特許 6861468 タッチセンサ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6861468

(24)【登録日】2021年4月1日

(45)【発行日】2021年4月21日

(54)【発明の名称】タッチセンサ

(51)【国際特許分類】

   G06F 3/041 20060101AFI20210412BHJP

   G06F 3/044 20060101ALI20210412BHJP

【ＦＩ】

   G06F3/041 422

   G06F3/041 640

   G06F3/044 124

   G06F3/044 127

【請求項の数】15

【全頁数】21

(21)【出願番号】特願2016-33796(P2016-33796)

(22)【出願日】2016年2月25日

(65)【公開番号】特開2016-157442(P2016-157442A)

(43)【公開日】2016年9月1日

【審査請求日】2019年1月9日

(31)【優先権主張番号】10-2015-0026799

(32)【優先日】2015年2月25日

(33)【優先権主張国】KR

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】512187343

【氏名又は名称】三星ディスプレイ株式會社

【氏名又は名称原語表記】Ｓａｍｓｕｎｇ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．

(74)【代理人】

【識別番号】100121382

【弁理士】

【氏名又は名称】山下 託嗣

(72)【発明者】

【氏名】金 泳道

(72)【発明者】

【氏名】金 燻植

【審査官】 岩橋 龍太郎

(56)【参考文献】

【文献】 米国特許出願公開第２０１４／０３２７８３８（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 特開２０１３−１５２５７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−０５３９２４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００４／００７１８７０（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２００６／０００５３６２（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０６Ｆ ３／０４１− ３／０４７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

タッチ基板と、
第１方向に延長形成される複数の第１タッチ電極と、
前記第１方向に垂直な第２方向に延長形成される複数の第２タッチ電極と、を備え、
前記複数の第１および第２タッチ電極は、前記タッチ基板の同一面に形成されるか、前記タッチ基板の互いに異なる面にそれぞれ形成され、
前記複数の第１および第２タッチ電極のうち少なくとも一つには、複数の突起が形成され、
前記第１および第２タッチ電極のそれぞれは、前記タッチ基板と向かい合う第１面および前記第１面に対向する第２面を備え、
前記複数の突起は、前記第２面に形成され、
前記突起は繊毛形状であり、
前記第１および第２タッチ電極の本体部と前記突起は、同一の金属材料によって一体に形成されている、タッチセンサ。

【請求項2】

前記第１および第２タッチ電極は、金属ナノワイヤーまたはメタルメッシュを含む、請求項１に記載のタッチセンサ。

【請求項3】

タッチ基板と、
第１方向に延長形成される複数の第１タッチ電極と、
前記第１方向に垂直な第２方向に延長形成される複数の第２タッチ電極と、を備え、
前記複数の第１および第２タッチ電極は、前記タッチ基板の同一面に形成されるか、前記タッチ基板の互いに異なる面にそれぞれ形成され、
前記複数の第１および第２タッチ電極のうち少なくとも一つには、複数の突起が形成され、
前記第１および第２タッチ電極のそれぞれは、前記タッチ基板と向かい合う第１面および前記第１面に対向する第２面を備え、
前記複数の突起は、前記第２面に形成され、
前記突起は繊毛形状であり、
前記突起の端部は、複数本に分かれた、タッチセンサ。

【請求項4】

前記第１および第２タッチ電極は、金属ナノワイヤー、メタルメッシュ、炭素ナノチューブ、グラフェン、ＩＴＯおよびＩＺＯのうち少なくとも一つを含む、請求項３に記載のタッチセンサ。

【請求項5】

前記複数の突起は、前記タッチ基板に対して一定の角度に傾いた、請求項１から４のいずれか１項に記載のタッチセンサ。

【請求項6】

前記複数の第１および第２タッチ電極は、前記タッチ基板の同一面に形成され、
前記複数の第１タッチ電極は、前記第１方向に互いに離隔した状態で配置され、
前記複数の第２タッチ電極は、前記第２方向に互いに離隔した状態で配置され、前記複数の第１タッチ電極と重ならない、請求項１から５のいずれか１項に記載のタッチセンサ。

【請求項7】

前記複数の第１および第２タッチ電極は、同一層に形成される、請求項６に記載のタッチセンサ。

【請求項8】

前記複数の第１タッチ電極のうち隣接した一対の第１タッチ電極は、第１連結部によって互いに連結され、
前記複数の第２タッチ電極のうち隣接した一対の第２タッチ電極は、前記第１連結部と離れた状態で交差する第２連結部によって互いに連結される、請求項７に記載のタッチセンサ。

【請求項9】

前記第１連結部は、前記第１タッチ電極と同一層に形成される、請求項８に記載のタッチセンサ。

【請求項10】

前記第１連結部は、前記第１タッチ電極と一体で形成される、請求項９に記載のタッチセンサ。

【請求項11】

前記第２連結部は、前記第２タッチ電極と異なる層に形成される、請求項８から１０のいずれか１項に記載のタッチセンサ。

【請求項12】

前記第１および第２連結部の間に形成され、前記第１および第２連結部を絶縁する絶縁膜をさらに備える、請求項１１に記載のタッチセンサ。

【請求項13】

前記第２連結部の上面に複数の突起が形成される、請求項８から１２のいずれか１項に記載のタッチセンサ。

【請求項14】

前記複数の第１および第２タッチ電極は、前記タッチ基板の互いに異なる面に、互いに交差するように形成される、
請求項１から５のいずれか１項に記載のタッチセンサ。

【請求項15】

前記第１および第２タッチ電極にそれぞれ連結された第１および第２タッチ配線をさらに備える、請求項１から１４のいずれか１項に記載のタッチセンサ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、タッチセンサに関する。

【背景技術】

【0002】

液晶表示装置（ｌｉｑｕｉｄ ｃｒｙｓｔａｌ ｄｉｓｐｌａｙ、ＬＣＤ）、有機発光表示装置（ｏｒｇａｎｉｃ ｌｉｇｈｔ ｅｍｉｔｔｉｎｇ ｄｉｏｄｅ ｄｉｓｐｌａｙ、ＯＬＥＤ ｄｉｓｐｌａｙ）および電気泳動表示装置（ｅｌｅｃｔｒｏｐｈｏｒｅｔｉｃ ｄｉｓｐｌａｙ）等の電子装置は、使用者とのやりとりが可能なタッチ感知機能を有することができる。タッチ感知機能は、観察者がタッチ面上に指やタッチペン（ｔｏｕｃｈ ｐｅｎ）等を接近させるか接触させて、文字を書いたり、絵を描く場合、表示装置が画面に加えられた圧力、電荷、光などの変化を感知することで、表示装置が、物体のタッチ面への接近または接触有無および物体の接触位置などの接触情報を取得する機能である。

【0003】

上記の液晶表示装置などの様々な電子装置のタッチ感知機能は、タッチセンサによって実現することができる。タッチセンサは、抵抗膜方式（ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ ｔｙｐｅ）、静電容量方式（ｃａｐａｃｉｔｉｖｅ ｔｙｐｅ）、電磁気誘導型（ｅｌｅｃｔｒｏ−ｍａｇｎｅｔｉｃ ｔｙｐｅ、ＥＭ）、光感知方式（ｏｐｔｉｃａｌ ｔｙｐｅ）等の多様な方式に分類され得る。

【0004】

例えば、抵抗膜方式のタッチセンサの場合、互いに向かい合い離隔している二つの電極が外部物体による圧力によって接触することができる。二つの電極が互いに接触すれば、タッチセンサは、接触位置における抵抗の変化による電圧変化を感知して接触位置などを認識する。

【0005】

静電容量方式のタッチセンサは、感知信号を伝達可能な複数の感知電極からなる感知キャパシタを含み、指のような導電体がタッチセンサに接近する際に発生する感知キャパシタの静電容量（ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅ）の変化、または充電電荷量の変化を感知することで、タッチ有無とタッチ位置などを認識する。静電容量式タッチセンサは、タッチをセンシングすることが可能なタッチ感知領域に配置されている複数のタッチ電極およびタッチ電極と連結している信号伝達配線を含むことができる。信号伝達配線は、タッチ電極に感知入力信号を伝達するか、タッチにより生成されたタッチ電極の感知出力信号を感知信号制御部に伝達することができる。

【0006】

信号伝達配線は、一般にタッチ感知パネルのタッチ感知領域の外側に位置する周辺領域に位置するか、タッチ感知領域に位置することができる。表示装置などの様々な電子装置が、重くて破損し易いガラス基板を使用する場合、電子装置の携帯性および画面の大きさには限界がある。そこで、最近では、重量が軽く、衝撃に強いだけでなく、柔軟性（ｆｌｅｘｉｂｌｅ）の高いプラスチック基板から作られるフレキシブル電子装置が活発に開発されている。フレキシブル電子装置が活発に開発されているため、電子装置に組み込まれるか付けられて使用されるタッチセンサも柔軟性（ｆｌｅｘｉｂｉｌｉｔｙ）を有する必要性がある。

【0007】

最近、数多く開発されているフレキシブルタッチセンサは、例えば、折り畳まれたり（ｆｏｌｄａｂｌｅ、ｂｅｎｄａｂｌｅ）、巻かれたり（ｒｏｌｌａｂｌｅ）、少なくとも一方向に伸びたり（ｓｔｒｅｔｃｈａｂｌｅ）、伸縮性（ｅｌａｓｔｉｃｉｔｙ）があったりと、変形する部分を有することができる。フレキシブルタッチセンサは、複数のタッチ電極を含み、タッチ電極は、フレキシブルタッチセンサの変形後も不良が生じさせないために柔軟性（ｆｌｅｘｉｂｉｌｉｔｙ）を有することができる。

【0008】

柔軟性を有するタッチ電極の材料として、例えば、銀ナノワイヤー（ＡｇＮＷ）等の金属ナノワイヤー、炭素ナノチューブ、グラフェン（ｇｒａｐｈｅｎｅ）、メタルメッシュ（ｍｅｔａｌ ｍｅｓｈ）、導電性高分子などの多様な材料が開発されている。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0009】

上記のような技術的背景に基づいて、本発明は、粘着剤または接着剤を使用せずに物体に付着することができるタッチセンサおよび当該タッチセンサの製造方法を提供する。また、本発明は、厚さの薄いタッチセンサおよび厚さの薄いタッチセンサを含む表示装置を提供する。また、本発明は、表示装置が繰り返し折り畳まれたり撓んだり曲げられても、タッチセンサが偏光板やタッチパネルから分離することを防止することができる表示装置を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の一実施例に係るタッチセンサは、タッチ基板と、第１方向に延長形成される複数の第１タッチ電極と、前記第１方向に垂直な第２方向に延長形成される複数の第２タッチ電極と、を備え、前記複数の第１および第２タッチ電極は、前記タッチ基板の同一面に形成されるか、前記タッチ基板の互いに異なる面にそれぞれ形成され、前記複数の第１および第２タッチ電極のうち少なくとも一つには、複数の突起が形成され、前記第１および第２タッチ電極のそれぞれは、前記タッチ基板と向かい合う第１面および前記第１面に対向する第２面を備え、前記複数の突起は、前記第２面に形成されることができる。

【0011】

前記突起は、繊毛形状であることができる。

【0012】

前記複数の突起は、前記タッチ基板に対して一定の角度に傾くことができる。

【0013】

前記突起の端部は、複数本に分かれることができる。

【0014】

前記複数の第１および第２タッチ電極は、前記タッチ基板の同一面に形成され、前記複数の第１タッチ電極は、前記第１方向に互いに離隔した状態で配置され、前記複数の第２タッチ電極は、前記第２方向に互いに離隔した状態で配置され、前記複数の第１タッチ電極と重ならないことができる。

【0015】

前記複数の第１および第２タッチ電極は、同一層に形成されることができる。

【0016】

前記複数の第１タッチ電極のうち隣接した一対の第１タッチ電極は、第１連結部によって互いに連結され、前記複数の第２タッチ電極のうち隣接した一対の第２タッチ電極は、前記第１連結部と離れた状態で交差する第２連結部によって互いに連結されることができる。

【0017】

前記第１連結部は、前記第１タッチ電極と同一層に形成されることができる。

【0018】

前記第１連結部は、前記第１タッチ電極と一体で形成されることができる。

【0019】

前記第２連結部は、前記第２タッチ電極と異なる層に形成されることができる。

【0020】

前記第１および第２連結部の間に形成され、前記第１および第２連結部を絶縁する絶縁膜をさらに備えることができる。

【0021】

前記第２連結部の上面に複数の突起が形成されることができる。

【0022】

前記複数の第１および第２タッチ電極は、前記タッチ基板の互いに異なる面に、互いに交差するように形成されることができる。

【0023】

前記第１および第２タッチ電極は、金属ナノワイヤー、メタルメッシュ、炭素ナノチューブ、グラフェン、ＩＴＯおよびＩＺＯのうち少なくとも一つを含むことができる。

【0024】

前記第１および第２タッチ電極にそれぞれ連結された第１および第２タッチ配線をさらに備えることができる。

【発明の効果】

【0025】

上記のようなタッチセンサおよびタッチセンサを含む表示装置によると、タッチセンサを表示装置内の他の構成要素に付着させる際に接着剤または粘着剤が必要ないため、タッチセンサおよび表示装置の厚さをより薄くすることができる。

【0026】

また、本発明は、折り畳まれたり撓んだり曲げられることができる表示装置の柔軟性をさらに高めることができ、タッチセンサの厚さが薄くなるので、タッチセンサを含む表示装置が表示する映像の透過率などの光学特性を改善することができる。

【0027】

また、本発明は、タッチ電極上に形成された複数の微細突起が強い結合力を提供することで、表示装置が繰り返して折り畳まれたり曲げられたりする時、タッチセンサと表示パネルまたはタッチセンサと偏光板が互いに分離することを防止することができる。

【0028】

また、本発明は、表示装置の製造工程でタッチセンサと偏光板が誤って付着した場合、タッチセンサと偏光板を容易に分離することができ、以後、タッチセンサと偏光板を再び互いに付着させることができ、費用を節減することができ、そして製造工程を短縮することができる。

【図面の簡単な説明】

【0029】

【図1】本発明の一実施例に係るタッチセンサの平面図である。

【図2】図１のＡ領域を拡大したタッチセンサの一部の拡大図である。

【図3】図２のＩＩＩ−ＩＩＩに沿ってタッチセンサを切断した断面図である。

【図4】図１のＢ領域を拡大したタッチセンサの一部の拡大図である。

【図5】図４のＶ−Ｖに沿ってタッチセンサを切断した断面図である。

【図6】図５のＸ領域を拡大したタッチセンサの一部の拡大図である。

【図7】図５のＸ領域を拡大したタッチセンサの一部の拡大図である。

【図8】本発明の一実施例の変形例によるタッチセンサの平面図である。

【図9】図８のタッチセンサの概略的な斜視図である。

【図10】本発明の一実施例に係るタッチセンサを含む表示装置の断面図である。

【図11】タッチセンサのタッチ電極の製造過程を順に示した図面である。

【図12】タッチセンサのタッチ電極の製造過程を順に示した図面である。

【図13】タッチセンサのタッチ電極の製造過程を順に示した図面である。

【図14】タッチセンサのタッチ電極の製造過程を順に示した図面である。

【図15】タッチセンサのタッチ電極の製造過程を順に示した図面である。

【図16】タッチセンサのタッチ電極の製造過程を順に示した図面である。

【図17】タッチセンサのタッチ電極の製造過程を順に示した図面である。

【図18】タッチセンサのタッチ電極の製造過程を順に示した図面である。

【図19】タッチセンサのタッチ電極の製造過程を順に示した図面である。

【図20】タッチ電極の上面に微細突起を形成する過程を順に示した図面である。

【図21】タッチ電極の上面に微細突起を形成する過程を順に示した図面である。

【図22】タッチ電極の上面に微細突起を形成する過程を順に示した図面である。

【図23】タッチ電極の上面に微細突起を形成する過程を順に示した図面である。

【図24】タッチ電極の上面に微細突起を形成する過程を順に示した図面である。

【図25】タッチ電極の上面に微細突起を形成する他の過程を順に示した図面である。

【図26】タッチ電極の上面に微細突起を形成する他の過程を順に示した図面である。

【発明を実施するための形態】

【0030】

添付の図面を参照して本発明の好適な実施例を詳しく説明する。しかし、本発明は、ここで説明する実施例に限定されず、他の形態に具体化されることもできる。むしろ、ここで紹介する実施例は、開示された内容が明確になるように、そして、当業者に本発明の思想が十分に伝わるように提供されるものである。

【0031】

図面において、層および領域の厚さは、明確性を期するために誇張されている。また、層が他の層または基板「上」にあるという場合に、当該層は他の層または基板上に直接形成されるか、または当該層と、他の層または基板の間に第３の層が介在することもあり得る。明細書全体にわたって同一の参照番号で表示された部分は、同一の構成要素を意味する。

【0032】

以下、図１〜図５を参照して本発明の一実施例に係るタッチセンサを説明する。図１は、本発明の一実施例に係るタッチセンサの平面図であり、図２は、図１のＡ領域を拡大したタッチセンサの一部の拡大図であり、図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩに沿ってタッチセンサを切断した断面図であり、図４は、図１のＢ領域を拡大したタッチセンサの一部の拡大図であり、図５は、図４のＶ−Ｖに沿ってタッチセンサを切断した断面図である。

【0033】

図１を参照すると、本発明の一実施例に係るタッチセンサ４００は、タッチ基板４０４、第１および第２タッチ電極４１０、４２０、第１および第２連結部４１２、４２２、第１および第２タッチ配線４１１、４２１を含む。

【0034】

タッチセンサ４００は、タッチの感知可能なタッチ感知領域（ＴＡ）およびタッチ感知領域（ＴＡ）の外側に位置する周辺領域（ＰＡ）を含む。非感知領域（ＤＡ）は、デッドスペース（ｄｅａｄ ｓｐａｃｅ）ともいう。

【0035】

タッチ基板４０４は、フレキシブルフィルム形態であってもよいが、フレキシブルフィルム形態に限定されず、ガラス、プラスチックなどを含む堅固な（ｒｉｇｉｄ）基板であってもよい。タッチ基板４０４が等方性基板である場合には、タッチ基板４０４の位相遅延値は実質的に０であるか非常に低くてもよい。タッチ基板４０４は、例えば等方性フィルムのシクロオレフィンポリマー（ｃｙｃｌｉｃ ｏｌｅｆｉｎ ｐｏｌｙｍｅｒ、ＣＯＰ）フィルム、非延伸ポリカーボネート（ｐｏｌｙ ｃａｒｂｏｎａｔｅ、ＰＣ）フィルム、トリアセチルセルロース（ｔｒｉａｃｅｔｙｌｃｅｌｌｕｌｏｓｅ、ＴＡＣ）フィルムのうち少なくとも一つを含むことができる。

【0036】

複数の第１および第２タッチ電極４１０、４２０は、タッチ感知領域（ＴＡ）に主に位置し、第１および第２タッチ配線４１１、４２１は、タッチ感知領域（ＴＡ）に位置してもよく、非感知領域（ＤＡ）に位置してもよい。

【0037】

第１および第２タッチ電極４１０、４２０は、第１および第２タッチ電極４１０、４２０の下部に位置する表示パネルからの光が第１および第２タッチ電極４１０、４２０を透過することができるように所定の透過度以上の透過度を有することができる。例えば、第１および第２タッチ電極４１０、４２０は、金属ナノワイヤー（ｍｅｔａｌ ｎａｎｏｗｉｒｅ）、ＰＥＤＯＴなどの導電性ポリマー（ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ ｐｏｌｙｍｅｒ）、メタルメッシュ（ｍｅｔａｌ ｍｅｓｈ）、炭素ナノチューブ（ＣＮＴ）、ＩＴＯ（ｉｎｄｉｕｍ ｔｉｎ ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（ｉｎｄｉｕｍ ｚｉｎｃ ｏｘｉｄｅ）、薄い金属層などの透明な導電物質を少なくとも一つ含むことができる。

【0038】

第１および第２タッチ配線４１１、４２１は、タッチ電極４１０、４２０が含む透明な導電物質および／またはモリブデン（Ｍｏ）、銀（Ａｇ）、チタニウム（Ｔｉ）、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、モリブデン／アルミニウム／モリブデン（Ｍｏ／Ａｌ／Ｍｏ）等の低抵抗物質を含むことができる。第１および第２タッチ配線４１１、４２１は、第１および第２タッチ電極４１０、４２０と同一層に位置する部分を含んでもよく、含まなくてもよい。

【0039】

第１および第２タッチ電極４１０、４２０は、多様な方式で接触を感知可能なタッチセンサを形成する。タッチセンサは、抵抗膜方式（ｒｅｓｉｓｔｉｖｅ ｔｙｐｅ）、静電容量方式（ｃａｐａｃｉｔｉｖｅ ｔｙｐｅ）、電磁気誘導型（ｅｌｅｃｔｒｏ−ｍａｇｎｅｔｉｃ ｔｙｐｅ、ＥＭ）、光感知方式（ｏｐｔｉｃａｌ ｔｙｐｅ）など多様な方式のタッチセンサであり得る。本実施例では、静電容量方式のタッチセンサを例に挙げて説明するが、本発明の実施例が静電容量方式のタッチセンサに限定されるものではない。

【0040】

静電容量方式のタッチセンサにおいては、タッチ電極４１０、４２０のうち一つがタッチ駆動部から感知入力信号の入力を受け、外部物体の接触によって変化する感知出力信号を生成してタッチ駆動部に送ることができる。タッチ電極４１０、４２０が外部物体と自己感知キャパシタ（ｓｅｌｆ−ｓｅｎｓｉｎｇ ｃａｐａｃｉｔｏｒ）を形成する場合、タッチ電極４１０、４２０が感知入力信号の入力を受け、所定電荷量で充電された後、指などの外部物体による接触があれば、自己感知キャパシタの充電電荷量が変化して、入力された感知入力信号と異なる感知出力信号が出力されることができる。タッチセンサは、感知出力信号の変化を通じて、外部物体の接触有無、接触位置などの接触情報が分かる。

【0041】

互いに隣接したタッチ電極４１０、４２０同士が相互感知キャパシタ（ｍｕｔｕａｌ−ｓｅｎｓｉｎｇ ｃａｐａｃｉｔｏｒ）を形成する場合、二つのタッチ電極４１０、４２０のうち一つがタッチ駆動部から感知入力信号の入力を受けて相互感知キャパシタが所定電荷量で充電される。以後、指などの外部物体による接触があれば、相互感知キャパシタの充電電荷量に変化が生じ、変化した電荷量は、残りのタッチ電極４１０、４２０を通じて感知出力信号として出力されることができる。タッチセンサは、感知出力信号を通じて外部物体の接触有無、接触位置などの接触情報が分かる。

【0042】

本実施例では、相互感知キャパシタを形成するタッチセンサを例に挙げて説明する。図１を参照すると、本発明の一実施例に係るタッチセンサのタッチ電極４１０、４２０は、複数の第１タッチ電極４１０および複数の第２タッチ電極４２０を含む。第１タッチ電極４１０と第２タッチ電極４２０は互いに分離されている。

【0043】

第１タッチ電極４１０および第２タッチ電極４２０は、タッチ感知領域（ＴＡ）で互いに重ならないように交互に分散して配置されることができる。複数の第１タッチ電極４１０は、列方向および行方向に沿ってそれぞれ複数個ずつ配置され、複数の第２タッチ電極４２０も列方向および行方向に沿ってそれぞれ複数個ずつ配置されることができる。

【0044】

第１タッチ電極４１０と第２タッチ電極４２０は、互いに同一層に位置してもよいが、同一層に限定されるものではなく、第１タッチ電極４１０と第２タッチ電極４２０は、互いに異なる層に位置してもよい。第１タッチ電極４１０と第２タッチ電極４２０が互いに異なる層に位置する場合、第１タッチ電極４１０と第２タッチ電極４２０は、タッチ基板４０４の互いに異なる面に位置してもよく、タッチ基板４０４の同一の面上の互いに異なる層に位置してもよい。

【0045】

本発明の一実施例によると、複数の第１および第２タッチ電極４１０、４２０は全て、タッチ基板４０４の上面に位置する。即ち、図１に示すように、第１および第２タッチ電極４１０、４２０は、タッチ基板４０４の同一面に形成される。第１タッチ電極４１０と第２タッチ電極４２０のそれぞれは、四角形であってもよいが、四角形に限定されるものではなく、第１タッチ電極４１０と第２タッチ電極４２０のそれぞれは、タッチセンサの感度向上のために突出部を有するなど多様な形態を有してもよい。

【0046】

同一の行または列に配列された複数の第１タッチ電極４１０は、タッチ感知領域（ＴＡ）の内部または外部で互いに連結していてもよく、分離していてもよい。同様に、同一の列または行に配列された複数の第２タッチ電極４２０の少なくとも一部は、タッチ感知領域（ＴＡ）の内部または外部で互いに連結していてもよく、分離していてもよい。

【0047】

例えば、図１に示すように、同一の行、即ち、第１方向に配置された複数の第１タッチ電極４１０がタッチ感知領域（ＴＡ）の内部で互いに連結されている場合、同一の列、即ち、第２方向に配置された複数の第２タッチ電極４２０がタッチ感知領域（ＴＡ）の内部で互いに連結していてもよい。ここで、第２方向は前記第１方向に垂直方向で、前記列方向と同一の方向を表す。

【0048】

さらに具体的に、各行に位置する複数の第１タッチ電極４１０は、第１連結部４１２を通じて互いに連結しており、各列に位置する複数の第２タッチ電極４２０は、第２連結部４２２を通じて互いに連結していてもよい。

【0049】

図２および図３を参照すると、互いに隣接した第１タッチ電極４１０間を連結する第１連結部４１２は、第１タッチ電極４１０と同一層に位置し、第１タッチ電極４１０と同一の物質で形成されることができる。即ち、第１タッチ電極４１０と第１連結部４１２は互いに一体化していてもよく、同時にパターニングされてもよい。

【0050】

互いに隣接した第２タッチ電極４２０間を連結する第２連結部４２２は、第２タッチ電極４２０と異なる層に位置してもよい。即ち、第２タッチ電極４２０と第１連結部４１２は、互いに分離していてもよく、別々にパターニングされてもよい。第２タッチ電極４２０と第２連結部４２２は、直接的な接触を通じて互いに連結されてもよい。

【0051】

絶縁膜４３０は、第１連結部４１２と第２連結部４２２の間に位置することで、第１連結部４１２と第２連結部４２２とを互いに絶縁させる。絶縁膜４３０は、図２および図３に示すように、第１連結部４１２と第２連結部４２２との交差部ごとに配置された複数の独立した島状の絶縁体であることができる。絶縁膜４３０は、第２連結部４２２が第２タッチ電極４２０と連結するように第２タッチ電極４２０の少なくとも一部を露出させることができる。

【0052】

本発明の一実施例の変形例によると、絶縁膜４３０は、タッチ基板４０４上に全面的に形成され、列方向に隣接した第２タッチ電極４２０の連結のために、第２タッチ電極４２０上の一部に位置する絶縁膜４３０が除去されることができる。

【0053】

図２および図３に示すものと違って、互いに隣接した第２タッチ電極４２０間を連結する第２連結部４２２が第１タッチ電極４１０と同一層に位置し、第１タッチ電極４１０と一体化し、互いに隣接した第１タッチ電極４１０間を連結する第１連結部４１２は、第１タッチ電極４１０と異なる層に位置することができる。

【0054】

図１を参照すると、各行の互いに連結された第１タッチ電極４１０は、第１タッチ配線４１１を通じてタッチ駆動部（図示せず）と連結され、各列の互いに連結された第２タッチ電極４２０は、第２タッチ配線４２１を通じてタッチ駆動部と連結されることができる。第１タッチ配線４１１と第２タッチ配線４２１は、非感知領域（ＤＡ）に位置してもよいが、非感知領域（ＤＡ）とは違って、タッチ感知領域（ＴＡ）に位置してもよい。

【0055】

第１タッチ配線４１１と第２タッチ配線４２１の端部は、タッチセンサ４００の非感知領域（ＤＡ）でパッド部４５０を形成することができる。第１タッチ配線４１１は、感知入力信号を第１タッチ電極４１０に入力するか、感知出力信号をパッド部４５０を通じてタッチ駆動部に出力することができる。第２タッチ配線４２１は、感知入力信号を第２タッチ電極４２０に入力するか、感知出力信号をパッド部４５０を通じてタッチ駆動部に出力することができる。

【0056】

タッチ駆動部は、タッチセンサの動作を制御する。タッチ駆動部は、タッチセンサに感知入力信号を伝達するか、感知出力信号の入力を受けて処理することができる。タッチ駆動部は、感知出力信号を処理してタッチの有無およびタッチ位置などのタッチ情報を生成することができる。

【0057】

タッチ駆動部は、少なくとも一つの集積回路チップの形態でタッチセンサ４００上に直接装着されるか、可撓性印刷回路膜（ｐｒｉｎｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ ｆｉｌｍ、ＦＰＣ）または印刷回路板上に装着されて、ＴＣＰ（ｔａｐｅ ｃａｒｒｉｅｒ ｐａｃｋａｇｅ）の形態でタッチセンサ４００に付着するか、別の印刷回路板上に装着されて、パッド部４５０と連結されることができる。タッチ駆動部は、タッチセンサ４００の上に集積されてもよい。

【0058】

互いに隣接した第１タッチ電極４１０と第２タッチ電極４２０は、タッチセンサとして機能する相互感知キャパシタ（ｍｕｔｕａｌ ｓｅｎｓｉｎｇ ｃａｐａｃｉｔｏｒ）を形成することができる。相互感知キャパシタは、第１タッチ電極４１０および第２タッチ電極４２０のうち一つを通じて感知入力信号の入力を受け、外部物体の接触による電荷量変化を感知出力信号として残りのタッチ電極を通じて出力することができる。

【0059】

図１〜図３に示すものと違って、複数の第１タッチ電極４１０と複数の第２タッチ電極４２０は互いに分離して、それぞれタッチ配線（図示せず）を通じてタッチ駆動部と連結されてもよい。複数の第１タッチ電極４１０と複数の第２タッチ電極４２０が互いに分離し、それぞれタッチ配線を通じてタッチ駆動部と連結される場合、各タッチ電極４１０、４２０は、タッチセンサとして自己感知キャパシタ（ｓｅｌｆ ｓｅｎｓｉｎｇ ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅ）を形成することができる。自己感知キャパシタは、感知入力信号の入力を受けて所定電荷量で充電され、指などの外部物体の接触があれば、充電電荷量に変化が生じるため、自己感知キャパシタは、入力された感知入力信号と異なる感知出力信号を出力することができる。

【0060】

図４および図５を参照すると、第１および第２タッチ電極４１０、４２０の上面には複数の微細突起が形成される。さらに詳しくは、第１タッチ電極４１０の上面には複数の第１微細突起４１３が形成され、第２タッチ電極４２０の上面には複数の第２微細突起４２３が形成される。第１および第２微細突起４１３、４２３は、第１および第２タッチ電極４１０、４２０とタッチセンサ４００の上に位置する他の構成を合着させることができる。例えば、微細突起４１３、４２３は、第１および第２タッチ電極４１０、４２０と後述する偏光板５００とを合着させる。

【0061】

本発明の一実施例によると、第１および第２微細突起４１３、４２３は、トッケイヤモリの足の裏に形成された微細な繊毛形状と同一または類似した形状からなる。トッケイヤモリの足の裏に形成された微細な繊毛形状は、ファンデルワールス結合（Ｖａｎ ｄｅｒ Ｗａａｌｓ ｂｏｎｄ）によって強い接着力を有する。ファンデルワールス結合の原理は、二つの原子が近く接近した時に、各原子の核を囲んでいる電子雲に変動が発生することにより、弱い静電気的引力が生じて、二つの原子が接着する、という原理である。二つの原子間の静電気的引力は弱くても、多数の繊毛が存在し、各繊毛の端がさらに分かれている構造によって、それぞれの引力が集められて、結合力が大きく増加する。そして、前記微細な繊毛が一定の角度に傾いた形状に配置されれば、接着された物体から容易に分離させる方向性接着力（ｄｉｒｅｃｔｉｏｎａｌ ａｄｈｅｓｉｏｎ）を提供することができる。

【0062】

図６および図７を参照すると、第１および第２微細突起４１３、４２３は、繊毛形状からなる。さらに詳しくは、第１および第２微細突起４１３、４２３の各端部は、複数本に分かれた形状からなることができる。そして、前記複数の第１および第２微細突起４１３、４２３は、タッチ基板４０４に対して一定の角度に傾いた形状に配置される。

【0063】

前述したように、複数の第１および第２微細突起４１３、４２３が前記形状からなれば、ファンデルワールス結合による静電気的引力が集められて大きな接着力が生まれる。大きな接着力が生まれることにより、複数の第１および第２微細突起４１３、４２３により、第１および第２タッチ電極４１０、４２０と異なる構成、例えば偏光板５００と結合される構成が実現できる。即ち、第１および第２タッチ電極４１０、４２０と偏光板５００の間に粘着剤または接着剤を用いることなく、第１および第２タッチ電極４１０、４２０と偏光板５００が、互いに結合できる。また、製造工程で前記タッチセンサ４００と偏光板５００が誤って付着した場合も、前記タッチセンサ４００と偏光板５００を容易に分離可能である。

【0064】

一方、第２連結部４２２の上面にも微細突起（図示せず）が形成されることができる。前述したように、第２連結部４２２は、第２タッチ電極４２０と互いに異なる層に形成されて、第２タッチ電極４２０より上部に突き出されることができ、上面に形成された微細突起により、第２連結部４２２は、前述した偏光板５００と接触することができる。従って、第２連結部４２２の上面に複数の第３微細突起（図示せず）が形成されれば、第２連結部４２２は、前述した偏光板５００と堅固に接着されることができる。

【0065】

本発明の一実施例の変形例によると、複数の第１および第２タッチ電極４１０、４２０は、タッチ基板４０４の互いに異なる面に位置することができる。即ち、図８および図９に示すように、複数の第１および第２タッチ電極４１０、４２０は、それぞれタッチ基板４０４の上面および下面に配置される。

【0066】

第１タッチ電極４１０は、タッチ基板４０４の上面に位置し、第１方向に延長形成されることができる。図１に示す第１タッチ電極４１０と違って、第１タッチ電極４１０は、バー（ｂａｒ）形状からなる。一方、第２タッチ電極４２０は、タッチ基板４０４の下面に位置し、第１方向に垂直な第２方向に延長形成されることができる。第１タッチ電極４１０と同様に、第２タッチ電極４２０もバー（ｂａｒ）形状からなることができる。

【0067】

本発明の一実施例の変形例においては、第１および第２タッチ電極４１０、４２０は、タッチ基板４０４を挟んで、互いに交差することができる。図９を参照すると、第１および第２タッチ電極４１０、４２０の上面にそれぞれ複数の第１および第２微細突起が形成される。本発明の変形例では、第１および第２タッチ電極４１０、４２０がタッチ基板４０４の互いに異なる面に配置されることにより、前記複数の第１および第２微細突起は、タッチ基板４０４を中心として互いに異なる面に形成される。

【0068】

従って、前述した本発明の一実施例では、第１および第２微細突起４１３、４２３が同一面に形成されるため、タッチ基板４０４を中心として一つの側面、例えば上面に接着力が提供される。一方、本発明の一実施例の変形例によると、第１および第２微細突起が互いに異なる面に形成されるため、タッチ基板４０４を中心として両側面、例えば上面および下面に同時に接着力が提供される。

【0069】

本発明の一実施例や一実施例の変形例のように、タッチ基板４０４上に形成されたタッチ電極４１０、４２０の上面に複数の微細突起４１３、４２３が形成されれば、後述する表示装置に偏光板５００のような他の構成要素を付着させる時、接着剤または粘着剤が必要ないため、タッチセンサ４００の厚さをより減らすことができ、タッチセンサ４００を含む表示装置の厚さも共に減らすことができる。

【0070】

タッチセンサ４００を含む表示装置の厚さを減らせることにより、折り畳まれたり撓んだり曲げられたりすることができる表示装置１の柔軟性をさらに高めることができ、タッチセンサ４００の厚さが薄くなるので、タッチセンサを含む表示装置が表示する映像の透過率などの光学特性を改善することができる。また、タッチ電極４１０、４２０上に形成された第１および第２微細突起４１３、４２３によって強い接着力が生じることで、表示装置が折り畳まれたり撓んだり曲げられる時に、タッチセンサと表示パネルまたはタッチセンサと偏光板が互いに分離することを防止することができる。

【0071】

一方、一定の角度に傾いた第１および第２微細突起４１３、４２３によって、表示装置を製造する工程でタッチセンサと偏光板が誤って付着した場合、タッチセンサと偏光板を容易に分離することができる。タッチセンサと偏光板を分離した後、タッチセンサと偏光板を再び互いに付着させることができるため、費用を節減して製造工程を短縮させることができる。

【0072】

下記では、前述した図１〜図９と共に図１０を参照して、本一実施例によるタッチセンサを含む表示装置について説明する。本発明の一実施例に係るタッチセンサを含む表示装置を説明するにあたって、前述したタッチセンサと同一の構成に対する詳細な説明は省略する。

【0073】

図１０は、本発明の一実施例に係るタッチセンサを含む表示装置の断面図である。図１０を参照すると、本発明の一実施例に係る表示装置１は、表示パネル３００、タッチパネル４００、偏光板５００およびカバーウィンドウ６００を含む。

【0074】

表示パネル３００は、映像を表示可能な領域である表示領域（ｄｉｓｐｌａｙ ａｒｅａ、ＤＡ）、そして表示領域（ＤＡ）の周辺に位置する周辺領域（ｐｅｒｉｐｈｅｒａｌ ａｒｅａ、ＰＡ）を含む。図１０に示す実施例において、表示パネル３００は、上側方向に映像を表示することができる。

【0075】

表示領域（ＤＡ）には、複数の画素（ＰＸ）および画素（ＰＸ）と連結して駆動信号を伝達する複数の表示信号線（図示せず）が含まれる。表示信号線は、ゲート信号を伝達する複数のゲート信号線（図示せず）およびデータ信号を伝達する複数のデータ線（図示せず）を含む。ゲート信号線とデータ線は互いに交差しながら伸びることができる。表示信号線は、周辺領域（ＰＡ）に延長してパッド部（図示せず）を形成することができる。

【0076】

複数の画素（ＰＸ）は、略行列形態で配列されてもよいが、略行列形態に限定されるものではない。各画素（ＰＸ）は、ゲート線およびデータ線と連結された少なくとも一つのスイッチング素子（図示せず）およびスイッチング素子に連結された少なくとも一つの画素電極（図示せず）を含むことができる。スイッチング素子は、表示パネル３００に集積されている薄膜トランジスターなどの三端子素子であり得る。スイッチング素子は、ゲート線が伝達するゲート信号によってターンオンまたはターンオフされて、データ線が伝達するデータ信号を画素電極に伝達することができる。画素（ＰＸ）は、画素電極と対向する共通電極（図示せず）をさらに含むことができる。共通電極は共通電圧を伝達することができる。画素（ＰＸ）は、画素電極に印加されたデータ電圧により、所望の輝度の映像を表示することができる。

【0077】

有機発光表示装置の場合、画素電極と共通電極の間に発光層が位置することで、発光素子が形成されることができる。色表示を実現するために、各画素（ＰＸ）は、基本色（ｐｒｉｍａｒｙ ｃｏｌｏｒ）のうち一つを表示することができ、各画素（ＰＸ）が表示する基本色を合わせることで所望の色が認識される。基本色の例としては、赤色、緑色、青色などの三原色または四原色が挙げられる。各画素（ＰＸ）は、各画素電極に対応する所に位置し、基本色のうち一つを表す色フィルターをさらに含んでもよく、発光素子に含まれる発光層が、有色の光を発光してもよい。

【0078】

表示パネル３００上にはタッチパネル４００が位置する。タッチパネル４００は、ＯＣＡ（ｏｐｔｉｃａｌ ｃｌｅａｒ ａｄｈｅｓｉｖｅ）、ＯＣＲ（ｏｐｔｉｃａｌ ｃｌｅａｒ ｒｅｓｉｎ）、ＰＳＡ（ｐｒｅｓｓｕｒｅ ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ ａｄｈｅｓｉｖｅ）等の粘着剤１０ａを用いて表示パネル３００上に付着できる。しかし、タッチパネル４００が前述したタッチ基板４０４を中心として上面および下面にそれぞれ第１および第２タッチ電極４１０、４２０を形成し、前記第１および第２タッチ電極４１０、４２０上に複数の第１および第２微細突起４１３、４２３が形成されれば、前記粘着剤１０ａが不要になる。即ち、タッチ電極４１０、４２０に形成された第１および第２微細突起４１３、４２３によって、タッチパネル４００と表示パネル３００が合着されることができる。

【0079】

タッチパネル４００は、外部物体による接触を感知することができる。ここで接触には、使用者の手のような外部物体が表示装置１の上面に直接的にあたる場合だけでなく、外部物体が表示装置１に接近するか、接近した状態で動く（ｈｏｖｅｒｉｎｇ）場合も含む。

【0080】

前述したように、タッチパネル４００は、タッチ基板４０４、第１および第２タッチ電極４１０、４２０、第１および第２連結部４１２、４２２、第１および第２タッチ配線４１１、４２１を含む。

【0081】

本発明の一実施例によると、第１および第２タッチ電極４１０、４２０は、図１に示すように、タッチ基板４０４の同一面に形成されてもよく、図９に示すように、タッチ基板４０４の互いに異なる面である上面および下面に形成されてもよい。

【0082】

そして、第１および第２タッチ電極４１０、４２０には、繊毛形状の複数の微細突起が形成される。第１タッチ電極４１０の上面には複数の第１微細突起４１３が形成され、第２タッチ電極４２０の上面には複数の第２微細突起４２３が形成される。第１および第２微細突起４１３、４２３は、タッチパネル４００と異なる構成を合着させることができる。

【0083】

前述したように、第１および第２微細突起４１３、４２３は、トッケイヤモリの足の裏に形成された微細な繊毛形状と同一または類似した形状からなることができる。複数の第１および第２微細突起４１３、４２３が前記形状からなることで、ファンデルワールス結合による静電気的引力が集められて大きな接着力が生じる。

【0084】

一方、第１および第２微細突起４１３、４２３の各端部は、複数本に分かれた形状からなることができる。そして、前記複数の第１および第２微細突起４１３、４２３は、タッチ基板４０４に対して一定の角度に傾いた形状に配置される。前記複数の第１および第２微細突起４１３、４２３が一定の角度に傾いた形状に配置されれば、前述したように接着された物体から容易に分離させる方向性接着力（ｄｉｒｅｃｔｉｏｎａｌ ａｄｈｅｓｉｏｎ）が生じる。

【0085】

図１に示すように、タッチパネル４００の第１および第２タッチ電極４１０、４２０がタッチ基板４０４の上面に形成される場合、粘着剤なしに偏光板５００がタッチパネル４００上に合着され得る。本発明の一実施例によると、第１および第２タッチ電極４１０、４２０に形成された第１および第２微細突起４１３、４２３が強い接着力を提供するため、前述したように、粘着剤なしに偏光板５００とタッチパネル４００が合着され得る。

【0086】

一方、図９に示すように、第１および第２タッチ電極４１０、４２０がタッチ基板４０４の互いに異なる面である上面および下面にそれぞれ形成される場合は、タッチパネル４００と表示パネル３００を結合する時に使用される粘着剤１０ａが不要である。前述したように、タッチ基板４０４の下面に形成された第２タッチ電極４２０に形成された複数の第２微細突起４２３により、タッチパネル４００と表示パネル３００が合着されることができる。

【0087】

偏光板５００は、フレキシブルフィルム形態であることができる。偏光板５００は、ＰＶＡ（ｐｏｌｙｖｉｎｙｌ ａｌｃｏｈｏｌ）を含むことができ、偏光板５００の両側には、少なくとも一つの支持体が付着できる。支持体は、ＴＡＣ（ｔｒｉ ａｃｅｔａｔｅ ｃｅｌｌｕｌｏｓｅ）、ＣＡＰ（ｃｅｌｌｕｌｏｕｓ ａｃｅｔａｔｅ ｐｒｏｐｉｏｎａｔｅ）、ＷＶ−ＴＡＣ（ｗｉｄｅ ｖｉｅｗ−ＴＡＣ）等を含むことができる。偏光板５００の一側面には、粘着剤が形成されることができる。

【0088】

偏光板５００は、偏光板５００の下部に位置する表示パネル３００、タッチパネル４００等が含む様々な電極または配線で反射する外部光が視認されることを防止できる。即ち、外部から表示装置１の内部に入射して偏光板５００を通過し、偏光板５００の下の電極または配線で反射して再び偏光板５００に入射された光は、外部から偏光板５００に入射した光と相殺干渉を起こすことで外部から視認されない。

【0089】

偏光板５００上にはカバーウィンドウ６００がさらに設けられることができる。カバーウィンドウ６００は、プラスチックまたはガラスなどの絶縁物質からなることができる。カバーウィンドウ６００は、フレキシブルであっても固くてもよい。カバーウィンドウ６００の表面は、外部物体が接触可能な表示装置１のタッチ面であってもよい。カバーウィンドウ６００は、ＯＣＡ、ＯＣＲ、ＰＳＡなどの粘着剤（図示せず）を用いて偏光板５００の上に付着することができる。

【0090】

従って、前述した本発明の一実施例に係る表示装置は、第１および第２タッチ電極４１０、４２０に第１および第２微細突起４１３、４２３が形成されることで、タッチ基板４０４を中心として上面および下面のうち少なくとも一つに接着力を提供することができる。

【0091】

上記のように、タッチ基板４０４上に形成されたタッチ電極４１０、４２０の上面または下面に複数の微細突起４１３、４２３が形成されれば、タッチパネル４００と偏光板５００またはタッチパネル４００と表示パネル３００を付着するための接着剤または粘着剤が必要ないため、表示装置の厚さをより薄くすることができる。

【0092】

また、前述した本発明の一実施例に係る表示装置は、折り畳まれたり撓んだり曲げられたりできる表示装置１の柔軟性をさらに高めることができ、タッチセンサ４００の厚さが薄くなるので、タッチセンサを含む表示装置が表示する映像の透過率などの光学特性を改善することができる。

【0093】

また、タッチ電極４１０、４２０上に形成された第１および第２微細突起４１３、４２３が強い接着力を生じさせるため、前述した本発明の一実施例に係る表示装置は、表示装置が折り畳まれたり撓んだり曲げられる時に、タッチパネルと表示パネルまたはタッチパネルと偏光板が互いに分離することを防止できる。

【0094】

一方、一定の角度に傾いた第１および第２微細突起４１３、４２３により、表示装置を製造する工程でタッチパネルと偏光板が誤って付着した場合、タッチパネルと偏光板を容易に分離することができ、タッチセンサと偏光板を再び互いに付着させることができるため、費用を節減して製造工程を短縮させることができる。

【0095】

下記では、前述した図１〜図９と共に図１１〜図２６を参照して、本一実施例によるタッチセンサの製造方法について説明する。本発明の一実施例に係るタッチセンサの製造方法を説明するにあたって、前述したタッチセンサと同一の構成に対する詳細な説明は省略する。

【0096】

図１１〜図１９は、タッチセンサのタッチ電極の製造過程を順に示した図面であり、図２０〜図２４は、タッチ電極の上面に微細突起を形成する過程を順に示した図面であり、図２５および図２６は、タッチ電極の上面に微細突起を形成する他の過程を順に示した図面である。

【0097】

先ず、図１１〜図１９を参照して、タッチ基板４０４上に第１および第２タッチ電極４１０、４２０等を形成する過程について説明する。図１１を参照すると、シクロオレフィンポリマー（ｃｙｃｌｉｃ ｏｌｅｆｉｎ ｐｏｌｙｍｅｒ、ＣＯＰ）フィルム、非延伸ポリカーボネート（ｐｏｌｙ ｃａｒｂｏｎａｔｅ、ＰＣ）フィルム、トリアセチルセルロース（ｔｒｉａｃｅｔｙｌ ｃｅｌｌｕｌｏｓｅ、ＴＡＣ）フィルムなどの母基板４０１上に導電層が形成される。導電層は、順次積層された第１導電層４１と第２導電層４３を含むことができるが、第１導電層４１と第２導電層４３を含む態様に限定されるものではない。

【0098】

導電層が、順次積層された第１導電層４１と第２導電層４３を含む場合、第１導電層４１は、前述したタッチ電極４１０、４２０をなす物質で、例えば、金属ナノワイヤー（ｍｅｔａｌ ｎａｎｏｗｉｒｅ）、ＰＥＤＯＴなどの導電性ポリマー（ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ ｐｏｌｙｍｅｒ）、メタルメッシュ（ｍｅｔａｌ ｍｅｓｈ）、炭素ナノチューブ（ＣＮＴ）、ＩＴＯ（ｉｎｄｉｕｍ ｔｉｎ ｏｘｉｄｅ）、ＩＺＯ（ｉｎｄｉｕｍ ｚｉｎｃ ｏｘｉｄｅ）、薄い金属層などの透明な導電物質を少なくとも一つ含むことができる。第２導電層４３は、アルミニウム（Ａｌ）のような金属物質を含むことができる。

【0099】

次の図１２および図１３を参照すると、第１導電層４１と第２導電層４３がパターニングされることで、第１中間パターン４１０Ｐと第２中間パターン４２０Ｐ、第２連結パターン４２２Ｐ、そして第１中間パターン４１０Ｐおよび第２中間パターン４２０Ｐと連結されている第１タッチ配線４１１および第２タッチ配線（図示せず）が形成される。第１中間パターン４１０Ｐと第２中間パターン４２０Ｐの形態は、それぞれ前述した第１タッチ電極４１０と第２タッチ電極４２０と同一であってもよい。

【0100】

同一の列に位置する第２中間パターン４２０Ｐは、第２中間パターン４２０Ｐと同一層に位置し、共にパターニングされる第２連結パターン４２２Ｐを通じて互いに連結されてもよい。同一の列に位置する第２中間パターン４２０Ｐが第２連結パターン４２２Ｐを通じて互いに連結される態様とは違って、同一行に位置する第１中間パターン４１０Ｐが別途の第１連結パターン（図示せず）を通じて互いに連結されてもよい。しかし、図１２および図１３と違って、第２中間パターン４２０Ｐは別の第２連結パターンを通じて互いに連結され、第１中間パターン４１０Ｐが同一の行に位置する第１連結パターンを通じて連結されてもよい。

【0101】

次の図１４および図１５を参照すると、第１中間パターン４１０Ｐと第２中間パターン４２０Ｐ、そして第２連結パターン４２２Ｐの上部層である第２導電層４３がエッチングなどの方法で除去されて、透明な複数の第１タッチ電極４１０、複数の第２タッチ電極４２０、そして複数の第２連結部４２２が形成される。図１４および図１５とは違って、同一の列に配列された第１タッチ電極４１０が同一層に位置する第１連結部４１２に連結された場合、本段階で第２連結部４２２の代わりに第１連結部４１２を形成することもできる。

【0102】

第１タッチ配線４１１および第２タッチ配線４２１は、依然として第１導電層４１および第２導電層４３を全て含み、低抵抗配線をなすことができる。

【0103】

次の図１６および図１７を参照すると、第１タッチ電極４１０、第２タッチ電極４２０、第２連結部４２２およびタッチ配線上に絶縁物質が積層されてパターニングされれば、第２連結部４２２上に位置し、第２連結部４２２を覆う絶縁膜４３０が形成される。

【0104】

次の図１８および図１９を参照すると、絶縁膜４３０上に導電性物質が積層されパターニングされることで第２連結部４２２と絶縁して交差し、一行で互いに隣接した第１タッチ電極４１０を連結する第１連結部４１２が形成される。図１８および図１９で示された態様により、第１タッチ電極４１０および第２タッチ電極４２０で構成されるタッチセンサが母基板４０１上に完成する。

【0105】

図１１〜図１９に示された第１および第２タッチ電極４１０、４２０を形成する工程は、母基板４０１の同一面に第１および第２タッチ電極４１０、４２０を形成する工程である。しかし、母基板４０１の互いに異なる面、即ち、母基板４０１の上面および下面に第１導電層４１および第２導電層４３を形成することができる。但し、図１１〜図１９と違って、母基板４０１の上面では第１中間パターンのみを形成し、母基板４０１の下面では第２中間パターンのみを形成することができる。

【0106】

母基板４０１の上面では第１中間パターンのみが形成され、母基板４０１の下面では第２中間パターンのみが形成される場合、第１中間パターンは、前述した図８および図９に示す第１タッチ電極４１０で形成され、第２中間パターンは、図８および図９に示す第２タッチ電極４２０で形成されることができる。

【0107】

次に、図２０〜図２４を参照して、第１および第２タッチ電極４１０、４２０上に複数の微細突起を形成する過程について説明する。図２０〜図２２を参照すると、前述した工程によって形成された第１および第２タッチ電極４１０、４２０上に感光性物質であるフォトレジスト（ＰＲ）が形成される。前記フォトレジスト（ＰＲ）を露光および現像することで第１および第２タッチ電極４１０、４２０上に第１マスクパターン（ＰＲ１）が形成される。第１マスクパターン（ＰＲ１）は、第１および第２タッチ電極４１０、４２０の上面に形成される複数の微細突起に対応するパターンからなる。

【0108】

図２３および図２４を参照すると、第１マスクパターン（ＰＲ１）をエッチングマスクとして使い、エッチング工程を行うことによって第１および第２タッチ電極４１０、４２０にそれぞれ第１および第２微細突起４１３、４２３が形成される。エッチング工程に使用されるエッチング液の種類およびエッチング工程時間を調節することで、第１および第２タッチ電極４１０、４２０上面に前述した繊毛形状の微細突起が形成される。エッチング工程が完了した後、第１および第２タッチ電極４１０、４２０上に形成された第１マスクパターン（ＰＲ１）が除去される。

【0109】

図２０〜図２２を用いて説明されるのは、第１および第２タッチ電極４１０、４２０上にフォトレジスト（ＰＲ）を形成した後、露光および現像工程を通して、第１および第２タッチ電極４１０、４２０上に第１マスクパターン（ＰＲ１）を形成する工程である。一方、下記では、図２５および図２６を参照して、マスクモールド４７０に第１マスクパターン（ＰＲ２）を形成した後、第１マスクパターン（ＰＲ２）を第１および第２タッチ電極４１０、４２０上に転写する工程を説明する。

【0110】

図２５および図２６を参照すると、外部に位置するマスクモールド４７０に第１マスクパターン（ＰＲ２）が形成される。マスクモールド４７０にマスクパターンを形成する工程は、公知のソフトリソグラフィ（ｓｏｆｔ ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ）による工程であるため、マスクモールド４７０にマスクパターンを形成する工程の詳細な説明は省略する。第１マスクパターン（ＰＲ２）が形成されたマスクモールド４７０を第１および第２タッチ電極４１０、４２０上に移動させた後、第１マスクパターン（ＰＲ２）が第１および第２タッチ電極４１０、４２０に転写される。第１マスクパターン（ＰＲ２）が第１および第２タッチ電極４１０、４２０に転写されることにより、前述した図２２と同様に、第１および第２タッチ電極４１０、４２０上に第１マスクパターンが形成されることができる。

【0111】

前述したように、図２５および図２６では、第１および第２タッチ電極４１０、４２０に直接マスクパターンが形成されず、マスクモールド４７０の一側面にマスクパターンが形成され、マスクモールド４７０の一側面に形成されたマスクパターンを第１および第２タッチ電極４１０、４２０に転写することで第１および第２タッチ電極４１０、４２０上に第１マスクパターンが形成される。

【0112】

前述した工程によって形成されたタッチセンサ４００は、第１および第２タッチ電極４１０、４２０に第１および第２微細突起４１３、４２３が形成されることで、タッチ基板４０４を中心として上面および下面のうち少なくとも一つに接着力を提供することができる。

【0113】

上記ように、タッチ基板４０４上に形成されたタッチ電極４１０、４２０の上面に複数の微細突起４１３、４２３が形成されれば、表示装置で偏光板５００のような他の構成要素を付着させる時に接着剤または粘着剤が必要なく、タッチセンサ４００の厚さをより減らすことができ、タッチセンサ４００を含む表示装置の厚さも共に減らすことができる。

【0114】

以上により、本発明の好適な実施例について詳しく説明したが、本発明の権利範囲は本発明の好適な実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲で定義している本発明の基本概念を利用した当業者の様々な変形および改良形態も本発明の権利範囲に属する。

【符号の説明】

【0115】

３００：表示パネル
４００：タッチパネル
４０４：タッチ基板
４１０：第１タッチ電極
４１１：第１タッチ配線
４１２：第１連結部
４１３：第１微細突起
４２０：第２タッチ電極
４２１：第２タッチ配線
４２２：第２連結部
４２３：第２微細突起
４３０：絶縁膜

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】

【図20】

【図21】

【図22】

【図23】

【図24】

【図25】

【図26】