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特許第6864376号(P6864376)
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特許
6864376
ガスクラスタイオンビーム技術に基づく中性ビーム処理を用いて極めて浅くエッチングする方法
書誌
要約
請求の範囲
詳細な説明
課題
実施例
実施するための形態
図面の説明
目に優しい
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