特許6862817銅およびモリブデンを含む多層薄膜をエッチングする液体組成物、およびこれを用いたエッチング方法、並びに表示デバイスの製造方法

発明の名称　銅およびモリブデンを含む多層薄膜をエッチングする液体組成物、およびこれを用いたエッチング方法、並びに表示デバイスの製造方法

出願人　三菱瓦斯化学株式会社　（識別番号 4466）

　　　　特許公開件数ランキング 495 位（56件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 191 位（145件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6862817

公報発行日　2021年4月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6862817

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