特許6863686ウエハ照明ユニット用スペーサー変位装置、及びウエハ照明ユニット

発明の名称　ウエハ照明ユニット用スペーサー変位装置、及びウエハ照明ユニット

出願人　ズス・マイクロテック・リソグラフィ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング　（識別番号 591004412）

　　　　特許公開件数ランキング 13975 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3906 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6863686

公報発行日　2021年4月21

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6863686

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