特許第6867418号(P6867418)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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6867418被処理物体の表面に1価又は多価イオンを注入する方法及び方法を実施するデバイス
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  • 6867418-被処理物体の表面に1価又は多価イオンを注入する方法及び方法を実施するデバイス 図000002
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