特許 6860249 電子部品の処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】6860249

(24)【登録日】2021年3月30日

(45)【発行日】2021年4月14日

(54)【発明の名称】電子部品の処理装置

(51)【国際特許分類】

   B65G 47/80 20060101AFI20210405BHJP

   B65G 47/86 20060101ALI20210405BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20210405BHJP

【ＦＩ】

   B65G47/80 C

   B65G47/86 G

   H01L21/68 A

【請求項の数】2

【全頁数】26

(21)【出願番号】特願2020-93116(P2020-93116)

(22)【出願日】2020年5月28日

【審査請求日】2020年5月28日

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】591048070

【氏名又は名称】上野精機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100145012

【弁理士】

【氏名又は名称】石坂 泰紀

(74)【代理人】

【識別番号】100171099

【弁理士】

【氏名又は名称】松尾 茂樹

(72)【発明者】

【氏名】▲高▼松 肇一

【審査官】 中田 誠二郎

(56)【参考文献】

【文献】 特許第６５１６１３２（ＪＰ，Ｂ１）

【文献】 特開２００３−０７５５０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−２６７７９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−３０６６１７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｇ ４７／８０，４７／８４−４７／８６

Ｈ０５Ｋ １３／００−１３／０８

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の電子部品をそれぞれ保持する複数の第１保持部と、
第１位置及び第２位置を通る第１円軌道に沿って並ぶように前記複数の第１保持部を支持する第１支持部と、
前記第１円軌道の中心軸線まわりに前記第１支持部を回転させる第１回転駆動部と、
複数の第２保持部であって、それぞれが前記第１位置において前記複数の第１保持部のいずれか１つの第１保持部から前記複数の電子部品のいずれか１つの電子部品を受け取って、前記第２位置において前記複数の第１保持部のいずれか１つの第１保持部に前記第１位置で受け取った前記１つの電子部品を引き渡す、前記複数の第２保持部と、
前記第１位置及び前記第２位置を通る第２円軌道に沿って並ぶように前記複数の第２保持部を支持する第２支持部と、
前記第２円軌道の中心軸線まわりに前記第２支持部を回転させる第２回転駆動部と、
前記複数の第２保持部のうちの、前記第１位置で受け取った前記１つの電子部品を保持した第２保持部の前記第２支持部に対する姿勢を調節する姿勢調節部とを備え、
前記姿勢調節部は、前記第２支持部を支持するベース部に設けられ、駆動力を発生させる第１駆動部と、前記ベース部に設けられ、前記第１駆動部による駆動力とは別の駆動力を発生させる第２駆動部とを有し、
前記第２回転駆動部は、前記ベース部に対して前記第２支持部を回転させ、
前記複数の第２保持部は、前記第１駆動部による駆動力によって姿勢が調節される第１グループの第２保持部と、前記第２駆動部による駆動力によって姿勢が調節される第２グループの第２保持部とを有し、
前記姿勢調節部は、
前記第２支持部の回転に伴う前記第１グループの第２保持部の変位を許容しつつ、前記第１グループの第２保持部の姿勢を変更するように前記第１駆動部による駆動力を前記第１グループの第２保持部に伝達する第１伝達部と、
前記第２支持部の回転に伴う前記第２グループの第２保持部の変位を許容しつつ、前記第２グループの第２保持部の姿勢を変更するように前記第２駆動部による駆動力を前記第２グループの第２保持部に伝達する第２伝達部とを更に有する、電子部品の処理装置。

【請求項2】

前記複数の第２保持部は、前記第１グループの第２保持部が前記第１位置に配置される際に前記第２グループの第２保持部が前記第２位置に配置され、前記第２グループの第２保持部が前記第１位置に配置される際に前記第１グループの第２保持部が前記第２位置に配置されるように、前記第２円軌道に沿って並んでいる、請求項１記載の電子部品の処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、電子部品の処理装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、電子部品を保持しながら回転と停止を１サイクルとして繰り返して間欠的に回転搬送するターンテーブルと、ターンテーブルの外周に設けられた工程処理機構と、ターンテーブルから電子部品を受取り工程処理機構に搬送し、工程処理機構からターンテーブルに電子部品を戻す衛星テーブルとを備える電子部品の処理装置が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００６−３０６６１７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

本開示は、電子部品の姿勢調節と効率的な搬送との両立に有用な電子部品の処理装置を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示の一側面に係る電子部品の処理装置は、複数の電子部品をそれぞれ保持する複数の第１保持部と、第１位置及び第２位置を通る第１円軌道に沿って並ぶように複数の第１保持部を支持する第１支持部と、第１円軌道の中心軸線まわりに第１支持部を回転させる第１回転駆動部と、第１位置において複数の第１保持部のいずれか１つから複数の電子部品のうちの一の電子部品を受け取って、第２位置において複数の第１保持部のうちのいずれか１つに上記一の電子部品を引き渡す第２保持部と、第１位置及び第２位置を通る第２円軌道上に位置するように第２保持部を支持する第２支持部と、第２円軌道の中心軸線まわりに第２支持部を回転させる第２回転駆動部と、第２支持部に対する第２保持部の姿勢を調節する姿勢調節部とを備える。

【発明の効果】

【0006】

本開示によれば、電子部品の姿勢調節と効率的な搬送との両立に有用な電子部品の処理を装置が提供される。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】図１は、第１実施形態に係る電子部品の処理装置の一例を模式的に示す平面図である。

【図2】図２は、処理装置の一例を模式的に示す側面図である。

【図3】図３は、一対の吸着部の一例を示す模式図である。

【図4】図４は、第２回転搬送部の一例を模式的に示す側面図である。

【図5】図５は、コントローラの機能上の構成の一例を示すブロック図である。

【図6】図６は、コントローラのハードウェア上の構成の一例を示すブロック図である。

【図7】図７は、電子部品の姿勢調節手順の一例を示すフローチャートである。

【図8】図８は、変形例に係る電子部品の処理装置の一例を模式的に示す平面図である。

【図9】図９は、電子部品の姿勢調節手順の一例を示すフローチャートである。

【図10】図１０は、変形例に係る電子部品の処理装置の一例を模式的に示す平面図である。

【図11】図１１は、位置調節を行う第３回転搬送部の一例を模式的に示す側面図である。

【図12】図１２は、第２実施形態に係る電子部品の処理装置の一例を模式的に示す側面図である。

【図13】図１３は、第２回転搬送部の一例を説明するための模式図である。

【図14】図１４は、第２回転搬送部の一例を説明するための模式図である。

【図15】図１５は、電子部品の姿勢調節手順の一例を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、図面を参照して実施形態について説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。

【0009】

［第１実施形態］
最初に図１〜図７を参照して、第１実施形態に係る電子部品の処理装置について説明する。図１に示される電子部品の処理装置１は、所謂ダイソータであり、ダイシングなどの前工程で形成された電子部品Ｗを搬送しながら、外観検査、電気特性検査、及びマーキング等の処理を施した上でテープ、コンテナチューブ、及びトレイ等に梱包する装置である。

【0010】

図１及び図２に示されるように、処理装置１は、第１回転搬送部１０と、第２回転搬送部４０と、コントローラ１００とを備える。第１回転搬送部１０は、複数の電子部品Ｗを第１円軌道ＣＲ１に沿って移動させる。第１円軌道ＣＲ１は、例えば、鉛直な中心軸線Ａｘ１まわりの水平な円軌道である。搬送対象の電子部品Ｗは、互いに平行な二か所の主面Ｗａ及び主面Ｗｂと、主面Ｗａ及び主面Ｗｂを接続する外周面Ｗｃとを有する。第１回転搬送部１０は、ターンテーブル１２（第１支持部）と、複数の第１保持部１４と、第１回転駆動部１６と、複数の昇降駆動部１８とを有する。ターンテーブル１２は、中心軸線Ａｘ１まわりに回転可能となるように設けられている。ターンテーブル１２は、第１円軌道ＣＲ１に沿って並ぶように複数の第１保持部１４を支持する。

【0011】

複数の第１保持部１４は、中心軸線Ａｘ１を中心とする円周に沿って等間隔に並んでおり、ターンテーブル１２に固定されている。複数の第１保持部１４は、複数の電子部品をそれぞれ保持する。第１保持部１４はいかなる方式で電子部品Ｗを保持してもよい。電子部品Ｗを保持する方式の具体例としては、真空吸着、静電気式の吸着、及び把持等が挙げられる。例えば第１保持部１４は、ターンテーブル１２に垂直な方向（中心軸線Ａｘ１に平行な方向）の一方側から電子部品Ｗの主面Ｗａ，Ｗｂのいずれかを真空吸着する。

【0012】

例えば第１保持部１４は、図２に示されるように、第１吸着部２２と、ホルダ２４と、スプリング２６とを有する。第１吸着部２２は、電子部品Ｗの主面Ｗａを上方から吸着する。図３に示されるように、第１吸着部２２の内部には、電子部品Ｗに吸引力を加えるための内部空間Ｖ１が形成されている。第１吸着部２２は、例えば、筒状に形成されており、第１吸着部２２の内部空間Ｖ１は、第１吸着部２２の下端部において開口している。

【0013】

第１回転搬送部１０は、電子部品Ｗを吸着するための吸引力を発生させる吸引部３２を更に有する。吸引部３２は、吸引路３４と、バルブ３６とを含んでいる。吸引路３４は、内部空間Ｖ１と吸引ポンプ（例えば、真空ポンプ）とを接続する。バルブ３６は、吸引路３４に設けられている。バルブ３６は、制御信号の入力に応じて吸引路３４内の開閉状態を切り替える。バルブ３６が開状態に切り替わることで、第１吸着部２２による真空吸着がオンとなり、バルブ３６が閉状態に切り替わることで、第１吸着部２２の内部空間Ｖ１が大気開放され、第１吸着部２２による真空吸着がオフとなる（吸着が解除される）。バルブ３６の具体例としては、電磁バルブ等が挙げられる。第１回転搬送部１０は、第１吸着部２２による吸着を解除する際に、内部空間Ｖ１から電子部品Ｗに向けてエアを吹き出すエア供給部を更に有してもよい。

【0014】

図２に示されるように、第１吸着部２２は、ターンテーブル１２と垂直な方向に延びるように配置されている。ホルダ２４は、ターンテーブル１２の外周部に固定され、第１吸着部２２を昇降可能に保持する。スプリング２６は、その弾力により、第１吸着部２２の下降に抗する。スプリング２６は、第１吸着部２２の上端部に下向きの外力が付与された場合には第１吸着部２２の下降に応じて弾性変形し、下向きの外力がなくなると弾性復帰して第１吸着部２２を下降前の高さに押し戻す。

【0015】

図１に戻り、第１回転駆動部１６は、中心軸線Ａｘ１まわりにターンテーブル１２を回転させる。例えば第１回転駆動部１６は、電動モータ等の動力源によって、ギヤを介さないダイレクトドライブによって中心軸線Ａｘ１まわりにターンテーブル１２を回転させる。これにより、中心軸線Ａｘ１を中心とする第１円軌道ＣＲ１に沿って複数の第１保持部１４が移動する。第１回転駆動部１６は、隣り合う第１保持部１４同士の角度ピッチ（以下、「第１角度ピッチ」という。）にて、ターンテーブル１２の回転と停止とを繰り返すように制御される。以下、第１回転駆動部１６がターンテーブル１２を停止させる際に複数の第１保持部１４がそれぞれ配置される複数の位置を「複数の停止位置ＳＰ１」という。

【0016】

複数の昇降駆動部１８は、複数の第１保持部１４の第１吸着部２２を個別に昇降させる。なお、図１では昇降駆動部１８の図示が省略され、図２には、複数の昇降駆動部１８のうちの１つの昇降駆動部１８が示されている。複数の昇降駆動部１８は、複数の停止位置ＳＰ１の上方にそれぞれ設けられている。なお、複数の停止位置ＳＰ１のうちのいくつかの位置の上方において、昇降駆動部１８が設けられていなくてもよい。昇降駆動部１８は、その下方に第１保持部１４が位置する状態にて、例えば電動モータ又はエアシリンダによって第１吸着部２２の上端部に下向きの力を付与する。これにより、第１吸着部２２が下降する。第１吸着部２２の上端部に下向きの力を付与した状態を昇降駆動部１８が解除すると、スプリング２６の弾力によって第１吸着部２２が上昇する。

【0017】

第２回転搬送部４０は、第１回転搬送部１０から電子部品Ｗを受け取って第２円軌道ＣＲ２に沿って移動させ、第１回転搬送部１０に当該電子部品Ｗを引き渡す。この場合、第１回転搬送部１０と第２回転搬送部４０との間で２回の電子部品Ｗの受け渡しが行われる。第２円軌道ＣＲ２は、例えば、鉛直な中心軸線Ａｘ２まわりの水平な円軌道である。第２円軌道ＣＲ２の一部（例えば、略半分）は、第１円軌道ＣＲ１の外に位置している。第２円軌道ＣＲ２の直径は、第１円軌道ＣＲ１の直径より小さくてもよい。第２回転搬送部４０は、衛星テーブル４２（第２支持部）と、複数の第２保持部４４と、第２回転駆動部４６とを有する。衛星テーブル４２は、中心軸線Ａｘ２まわりに回転可能となるように設けられている。衛星テーブル４２は、第２円軌道ＣＲ２上に位置するように複数の第２保持部４４を支持する。

【0018】

複数の第２保持部４４は、中心軸線Ａｘ２を中心とする円周に沿って等間隔に配置されており、衛星テーブル４２に固定されている。第２回転搬送部４０が有する第２保持部４４の数は、第１回転搬送部１０が有する第１保持部１４の数より少なくてもよい。第２回転搬送部４０は、偶数個（例えば、６個）の第２保持部４４を有してもよい。複数の第２保持部４４のそれぞれは、複数の第１保持部１４のいずれか１つから電子部品Ｗを受け取って保持する。第２保持部４４は、いかなる方式で電子部品Ｗを保持してもよい。電子部品Ｗを保持する方式の具体例としては、真空吸着、静電気式の吸着、及び把持等が挙げられる。例えば第２保持部４４は、衛星テーブル４２（ターンテーブル１２）に垂直な方向の一方側から主面Ｗａ，Ｗｂの何れかを真空吸着する。第２保持部４４は、電子部品Ｗのうち、第１保持部１４が保持する部分とは異なる部分を保持する。例えば第２保持部４４は、電子部品Ｗのうち、電子部品Ｗが保持する面（例えば主面Ｗａ）の反対の面（例えば主面Ｗｂ）を真空吸着する。

【0019】

例えば第２保持部４４は、図３に示されるように、第２吸着部５２を含む。第２吸着部５２は、衛星テーブル４２から上方に突出するように衛星テーブル４２に取り付けられていてもよい。第２吸着部５２は、電子部品Ｗの主面Ｗｂを下方から吸着する。第２保持部４４の第２吸着部５２は、電子部品Ｗの受け渡しが行われる際に、受け渡し対象の電子部品Ｗを挟んで第１吸着部２２に対向する。第２吸着部５２の内部には、電子部品Ｗに吸引力を加えるための内部空間Ｖ２が形成されている。第２吸着部５２は、例えば、筒状に形成されており、第２吸着部５２の内部空間Ｖ２は、第２吸着部５２の上端部において開口している。

【0020】

第２回転搬送部４０は、吸引部６２を更に有する。吸引部６２は、内部空間Ｖ２に吸引力を発生させる。吸引部６２は、吸引路６４と、バルブ６６とを含んでいる。吸引路６４は、内部空間Ｖ２と吸引ポンプ（例えば、真空ポンプ）とを接続する。バルブ６６は、吸引路６４に設けられている。バルブ６６は、制御信号の入力に応じて吸引路６４の開閉状態を切り替える。バルブ６６が開状態に切り替わることで、第２吸着部５２による真空吸着がオンとなり、バルブ６６が閉状態に切り替わることで、第２吸着部５２の内部空間Ｖ２が大気開放され、第２吸着部５２による真空吸着がオフとなる（吸着が解除される）。バルブ６６の具体例としては、電磁バルブ等が挙げられる。

【0021】

図１に戻り、第２回転駆動部４６は、中心軸線Ａｘ２まわりに衛星テーブル４２を回転させる。第２回転駆動部４６は、例えば電動モータによって中心軸線Ａｘ２まわりに衛星テーブル４２を回転させる。これにより、中心軸線Ａｘ２を中心とする第２円軌道ＣＲ２に沿って複数の第２保持部４４が移動する。第２回転駆動部４６は、隣り合う第２保持部４４同士の角度ピッチ（以下、「第２角度ピッチ」という。）にて、衛星テーブル４２の回転と停止とを繰り返すように制御される。以下、第２回転駆動部４６が衛星テーブル４２を停止させる際に複数の第２保持部４４がそれぞれ配置される複数の位置を「複数の停止位置ＳＰ２」という。

【0022】

第２回転搬送部４０は、いずれか二箇所の停止位置ＳＰ２が、いずれか二箇所の停止位置ＳＰ１の鉛直下方にそれぞれ位置するように構成されている。例えば、第２回転搬送部４０は、第１円軌道ＣＲ１の外側の第２円軌道ＣＲ２上において第２角度ピッチの３ピッチ分離れた二箇所の停止位置ＳＰ２が、隣り合う二箇所の停止位置ＳＰ１の鉛直下方にそれぞれ位置するように構成されている。以下、これらの二箇所の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２を「受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２」という。二箇所の受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２のうち、第１保持部１４（第１吸着部２２）から第２保持部４４（第２吸着部５２）に電子部品Ｗが引き渡される位置を「引渡し位置」といい、第２保持部４４（第２吸着部５２）から第１保持部１４（第１吸着部２２）に電子部品Ｗが引き渡される位置（第１保持部１４が電子部品Ｗを受け取る位置）を「受取り位置」という。

【0023】

より具体的に、衛星テーブル４２はターンテーブル１２よりも下に設けられている。鉛直上方から見て、第２円軌道ＣＲ２は、隣り合う二箇所の停止位置ＳＰ１（二箇所の受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２）において第１円軌道ＣＲ１に交差している。図１に示される例では、二箇所の受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２は、中心軸線Ａｘ１まわりの第１角度ピッチの１ピッチ分離間しており、第２円軌道ＣＲ２のうちの第１円軌道ＣＲ１よりも外側に位置する軌道上において中心軸線Ａｘ２まわりの第２角度ピッチの３ピッチ分離間している。

【0024】

受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２においては、第１保持部１４の下端部（第１吸着部２２の下端部）と第２保持部４４の上端部（第２吸着部５２の上端部）とが対向する。第１吸着部２２と第２吸着部５２とが対向する方向において、例えば昇降駆動部１８が、第１保持部１４の第１吸着部２２を変位させることによって、第１吸着部２２の下端部を第２吸着部５２の上端部に近接させることが可能である。複数の第２保持部４４のうちの一の第２保持部４４は、引渡し位置（第１位置）において複数の第１保持部１４のいずれか１つから電子部品Ｗを受け取って、受取り位置（第２位置）において複数の第１保持部１４のいずれか１つにその電子部品Ｗを引き渡す。引渡し位置において上記一の第２保持部４４に電子部品Ｗを引き渡す第１保持部１４と、受取り位置において上記一の第２保持部４４から電子部品Ｗを受け取る第１保持部１４とが、異なる第１保持部１４であってもよく、同じ第１保持部１４であってもよい。

【0025】

図４に示されるように、第２回転搬送部４０は、姿勢調節部４７を更に有してもよい。姿勢調節部４７は、衛星テーブル４２に対する複数の第２保持部４４それぞれの姿勢を調節する。例えば姿勢調節部４７は、衛星テーブル４２に対する複数の第２保持部４４の姿勢を個別に調節する。姿勢調節部４７は、複数の回転駆動部４８（駆動部）を有してもよい。

【0026】

複数の回転駆動部４８は、複数の第２保持部４４にそれぞれ対応して設けられ、複数の第２保持部４４の姿勢（より詳細には、衛星テーブル４２における姿勢）を個別に調節する。回転駆動部４８は、対応する第２保持部４４の第２吸着部５２における吸着面（例えば上端面）に垂直な中心軸線Ａｘ３まわりに第２保持部４４（第２吸着部５２）の傾き角度を調節してもよい。回転駆動部４８は、中心軸線Ａｘ３が上記吸着面の中心を通るように構成されていてもよい。中心軸線Ａｘ３まわりの第２吸着部５２の傾き角度が調節されることで、衛星テーブル４２に対する第２保持部４４（第２吸着部５２）の姿勢が調節される。

【0027】

回転駆動部４８は、例えば電動モータ等の動力源によって中心軸線Ａｘ３まわりに第２吸着部５２を回転させる回転アクチュエータである。複数の回転駆動部４８は、衛星テーブル４２に設けられている（固定されている）。例えば、各回転駆動部４８に含まれるモータ本体部と出力軸とのうちのモータ本体部が、衛星テーブル４２に固定されている。

【0028】

図１に戻り、処理装置１は、複数の処理部７０を更に備えてもよい。複数の処理部７０は、少なくとも供給部７２と、回収部７４と、中間処理部７６とを含む。供給部７２は、ダイシングテープ又はパーツフィーダ等から電子部品Ｗを取り出して、当該電子部品Ｗをいずれか一つの停止位置ＳＰ１に供給する。以下、供給部７２が電子部品Ｗを供給する停止位置ＳＰ１を「供給用の停止位置ＳＰ１」という。供給用の停止位置ＳＰ１においては、供給部７２により供給された電子部品Ｗを第１保持部１４が保持する（第１吸着部２２が吸着する）。

【0029】

回収部７４は、いずれか一つの停止位置ＳＰ１において第１保持部１４から電子部品Ｗを回収し、テープ又はコンテナチューブ等に梱包する。以下、回収部７４が電子部品Ｗを回収する停止位置ＳＰ１を「回収用の停止位置ＳＰ１」という。この構成において、ターンテーブル１２は、供給用の停止位置ＳＰ１から回収用の停止位置ＳＰ１にいたる搬送経路ＤＲに沿って電子部品Ｗを搬送することとなる。本開示においては、搬送経路ＤＲにおける供給用の停止位置ＳＰ１側を「上流側」といい、搬送経路ＤＲにおける回収用の停止位置ＳＰ１側を「下流側」という。上述した二箇所の受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２（引渡し位置及び受渡し位置）は、搬送経路ＤＲにおいて供給用の停止位置ＳＰ１と回収用の停止位置ＳＰ１との間に位置している。第１保持部１４が第２保持部４４に電子部品Ｗを引き渡す引渡し位置は、第１保持部１４が第２保持部４４から電子部品Ｗを受け取る受取り位置よりも上流側に位置する。

【0030】

中間処理部７６は、供給用、回収用、及び受け渡し用の停止位置ＳＰ１以外のいずれかの停止位置ＳＰ１において、第１保持部１４が保持する電子部品Ｗに所定の処理を施す。処理の具体例としては、電気特性検査、外観検査及びマーキング（例えばレーザマーキング）等が挙げられる。処理装置１は、複数の中間処理部７６を備えてもよい。複数の中間処理部７６は、上流側の中間処理部７６と、下流側の中間処理部７６とを含んでいてもよい。上流側の中間処理部７６は、二箇所の受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２よりも上流側の停止位置ＳＰ１において電子部品Ｗに処理を施す。下流側の中間処理部７６は、二箇所の受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２よりも下流側の停止位置ＳＰ１において電子部品Ｗに処理を施す。

【0031】

上流側の中間処理部７６は、姿勢検出部７８を含んでいてもよい。姿勢検出部７８は、例えばカメラを含んでおり、画像情報等に基づいて、電子部品Ｗの姿勢を検出する。姿勢検出部７８は、第１保持部１４による電子部品Ｗの理想上の保持位置に対する電子部品Ｗの傾き（第１保持部１４に対する電子部品Ｗの傾き）を検出してもよい。一例として、姿勢検出部７８は、第１保持部１４に保持された（第１吸着部２２に吸着された）状態の電子部品Ｗの主面Ｗｂを、下方から撮像することにより、電子部品Ｗの傾きを検出する。図１に示される例では、姿勢検出部７８は、上流側の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２よりも第１角度ピッチの１ピッチ分だけ上流に位置する停止位置ＳＰ１に配置されている。

【0032】

コントローラ１００は、予め設定された制御手順で第１回転搬送部１０、第２回転搬送部４０、及び処理部７０を制御する。図５に示されるように、コントローラ１００は、機能上の構成（以下、「機能モジュール」という。）として、第１搬送制御部１０２と、第２搬送制御部１０４と、受渡制御部１０６と、姿勢情報取得部１０８と、姿勢制御部１１２とを有する。これらの各機能モジュールが行う処理は、コントローラ１００が行う処理に相当する。

【0033】

第１搬送制御部１０２は、中心軸線Ａｘ１まわりの第１角度ピッチにて、ターンテーブル１２の回転と停止とを繰り返すように第１回転駆動部１６を制御する。これにより、上述の停止位置ＳＰ１における第１保持部１４の停止と、停止位置ＳＰ１から隣の停止位置ＳＰ１への第１保持部１４の移動とが繰り返される。

【0034】

第２搬送制御部１０４は、中心軸線Ａｘ２まわりの第２角度ピッチにて、衛星テーブル４２の回転と停止とを繰り返すように第２回転駆動部４６を制御する。これにより、上述の停止位置ＳＰ２における第２保持部４４の停止と、停止位置ＳＰ２から隣の停止位置ＳＰ２への第２保持部４４の移動とが繰り返される。第２搬送制御部１０４は、第１回転駆動部１６がターンテーブル１２の回転を停止させている期間に衛星テーブル４２を回転させるように第２回転駆動部４６を制御してもよい。

【0035】

受渡制御部１０６は、二箇所の受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２（引渡し位置及び受取り位置）のそれぞれにおいて、第１保持部１４と第２保持部４４との間で電子部品Ｗの受け渡しが行われるように、第１回転搬送部１０と第２回転搬送部４０とを制御する。

【0036】

受渡制御部１０６は、例えば、引渡し位置において、第２保持部４４が第１保持部１４から電子部品Ｗを受け取るように第１回転搬送部１０と第２回転搬送部４０とを制御する。一例では、受渡制御部１０６は、引渡し位置に配置された第１保持部１４の第１吸着部２２を下降させるように昇降駆動部１８を制御する。そして、受渡制御部１０６は、下降させた第１吸着部２２による主面Ｗａの吸着を解除させ、主面Ｗｂを第２吸着部５２に吸着させるように吸引部３２，６２を制御する（バルブ３６，６６の開閉状態を切り替える）。この際、受渡制御部１０６は、受け渡しを行う下降位置まで第１吸着部２２が到達する前から又は到達した後に、バルブ６６を開状態に切り替えることで第２吸着部５２による吸引を開始させてもよい。その後、受渡制御部１０６は、電子部品Ｗを引き渡した第１吸着部２２を上昇させるように昇降駆動部１８を制御する。

【0037】

受渡制御部１０６は、例えば、受取り位置において、第２保持部４４が第１保持部１４に電子部品Ｗを引き渡すように第１回転搬送部１０と第２回転搬送部４０とを制御する。一例では、受渡制御部１０６は、受取り位置に配置された第１保持部１４の第１吸着部２２を下降させるように昇降駆動部１８を制御する。そして、受渡制御部１０６は、第２保持部４４による主面Ｗｂの吸着を解除させ、主面Ｗａを第１吸着部２２に吸着させるように吸引部３２，６２を制御する（バルブ３６，６６の開閉状態を切り替える）。この際、受渡制御部１０６は、受け渡しを行う下降位置まで第１吸着部２２が到達した後に、バルブ３６を開状態に切り替えることで第１吸着部２２による吸引を開始させてもよい。その後、受渡制御部１０６は、電子部品Ｗを受け取った第１吸着部２２を上昇させるように昇降駆動部１８を制御する。

【0038】

第１吸着部２２及び第２吸着部５２の先端部の位置関係には個体差が生じ得る。各吸着部の先端部における摩耗等の経年劣化により、第１吸着部２２及び第２吸着部５２の先端部同士の位置関係が変化し得る。このため、コントローラ１００は、処理装置１の稼働前又は稼働中において第１吸着部２２と第２吸着部５２との先端部の位置を示す位置情報を取得（記憶）し、第１吸着部２２と第２吸着部５２との組合せごとに第１吸着部２２の下降位置を変更してもよい。

【0039】

受渡制御部１０６は、引渡し位置又は受取り位置において、第１吸着部２２を下降させる際に（下降位置に到達する前に）、第１吸着部２２が予め定められた設定位置まで達した後に、第１吸着部２２を減速させるように昇降駆動部１８を制御してもよい。昇降駆動部１８は、第１吸着部２２と第２吸着部５２との間で電子部品Ｗが受け渡される際に、電子部品Ｗに加わる荷重を調節するための荷重調整部（例えば、ボイスコイルモータ等）を含んでいてもよい。この場合、受渡制御部１０６は、電子部品Ｗが受け渡される際に、当該電子部品Ｗに加わる荷重が予め定められた設定値以下となるように昇降駆動部１８を制御してもよい。

【0040】

受渡制御部１０６は、引渡し位置において、主面Ｗｂと第２吸着部５２との間隔Ｄｃ（図３参照）がゼロとなるまで昇降駆動部１８により第１吸着部２２を下降させた状態で、電子部品Ｗが受け渡されるように吸引部３２，６２を制御してもよい。この場合、第２吸着部５２と主面Ｗｂとの間に隙間が無い状態で電子部品Ｗの受け渡しが行われる。そのため、電子部品Ｗの受け渡しの際に、電子部品Ｗの姿勢がずれる可能性を低下させることができ、また、第２吸着部５２への受け渡しの失敗（例えば電子部品Ｗの落下）の可能性を低下させることができる。受渡制御部１０６は、第２吸着部５２から第１吸着部２２への電子部品Ｗの受け渡し時においても同様に、主面Ｗａと第１吸着部２２との間の隙間をゼロとなるまで昇降駆動部１８により第１吸着部２２を下降させた状態で、電子部品Ｗが受け渡されるように吸引部３２，６２を制御してもよい。

【0041】

受渡制御部１０６は、第１吸着部２２から第２吸着部５２に電子部品Ｗを受け渡す際に、主面Ｗｂと第２吸着部５２との間隔Ｄｃ（図３参照）がゼロよりも大きい設定値となるまで昇降駆動部１８により第１吸着部２２を下降させた状態で、電子部品Ｗが受け渡されるように吸引部３２，６２を制御してもよい。この場合、第２保持部４４と主面Ｗｂとの間に隙間が有る状態で電子部品Ｗの受け渡しが行われる。そのため、電子部品Ｗを両側から挟み込んで電子部品Ｗを破損してしまう可能性を低下させることができる。受渡制御部１０６は、第２吸着部５２から第１吸着部２２への電子部品Ｗの受け渡し時においても同様に、主面Ｗａと第１吸着部２２との間に隙間が設けられる位置まで昇降駆動部１８により第１吸着部２２を下降させた状態で、電子部品Ｗが受け渡されるように吸引部３２，６２を制御してもよい。なお、受け渡しの際に隙間を設けるか否かは、例えば、電子部品Ｗの強度、及び電子部品Ｗの姿勢の要求精度等に応じて定められる。

【0042】

姿勢情報取得部１０８は、第１保持部１４に対する電子部品Ｗの傾きの検出結果を姿勢検出部７８から取得する。姿勢情報取得部１０８は、例えば、第１保持部１４の第１吸着部２２に吸着された状態の電子部品Ｗを下方から撮像した画像情報を姿勢検出部７８に取得させ、当該画像情報に基づいて電子部品Ｗの傾き（第１保持部１４による目標保持姿勢に対する傾き）を検出する。

【0043】

姿勢制御部１１２は、姿勢情報取得部１０８が取得した検出結果に応じて、第２保持部４４の姿勢を調節するように姿勢調節部４７を制御する。姿勢制御部１１２の調節対象は、複数の第２保持部４４のうちの、傾きを検出した電子部品Ｗを引渡し位置で受け取った第２保持部４４である。姿勢制御部１１２は、調節対象の第２保持部４４が受取り位置に配置された後に、又は調節対象の第２保持部４４が引渡し位置から受取り位置に搬送される間に、当該第２保持部４４の姿勢（傾き）を調節するように対応する回転駆動部４８を制御してもよい。

【0044】

一例として、姿勢制御部１１２は、電子部品Ｗの傾きに応じた量だけ、調節対象となる第２保持部４４の第２吸着部５２を中心軸線Ａｘ３まわりに回転させるように回転駆動部４８を制御する。姿勢制御部１１２は、電子部品Ｗが第１保持部１４に戻された際に、第１保持部１４（第１吸着部２２）に対する電子部品Ｗの傾きが縮小するように回転駆動部４８により第２保持部４４（第２吸着部５２）を回転させる。姿勢制御部１１２は、姿勢が調節された第２保持部４４が第１吸着部２２に電子部品Ｗを引き渡した後に、当該第２保持部４４の姿勢を原点復帰させるように回転駆動部４８を制御してもよい。これにより、一の第２保持部４４が、引渡し位置において電子部品Ｗを受け取る度に、同じ姿勢で電子部品Ｗを受け取ることができる。

【0045】

処理装置１においては、二箇所の受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２において電子部品Ｗの受け渡しが行われる。この場合、第１保持部１４に対する電子部品Ｗの傾き（理想上の保持位置に対する電子部品Ｗの傾き）の有無によらず、２回の受け渡しを行うことで第１保持部１４に対する電子部品Ｗの傾きの変化が生じる。そのため、姿勢制御部１１２は、二箇所の受け渡しに伴う電子部品Ｗの傾きの変化を打ち消すように予め定められた回転角度に対して、電子部品Ｗの傾きに応じた回転角度を増減することで得られる回転角度だけ、第２保持部４４を中心軸線Ａｘ３まわりに回転させるように回転駆動部４８を制御してもよい。

【0046】

図６は、コントローラ１００のハードウェア構成を例示するブロック図である。図６に示されるように、コントローラ１００は、回路２００を有する。回路２００は、一つ又は複数のプロセッサ２０２と、メモリ２０４と、ストレージ２０６と、入出力ポート２０８とを含む。ストレージ２０６は、例えば不揮発性の半導体メモリ等、コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体を有する。ストレージ２０６は、予め設定された制御手順で第１回転搬送部１０及び第２回転搬送部４０を制御することをコントローラ１００に実行させるためのプログラムを記憶している。例えばストレージ２０６は、上述した各機能モジュールを構成するためのプログラムを記憶している。

【0047】

メモリ２０４は、ストレージ２０６の記憶媒体からロードしたプログラム及びプロセッサ２０２による演算結果を一時的に記憶する。プロセッサ２０２は、メモリ２０４と協働して上記プログラムを実行することで、コントローラ１００の各機能モジュールを構成する。入出力ポート２０８は、プロセッサ２０２からの指令に従って、第１回転駆動部１６、第２回転駆動部４６、姿勢検出部７８、姿勢調節部４７、昇降駆動部１８、及び吸引部３２，６２等との間で電気信号の入出力を行う。なお、回路２００は、必ずしもプログラムにより各機能を構成するものに限られない。例えば回路２００は、専用の論理回路又はこれを集積したＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）により少なくとも一部の機能を構成してもよい。

【0048】

（姿勢調節手順）
続いて、電子部品の処理方法（コントローラ１００が実行する制御手順）の一例として、電子部品Ｗの姿勢調節手順を説明する。図７は、１つの電子部品Ｗについての姿勢調節手順の一例を示すフローチャートである。

【0049】

コントローラ１００は、調節対象の電子部品Ｗが、姿勢検出部７８が設けられている停止位置ＳＰ１において第１保持部１４の第１吸着部２２に吸着された状態で、ステップＳ１１を実行する。ステップＳ１１では、例えば、姿勢情報取得部１０８が、第１吸着部２２に対する電子部品Ｗの傾きの検出結果を姿勢検出部７８から取得する。姿勢情報取得部１０８は、例えば、姿勢検出部７８が設けられている停止位置ＳＰ１において、第１吸着部２２に吸着された状態の電子部品Ｗを下方から撮像した画像情報を姿勢検出部７８に取得させる。姿勢情報取得部１０８は、当該画像情報に基づいて電子部品Ｗの傾きを検出する。

【0050】

次に、コントローラ１００は、ステップＳ１２を実行する。ステップＳ１２では、例えば、第１搬送制御部１０２が、中心軸線Ａｘ１まわりの第１角度ピッチの１ピッチ分だけターンテーブル１２を回転させ、回転後にターンテーブル１２を停止させるように第１回転駆動部１６を制御する。これにより、姿勢検出部７８が設けられている停止位置ＳＰ１に配置されていた第１保持部１４（第１吸着部２２）が、隣の停止位置ＳＰ１（引渡し位置）に移動する。また、ステップＳ０２では、例えば、上述のターンテーブル１２の回転に合わせて、第２搬送制御部１０４が、中心軸線Ａｘ２まわりの第２角度ピッチの１ピッチ分だけ衛星テーブル４２を回転させて、回転後に衛星テーブル４２を停止させるように第２回転駆動部４６を制御する。

【0051】

次に、コントローラ１００は、ステップＳ１３を実行する。ステップＳ１３では、例えば、受渡制御部１０６が、引渡し位置において、第１保持部１４から第２保持部４４への電子部品Ｗの受け渡しが行われるように、昇降駆動部１８及び吸引部３２，６２を制御する。

【0052】

次に、コントローラ１００は、ステップＳ１４を実行する。ステップＳ１４では、例えば、第２搬送制御部１０４が、受取り位置まで（例えば、第２角度ピッチの３ピッチ分だけ）第２保持部４４を搬送するように第２回転駆動部４６を制御する。この際、第２搬送制御部１０４は、第２角度ピッチの１ピッチごとに、衛星テーブル４２の移動と停止とを繰り返すように第２回転駆動部４６を制御する。また、ステップＳ１４では、第２保持部４４が搬送されている間に、例えば、姿勢制御部１１２が、ステップＳ１１で得られた検出結果に応じて、第２保持部４４の姿勢を調節するように姿勢調節部４７（対応する回転駆動部４８）を制御する。一例では、姿勢制御部１１２は、第１保持部１４に対する電子部品Ｗの傾きを縮小するように、電子部品Ｗの傾きに応じた量だけ、対応する回転駆動部４８により第２保持部４４を中心軸線Ａｘ３まわりに回転させる。

【0053】

次に、コントローラ１００は、ステップＳ１５を実行する。ステップＳ１５では、例えば、受渡制御部１０６が、受取り位置において、第２保持部４４から第１保持部１４への電子部品Ｗの受け渡しが行われるように、昇降駆動部１８及び吸引部３２，６２を制御する。

【0054】

次に、コントローラ１００は、ステップＳ１６を実行する。ステップＳ１６では、例えば、姿勢制御部１１２が、第２保持部４４の姿勢が原点に復帰するように姿勢調節部４７（対応する回転駆動部４８）を制御する。一例では、姿勢制御部１１２は、ステップＳ１４において、第２保持部４４を回転させた方向とは反対方向に同じ回転量だけ、対応する回転駆動部４８により第２保持部４４を中心軸線Ａｘ３まわりに回転させる。このように、姿勢調節後の原点復帰が行われる場合、ステップＳ１３において電子部品Ｗを受け取る際の第２保持部４４の姿勢が一定となる。

【0055】

ステップＳ１１〜Ｓ１６の一連の処理が実行されることで、第１保持部１４（第１吸着部２２）に対する電子部品Ｗの姿勢が調節される。コントローラ１００は、他の電子部品Ｗについても、ステップＳ１１〜Ｓ１６の一連の処理を実行することで、第１保持部１４に対する姿勢を調節してもよい。後続の電子部品ＷについてのステップＳ１１〜Ｓ１６の一連の処理が、一の電子部品ＷについてのステップＳ１１〜Ｓ１６の一連の処理の途中（例えば、ステップＳ１３）から開始されてもよい。上述の姿勢調節部４７では、複数の第２保持部４４に対して個別に回転駆動部４８が設けられているので、受取り位置における第２保持部４４の姿勢調節に伴う当該第２保持部４４の回転動作が、他の第２保持部４４（例えば、引渡し位置に配置されている第２保持部４４）の姿勢に影響を及ぼさない。

【0056】

なお、上述した電子部品Ｗの姿勢調節手順は一例であり、適宜変更可能である。例えば、上述したステップ（処理）の一部が省略されてもよいし、別の順序で各ステップが実行されてもよい。また、上述したステップのうちの任意の２以上のステップが組み合わされてもよいし、ステップの一部が修正または削除されてもよい。あるいは、上記の各ステップに加えて他のステップが実行されてもよい。例えば、コントローラ１００は、ステップＳ１４において、受取り位置まで第２保持部４４を第２回転駆動部４６により回転搬送させた後に、ステップＳ１５の実行前に、第２保持部４４の姿勢を調節するように対応する回転駆動部４８を制御してもよい。コントローラ１００は、ステップＳ１６における第２保持部４４の原点復帰の処理を省略してもよい。

【0057】

（変形例１）
第２回転搬送部４０は、図４に示されるように、複数の昇降駆動部６８を更に有してもよい。複数の昇降駆動部６８は、複数の第２保持部４４にそれぞれ対応して設けられ、複数の第２保持部４４を個別に昇降させる。昇降駆動部６８は、衛星テーブル４２上に設けられてもよく、対応する回転駆動部４８を支持してもよい。昇降駆動部６８は、例えば電動モータ又はエアシリンダによって第２保持部４４（第２吸着部５２）を昇降させる昇降アクチュエータである。受渡制御部１０６は、引渡し位置又は受取り位置において、昇降駆動部１８に代えて、又は昇降駆動部１８に加えて、昇降駆動部６８を制御することにより第１保持部１４と第２保持部４４とを電子部品Ｗの受け渡しのために近接させてもよい。第２回転搬送部４０は、複数の昇降駆動部６８に代えて、衛星テーブル４２を昇降させる昇降駆動部を有してもよい。この昇降駆動部により衛星テーブル４２が昇降することで、複数の第２保持部４４が上下方向に共に移動する。

【0058】

（変形例２）
図８には、変形例２に係る電子部品の処理装置の一例が示されている。図８に示される電子部品の処理装置１Ａは、第１保持部１４ではなく第２保持部４４に保持されているときに電子部品Ｗの姿勢検出を行う。処理装置１Ａは、第２回転搬送部４０に代えて第２回転搬送部４０Ａを備える点において処理装置１と相違する。第２回転搬送部４０Ａは、姿勢検出部８０を更に有する点において第２回転搬送部４０と相違する。なお、処理装置１Ａにおいて、第１回転搬送部１０は、姿勢検出部７８を有していなくてもよい。

【0059】

姿勢検出部８０は、例えばカメラを含んでおり、画像情報等に基づいて、電子部品Ｗの姿勢を検出する。姿勢検出部８０は、例えば、第２保持部４４による電子部品Ｗの理想上の保持位置に対する電子部品Ｗの傾き（第２保持部４４に対する電子部品Ｗの傾き）を検出してもよい。一例では、姿勢検出部８０は、第２保持部４４に保持された（第２吸着部５２に吸着された）状態の電子部品Ｗの主面Ｗａを、上方から撮像することにより、電子部品Ｗの傾きを検出する。第２保持部４４に対する電子部品Ｗの傾きは、第１保持部１４に対する電子部品Ｗの傾きに相関する。そのため、第２保持部４４に対する電子部品Ｗの傾きに基づいて、第２保持部４４の傾きが調節されることで、受取り位置において第１保持部１４に受け渡された後での第１保持部１４に対する電子部品Ｗの傾きが調節される。図８に示される例では、姿勢検出部８０は、引渡し位置よりも第１角度ピッチの１ピッチ分だけ下流に位置する停止位置ＳＰ２に配置されている。

【0060】

図９は、処理装置１Ａにおいて実行される姿勢調節手順（一つの電子部品Ｗについての姿勢調節手順）の一例を示すフローチャートである。この姿勢調節手順では、引渡し位置に配置された第１保持部１４が調節対象の電子部品Ｗを保持している状態で、コントローラ１００が、まずステップＳ３１，Ｓ３２を実行する。ステップＳ３１では、例えば、受渡制御部１０６がステップＳ１３と同様の処理を行い、ステップＳ３２では、例えば、第１搬送制御部１０２及び第２搬送制御部１０４が、ステップＳ１２と同様の処理を行う。

【0061】

次に、コントローラ１００は、ステップＳ３３を実行する。ステップＳ３３では、例えば、姿勢情報取得部１０８が、第２保持部４４に対する電子部品Ｗの傾きの検出結果を姿勢検出部８０から取得する。姿勢情報取得部１０８は、例えば、姿勢検出部８０が設けられている停止位置ＳＰ２において、第２吸着部５２に吸着された状態の電子部品Ｗを上方から撮像した画像情報を姿勢検出部８０に取得させる。姿勢情報取得部１０８は、当該画像情報に基づいて電子部品Ｗの傾きを検出する。

【0062】

次に、コントローラ１００は、ステップＳ３４を実行する。ステップＳ３４では、例えば、第２搬送制御部１０４が、受取り位置まで（例えば、第２角度ピッチの２ピッチ分だけ）第２保持部４４を搬送するように第２回転駆動部４６を制御する。この際、第２搬送制御部１０４は、第２角度ピッチの１ピッチごとに、衛星テーブル４２の移動と停止とを繰り返すように第２回転駆動部４６を制御する。また、ステップＳ３４では、例えば、第２保持部４４が搬送されている間に、姿勢制御部１１２が、ステップＳ３３で得られた検出結果に応じて、第２保持部４４の姿勢を調節するように姿勢調節部４７（対応する回転駆動部４８）を制御する。一例では、姿勢制御部１１２は、第２保持部４４に対する電子部品Ｗの傾きを縮小するように、電子部品Ｗの傾きに応じた量だけ、対応する回転駆動部４８により第２保持部４４を中心軸線Ａｘ３まわりに回転させる。

【0063】

次に、コントローラ１００は、ステップＳ３５，Ｓ３６を実行する。ステップＳ３５では、例えば受渡制御部１０６が、ステップＳ１５と同様の処理を行い、ステップＳ３６では、例えば姿勢制御部１１２が、ステップＳ１６と同様の処理を行う。ステップＳ３１〜Ｓ３６の一連の処理が実行されることで、第１保持部１４（第１吸着部２２）に対する電子部品Ｗの姿勢が調節される。

【0064】

（変形例３）
図１０には、変形例３に係る電子部品の処理装置の一例が示されている。図１０に示される処理装置１Ｂは、第２回転搬送部４０における電子部品Ｗの姿勢調節の前に、電子部品Ｗの位置を調節する。処理装置１Ｂは、第３回転搬送部４０Ｂ及び位置検出部９６を更に備える点において処理装置１と相違する。第３回転搬送部４０Ｂは、一部の要素を除き第２回転搬送部４０と同様に構成されている。

【0065】

第３回転搬送部４０Ｂは、第１回転搬送部１０から電子部品Ｗを受け取って第３円軌道ＣＲ３に沿って移動させ、第１回転搬送部１０に当該電子部品Ｗを引き渡す。第３円軌道ＣＲ３は、例えば、鉛直な中心軸線Ａｘ４まわりの水平な円軌道である。第３円軌道ＣＲ３の一部（例えば、略半分）は、第１円軌道ＣＲ１の外に位置している。第３回転搬送部４０Ｂは、例えば、衛星テーブル４２Ｂと、複数の第２保持部４４Ｂと、第３回転駆動部４６Ｂとを有する。衛星テーブル４２Ｂ、第２保持部４４Ｂ、及び第３回転駆動部４６Ｂは、第２回転搬送部４０の衛星テーブル４２、第２保持部４４、及び第２回転駆動部４６とそれぞれ同様に構成されている。以下、第３回転駆動部４６Ｂが衛星テーブル４２Ｂを停止させる際に複数の第２保持部４４Ｂがそれぞれ配置される複数の位置を「複数の停止位置ＳＰ３」という。第３回転搬送部４０Ｂは、いずれか二箇所の停止位置ＳＰ３が、いずれか二箇所の停止位置ＳＰ１の鉛直下方にそれぞれ位置するように構成されている。以下、これらの二箇所の停止位置ＳＰ１，ＳＰ３を「受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ３」という。

【0066】

第３回転搬送部４０Ｂは、図１１に示されるように、複数の水平駆動部９２と、複数の水平駆動部９４とを有してもよい。複数の水平駆動部９２，９４は、複数の第２保持部４４Ｂにそれぞれ対応するように設けられている。水平駆動部９２，９４（位置調節部）は、対応する第２保持部４４Ｂを支持しており、衛星テーブル４２Ｂに対する当該第２保持部４４Ｂの位置を変更する。水平駆動部９２，９４は、中心軸線Ａｘ４に垂直な面（水平面）において、対応する第２保持部４４Ｂの位置を変更する。水平駆動部９２，９４は、例えば電動式のリニアアクチュエータである。水平駆動部９２は、水平な一ラインに沿って第２保持部４４Ｂを移動させ、水平駆動部９４は、水平駆動部９２による移動ラインに垂直な一ラインに沿って第２保持部４４Ｂを移動させる。

【0067】

位置検出部９６は、例えばカメラを含んでおり、画像情報等に基づいて、電子部品Ｗの位置を検出する。位置検出部９６は、例えば、第１保持部１４による電子部品Ｗの理想上の保持位置に対する電子部品Ｗの位置（第１保持部１４に対する電子部品Ｗの位置）を検出してもよい。一例では、位置検出部９６は、第１保持部１４に保持された（第１吸着部２２に吸着された）状態の電子部品Ｗの主面Ｗｂを、下方から撮像することにより、電子部品Ｗの位置を検出する。

【0068】

処理装置１Ｂにおいて実行される制御手順では、処理装置１において実行される上述の姿勢調節手順（図７に示されるステップＳ１１〜Ｓ１６）の前に、調節対象の電子部品Ｗについての位置調節が行われる。例えば、コントローラ１００は、位置検出部９６が配置されている停止位置ＳＰ１に調節対象の電子部品Ｗが配置された状態で、第１保持部１４に対する当該電子部品Ｗの位置を位置検出部９６に検出させる。次に、コントローラ１００は、上流側の受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ３において電子部品Ｗの第２保持部４４Ｂへの受け渡しが行われた後に、下流側の受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ３に当該電子部品Ｗを搬送するように第３回転駆動部４６Ｂを制御する。

【0069】

コントローラ１００は、下流側の受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ３まで電子部品Ｗが搬送される間に、又は搬送された後に、当該電子部品Ｗについての位置の検出結果に応じた量だけ第２保持部４４Ｂを移動させるように水平駆動部９２，９４を制御する。例えば、コントローラ１００は、第１保持部１４に対する電子部品Ｗの位置の検出結果に応じて、下流側の受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ３において第１保持部１４に電子部品Ｗが戻された後に、第１保持部１４に対する電子部品Ｗの位置が理想上の保持位置に近づくように水平駆動部９２，９４を制御する。以上の変形例３に係る処理装置１Ｂでは、電子部品Ｗの姿勢調節前に位置が調節されることで、より精度良く電子部品Ｗの姿勢調節を行うことができる。

【0070】

なお、処理装置１Ｂの第３回転搬送部４０Ｂは、複数の第２保持部４４Ｂを個別に移動させる複数の水平駆動部９２，９４に代えて、衛星テーブル４２Ｂの位置を変更する２つのリニアアクチュエータを有していてもよい。処理装置は、第３回転搬送部４０Ｂに代えて、姿勢調節を行うための第２回転搬送部４０において、電子部品の位置も調節できるように構成されていてもよい。例えば、第２回転搬送部が、各第２保持部４４に対応する姿勢調節部４７に加えて、各第２保持部４４に対応する水平駆動部９２，９４を有していてもよい。

【0071】

（その他の変形例）
姿勢調節部４７は、複数の第２保持部４４の姿勢を個別に調節する複数の回転駆動部４８に代えて、複数の第２保持部４４のうちの２以上の第２保持部４４（例えば全ての第２保持部４４）の姿勢を調節する駆動部を有してもよい。この駆動部は、例えば２以上の第２保持部４４の姿勢を調節するための駆動力を発生させ、姿勢調節部４７は、その駆動力を当該２以上の第２保持部４４に伝達する伝達部を更に含んでもよい。

【0072】

処理装置１は、第２回転搬送部４０において、第２保持部４４が保持する電子部品Ｗに所定の処理を施す処理部を更に備えてもよい。この処理部は、二箇所の受け渡し用の停止位置ＳＰ２以外のいずれかの停止位置ＳＰ２において、第２保持部４４が保持する電子部品Ｗに処理を施す。処理の具体例としては、電気特性検査、外観検査及びマーキング（例えばレーザマーキング）等が挙げられる。処理装置１は、第２保持部４４が保持する電子部品Ｗに処理を施す複数の処理部を更に備えてもよい。コントローラ１００は、この処理部による処理が施される前に、姿勢調節部４７に第２保持部４４の姿勢を調節させてもよい。

【0073】

（第１実施形態の効果）
以上に説明した第１実施形態に係る処理装置１，１Ａ，１Ｂは、複数の電子部品Ｗをそれぞれ保持する複数の第１保持部１４と、第１位置及び第２位置を通る第１円軌道ＣＲ１に沿って並ぶように複数の第１保持部１４を支持するターンテーブル１２（第１支持部）と、第１円軌道ＣＲ１の中心軸線Ａｘ１まわりにターンテーブル１２を回転させる第１回転駆動部１６と、第１位置において複数の第１保持部１４のいずれか１つから複数の電子部品Ｗのうちの一の電子部品Ｗを受け取って、第２位置において複数の第１保持部１４のうちのいずれか１つに上記一の電子部品Ｗを引き渡す第２保持部４４と、第１位置及び第２位置を通る第２円軌道ＣＲ２上に位置するように第２保持部４４を支持する衛星テーブル４２（第２支持部）と、第２円軌道ＣＲ２の中心軸線Ａｘ２まわりに衛星テーブル４２を回転させる第２回転駆動部４６と、衛星テーブル４２に対する第２保持部４４の姿勢を調節する姿勢調節部４７とを備える。

【0074】

この処理装置１，１Ａ，１Ｂでは、第１位置において第１保持部１４から第２保持部４４に電子部品Ｗが受け渡され、第１位置とは異なる第２位置において第２保持部４４から第１保持部１４に姿勢が調節された状態で電子部品Ｗが戻される。電子部品Ｗの姿勢の調節方法として、例えば、一箇所の受け渡し位置において、第１回転搬送部からアライメントユニットの保持部に電子部品Ｗを受け渡し、アライメントユニットにおいて電子部品Ｗの姿勢を調節したうえでアライメントユニットの保持部から第１回転搬送部に電子部品Ｗを戻す方法が考えられる。しかしながら、この方法では、アライメントユニットに電子部品を引き渡した後、姿勢調節後の電子部品Ｗを受け取るまで第１回転搬送部の回転を停止させる必要がある。これに対して、上記処理装置１，１Ａ，１Ｂでは、二箇所の受け渡し位置それぞれにおいて、略同一のタイミング（周期）にて、姿勢調節前の電子部品Ｗの引き渡しと姿勢調節後の電子部品Ｗの受け取りとを行うことができるので、第１回転搬送部１０の停止時間が短い。従って、電子部品Ｗの姿勢調節と効率的な搬送との両立に有用である。

【0075】

以上の第１実施形態において、姿勢調節部４７は、衛星テーブル４２に設けられ、衛星テーブル４２に対する第２保持部４４の姿勢を変更する回転駆動部４８（駆動部）を有する。この場合、第２回転駆動部４６による衛星テーブル４２の回転に伴って、中心軸線Ａｘ２まわりに回転駆動部４８も変位するので、回転駆動部４８から第２保持部４４までの動力伝達機構を簡素化することができる。

【0076】

［第２実施形態］
続いて、図１２〜図１５を参照して、第２実施形態に係る電子部品の処理装置について説明する。上述の第１実施形態に係る処理装置１，１Ａ，１Ｂにおいては、第２保持部４４の姿勢を調節する姿勢調節部４７の各回転駆動部４８が衛星テーブル４２に設けられているが、第２実施形態に係る処理装置では、第２保持部の姿勢を調節する姿勢調節部の駆動部がベース部に設けられている。図１２に示される処理装置１Ｃは、第２回転搬送部４０に代えて、第２回転搬送部４０Ｃを備える。

【0077】

第２回転搬送部４０Ｃは、第２回転搬送部４０と同様に、第１回転搬送部１０から電子部品Ｗを受け取って第２円軌道ＣＲ２に沿って移動させ、第１回転搬送部１０に当該電子部品Ｗを引き渡す。第２回転搬送部４０Ｃは、例えば、衛星テーブル１４２（第２支持部）と、複数の第２保持部１４４と、第２回転駆動部１５０と、ベース部１４０とを有する。衛星テーブル１４２は、衛星テーブル４２と同様に構成されており、中心軸線Ａｘ２まわりに回転可能となるように設けられている。衛星テーブル１４２は、第２円軌道ＣＲ２上に位置するように（並ぶように）複数の第２保持部１４４を支持する。複数の第２保持部１４４は、複数の第２保持部４４と同様に、中心軸線Ａｘ２を中心とする円周に沿って等間隔に配置されている。第２回転搬送部４０Ｃは、偶数個（例えば６個）の第２保持部１４４を有してもよい。

【0078】

第２保持部１４４は、例えば、第２吸着部１５４と、軸部１５６とを含む。第２吸着部１５４は、第２吸着部５２と同様に構成されていてもよい。第２吸着部１５４は、衛星テーブル１４２よりも上方に配置されている。軸部１５６は、その上端部が第２吸着部１５４の下端部に接続されており、第２吸着部１５４を支持する。軸部１５６は、例えば、＾中心軸線Ａｘ２と平行な方向に沿って衛星テーブル１４２を貫通するように延びている。複数の第２保持部１４４の軸部１５６は、衛星テーブル１４２に対して回転可能に取り付けられている。軸部１５６（第２保持部１４４）は、衛星テーブル１４２の回転に伴って共に中心軸線Ａｘ２まわりに回転し（変位し）、軸部１５６自体は、衛星テーブル１４２の回転に伴い変位した位置において回転可能である。

【0079】

第２回転駆動部１５０は、ベース部１４０に対して衛星テーブル１４２を回転させる。第２回転駆動部１５０は、ベース部１４０に設けられている（接続されている）。ベース部１４０は、第２回転駆動部１５０及び衛星テーブル１４２等を支持するための部材であり、例えば、フロアに固定されている。第２回転駆動部１５０は、中心軸線Ａｘ２まわりに衛星テーブル１４２を回転させる。第２回転駆動部１５０は、例えば、電動モータを含むモータ本体部１４６と、モータ本体部１４６の駆動力により回転する出力軸１４８とを含む。出力軸１４８は、中心軸線Ａｘ２に沿って延びる軸部１５２を介して衛星テーブル１４２の下端部に接続されている。

【0080】

モータ本体部１４６が出力軸１４８を回転させることで、軸部１５２及び衛星テーブル１４２が中心軸線Ａｘ２まわりに回転する。これにより、中心軸線Ａｘ２を中心とする第２円軌道ＣＲ２に沿って複数の第２保持部１４４が移動する。第２回転駆動部１５０は、隣り合う第２保持部１４４同士の第２角度ピッチにて、衛星テーブル１４２の回転と停止とを繰り返すように制御される。複数の第２保持部１４４は、衛星テーブル１４２の回転と停止とに伴って、複数の停止位置ＳＰ２にそれぞれ配置される。以上の構成では、衛星テーブル１４２が軸部１５２及び第２回転駆動部１５０を介してベース部１４０に接続されているので、ベース部１４０は、第２円軌道ＣＲ２の中心軸線Ａｘ２まわりに回転するように衛星テーブル１４２を支持している。

【0081】

図１３に示されるように、第２回転搬送部４０Ｃは、第２回転搬送部４０と同様に、いずれか二箇所の停止位置ＳＰ２が、いずれか二箇所の停止位置ＳＰ１の鉛直下方にそれぞれ位置するように構成されている。例えば、第２回転搬送部４０Ｃは、第１円軌道ＣＲ１の外側の第２円軌道ＣＲ２上において第２角度ピッチの３ピッチ分離れた二箇所の停止位置ＳＰ２が、隣り合うに二箇所の停止位置ＳＰ１の鉛直下方にそれぞれ位置するように構成されている。複数の第２保持部１４４のそれぞれは、引渡し位置において複数の第１保持部１４のいずれか１つから電子部品Ｗを受け取って、受取り位置において複数の第１保持部１４のいずれか１つに電子部品Ｗを引き渡す。

【0082】

図１２に示されるように、第２回転搬送部４０Ｃは、姿勢調節部１４７を更に有する。姿勢調節部１４７は、衛星テーブル４２に対する複数の第２保持部１４４それぞれの姿勢を調節する。例えば姿勢調節部１４７は、一の駆動力を用いて複数の第２保持部１４４の一部それぞれの姿勢を一括して変更し、別の駆動力を用いて複数の第２保持部１４４の残りの一部それぞれの姿勢を一括して変更する。姿勢調節部１４７は、回転駆動部１７０Ａ（駆動部）と、回転駆動部１７０Ｂ（第２駆動部）と、伝達部１８０Ａと、伝達部１８０Ｂ（第２伝達部）とを含む。

【0083】

回転駆動部１７０Ａ，１７０Ｂは、ベース部１４０に設けられている。回転駆動部１７０Ａ，１７０Ｂは、中心軸線Ａｘ２を基準とした場合に、第２回転駆動部１５０（軸部１５２）よりも外側に配置されている。一例では、回転駆動部１７０Ａ，１７０Ｂは、間に第２回転駆動部１５０（軸部１５２）を挟むように配置されている。回転駆動部１７０Ａは、複数の第２保持部１４４の一部それぞれの姿勢を調節（変更）するための駆動力を発生する。回転駆動部１７０Ｂは、複数の第２保持部１４４の残りの一部それぞれの姿勢を調節（変更）するための駆動力を発生する。以下では、回転駆動部１７０Ａによる駆動力によって姿勢が調節される複数の第２保持部１４４の一部を「第１グループの第２保持部１４４Ａ」と称し、回転駆動部１７０Ｂによる駆動力によって姿勢が調節される複数の第２保持部１４４の残りの一部を「第２グループの第２保持部１４４Ｂ」と称する。

【0084】

回転駆動部１７０Ａは、例えば、電動モータ等の動力源を含むモータ本体部１７２Ａと、モータ本体部１７２Ａによって鉛直な回転軸まわりに回転する出力軸１７４Ａとを含む。モータ本体部１７２Ａは、ベース部１４０に固定されている。モータ本体部１７２Ａにより出力軸１７４Ａが回転することによって、第１グループの第２保持部１４４Ａそれぞれの姿勢を調節するための駆動力が発生する。

【0085】

回転駆動部１７０Ｂは、回転駆動部１７０Ａと同様に構成されており、電動モータ等の動力源を含むモータ本体部１７２Ｂと、モータ本体部１７２Ｂによって鉛直な回転軸まわりに回転する出力軸１７４Ａとを含む。モータ本体部１７２Ｂにより出力軸１７４Ｂが回転することによって、第２グループの第２保持部１４４Ｂそれぞれの姿勢を調節するための駆動力が発生する。モータ本体部１７２Ａ，１７２Ｂは、ベース部１４０に固定されているので、第２回転駆動部１５０による衛星テーブル１４２の回転に対して、定位置及び定姿勢となる。

【0086】

伝達部１８０Ａは、衛星テーブル１４２の回転に伴う第１グループの第２保持部１４４Ａの変位を許容しつつ、第１グループの第２保持部１４４Ａそれぞれの姿勢を変更するように回転駆動部１７０Ａによる駆動力を第１グループの第２保持部１４４Ａに伝達する。伝達部１８０Ｂは、衛星テーブル１４２の回転に伴う第２グループの第２保持部１４４Ｂの変位を許容しつつ、第２グループの第２保持部１４４Ｂそれぞれの姿勢を変更するように回転駆動部１７０Ｂによる駆動力を第２グループの第２保持部１４４Ｂに伝達する。

【0087】

伝達部１８０Ａは、例えば、モータプーリ１８２Ａと、伝達軸１８４Ａと、モータベルト１８６Ａと、複数の従属プーリ１９２Ａと、従属ベルト１９４Ａとを含む。モータプーリ１８２Ａは、回転駆動部１７０Ａの出力軸１７４Ａに接続されており、回転駆動部１７０Ａによる駆動力によって回転する。伝達軸１８４Ａは、筒状（例えば円筒状）に形成されており、軸部１５２を囲むように配置されている。伝達軸１８４Ａは、軸部１５２に固定されておらず、軸部１５２の回転とは独立して、中心軸線Ａｘ２まわりに回転可能に設けられている。モータベルト１８６Ａは、例えばタイミングベルトであり、モータプーリ１８２Ａと伝達軸１８４Ａ（例えば伝達軸１８４Ａの下端部近傍）とに架け渡されている。

【0088】

複数の従属プーリ１９２Ａは、第１グループの第２保持部１４４Ａにそれぞれ対応して設けられている。複数の従属プーリ１９２Ａの個数は、第１グループの第２保持部１４４Ａの個数と同じである。複数の従属プーリ１９２Ａそれぞれは、第１グループの第２保持部１４４Ａのうちの対応する第２保持部１４４の軸部１５６に接続されている。従属プーリ１９２Ａは、例えば、衛星テーブル１４２の下方において、対応する第２保持部１４４の軸部１５６の下端部に接続されている。従属プーリ１９２Ａは、当該従属プーリ１９２Ａの回転に伴って軸部１５６が回転するように軸部１５６に接続されている。従属ベルト１９４Ａは、例えばタイミングベルトである。図１３に示されるように、従属ベルト１９４Ａは、伝達軸１８４Ａ（例えば伝達軸１８４Ａの上端部近傍）と複数の従属プーリ１９２Ａとに架け渡されている。以上の構成により、伝達軸１８４Ａが中心軸線Ａｘ２まわりに回転すると、複数の従属プーリ１９２Ａが共に回転し、第１グループの第２保持部１４４Ａがそれぞれの配置位置において回転する。

【0089】

図１２に示されるように、伝達部１８０Ｂは、例えば、モータプーリ１８２Ｂと、伝達軸１８４Ｂと、モータベルト１８６Ｂと、複数の従属プーリ１９２Ｂと、従属ベルト１９４Ｂとを含む。モータプーリ１８２Ｂは、回転駆動部１７０Ｂの出力軸１７４Ｂに接続されており、回転駆動部１７０Ｂによる駆動力によって回転する。伝達軸１８４Ｂは、筒状（例えば円筒状）に形成されており、伝達軸１８４Ａを囲むように配置されている。伝達軸１８４Ｂは、伝達軸１８４Ａに固定されておらず、軸部１５２及び伝達軸１８４Ａとは独立して、中心軸線Ａｘ２まわりに回転可能に設けられている。モータベルト１８６Ｂは、例えばタイミングベルトであり、モータプーリ１８２Ｂと伝達軸１８４Ｂ（例えば伝達軸１８４Ｂの下端部近傍）とに架け渡されている。

【0090】

複数の従属プーリ１９２Ｂは、第２グループの第２保持部１４４Ｂにそれぞれ対応して設けられている。複数の従属プーリ１９２Ｂの個数は、第２グループの第２保持部１４４Ｂの個数と同じである。複数の従属プーリ１９２Ｂそれぞれは、第２グループの第２保持部１４４Ｂのうちの対応する第２保持部１４４の軸部１５６に接続されている。従属プーリ１９２Ｂは、例えば、衛星テーブル１４２の下方において、対応する第２保持部１４４の軸部１５６の下端部に接続されている。従属プーリ１９２Ｂは、当該従属プーリ１９２Ｂの回転に伴って軸部１５６が回転するように軸部１５６に接続されている。従属ベルト１９４Ｂは、例えば、タイミングベルトである。図１４に示されるように、従属ベルト１９４Ｂは、伝達軸１８４Ｂ（例えば伝達軸１８４Ｂの上端部近傍）と複数の従属プーリ１９２Ｂとに架け渡されている。以上の構成により、伝達軸１８４Ｂが中心軸線Ａｘ２まわりに回転すると、従属プーリ１９２Ｂが共に回転し、第２グループの第２保持部１４４Ｂがそれぞれの配置位置において回転する。

【0091】

以上に説明した第２回転搬送部４０Ｃでは、複数の第２保持部１４４が、回転駆動部１７０Ａ及び回転駆動部１７０Ｂのいずれの駆動力によって回転するかによって、第１グループの第２保持部１４４Ａと第２グループの第２保持部１４４Ｂとに分けることができる。第１グループの第２保持部１４４Ａの個数及び第２グループの第２保持部１４４Ｂの個数は、互いに同じであってもよく、互いに異なっていてもよい。第１グループの第２保持部１４４Ａが、１個の第２保持部１４４であってもよく、２個以上の第２保持部１４４であってもよい。第２グループの第２保持部１４４Ｂが、１個の第２保持部１４４であってもよく、２個以上の第２保持部１４４であってもよい。一例では、複数の第２保持部１４４のうちの半分が第１グループの第２保持部１４４Ａに分類され、複数の第２保持部１４４のうちの残りの半分が第２グループの第２保持部１４４Ｂに分類されてもよい。

【0092】

二箇所の受け渡し用の停止位置ＳＰ１，ＳＰ２（引渡し位置及び受取り位置）との関係で、第１グループの第２保持部１４４Ａ及び第２グループの第２保持部１４４Ｂの配列が決められてもよい。例えば複数の第２保持部１４４は、第１グループの第２保持部１４４Ａが引渡し位置（第１位置）に配置される際に第２グループの第２保持部１４４Ｂが受取り位置（第２位置）に配置され、第２グループの第２保持部１４４Ｂが引渡し位置に配置される際に第１グループの第２保持部１４４Ａが配置されるように、第２円軌道ＣＲ２に沿って並んでいる。複数の第２保持部１４４は、第２回転駆動部１５０により衛星テーブル１４２が第２角度ピッチごとに回転して停止する度に、引渡し及び受取り位置に配置される第２保持部１４４のグループが異なるように、第２円軌道ＣＲ２に沿って並んでいる。

【0093】

上述した第２回転搬送部４０Ｃでは、引渡し位置及び受取り位置が、中心軸線Ａｘ２を中心とした周方向において互いに略１８０°離れている。この場合、当該周方向において互いに略１８０°離れて位置する一対の第２保持部１４４の一方が第１グループに属し、その一対の第２保持部１４４の他方が第２グループに属するように、複数の第２保持部１４４が第２円軌道ＣＲ２に沿って並んでいてもよい。一例では、中心軸線Ａｘ２を中心とした周方向において、第１グループの第２保持部１４４Ａの一の第２保持部１４４と第２グループの第２保持部１４４Ｂの一の第２保持部１４４とが交互に配置されてもよい。あるいは、図１３又は図１４に示されるように、中心軸線Ａｘ２を中心とした周方向において、第１グループの第２保持部１４４Ａに属する全ての第２保持部１４４（例えば、３個の第２保持部１４４Ａ）が連続して並び、第２グループの第２保持部１４４Ｂに属する全ての第２保持部１４４（例えば、３個の第２保持部１４４Ｂ）が連続して並ぶように、複数の第２保持部１４４が配置されていてもよい。各グループに属する全ての第２保持部１４４が連続して並ぶ構成では、従属ベルト１９４Ａ，１９４Ｂを小さくすることができ、姿勢調節部１４７の簡素化に有用である。

【0094】

図１５は、処理装置１Ｃにおいて実行される姿勢調節手順（一つの電子部品Ｗについての姿勢調節手順）の一例を示すフローチャートである。この姿勢調節手順では、第１グループ及び第２グループのいずれかに属する第２保持部１４４が調節対象の電子部品Ｗを搬送する。以下の説明では、調節対象の電子部品Ｗを搬送する第２保持部１４４が属するグループを「対象グループ」と称する。コントローラ１００は、調節対象の電子部品Ｗが、姿勢検出部７８が設けられている停止位置ＳＰ１において第１保持部１４の第１吸着部２２に吸着された状態で、ステップＳ５１を実行する。ステップＳ５１では、例えば、姿勢情報取得部１０８が、図７に示されるステップＳ１１と同様の処理を行うことで、電子部品Ｗの傾きを検出する。

【0095】

次に、コントローラ１００は、ステップＳ５２を実行する。ステップＳ５２では、例えば、第１搬送制御部１０２が、ステップＳ１２と同様の処理を行うことで、電子部品Ｗを保持する第１保持部１４が引渡し位置に移動する。また、ステップＳ５２では、例えば、第２搬送制御部１０４が、中心軸線Ａｘ２まわりの第２角度ピッチの１ピッチ分だけ衛星テーブル１４２を回転させて、回転後に衛星テーブル１４２を停止させるように第２回転駆動部１５０を制御する。これにより、対象グループに属する一の第２保持部１４４（以下、「対象第２保持部」という。）が、引渡し位置まで変位する。この際、対象グループとは異なるグループ（以下、「非対象グループ」という。）に属する一の第２保持部１４４が、受取り位置まで変位する。

【0096】

次に、コントローラ１００は、ステップＳ５３，Ｓ５４を実行する。ステップＳ５３では、例えば、受渡制御部１０６が、ステップＳ１３と同様の処理を行う。これにより、引渡し位置において、第１保持部１４から対象第２保持部１４４に電子部品Ｗが受け渡される。ステップＳ５４では、例えば、受取り位置まで（例えば、第２角度ピッチの３ピッチ分だけ）対象第２保持部１４４を搬送するように第２回転駆動部１５０を制御する。この際、第２搬送制御部１０４は、第２角度ピッチの１ピッチごとに、衛星テーブル１４２の移動と停止とを繰り返すように第２回転駆動部１５０を制御する。ステップＳ５４の実行により、対象第２保持部１４４が、受取り位置まで変位する。この際、非対象グループに属する一の第２保持部１４４が、引渡し位置まで変位する。

【0097】

次に、コントローラ１００は、ステップＳ５５を実行する。ステップＳ５５では、例えば、姿勢制御部１１２が、ステップＳ５１で得られた検出結果に応じて、対象第２保持部１４４の姿勢を調節するように姿勢調節部１４７を制御する。一例では、姿勢制御部１１２は、第１保持部１４に対する電子部品Ｗの傾きを縮小するように、電子部品Ｗの傾きに応じた量だけ、回転駆動部１７０Ａ，１７０Ｂのうちの対象第２保持部１４４が属する対象グループに対応する一方により対象第２保持部１４４を受取り位置において回転させる。この際、対象第２保持部１４４の回転に伴って、対象グループに属する他の第２保持部１４４も共に同じ回転量だけ回転する。

【0098】

次に、コントローラ１００は、ステップＳ５６，Ｓ５７を実行する。ステップＳ５６では、例えば、受渡制御部１０６が、ステップＳ１５と同様の処理を行う。これにより、受取り位置において、対象第２保持部１４４から第１保持部１４に電子部品Ｗが受け渡される。ステップＳ５７では、例えば、姿勢制御部１１２が、対象第２保持部１４４の姿勢が原点に復帰するように姿勢調節部１４７を制御する。一例では、姿勢制御部１１２は、ステップＳ５５において、対象第２保持部１４４を回転させた方向とは反対方向に同じ回転量だけ、回転駆動部１７０Ａ，１７０Ｂのうちの対応する一方（対象第２保持部１４４への駆動力を発生させる一方）により対象第２保持部１４４を受取り位置において回転させる。これに伴い、ステップＳ５５において、対象第２保持部１４４と共に回転した他の第２保持部１４４も原点復帰される。

【0099】

ステップＳ５１〜Ｓ５７の一連の処理が実行されることで、第１保持部１４（第１吸着部２２）に対する電子部品Ｗの姿勢が調節される。コントローラ１００は、他の電子部品Ｗについても、ステップＳ５１〜Ｓ５７の一連の処理を実行することで、第１保持部１４に対する電子部品Ｗの姿勢を調節してもよい。後続の電子部品ＷについてのステップＳ５１〜Ｓ５７の一連の処理が、一の電子部品ＷについてのステップＳ５１〜Ｓ５７の一連の処理の途中（例えば、ステップＳ５２終了後）から開始されてもよい。

【0100】

この場合、例えば、ステップＳ５３の実行前後において、姿勢制御部１１２は、受取り位置に配置された非対象グループの一の第２保持部１４４の姿勢を、回転駆動部１７０Ａ，１７０Ｂのうちの当該第２保持部１４４に駆動力を付与する一方により調節させる。ステップＳ５６の実行前後において、受渡制御部１０６は、第１保持部１４から非対象グループの一の第２保持部１４４に電子部品Ｗを受け渡すように第１回転搬送部１０及び第２回転搬送部４０Ｃを制御する。コントローラ１００は、ステップＳ５７（原点復帰）を省略してもよい。この場合、姿勢制御部１１２は、引渡し位置において電子部品Ｗを受け取った際の対象第２保持部１４４の姿勢と、対象グループ内の他の第２保持部１４４の姿勢調節に伴う対象第２保持部１４４の回転とを考慮して、受取り位置において対象第２保持部１４４の姿勢を調節してもよい。

【0101】

（変形例）
以上に例示した第２実施形態に係る処理装置では、複数の第２保持部１４４が２つのグループに分けられグループごとに駆動力が付与されるが、処理装置１Ｃの姿勢調節部１４７は、複数の第２保持部１４４が３以上のグループに分けられ、グループごとに駆動力を付与する３組以上の回転駆動部及び伝達部を有してもよい。処理装置１Ｃの姿勢調節部１４７は、グループごとに駆動力を付与する２組以上の回転駆動部及び伝達部に代えて、複数の第２保持部１４４の全ての姿勢を変更するための駆動力を発生させる一つの駆動部（例えば回転駆動部）と、その駆動力を複数の第２保持部１４４の全てに伝達する一つの伝達部を有してもよい。この一つの駆動部は、ベース部１４０に設けられていてもよい。処理装置１Ｃの姿勢調節部１４７は、複数の第２保持部１４４に個別に駆動力を付与する複数組の駆動部及び伝達部を有してもよい。これらの複数の駆動部は、ベース部１４０に設けられていてもよい。なお、ベース部１４０に代えて、第２回転駆動部１５０のモータ本体部１４６の筐体（ベース部）に回転駆動部１７０Ａ，１７０Ｂ等が設けられてもよい。

【0102】

第１実施形態に係る変形例が第２実施形態に係る処理装置１Ｃ及びその変形例に適用されてもよい。第１実施形態に係る変形例１と同様に、第２回転搬送部４０Ｃが、第２吸着部１５４を昇降させる昇降駆動部を有してしてもよい。第１実施形態に係る変形例２と同様に、コントローラ１００は、第２保持部１４４に保持されている状態の電子部品Ｗの傾きに応じて、当該第２保持部１４４の姿勢を調節するように姿勢調節部１４７を制御してもよい。第２実施形態に係る変形例３と同様に、処理装置１Ｃが、第２回転搬送部４０Ｃの上流に配置される第３回転搬送部４０Ｂを備えてもよく、第２回転搬送部４０Ｃにおける電子部品Ｗの姿勢の調節の前に、第３回転搬送部４０Ｂにおいて電子部品Ｗの位置の調節が行われてもよい。

【0103】

（第２実施形態の効果）
この処理装置１Ｃでも、第１位置において第１保持部１４から第２保持部１４４に電子部品Ｗが受け渡され、第１位置とは異なる第２位置において第２保持部１４４から第１保持部１４に姿勢が調節された状態で電子部品Ｗが戻される。従って、第１実施形態に係る処理装置１等と同様に、電子部品Ｗの姿勢調節と効率的な搬送との両立に有用である。

【0104】

以上の第２実施形態に係る処理装置１Ｃは、第２円軌道ＣＲ２の中心軸線Ａｘ２まわりに回転するように衛星テーブル１４２（第２支持部）を支持するベース部１４０を備える。第２回転駆動部１５０は、ベース部１４０に対して衛星テーブル１４２（第２支持部）を回転させる。姿勢調節部１４７は、ベース部１４０に設けられ、駆動力を発生させる回転駆動部１７０Ａ（駆動部）と、衛星テーブル１４２の回転に伴う第２保持部１４４の変位を許容しつつ、第２保持部１４４の姿勢を変更するように回転駆動部１７０Ａによる駆動力を第２保持部１４４に伝達する伝達部１８０Ａとを有する。この場合、回転駆動部１７０Ａがベース部１４０に設けられているので、回転駆動部１７０Ａへの駆動エネルギーの供給系統（例えば、駆動電力の供給ケーブル）を簡素化することができる。

【0105】

以上の第２実施形態に係る処理装置１Ｃは、複数の第２保持部１４４を備える。姿勢調節部１４７は、ベース部１４０に設けられ、駆動力を発生させる回転駆動部１７０Ｂ（第２駆動部）と、伝達部１８０Ｂ（第２伝達部）とを更に有する。伝達部１８０Ａは、複数の第２保持部１４４のうちの第１グループの第２保持部１４４Ａの衛星テーブル１４２の回転に伴う変位を許容しつつ、第１グループの第２保持部１４４Ａの姿勢を変更するように回転駆動部１７０Ａによる駆動力を第１グループの第２保持部１４４Ａに伝達する。伝達部１８０Ｂは、複数の第２保持部１４４のうちの第２グループの第２保持部１４４Ｂの衛星テーブル１４２の回転に伴う変位を許容しつつ、第２グループの第２保持部１４４Ｂの姿勢を変更するように回転駆動部１７０Ｂによる駆動力を第２グループの第２保持部１４４Ｂに伝達する。この場合、複数の第２保持部１４４の全ての姿勢を一括して変更する駆動部及び伝達部を設ける場合に比べて、駆動部及び伝達部の構成を簡素化することができる。従って、処理装置全体の簡素化に有用である。

【0106】

以上の第２実施形態において、複数の第２保持部１４４は、第１グループの第２保持部１４４Ａが第１位置に配置される際に第２グループの第２保持部１４４Ｂが第２位置に配置され、第２グループの第２保持部１４４Ｂが第１位置に配置される際に第１グループの第２保持部１４４Ａが第２位置に配置されるように、第２円軌道ＣＲ２に沿って並んでいる。この場合、第２位置において電子部品Ｗを第１保持部１４に引き渡す際の第２保持部１４４への姿勢の調節の動作が、第１位置において電子部品Ｗを受け取ろうとする第２保持部１４４の姿勢に影響しない。従って、第１位置において、複数の第２保持部１４４それぞれが電子部品Ｗを受け取る際に、同じ姿勢で電子部品Ｗを受け取ることができる。

【符号の説明】

【0107】

１，１Ａ，１Ｂ…処理装置、Ｗ…電子部品、１０…第１回転搬送部、１２…ターンテーブル、１４…第１保持部、１６…第１回転駆動部、４０，４０Ａ…第２回転搬送部、４２…衛星テーブル、４４…第２保持部、４６…第２回転駆動部、４７…姿勢調節部、４８…回転駆動部、１００…コントローラ、１Ｃ…処理装置、１５０…第２回転駆動部、１４２…衛星テーブル、１４４…第２保持部、１４７…姿勢調節部、１７０Ａ，１７０Ｂ…回転駆動部、１８０Ａ，１８０Ｂ…伝達部。

【要約】

【課題】電子部品の姿勢調節と効率的な搬送との両立を図る。
【解決手段】本開示の一側面に係る電子部品の処理装置は、複数の電子部品をそれぞれ保持する複数の第１保持部と、第１円軌道に沿って並ぶように複数の第１保持部を支持する第１支持部と、第１支持部を回転させる第１回転駆動部と、第１位置において第１保持部から一の電子部品を受け取って、第２位置において第１保持部に一の電子部品を引き渡す第２保持部と、第２円軌道上に位置するように第２保持部を支持する第２支持部と、第２支持部を回転させる第２回転駆動部と、第２支持部に対する第２保持部の姿勢を調節する姿勢調節部とを備える。
【選択図】図１

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】