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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】6863942
(24)【登録日】2021年4月5日
(45)【発行日】2021年4月21日
(54)【発明の名称】送り装置を備えるロボットシステム
(51)【国際特許分類】
B25J 13/00 20060101AFI20210412BHJP
B23Q 7/10 20060101ALI20210412BHJP
B23Q 7/04 20060101ALI20210412BHJP
【ＦＩ】
B25J13/00 Z
B23Q7/10
B23Q7/04 M
【請求項の数】6
【全頁数】22
(21)【出願番号】特願2018-188511(P2018-188511)
(22)【出願日】2018年10月3日
(65)【公開番号】特開2020-55087(P2020-55087A)
(43)【公開日】2020年4月9日
【審査請求日】2020年3月23日
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】390008235
【氏名又は名称】ファナック株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100099759
【弁理士】
【氏名又は名称】青木 篤
(74)【代理人】
【識別番号】100123582
【弁理士】
【氏名又は名称】三橋 真二
(74)【代理人】
【識別番号】100112357
【弁理士】
【氏名又は名称】廣瀬 繁樹
(72)【発明者】
【氏名】大西 拓郎
【審査官】
貞光 大樹
(56)【参考文献】
【文献】
特開昭５５−１１３３９６（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開平３−２３８２３２（ＪＰ，Ａ）
【文献】
特開昭６０−１５３２７（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）
Ｂ２５Ｊ １／００ − ２１／０２
Ｂ２３Ｑ ７／００ − ７／１８
Ｂ６５Ｇ １／００ − １／２０
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ロボットと、
前記ロボットが作業を行う第１のテーブルと、
前記ロボットが作業を行う第２のテーブルと、
前記第１のテーブルを送り動作させる第１の送り装置と、
前記第２のテーブルを送り動作させる第２の送り装置と、
前記第１の送り装置と前記第２の送り装置とを連動させる連動部材と、
前記作業のための前記ロボットの第１の動作を制御するとともに、前記第１の動作とは別の動作であって、前記連動部材を操作するための前記ロボットの第２の動作を制御する制御装置と、を備え、
前記ロボットは、前記第２の動作で前記連動部材を操作することにより、前記第１のテーブル及び前記第２のテーブルを前記作業に応じた位置に各々配置する、ロボットシステム。
前記ロボットが作業を行う第１のテーブルと、
前記ロボットが作業を行う第２のテーブルと、
前記第１のテーブルを送り動作させる第１の送り装置と、
前記第２のテーブルを送り動作させる第２の送り装置と、
前記第１の送り装置と前記第２の送り装置とを連動させる連動部材と、
前記作業のための前記ロボットの第１の動作を制御するとともに、前記第１の動作とは別の動作であって、前記連動部材を操作するための前記ロボットの第２の動作を制御する制御装置と、を備え、
前記ロボットは、前記第２の動作で前記連動部材を操作することにより、前記第１のテーブル及び前記第２のテーブルを前記作業に応じた位置に各々配置する、ロボットシステム。
【請求項2】
前記制御装置は、前記第１の送り装置による前記第１のテーブルの移動量と、前記第２の送り装置による前記第２のテーブルの移動量と、前記ロボットによる前記連動部材の操作量との間の関係に基づき、前記第２の動作を制御する、請求項１に記載のロボットシステム。
【請求項3】
前記第１のテーブル又は前記第２のテーブルの位置を検出する位置センサをさらに備え、
前記制御装置は、前記位置センサの検出結果に基づいて、前記第２の動作を制御する、請求項１又は２に記載のロボットシステム。
前記制御装置は、前記位置センサの検出結果に基づいて、前記第２の動作を制御する、請求項１又は２に記載のロボットシステム。
【請求項4】
前記連動部材は、前記ロボットの前記第２の動作に従い、前記第１のテーブルと前記第２のテーブルとを互いに反対の方向へ移動させる、請求項１〜３のいずれか１項に記載のロボットシステム。
【請求項5】
前記連動部材は、前記ロボットの前記第２の動作に従い、前記第１のテーブルと前記第２のテーブルとを同じ距離だけ移動させる、請求項１〜４のいずれか１項に記載のロボットシステム。
【請求項6】
前記第１の送り装置は、第１のねじ軸を有し、前記第２の送り装置は、第２のねじ軸を有し、
前記連動部材は、前記第１のねじ軸と前記第２のねじ軸との間に配置される歯車列を有する、請求項１〜５のいずれか１項に記載のロボットシステム。
前記連動部材は、前記第１のねじ軸と前記第２のねじ軸との間に配置される歯車列を有する、請求項１〜５のいずれか１項に記載のロボットシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、送り装置を備えるロボットシステム、及び送りテーブル装置に関する。
【背景技術】
【0002】
ワークテーブルを昇降させる送りテーブル装置が知られている（例えば、特許文献１）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】実開昭６０−３１９５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
従来、送りテーブル装置の構造及び制御シーケンスを簡単化する技術が求められている。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本開示の一態様において、ロボットシステムは、ロボットと、ロボットが作業を行う第１のテーブルと、ロボットが作業を行う第２のテーブルと、第１のテーブルを送り動作させる第１の送り装置と、第２のテーブルを送り動作させる第２の送り装置と、第１の送り装置と第２の送り装置とを連動させる連動部材と、作業のためのロボットの第１の動作を制御するとともに、第１の動作とは別の動作であって、連動部材を操作するためのロボットの第２の動作を制御する制御装置とを備え、ロボットは、第２の動作で連動部材を操作することにより、第１のテーブル及び第２のテーブルを作業に応じた位置に各々配置する。
【0006】
本開示の他の態様において、送りテーブル装置は、第１のテーブルと、第２のテーブルと、第１のテーブルを移動させる第１の送りねじ装置と、第２のテーブルを移動させる第２の送りねじ装置と、外部からの駆動力を受けて第１の送りねじ装置と第２の送りねじ装置とに互いに連動した送り動作を生じさせる連動部材とを備える。
【発明の効果】
【0007】
本開示によれば、従来のように複数の送り装置毎に駆動装置を設けていた場合と比べて、それぞれの駆動装置のために制御シーケンスを作成する必要がなくなり、また、駆動装置の数を削減することができる。したがって、送りテーブル装置の構造及び制御シーケンスを簡単化できる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】一実施形態に係る送りテーブル装置の図である。
【図3】一実施形態に係るロボットシステムの図である。
【図7】ステップＳ６でＹＥＳと判定したときの、第１及び第２のテーブルへのパレットの設置状態を説明するための図である。
【図8】他の実施形態に係る送りテーブル装置を上方から見た図である。
【図9】さらに他の実施形態に係る送りテーブル装置を上方から見た図である。
【図10】さらに他の実施形態に係る送りテーブル装置を上方から見た図である。
【図11】さらに他の実施形態に係る送りテーブル装置を後方から見た図である。
【図12】さらに他の実施形態に係る送りテーブル装置を後方から見た図である。
【図14】さらに他の実施形態に係る送りテーブル装置を上方から見た図であって、１つの連動部材が係合位置に配置された状態を示す。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本開示の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に説明する種々の実施形態において、同様の要素には同じ符号を付し、重複する説明を省略する。また、以下の説明においては、図中の直交座標系を方向の基準とし、便宜上、ｘ軸プラス方向を右方、ｙ軸プラス方向を前方、ｚ軸プラス方向を上方とする。
【0010】
図１及び図２を参照して、一実施形態に係る送りテーブル装置１０について説明する。送りテーブル装置１０は、ワークがセットされるパレットを昇降させるためのものである。なお、ワーク及びパレットに関しては、後述する。送りテーブル装置１０は、第１のテーブル１２、第１の送り装置１４、第２のテーブル１６、第２の送り装置１８、第１のハウジング２０、第２のハウジング２２、天板２４、位置センサ２６、及び連動機構２８を備える。
【0011】
第１のハウジング２０は、中空であって、その後面２０ａには、ｚ軸方向に延びる貫通孔２０ｂが形成されている。第１のテーブル１２は、ｚ軸方向へ移動可能となるように、第１のハウジング２０の後面２０ａの後側に配置されている。本実施形態においては、第１のテーブル１２は、ｘ−ｙ平面に略平行に配置された、略矩形の外形を有する平板部材である。
【0012】
第２のハウジング２２は、第１のハウジング２０の右側に隣接して配置され、第１のハウジング２０と同じ構成を有している。具体的には、第２のハウジング２２は、中空であって、その後面２２ａには、ｚ軸方向に延びる貫通孔２２ｂが形成されている。
【0013】
第２のテーブル１６は、第１のテーブル１２の右側に隣接した位置でｚ軸方向へ移動可能となるように、第２のハウジング２２の後面２２ａの後側に配置されている。本実施形態においては、第２のテーブル１６は、第１のテーブル１２と同じ外形の平板部材である。
【0014】
第１の送り装置１４は、第１のテーブル１２をｚ軸方向へ送り動作させる。具体的には、第１の送り装置１４は、ボールねじ装置であって、ねじ軸３０及びナット部材３２を有する。ねじ軸３０は、その外周面に螺旋状のねじ部が形成された、中心軸線Ａ１を有する円柱状の部材である。ねじ軸３０は、その中心軸線Ａ１がｚ軸と略平行となるようにｚ軸方向へ延在し、中心軸線Ａ１周りに回転可能となるように第１のハウジング２０に支持されている。
【0015】
ナット部材３２は、第１のハウジング２０の内部に配置され、その後端部３２ｂが、第１のハウジング２０の貫通孔２０ｂを通して、第１のテーブル１２の前端部１２ａに固定されている。ナット部材３２の中央部には、ねじ孔３２ａが形成されている。ねじ軸３０は、ねじ孔３２ａに挿通され、該ねじ孔３２ａと螺合する。
【0016】
本実施形態においては、ねじ軸３０が、上側から見て時計回り方向へ回転されるにつれて、ナット部材３２及び該ナット部材３２に固定されている第１のテーブル１２は、下方へ送り動作される。反対に、ねじ軸３０が上側から見て反時計回り方向へ回転されるにつれて、ナット部材３２及び第１のテーブル１２は上方へ送り動作される。こうして、第１の送り装置１４は、ねじ軸３０の回転動作を、第１のテーブル１２のｚ軸方向の送り動作に変換する。
【0017】
第２の送り装置１８は、第２のテーブル１６をｚ軸方向へ送り動作させる。具体的には、第２の送り装置１８は、第１の送り装置１４と同様のボールねじ装置であって、ねじ軸３４及びナット部材３６を有する。ねじ軸３４は、その外周面に螺旋状のねじ部が形成された、中心軸線Ａ２を有する円柱状の部材である。ねじ軸３４は、その中心軸線Ａ２がｚ軸と略平行となるようにｚ軸方向へ延在し、中心軸線Ａ２周りに回転可能となるように第２のハウジング２２に支持されている。
【0018】
ナット部材３６は、第２のハウジング２２の内部に配置され、その後端部３６ｂが、第２のハウジング２２の貫通孔２２ｂを通して、第２のテーブル１６の前端部１６ａに固定されている。ナット部材３６の中央部には、ねじ孔３６ａが形成されている。ねじ軸３４は、ねじ孔３６ａに挿通され、該ねじ孔３６ａと螺合する。
【0019】
本実施形態においては、ねじ軸３４が、上側から見て時計回り方向へ回転されるにつれて、ナット部材３６及び該ナット部材３６に固定されている第２のテーブル１６は、下方へ移動される。反対に、ねじ軸３４が上側から見て反時計回り方向へ回転されるにつれて、ナット部材３６及び第２のテーブル１６は上方へ移動される。こうして、第２の送り装置１８は、ねじ軸３４の回転動作を、第２のテーブル１６のｚ軸方向の送り動作に変換する。
【0020】
天板２４は、第１のハウジング２０の上面２０ｃ、及び第２のハウジング２２の上面２２ｃの上に固定されている。天板２４には、第１の貫通孔２４ａ及び第２の貫通孔２４ｂが形成されている。第１の貫通孔２４ａには、第１の送り装置１４のねじ軸３０が挿通される一方、第２の貫通孔２４ｂには、第２の送り装置１８のねじ軸３４が挿通される。
【0021】
本実施形態においては、位置センサ２６は、近接スイッチ等であって、その下側近傍の位置（具体的には、位置センサ２６から下方へ所定の距離の位置）に在る物体を非接触で検出する。位置センサ２６は、第１のハウジング２０の後面２０ａの上端部に設置されている。位置センサ２６は、その下側近傍の位置に物体が配置されたことを検出したときに、検出信号を出力する（すなわち、検出信号をＯＮとする）。
【0022】
連動機構２８は、計４個の連動部材３８、４０、４２、及び４４を有する。連動部材３８、４０、４２、及び４４の各々は、その外周面に歯部が形成された円柱状の歯車である。これら連動部材３８、４０、４２、及び４４は、第１の送り装置１４のねじ軸３０と、第２の送り装置１８のねじ軸３４との間に配置された歯車列を構成する。
【0023】
連動部材３８は、中心軸線Ａ１を基準として、第１の送り装置１４のねじ軸３０と略同心に配置されている。ねじ軸３０は、天板２４に形成された第１の貫通孔２４ａを通過し、その上端部が連動部材３８に固定されており、連動部材３８とねじ軸３０とは、一体となって回転する。
【0024】
一方、連動部材４４は、中心軸線Ａ２を基準として、第２の送り装置１８のねじ軸３４と略同心に配置されている。ねじ軸３４は、天板２４に形成された第２の貫通孔２４ｂを通過し、その上端部が連動部材４４に固定されており、連動部材４４とねじ軸３４とは、一体となって回転する。
【0025】
連動部材４０は、連動部材３８の右側に隣接して配置され、該連動部材３８と係合する。連動部材４０は、中心孔を有し、該中心孔にピン４８が挿通されている。ピン４８は、天板２４の上面２４ｃから突出するように、天板２４に設けられている。連動部材３８は、ピン４８の周りに回転可能である。
【0026】
本実施形態においては、連動部材４０に操作部４６が設けられている。操作部４６は、略四角柱状の部材であって、連動部材４０と一体となって回転するように該連動部材４０の上面に固設されている。操作部４６は、ピン４８（すなわち、連動部材４０）と略同心に配置されている。
【0027】
連動部材４２は、連動部材４０と連動部材４４との間に介挿され、連動部材４０及び４４と係合する。連動部材４２は、中心孔を有し、該中心孔にピン５０が挿通されている。ピン５０は、天板２４の上面２４ｃから突出するように、天板２４に設けられている。連動部材４２は、ピン５０の周りに回転可能である。
【0028】
本実施形態においては、連動部材３８、４０、４２、及び４４の歯数は、互いに同じである。したがって、互いに係合する２つの連動部材３８及び４０、４０及び４２、並びに、４２及び４４の歯数比（すなわち、減速比）は、１である。また、第１の送り装置１４のねじ軸３０の１回転当たりの第１のテーブル１２の移動量（すなわち、ｚ軸方向の移動距離）と、第２の送り装置１８のねじ軸３４の１回転当たりの第２のテーブル１６の移動量とは、互いに同じである。
【0029】
次に、送りテーブル装置１０の動作について説明する。送りテーブル装置１０は、外部（例えばロボット）からの駆動力を受けて動作する。具体的には、操作部４６に外部から駆動力が与えられて該操作部４６を上側から見て時計回り方向に回転させると、連動部材４０が、操作部４６とともに上側から見て時計回り方向に回転される。
【0030】
この連動部材４０の回転に従って、連動部材３８及び４２が、上側から見て反時計回り方向へ回転される。連動部材３８の回転とともに、第１の送り装置１４のねじ軸３０が、上側から見て反時計回り方向へ回転され、これにより、第１のテーブル１２は、上方へ移動される。
【0031】
また、連動部材４２が上側から見て反時計回り方向へ回転されるのに従って、連動部材４４が、上側から見て時計回り方向へ回転される。この連動部材４４の回転とともに、第２の送り装置１８のねじ軸３４が、上側から見て時計回り方向へ回転され、これにより、第２のテーブル１６は、下方へ移動される。
【0032】
反対に、外部からの駆動力によって操作部４６（すなわち連動部材４０）が、上側から見て反時計回り方向へ回転されると、連動部材３８及び４２が、上側から見て時計回り方向へ回転し、第１のテーブル１２は、下方へ移動される一方、連動部材４４が上側から見て反時計回り方向へ回転して、第２のテーブル１６は、上方へ移動される。
【0033】
このように、連動部材３８、４０、４２、及び４４は、外部からの駆動力を受けて第１の送り装置１４と第２の送り装置１８とを連動させ、第１のテーブル１２と第２のテーブル１６とを互いに反対の方向へ移動させる。また、連動部材３８、４０、４２、及び４４が互いに係合して同時に回転することから、第１のテーブル１２と第２のテーブル１６とは、互いに同期して移動する。
【0034】
また、上述したように、連動部材３８、４０、４２、及び４４の歯数が同じであり、且つ、ねじ軸３０の１回転当たりの第１のテーブル１２の移動量と、ねじ軸３４の１回転当たりの第２のテーブル１６の移動量とは、互いに同じである。したがって、連動機構２８が動作されたとき、第１のテーブル１２と第２のテーブル１６とは、同じ距離だけｚ軸方向へ移動することになる。
【0035】
このように、本実施形態においては、１つの連動部材４０（操作部４６）に駆動力を与えるだけで、複数の送り装置１４及び１８を連動して動作させることができる。この構成によれば、従来のように複数の送り装置毎に駆動装置（典型的には、サーボモータ）を設けていた場合と比べて、それぞれの駆動装置のための制御シーケンスを準備する必要がなくなり、また、駆動装置の数を削減することができる。
【0036】
したがって、送りテーブル装置１０の構造及び制御シーケンスを簡単化できる。また、連動機構２８を、歯車である連動部材３８、４０、４２、及び４４によって構成していることから、連動機構２８の構造を簡単化することができ、製造コストを低減できる。
【0037】
なお、本実施形態においては、４個の連動部材３８、４０、４２、及び４４が設けられている場合について述べたが、連動機構２８は、２ｎ（ｎは、１以上の整数）個の連動部材を有してもよい。この場合、１つの連動部材を回転させることで、第１のテーブル１２と第２のテーブル１６とを互いに反対の方向へ連動して移動させることができる。
【0038】
次に、図３を参照して、一実施形態に係るロボットシステム６０について説明する。ロボットシステム６０は、ロボット６２、制御装置６４、及び送りテーブル装置１０を備える。ロボット６２は、垂直多関節ロボットであって、ロボットベース６６、旋回胴６８、ロボットアーム７０、手首部７２、及びエンドエフェクタ７４を有する。
【0039】
ロボットベース６６は、作業セルの床の上に固定されている。旋回胴６８は、ロボットベース６６に鉛直軸周りに旋回可能に設けられている。ロボットアーム７０は、旋回胴６８に回転可能に取り付けられた下腕部７６と、該下腕部７６の先端に回転可能に取り付けられた上腕部７８とを有する。
【0040】
手首部７２は、上腕部７８の先端に連結されている。エンドエフェクタ７４は、手首部７２に取り付けられ、手首部７２は、エンドエフェクタ７４を回転可能に支持する。本実施形態においては、エンドエフェクタ７４は、ロボットハンドであって、開閉可能な複数の指部８０を有する。
【0041】
ロボット６２の各コンポーネント（ロボットベース６６、旋回胴６８、ロボットアーム７０、手首部７２）には、サーボモータ（図示せず）がそれぞれ内蔵されている。また、ロボット６２には、ロボット座標系ＣＲが設定されている。本実施形態においては、ロボット座標系ＣＲは、その原点がロボットベース６６に配置され、ｚ軸が鉛直方向と平行であり、旋回胴６８がｚ軸周りに旋回するように、設定されている。
【0042】
制御装置６４は、プロセッサ（ＣＰＵ、ＧＰＵ等）及びメモリ（ＲＯＭ、ＲＡＭ等）を有し、ロボット６２を制御する。具体的には、制御装置６４は、ロボット座標系ＣＲを基準としてロボット６２の各サーボモータへの指令を生成し、各サーボモータを駆動して、エンドエフェクタ７４を目標とする位置及び姿勢に配置させる。また、制御装置６４は、位置センサ２６に通信可能に接続され、該位置センサ２６から上述の検出信号を受信する。
【0043】
次に、図４〜図７を参照して、ロボットシステム６０の動作について説明する。図４に示すフローは、制御装置６４が、オペレータ、上位コントローラ、又はロボットプログラムから作業開始指令を受け付けたときに、開始する。本実施形態においては、図４に示すフローの開始時において、図５に示すように、第１のテーブル１２に、未加工ワーク（図示せず）がセットされた計６個のパレットＰが設置されている。また、第１のテーブル１２上の６個のパレットＰの各々には、計ｎＭＡＸ個のワークがセットされている。
【0044】
一方、第２のテーブル１６には、ワークがセットされていない空のパレットＰが１つ設置されている。図４に示すフローの開始時点での第１のテーブル１２上の最上段のパレットＰの上面と、第２のテーブル１６上の最上段のパレットＰの上面とは、略同じ平面上に配置される。また、パレットＰは、互いに同じ形状を有し、把持部Ｇを具備する。把持部Ｇは、エンドエフェクタ７４によって把持可能な形状を有する。
【0045】
ステップＳ１において、制御装置６４は、第１のテーブル１２上の最上段のパレットＰにセットされた未加工ワークをロボット６２によって取り出した総数（すなわち、後述のステップＳ２及びＳ３を実行した回数）「ｎ」を、ゼロにセットする（ｎ＝０）。
【0046】
ステップＳ２において、制御装置６４は、ロボット６２を動作させて、第１のテーブル１２に設置されたパレットＰのうちの最上段のパレットＰから未加工ワークを１個取り出す。ここで、制御装置６４は、第１のテーブル１２上の最上段のパレットＰにセットされた各々の未加工ワークのロボット座標系ＣＲにおける位置データを予め取得する。
【0047】
第１のテーブル１２上の最上段のパレットＰの位置は、位置センサ２６によって検出される位置（例えば、位置センサ２６から下方へ１ｍｍの距離内の位置）として規定される。また、各々のパレットＰは、第１のテーブル１２上の予め定められた位置に配置される。例えば、第１のテーブル１２に治具（図示せず）が設けられ、該第１のテーブル１２に設置される最下段のパレットＰは、該治具によって、第１のテーブル１２上の予め定められた位置に位置決めされる。
【0048】
また、１つのパレットＰの上面には、位置決め突起（図示せず）が形成され、該１つのパレットＰの上に設置される他のパレットＰの下面には、該位置決め突起を受容する位置決め孔（図示せず）が形成される。この位置決め突起と位置決め孔との係合により、該他のパレットＰは、該１つのパレットＰと同じｘ−ｙ平面内の位置に配置される。
【0049】
また、各々のパレットＰの内部には、パレット治具（図示せず）が形成され、未加工ワークは、該パレット治具によって、それぞれのパレットＰにおける所定の位置にそれぞれセットされる。こうして、それぞれのパレットＰにセットされた未加工ワークのｘ−ｙ平面内の位置を揃えることができ、第１のテーブル１２上の最上段のパレットＰにセットされた未加工ワークは、ロボット座標系ＣＲにおける所定の位置にそれぞれ配置されることになる。制御装置６４は、該最上段のパレットＰにセットされた未加工ワークのロボット座標系ＣＲにおける位置を取得し、メモリに記憶する。
【0050】
制御装置６４は、このステップＳ２において、第１のテーブル１２上の最上段のパレットＰ内の未加工ワークの位置データを用いてロボット６２を制御し、エンドエフェクタ７４で該未加工ワークを把持し、該未加工ワークを、ロボットシステム６０の外部に設置された加工機（図示せず）の内部へ運搬してセットする。こうして、ロボット６２によって未加工ワークが加工機にロードされ、該加工機は、該未加工ワークを加工する。このように、ステップＳ２において、ロボット６２は、第１のテーブル１２上のパレットＰからワークを取り出して加工機にロードするローディング作業を行う。
【0051】
ステップＳ３において、制御装置６４は、ロボット６２を動作させて、加工機から加工済みワークを取り出し、第２のテーブル１６に設置されたパレットＰにセットする。ここで、制御装置６４は、第２のテーブル１６上の最上段のパレットＰに加工済みワークをセットすべきセット位置のロボット座標系ＣＲにおける位置データを予め取得する。
【0052】
制御装置６４は、加工機にセットされた加工済みワークをエンドエフェクタ７４で把持して取り出し、セット位置データを用いてロボット６２を制御して、該加工済みワークを第２のテーブル１６上の最上段のパレットＰ内のセット位置にセットする。こうして、ロボット６２によって加工機から加工済みワークがアンローディングされる。このように、ステップＳ３において、ロボット６２は、加工機から加工済みワークをアンローディングして第２のテーブル１６上のパレットＰにセットするアンローディング作業を行う。
【0053】
ステップＳ４において、制御装置６４は、上記の総数「ｎ」を、１だけインクリメントする（すなわち、ｎ＝ｎ＋１）。ステップＳ５において、制御装置６４は、上記の総数「ｎ」が、ｎＭＡＸに達した（すなわち、ｎ＝ｎＭＡＸ）か否かを判定する。このｎＭＡＸは、第１のテーブル１２上の各々のパレットＰにセットされた未加工ワークの総数である。
【0054】
制御装置６４は、ｎ＝ｎＭＡＸとなった（すなわち、ＹＥＳ）と判定した場合、ステップＳ６へ進む一方、ｎ＜ｎＭＡＸである（すなわち、ＮＯ）と判定した場合、ステップＳ２へ戻る。こうして、制御装置６４は、ステップＳ５でＹＥＳと判定するまでステップＳ２〜Ｓ５のループを繰り返し実行し、第１のテーブル１２上の最上段のパレットＰにセットされた計ｎＭＡＸ個の未加工ワークに対してローディング作業及びアンローディング作業を行う。
【0055】
ステップＳ６において、制御装置６４は、図４のフローの開始時点で第１のテーブル１２上に設置された全ての未加工ワーク（すなわち、６×ｎＭＡＸ個の未加工ワーク）の加工が完了したか否かを判定する。例えば、制御装置６４は、ステップＳ５でＹＥＳと判定した回数「ｍ」をカウントし、このステップＳ６において、回数「ｍ」が、図４のフローの開始時点で第１のテーブル１２上に設置されていたパレットＰの総数「６」に達したか否かを判定する。
【0056】
制御装置６４は、ｍ＝６となった場合に、全ての未加工ワークの加工が完了した（すなわち、ＹＥＳ）と判定し、図４のフローを終了する。一方、制御装置６４は、ｍ＜６である場合は、第１のテーブル１２上に未加工ワークが残存している（すなわち、ＮＯ）と判定し、ステップＳ７へ進む。
【0057】
ステップＳ７において、制御装置６４は、ロボット６２を動作させて、第１のテーブル１２上の最上段のパレットＰを、第２のテーブル１６上の最上段のパレットＰの上に移送する。このステップＳ７の開始時点では、第１のテーブル１２上の最上段のパレットＰは、未加工ワークがセットされていない空の状態となっている。ここで、制御装置６４は、第１のテーブル１２上の最上段のパレットＰの把持部Ｇのロボット座標系ＣＲにおける位置データを予め取得する。
【0058】
制御装置６４は、把持部Ｇの位置データを用いてロボット６２を制御して、エンドエフェクタ７４で該把持部Ｇを把持して持ち上げ、該最上段のパレットＰを、第２のテーブル１６上の最上段のパレットＰの上に設置する。こうして、ロボット６２によって、第１のテーブル１２上の最上段の空のパレットＰが、第２のテーブル１６上の最上段の位置に移送される。このように、ステップＳ７において、ロボット６２は、第１のテーブル１２上のパレットＰを第２のテーブル１６に移送するパレット移送作業を行う。
【0059】
上述したように、ロボット６２は、第１のテーブル１２及び第２のテーブル１６において、ステップＳ２のローディング作業、ステップＳ３のアンローディング作業、及びステップＳ６のパレット移送作業を行う。本実施形態において、これら作業を行うためのロボット６２の動作を、通常動作（第１の動作）として言及する。
【0060】
ステップＳ８において、制御装置６４は、ロボット６２に連動部材３８、４０、４２、及び４４を操作させて、第１のテーブル１２と第２のテーブル１６を送り動作させる。ここで、制御装置６４は、操作部４６（例えば、中心軸）のロボット座標系ＣＲにおける位置データを予め取得する。
【0061】
制御装置６４は、このステップＳ８において、操作部４６の位置データを用いてロボット６２を制御し、エンドエフェクタ７４によって操作部４６を把持するための把持位置へ、エンドエフェクタ７４を配置する。この把持位置に配置されたとき、エンドエフェクタ７４の指部８０の間に、操作部４６が配置される。このとき、２つの指部８０が、四角形の操作部４６の対向する２つの側面にそれぞれ面するように、エンドエフェクタ７４が操作部４６に対して配置されてもよい。
【0062】
次いで、制御装置６４は、エンドエフェクタ７４を動作させて、指部８０を閉じる。これにより、エンドエフェクタ７４は、指部８０で操作部４６を把持する。次いで、制御装置６４は、ロボット６２を動作させて、エンドエフェクタ７４で把持した操作部４６を、上側から見て時計回り方向へ回転させる。
【0063】
そうすると、連動部材３８、４０、４２、及び４４は、上述したように、第１の送り装置１４と第２の送り装置１８とに互いに連動した送り動作を生じさせ、第１のテーブル１２を上方へ移動させるのと同期して、第２のテーブル１６を下方へ移動させる。このように、制御装置６４は、ロボット６２を制御して、該ロボット６２の通常動作とは別の動作として、連動部材３８、４０、４２、及び４４を操作する連動動作（第２の動作）を該ロボット６２に行わせている。
【0064】
ステップＳ９において、制御装置６４は、第１のテーブル１２及び第２のテーブル１６が、ロボット６２による次の作業（ローディング作業及びアンローディング作業）のための位置に配置したか否かを判定する。具体的には、制御装置６４は、位置センサ２６から検出信号を受信したか否かを判定する。
【0065】
ここで、上述のステップＳ７の終了時点での第１のテーブル１２上の最上段のパレットＰは、図５に示す第１のテーブル１２上のパレットＰのうち、上から２番目のものとなる。よって、ステップＳ７の終了時点での第１のテーブル１２上の最上段のパレットＰは、位置センサ２６の検出位置から下方へ離れているので、ステップＳ７の終了時点で位置センサ２６からの検出信号はＯＦＦとなっている。
【0066】
この状態から、ステップＳ８で第１のテーブル１２が上方へ移動され、第１のテーブル１２上の最上段のパレットＰが位置センサ２６の下側近傍の位置に到達すると、位置センサ２６は、検出信号をＯＮとし、制御装置６４に送信する。制御装置６４は、位置センサ２６からの検出信号がＯＮとなった場合に、ＹＥＳと判定し、ステップＳ１０へ進む一方、位置センサ２６からの検出信号がＯＦＦである場合、ステップＳ９をループする。
【0067】
このように、位置センサ２６は、第１のテーブル１２上の最上段のパレットＰの位置を検出することで、第１のテーブル１２及び第２のテーブルの位置を検出し、制御装置６４は、位置センサ２６の検出結果（すなわち、検出信号ＯＮ／ＯＦＦ）に基づいて、ロボット６２の連動動作を制御している。
【0068】
ステップＳ１０において、制御装置６４は、ロボット６２による操作部４６の回転動作を停止する。これにより、連動機構２８、第１のテーブル１２、及び第２のテーブル１６の動作が停止する。このときの状態を図６に示す。図６に示す状態においては、第１のテーブル１２上の最上段のパレットＰの上面と、第２のテーブル１６上の最上段のパレットＰの上面とは、略同じ平面上に配置される。
【0069】
ステップＳ１０の終了後、制御装置６４は、ステップＳ１に戻り、ステップＳ６でＹＥＳと判定するまで、ステップＳ１〜Ｓ１０をループする。ステップＳ６でＹＥＳと判定したときの状態を、図７に示す。図７に示す状態においては、第１のテーブル１２上に、未加工ワークがセットされていない空のパレットＰが１つ設置されている一方、第１のテーブル１２上に、加工済みワークがそれぞれセットされた６個のパレットＰが設置されている。
【0070】
このように、ロボット６２による連動動作で連動部材３８、４０、４２、及び４４を操作することにより、第１のテーブル１２及び第２のテーブル１６を、作業（ローディング作業及びアンローディング作業）に応じた位置に、各々配置している。この構成によれば、ローディング作業及びアンローディング作業を行うロボット６２を、送りテーブル装置１０へ駆動力を与える駆動装置として利用することができるので、ロボットシステム６０の制御シーケンス及び構造を簡単化できる。
【0071】
また、本実施形態においては、位置センサ２６によって、第１のテーブル１２に設置された最上段のパレットＰが所定位置（すなわち、位置センサ２６の下側近傍の位置）に配置されたことを検出し、以って、第１のテーブル１２が作業（ローディング作業及びアンローディング作業）に応じた位置に配置されたことを検出している。そして、制御装置６４は、位置センサ２６の検出結果に基づいて、ロボット６２の連動動作を制御している。この構成によれば、制御装置６４は、第１のテーブル１２及び第２のテーブル１６を作業に応じた位置に高精度に配置できる。
【0072】
また、本実施形態においては、連動部材３８、４０、４２、及び４４は、第１のテーブル１２と第２のテーブル１６とを、反対の方向へ同じ距離だけ移動させている。この構成によれば、上述のステップＳ１０の終了時に、第１のテーブル１２上の最上段のパレットＰの上面と、第２のテーブル１６上の最上段のパレットＰの上面とを略同じ平面上に配置することができる。
【0073】
これにより、ロボット６２が次のステップＳ２（ローディング作業）を行うときのロボット６２の目標位置（すなわち、第１のテーブル１２上の最上段のパレットＰにセットされた未加工ワークの位置）と、次のステップＳ３（アンローディング作業）を行うときのロボット６２の目標位置（すなわち、第２のテーブル１６上の最上段のパレットＰにおける、加工済みワークのセット位置）とを、一定とすることができる。したがって、ロボット６２によって確実にステップＳ２及びＳ３を実行できる。
【0074】
なお、ロボットシステム６０から位置センサ２６を省略することもできる。この場合、第１の送り装置１４による第１のテーブル１２の移動量と、第２の送り装置１８による第２のテーブル１６の移動量と、ロボット６２による操作部４６（すなわち、連動部材４０）の操作量との間の関係が、予め取得される。
【0075】
例えば、この関係は、操作部４６を上から見て所定の角度θ（例えば、１°）だけ回転させたときの、第１のテーブル１２及び第２のテーブル１６のｚ軸方向の移動量ｘを示す。この関係を基に、ステップＳ８でロボット６２が操作部４６を回転するときの目標回転数（目標回転角度）が予め決定される。制御装置６４は、目標回転数をメモリに予め記憶する。
【0076】
そして、制御装置６４は、ステップＳ９において、ステップＳ８でロボット６２に操作部４６を回転させた回転数が目標回転数に達したか否かを判定する。制御装置６４は、操作部４６の回転数が目標回転数に達した（すなわち、ＹＥＳ）と判定した場合、ステップＳ１０へ進む。
【0077】
一方、制御装置６４は、操作部４６の回転数が目標回転数に達していない（すなわち、ＮＯ）と判定した場合、ステップＳ９をループする。この構成によれば、制御装置６４は、位置センサ２６を用いることなく、ステップＳ８〜Ｓ７の一連の動作を実行できるので、製造コストを低減できる。
【0078】
次に、図８を参照して、他の実施形態に係る送りテーブル装置９０について説明する。送りテーブル装置９０は、上述の送りテーブル装置１０と、連動機構９２の構成において、相違する。連動機構９２は、連動部材３８、４２、４４及び９４を有する。連動部材９４は、例えば、輪状のタイミングベルトであって、その内周面に歯部が形成されている。
【0079】
連動部材９４は、連動部材３８及び４２の外周面に張り渡され、該連動部材９４の内周面に形成された歯部は、連動部材３８及び４２の外周面に形成された歯部と係合する。これにより、連動部材３８の回転は、連動部材９４を介して、連動部材４２及び４４に伝達される。本実施形態においては、連動部材３８の回転数と連動部材４２の回転数との減速比は、１である。
【0080】
操作部４６は、軸線Ａ１を基準として連動部材３８と略同心となるように、該連動部材３８の上面に固設されている。外部（例えば、ロボット６２)からの駆動力を受けて操作部４６が軸線Ａ１周りに回転された場合、連動機構９２は、上述の連動機構２８と同様に、第１のテーブル１２と第２のテーブル１６とを、互いに反対の方向へ同期して移動させる。
【0081】
次に、図９を参照して、さらに他の実施形態に係る送りテーブル装置１００について説明する。送りテーブル装置１００は、上述の送りテーブル装置１０と、連動機構１０２の構成において、相違する。連動機構１０２は、連動部材３８、４４及び１０４を有する。連動部材１０４は、中心孔を有する円柱状の歯車であって、連動部材３８と連動部材４４との間に介挿され、連動部材３８及び４４と係合する。
【0082】
連動部材１０４は、中心孔を有し、中心孔にピン１０６が挿通されている。ピン１０６は、天板２４の上面２４ｃから突出するように、天板２４に設けられている。連動部材１０４は、ピン１０６の周りに回転可能である。本実施形態においては、連動部材１０４の歯数は、連動部材３８及び４４よりも大きい。しかしながら、連動部材１０４の歯数は、連動部材３８及び４４と同じ、又はそれよりも小さくてもよい。連動部材３８及び４４の歯数が同じであるので、連動部材３８の回転数と連動部材４２の回転数との減速比は、１である。
【0083】
操作部４６は、連動部材１０４と略同心となるように、該連動部材１０４の上面に固設されている。外部（例えば、ロボット６２)からの駆動力を受けて操作部４６が上側から見て時計回り方向へ回転された場合、連動部材１０４と係合する連動部材３８及び４４は、上側から見て反時計回り方向へそれぞれ回転される。
【0084】
したがって、この場合、第１のテーブル１２及び第２のテーブル１６は、互いに同期して上方へ移動される。反対に、操作部４６が上側から見て反時計回り方向へ回転された場合は、第１のテーブル１２及び第２のテーブル１６は、互いに同期して下方へ移動される。このように、本実施形態においては、連動機構１０２は、第１のテーブル１２と第２のテーブル１６とを、互いに同じ方向へ同期して移動させる。
【0085】
次に、図１０を参照して、さらに他の実施形態に係る送りテーブル装置１１０について説明する。送りテーブル装置１１０は、上述の送りテーブル装置１０と、連動機構１１２の構成において、相違する。連動機構１１２は、連動部材３８、４４及び９４を有する。連動部材９４は、連動部材３８及び４４の外周面に張り渡され、該連動部材９４の内周面に形成された歯部は、連動部材３８及び４４の外周面に形成された歯部と係合する。これにより、連動部材３８の回転は、連動部材９４を介して、連動部材４４に伝達される。
【0086】
操作部４６は、軸線Ａ１を基準として連動部材３８と同心となるように、該連動部材３８の上面に固設されている。外部（例えば、ロボット６２)からの駆動力を受けて操作部４６が軸線Ａ１周りに回転された場合、連動機構１１２は、第１のテーブル１２と第２のテーブル１６とを、互いに同じ方向へ同期して移動させる。
【0087】
次に、図１１を参照して、さらに他の実施形態に係る送りテーブル装置１２０について説明する。送りテーブル装置１２０は、上述の送りテーブル装置１０と、連動機構１２２の構成において、相違する。連動機構１２２は、連動部材３８、４０、４２、及び４４と、減速機１２４とを有する。
【0088】
減速機１２４は、取付部材１２６を介して、天板２４に対して固定され、軸線Ａ１を基準として連動部材３８と略同心となるように、該連動部材３８の上方に配置されている。操作部４６は、減速機１２４の入力シャフトに固定されている。一方、減速機１２４の出力シャフト１２４ａは、連動部材３８に固定されている。
【0089】
減速機１２４は、操作部４６（すなわち、入力シャフト）の回転数を減速しつつ、回転力を出力シャフト１２４ａ及び連動部材３８に伝達する。このときに連動部材３８（出力シャフト１２４ａ）に生じるトルクは、減速機１２４によって、操作部４６（入力シャフト）のトルクよりも増大される。
【0090】
以下、本実施形態に係る送りテーブル装置１２０を、送りテーブル装置１０の代わりに、図３に示すロボットシステム６０に適用した場合について説明する。この場合、制御装置６４は、図４中のステップＳ８において、ロボット６２のエンドエフェクタ７４で連動機構１２２の操作部４６を把持し、軸線Ａ１周りに回動させる。
【0091】
このとき、ロボット６２が操作部４６を、図３に示す連動機構２８の操作部４６を回転させたときと同じトルクで回転させたとすると、連動部材３８、４０、４２、及び４４に生じるトルクは、連動機構２８のときよりも大きくなる。このようにトルクを増大させることによって、第１のテーブル１２及び第２のテーブル１６に、より重量のあるパレットＰ又はワークを設置したとしても、第１のテーブル１２及び第２のテーブル１６を安定して移動させることができる。
【0092】
一方、図３に示す連動機構２８で操作部４６を操作したときに連動部材３８に生じるトルクと同じ大きさのトルクを、連動機構１３２の連動部材３８に生じさせる場合は、該連動機構１２２の操作部４６を回転させるためのトルクを小さくすることができる。この場合、ロボット６２が操作部４６に与える駆動力を小さくできるので、ロボット６２の小型化又は省電力化を実現できる。
【0093】
このように、本実施形態においては、減速機１２４は、連動部材３８、４０、４２、及び４４へ入力される駆動力（トルク)を増大させる駆動力強化機構として機能する。この構成によれば、ロボット６２がエンドエフェクタ７４を回転させるトルクを大きく確保できない場合においても、ロボット６２の連動動作によって、第１のテーブル１２及び第２のテーブル１６を送り動作させて、作業に応じた位置に各々配置することが可能となる。
【0094】
次に、図１２を参照して、さらに他の実施形態に係る送りテーブル装置１３０について説明する。送りテーブル装置１３０は、上述の送りテーブル装置１０と、連動機構１３２の構成において、相違する。連動機構１３２は、連動部材３８、４０、４２、及び４４と、アシスト装置１３４とを有する。
【0095】
本実施形態においては、操作部４６は、連動部材３８の上面に固設されている。また、連動部材３８の下面には、該下面から下方へ延出する力受け部材１４２が固設されている。力受け部材１４２は、円柱状であって、軸線Ａ１を基準として連動部材３８と略同心となるように配置されている。
【0096】
アシスト装置１３４は、電動モータ１３６及びトルクセンサ１３８を有する。電動モータ１３６は、天板２４の上面２４ｃに固定されている。電動モータ１３６の出力シャフトには、円柱状のアシスト部材１４０が固設されている。電動モータ１３６は、アシスト部材１４０を、軸線Ａ１と平行な軸線周りに回転させる。
【0097】
トルクセンサ１３８は、第１の送り装置１４のねじ軸３０の上端３０ａと力受け部材１４２との間に介挿されており、操作部４６、連動部材３８及び力受け部材１４２とねじ軸３０とは、一体となって回転する。操作部４６に駆動力としてトルクが与えられると、該トルクは、連動部材３８及び力受け部材１４２を介して、トルクセンサ１３８に加わる。トルクセンサ１３８は、自身に作用する軸線Ａ１周りのトルクを検出する。
【0098】
アシスト部材１４０と力受け部材１４２とは、該アシスト部材１４０の回転力が該力受け部材１４２に伝達されるように、互いに当接（例えば、係合）している。アシスト部材１４０及び力受け部材１４２は、例えば、歯車であってもよいし、又は、高摩擦係数を有する材料（例えば、ゴム、樹脂等）から構成された円柱部材であってもよい。
【0099】
電動モータ１３６は、トルクセンサ１３８が検出したトルクが、予め定められた閾値を超えたときに、アシスト部材１４０を回転させ、該アシスト部材１４０から力受け部材１４２に追加トルクを加える。このときに力受け部材１４２に加えられる追加トルクの方向が、トルクセンサ１３８が検出したトルクの方向に一致するように、電動モータ１３６がアシスト部材１４０を回転させる方向が決定される。
【0100】
具体的には、トルクセンサ１３８が、上側から見て時計回り方向のトルクを検出したとする。この場合、電動モータ１３６は、アシスト部材１４０を、上側から見て反時計回りの方向へ回転させ、該アシスト部材１４０からら力受け部材１４２に追加トルクを加える。その結果、力受け部材１４２に、上側から見て時計回り方向の追加トルクが加えられることになる。このようにして、アシスト装置１３４は、連動部材３８に加えられる駆動力（すなわち、トルク）を補強する。
【0101】
次に、送りテーブル装置１３０を、送りテーブル装置１０の代わりに図３に示すロボットシステム６０に適用した場合の動作について、図１３を参照して説明する。なお、図１３に示すフローにおいて、図４と同様のプロセスには同じステップ番号を付し、重複する説明を省略する。送りテーブル装置１３０がロボットシステム６０に適用された場合、送りテーブル装置１３０の電動モータ１３６及びトルクセンサ１３８は、制御装置６４に通信可能に接続される。
【0102】
ステップＳ８を開始した後、ステップＳ２１において、制御装置６４は、トルクセンサ１３８によるトルクτの検出を開始する。具体的には、制御装置６４は、トルクセンサ１３８にトルク検出指令を送信する。トルクセンサ１３８は、制御装置６４からトルク検出指令を受信すると、自身に掛かるトルクτを連続的（例えば、周期的）に検出し、制御装置６４へ送信する。こうして、制御装置６４は、トルクセンサ１３８を介して、操作部４６に与えられた駆動力（トルクτ）を取得する。
【0103】
ステップＳ２２において、制御装置６４は、直近にトルクセンサ１３８によって検出されたトルクτが閾値τｔｈ以上となったか否かを判定する。この閾値τｔｈは、オペレータによって予め定められ、制御装置６４のメモリに記憶される。制御装置６４は、τ≧τｔｈとなった（すなわち、ＹＥＳ）と判定した場合、ステップＳ２３へ進む。一方、制御装置６４は、τ＜τｔｈである（すなわち、ＮＯ）と判定した場合、ステップＳ２４へ進む。
【0104】
ステップＳ２３において、制御装置６４は、電動モータ１３６を作動させる。具体的には、制御装置６４は、直近にトルクセンサ１３８によって検出されたトルクτの方向に基づいて、電動モータ１３６の回転方向を決定する。そして、制御装置６４は、電動モータ１３６に作動指令を送り、該作動指令を受けて電動モータ１３６は、アシスト部材１４０を、決定された回転方向へ回転させて、該アシスト部材１４０から力受け部材１４２に追加トルクτａを加える。
【0105】
このときに力受け部材１４２に加えられる追加トルクτａの方向は、トルクセンサ１３８が直近に検出したトルクτの方向に一致する。こうして、連動部材３８に、ロボットが操作部４６に加えるトルクτと、電動モータ１３６による追加トルクτａの合力が加えられる。
【0106】
一方、ステップＳ２２でＮＯと判定した場合、ステップＳ２４において、制御装置６４は、電動モータ１３６の動作を停止し、ステップＳ９へ進む。なお、このステップＳ２４の開始時点で電動モータ１３６が停止されていた場合、制御装置６４は、電動モータ１３６の停止状態を維持して、ステップＳ９へ進む。
【0107】
上述したように、本実施形態によれば、アシスト装置１３４によって、ロボット６２から連動部材３８、４０、４２、及び４４に与えられた駆動力（トルク）を補強することができる。したがって、アシスト装置１３４は、連動部材３８、４０、４２、及び４４へ入力される駆動力（トルク)を増大させる駆動力強化機構として機能する。この駆動力強化機構によって、ロボット６２がエンドエフェクタ７４を回転させるトルクを大きく確保できない場合においても、ロボット６２の連動動作によって、第１のテーブル１２及び第２のテーブル１６を送り動作させて、作業に応じた位置に各々配置することが可能となる。
【0108】
次に、図１４〜図１６を参照して、さらに他の実施形態に係る送りテーブル装置１５０について説明する。送りテーブル装置１５０は、上述の送りテーブル装置１０と、連動機構１５２の構成において、相違する。連動機構１５２は、連動部材３８、４０、４２、及び４４と、駆動部１５４と、ガイド機構１５８とを有する。
【0109】
本実施形態においては、連動部材４２は、ｙ軸方向へ移動可能となるように設けられ、ガイド機構１５８は、連動部材４２のｙ軸方向への移動を案内する。具体的には、連動部材４２は、ピン１５６に回転可能に嵌め込まれている。ピン１５６は、本体部１５６ａと、該本体部１５６ａから外方へ延出するフランジ部１５６ｂとを有する。本体部１５６ａは、円柱状であって、ｚ軸方向に延在する。フランジ部１５６ｂは、本体部１５６ａから左右両側へ延出している。
【0110】
天板２４には、上面２４ｃから下方へ凹む凹部２４ｄが形成されている。凹部２４ｄは、ｙ軸方向から見て略Ｔ字状の断面形状を有し、ｙ軸方向に延在している。ピン１５６の本体部１５６ａの下端部とフランジ部１５６ｂとは、凹部２４ｄに受容される。
【0111】
凹部２４ｄは、ピン１５６のｚ軸方向への摺動を案内する一方、ピン１５６が本体部１５６ａの中心軸線周りに回転するのを規制する。連動部材４２は、その中心孔にピン１５６の本体部１５６ａの上端部が挿通され、本体部１５６ａの周りに回転可能である。また、連動部材４２は、ピン１５６とともにｙ軸方向へ移動可能である。このように、本実施形態においては、連動部材４２は、ピン１５６のフランジ部１５６ｂと凹部２４ｄとの係合によって、ｙ軸方向へ移動するように案内される。したがって、フランジ部１５６ｂと凹部２４ｄとは、ガイド機構１５８を構成する。
【0112】
駆動部１５４は、例えば油圧式又は空圧式のシリンダであって、駆動軸１５４ａを有する。駆動軸１５４ａの先端は、ピン１５６の本体部１５６ａに固定されている。駆動部１５４は、駆動軸１５４ａを進退させることによって、連動部材４２を、図１４に示す係合位置と、図１６に示す脱離位置との間で、ｚ軸方向へ進退させる。
【0113】
連動部材４２は、図１４に示す係合位置に配置されているとき、隣接する連動部材４０及び４４と係合し、連動部材４０の回転を、連動部材４４へ伝達する。一方、連動部材４２は、図１６に示す脱離位置に配置されているとき、連動部材４０及び４４から脱離し、連動部材４０の回転は連動部材４４へ伝達されない。このように、本実施形態においては、連動部材４２は、連動部材４０及び４４と選択的に係合する。
【0114】
本実施形態に係る送りテーブル装置１５０を、送りテーブル装置１０の代わりに、図３に示すロボットシステム６０に適用した場合、制御装置６４は、駆動部１５４を制御して、作業に応じて、連動部材４２を連動部材３８及び４２に選択的に係合させる。連動部材４２を係合位置に配置させた場合は、第１のテーブル１２と第２のテーブル１６の双方を移動させることができる一方、連動部材４２を脱離位置に配置させた場合は、第１のテーブル１２のみを移動させることができる。この構成によれば、より多様な作業に柔軟に対応することが可能となる。
【0115】
なお、上述の送りテーブル装置１０においては、ねじ軸３４が上側から見て時計回り方向へ回転されるにつれて第２のテーブル１６が下方へ移動されるように、第２の送り装置が構成されている場合について述べた。しかしながら、これに限らず、第２の送り装置は、ねじ軸３４が上側から見て時計回り方向へ回転されるにつれて第２のテーブル１６が上方へ移動されるように、構成されてもよい。
【0116】
この場合、連動機構２８は、（２ｎ−１）個の連動部材を有する。例えば、図１に示す連動部材４２を省略し、連動部材４０及び４４を係合させる。この場合において、連動部材４０が回転されると、ねじ軸３０及び３４は、上側から見て同じ方向へ回転され、その結果、第１のテーブル１２と第２のテーブル１６とを互いに反対の方向へ移動させることができる。
【0117】
上述のロボットシステム６０に視覚センサを適用してもよい。この場合、制御装置６４は、上述のステップＳ２において、視覚センサによって、第１のテーブル１２上の最上段のパレットＰにセットされた未加工ワークを撮像し、該未加工ワークのロボット座標系ＣＲにおける位置データを取得してもよい。
【0118】
また、ステップＳ３において、制御装置６４は、視覚センサによって第２のテーブル１６上の最上段のパレットＰを撮像し、該最上段のパレットに加工済みワークをセットすべきセット位置のロボット座標系ＣＲにおける位置データを取得してもよい。この場合、パレットＰ及びワークを、テーブル１２及び１６上の任意の位置に設置できるので、パレットＰ及びワークを位置決めするための治具を不要とできる。
【0119】
また、ステップＳ７において、制御装置６４は、視覚センサによって第１のテーブル１２上の最上段のパレットＰを撮像し、該最上段のパレットＰの把持部Ｇのロボット座標系ＣＲにおける位置データを取得してもよい。また、ステップＳ８において、制御装置６４は、視覚センサによって操作部４６を撮像し、該操作部４６のロボット座標系ＣＲにおける位置データを取得してもよい。この場合、ステップＳ８の開始時点で操作部４６が如何なる回転角度に配置されていたとしても、エンドエフェクタ７４によって操作部４６を確実に把持できる。
【0120】
送りテーブル装置１０において、連動部材３８と４０、４０と４２、及び、４２と４４との歯数比（減速比）は、任意であってもよい。また、送りテーブル装置９０において、連動部材３８と４２、及び、４２と４４との歯数比（減速比）は、任意であってもよい。また、送りテーブル装置１００又は１１０において、連動部材３８と４４との歯数比（減速比）は、任意であってもよい。また、連動部材３８、４０、４２、４４、又は１０４は、歯車に限らず、高摩擦係数を有する材料（ゴム、樹脂等）から構成された部材でもよい。
【0121】
操作部４６の設置位置は、上述の実施形態の位置に限定されない。例えば、送りテーブル装置１０において、操作部４６は、連動部材３８、４２、及び４４のいずれに固設されてもよい。また、送りテーブル装置１２０において、操作部４６及び減速機１２４は、連動部材４０、４２、及び４４のいずれに設けられてもよい。また、送りテーブル装置１３０において、操作部４６、力受け部材１４２、及びアシスト装置１３４は、連動部材４０、４２、及び４４のいずれに設けられてもよい。
【0122】
送りテーブル装置１５０において、連動部材４０をｙ軸方向へ移動可能に設けて、駆動部１５４は、連動部材４０を進退させるように構成されてもよい。上述の実施形態において、パレットＰを設けることなく、ワークをテーブル１２又は１６上の所定位置に直接置いてもよい。また、テーブル１２又は１６は、その上にパレットＰ又はワークを載置可能であれば、如何なる形状を有してもよい。
【0123】
位置センサ２６は、近接スイッチに限らず、変位計又はリニアスケール等、第１のテーブル１２（第１のテーブル１２上のパレット）又は第２のテーブル１６（第２のテーブル上のパレット）の位置（ｚ軸座標、位置センサ２６からの距離）を検出可能なものであってもよい。この場合、制御装置６４は、上述のステップＳ９において、位置センサ２６の検出結果（ｚ軸座標、距離）が所定の許容範囲内になったか否かを判定し、許容範囲内になった場合にＹＥＳと判定してもよい。
【0124】
ロボットシステム６０における送り装置１４又は１８は、ボールねじ装置でなくてもよい。例えば、送り装置１４及び１８は、ベルトコンベアのようなパレットＰ又はワークを搬送可能な装置でもよい。この場合、連動部材は、２つのベルトコンベアの間に介挿され、該２つのベルトコンベアの連動させるように構成される。また、送り装置１４及び１８は、テーブル１２及び１６を、ｘ−ｙ平面（例えば、ｘ軸）に沿って移動するように構成されてもよい。
【0125】
また、ロボットシステム６０においては、ロボット６２が、加工機に対してワークをロード及びアンロードする場合について述べたが、これに限らず、例えば、ロボット６２は、例えばウェハを半導体処理装置にロード及びアンロードするものであってもよいし、又は、他の如何なる装置に部材を搬送するものであってもよい。
【0126】
また、ロボット６２は、垂直多関節ロボットに限らず、水平多関節ロボット、パラレルリンクロボット等、如何なるタイプのロボットであってもよい。また、エンドエフェクタ７４は、開閉可能な指部８０の代わりに、例えば、物体を吸着可能な吸着部を有するものであってもよい。また、エンドエフェクタ７４に、操作部４６を操作可能なチャック部を、指部８０（吸着部）に加えて（又は、指部８０の代わりに）設けてもよい。例えば、このチャック部は、操作部４６を受容して該操作部４６と係合する穴を有してもよい。
【0127】
上述した種々の実施形態の特徴の組み合わせることもできる。例えば、図１２に示すアシスト装置１３４を図１１に示す連動機構１２２に適用してもよい。この場合、駆動力強化機構は、減速機１２４及びアシスト装置１３４を有することになる。又は、図８に示す連動機構９２において連動部材４２を可動とし、図１４に示す駆動部１５４を該連動機構９２に適用して、連動部材４２を連動部材４４に選択的に係合させてもよい。
【0128】
以上、実施形態を通じて本開示を説明したが、上述の実施形態は、特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。
【符号の説明】
【0129】
１０，９０，１００，１２０，１３０，１５０ 送りテーブル装置１２，１６ テーブル
１４，１８ 送り装置
３０，３４ ねじ軸
３８，４０，４２，４４，９４，１０４ 連動部材
２６ 位置センサ
６０ ロボットシステム
６２ ロボット
６４ 制御装置