特許6869077炭化珪素単結晶インゴットの製造方法

発明の名称　炭化珪素単結晶インゴットの製造方法

出願人　昭和電工株式会社　（識別番号 2004）

　　　　特許公開件数ランキング 11608 位（1件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 24267 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6869077

公報発行日　2021年5月12

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6869077

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