特許 6863834 Ｘ線管装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6863834

(24)【登録日】2021年4月5日

(45)【発行日】2021年4月21日

(54)【発明の名称】Ｘ線管装置

(51)【国際特許分類】

   H05G 1/02 20060101AFI20210412BHJP

   H01J 35/12 20060101ALI20210412BHJP

   H01J 35/00 20060101ALI20210412BHJP

【ＦＩ】

   H05G1/02 P

   H01J35/12

   H01J35/00 A

【請求項の数】5

【全頁数】11

(21)【出願番号】特願2017-124524(P2017-124524)

(22)【出願日】2017年6月26日

(65)【公開番号】特開2019-9023(P2019-9023A)

(43)【公開日】2019年1月17日

【審査請求日】2020年3月25日

(73)【特許権者】

【識別番号】503382542

【氏名又は名称】キヤノン電子管デバイス株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001737

【氏名又は名称】特許業務法人スズエ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】渡辺 利巳

【審査官】 右▲高▼ 孝幸

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１７−０５４６７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−１７９２４０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０５Ｇ １／０２

Ｈ０１Ｊ ３５／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

電子を放出する陰極と、
前記陰極から放出される電子が衝突することでＸ線を発生する陽極ターゲットと、
冷却材が流通する第１流路と、それぞれ前記第１流路の中心軸と交差する方向に延在した第１当接面および第２当接面を有する段差部と、を具備するジョイント部材と、
前記ジョイント部材に接続された一端部と前記陽極ターゲットが接合された他端部とを有し、管軸方向に沿って延在する第１筒管と、
前記第１筒管内に設置され、前記第１流路に連通する第１端部と、前記第１端部から流入した冷却材を前記陽極ターゲットに向けて放出する第２端部とを有する第２筒管と、
弾性材で形成された弾性部材であって、大径部およびこの大径部よりも小径の小径部を有する段付きの円筒形状を成し、前記第１端部の外周に嵌合され、前記大径部は、前記ジョイント部材の段差部に係合し、前記第１当接面に当接した第１係合面と、前記第２当接面に当接した第２係合面とを有している弾性部材と、
を備えるＸ線管装置。

【請求項2】

前記第１流路は、第１小径流路と前記第１小径流路よりも大径の第１大径流路と前記第１小径流路と第１大径流路との間に位置した段差と、を有し、
前記第１筒管の前記一端部は前記ジョイント部材に接合され前記第１大径流路に連通し、前記第２筒管の前記第１端部は、前記第１大径流路を通り前記第１小径流路内に挿入されている請求項１に記載のＸ線管装置。

【請求項3】

前記段差部の第１当接面および第２当接面は、それぞれ前記第１流路の中心軸と直交する平面で構成され、前記第１流路の中心軸の方向に沿って間隔を置いて互いに対向している請求項１又は２に記載のＸ線管装置。

【請求項4】

前記弾性部材は、合成樹脂あるいはゴムで形成されている請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線管装置。

【請求項5】

前記弾性部材は、シリコーンゴム、フッ素ゴム、エチレン・プロピレンゴム、及びニトリルゴムの少なくとも１つで形成されている請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線管装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明の実施形態は、Ｘ線管装置に関する。

【背景技術】

【0002】

蛍光Ｘ線分析に使用されるＸ線管装置は、陰極および陽極ターゲットを有するＸ線管と、Ｘ線管を収容する管容器と、管容器内に配置された高電圧ケーブルを挿入接続するための高電圧リセプタクルと、を備えている。Ｘ線管装置は、更に、陽極ターゲットの近傍に冷却水を導いて冷却するための導水パイプと、導水パイプに冷却水を供給および排水する冷却パイプと、を備えている。導水パイプは、内側パイプおよび外側パイプを有する二重管構造を有し、ジョイント部を介して冷却パイプに接続されている。

【0003】

Ｘ線管装置において、サブクール沸騰やキャビテーション時に発生する気泡の発生、消滅に伴い振動や騒音が発生する時が有る。例えば、導水パイプの端部とジョイント部との嵌合隙間が大きい場合、導水パイプの振動が大きくなり、更に、騒音が大きくなる可能性がある。導水パイプ端部とジョイント部との嵌合箇所に振動吸収を目的にゴム部材を取付ける事により、振動や騒音を低減することが考えられる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開平６−８４４９０号公報

【特許文献2】特開２０１０−４４８９７号公報

【特許文献3】特開２０１３−２５４６５２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかしながら、ゴム部材が水の流れの影響により導水パイプ端部に沿って移動し易く、安定して固定されない可能性がある。そのため、振動、騒音の低減効果が安定して維持されない可能性がある。

【0006】

本発明の実施形態の課題は、振動および騒音を安定して低減することが可能なＸ線管装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

実施形態によれば、Ｘ線管装置は、電子を放出する陰極と、前記陰極から放出される電子が衝突することでＸ線を発生する陽極ターゲットと、冷却材が流通する第１流路と、それぞれ前記第１流路の中心軸と交差する方向に延在した第１当接面および第２当接面を有する段差部と、を具備するジョイント部材と、前記ジョイント部材に接続された一端部と前記陽極ターゲットが接合された他端部とを有し、管軸方向に沿って延在する第１筒管と、前記第１筒管内に設置され、前記第１流路に連通する第１端部と、前記第１端部から流入した冷却材を前記陽極ターゲットに向けて放出する第２端部とを有する第２筒管と、弾性材で形成された弾性部材であって、大径部およびこの大径部よりも小径の小径部を有する段付きの円筒形状を成し、前記第１端部の外周に嵌合され、前記大径部は、前記ジョイント部材の段差部に係合し、前記第１当接面に当接した第１係合面と、前記第２当接面に当接した第２係合面とを有している弾性部材と、を備えている。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】図１は、第１の実施形態に係るＸ線管装置の一例を示すＸ線管装置の縦断面図。

【図2】図２は、前記Ｘ線管装置の一部を拡大して示す部分断面図。

【図3】図３は、弾性部材の一例を示す上面図である。

【図4】図４は、第２の実施形態に係るＸ線管装置の一部を拡大して示す部分断面図。

【図5】図５は、第２の実施形態における弾性部材およびジョイント部材を示す斜視図。

【図6】図６は、変形例に係るジョイント部材の一部を示す断面図。

【図7】図７は、他の変形例に係るジョイント部材の一部を示す断面図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、図面を参照しながら、実施形態に係るＸ線管装置ついて説明する。

【0010】

なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更であって容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実際の態様に比べ、各部の大きさ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。

【0011】

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係るＸ線管装置の全体を示す縦断面図、図２は、導水パイプのジョイント接続部を拡大して示す部分断面図である。

【0012】

図１に示すように、本実施形態に係るＸ線管装置１は、Ｘ線管２と、このＸ線管２を含む管容器３とを備える。Ｘ線管装置１は、全体として、管軸ＴＡを有するほぼ円筒状あるいは円柱形状を成している。以下の説明では、管軸ＴＡに沿った方向を軸方向と称する。軸方向において、Ｘ線管２側を下方向（下側）と称し、下方向に対して反対方向を上方向（上側）と称する。また、管軸ＴＡに対して垂直な方向を径方向と称する。なお、図示した例では、管軸ＴＡを上下方向（鉛直方向）に示しているが、これに限らず、Ｘ線管装置１は、管軸ＴＡが左右方向（水平方向）に延在するように、配置されてもよい。

【0013】

管容器３は、ほぼ円筒形状に形成され、管軸ＴＡと同軸的に配置されている。管容器３は、例えば、金属材料で形成されている。管容器３の内壁に鉛板２１が内貼りされている。Ｘ線管２は、略円筒状あるいは円柱状に形成され、管容器３内に、管軸ＴＡと同軸的に配置されている。

【0014】

Ｘ線管装置１は、高電圧ケーブルを挿入接続するための高電圧リセプタクル４と、冷却パイプ５と、ジョイント部材（以下、単に、ジョイントと称する）６と、導水パイプ７と、高電圧リセプタクル４と導水パイプ７とを電気的に接続する導体スプリング８と、高電圧リセプタクル４の外側に設けられる円筒形状の絶縁筒体９と、後述する空盆１０と内部空間２２とを隔離するベローズ１１と、を更に備えている。

【0015】

高電圧リセプタクル４は、高電圧ケーブルを接続するために、上端部が開口し、且つ有底の円筒形状に形成されている。高電圧リセプタクル４は、管容器３の上部内で、管軸ＴＡと同軸的に配置され、管容器３の上側端部に連結されている。高電圧リセプタクル４は、そこ底部を内側から外側に貫通して設けられた複数の接続端子１２を備えている。接続端子１２は、高電圧リセプタクル４に挿入される外部電路のブッシングと、端子とを含んでいる。接続端子１２は、導体スプリング８を介してジョイント６に電気的に接続されている。導体スプリング８は、高電圧リセプタクル４と導水パイプ７とを電気的に接続し、導水パイプ７を介して、高電圧を後述する陽極ターゲット（陽極）１３に供給する。

【0016】

高電圧リセプタクル４と管容器３との間に、略円筒形状の絶縁筒体９が設けられている。絶縁筒体９は、管軸ＴＡと同軸的に配置され、高電圧リセプタクル４の外周側を覆っている。絶縁筒体９は、例えば、上端部を管容器３の内側に固定されている。絶縁筒体９は、絶縁油が流通可能な構造とされている。

【0017】

管容器３（鉛板２１）の内側の内部空間２２には、絶縁油が充填されている。ここで、内部空間２２は、例えば、管容器３の内側、Ｘ線管２及び高電圧リセプタクル４の外側、且つ後述する空盆１０以外の空間である。

【0018】

冷却パイプ５は、冷却材、例えば、純水を流すための導管である。冷却パイプ５は、高電圧リセプタクル４と絶縁筒体９との間に螺旋状に設けられている。冷却パイプ５は、冷却材が供給される給水口５ａを備える第１冷却パイプ５ｂと、冷却材が排出される排出口５ｄを備える第２冷却パイプ５ｃと、で構成されている。第１冷却パイプ５ｂは、給水口５ａが冷却材の供給源である循環冷却装置等（図示せず）に接続され、給水口５ａと反対側の端部がジョイント６に接続されている。一方、第２冷却パイプ５ｃは、排出口５ｄが循環冷却装置等（図示せず）に接続され、排出口５ｄと反対側の端部がジョイント６に接続されている。なお、冷却パイプ５は、螺旋状に設けられていなくともよい。冷却パイプ５は、高電圧リセプタクル４の外周壁に接触しないようにして保持された構造であればよい。

【0019】

ジョイント６は、Ｘ線管装置１の中心部、例えば、管軸ＴＡ上に設けられ、冷却パイプ５と導水パイプ７とを接続している。すなわち、ジョイント６に第１冷却パイプ５ｂの下端部および第２冷却パイプ５ｃの下端部が接続されている。導水パイプ７は、管軸ＴＡに沿って延在し、ジョイント６から後述するＸ線管２の陽極ブロック１４まで延びている。導水パイプ７の上端部は、ジョイント６に接続され、このジョイント６を介して冷却パイプ５に接続されている。ジョイント６の構成および配管の接続構造については後で詳細に説明する。

【0020】

導水パイプ（筒管）７は、円筒形状に形成された外側パイプ（第１筒管）７ａと、外側パイプ７ａの内側に同軸的に設けられた円筒形状の内側パイプ（第２筒管）７ｂと、を含む二重管構造を有している。導水パイプ７は、軸方向、例えば、管軸ＴＡに沿って延長して設けられ、ジョイント６の下部に接続されている。

【0021】

外側パイプ７ａの上端は、ジョイント６に液密に接続され、下端は陽極ブロック１４の上部に液密に接合されている。内側パイプ７ｂは、外側パイプ７ａの内径よりも小さい外径で形成されている。内側パイプ７ｂの上端部はジョイント６に接続あるいは嵌合され、下端部は、陽極ターゲット１３の近傍まで延び、先端ノズル部２４を構成している。

【0022】

Ｘ線管２は、陽極ターゲット（陽極）１３と、陽極ブロック１４と、電子を放出する陰極１５と、ウェネルト電極１６と、第１真空外囲器１７と、第２真空外囲器１８と、を備える。高電圧リセプタクル４に高電圧ケーブルが接続された場合、陽極ターゲット１３と陰極１５との間に、高電圧（管電圧）が印加される。

【0023】

陽極ブロック１４は、管軸ＴＡを中心軸とした有底の円筒形状に形成されている。陽極ブロック１４の開口部側には、外側パイプ７ａの下端部が固定されている。陽極ブロック１４の内側には、内側パイプ７ｂの先端ノズル部２４が配置されている。先端ノズル部２４は陽極ブロック１４の底板に隣接対向している。先端ノズル部２４から陽極ブロック１４の底部（又は、陽極ターゲット１３の設置方向）に向かって、冷却水が放出される。

【0024】

Ｘ線管装置１において、前述したジョイント６、導水パイプ７、及び陽極ブロック１４は、組み立てられることで、冷却材を流すための流路を構成する。なお、ジョイント６、導水パイプ７、及び陽極ブロック１４は、夫々、別体として記載したが、冷却材を流す流路を構成すれば、全て一体で形成されていてもよいし、部分的に一体に形成されていてもよい。冷却材が、冷却パイプ５と、ジョイント６、導水パイプ７、及び陽極ブロック１４で構成された流路を循環することで、内部空間２２に充填された絶縁油や陽極ターゲット１３等が冷却される。

【0025】

陽極ターゲット１３は、陽極ブロック１４の外側の底部に接合されている。陽極ターゲット１３は、電子が衝撃することによってＸ線が発生する。このとき、陽極ターゲット１３は、電子が衝撃することで温度が上昇するが、陽極ブロック１４の内側の流路を流れる冷却材によって冷却される。陽極ターゲット１３は、相対的に正の管電圧が印加される。

【0026】

陰極１５は、リング状のフィラメントで形成され、陽極ターゲット１３（または、陽極ブロック１４）から径方向の外側に所定の間隔を空けて設けられている。陰極１５は、電気的に接地されている。陰極１５から放出される電子は、ウェネルト電極１６の下端部を越えて陽極ターゲット１３上に衝突する。

【0027】

ウェネルト電極１６は、円形状に形成され、陽極ターゲット１３と陰極１５との間に設けられている。ウェネルト電極１６は、陰極１５から放出された電子を陽極ターゲット１３上に集束させる。

【0028】

第１真空外囲器１７は、内側円筒と、外側円筒とを有し、内側円筒と外側円筒との上端部が互いに接合されている。内側円筒及び外側円筒は、例えば、ガラス材、又はセラミックス材で形成されている。第１真空外囲器１７は、内側円筒の下端部が陽極ブロック１４に真空気密に接続され、外側円筒の下端部がＸ線管２の壁部に真空気密に接続され、Ｘ線管２の壁面の一部を構成している。

【0029】

第２真空外囲器１８は、有底の略円筒形状に形成されている。第２真空外囲器１８は、上端部がＸ線管の壁部に真空気密に接続され、Ｘ線管２の壁面の一部を構成している。第２真空外囲器１８は、電気的に接地される。第２真空外囲器１８は、底部の中心付近を貫通する開口部を有し、この開口部に、Ｘ線放射窓（窓部）１９が真空気密に接合されている。Ｘ線放射窓１９は、Ｘ線を透過する部材、例えば、ベリリウム薄板で形成されている。Ｘ線放射窓１９は、陽極ターゲット１３から発生するＸ線を透過し、Ｘ線をＸ線管装置１に外部へ放出する。また、Ｘ線管２は、外壁の一部に径方向の外側に突出する第１凸部２０ａと、第２凸部２０ｂとを備えている。

【0030】

ベローズ１１は、管容器３内で、Ｘ線管２の周囲に配設されている。ベローズ１１は、第１凸部２０ａに一端部が固定され、他端部が第２凸部２０ｂに固定されている。これにより、ベローズ１１は、内部空間２２と空盆１０とを隔離している。ベローズ１１は、樹脂性の弾性部材あるいはゴム部材で形成されている。ベローズ１１は、内部空間２２に充填されている絶縁油の膨張及び収縮等に応じて伸縮することにより、絶縁油の膨張および伸縮を空盆１０で吸収する。

【0031】

次に、ジョイント６の構成および配管の接続構造について詳細に説明する。図２は、ジョイント部分を拡大して示す断面図、図３は、ジョイント本体および弾性部材を示す斜視図である。

【0032】

図１および図２に示すように、ジョイント６は、例えば、金属材料により有底の円筒形状に形成された本体６ａを有している。本体６ａは、高電圧リセプタクル４と導水パイプ７との間に、管軸ＴＡと同軸的に配置されている。本体６ａの上端壁（天井壁）は、導体スプリング８により高電圧リセプタクル４に電気的に接続されている。

【0033】

本体６ａは、その内部に形成された、第１流路１０ａ、第２流路１０ｂ、第３流路１０ｃを有している。第１流路１０ａは、管軸ＴＡと同軸的に形成され、本体６ａの下端から上端近傍まで延在している。第１流路１０ａは、本体６ａの下端に開口している。第１流路１０ａは、段付きの流路としている。すなわち、第１流路１０ａは、大径の第１大径流路１０ａ１、および第１大径流路１０ａ１よりも径の小さい第１小径流路１０ａ２、こられ大径流路と小径流路との間に位置する段差１０ａ３を有している。

【0034】

第１大径流路１０ａ１は、本体６ａの下端に開口しているとともに、本体６ａの下端から本体６ａの軸方向中途部まで延在している。第１小径流路１０ａ２は、第１大径流路１０ａ１の上端から本体６ａの天井壁の近傍まで延在している。段差１０ａ３は、環状を成し、管軸ＴＡとほぼ直交する平面に位置している。

【0035】

第２流路１０ｂは、管軸ＴＡと直交する径方向に延在し、第１小径流路１０ａ２に連通する一端と、本体６ａの外周面に開口した他端とを有している。第３流路１０ｃは、管軸ＴＡと直交する径方向に延在し、第１大径流路１０ａ１に連通する一端と、本体６ａの外周面に開口した他端とを有している。

【0036】

本実施形態によれば、図２および図３に示すように、ジョイント６の本体６ａは、環状の係合溝（段差部）２０を有している。係合溝２０は、段差１０ａ３の近傍で、第１小径流路１０ａ２の内周面に形成され、管軸ＴＡとほぼ同軸的に設けられている。この係合溝２０により、管軸ＴＡ（第１流路１０ａの中心軸）と直交する平面にそれぞれ位置する環状の第１当接面２１ａおよび第２当接面２１ｂが規定されている。第１当接面２１ａおよび第２当接面２１ｂは、管軸ＴＡ方向に所定の間隔を置いて、互いに対向している。

【0037】

図１および図２に示すように、ジョイント６の第２流路１０ｂには、第１冷却パイプ５ｂの一端部が液密に接続されている。第３流路１０ｃには、第２冷却パイプ５ｃの一端部が液密に接続されている。これにより、第１冷却パイプ５ｂおよび第２冷却パイプ５ｂは、それぞれ第２流路１０ｂおよび第３流路１０ｃを通して第１流路１０ａの第１小径流路１０ａ２および第１大径流路１０ａ１に連通している。

【0038】

導水パイプ７の外側パイプ７ａは、ジョイント６の第１大径流路１０ａ１の内径とほぼ同一の内径を有している。外側パイプ７ａの上端は、溶接等により、本体６ａの下端に液密に接合されている。これにより、外側パイプ７ａはジョイント６の第１大径流路１０ａ１に連通している。内側パイプ７ｂは、外側パイプ７ａ内に同軸的に配置されている。内側パイプ７ｂの上端部は、第１大径流路１０ａ１内を通り、第１小径流路１０ａ２に同軸的に嵌合されている。内側パイプ７ｂは、第１小径流路１０ａ２の内径（穴径）と略同一の外径を有し、第１小径流路１０ａ２との間に所定の公差の嵌合隙間を有している。これにより、内側パイプ７ｂは、第１小径流路１０ａ２および第２流路１０ｂを介して第１冷却パイプ５ｂに連通している。

【0039】

内側パイプ７ｂの上端部外周に弾性部材３０が装着あるいは嵌合されている。同時に、弾性部材３０は、本体６ａの係合溝２０に係合されている。弾性部材３０は、内側パイプ７ｂの外周面と第１小径流路１０ａ２との間の嵌合隙間を埋めるとともに、ジョイント６に対して内側パイプ７ｂを弾性的に支持し、振動および騒音の発生を抑制する機能を有している。

【0040】

図２および図３に示すように、本実施形態では、弾性部材３０は、円筒状あるいはパイプ状に形成されている。弾性部材３０は、例えば、内側パイプ７ｂの外径と略等しい内径を有する内孔（貫通孔）３１を有する、段付きの円筒形状に形成されている。すなわち、弾性部材３０は、大径の第１円筒部３２ａと、第１円筒部３２ａよりも外径の小さい第２円筒部３２ｂと、これら円筒部間に形成された段差部と、を一体に有している。第１円筒部３２ａの外径および高さ（幅）は、前述したジョイント６の係合溝２０の内径および幅とほぼ等しく形成されている。第２円筒部３２ｂの外径は、第１小径流路１０ａ２の内径よりも大きく、かつ、係合溝２０の小径部の径とほぼ等しく形成されている。

【0041】

第１円筒部３２ａの上端面は、環状の第１係合面３４ａを構成し、第１円筒部３２ａの下面、すなわち、段差部は、環状の第２係合面３４ｂを構成している。第１係合面３４ａおよび第２係合面３４ｂは、管軸ＴＡ（内側パイプ７ｂの中心軸、第１小径流路１０ａ２の中心軸）とほぼ直交する平面であり、管軸ＴＡ方向に所定の間隔を置いて、互いに対向している。

【0042】

このような弾性部材３０は、合成樹脂性、ゴム等の弾性材料で形成されている。例えば、弾性部材３０は、シリコーンゴム、フッ素ゴム、エチレン・プロピレンゴム、及びニトリルゴムの内の少なくとも１つで構成されていればよい。

【0043】

弾性部材３０は、内側パイプ７ｂの上端部外周に装着あるいは嵌合されている。同時に、弾性部材３０は、本体６ａの係合溝２０に係合されている。弾性部材３０の第１円筒部３２ａは、外周面が係合溝２０の底面に弾性的に当接し、第１係合面３４ａおよび第２係合面３４ｂがそれぞれ係合溝２０の第１当接面２１ａおよび第２当接面２１ｂに弾性的に当接している。また、第２円筒部３２ｂの外周面は、係合溝２０の小径部に弾性的に嵌合している。

【0044】

内側パイプ７ｂの外周面と第１小径流路１０ａ２との間の嵌合隙間は弾性部材３０により埋められている。また、内側パイプ７ｂの上端部は、弾性部材３０によりジョイント６に対して弾性的に支持され、一定の嵌合隙間を維持している。これにより、内側パイプ７ｂに振動が伝わった場合でも、弾性部材３０により内側パイプ７ｂの振動を吸収し、内側パイプ７ｂがジョイント６に当たって騒音を発生することが防止される。また、弾性部材３０は、管軸ＴＡと直交する平面である第１係合面３４ａおよび第２係合面３４ｂが、同じく、管軸ＴＡと直交する平面である第１当接面２１ａおよび第２当接面２１ｂにそれぞれ当接、係合した状態で、係合溝２０に装着されていることから、これら係合面および当接面により、管軸ＴＡ方向に沿った移動あるいは位置ずれが規制されている。そのため、弾性部材３０は所定の嵌合位置に確実に保持され、上述した振動および騒音の低減効果を長期間に亘り安定して発揮することができる。

【0045】

上記のように構成されたＸ線管装置１において、冷却材は、第１冷却パイプ５ｂから送られ、ジョイント６の第２流路１０ｂを介して上端部から内側パイプ７ｂに流入する。内側パイプ７ｂに流入した冷却材は、内側パイプ７ｂを通り先端ノズル部２４から陽極ターゲット１３が設置された陽極ブロック１４の底部に向かって放出される。陽極ターゲット１３を冷却した後、冷却材は、陽極ブロック１４の内側表面、又は外側パイプ７ａの内側表面と、内側パイプ７ｂの外周部とで構成された流路を通って、ジョイント６の第１流路１０ａ１に流入する。更に、冷却材は、第３流路１０ｃを介して第２冷却パイプ５ｃに送られ、第２冷却パイプ５ｃの排出口５ｄから排出される。

【0046】

Ｘ線管装置１は、高電圧リセプタクル４に高電圧ケーブルが接続された場合、陽極ターゲット１３に管電圧が印加される。陰極１５から放出された電子が陽極ターゲット１３に衝撃し、Ｘ線が発生する。このとき、陽極ブロック１４の内側に構成された流路を流れる冷却材によって、陽極ターゲット１３が冷却される。この際、冷却材のサブクール沸騰やキャビテ―ションにより、気泡が発生する。そして、気泡が発生及び消滅することで、内側パイプ７ｂが振動をする。さらに、内側パイプ７ｂの上端部では、内側パイプ７ｂと第１流路１０ａとの間には嵌合隙間があるために、内側パイプ７ｂが、振動し、第１流路１０ａの壁面に接触し得る。そのため、内側パイプ７ｂで騒音が生じ得る。本実施形態では、内側パイプ７ｂの上端部と第１流路１０ａの壁面との間に、弾性部材３０が設置されているため、内側パイプ７ｂの端部と第１流路１０ａとの嵌合隙間がばらついたとしても、内側パイプ７ｂの振動が抑制される。また、弾性部材３０およびジョイント６に段差部を設け、接触面積が大きい構造とすることにより、第１流路１０ａの軸方向（管軸ＴＡ方向）に沿った弾性部材３０の移動、位置ずれを規制し、長期間に亘り、弾性部材３０を所定位置に保持することができる。これにより、弾性部材３０による振動、騒音の低減効果を継続的に発揮することが可能となる。

【0047】

以上のことから、本実施形態によれば、振動および騒音を安定して低減することが可能なＸ線管装置が得られる。

【0048】

次に、他の実施形態に係るＸ線管装置について説明する。以下に述べる他の実施形態において、上述した第１の実施形態と同一の部分には、同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略あるいは簡略化し、第１の実施形態と異なる部分を中心に説明する。
（第２の実施形態）
図４は、第２の実施形態に係るＸ線管装置のジョイント部分を拡大して示す断面図、図５は、前記ジョイント部の本体および弾性部材を示す斜視図である。

【0049】

図４および図５に示すように、ジョイント６の本体６ａは、第１小径流路１０ａ２の周囲に設けられた段差部を有している。本実施形態において、この段差部は、環状の係合溝２０により構成されている。係合溝２０は、段差１０ａ３の近傍で、第１小径流路１０ａ２の内周面に形成され、管軸ＴＡとほぼ同軸的に設けられている。係合溝２０により、管軸ＴＡ（第１小径流路の中心軸）と直交する平面にそれぞれ位置する環状の第１当接面２１ａおよび第２当接面２１ｂが規定されている。第１当接面２１ａおよび第２当接面２１ｂは、管軸ＴＡ方向に所定の間隔を置いて、互いに対向している。

【0050】

本実施形態よれば、弾性部材３０は、段差部を有する構造ではなく、Ｏリング状あるいはパイプ状に形成されている。弾性部材３０の断面形状は、円形、楕円形、多角形のいずれでもよい。弾性部材３０は、樹脂性のゴム部材で形成されている。例えば、弾性部材３０は、シリコーンゴム、フッ素ゴム、エチレン・プロピレンゴム、及びニトリルゴムの内の少なくとも１つで構成されていればよい。弾性部材３０の内径は、内側パイプ７ｂの外径とほぼ等しくあるいは外径よりも僅かに小さく形成されている。弾性部材３０の外径は、第１小径流路１０ａ２の内径よりも大きな径に形成されている。更に、弾性部材３０の断面の幅（高さ、あるいは径）は、係合溝２０の幅と同等以上に形成されている。

【0051】

弾性部材３０は、内側パイプ７ｂの上端部外周に装着あるいは嵌合されている。同時に、弾性部材３０は、本体６ａの係合溝２０に係合されている。弾性部材３０の外面は、少なくとも第１当接面２１ａおよび第２当接面２１ｂに弾性的に当接し、これら当接面の間に挟まれている。

【0052】

本実施形態においても、内側パイプ７ｂの外周面と第１小径流路１０ａ２との間の嵌合隙間は弾性部材３０により埋められている。内側パイプ７ｂの上端部は、弾性部材３０によりジョイント６に対して弾性的に支持され、一定の嵌合隙間を維持している。これにより、内側パイプ７ｂに振動が伝わった場合でも、弾性部材３０により内側パイプ７ｂの振動を吸収し、内側パイプ７ｂがジョイント６に当たって騒音を発生することが防止される。また、弾性部材３０は、管軸ＴＡと直交する平面である第１当接面２１ａおよび第２当接面２１ｂにそれぞれ当接、係合した状態で、係合溝（段差部）２０に装着されていることから、これら当接面により、管軸ＴＡ方向に沿った移動あるいは位置ずれが規制されている。そのため、弾性部材３０は所定の嵌合位置に確実に保持され、上述した振動および騒音の低減効果を長期間に亘り安定して発揮することができる。

【0053】

以上のことから、本実施形態によれば、振動および騒音を安定して低減することが可能なＸ線管装置が得られる。

【0054】

本発明は上記実施形態あるいは変形例そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。

【0055】

Ｘ線管装置を構成する要素の材料、形状、大きさ等は、上述した実施形態に限定されることなく、必要に応じて種々変更可能である。ジョイント６の段差部は、弾性部材３０の軸方向の移動を規制する第１および第２当接面を有していればよく、これらの当接面は、管軸と直交する平面に限らず、管軸と交差する方向に延びる平面あるいは曲面であればよい。例えば、図６に示すように、ジョイント６の係合溝（段差部）２０は、三角形の断面形状を有し、それぞれ管軸に対して交差するように延在した第１当接面２１ａおよび第２当接面２１ｂを有していてもよい。あるいは、図７に示すように、係合溝（段差部）２０は、半円の断面形状を有し、管軸に対して交差する方向に湾曲した第１当接面２１ａおよび第２当接面２１ｂを有していてもよい。

【符号の説明】

【0056】

１…Ｘ線管装置、２…Ｘ線管、３…管容器、４…高電圧リセプタクル、
５…冷却パイプ、６…ジョイント接続部、６ａ…本体、７…導水パイプ、
７ａ…外側パイプ、７ｂ…内側パイプ、８…導体スプリング、９…絶縁筒体、
１０ａ…第１流路、１０ａ１…第１大径流路、１０ａ２…第１小径流路、
１１…ベローズ、１２…接続端子、１３…陽極ターゲット、１４…陽極ブロック、
１５…陰極、１６…ウェネルト電極、１７…第１真空外囲器、１８…第２真空外囲器、
２０…係合溝（段差部）、２１ａ…第１当接面、２１ｂ…第２当接面、
２４…先端ノズル部、３０…弾性部材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】