特許6867418被処理物体の表面に１価又は多価イオンを注入する方法及び方法を実施するデバイス

発明の名称　被処理物体の表面に１価又は多価イオンを注入する方法及び方法を実施するデバイス

出願人　ザ・スウォッチ・グループ・リサーチ・アンド・ディベロップメント・リミテッド　（識別番号 506425538）

　　　　特許公開件数ランキング 704 位（34件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 494 位（47件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6867418

公報発行日　2021年4月28

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6867418

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