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特許6861235プラズマ処理装置用の部材、及び当該部材を備えるプラズマ処理装置
発明の名称 プラズマ処理装置用の部材、及び当該部材を備えるプラズマ処理装置
出願人 日本タングステン株式会社 （識別番号 229173）
特許公開件数ランキング 13975 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 2323 位（2件）（共同出願を含む）
出願人 東京エレクトロン株式会社 （識別番号 219967）
特許公開件数ランキング 32 位（218件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 24 位（227件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6861235
公報発行日 2021年4月21
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6861235
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