特許6865727ＳｉＧｅ層のエッチング方法

発明の名称　ＳｉＧｅ層のエッチング方法

出願人　ＳＰＰテクノロジーズ株式会社　（識別番号 511265154）

　　　　特許公開件数ランキング 12174 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3357 位（4件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6865727

公報発行日　2021年4月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6865727

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