り付けられたことを検知する検知部を有する圧力検出装置。

【請求項2】

前記圧力検出ユニットは、前記流路ユニットを前記圧力検出ユニットに取り付ける際に、前記流路の前記流入口側の一部と前記流出口側の一部とを所定の取付位置に案内する溝部を有する一対の案内部を備え、
前記検知部は、前記一対の案内部の少なくともいずれか一方に配置されており、前記所定の取付位置に案内された前記流路を検知することにより前記流路ユニットが取り付けられたことを検知する請求項１に記載の圧力検出装置。

【請求項3】

前記圧力検出ユニットは、所定指示に応じて前記圧力検出面で検出される圧力を基準値に設定する設定部を有し、
該設定部は、前記流路ユニットが取り付けられたことを前記検知部が検知している場合に前記所定指示に応じて前記基準値を設定する請求項１または請求項２に記載の圧力検出装置。

【請求項4】

前記圧力検出ユニットは、前記圧力検出面に直交する第１軸線に沿った第１軸線方向に延びる第１位置決め部を有し、
前記流路ユニットは、前記圧力伝達面に直交する第２軸線に沿った第２軸線方向に延びる第２位置決め部を有し、
前記取付機構は、前記第１軸線と前記第２軸線とが一致し、かつ前記第１位置決め部の前記第１軸線回りの位置と前記第２位置決め部の前記第２軸線回りの位置とが一致する場合に、前記流路ユニットを前記圧力検出ユニットに取り付ける請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の圧力検出装置。

【請求項5】

前記圧力検出ユニットは、前記圧力検出面が頂部に配置されるとともに前記第１位置決め部が外周面に形成された突部を有し、
前記流路ユニットは、前記圧力伝達面が底部に配置されるとともに前記第２位置決め部が内周面に形成された凹部を有し、
前記取付機構は、前記圧力検出ユニットの前記突部が前記流路ユニットの前記凹部に挿入された状態で、前記流路ユニットを前記圧力検出ユニットに取り付ける請求項４に記載の圧力検出装置。

【請求項6】

前記第１位置決め部は、前記突部の前記外周面に形成される複数の突起であり、
前記第２位置決め部は、前記凹部の前記内周面に形成される複数の溝であり、
前記取付機構は、前記第１軸線と前記第２軸線とが一致し、かつ前記複数の突起の前記第１軸線回りの各位置と、前記複数の溝の前記第２軸線回りの各位置とがそれぞれ一致する場合に、前記流路ユニットを前記圧力検出ユニットに取り付ける請求項５に記載の圧力検出装置。

【請求項7】

前記取付機構は、前記流路ユニットに前記第２軸線回りに回転可能に取り付けられるとともに内周面に雌ねじが形成されたナットであり、
前記突部よりも外周側の前記圧力検出ユニットの外周面に雄ねじが形成されており、
前記ナットに形成された前記雌ねじを前記雄ねじに締結することにより、前記圧力伝達面が前記圧力検出面に接触する請求項５または請求項６に記載の圧力検出装置。

【請求項8】

前記雌ねじの前記第１軸線方向の先端と前記雄ねじの前記第２軸線方向の先端とは、前記第１位置決め部の前記第１軸線方向の一部と前記第２位置決め部の前記第２軸線方向の一部とが係合した状態で接触する請求項７に記載の圧力検出装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、流路ユニットを圧力検出ユニットに着脱可能に取り付ける取付機構を備えた圧力検出装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、薬液等の液体を流通させる流路が形成されたボディと、保護シートを介して受圧面に伝達される液体の圧力を検出するセンサ本体とが一体化されたインライン型圧力センサが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に開示される圧力センサは、ボディの上面にセンサ本体を取り付けてからセンサホルダーによりセンサ本体をボディに固定し、ボディの上面にボディキャップを装着してこれらの部材を一体化したものである。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００５−２０７９４６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に開示される圧力センサは、流路が形成されたボディとセンサ本体とが一体化されているため、検出対象の液体を変更する場合には、既存の流路を純水等で洗浄する必要がある。しかしながら、流路を洗浄する方式では流路内に残存する液体を完全に除去することは困難であるとともに洗浄作業に多大な時間を要する。そのため、例えば、流路内が滅菌等されて完全に清潔な状態の流路が必要とされる医療分野等において、流路を洗浄して液体を変更する方式は作業の迅速性と安全性の観点で十分ではない。

【0005】

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、流路を流通させる流体を変更する作業の迅速性と安全性を高めつつ、流体の圧力を正常に検出可能な状態であることを確実に検知することができる圧力検出装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、上記の課題を解決するため、下記の手段を採用した。
本発明の一態様にかかる圧力検出装置は、圧力検出面に伝達される圧力を検出する圧力検出ユニットと、流入口から流出口へ向けた流通方向に沿って流体を流通させる流路と該流路を流通する流体の圧力を前記圧力検出面に伝達するための圧力伝達面とが形成された流路ユニットと、前記流路ユニットを前記圧力検出ユニットに着脱可能に取り付ける取付機構とを備え、前記圧力検出ユニットは、前記圧力検出面と前記圧力伝達面とが接触した状態で前記流路ユニットが取り付けられたことを検知する検知部を有する。

【0007】

本発明の一態様にかかる圧力検出装置によれば、流路ユニットが圧力検出ユニットに着脱可能に取り付けられるため、流路を流通させる流体を変更する場合には、使用済みの流路ユニットを圧力検出ユニットから取り外し、未使用の流路ユニットを新たに圧力検出ユニットに取り付けることができる。
そのため、流路を流通させる流体を変更する場合に、多大な時間を要する流路の洗浄作業が不要となり作業の迅速性を高めることができる。また、未使用の流路ユニットを新たに使用できるため、安全性を高めることができる。

【0008】

また、本発明の一態様にかかる圧力検出装置によれば、検知部により圧力検出面と圧力伝達面とが接触した状態で流路ユニットが取り付けられたことを検知することができる。そのため、圧力検出面と圧力伝達面とが接触しない状態で流路ユニットが圧力検出ユニットに取り付けられ、それにより流体の圧力を正常に検出することができなくなる不具合を防止することができる。
このように、本発明の一態様にかかる圧力検出装置によれば、流路を流通させる流体を変更する作業の迅速性と安全性を高めつつ、流体の圧力を正常に検出可能な状態であることを確実に検知することができる。

【0009】

本発明の一態様にかかる圧力検出装置において、前記圧力検出ユニットは、前記流路ユニットを前記圧力検出ユニットに取り付ける際に、前記流路の前記流入口側の一部と前記流出口側の一部とを所定の取付位置に案内する溝部を有する一対の案内部を備え、前記検知部は、前記一対の案内部の少なくともいずれか一方に配置されており、前記所定の取付位置に案内された前記流路を検知することにより前記流路ユニットが取り付けられたことを検知する構成であってもよい。

【0010】

本構成の圧力検出装置によれば、流路ユニットを圧力検出ユニットに取り付ける際に、流路の流入口側の一部と流出口側の一部が一対の案内部により所定の取付位置に案内される。そのため、流路ユニットを所定の取付位置に確実に取り付けることができる。また、検知部は、所定の取付位置に案内された流路を検知することにより、流路ユニットが圧力検出ユニットに正常に取り付けられたことを確実に検知することができる。

【0011】

本発明の一態様にかかる圧力検出装置において、前記圧力検出ユニットは、所定指示に応じて前記圧力検出面で検出される圧力を基準値に設定する設定部を有し、該設定部は、前記流路ユニットが取り付けられたことを前記検知部が検知している場合に前記所定指示に応じて前記基準値を設定する構成であってもよい。

【0012】

本構成の圧力検出装置によれば、流路ユニットが取り付けられたことを検知部が検知している場合に基準値が設定される。そのため、流路ユニットが取り付けられたことを検知部が検知していない場合に、不正確な圧力が誤って基準値として設定される不具合を防止することができる。

【0013】

本発明の一態様にかかる圧力検出装置において、前記圧力検出ユニットは、前記圧力検出面に直交する第１軸線に沿った第１軸線方向に延びる第１位置決め部を有し、前記流路ユニットは、前記圧力伝達面に直交する第２軸線に沿った第２軸線方向に延びる第２位置決め部を有し、前記取付機構は、前記第１軸線と前記第２軸線とが一致し、かつ前記第１位置決め部の前記第１軸線回りの位置と前記第２位置決め部の前記第２軸線回りの位置とが一致する場合に、前記流路ユニットを前記圧力検出ユニットに取り付ける構成であってもよい。

【0014】

本構成の圧力検出装置によれば、取付機構は、第１軸線と第２軸線とが一致し、かつ圧力検出ユニットが有する第１位置決め部の第１軸線回りの位置と流路ユニットが有する第２位置決め部の第２軸線回りの位置とが一致する場合に、流路ユニットを圧力検出ユニットに取り付ける。そのため、圧力検出ユニットが第１軸線回りに配置される方向に対して、流路ユニットが第２軸線回りに配置される方向が予め定められた方向となる。
このようにすることで、流路ユニットに形成される流路の流入口および流出口の位置が圧力検出ユニットに対して予め定められた位置となり、流入口に接続される配管と流出口に接続される配管との接続性が向上する。

【0015】

本発明の一態様にかかる圧力検出装置において、前記圧力検出ユニットは、前記圧力検出面が頂部に配置されるとともに前記第１位置決め部が外周面に形成された突部を有し、前記流路ユニットは、前記圧力伝達面が底部に配置されるとともに前記第２位置決め部が内周面に形成された凹部を有し、前記取付機構は、前記圧力検出ユニットの前記突部が前記流路ユニットの前記凹部に挿入された状態で、前記流路ユニットを前記圧力検出ユニットに取り付ける構成としてもよい。
このようにすることで、流路ユニットの凹部の底部に圧力伝達面が配置されるため、流路ユニットを交換する場合に作業者が誤って圧力伝達面に触れる不具合や圧力伝達面が他の部材に接触して損傷する不具合を抑制することができる。

【0016】

上記構成の圧力検出装置において、前記第１位置決め部は、前記突部の前記外周面に形成される複数の突起であり、前記第２位置決め部は、前記凹部の前記内周面に形成される複数の溝であり、前記取付機構は、前記第１軸線と前記第２軸線とが一致し、かつ前記複数の突起の前記第１軸線回りの各位置と、前記複数の溝の前記第２軸線回りの各位置とがそれぞれ一致する場合に、前記流路ユニットを前記圧力検出ユニットに取り付けるようにしてもよい。

【0017】

このようにすることで、圧力検出ユニットの突部の外周面に形成される複数の突起の第１軸線回りの各位置と、流路ユニットの凹部の内周面に形成される複数の溝の第２軸線回りの各位置とが一致しない場合には、その流路ユニットが圧力検出ユニットに取り付けられることが防止される。そのため、流路ユニットの流路が所望の取付位置と一致しない状態で圧力検出ユニットに取り付けられる不具合を抑制することができる。

【0018】

本発明の一態様にかかる圧力検出装置において、前記取付機構は、前記流路ユニットに前記第２軸線回りに回転可能に取り付けられるとともに内周面に雌ねじが形成されたナットであり、前記突部よりも外周側の前記圧力検出ユニットの外周面に雄ねじが形成されており、前記ナットに形成された前記雌ねじを前記雄ねじに締結することにより、前記圧力伝達面が前記圧力検出面に接触する構成であってもよい。

【0019】

このようにすることで、圧力検出ユニットの圧力検出面と流路ユニットの圧力伝達面とは、作業者が流路ユニットに取り付けられたナットを第２軸線回りに回転させることによって徐々に近接していき、最終的に圧力検出面と圧力伝達面とが接触した状態となる。取付機構を第２軸線回りに回転させるという比較的簡易な作業により、圧力検出面と圧力伝達面との間隔を徐々に狭めてから確実に面同士を接触させることができる。そのため、圧力検出面と圧力伝達面とを強く接触させてこれらの面を損傷させる不具合を引き起こすことなく、比較的容易に圧力検出面と圧力伝達面とが接触した状態とすることができる。

【0020】

上記構成の圧力検出装置において、前記雌ねじの前記第１軸線方向の先端と前記雄ねじの前記第２軸線方向の先端とは、前記第１位置決め部の前記第１軸線方向の一部と前記第２位置決め部の前記第２軸線方向の一部とが係合した状態で接触する構成であってもよい。
このようにすることで、圧力検出ユニットが第１軸線回りに配置される方向に対して流路ユニットが第２軸線回りに配置される方向が予め定められた方向に位置決めされた状態となった後に、ナットを第１軸線回りに回転させて流路ユニットを圧力検出ユニットに取り付けることができる。そのため、ナットが流路ユニットに締結されるのと同時あるいはその後に第１位置決め部と第２位置決め部の係合が開始される場合に比べ、圧力検出ユニットに対する流路ユニットの取り付けを容易に行うことができる。

【発明の効果】

【0021】

本発明によれば、流路を流通させる流体を変更する作業の迅速性と安全性を高めつつ、流体の圧力を正常に検出可能な状態であることを確実に検知することができる圧力検出装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】第１実施形態の圧力検出装置を示す正面図である。

【図2】図１に示す圧力検出装置から流路ユニットを取り外した状態を示す図である。

【図3】図１に示す圧力検出装置から流路ユニットを取り外した状態を示すI-I矢視断面図である。

【図4】図１に示す圧力検出装置のI-I矢視図である。

【図5】図１に示す流路ユニットの背面図である。

【図6】図１に示す流路ユニットの底面図である。

【図7】図１に示す圧力検出装置に流路ユニットを取り付け中の状態を示すII-II矢視断面図である。

【図8】図１に示す圧力検出装置に流路ユニットを取り付けた状態を示すII-II矢視断面図である。

【図9】第１実施形態の圧力検出装置のセンサ基板が実行する処理を示すフローチャートである。

【図10】第２実施形態の圧力検出装置に流路ユニットが正しく取り付けられた状態を示す縦断面図である。

【図11】第２実施形態の圧力検出装置に流路ユニットが誤って取り付けられた状態を示す縦断面図である。

【図12】第２実施形態の変形例の圧力検出装置に流路ユニットが正しく取り付けられた状態を示す縦断面図である。

【図13】第３実施形態の圧力検出装置に流路ユニットが正しく取り付けられた状態を示す縦断面図である。

【図14】第４実施形態の圧力検出装置に流路ユニットが誤って取り付けられた状態を示す縦断面図である。

【図15】第５実施形態の圧力検出装置を示す縦断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0023】

〔第１実施形態〕
以下、本発明の第１実施形態の圧力検出装置１００を図面に基づいて説明する。
図１および図２に示すように、本実施形態の圧力検出装置１００は、設置面Ｓ（図３参照）に締結ボルト（図示略）で取り付けられた圧力検出ユニット１０と、流入口２１ａから流出口２１ｂへ向けた直線状の流通方向に沿って流体を流通させる流路２１が内部に形成された流路ユニット２０と、流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０に着脱可能に取り付けるナット（取付機構）３０とを備える。

【0024】

本実施形態の圧力検出装置１００において、流路ユニット２０は、ナット３０によって圧力検出ユニット１０に取り付けられる。圧力検出装置１００は、流路ユニット２０がナット３０によって圧力検出ユニット１０に取り付けられて一体化した状態で、設置面Ｓに取り付けられている。

【0025】

図３および図４に示すように、流路ユニット２０の流入口２１ａには流体を流入口２１ａへ流入させる流入側配管（図示略）が取り付けられ、流路ユニット２０の流出口２１ｂには流出口２１ｂから流出する流体を流通させる流出側配管（図示略）が取り付けられる。流入口２１ａから流出口２１ｂへ向けた流路２１を流通する流体の圧力は、圧力検出ユニット１０によって検出される。
ここで、流体とは、例えば、血液や透析液等の液体である。

【0026】

図３に示すように、圧力検出ユニット１０は、設置面Ｓに取り付けられる本体部１３を備える。図２および図３に示すように、圧力検出ユニット１０の本体部１３には、内部に配置される圧力センサ１２と外部の制御装置（図示略）とを電気的に接続するケーブル１９が、ケーブル取付ナット１９ａを介して取り付けられている。

【0027】

次に、図１から図３を参照して圧力検出ユニット１０について詳細に説明する。図１から図３に示す圧力検出ユニット１０は、ダイヤフラム１２ａに伝達される圧力を検出する装置である。
図１から図３に示すように、圧力検出ユニット１０は、本体部１３と、本体部１３の内部に配置される圧力センサ１２と、圧力センサ１２を本体部１３に保持するセンサ保持部１４と、圧力センサ１２とケーブル１９との間で電源および電気信号を伝達するためのセンサ基板（設定部）１５と、圧力センサ１２のゼロ点調整を行うためのゼロ点調整スイッチ１６と、流路ユニット２０が取り付けられたことを検知する取付検知センサ（検知部）１７と、流路ユニット２０の流路２１を所定の取付位置に案内する一対のガイド部材（案内部）１８と、を備える。

【0028】

図３に示すように、圧力センサ１２は、耐腐食性のある材料（例えば、サファイア）により薄膜状に形成されるダイヤフラム（圧力検出面）１２ａと、ダイヤフラム１２ａに貼り付けられる歪抵抗（図示略）と、ダイヤフラム１２ａを保持するベース部１２ｂとを備える。
圧力センサ１２は、伝達される圧力に応じてダイヤフラム１２ａとともに変形する歪抵抗の変化に応じた圧力信号を出力する歪式のセンサである。ベース部１２ｂにはダイヤフラム１２ａと連通する貫通穴（図示略）が形成されており、ダイヤフラム１２ａの一方の面が大気圧に維持される。そのため、圧力センサ１２は、大気圧を基準にしたゲージ圧を検出するセンサとなっている。

【0029】

センサ保持部１４は、軸線（第１軸線）Ｙ１回りに円筒状に形成される部材であり、外周面に位置決め突起（第１位置決め部）１１ａ，１１ｂが形成されている。センサ保持部１４は、上端の内径が圧力センサ１２の外径よりも小さいため、圧力センサ１２が上方へ抜けないように保持することができる。

【0030】

センサ基板１５は、圧力センサ１２が出力する圧力信号を増幅する増幅回路（図示略）と、増幅回路により増幅された圧力信号をケーブル１９の圧力信号線（図示略）に伝達するインターフェース回路と、ケーブル１９を介して外部から供給される電源電圧を圧力センサ１２へ伝達する電源回路（図示略）と、ゼロ点調整スイッチ１６が押下された場合にゼロ点調整を行うゼロ点調整回路（図示略）等を備える。
ゼロ点調整回路は、ゼロ点調整スイッチ１６が押下された場合に、その時点で圧力センサ１２が出力する圧力信号を基準値（例えば、ゼロ）として設定するように調整する回路である。

【0031】

図３に示すように、圧力検出ユニット１０の圧力センサ１２およびセンサ保持部１４は、本体部１３から軸線Ｙ１に沿って上方に突出し、ダイヤフラム１２ａが頂部に配置される突部１１を形成する。突部１１の外周面には、軸線Ｙ１に沿った軸線方向に延びる位置決め突起１１ａ，１１ｂが形成されている。
図２および図３に示すように、ダイヤフラム１２ａは軸線Ｙ１に直交する面上に配置されている。そのため、位置決め突起１１ａ，１１ｂは、ダイヤフラム１２ａに直交する軸線Ｙ１に沿った軸線方向に延びるように突部１１の外周面に形成される。

【0032】

図２は、図１に示す圧力検出装置１００から流路ユニット２０を取り外した状態を示す図である。図２に示すように、突部１１の外周面に形成される位置決め突起１１ａ，１１ｂは、軸線Ｙ１回りに１８０°の間隔を空けて２箇所に形成されている。図２に示すように、圧力検出ユニット１０に流路ユニット２０が取り付けられていない状態においては、圧力センサ１２のダイヤフラム１２ａが外部へ露出した状態となっている。

【0033】

取付検知センサ１７は、流路ユニット２０が圧力検出ユニット１０に取り付けられたことを検知するセンサである。図２および図３に示すように、取付検知センサ１７の上端には、鉛直上方に向けてバネ等の付勢部材（図示略）により付勢された検知用突起１７ａが設けられている。取付検知センサ１７は、検知用突起１７ａを除くその他の部分が、後述するガイド部材１８に収容された状態で配置される。

【0034】

ガイド部材１８は、流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０に取り付ける際に、流路２１を所定の取付位置に案内する溝部１８ａを有する部材である。ガイド部材１８は、軸線Ｙ１に対して対象となる位置に一対で設けられている。一対のガイド部材１８は、流路２１の流入口２１ａ側の一部と流出口２１ｂ側の一部とを、所定の取付位置にそれぞれ案内する。所定の取付位置とは、図４に示すように、流路２１の外周面がガイド部材１８の溝部１８ａに囲まれ、かつ流路２１の下端が取付検知センサ１７の検知用突起１７ａを下方へ押し付けた状態となる位置をいう。

【0035】

次に、図３、図５−図８を参照して流路ユニット２０について詳細に説明する。
図５から図８に示すように、流路ユニット２０は、流入口２１ａから流出口２１ｂへ向けて軸線Ｘに沿って延びる流通方向に流体を流通させる流路２１と、ダイヤフラム（圧力伝達面）２２ａが底部に配置されるとともに位置決め溝（第２位置決め部）２２ｂ，２２ｃが内周面に形成された凹部２２とを備える。
図５，図７，図８に示すように、ダイヤフラム２２ａは軸線（第２軸線）Ｙ２に直交する水平面上に配置されている。そのため、位置決め溝２２ｂ，２２ｃは、ダイヤフラム２２ａに直交する軸線Ｙ２に沿った軸線方向に延びるように凹部２２の内周面に形成される。

【0036】

ダイヤフラム２２ａは、耐腐食性のある材料（例えば、シリコン樹脂材料）により薄膜状に形成される部材である。ダイヤフラム２２ａは軸線Ｙ２を中心軸とした平面視円形に形成される部材であり、その外周縁部が凹部２２の底部に接着あるいは溶着により取り付けられている。そのため、流路２１へ導入された流体は、流路２１から外部へ流体が流出することがない。ダイヤフラム２２ａは、薄膜状に形成されているため、流路２１に導入された流体の圧力によって変形する。

【0037】

図７に示す流路ユニット２０の取り付け中の状態においては、流路ユニット２０のダイヤフラム２２ａが圧力検出ユニット１０のダイヤフラム１２ａから離間した状態となる。一方、図８に示すように流路ユニット２０が圧力検出ユニット１０に取り付けられた状態においては、流路ユニット２０のダイヤフラム２２ａが圧力検出ユニット１０のダイヤフラム１２ａに接触した状態となる。そのため、ダイヤフラム２２ａは、流路２１を流通する流体の圧力をダイヤフラム１２ａに伝達するための圧力伝達面となっている。

【0038】

図５は、図１に示す流路ユニット２０の背面図である。図５に示すように、凹部２２の内周面に形成される位置決め溝２２ｂ，２２ｃは、軸線Ｙ２回りに１８０°の間隔を空けて２箇所に形成されている。図５に示すように、流路ユニット２０は、圧力検出ユニット１０に取り付けられていない状態においては、ダイヤフラム２２ａが外部へ露出した状態となっている。ただし、ダイヤフラム２２ａは凹部２２の底部に配置されるため、作業者がダイヤフラム２２ａを触ってしまう危険が少ない。

【0039】

図３に示すように、流路ユニット２０の凹部２２の外周面には、軸線Ｙ２回りに延びる無端状の環状溝部２２ｄが形成されている。一方、ナット３０の内周面には、軸線Ｙ２回りに延びる無端状の環状突起部３０ｂが形成されている。
弾性変形可能な材料（例えば、樹脂材料）により形成されるナット３０は、凹部２２の外周面に形成された環状溝部２２ｄに向けて押し込まれることにより、環状突起部３０ｂが環状溝部２２ｄに係合した状態となる。

【0040】

図３に示すように環状突起部３０ｂが環状溝部２２ｄに係合した状態において、環状突起部３０ｂの外周面と環状溝部２２ｄの内周面との間には、微小な隙間が設けられる。そのため、ナット３０は、圧力検出ユニット１０に取り付けられた状態で、突部１１に対して軸線Ｙ１回りに相対的に回転可能となっている。これにより、作業者は、圧力検出ユニット１０を設置面Ｓに固定した状態で、ナット３０を軸線Ｙ１回りに回転させることが可能である。

【0041】

図３に示すように、ナット３０は、軸線Ｙ２回りに延びる雌ねじ３０ａが内周面に形成された円環状の部材である。ナット３０は、雌ねじ３０ａを流路ユニット２０の突部１１の外周面に形成される雄ねじ１１ｃに締結し、あるいはその締結を解除することにより、流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０に着脱可能に取り付ける機構である。

【0042】

次に、流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０へ取り付ける作業について説明する。
作業者は、設置面Ｓに取り付けられた圧力検出ユニット１０に流路ユニット２０を取り付ける場合、以下のような手順で作業する。
第１に、図３に示すように、圧力検出ユニット１０の中心軸である軸線Ｙ１と流路ユニット２０の中心軸である軸線Ｙ２とを一致させ、かつ位置決め突起１１ａ，１１ｂの軸線Ｙ１回りの位置と位置決め溝２２ｂ，２２ｃの軸線Ｙ２回りの位置とが一致するように流路ユニット２０を配置する。

【0043】

図７は、流路ユニット２０の凹部２２へ圧力検出ユニット１０の突部１１を挿入した状態を示している。図７に示すように、この時点では、突部１１の頂部に配置されるダイヤフラム１２ａと凹部２２に底部に配置されるダイヤフラム２２ａとは、接触せずに間隔を空けて配置された状態となっている。
図７に示す状態は、ナット３０の内周面に形成される雌ねじ３０ａの先端と圧力検出ユニット１０の外周面に形成される雄ねじ１１ｃの先端とが接触した状態である。

【0044】

このように、雌ねじ３０ａの軸線Ｙ２方向の先端と雄ねじ１１ｃの軸線Ｙ１方向の先端とは、位置決め突起１１ａ，１１ｂの軸線Ｙ１方向の一部の領域と位置決め溝２２ｂ，２２ｃの軸線Ｙ２方向の一部の領域とが係合した状態で接触する。
そのため、流路ユニット２０に形成される流路２１の流入口２１ａおよび流出口２１ｂの位置が圧力検出ユニット１０に対して予め定められた位置となった状態で雌ねじ３０ａと雄ねじ１１ｃの締結が開始される。

【0045】

また、図７に示す状態では、雌ねじ３０ａと雄ねじ１１ｃが接触しているため、流路ユニット２０を把持した作業者が、流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０に近付ける方向に力を加えても、流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０に更に近付けることはできない。

【0046】

図７に示すように、この時点では、突部１１の頂部に配置されるダイヤフラム１２ａと凹部２２に底部に配置されるダイヤフラム２２ａとは、接触せずに間隔を空けて配置された状態となっている。
このように、本実施形態の圧力検出装置１００は、流路ユニット２０を把持した作業者が、流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０に近付ける方向に力を加えても、ダイヤフラム１２ａとダイヤフラム２２ａが接触してしまうことはない。そのため、作業者の不注意によってダイヤフラム１２ａとダイヤフラム２２ａが接触し、これらが損傷してしまう不具合を避けることができる。

【0047】

次に、作業者は、図７に示す状態で流路ユニット２０を把持しながら、ナット３０を軸線Ｙ１回りに締結方向（図１，図２に「ＬＯＣＫ」で示す方向）に回転させることにより、ナット３０の雌ねじ３０ａと圧力検出ユニット１０の雄ねじ１１ｃを締結する。ナット３０の雌ねじ３０ａと圧力検出ユニット１０の雄ねじ１１ｃとを締結することにより、ダイヤフラム２２ａがダイヤフラム１２ａに徐々に近付いて最終的にダイヤフラム１２ａに接触し、図８に示す状態となる。

【0048】

図７および８に示す状態では、位置決め突起１１ａ，１１ｂと位置決め溝２２ｂ，２２ｃとが係合した状態となる。そのため、ナット３０を軸線Ｙ１回りに回転させても、流路ユニット２０は軸線Ｙ２回りに回転することなく軸線Ｙ２回りの位置が維持される。このようにして、ダイヤフラム１２ａとダイヤフラム２２ａとを不用意に接触させることなく、かつ流路ユニット２０を軸線Ｙ２回りに回転させることなく、流路ユニット２０が圧力検出ユニット１０に取り付けられる。

【0049】

なお、以上においては、未使用の流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０に取り付ける手順を説明した。使用済みの流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０から取り外す手順は、以上で説明した手順の逆となる。
作業者は、図８に示す状態で流路ユニット２０を把持しながら、ナット３０を軸線Ｙ１回りに締結解除方向（図１，図２に「ＦＲＥＥ」で示す方向）に回転させることにより、ナット３０の雌ねじ３０ａと圧力検出ユニット１０の雄ねじ１１ｃとの締結を解除する。

【0050】

次に、流路ユニット２０が圧力検出ユニット１０に取り付けられたことを検知する動作について図９を参照して説明する。
図９は、第１実施形態の圧力検出装置１００のセンサ基板１５が実行する処理を示すフローチャートである。センサ基板１５は、ＣＰＵ（図示略）が記憶部（図示略）に記憶された制御プログラムを読み出して実行することにより、図９の各ステップに示す処理を実行する。

【0051】

ステップＳ９０１で、センサ基板１５は、圧力検出ユニット１０に流路ユニット２０が取り付けられたかどうかを判断し、ＹＥＳであればステップＳ９０２へ処理を進め、ＮＯであれば再びステップＳ９０１を実行する。センサ基板１５は、取付検知センサ１７から流路ユニット２０が圧力検出ユニット１０に取り付けられたことを示す取付検知信号が入力された場合に、ステップＳ９０１でＹＥＳと判断する。

【0052】

ここで、図５および図６に示すように、流路ユニット２０の流路２１の下端には、軸線Ｙ２に対して対象となる２箇所に平坦面２１ｃ，２１ｄが形成されている。平坦面２１ｃ，２１ｄは、取付検知センサ１７の検知用突起１７ａを確実に押下するために設けたものである。取付検知センサ１７は、平坦面２１ｃまたは平坦面２１ｄより検知用突起１７ａが予め定められた位置まで押し下げられた場合に、センサ基板１５へ取付検知信号を出力する。

【0053】

また、取付検知センサ１７がセンサ基板１５へ取付検知信号を出力する場合、図８に示すように、圧力検出ユニット１０のダイヤフラム１２ａと流路ユニット２０のダイヤフラム２２ａとが接触した状態となっている。すなわち、取付検知センサ１７は、圧力検出ユニット１０のダイヤフラム１２ａと流路ユニット２０のダイヤフラム２２ａとが接触した状態で、圧力検出ユニット１０に流路ユニット２０が取り付けられたことを示す取付検知信号をセンサ基板１５へ出力する。

【0054】

また、図４に示すように、取付検知センサ１７がセンサ基板１５へ取付検知信号を出力する場合、流路２１は、ガイド部材１８の溝部１８ａに囲まれ、かつ流路２１の下端が検知用突起１７ａを下方へ押し下げた所定の取付位置に案内されている。すなわち、取付検知センサ１７は、所定の取付位置に案内された流路２１を検知することにより流路ユニット２０が圧力検出ユニット１０に取り付けられたことを検知する。

【0055】

ステップＳ９０２で、センサ基板１５は、作業者がゼロ点調整スイッチ１６を押したかどうかを判断し、ＹＥＳであればステップＳ９０３へ処理を進め、ＮＯであれば再びステップＳ９０２を実行する。

【0056】

ステップＳ９０３で、センサ基板１５は、作業者からゼロ点調整の指示（所定指示）が入力されたため、ゼロ点調整回路（図示略）によるゼロ点調整を実行する。ゼロ点調整回路は、ゼロ点調整スイッチ１６が押された時点で圧力センサ１２が出力する圧力信号を基準値（例えば、ゼロ）として設定する。

【0057】

ステップＳ９０４で、センサ基板１５は、ゼロ点調整が成功したかどうかを判断し、ＹＥＳであればステップＳ９０５へ処理を進め、ＮＯであればステップＳ９０１を再び実行する。
ここで、センサ基板１５は、ゼロ点調整の実行中に圧力センサ１２が出力する圧力信号の上限値と下限値の差分が定格圧力値の１％未満である場合にＹＥＳと判断し、その差分が定格出力値の１％以上である場合にＮＯと判断する。なお、ここでは、定格圧力値の１％を基準としたが他の任意の値を基準としてもよい。

【0058】

ステップＳ９０５で、センサ基板１５は、ゼロ点調整が成功したため、ステップＳ９０３で設定した圧力信号を基準値として流路２１を流通する流体の圧力を計測する。具体的には、センサ基板１５は、圧力センサ１２から入力される圧力検出信号をステップＳ９０３で設定した基準値で補正し、外部の制御装置（図示略）へ出力する。

【0059】

ステップＳ９０５で、センサ基板１５は、圧力検出ユニット１０から流路ユニット２０が取り外されたかどうかを判断し、ＹＥＳであれば本フローチャートの処理を終了し、ＮＯであれば再びステップＳ９０５を実行する。センサ基板１５は、取付検知センサ１７から流路ユニット２０が圧力検出ユニット１０に取り付けられたことを示す取付検知信号が入力されない場合に、ステップＳ９０６でＹＥＳと判断する。

【0060】

以上のように、本実施形態のセンサ基板１５は、圧力検出ユニット１０のダイヤフラム１２ａと流路ユニット２０のダイヤフラム２２ａとが接触した状態となり、取付検知センサ１７から取付検知信号が入力される場合に、ゼロ点調整を実行する。すなわち、取付検知センサ１７から取付検知信号が入力されない場合には、ゼロ点調整を実行しない。そのため、本実施形態の圧力検出装置１００は、流路ユニット２０が正常に圧力検出ユニット１０に取り付けられていない場合にゼロ点調整を実行してしまうことがない。

【0061】

図９に示すフローチャートにおいて、センサ基板１５は、ステップＳ９０２で作業者がゼロ点調整スイッチ１６を押したと判断した場合に、ステップＳ９０３でゼロ点調整を実行するものとしたが他の態様であってもよい。例えば、センサ基板１５は、ステップＳ９０１でＹＥＳと判断した場合に、ステップＳ９０２を実行することなくステップＳ９０３でゼロ点調整を実行してもよい。この場合、センサ基板１５は、ゼロ点調整スイッチ１６を押した場合と同様の指示をゼロ点調整回路へ行ってゼロ点調整を実行する。このようにすることで、圧力検出ユニット１０に流路ユニット２０が取り付けられたことに応じて自動的にゼロ点調整を実行することができる。

【0062】

以上説明した本実施形態の圧力検出装置１００が奏する作用および効果について説明する。
本実施形態の圧力検出装置１００によれば、流路ユニット２０が圧力検出ユニット１０に着脱可能に取り付けられるため、流路２１を流通させる流体を変更する場合には、使用済みの流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０から取り外し、未使用の流路ユニット２０を新たに圧力検出ユニット１０に取り付けることができる。
そのため、流路２１を流通させる流体を変更する場合に、多大な時間を要する流路２１の洗浄作業が不要となり作業の迅速性を高めることができる。また、未使用の流路ユニット２０を新たに使用できるため、安全性を高めることができる。

【0063】

また、本実施形態の圧力検出装置１００によれば、取付検知センサ１７によりダイヤフラム１２ａとダイヤフラム２２ａとが接触した状態で流路ユニット２０が取り付けられたことを検知することができる。そのため、ダイヤフラム１２ａとダイヤフラム２２ａとが接触しない状態で流路ユニット２０が圧力検出ユニット１０に取り付けられ、それにより流体の圧力を正常に検出することができなくなる不具合を防止することができる。
このように、本実施形態の圧力検出装置１００によれば、流路２１を流通させる流体を変更する作業の迅速性と安全性を高めつつ、流体の圧力を正常に検出可能な状態であることを確実に検知することができる。

【0064】

また、本実施形態の圧力検出装置１００によれば、流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０に取り付ける際に、流路２１の流入口２１ａ側の一部と流出口２１ｂ側の一部が一対のガイド部材１８により所定の取付位置に案内される。そのため、流路ユニット２０を所定の取付位置に確実に取り付けることができる。また、取付検知センサ１７は、所定の取付位置に案内された流路２１を検知することにより、流路ユニット２０が圧力検出ユニットに正常に取り付けられたことを確実に検知することができる。

【0065】

また、本実施形態の圧力検出装置１００によれば、流路ユニット２０が取り付けられたことを取付検知センサ１７が検知している場合にゼロ点調整回路により基準値が設定される。そのため、流路ユニット２０が取り付けられたことを取付検知センサ１７が検知していない場合に、不正確な圧力が誤って基準値として設定される不具合を防止することができる。

【0066】

また、本実施形態の圧力検出装置１００によれば、ナット３０は、軸線Ｙ１と軸線Ｙ２とが一致し、かつ圧力検出ユニット１０が有する位置決め突起１１ａ，１１ｂの軸線Ｙ１回りの位置と流路ユニット２０が有する位置決め溝２２ｂ，２２ｃの軸線Ｙ２回りの位置とが一致する場合に、流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０に取り付ける。そのため、圧力検出ユニット１０が軸線Ｙ１回りに配置される方向に対して、流路ユニット２０が軸線Ｙ２回りに配置される方向が予め定められた方向となる。
このようにすることで、流路ユニット２０に形成される流路２１の流入口２１ａおよび流出口２１ｂの位置が圧力検出ユニット１０に対して予め定められた位置となり、流入口２１ａに接続される配管と流出口２１ｂに接続される配管との接続性が向上する。

【0067】

また、本実施形態の圧力検出装置１００によれば、ナット３０は、圧力検出ユニット１０の突部１１が流路ユニット２０の凹部２２に挿入された状態で、流路ユニット２０を圧力検出ユニット１０に取り付ける。
このようにすることで、流路ユニット２０の凹部２２の底部にダイヤフラム２２ａが配置されるため、流路ユニット２０を交換する場合に作業者が誤ってダイヤフラム２２ａに触れる不具合やダイヤフラム２２ａが他の部材に接触して損傷する不具合を抑制することができる。

【0068】

また、本実施形態の圧力検出装置１００によれば、圧力検出ユニット１０のダイヤフラム１２ａと流路ユニット２０のダイヤフラム２２ａとは、作業者が流路ユニット２０に取り付けられたナット３０を軸線Ｙ２回りに回転させることによって徐々に近接していき、最終的にダイヤフラム１２ａとダイヤフラム２２ａとが接触した状態となる。ナット３０を軸線Ｙ２回りに回転させるという比較的簡易な作業により、ダイヤフラム１２ａとダイヤフラム２２ａとの間隔を徐々に狭めてから確実に面同士を接触させることができる。そのため、ダイヤフラム１２ａとダイヤフラム２２ａとを強く接触させてこれらの面を損傷させる不具合を引き起こすことなく、比較的容易にダイヤフラム１２ａとダイヤフラム２２ａとが接触した状態とすることができる。

【0069】

〔第２実施形態〕
次に、本発明の第２実施形態の圧力検出装置１００Ａについて、図面を参照して説明する。
第２実施形態は第１実施形態の変形例であり、以下で特に説明する場合を除き、第１実施形態と同様であるものとする。
第２実施形態の圧力検出装置１００Ａは、流路ユニット２０Ａの流入口２１ａと流出口２１ｂの取付方向が誤っている場合に、流路ユニット２０Ａが取り付けられたとの取付検知信号を出力しない点で第１実施形態と異なる。

【0070】

第１実施形態の圧力検出装置１００において、流路ユニット２０は、圧力検出ユニット１０に対する流路ユニット２０の取付方向が軸線Ｙ２に対して正反対（１８０°異なる方向）であっても、流路ユニット２０Ａが取り付けられたとの取付検知信号を出力するものであった。この場合、流入口２１ａに接続すべき配管を流出口２１ｂに取り付けてしまう不具合や、流出口２１ｂに接続すべき配管を流入口２１ａに取り付けてしまう不具合が発生する可能性がある。それに対して、第２実施形態の圧力検出装置１００Ａは、流路ユニット２０Ａの流路２１の下端に凹所２１ｅを設けているため、圧力検出ユニット１０に対する流路ユニット２０の取付方向が軸線Ｙ２に対して正反対（１８０°異なる方向）の場合には取付検知信号を出力しない。

【0071】

図１０は、本実施形態の圧力検出装置１００Ａに流路ユニット２０Ａが正しく取り付けられた状態を示す縦断面図である。一方、図１１は、本実施形態の圧力検出装置１００Ａに流路ユニット２０Ａが誤って取り付けられた状態を示す縦断面図である。
図１０に示すように、流路ユニット２０Ａが正しく取り付けられた状態では、流路２１の下端により取付検知センサ１７の検知用突起１７ａが押し下げられ、流路ユニット２０Ａの取付検知信号が出力される。一方、図１１に示すように、流路ユニット２０Ａが誤って取り付けられた状態では、流路２１の下端に形成された凹所２１ｅに検知用突起１７ａの先端が挿入されるため、流路ユニット２０Ａの取付検知信号が出力されない。

【0072】

このように本実施形態の圧力検出装置１００Ａによれば、流路ユニット２０Ａが誤って取り付けられた状態では流路ユニット２０Ａの取付検知信号が出力されない。そのため、流路ユニット２０Ａが誤って取り付けられた状態でゼロ点調整を実行してしまい、不正確な圧力が誤って基準値として設定される不具合を防止することができる。

【0073】

なお、以上の説明において、圧力検出装置１００Ａは、単一の取付検知センサ１７を有する圧力検出ユニット１０を備えるものであったが、他の態様であってもよい。例えば、図１２の変形例に示すように、一対の取付検知センサ１７を有する圧力検出ユニット１０Ａを備える圧力検出装置１００Ｂであってもよい。図１２に示す変形例の圧力検出装置１００Ｂのセンサ基板１５は、流入口２１ａに隣接した取付検知センサ１７の検知用突起１７ａが押下され、流出口２１ｂに隣接した取付検知センサ１７の検知用突起１７ａが押下されない場合に、流路ユニット２０Ａが正常に取り付けられたと判断する。一方、図１２に示す変形例の圧力検出装置１００Ｂのセンサ基板１５は、流入口２１ａに隣接した取付検知センサ１７の検知用突起１７ａが押下されず、流出口２１ｂに隣接した取付検知センサ１７の検知用突起１７ａが押下される場合に、流路ユニット２０Ａが正常に取り付けられていないと判断する。

【0074】

〔第３実施形態〕
次に、本発明の第３実施形態の圧力検出装置１００Ｃについて、図面を参照して説明する。
第３実施形態は第１実施形態の変形例であり、以下で特に説明する場合を除き、第１実施形態と同様であるものとする。
本実施形態の圧力検出装置１００Ｃは、流路ユニット２０の下端に一対の突起２１ｆが形成されている点が第１実施形態の圧力検出装置１００と異なる。また、本実施形態の圧力検出装置１００Ｃは、圧力検出ユニット１０Ｂの取付検知センサ１７の検知用突起１７ａが本体部１３に収容されている点が第１実施形態の圧力検出装置１００と異なる。

【0075】

図１３に示すように、本実施形態の圧力検出装置１００Ｃは、流路ユニット２０Ｂが正しく取り付けられた状態で、突起２１ｆが本体部１３に挿入されて検知用突起１７ａを押下する構造となっている。また、検知用突起１７ａは、流路ユニット２０Ｂが取り付けられない状態ではバネ等の付勢部材により上方へ付勢されるが、先端が本体部１３から外部へ露出しないようになっている。そのため、検知用突起１７ａが他の部材等と接触して取付検知センサ１７が損傷する不具合が防止される。

【0076】

〔第４実施形態〕
次に、本発明の第４実施形態の圧力検出装置１００Ｄについて、図面を参照して説明する。
第４実施形態は第１実施形態の変形例であり、以下で特に説明する場合を除き、第１実施形態と同様であるものとする。
第１実施形態の圧力検出装置１００は、単一の取付検知センサ１７を有する圧力検出ユニット１０を備えるものであった。それに対して本実施形態の圧力検出装置１００Ｄは、一対の取付検知センサ１７を有する圧力検出ユニット１０Ｃを備える圧力検出装置１００Ｄである。

【0077】

図１４に示すように、本実施形態の圧力検出装置１００Ｄは、一対の取付検知センサ１７を有する圧力検出ユニット１０Ｃを備える。本実施形態の圧力検出ユニット１０Ｃのセンサ基板１５は、流入口２１ａに隣接した取付検知センサ１７の検知用突起１７ａが押下され、流出口２１ｂに隣接した取付検知センサ１７の検知用突起１７ａが押下される場合に、流路ユニット２０Ａが正常に取り付けられたと判断する。図１４においては、流路ユニット２０が誤って取り付けられており、流入口２１ａに隣接した取付検知センサ１７の検知用突起１７ａが押下されていない。そのため、本実施形態のセンサ基板１５は、流路ユニット２０が正常に取り付けられていないと判断する。

【0078】

〔第５実施形態〕
次に、本発明の第５実施形態の圧力検出装置１００Ｅについて、図面を参照して説明する。
第４実施形態は第１実施形態の変形例であり、以下で特に説明する場合を除き、第１実施形態と同様であるものとする。

【0079】

第１実施形態の圧力検出装置１００は、流路２１の下端が取付検知センサ１７の検知用突起１７ａを下方へ押し付けた状態となる場合に、流路ユニット２０が取り付けられたと検知するものであった。それに対して、本実施形態の圧力検出装置１００Ｅは、ナット３０の下端が取付検知センサ１７の検知用突起１７ａを下方へ押し付けた状態となる場合に、流路ユニット２０が取り付けられたと検知するものである。

【0080】

図１５に示すように、本実施形態の圧力検出装置１００Ｅは、ナット３０の雌ねじ３０ａを圧力検出ユニット１０Ｅの雄ねじ１１ｃを締結することにより、ナット３０の下端が検知用突起１７ａを下方へ押し下げる。
本実施形態によれば、ナット３０の雌ねじ３０ａと圧力検出ユニット１０Ｅの雄ねじ１１ｃが確実に締結された状態で流路ユニット２０が取り付けられたと検知することができる。

【0081】

〔他の実施形態〕
以上の説明においては、圧力検出ユニット１０の突部１１の外周面に位置決め突起１１ａ，１１ｂを形成し、流路ユニット２０の凹部２２の内周面に位置決め溝２２ｂ，２２ｃを形成するものとしたが、他の態様であってもよい。
例えば、圧力検出ユニット１０の突部１１の外周面に位置決め溝を形成し、流路ユニット２０の凹部２２の内周面に位置決め突起を形成してもよい。つまり、以上の説明における位置決め溝に変えて位置決め突起を形成し、位置決め突起に変えて位置決め溝を形成するようにしてもよい。

【0082】

以上の説明において、取付検知センサ１７は、検知用突起１７ａが下方へ押し下げられた場合に取付検出信号を出力するセンサであったが、他の態様であってもよい。
例えば、発光素子と受光素子を対向して配置し、発光素子と受光素子との間を物体が遮る場合に取付検出信号を出力する透過型フォトセンサであってもよい。この場合、流路ユニット２０の流路２１の下端には、圧力検出ユニット１０に正常に取り付けられた場合に発光素子と受光素子との間を遮る遮蔽物（図示略）が設けられるものとする。

【符号の説明】

【0083】

１０，１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｅ 圧力検出ユニット
１１ 凸部
１１ａ，１１ｂ 位置決め突起（第１位置決め部）
１１ｃ 雄ねじ
１２ 圧力センサ
１２ａ ダイヤフラム（圧力検出面）
１２ｂ ベース部
１３ 本体部
１４ センサ保持部
１５ センサ基板（設定部）
１６ ゼロ点調整スイッチ
１７ 取付検知センサ（検知部）
１７ａ 検知用突起
１８ ガイド部材（案内部）
１８ａ 溝部
２０，２０Ａ，２０Ｂ 流路ユニット
２１ 流路
２１ａ 流入口
２１ｂ 流出口
２１ｃ，２１ｄ 平坦面
２１ｅ 凹所
２１ｆ 突起
２２ 凹部
２２ａ ダイヤフラム（圧力伝達面）
２２ｂ，２２ｃ 位置決め溝（第２位置決め部）
２２ｄ 環状溝部
３０ ナット（取付機構）
３０ａ 雌ねじ
３０ｂ 環状突起部
１００，１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ，１００Ｄ，１００Ｅ 圧力検出装置
Ｓ 設置面
Ｘ 軸線
Ｙ１ 軸線（第１軸線）
Ｙ２ 軸線（第２軸線）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】