特許 6869932 誤操作防止カバー及び誤操作防止カバー付き手動弁

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6869932

(24)【登録日】2021年4月16日

(45)【発行日】2021年5月12日

(54)【発明の名称】誤操作防止カバー及び誤操作防止カバー付き手動弁

(51)【国際特許分類】

   F16K 35/06 20060101AFI20210426BHJP

   F16K 35/00 20060101ALI20210426BHJP

【ＦＩ】

   F16K35/06

   F16K35/00 A

【請求項の数】7

【全頁数】34

(21)【出願番号】特願2018-164958(P2018-164958)

(22)【出願日】2018年9月3日

(65)【公開番号】特開2020-37970(P2020-37970A)

(43)【公開日】2020年3月12日

【審査請求日】2020年4月1日

(73)【特許権者】

【識別番号】000106760

【氏名又は名称】ＣＫＤ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000291

【氏名又は名称】特許業務法人コスモス国際特許商標事務所

(72)【発明者】

【氏名】針山 信二郎

【審査官】 大内 俊彦

(56)【参考文献】

【文献】 特開平１０−３３２０３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−３４４９１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 登録実用新案第３００５９２２（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 実開昭５９−１７７８７８（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開平１１−２７０２００（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−５１２４０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１４４８７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１０／０１５５６４１（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ１６Ｋ ３５／００−３５／１６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ハンドルの回転操作により、弁本体の内部において弁体を弁座に当接または離間させる手動機構と、前記手動機構の動作を制限するロック機構を備える誤操作防止カバー付き手動弁において、
前記ロック機構は、前記ロック機構を解除する第１位置と、前記ロック機構を有効にする第２位置と、の間を移動可能な操作部を備えること、
前記誤操作防止カバー付き手動弁は、前記誤操作防止カバー付き手動弁に装着される中空状のカバー部材を備えること、
前記カバー部材は、検知部を有する差込片を備えること、
前記差込片が前記カバー部材に装着される際に、前記差込片は、前記検知部が前記カバー部材の中空内部において一定の進路を持って移動可能に保持されていること、
前記カバー部材が前記誤操作防止カバー付き手動弁に装着された状態において、前記ハンドルと、前記操作部とは、前記カバー部材の中空内部に位置し、前記操作部が第１位置にあるときは、前記操作部が前記進路上に位置して、前記差込片を前記カバー部材に装着完了不能であること、前記操作部が第２位置にあるときは、前記操作部が前記進路上から退避して、前記差込片を前記カバー部材に装着完了可能であること、
を特徴とする誤操作防止カバー付き手動弁。

【請求項2】

請求項１に記載の誤操作防止カバー付き手動弁において、
前記カバー部材は、前記差込片を挿入する挿通孔を備えること、
前記差込片は、前記挿通孔に、挿入され、前記差込片が前記カバー部材の外部に突出する仮固定位置と、前記差込片が前記カバー部材の内部に収納される装着完了位置と、の間を移動可能に保持されていること、
を特徴とする誤操作防止カバー付き手動弁。

【請求項3】

請求項１または２に記載の誤操作防止カバー付き手動弁において、
前記手動機構は、一端に前記弁体が接続された操作ロッドを備え、前記操作ロッドの他端側に前記ハンドルが配置されていること、
前記手動機構は、前記ハンドルと前記弁本体との間に、抜け止め部を備えること、
前記カバー部材は、前記ハンドルの前記操作ロッドが延伸する側とは反対の方向から前記誤操作防止カバー付き手動弁に装着されること、
前記差込片は、前記操作ロッドの長手方向と直交する方向から前記カバー部材に装着されること、
前記カバー部材が前記誤操作防止カバー付き手動弁に装着され、前記差込片が前記カバー部材に装着された状態で、前記検知部は、前記抜け止め部の前記弁本体側の端面に隣接して位置され、前記カバー部材に対して前記カバー部材の装着方向とは反対の方向に力が加わった場合に、前記検知部は、前記抜け止め部の前記端面に当接し、前記カバー部材の装着方向とは反対の方向への移動を制限すること、
を特徴とする誤操作防止カバー付き手動弁。

【請求項4】

請求項１乃至３のいずれか１つに記載の誤操作防止カバー付き手動弁において、
前記差込片は、前記差込片の前記カバー部材への装着側端面とは反対側の端面に第１ロック部を備えること、
前記カバー部材は、前記差込片が前記カバー部材に装着された状態で、前記第１ロック部に対向して位置する第２ロック部を備えること、
前記第１ロック部と、前記第２ロック部とには、前記差込片が前記カバー部材に装着された状態で、前記第１ロック部と前記第２ロック部とを貫通する係止孔が形成されていること、
前記誤操作防止カバー付き手動弁は、前記係止孔に挿通されるロック部材を備えること、
を特徴とする誤操作防止カバー付き手動弁。

【請求項5】

請求項１乃至４のいずれか１つに記載の誤操作防止カバー付き手動弁において、
前記手動機構は、一端に前記弁体が接続された操作ロッドを備え、前記操作ロッドの他端側に前記ハンドルが配置されていること、
前記操作部は、円環形状をなし、前記ハンドルの前記操作ロッドが延伸する側に、前記操作ロッドと同軸上に配置され、前記操作ロッドの長手方向に沿って、前記第１位置と、前記第２位置と、の間を移動すること、
前記差込片は、前記操作ロッドの中心軸に直交する方向から、前記カバー部材に装着されること、
前記カバー部材が前記誤操作防止カバー付き手動弁に装着された状態において、前記操作部が前記第１位置にあるときは、前記操作部の外周面が、前記検知部と干渉して、前記差込片を前記カバー部材に装着完了不能であること、前記操作部が第２位置にあるときは、前記操作部が装着完了された前記差込片を前記操作ロッドの中心軸を中心に回転投影した空間から退避して、前記差込片を前記カバー部材に装着完了可能であること、
を特徴とする誤操作防止カバー付き手動弁。

【請求項6】

請求項１乃至５のいずれか１つに記載の誤操作防止カバー付き手動弁において、
前記手動機構は、一端に前記弁体が接続された操作ロッドを備えること、
前記カバー部材は、前記誤操作防止カバー付き手動弁との装着側の端面に、前記誤操作防止カバー付き手動弁と係合する係合部を有すること、
前記誤操作防止カバー付き手動弁には、前記係合部と係合する被係合部が設けられていること、
前記係合部と、前記被係合部とが係合することで、前記カバー部材は、前記操作ロッドの中心軸を中心として、９０度ごとに回転して、前記誤操作防止カバー付き手動弁に対して位置決めが可能であること、
を特徴とする誤操作防止カバー付き手動弁。

【請求項7】

請求項１乃至６のいずれか１つに記載の誤操作防止カバー付き手動弁に装着される誤操作防止カバーであって、前記カバー部材と、前記差込片と、からなる誤操作防止カバー。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ハンドルの回転操作により弁体を弁座に当接または離間させる手動機構と、手動機構の動作を制限するロック機構と、を備える誤操作防止カバー付き手動弁および、誤操作防止カバー付き手動弁に装着される誤操作防止カバーに関するものである。

【背景技術】

【0002】

半導体製造工程においては、反応室に接続するラインへの流体供給を制御するため、手動弁が用いられる。近年、半導体製造装置の小型化や集積化が進み、各種流体制御機器（バルブやセンサ等）の相互間距離が小さくなる傾向がある。そのため、作業者があるラインの流体制御を行うため、手動弁やその他流体制御機器を操作したところ、隣のラインの手動弁に触れてしまい、意図せず弁開度を変更させてしまうという不具合が起こり得る。
このような不具合を防止すべく、例えば特許文献１に開示される誤操作を防止するロック機構が設けられた手動弁が用いられている。この手動弁は、ハンドルの回転操作によりシリンダ部材に挿通された操作ロッドを上下動させ、操作ロッドに連結された弁体の開弁および閉弁を行うものである。シリンダ部材とハンドルを通過するよう係止孔が設けられており、当該係止孔にロック部材（例えば南京錠）を挿通することで、ハンドルがシリンダ部材に対して相対的に移動しないようにして、ハンドルの操作を制限することができる。よって、作業者が意図せずに手動弁を操作してしまうことを防止できる。

【0003】

しかし、上記手動弁は、シリンダ部材に設けられた係止孔と、ハンドルに設けられた係止孔の位置が一致したときにのみ、南京錠を挿通することができ、ハンドル操作を制限することができるものである。つまり、所定のハンドル回転角度でのみハンドル操作を制限することができるものであり、弁開度を微調整し、必要な弁開度を維持した状態でハンドル操作を制限することができない。

【0004】

そこで、出願人は、特許文献２に開示されるようなロックリングによるロック機構を提案している。
ロックリングとは、ハンドルと弁本体の間において、操作ロッドの長手方向に沿って、ハンドル操作を可能とするロック解除位置と、ハンドル操作を制限するロック位置との間でスライド可能に保持されるものであり、ロックリングがロック解除位置にある状態で、必要な弁開度が得られるまでハンドルを回転させ、必要な弁開度が得られた段階でロックリングをロック位置に移動させれば、必要な弁開度を維持した状態でハンドル操作を制限することが可能である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特開２０１０−２５５６６３号公報

【特許文献2】特開２００５−３４４９１８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、上記先行技術には次のような問題点があった。
ロックリングによるロック機構を適用すると、ロックリングをロック位置に移動させることを忘れてしまうおそれがある。例えば、作業者があるラインの流体制御を行うため、手動弁やその他流体制御機器を操作しようとし、隣のラインの手動弁に触れてしまったとき、当該隣のラインの手動弁のロックリングがロック位置に移動されていなかった場合には、意図せず開弁または閉弁してしまうおそれがある。

【0007】

さらには、ロックリングがロック位置に位置され、ハンドル操作が制限された状態であっても、ハンドルが外部に露出しているため、使用者がハンドル操作をしようとする可能性を排除できない。使用者が無理にハンドルを操作しようとすれば、ハンドルに加えられた回転力が、弁体に接続される操作ロッドに伝達され、弁開度に微妙なずれが生じるおそれがある。

【0008】

本発明は、上記問題点を解決するためのものであり、ロックリングの操作し忘れを防止するとともに、使用者が不用意にハンドル操作を行うことを防止することができる手動弁を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

上記課題を解決するために、本発明の誤操作防止カバー付き手動弁は、次のような構成を有している。
（１）ハンドルの回転操作により、弁本体の内部において弁体を弁座に当接または離間させる手動機構と、手動機構の動作を制限するロック機構を備える誤操作防止カバー付き手動弁において、ロック機構は、ロック機構を解除する第１位置と、ロック機構を有効にする第２位置と、の間を移動可能な操作部を備えること、誤操作防止カバー付き手動弁は、誤操作防止カバー付き手動弁に装着される中空状のカバー部材を備えること、カバー部材は、検知部を有する差込片を備えること、差込片がカバー部材に装着される際に、差込片は、検知部がカバー部材の中空内部において一定の進路を持って移動可能に保持されていること、カバー部材が誤操作防止カバー付き手動弁に装着された状態において、ハンドルと、操作部とは、カバー部材の中空内部に位置し、操作部が第１位置にあるときは、操作部が前記進路上に位置して、差込片をカバー部材に装着完了不能であること、操作部が第２位置にあるときは、操作部が前記進路上から退避して、差込片をカバー部材に装着完了可能であること、を特徴とする。

【0010】

（２）（１）に記載の誤操作防止カバー付き手動弁において、カバー部材は、差込片を挿入する挿通孔を備えること、差込片は、挿通孔に、挿入され、差込片がカバー部材の外部に突出する仮固定位置と、差込片がカバー部材の内部に収納される装着完了位置と、の間を移動可能に保持されていること、を特徴とする。
（３）（１）または（２）に記載の誤操作防止カバー付き手動弁において、手動機構は、一端に弁体が接続された操作ロッドを備え、操作ロッドの他端側にハンドルが配置されていること、手動機構は、ハンドルと弁体との間に、抜け止め部を備えること、カバー部材は、ハンドルの操作ロッドが延伸する側とは反対の方向から誤操作防止カバー付き手動弁に装着されること、差込片は、操作ロッドの長手方向と直交する方向からカバー部材に装着されること、カバー部材が誤操作防止カバー付き手動弁に装着され、差込片がカバー部材に装着された状態で、検知部は、抜け止め部の弁体側の端面に隣接して位置され、カバー部材に対してカバー部材の装着方向とは反対の方向に力が加わった場合に、検知部は、抜け止め部の弁体側の端面に当接し、カバー部材の装着方向とは反対の方向への移動を制限すること、を特徴とする。

【0011】

（４）（１）乃至（３）のいずれか１つに記載の誤操作防止カバー付き手動弁において、差込片は、差込片のカバー部材への装着側端面とは反対側の端面に第１ロック部を備えること、カバー部材は、差込片がカバー部材に装着された状態で、第１ロック部に対向して位置する第２ロック部を備えること、第１ロック部と、第２ロック部とには、差込片がカバー部材に装着された状態で、第１ロック部と第２ロック部とを貫通する係止孔が形成されていること、誤操作防止カバー付き手動弁は、係止孔に挿通されるロック部材を備えること、を特徴とする。

【0012】

（５）（１）乃至（４）のいずれか１つに記載の誤操作防止カバー付き手動弁において、手動機構は、一端に弁体が接続された操作ロッドを備え、操作ロッドの他端側にハンドルが配置されていること、操作部は、円環形状をなし、ハンドルの操作ロッドが延伸する側に、操作ロッドと同軸上に配置され、操作ロッドの長手方向に沿って、第１位置と、第２位置と、の間を移動すること、差込片は、操作ロッドの中心軸に直交する方向から、カバー部材に装着されること、カバー部材が誤操作防止カバー付き手動弁に装着された状態において、操作部が第１位置にあるときは、操作部の外周面が、検知部と干渉して、差込片をカバー部材に装着完了不能であること、操作部が第２位置にあるときは、操作部が装着完了された差込片を前記操作ロッドの中心軸を中心に回転投影した空間から退避して、差込片をカバー部材に装着完了可能であること、を特徴とする。

【0013】

（６）（１）乃至（５）のいずれか１つに記載の誤操作防止カバー付き手動弁において、手動機構は、一端に弁体が接続された操作ロッドを備えること、カバー部材は、誤操作防止カバー付き手動弁との装着側の端面に、誤操作防止カバー付き手動弁と係合する係合部を有すること、誤操作防止カバー付き手動弁には、係合部と係合する被係合部が設けられていること、係合部と、被係合部とが係合することで、カバー部材は、操作ロッドの中心軸を中心として、９０度ごとに回転して、誤操作防止カバー付き手動弁に対して位置決めが可能であること、を特徴とする。

【0014】

（７）（１）乃至（６）のいずれか１つに記載の誤操作防止カバー付き手動弁に装着される誤操作防止カバーであって、カバー部材と、差込片と、からなることを特徴とする。

【発明の効果】

【0015】

本発明の誤操作防止カバー付き手動弁は、上記構成を有することにより次のような作用・効果を有する。
（１）ハンドルの回転操作により弁体を弁座に当接または離間させる手動機構と、手動機構の動作を制限するロック機構を備える誤操作防止カバー付き手動弁において、ロック機構は、ロック機構を解除する第１位置と、ロック機構を有効にする第２位置と、の間を移動可能な操作部を備えること、誤操作防止カバー付き手動弁は、誤操作防止カバー付き手動弁に装着される中空状のカバー部材を備えること、カバー部材は、検知部を有する差込片を備えること、差込片がカバー部材に装着される際に、差込片は、検知部がカバー部材の中空内部において一定の進路を持って移動可能に保持されていること、カバー部材が誤操作防止カバー付き手動弁に装着された状態において、ハンドルと、操作部とは、カバー部材の中空内部に位置し、操作部が第１位置にあるときは、操作部が検知部の進路上に位置して、差込片をカバー部材に装着完了不能であること、操作部が第２位置にあるときは、操作部が検知部の進路上から退避して、差込片をカバー部材に装着完了可能であること、を特徴とするので、カバー部材を誤操作防止カバー付き手動弁に装着した状態で、カバー部材に差込片を装着しようとすると、作業者が操作部（例えばロックリング）を第２位置に移動させ忘れた場合など、操作部が第１位置にある場合には、操作部は検知部の進路上に位置しているため、操作部が検知部の移動を阻害し、作業者は差込片をカバー部材に装着することができない。
一方、操作部が第２位置に移動されていれば、操作部は検知部の進路上から退避しているため、検知部はカバー部材の中空内部における移動を阻害されることがなく、作業者は差込片をカバー部材に装着することができる。

【0016】

したがって、作業者は、カバー部材を誤操作防止カバー付き手動弁に装着した状態で、カバー部材に差込片を装着できるか否かによって、操作部が第１位置にあるのか、第２位置にあるのか知ることが可能である。差込片を装着できず、操作部が第１位置にあると分かれば、カバー部材を誤操作防止カバー付き手動弁から取り外し、操作部を第２位置に移動させてから、改めてカバー部材を誤操作防止カバー付き手動弁に装着すれば良く、操作部が第２位置に移動されていない状態で誤操作防止カバー付き手動弁が放置されることがない。
操作部が第２位置に移動されていない状態で誤操作防止カバー付き手動弁が放置されることがないため、作業者があるラインの流体制御を行うために手動弁やその他流体制御機器を操作しようとし、隣のラインの誤操作防止カバー付き手動弁に触れてしまったとき、当該隣のラインの誤操作防止カバー付き手動弁の操作部が第２位置に移動されていなかったがために意図せず弁開度を変更してしまうというおそれが解消される。

【0017】

また、誤操作防止のために単純にカバー部材のみを誤操作防止カバー付き手動弁に装着すれば、ハンドルやロック機構の操作部が外部から視認できなくなるため、作業後にロック機構が有効となっているか否かの確認を行うためには、カバー部材を取り外してから操作部の状態を確認しなければならないなど、作業効率の悪化が懸念される。しかし、上記のようにロック機構が有効となっている場合のみカバー部材に装着可能な差込片を備えることで、誤操作防止カバー付き手動弁に装着されたカバー部材に差込片が装着されていれば、ロック機構が有効な状態であるということが一目で判別可能となる。よって、作業後にロック機構が有効となっているか否かの確認を行うのが容易であり、作業効率の悪化を招かない。

【0018】

さらにまた、誤操作防止カバー付き手動弁にカバー部材を装着すると、ハンドルと、操作部とは、カバー部材の中空内部に位置するので、ハンドルと操作部とが外部に露出されない。
ハンドルが外部に露出していないため、作業者はハンドルに触れることが出来ず、無理にハンドルを操作しようとすることもなくなる。よって、作業者が無理にハンドル操作をしようとして、ハンドルに回転力を加え、ハンドルに加わった回転力が弁体に接続される操作ロッドに伝達され、弁開度に微小なずれが生じてしまうことを防止することができる。また、操作部も外部に露出していないため、不用意に手動機構の制限が解除されてしまうこともない。

【0019】

（２）（１）に記載の誤操作防止カバー付き手動弁において、カバー部材は、差込片を挿入する挿通孔を備えること、差込片は、挿通孔に、挿入され、差込片がカバー部材の外部に突出する仮固定位置と、差込片がカバー部材の内部に収納される装着完了位置と、の間を移動可能に保持されていること、を特徴とするので、差込片が、カバー部材の挿通孔に、仮固定位置と装着完了位置との間を移動可能なように一体化されており、誤操作防止カバーを誤操作防止カバー付き手動弁に装着するために持ち運ぶ際にも、差込片がカバー部材から脱落しない。
カバー部材と差込片とが一体になっていないとすると、差込片を紛失するおそれや、差込片をカバー部材に装着し忘れるおそれがある。
しかし、上記のようにカバー部材と差込片とが一体になっていることで、差込片を紛失するおそれが解消される。また、差込片が仮固定位置にある場合、カバー部材から突出しているため、差込片が装着完了位置にないことの視認性が向上し、差込片をカバー部材に装着し忘れるおそれが解消される。

【0020】

また、カバー部材と差込片とが一体になっていないとすると、カバー部材を誤操作防止カバー付き手動弁に装着した後に、作業者は差込片を持ち運んできて、カバー部材に装着させなければならない。近年、半導体製造装置の小型化や集積化が進んでいることから、作業スペースも狭小化され、差込片を装着するための作業スペース確保が困難である可能性がある。
さらにまた、半導体製造装置の小型化や集積化により、誤操作防止カバー付き手動弁も小型である場合が多い。誤操作防止カバー付き手動弁が小型であると、差込片も当然に小型となり、差込片を挿通孔に挿通させる作業は細かい作業となり、作業効率の悪化が懸念される。作業者が怪我防止のために手袋をしている場合などは、細かい作業を行うことがますます困難である。

【0021】

差込片がカバー部材の挿通孔に、仮固定位置と装着完了位置との間を移動可能に保持されていれば、作業者は、カバー部材を誤操作防止カバー付き手動弁に取り付けた後、差込片を仮固定位置から装着完了位置へ押し込むなどして移動させるのみで良い。
よって、作業スペースの確保が容易であるとともに、作業が単純となるため、作業効率の悪化を防止できる。また、作業者が手袋をしている場合であっても、差込片を移動させるのみであれば、容易に作業が可能である。

【0022】

（３）（１）または（２）に記載の誤操作防止カバー付き手動弁において、手動機構は、一端に弁体が接続された操作ロッドを備え、操作ロッドの他端側にハンドルが配置されていること、手動機構は、ハンドルと弁体との間に、抜け止め部を備えること、カバー部材は、ハンドルの操作ロッドが延伸する側とは反対の方向から誤操作防止カバー付き手動弁に装着されること、検知部材は、操作ロッドの長手方向と直交する方向からカバー部材に装着されること、カバー部材が誤操作防止カバー付き手動弁に装着され、検知部材がカバー部材に装着された状態で、検知部は、抜け止め部の弁体側の端面に隣接して位置され、カバー部材に対してカバー部材の装着方向とは反対の方向に力が加わった場合に、検知部は、抜け止め部の弁体側の端面に当接し、カバー部材の装着方向とは反対の方向への移動を制限すること、を特徴とするので、作業者が、操作部を第２位置に移動させた後、カバー部材をハンドルの操作ロッドが延伸する側とは反対の方向から誤操作防止カバー付き手動弁に装着させ、差込片を操作部の移動方向と直交する方向から、カバー部材に装着させることで、差込片の検知部は、手動機構がハンドルと弁体との間に有する抜け止め部の弁体側端面に隣接して位置されることになる。差込片の検知部が抜け止め部の端面に隣接して位置されるため、カバー部材に対してカバー部材の装着方向とは反対の方向に力が加わった場合、検知部がハンドルの端面に当接し、カバー部材が誤操作防止カバー付き手動弁から脱落することを防止する。
差込片を、カバー部材脱落防止のためのロック構造としても使用することが可能であるため、脱落防止のための構造や、部材を別途に設ける必要がなく、製造コスト増大の防止や、製品構造の単純化が可能である。

【0023】

（４）（１）乃至（３）のいずれか１つに記載の誤操作防止カバー付き手動弁において、差込片は、差込片のカバー部材への装着側端面とは反対側の端面に第１ロック部を備えること、カバー部材は、差込片がカバー部材に装着された状態で、第１ロック部に対向して位置する第２ロック部を備えること、第１ロック部と、第２ロック部とには、差込片がカバー部材に装着された状態で、第１ロック部と第２ロック部とを貫通する係止孔が形成されていること、誤操作防止カバー付き手動弁は、係止孔に挿通されるロック部材を備えること、を特徴とするので、差込片は第１ロック部を、カバー部材は第２ロック部を備え、第１ロック部と第２ロック部を貫通するよう係止孔が備えられているため、例えば南京錠のようなロック部材を、係止孔に挿通させることで、差込片をカバー部材に装着された状態で固定することができる。
また、第１ロック部は、差込片のカバー部材への装着側端面とは反対側の端面に設けられているため、例えばカバー部材が六面体である場合、カバー部材の、差込片を装着する面でロック部材を取付けることができ、装着する面とは反対側の面などにわざわざ手を回してロック部材を取り付ける必要がない。よって、作業スペースが限られる半導体製造工程においても、容易に差込片をカバー部材に固定することが可能である。

【0024】

（５）（１）乃至（４）に記載の誤操作防止カバー付き手動弁において、手動機構は、一端に弁体が接続された操作ロッドを備え、操作ロッドの他端側にハンドルが配置されていること、操作部は、円環形状をなし、ハンドルの操作ロッドが延伸する側に、操作ロッドと同軸上に配置され、操作ロッドの長手方向に沿って、第１位置と、第２位置と、の間を移動すること、検知部材は、操作ロッドの中心軸に直交する方向から、カバー部材に装着されること、カバー部材が誤操作防止カバー付き手動弁に装着された状態において、操作部が第１位置にあるときは、操作部の外周面が、検知部と干渉して、差込片をカバー部材に装着完了不能であること、操作部が第２位置にあるときは、操作部が装着完了された差込片を前記操作ロッドの中心軸を中心に回転投影した空間から退避して、差込片をカバー部材に装着完了可能であること、を特徴とするので、操作ロッドおよび操作部の中心軸に直交する方向からであれば、どの角度から検知部材を装着しても、操作部の第２位置への移動し忘れを確実に防止することができる。

【0025】

すなわち、操作部が円環状であるため、操作部中心から検知部が干渉する外周面の任意の点までの距離は常に一定であり、検知部が外周面と干渉する位置は、操作ロッドおよび操作部の中心軸に直交する方向からであれば、どの角度から検知部材を装着しても、一定である。したがって、操作部が第１位置にあるときは、操作ロッドおよび操作部の中心軸に直交する方向からであれば、どの角度から検知部材を装着しても、一定の位置で検知部材の装着ができなくなるため、装着する角度によって装着できなくなる位置がばらつきを原因とする検知部材の装着可否の誤認を防止できる。
一方、操作部が第２位置にあるときは、操作部が装着完了された差込片を前記操作ロッドの中心軸を中心に回転投影した空間から退避するので、操作ロッドおよび操作部の中心軸に直交する方向からであれば、どの角度から検知部材を装着しても、検知部材と操作部とが干渉することなく、検知部材を装着完了させることができる。
よって、実際に誤操作防止カバー付き手動弁が配設される半導体製造ラインの作業スペースに応じて、作業者が自由に差込片を装着する方向を選択することができる。

【0026】

（６）（１）乃至（５）のいずれか１つに記載の誤操作防止カバー付き手動弁において、カバー部材は、誤操作防止カバー付き手動弁との装着側の端面に、誤操作防止カバー付き手動弁と係合する係合部を有すること、誤操作防止カバー付き手動弁には、係合部と係合する被係合部が設けられていること、係合部と、被係合部とが係合することで、カバー部材は、操作ロッドの中心軸を中心として、９０度ごとに回転して、誤操作防止カバー付き手動弁に対して位置決めが可能であること、を特徴とするので、誤操作防止カバーを、誤操作防止カバー付き手動弁に対して操作ロッドの中心軸を中心に９０度ずつ回転させても誤操作防止カバー付き手動弁に装着し、係合させることが可能である。１方向のみで装着可能である場合と比べ、作業性が向上する。

【0027】

（７）（１）乃至（６）のいずれか１つに記載の誤操作防止カバー付き手動弁に装着される誤操作防止カバーであって、カバー部材と、差込片と、からなることを特徴とするので、カバー部材を誤操作防止カバー付き手動弁に装着した状態で、カバー部材に差込片を装着しようとすると、作業者が操作部（例えばロックリング）を第２位置に移動させ忘れた場合など、操作部が第１位置にある場合には、操作部は検知部の進路上に位置しているため、操作部が検知部の移動を阻害し、作業者は差込片をカバー部材に装着することができない。
一方、操作部が第２位置に移動されていれば、操作部は検知部の進路上から退避しているため、検知部はカバー部材の中空内部における移動を阻害されることがなく、作業者は差込片をカバー部材に装着することができる。

【0028】

したがって、作業者は、カバー部材を誤操作防止カバー付き手動弁に装着した状態で、カバー部材に差込片を装着できるか否かによって、操作部が第１位置にあるのか、第２位置にあるのか知ることが可能である。差込片を装着できず、操作部が第１位置にあると分かれば、カバー部材を誤操作防止カバー付き手動弁から取り外し、操作部を第２位置に移動させてから、改めてカバー部材を手動弁に装着すれば良く、操作部が第２位置に移動されていない状態で誤操作防止カバー付き手動弁が放置されることがない。
操作部が第２位置に移動されていない状態で誤操作防止カバー付き手動弁が放置されることがないため、作業者があるラインの流体制御を行うために誤操作防止カバー付き手動弁やその他流体制御機器を操作しようとし、隣のラインの誤操作防止カバー付き手動弁に触れてしまったとき、当該隣のラインの誤操作防止カバー付き手動弁の操作部が第２位置に移動されていなかったがために意図せず弁開度を変更してしまうというおそれが解消される。

【0029】

また、誤操作防止のために単純にカバー部材のみを誤操作防止カバー付き手動弁に装着すれば、ハンドルやロック機構の操作部が外部から視認できなくなるため、作業後にロック機構が有効となっているか否かの確認を行うためには、カバー部材を取り外してから操作部の状態を確認しなければならないなど、作業効率の悪化が懸念される。しかし、上記のようにロック機構が有効となっている場合のみカバー部材に装着可能な差込片を備えることで、誤操作防止カバー付き手動弁に装着されたカバー部材に差込片が装着されていれば、ロック機構が有効な状態であるということが一目で判別可能となる。よって、作業後にロック機構が有効となっているか否かの確認を行うのが容易であり、作業効率の悪化を招かない。

【0030】

さらにまた、誤操作防止カバー付き手動弁にカバーを装着すると、ハンドルと、操作部とは、カバー部材の中空内部に位置するので、ハンドルと操作部とが外部に露出されない。
ハンドルが外部に露出していないため、作業者はハンドルに触れることが出来ず、無理にハンドルを操作しようとすることもなくなる。よって、作業者が無理にハンドル操作をしようとして、ハンドルに回転力を加え、ハンドルに加わった回転力が弁体に接続される操作ロッドに伝達され、弁開度に微小なずれが生じてしまうことを防止することができる。また、操作部も外部に露出していないため、不用意に手動機構の制限が解除されてしまうこともない。

【0031】

誤操作防止カバーは、差込片が、カバー部材の挿通孔に、仮固定位置と装着完了位置との間を移動可能なように一体化されており、誤操作防止カバーを誤操作防止カバー付き手動弁に装着するために持ち運ぶ際にも、差込片がカバー部材から脱落しない。
カバー部材と差込片とが一体になっていないとすると、差込片を紛失するおそれや、差込片をカバー部材に装着し忘れるおそれがある。
しかし、上記のようにカバー部材と差込片とが一体になっていることで、差込片を紛失するおそれが解消される。また、差込片が仮固定位置にある場合、カバー部材から突出しているため、差込片が装着完了位置にないことの視認性が向上し、差込片をカバー部材に装着し忘れるおそれが解消される。

【0032】

また、カバー部材と差込片とが一体になっていないとすると、カバー部材を誤操作防止カバー付き手動弁に装着した後に、作業者は差込片を持ち運んできて、カバー部材に装着させなければならない。近年、半導体製造装置の小型化や集積化が進んでいることから、作業スペースも狭小化され、差込片を装着するための作業スペース確保が困難である可能性がある。
さらにまた、半導体製造装置の小型化や集積化により、誤操作防止カバー付き手動弁も小型である場合が多い。誤操作防止カバー付き手動弁が小型であると、差込片も当然に小型となり、差込片を挿通孔に挿通させる作業は細かい作業となり、作業効率の悪化が懸念される。作業者が怪我防止のために手袋をしている場合などは、細かい作業を行うことがますます困難である。

【0033】

誤操作防止カバーは、差込片がカバー部材の挿通孔に、仮固定位置と装着完了位置との間を移動可能に保持されているため、作業者は、カバー部材を誤操作防止カバー付き手動弁に取り付けた後、差込片を仮固定位置から装着完了位置へ押し込むなどして移動させるのみで良い。
よって、作業スペースの確保が容易であるとともに、作業が単純となるため、作業効率の悪化を防止できる。また、作業者が手袋をしている場合であっても、差込片を移動させるのみであれば、容易に作業が可能である。

【0034】

誤操作防止カバーは、作業者が、操作部を第２位置に移動させた後、カバー部材をハンドルの操作ロッドが延伸する側とは反対の方向から誤操作防止カバー付き手動弁に装着され、差込片を操作部の移動方向と直交する方向から、カバー部材に装着させることで、差込片の検知部は、手動機構がハンドルと弁体との間に有する抜け止め部の弁体側端面に隣接して位置されることになる。差込片の検知部が抜け止め部の端面に隣接して位置されるため、カバー部材に対してカバー部材の装着方向とは反対の方向に力が加わった場合、検知部がハンドルの端面に当接し、カバー部材が誤操作防止カバー付き手動弁から脱落することを防止する。
差込片を、カバー部材脱落防止のためのロック構造としても使用することが可能であるため、脱落防止のための構造や、部材を別途に設ける必要がなく、製造コスト増大の防止や、製品構造の単純化が可能である。

【0035】

誤操作防止カバーは、差込片が第１ロック部を、カバー部材が第２ロック部を備え、第１ロック部と第２ロック部を貫通するよう係止孔が備えられているため、例えば南京錠のようなロック部材を、係止孔に挿通させることで、差込片をカバー部材に装着された状態で固定することができる。
また、第１ロック部は、差込片のカバー部材への装着側端面とは反対側の端面に設けられているため、例えばカバー部材が六面体である場合、カバー部材の、差込片を装着する面でロック部材を取付けることができ、装着する面とは反対側の面などにわざわざ手を回してロック部材を取り付ける必要がない。よって、作業スペースが限られる半導体製造工程においても、容易に差込片をカバー部材に固定することが可能である。

【0036】

誤操作防止カバーは、操作ロッドおよび操作部の中心軸に直交する方向からであれば、どの角度から検知部材を装着しても、操作部の第２位置への移動し忘れを確実に防止することができる。
すなわち、操作部が円環状であるため、操作部中心から検知部が干渉する外周面の任意の点までの距離は常に一定であり、検知部が外周面と干渉する位置は、操作ロッドおよび操作部の中心軸に直交する方向からであれば、どの角度から検知部材を装着しても、一定である。したがって、操作部が第１位置にあるときは、操作ロッドおよび操作部の中心軸に直交する方向からであれば、どの角度から検知部材を装着しても、一定の位置で検知部材の装着ができなくなるため、装着する角度によって装着できなくなる位置がばらつきを原因とする検知部材の装着可否の誤認を防止できる。
一方、操作部が第２位置にあるときは、操作部が装着完了された差込片を前記操作ロッドの中心軸を中心に回転投影した空間から退避するので、操作ロッドおよび操作部の中心軸に直交する方向からであれば、どの角度から検知部材を装着しても、検知部材と操作部とが干渉することなく、検知部材を装着完了させることができる。
よって、実際に誤操作防止カバー付き手動弁が配設される半導体製造ラインの作業スペースに応じて、作業者が自由に差込片を装着する方向を選択することができる。

【0037】

誤操作防止カバーは、誤操作防止カバー付き手動弁に対して操作ロッドの中心軸を中心に９０度ずつ回転させても誤操作防止カバー付き手動弁に装着し、係合させることが可能である。１方向のみで装着可能である場合と比べ、作業性が向上する。

【図面の簡単な説明】

【0038】

【図1】誤操作防止カバー付き手動弁１に誤操作防止カバー１０を装着した状態の斜視図である。

【図2】誤操作防止カバー１０の未装着状態の誤操作防止カバー付き手動弁１の斜視図である。

【図3】誤操作防止カバー１０の斜視図である。

【図4】誤操作防止カバー付き手動弁１に誤操作防止カバー１０を装着した状態の正面図である。

【図5】誤操作防止カバー付き手動弁１に誤操作防止カバー１０を装着した状態の右側面図である。

【図6】図５のＡ−Ａ断面図である。

【図7】図５のＢ−Ｂ断面図である。

【図8】検知部材１０２が仮固定位置にある状態のＢ−Ｂ断面図である。

【図9】図６のダイアフラム押え２１と、ボディ２３との係合部を示す拡大図である。

【図10】図４のＤ−Ｄ断面図である。

【図11】誤操作防止カバー１０の未装着状態の誤操作防止カバー付き手動弁１の右側面図である。

【図12】図１１のＣ−Ｃ断面図である。

【図13】南京錠２４により、検知部材１０２をカバー部材１０１に固定した状態を示す誤操作防止カバー付き手動弁１の斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0039】

本発明の誤操作防止カバー付き手動弁１の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
誤操作防止カバー付き手動弁１は、取付プレート５を介して半導体製造装置に設置され、反応室に接続するラインへの流体供給を制御するためのものである。
誤操作防止カバー付き手動弁１は、図６に示すように、弁部２と、手動機構３と、ロック機構４とからなり、さらに手動機構３を構成するハンドル３１を覆うための誤操作防止カバー１０を有する。
誤操作防止カバー付き手動弁１は、ハンドル３１の回転操作によりスライドナット３３が中心軸を中心に回転され、スライドナット３３の回転により操作ロッド３２が開弁方向（図６中上方向）また閉弁方向（図６中下方向）に移動されるため、弁部２において、操作ロッド３２に接続された弁体２２を弁座２３ａに当接または離間させ、流体流量を制御することができる。

【0040】

また、ロック機構４を構成するロックリング４１は、スライドナット３３の外周面上に、ロック機構４を解除する第１位置と、ロック機構４を有効にする第２位置と、の間を移動可能に保持されている。ロックリング４１が第１位置にある場合は、ハンドル操作により誤操作防止カバー付き手動弁１を開弁および閉弁させることが可能である。一方で、ロックリング４１が第２位置にある場合は、スライドナット３３が回転不能となるため（詳細は後述）、ハンドル操作によって操作ロッド３２を開弁方向（図６中上方向）また閉弁方向（図６中下方向）に移動させることが出来なくなり、誤操作防止カバー付き手動弁１を開弁および閉弁させることが不能となる。

【0041】

誤操作防止カバー１０は、開弁または閉弁作業を完了した後、誤操作防止カバー付き手動弁１に装着されることで、ハンドル３１を覆い、作業者が直接ハンドル３１に触れることができないようにするものである。また、誤操作防止カバー１０に装着される検知部材１０２により、ロックリング４１が第２位置に移動されているか否か検知することが可能となっており、作業者がロックリング４１を第２位置に移動させ忘れた状態で誤操作防止カバー付き手動弁１が放置されることを防止する。

【0042】

以下、誤操作防止カバー付き手動弁１の構成について詳しく説明する。
まず、手動機構３について説明する。
手動機構３は、ハンドル３１と、操作ロッド３２と、スライドナット３３と、スライドナットカバー３４と、クリップ３５と、インジケータカバー３６と、からなる。

【0043】

ハンドル３１は、図６に示すように中央部に貫通孔３１ａを有する略円筒形状であり、図２に示すように外周面には複数の滑り止め突起３１ｂが円周方向に等間隔に設けられている。
ハンドル３１の上端面には、貫通孔３１ａを塞ぐように透明体からなるインジケータカバー３６が備えられており、貫通孔３１ａに挿通される操作ロッド３２の上端部が目視可能となっている。
したがって、インジケータカバー３６を通して視認可能な操作ロッド３２の上端部の位置を参考にしながら弁開度を把握し、ハンドル３１を回転させることが可能である。

【0044】

図１１に示すように、ハンドル３１の下面には、第２係止部３１２が下垂しており、第２係止部３１２の両端には、図１２に示すように半径方向外側に向かって弾性変形可能な押え部３１２ａ，３１２ａ。が形成されている。
さらに、第１係止部３１１が、第２係止部３１２と対向するようにハンドル３１の下面から下垂しており、クリップ３５を保持している。
ハンドル３１が回転されると、クリップ３５は、第１係止部３１１と、第２係止部３１２と、により保持されているため、ハンドル３１と一体に回転する。

【0045】

クリップ３５は、図１２に示すように、挟持部３５１を有し、略Ｃ字型形状をなしている。これらの挟持部３５１，３５１は、相互に離間したり、元の位置に戻ったりする近接離間運動方向に弾性変形可能となっている。
挟持部３５１の先端には、第２係止部３１２の係止部当接面３１２ｂに当接する第２係止部当接面３５１ｂが形成されている。さらに、挟持部３５１の内周面には、スライドナット３３の上側の端部に形成される係合部３３ｂの外周面の全ての面と当接可能な挟持部当接面３５１ａが形成されている。
挟持部３５１，３５１は、ハンドル３１の一対の押え部３１２ａ，３１２ａ挟持されており、スライドナット３３を挟持する方向に所定の弾性力を与えられており、挟持部当接面３５１ａが、スライドナット３３の係合部３３ｂの外周面の全ての面と当接し、挟持するため、ハンドル３１と一体に回転するクリップ３５の回転力が、スライドナット３３に伝達されることとなる。

【0046】

スライドナット３３は、図６に示すように、中央部に長手方向に貫通する貫通孔を有し、略円筒形状をなしている。当該貫通孔の内周面には、雌ねじ部３３ａが形成され、雌ねじ部３３ａは、操作ロッド３２の雄ねじ部３２ａと螺着する。また、操作ロッド３２は、回転止め部３２ｂを図示しないダイアフラム押え２１の一部に周方向に係止しており、スライドナット３３内で自転しないようになっている。
したがって、ハンドル３１操作によってスライドナット３３が中心軸を中心に回転されると、操作ロッド３２は、雄ねじ部３２ａ雌ねじ部３３ａによってねじ送りされ、スライドナット３３に対して相対的に図６の上下方向に螺進可能となっている。操作ロッド３２の下端部には弁体２２が結合されており、操作ロッド３２の上下方向の運動に伴い、弁体２２も上下に運動し、開弁および閉弁動作が行われる。

【0047】

スライドナット３３は、スライドナットカバー３４の中央部に設けられた貫通孔３４ｃに挿通されている。そして、図６中下側の端部に、フランジ部３３ｃを有し、スライドナットカバー３４の段差部３４ｂと、ダイアフラム押え２１の段差部２１ｄにより、スライドナット３３の中心軸を中心とした回転が可能なように保持されている。
段差部３４ｂは、図中下側に突出する突起を有しており、当該突起がフランジ部３３ｃの上面と接触している。突起を接触させることで、接触面積を最小限とすることができ、スライドナット３３が、スライドナットカバー３４と、ダイアフラム押え２１と、に対して回転しやすくなる。

【0048】

また、スライドナット３３の係合部３３ｂとフランジ部３３ｃとの間の外周面には、ロック機構４を構成する円環状のロックリング４１が第１位置と第２位置との間を移動可能に保持されている。そして、図７に示すように、ロックリング４１の内周面には係合突起４１ｂが設けられており、当該係合突起４１ｂが、スライドナット３３の外周面に設けられた係合溝３３ｄと係合している。係合突起４１ｂと係合溝３３ｄが係合しているため、スライドナット３３がスライドナット３３の軸を中心とした回転をするとき、ロックリング４１とスライドナット３３とが一体となって回転する。

【0049】

スライドナットカバー３４の図６中上側の端面には、ロック機構４を構成する歯部３４ａが形成され、歯部３４ａのロックリング４１の歯部４１ａと係合可能となっている。図６に示すようにロックリング４１が、歯部３４ａと係合している場合がロックリング４１の第２位置であり、この場合に、ロックリング４１は、ロックリング４１の軸を中心とした回転をすることができない。ロックリング４１が回転不能であるため、ロックリング４１と一体となっているスライドナット３３も、スライドナット３３の軸を中心とした回転をすることができない。作業者がハンドル３１の操作をしようとしても、スライドナット３３が回転しないため、スライドナット３３の雌ねじ部３３ａに螺着された操作ロッド３２は上下運動することがない。操作ロッド３２は上下運動することがないため、操作ロッド３２に接続された弁体２２も上下運動することがなく、誤操作防止カバー付き手動弁１の開弁および閉弁動作が行われることがない。

【0050】

また、ロックリング４１が第２位置にある場合に、ハンドル３１を回転させようとすると、スライドナット３３が回転不能となっているため、ハンドル３１に所定値以上の回転力が加わる。ハンドル３１に所定値以上の回転力が加わると、スライドナット３３の係合部３３ｂがクリップ３５の挟持部当接面３５１ａを押し広げ、挟持部３５１，３５１が相互に離間する方向に弾性変形する。挟持部３５１，３５１が相互に離間する方向に弾性変形することで、ハンドル３１と、ハンドル３１と一体になっているクリップ３５とが、スライドナット３３に対して、空転するため、ハンドル３１に与えられた回転力がスライドナット３３に伝達されず、誤操作防止カバー付き手動弁１の開弁および閉弁動作が行われない。

【0051】

一方、図１１に示すのが、ロックリング４１の第１位置である。ロックリング４１が第１位置にある場合には、ロックリング４１の歯部４１ａとスライドナットカバー３４の歯部３４ａとの係合が解除されているため、作業者がハンドル３１を操作し、回転力を与えれば、スライドナット３３が回転し、誤操作防止カバー付き手動弁１の開弁および閉弁動作が行われる。

【0052】

スライドナットカバー３４の下方には、弁部２を構成するダイアフラム押え２１と、ボディ２３とが位置しており、さらにボディ２３の下方には、取付プレート５が配置される。そして、図１０に示すように、スライドナットカバー３４の挿通孔３４ｅと、ダイアフラム押え２１の挿通孔２１ｅと、ボディ２３の挿通孔２３ｇと、取付プレート５の挿通孔５ａと、にボルト５０が挿通され、ナット５１で締め付けることで、スライドナットカバー３４と、ダイアフラム押え２１と、ボディ２３と、取付プレート５とが一体となる。

【0053】

次に弁部２について説明する。
弁部２は、ボディ２３と、ダイアフラム押え２１と、弁体２２と、から構成される。また、ボディ２３の材質は、樹脂製であり、特に耐酸性を有するフッ素系樹脂が適する。

【0054】

ボディ２３は、上部にダイアフラム押え取付端２３ｅが突設され、ダイアフラム押え取付端２３ｅの内面には、入力側の流入経路２３ｃと、出力側の流出経路２３ｄとを連通させる弁室２３ｂが形成されている。そして、弁室２３ｂの底面が弁座２３ａであり、その上方に弁体２２が配設され、弁体２２の当接部２２ａが弁座２３ａと当接又は離間することにより流体供給を制御する。
弁体２２は、上方になだらかに膨出して湾曲した形状のダイアフラム部２２ｂを有しており、操作ロッド３２の上下運動に伴い、ダイアフラム部２２ｂが弾性変形し、弁体２２を上下させる。
また、弁体２２は、外周部に備えられた圧入部２２ｃが、ボディ２３の圧入溝２３ｆに圧入され、さらに上端面が、ダイアフラム押え２１の押え面２１ａにより、位置決め固定されている

【0055】

ダイアフラム押え２１は、下端面に設けられた凹溝２１ｂによりボディ２３のダイアフラム押え取付端２３ｅと係合している。
また、凹溝２１ｂと、ダイアフラム押え取付端２３ｅの内周面との間には、Ｏリング７が配置されており、ダイアフラム部２２ｂからの透過ガスがボルト５０に到達しないようになっている。透過ガスにより、ボルト５０が腐食するおそれがあるためである。

【0056】

ダイアフラム押え２１下端部の図６中左右２か所には、対向するように押圧部２１１，２１１が形成されており、押圧部２１１，２１１の先端内周面には、図９に示すように爪部２１１ａが形成されている。
対向する爪部２１１ａ内面と爪部２１１ａ内面との距離は、ダイアフラム押え取付端２３ｅの外径よりも小さく、ダイアフラム押え２１と、ボディ２３とが係合されると、図９に示すようにダイアフラム押え取付端２３ｅが爪部２１１ａを外側に押し広げ、押圧部２１１が弾性変形する。
押圧部２１１が弾性変形することにより生じる反力でダイアフラム押え取付端２３ｅが押圧されており、ダイアフラム押え２１が、ボディ２３に対してハンドル３１の回転方向にがたつかない。

【0057】

ダイアフラム押え２１が、ボディ２３に対して作業者がハンドルを回転させた方向にがたつかないようにしている理由は、ダイアフラム押え２１がずれることで作業者に、閉弁および閉弁の精度に悪影響があるのではないか、という不安感を与えることを防止するためである。

【0058】

より詳しく説明すると、ダイアフラム押え２１の段差部２１ｄとスライドナットカバー３４の段差部３４ｂとで、スライドナット３３のフランジ部３３ｃを保持しているため、ハンドル３１の回転操作によりスライドナット３３が回転されると、摩擦力により、ダイアフラム押え２１にも回転力が伝達される。
先述の通り、スライドナットカバー３４と、ダイアフラム押え２１と、ボディ２３と、取付プレート５とは、ボルト５０と、ナット５１とにより一体となっており、ボルト５０と、ナット５１との締結が確実になされていれば、上記回転力が加わってもダイアフラム押え２１は回転方向にがたつかない。
しかし、半導体製造工程で使用される流体の温度は１００℃程度と高く、誤操作防止カバー付き手動弁１が高温下に置かれる。そして、メンテナンス時には手で触れることができるよう、誤操作防止カバー付き手動弁１の温度を常温まで下げる。高温と常温の温度サイクルが繰り返されることにより、誤操作防止カバー付き手動弁１を構成する部材の膨張と収縮が繰り返され、膨張と収縮が繰り返されるうち、ボルト５０と、ナット５１との締結力が低下するおそれがある。ボルト５０と、ナット５１との締結力が低下した状態で、上記のようにダイアフラム押え２１に回転力が加わると、回転力が加わった方向（作業者がハンドルを回転させた方向）に、ダイアフラム押え２１がずれてしまい、作業者に不安感を与えることになる。
そこで、ダイアフラム押え２１の押圧部２１１により、ボディ２３のダイアフラム押え取付端２３ｅを押圧し、ダイアフラム押え２１が、ボディ２３に対してスライドナット３３の回転方向にがたつかないようにしているのである。

【0059】

また、ダイアフラム押え２１は、図６に示すように中央部に操作ロッド３２が挿通される貫通孔２１ｃを有し、貫通孔２１ｃの内周面と、操作ロッド３２の外周面との間には、Ｏリング６が配置され、ダイアフラム部２２ｂから透過ガスがボルト５０に到達しないようになっている。透過ガスにより、ボルト５０が腐食するおそれがあるためである。

【0060】

ボディ２３の下端部には、取付プレート５が配置され、誤操作防止カバー付き手動弁１は取付プレート５を介して半導体製造装置に設置されるとともに、継手８を介して流体供給ラインに組付けられる。

【0061】

次に誤操作防止カバー１０について説明する。
誤操作防止カバー１０は、一端が閉塞され、他端が開口された筒形状のカバー部材１０１と、ロックリング４１の第２位置への移動し忘れを防止するための検知部材１０２とからなる。

【0062】

誤操作防止カバー１０を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着すると、ハンドル３１と、ロックリング４１とが、カバー部材１０１の中空内部に位置され、外部に露出されない状態となる。
ハンドル３１が外部に露出していないため、使用者はハンドル３１に触れることが出来ず、無理にハンドル３１を操作しようとすることもなくなる。よって、使用者が無理にハンドル３１操作をしようとして、ハンドル３１に回転力を加え、ハンドル３１に加わった回転力が弁体２２に接続される操作ロッド３２に伝達され、弁開度に微小なずれが生じてしまうことを防止することができる。また、ロックリング４１も外部に露出していないため、不用意に手動機構３の制限が解除されてしまうこともない。

【0063】

カバー部材１０１は閉塞された端面（図６中上側の端面）に貫通孔１０１ａを有しており、図１に示すように、誤操作防止カバー１０が誤操作防止カバー付き手動弁１に装着された状態で、貫通孔１０１ａからインジケータカバー３６が突出する。そのため、作業者は、誤操作防止カバー付き手動弁１に誤操作防止カバー１０を装着した状態であっても、インジケータカバー３６を通して視認可能な操作ロッド３２の上端部の位置を参考にして弁開度を把握することが可能である。

【0064】

また、カバー部材１０１の開口側の端面の四角には、カバー部材１０１を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着したときにスライドナットカバー３４の上端部四角と係合する係合部１０１ｅが設けられている。係合部１０１ｅがスライドナットカバー３４と４角で係合することで、中心軸を中心とした回転方向への位置決めがなされる。

【0065】

また、カバー部材１０１の４面ある側面のうちの一つの面に、検知部材１０２を挿通するための検知部材挿通孔１０１ｃが設けられている。
検知部材１０２は、図７に示すように、カバー部材１０１に装着された状態で、カバー部材１０１の内部空間に延伸される検知部１０２ａを有し、平面視略コの字形状に形成されている。

【0066】

そして、検知部材１０２は、カバー部材１０１の検知部材挿通孔１０１ｃに、仮固定位置と、装着完了位置との間を移動可能に保持され、検知部材１０２と、カバー部材１０１とは一体になっている。
もし、カバー部材１０１と検知部材１０２とが一体になっていないとすると、検知部材１０２を紛失するおそれや、検知部材１０２をカバー部材１０１に装着し忘れるおそれがある。
しかし、上記のようにカバー部材１０１と検知部材１０２とが一体になっていることで、検知部材１０２を紛失するおそれが解消される。また、検知部材１０２が仮固定位置にある場合、カバー部材１０１から突出しているため、検知部材１０２が装着完了位置にないことの視認性が向上し、検知部材１０２をカバー部材１０１に装着し忘れるおそれが解消される。

【0067】

また、カバー部材１０１と検知部材１０２とが一体になっていないとすると、カバー部材１０１を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着した後に、作業者は検知部材１０２を持ってきて、カバー部材１０１に装着させなければならない。近年、半導体製造装置の小型化や集積化が進んでいることから、作業スペースも狭小化され、検知部材１０２を装着するための作業スペース確保が困難である可能性がある。
さらにまた、半導体製造装置の小型化や集積化により、誤操作防止カバー付き手動弁１も小型である場合が多い。誤操作防止カバー付き手動弁１が小型であると、検知部材１０２も当然に小型となり、検知部材１０２を検知部材挿通孔１０１ｃに挿通させる作業は細かい作業となり、作業効率の悪化が懸念される。特に作業者が怪我防止のために手袋をしている場合などは、細かい作業を行うことがますます困難である。

【0068】

検知部材１０２がカバー部材１０１の検知部材挿通孔１０１ｃに、仮固定位置と装着完了位置との間を移動可能に保持され、検知部材１０２とカバー部材１０１とが一体になっていれば、作業者は、カバー部材１０１を誤操作防止カバー付き手動弁１に取り付けた後、検知部材１０２を仮固定位置から装着完了位置へ押し込むなどして移動させるのみで良い。よって、作業スペースの確保が容易であるとともに、作業が単純となるため、作業効率の悪化を防止できる。また、作業者が手袋をしている場合であっても、検知部材１０２を移動させるのみであれば、容易に作業が可能である。

【0069】

図３、図８に示すのが、検知部材１０２の仮固定位置である。検知部１０２ａが、誤操作防止カバー１０を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着する際に、ハンドル３１に干渉しない位置にあり、検知部１０２ａ先端の内面側の係止突起１０２ｃと、検知部１０２ａ先端の外面側の係止突起１０２ｄとにより、検知部材挿通孔１０１ｃと係合しているため、検知部材１０２がカバー部材１０１から脱落しないようになっている。

【0070】

図７に示すのが、検知部材１０２の装着が完了した装着完了位置である。作業者が手指などにより、検知部材１０２を押し込むことで、仮固定位置から装着完了位置に移動させることが可能である。検知部材１０２が仮固定位置から押し込まれるに従い、検知部１０２ａが、カバー部材１０１の中空内部において、直線進路をもって移動していく。

【0071】

そして、検知部１０２ａが、カバー部材１０１の中空内部を移動する直線進路上にロックリング４１が位置するか否かにより、ロックリング４１を第２位置に移動し忘れていないかどうかの検知が行われる。
すなわち、作業者が誤操作防止カバー付き手動弁１の開弁または閉弁動作を終えた後、ロックリング４１を第２位置に移動させ忘れ、ロックリング４１が第１位置にある状態で誤操作防止カバー１０を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着した場合、図１０に示すように、検知部材１０２とロックリング４１は図中上下方向の位置がほぼ同一となる。つまり、検知部１０２ａがカバー部材１０１の中空内部を移動する直線進路上にロックリング４１があることになり、この状態で作業者が検知部材１０２を装着させるために装着完了位置に押し込もうとすると、検知部１０２ａがロックリング４１の外周面に干渉し、検知部材１０２をカバー部材１０１に装着させることができない。

【0072】

一方で、ロックリング４１が第２位置にある場合には、ロックリング４１が、検知部１０２ａがカバー部材１０１の中空内部を移動する直線進路上から図１０中下方向に退避するため、検知部材１０２を押し込む際に、検知部１０２ａと、ロックリング４１が干渉することがなく、作業者は検知部材１０２を装着完了位置まで押し込むことができる。

【0073】

したがって、作業者は、カバー部材１０１を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着した状態で、カバー部材１０１に検知部材１０２を装着できるか否かによって、ロックリング４１が第１位置にあるのか、第２位置にあるのか知ることが可能である。ロックリング４１が第１位置にあると分かれば、カバー部材１０１を誤操作防止カバー付き手動弁１から取り外し、ロックリング４１を第２位置に移動させてから、改めてカバー部材１０１を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着すれば良く、ロックリング４１が第２位置に移動されていない状態で誤操作防止カバー付き手動弁１が放置されることがない。
よって、作業者があるラインの流体制御を行うため、誤操作防止カバー付き手動弁１やその他流体制御機器を操作しようとし、隣のラインの誤操作防止カバー付き手動弁１に触れてしまったとき、当該隣のラインの誤操作防止カバー付き手動弁１のロックリング４１が第２位置に移動されていなかったがために意図せず弁開度が変更されてしまうというおそれが解消される。

【0074】

また、誤操作防止のために単純にカバー部材１０１のみを誤操作防止カバー付き手動弁１に装着すると、ハンドル３１やロックリング４１が外部から視認できなくなるため、作業後にロック機構４が有効となっているか否かの確認を行うためには、カバー部材１０１を取り外してからロックリング４１の状態を確認しなければならないなど、作業効率の悪化が懸念される。しかし、上記のようにロック機構４が有効となっている場合のみカバー部材１０１に装着可能な検知部材１０２を備えることで、誤操作防止カバー付き手動弁１に装着されたカバー部材１０１に検知部材１０２が装着されていれば、ロック機構４が有効な状態であるということが一目で判別可能となる。よって、作業後にロック機構４が有効となっているか否かの確認を行うのが容易であり、作業効率の悪化を招かない。

【0075】

検知部材１０２をカバー部材１０１に装着完了すると、検知部１０２ａは、図６に示すように、ハンドル３１とロックリング４１との間に位置される。
検知部１０２ａが、抜け止め部３１２ｃの直下に位置しているため、誤操作防止カバー１０に対して、誤操作防止カバー１０が誤操作防止カバー付き手動弁１から抜ける方向（図中上方向）に力が加わった場合に、検知部材１０２が抜け止め部３１２ｃに当接し、誤操作防止カバー１０が誤操作防止カバー付き手動弁１から抜ける方向へ移動することを制限する。よって、誤操作防止カバー１０が誤操作防止カバー付き手動弁１から脱落することを防止することが可能である。
検知部材１０２を、カバー部材１０１脱落防止のためのロック構造としても使用することが可能であるため、脱落防止のための構造や、部材を別途に設ける必要がなく、製造コスト増大の防止や、製品構造の単純化が可能である。

【0076】

さらにまた、検知部材１０２は、カバー部材１０１に装着された状態で、カバー部材１０１の側面に略直角に立ち上がるようにロック部１０２ｂを有しており、ロック部１０２ｂは南京錠２４を挿通するための係止孔１０２ｅを備える。そして、カバー部材１０１は、検知部材１０２がカバー部材１０１に装着された状態で、ロック部１０２ｂの直下に対向するようにロック部１０１ｂを有しており、ロック部１０１ｂは南京錠２４を挿通するための係止孔１０１ｄを備える。
係止孔１０１ｄと、係止孔１０２ｅとは、検知部材１０２がカバー部材１０１に装着された状態で、同心位置に配置され、ロック部１０１ｂとロック部１０２ｂを貫通する１つの係止孔を形成する。該係止孔に南京錠２４を挿通することで、検知部材１０２を、カバー部材１０１に固定することが可能である（図１３参照）。

【0077】

また、カバー部材１０１の検知部材１０２を装着する側の面に係止孔１０１ｄ，１０２ｅが位置するため、カバー部材１０１の、検知部材１０２を装着する側の面で南京錠２４を取付けることができる。検知部材１０２を装着する側の面で南京錠２４を取付けることができるため、検知部材１０２を装着する面とは反対側の面などにわざわざ手を回して南京錠２４を取り付ける必要がない。よって、作業スペースが限られる半導体製造工程においても、容易に検知部材１０２をカバー部材１０１に固定することが可能である。

【0078】

次に誤操作防止カバー付き手動弁１の作用について説明する。
まず、操作ロッド３２の動作について説明する。
開弁または閉弁しようとする場合、まず誤操作防止カバー１０の南京錠２４取り外した上、検知部材１０２を装着完了位置から仮固定位置に移動させ、誤操作防止カバー１０を誤操作防止カバー付き手動弁１から取り外す。そして、ロックリング４１を第２位置から第１位置へ移動させ、スライドナット３３が回転可能な状態にしておく。

【0079】

ハンドル３１は、第１係止部３１１と第２係止部３１２とによりクリップを３５保持しており、ハンドル３１とクリップ３５とは一体に回転するようになっている。さらに、クリップ３５の挟持部３５１が、スライドナット３３の係合部３３ｂを挟持しているため、ハンドル３１を、中心軸を中心に回転させると、クリップ３５を介してスライドナット３３に回転力が伝達され、ハンドル３１と、クリップ３５と、スライドナット３３が一体となって回転する。
スライドナット３３は、スライドナットカバー３４の段差部３４ｂと、ダイアフラム押え２１の段差部２１ｄとにより、フランジ部３３ｃの上下方向から回転可能に保持されているため、スライドナット３３は上下方向への移動は抑止されている。さらに、操作ロッド３２が、スライドナット３３内に、自転しないように螺着されているため、ハンドル３１操作によりスライドナット３３が回転されることで、スライドナット３３の雌ねじ部３３ａと、操作ロッド３２の雄ねじ部３２ａとのねじ送りにより、操作ロッド３２がスライドナット３３に対して相対的に図６の上下方向に螺進可能となっている。

【0080】

次に閉弁状態から開弁状態にする場合を説明する。
本実施形態の誤操作防止カバー付き手動弁１は、スライドナット３３の雌ねじ部３３ａ及び操作ロッド３２の雄ねじ部３２ａはいずれも左ねじになっており、ハンドル３１を右回りに回転させると、操作ロッド３２は閉弁側に移動し、左回りに回転させると、操作ロッド３２は開弁側に移動するようになっている。
開弁状態にするには、ハンドル３１を一方向（左回り）に回転させると、スライドナット３３とハンドル３１とが共に同方向に回転し、このスライドナット３３の回転によって操作ロッド３２が開弁側（図６中上方）に移動する。これにより、操作ロッド３２と連結する弁体２２が、弁座２３ａから離間して開弁する。このとき、作業者は、インジケータカバー３６を通して視認可能な操作ロッド３２の上端部を参考にしながら弁開度を把握し、ハンドル３１を回転させる。

【0081】

次いで、誤操作防止カバー付き手動弁１を開弁状態から閉弁状態にする場合を説明する。
閉弁状態にするには、ハンドル３１を所定値以内のトルクで他方向（右回り）に回転させると、スライドナット３３とハンドル３１とが共に同方向に回転し、このスライドナット３３の回転によって、操作ロッド３２が閉弁側（図６中下方）に移動する。そして、操作ロッド３２と連結する弁体２２が弁座２３ａに当接すると、誤操作防止カバー付き手動弁１は閉弁状態となる。

【0082】

弁体２２が弁座２３ａに当接した後、さらにハンドル３１を回転させようとすると、操作ロッド３２は、弁体２２と弁座２３ａとの当接により、その当接位置よりも閉弁側（図６中下方）に移動できず、ハンドル３１にかかるトルクは所定値よりも大きくなる。
ハンドル３１にかかるトルクは所定値よりも大きくなると、スライドナット３３の係合部３３ｂが挟持部当接面３５１ａを押し広げ、挟持部３５１，３５１が相互に離間する方向に弾性変形するとともに、挟持部３５１，３５１を挟持する押え部３１２ａ，３１２ａも相互に離間する方向に弾性変形する。挟持部３５１，３５１および押え部３１２ａ，３１２ａが相互に離間する方向に弾性変形することで、ハンドル３１と、ハンドル３１と一体になっているクリップ３５とが、スライドナット３３に対して、空転する。
したがって、作業者が、たとえ弁体２２と弁座２３ａとの当接後にも、ハンドル３１を回転し続けたとしても、ハンドル３１の回転は、スライドナット３３に伝達されず、操作ロッド３２が閉弁方向に螺進しないため、弁体２２が弁座２３ａを過度に押圧することはなく、弁体２２の押圧による弁座２３ａの損傷が防止できる。

【0083】

開弁または閉弁動作を完了した後は、ロックリング４１を第１位置から第２位置へ移動させる。
ロックリング４１を第２位置へ移動させることで、ロックリング４１の歯部４１ａと、スライドナットカバー３４の歯部３４ａがかみ合う。
ロックリング４１は、ロックリング４１の内周面の係合突起４１ｂとスライドナット３３の外周面の係合溝３３ｄとが係合することで、スライドナット３３と一体となっている。
ロックリング４１の歯部４１ａと、スライドナットカバー３４の歯部３４ａがかみ合うことで、ロックリング４１と一体となっているスライドナット３３は回転不能となる。したがって、ハンドル３１を操作しても操作ロッド３２が開弁、閉弁方向に螺進することがなく、作業者が意図せず弁開度の変更がなされることを防止することが可能である。

【0084】

また、ロックリング４１が第２位置に移動された状態で、ハンドル３１を回転させようとすると、スライドナット３３が回転不能となっているため、ハンドル３１にかかるトルクは所定値よりも大きくなる。
ハンドル３１にかかるトルクは所定値よりも大きくなると、スライドナット３３の係合部３３ｂが挟持部当接面３５１ａを押し広げ、挟持部３５１，３５１が相互に離間する方向に弾性変形するとともに、挟持部３５１，３５１を挟持する押え部３１２ａ，３１２ａも相互に離間する方向に弾性変形する。挟持部３５１，３５１および押え部３１２ａ，３１２ａが相互に離間する方向に弾性変形することで、ハンドル３１と、ハンドル３１と一体になっているクリップ３５とが、スライドナット３３に対して、空転する。
したがって、ロックリング４１が第２位置に移動された状態で、作業者がハンドル３１を回転させようとしても、ハンドル３１に与えられた回転力がスライドナット３３に伝達されず、誤操作防止カバー付き手動弁１の開弁および閉弁動作が行われない。

【0085】

ロックリング４１を第２位置に移動させた後は、誤操作防止カバー１０を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着する。
検知部材１０２がカバー部材１０１の検知部材挿通孔１０１ｃに仮固定位置に保持され、検知部材１０２とカバー部材１０１が一体となった状態（図３参照）の誤操作防止カバー１０を、誤操作防止カバー付き手動弁１の上方からかぶせる。
もし、カバー部材１０１と検知部材１０２とが一体になっていないとすると、検知部材１０２を紛失するおそれや、検知部材１０２をカバー部材１０１に装着し忘れるおそれがあるがある。
しかし、上記のようにカバー部材１０１と検知部材１０２とが一体になっていることで、検知部材１０２を紛失するおそれが解消される。また、検知部材１０２が仮固定位置にある場合、カバー部材１０１から突出しているため、検知部材１０２が装着完了位置にないことの視認性が向上し、検知部材１０２をカバー部材１０１に装着し忘れるおそれが解消される。

【0086】

また、カバー部材１０１と検知部材１０２とが一体になっていないとすると、カバー部材１０１を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着した後に、作業者は検知部材１０２を持ってきて、カバー部材１０１に装着させなければならない。近年、半導体製造装置の小型化や集積化が進んでいることから、作業スペースも狭小化され、差込片を装着するための作業スペース確保が困難である可能性がある。
さらにまた、半導体製造装置の小型化や集積化により、誤操作防止カバー付き手動弁１も小型である場合が多い。手動弁が１小型であると、検知部材１０２も当然に小型となり、検知部材１０２を検知部材挿通孔１０１ｃに挿通させる作業は細かい作業となり、作業効率の悪化が懸念される。作業者が怪我防止のために手袋をしている場合などは、細かい作業を行うことがますます困難である。

【0087】

検知部材１０２がカバー部材１０１の検知部材挿通孔１０１ｃに保持され、検知部材１０２とカバー部材１０１が一体となっていれば、作業者は、カバー部材１０１を誤操作防止カバー付き手動弁１に取り付けた後、検知部材１０２を仮固定位置から装着完了位置へ押し込んで移動させるのみで良い。
よって、作業スペースの確保が容易であるとともに、作業が単純となるため、作業効率の悪化を防止できる。また、作業者が手袋をしている場合であっても、検知部材１０２を移動させるのみであれば、容易に作業が可能である。

【0088】

本実施例においては、図４のように正面視において、検知部材１０２が正面に見えるような方向で誤操作防止カバー１０を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着しているが、正面視右側、左側、および裏面側に検知部材挿通孔１０１ｃが配値されるようにカバー部材１０１を装着し、検知部材１０２を装着することも可能である。
カバー部材１０１は、略正方形の開口側の端面の４角よりスライドナットカバー３４側に突設する係合部１０１ｅを有しており、スライドナットカバー３４の略正方形の上端部４角には、係合部１０１ｅと係合する被係合部３４ｄが、設けられている。そして、係合部１０１ｅは、被係合部３４ｄの外周面を覆うようにしてスライドナットカバー３４と係合する。
係合部１０１ｅと、被係合部３４ｄとは操作ロッドの中心軸を中心とした円周方向に等間隔に４か所設けられているため、係合部１０１ｅと、被係合部３４ｄとが係合することで、カバー部材１０１は、操作ロッド３２の中心軸を中心として、９０度ごとに回転して、誤操作防止カバー付き手動弁１に対して位置決めが可能である。
よって、誤操作防止カバー１０を、誤操作防止カバー付き手動弁１に対して操作ロッドの中心軸を中心に９０度ずつ回転させても誤操作防止カバー付き手動弁１に装着し、係合させることが可能である。１方向のみで装着可能である場合と比べ、作業性が向上する。
なお、係合部１０１ｅは、操作ロッド３２の中心軸を対称として、２箇所に設けることとしても良い。

【0089】

また、ロックリング４１が円環状であるため、ロックリング４１の中心から検知部１０２ａが干渉する外周面の任意の点までの距離は常に一定であり、検知部１０２ａが外周面と干渉する位置は、ロックリング４１の中心軸に直交する方向からであれば、どの角度から検知部材１０２を装着しても、一定である。したがって、ロックリング４１が第１位置にあるときは、上記のようにカバー部材１０１を９０度ずつ回転させた場合、すなわち、誤操作防止カバー付き手動弁１の正面側、右側面側、背面側、左側面側のどの方向から検知部材１０２を装着した場合でも、一定の位置で検知部材１０２の装着ができなくなるため、装着する角度によって装着できなくなる位置がばらつきを原因とする検知部材の装着可否の誤認を防止できる。
一方、ロックリング４１が第２位置にあるときは、ロックリング４１が装着完了された検知部材１０２を操作ロッド３２の中心軸を中心に回転投影した空間から退避するので、上記のようにカバー部材１０１を９０度ずつ回転させた場合、すなわち、誤操作防止カバー付き手動弁１の正面側、右側面側、背面側、左側面側のどの方向から検知部材１０２を装着しても、検知部材１０２とロックリング４１とが干渉することなく、検知部材１０２を装着完了させることができる。
よって、実際に誤操作防止カバー付き手動弁１が配設される半導体製造ラインの作業スペースに応じて、作業者が自由に検知部材１０２を装着する方向を選択することができる。

【0090】

また、カバー部材１０１を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着したとき、カバー部材１０１の開口側端面の４角に設けられた係合部１０１ｅが、スライドナットカバー３４の上端部四角と係合し、カバー部材１０１は、中心軸を中心とした回転方向への位置決めがなされる。

【0091】

誤操作防止カバー１０を誤操作防止カバー付き手動弁１にかぶせた後、検知部材１０２を仮固定位置から、装着完了位置に移動させることで、誤操作防止カバー１０の装着が完了する。
検知部材１０２が装着完了位置に移動されることで、検知部１０２ａが、カバー部材１０１内に延伸され、検知部１０２ａが、ハンドル３１の第２係止部３１２の直下に位置される。
検知部１０２ａが、抜け止め部３１２ｃの直下に位置しているため、誤操作防止カバー１０に対して、誤操作防止カバー１０が誤操作防止カバー付き手動弁１から抜ける方向（図中上方向）に力が加わった場合に、検知部材１０２が抜け止め部３１２ｃに当接し、誤操作防止カバー１０が誤操作防止カバー付き手動弁１から抜ける方向へ移動することを制限する。よって、誤操作防止カバー１０が誤操作防止カバー付き手動弁１から脱落することを防止することが可能である。
検知部材１０２を、カバー部材１０１脱落防止のためのロック構造としても使用することが可能であるため、脱落防止のための構造や、部材を別途に設ける必要がなく、製造コスト増大の防止や、製品構造の単純化が可能である。

【0092】

誤操作防止カバー付き手動弁１に誤操作防止カバー１０を装着すると、ハンドル３１と、ロックリング４１とは、カバー部材１０１の中空内部に位置するので、ハンドル３１とロックリング４１とが外部に露出されない。
ハンドル３１が外部に露出していないため、作業者はハンドル３１に触れることが出来ず、無理にハンドル３１を操作しようとすることもなくなる。よって、作業者が無理にハンドル３１操作をしようとして、ハンドル３１に回転力を加え、ハンドル３１に加わった回転力が、弁体２２に接続される操作ロッド３２に伝達され、弁開度に微小なずれが生じてしまうことを防止することができる。また、ロックリング４１も外部に露出していないため、不用意に手動機構３の制限が解除されてしまうこともない。

【0093】

次に、作業者が開弁または閉弁動作を完了した後にロックリング４１を第２位置に移動させ忘れ、ロックリング４１が第１位置にある状態で誤操作防止カバー１０を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着しようとした場合について説明する。
誤操作防止カバー付き手動弁１の上方から、検知部材１０２がカバー部材１０１の検知部材挿通孔１０１ｃに仮固定位置に保持された状態の誤操作防止カバー１０をかぶせる。
誤操作防止カバー１０を誤操作防止カバー付き手動弁１にかぶせた後、検知部材１０２を仮固定位置から装着完了位置に移動させようとしても、図１０に示すように、検知部材１０２とロックリング４１は図中上下方向の位置がほぼ同一となっているため、検知部１０２ａがカバー部材１０１の中空内部を移動する直線進路上にロックリング４１があることになり、検知部１０２ａがロックリング４１の外周面に干渉し、検知部材１０２をカバー部材１０１に装着させることができない。
この場合、作業者は、誤操作防止カバー１０を誤操作防止カバー付き手動弁１から一旦取り外し、ロックリング４１を第２位置に移動させてから、改めて誤操作防止カバー１０を誤操作防止カバー付き手動弁１にかぶせ、検知部材１０２を仮固定位置から装着完了位置に移動させる。

【0094】

以上のように、作業者は、カバー部材１０１に検知部材１０２を装着できるか否かによって、ロックリング４１が第１位置にあるのか、第２位置にあるのか知ることが可能である。検知部材１０２をカバー部材１０１に装着できず、ロックリング４１が第１位置にあると分かれば、誤操作防止カバー１０を誤操作防止カバー付き手動弁１から取り外し、操作部を第２位置に移動させてから、改めて誤操作防止カバー１０を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着すれば良く、ロックリング４１が第２位置に移動されていない状態で誤操作防止カバー付き手動弁１が放置されることがない。
よって、作業者があるラインの流体制御を行うため、誤操作防止カバー付き手動弁１やその他流体制御機器を操作しようとし、隣のラインの誤操作防止カバー付き手動弁１に触れてしまったとき、当該隣のラインの誤操作防止カバー付き手動弁１のロックリング４１が第２位置に移動されていなかったがために意図せず弁開度が変更されてしまうというおそれが解消される。

【0095】

また、誤操作防止のために単純にカバー部材１０１のみを誤操作防止カバー付き手動弁１に装着すると、ハンドル３１やロックリング４１が外部から視認できなくなるため、作業後にロック機構４が有効となっているか否かの確認を行うためには、カバー部材１０１を取り外してからロックリング４１の状態を確認しなければならないなど、作業効率の悪化が懸念される。しかし、上記のようにロック機構４が有効となっている場合のみカバー部材１０１に装着可能な検知部材１０２を備えることで、誤操作防止カバー付き手動弁１に装着されたカバー部材１０１に検知部材１０２が装着されていれば、ロック機構４が有効な状態であるということが一目で判別可能となる。よって、作業後にロック機構４が有効となっているか否かの確認を行うのが容易であり、作業効率の悪化を招かない。

【0096】

誤操作防止カバー１０を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着すると、ハンドル３１と、ロックリング４１とが、カバー部材１０１の中空内部に位置され、外部に露出されない状態となる。
ハンドル３１が外部に露出していないため、使用者はハンドル３１に触れることが出来ず、無理にハンドル３１を操作しようとすることもなくなる。よって、使用者が無理にハンドル３１操作をしようとして、ハンドル３１に回転力を加え、ハンドル３１に加わった回転力が弁体２２に接続される操作ロッド３２に伝達され、弁開度に微小なずれが生じてしまうことを防止することができる。また、ロックリング４１も外部に露出していないため、不用意に手動機構３の制限が解除されてしまうこともない。

【0097】

誤操作防止カバー１０を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着した後は、南京錠２４により、検知部材１０２を、カバー部材１０１に固定する（図１３参照）。
検知部材１０２は、カバー部材１０１に装着された状態で、カバー部材１０１の側面に略直角に立ち上がるようにロック部１０２ｂを有しており、ロック部１０２ｂは南京錠２４を挿通するための係止孔１０２ｅを備える。そして、カバー部材１０１は、検知部材１０２がカバー部材１０１に装着された状態で、ロック部１０２ｂの直下に対向するようにロック部１０１ｂを有しており、ロック部１０１ｂは南京錠２４を挿通するための係止孔１０１ｄを備える。
係止孔１０１ｄと、係止孔１０２ｅとは、検知部材１０２がカバー部材１０１に装着された状態で、同心位置に配置され、ロック部１０１ｂとロック部１０２ｂを貫通する１つの係止孔を形成する。該係止孔に南京錠２４を挿通することで、検知部材１０２を、カバー部材１０１に固定することが可能である。

【0098】

また、カバー部材１０１の検知部材１０２を装着する側の面に係止孔１０１ｄ，１０２ｅが位置するため、カバー部材１０１の、検知部材１０２を装着する側の面で南京錠２４を取付けることができる。検知部材１０２を装着する側の面で南京錠２４を取付けることができるため、検知部材１０２を装着する面とは反対側の面などにわざわざ手を回して南京錠２４を取り付ける必要がない。よって、作業スペースが限られる半導体製造工程においても、容易に検知部材１０２をカバー部材１０１に固定することが可能である。

【0099】

以上説明したように、本実施形態の誤操作防止カバー付き手動弁１によれば、
（１）ハンドル３１の回転操作により弁体２２を弁座２３ａに当接または離間させる手動機構３と、手動機構３の動作を制限するロック機構４を備える誤操作防止カバー付き手動弁１において、ロック機構４は、ロック機構４を解除する第１位置と、ロック機構４を有効にする第２位置と、の間を移動可能なロックリング４１を備えること、誤操作防止カバー付き手動弁１は、誤操作防止カバー付き手動弁１に装着される中空状のカバー部材１０１を有すること、カバー部材１０１は、検知部１０２ａを有する検知部材１０２を備えること、検知部材１０２がカバー部材１０１に装着される際に、検知部材１０２は、検知部１０２ａがカバー部材１０１の中空内部において一定の進路を持って移動可能に保持されていること、カバー部材１０１が誤操作防止カバー付き手動弁１に装着された状態において、ハンドル３１と、ロックリング４１とは、カバー部材１０１の中空内部に位置し、ロックリング４１が第１位置にあるときは、ロックリング４１は検知部１０２ａの進路上に位置して、検知部材１０２をカバー部材１０１に装着完了不能であること、ロックリング４１が第２位置にあるときは、ロックリング４１は検知部１０２ａの進路上から退避して、検知部材１０２をカバー部材１０１に装着完了可能であること、を特徴とするので、カバー部材１０１を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着した状態で、カバー部材１０１に検知部材１０２を装着しようとすると、作業者がロックリング４１を第２位置に移動させ忘れた場合など、ロックリング４１が第１位置にある場合には、ロックリング４１は検知部１０２ａの進路上に位置しているため、ロックリング４１が検知部１０２ａの延伸を阻害し、作業者は検知部材１０２をカバー部材１０１に装着することができない。
一方、ロックリング４１が第２位置に移動されていれば、ロックリング４１は検知部１０２ａの進路上から退避しているため、検知部１０２ａは延伸完了点まで移動することができ、作業者は検知部材１０２をカバー部材１０１に装着することができる。

【0100】

したがって、作業者は、カバー部材１０１を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着した状態で、カバー部材１０１に検知部材１０２を装着できるか否かによって、ロックリング４１が第１位置にあるのか、第２位置にあるのか知ることが可能である。ロックリング４１が第１位置にあると分かれば、カバー部材１０１を誤操作防止カバー付き手動弁１から取り外し、ロックリング４１を第２位置に移動させてから、改めてカバー部材１０１を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着すれば良く、ロックリング４１が第２位置に移動されていない状態で誤操作防止カバー付き手動弁１が放置されることがない。
ロックリング４１が第２位置に移動されていない状態で誤操作防止カバー付き手動弁１が放置されることがないため、作業者があるラインの流体制御を行うために誤操作防止カバー付き手動弁１やその他流体制御機器を操作しようとし、隣のラインの誤操作防止カバー付き手動弁１に触れてしまったとき、当該隣のラインの誤操作防止カバー付き手動弁１のロックリング４１が第２位置に移動されていなかったがために意図せず開弁または閉弁してしまうというおそれが解消される。

【0101】

また、誤操作防止カバー付き手動弁１にカバー部材１０１を装着すると、ハンドル３１と、ロックリング４１とは、カバー部材１０１の中空内部に位置するので、ハンドル３１とロックリング４１とが外部に露出されない。
ハンドル３１が外部に露出していないため、作業者はハンドル３１に触れることが出来ず、無理にハンドル３１を操作しようとすることもなくなる。よって、作業者が無理にハンドル３１を操作しようとして、ハンドル３１に回転力を加え、ハンドル３１に加わった回転力が弁体２２に接続される操作ロッド３２に伝達され、弁開度に微小なずれが生じてしまうことを防止することができる。また、ロックリング４１も外部に露出していないため、不用意に手動機構３の制限が解除されてしまうこともない。

【0102】

（２）（１）に記載の誤操作防止カバー付き手動弁１において、カバー部材１０１は、検知部材１０２を挿入する検知部材挿通孔１０１ｃを備えること、検知部材１０２は、検知部材挿通孔１０１ｃに、挿入され、検知部材１０２がカバー部材１０１の外部に突出する仮固定位置と、検知部材１０２がカバー部材１０１の内部に収納される装着完了位置と、の間を移動可能に保持されていること、を特徴とするので、検知部材１０２が、カバー部材１０１の検知部材挿通孔１０１ｃに、仮固定位置と装着完了位置との間を移動可能なように一体化されており、誤操作防止カバー１０を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着するために持ち運ぶ際にも、検知部材１０２がカバー部材１０１から脱落しない。
カバー部材１０１と検知部材１０２とが一体になっていないとすると、検知部材１０２を紛失するおそれや、検知部材１０２をカバー部材１０１に装着し忘れるおそれがある。
しかし、上記のようにカバー部材１０１と検知部材１０２とが一体になっていることで、検知部材１０２を紛失するおそれが解消される。また、検知部材１０２が仮固定位置にある場合、カバー部材１０１から突出しているため、検知部材１０２が装着完了位置にないことの視認性が向上し、検知部材１０２をカバー部材１０１に装着し忘れるおそれが解消される。

【0103】

また、カバー部材１０１と検知部材１０２とが一体になっていないとすると、カバー部材１０１を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着した後に、作業者は検知部材１０２を持ち運んできて、カバー部材１０１に装着させなければならない。近年、半導体製造装置の小型化や集積化が進んでいることから、作業スペースも狭小化され、検知部材１０２を装着するための作業スペース確保が困難である可能性がある。
さらにまた、半導体製造装置の小型化や集積化により、誤操作防止カバー付き手動弁１も小型である場合が多い。手動弁が小型であると、検知部材１０２も当然に小型となり、検知部材１０２を検知部材挿通孔１０１ｃに挿通させる作業は細かい作業となり、作業効率の悪化が懸念される。特に作業者が怪我防止のために手袋をしている場合などは、細かい作業を行うことがますます困難である。

【0104】

検知部材１０２がカバー部材１０１の検知部材挿通孔１０１ｃに、仮固定位置と装着完了位置との間を移動可能に保持されていれば、作業者は、カバー部材１０１を誤操作防止カバー付き手動弁１に取り付けた後、検知部材１０２を仮固定位置から装着完了位置へ押し込むなどして移動させるのみで良い。
よって、作業スペースの確保が容易であるとともに、作業が単純となるため、作業効率の悪化を防止できる。また、作業者が手袋をしている場合であっても、検知部材１０２を移動させるのみであれば、容易に作業が可能である。

【0105】

（３）（１）または（２）に記載の誤操作防止カバー付き手動弁１において、手動機構３は、一端に弁体２２が接続された操作ロッド３２を備え、操作ロッド３２の他端側にハンドル３１が配置されていること、手動機構３は、ハンドル３１と弁体２２との間に、抜け止め部３１２ｃを備えること、カバー部材１０１は、ハンドル３１の操作ロッド３２が延伸する側とは反対の方向から誤操作防止カバー付き手動弁１に装着されること、検知部材１０２は、操作ロッド３２の長手方向と直交する方向からカバー部材１０１に装着されること、カバー部材１０１が誤操作防止カバー付き手動弁１に装着され、検知部材１０２がカバー部材１０１に装着された状態で、検知部１０２ａは、抜け止め部３１２ｃの弁体側の端面に隣接して位置され、カバー部材１０１に対してカバー部材１０１の装着方向とは反対の方向に力が加わった場合に、検知部１０２ａは、抜け止め部３１２ｃの弁体側の端面に当接し、カバー部材１０１の装着方向とは反対の方向への移動を制限すること、を特徴とするので、
作業者が、操作部を第２位置に移動させた後、カバー部材をハンドルの操作ロッドが延伸する側とは反対の方向から手動弁に装着させ、差込片を操作部の移動方向と直交する方向から、カバー部材に装着させることで、差込片の検知部は、手動機構がハンドルと弁体との間に有する抜け止め部の弁体側端面に隣接して位置されることになる。差込片の検知部が抜け止め部の端面に隣接して位置されるため、カバー部材に対してカバー部材の装着方向とは反対の方向に力が加わった場合、検知部がハンドルの端面に当接し、カバー部材が手動弁から脱落することを防止する。
検知部材１０２を、カバー部材１０１脱落防止のためのロック構造としても使用することが可能であるため、脱落防止のための構造や、部材を別途に設ける必要がなく、製造コスト増大の防止や、製品構造の単純化が可能である。

【0106】

（４）（１）乃至（３）のいずれか１つに記載の誤操作防止カバー付き手動弁１において、検知部材１０２は、検知部材１０２のカバー部材１０１への装着側端面とは反対側の端面にロック部１０２ｂを備えること、カバー部材１０１は、検知部材１０２がカバー部材１０１に装着された状態で、ロック部１０２ｂに対向して位置するロック部１０１ｂを備えること、ロック部１０１ｂ，１０２ｂには、検知部材１０２がカバー部材１０１に装着された状態で、ロック部１０１ｂ，１０２ｂを貫通する係止孔１０１ｄ，１０２ｅが形成されていること、誤操作防止カバー付き手動弁１は、係止孔１０１ｄ，１０２ｅに挿通される南京錠２４を備えること、を特徴とするので、検知部材１０２はロック部１０２ｂを、カバー部材１０１はロック部１０１ｂを備え、ロック部１０１ｂ，１０２ｂを貫通するよう係止孔１０１ｄ，１０２ｅが備えられているため、南京錠２４のようなロック部材を、係止孔１０１ｄ，１０２ｅに挿通させることで、検知部材１０２をカバー部材１０１に装着された状態で固定することができる。
また、カバー部材１０１の検知部材１０２を装着する側の面に係止孔１０１ｄ，１０２ｅが位置するため、カバー部材１０１の、検知部材１０２を装着する側の面で南京錠２４を取付けることができる。検知部材１０２を装着する側の面で南京錠２４を取付けることができるため、検知部材１０２を装着する面とは反対側の面などにわざわざ手を回して南京錠２４を取り付ける必要がない。よって、作業スペースが限られる半導体製造工程においても、容易に検知部材１０２をカバー部材１０１に固定することが可能である。

【0107】

（５）（１）乃至（４）に記載の誤操作防止カバー付き手動弁１において、手動機構３は、一端に弁体２２が接続された操作ロッド３２を備え、操作ロッド３２の他端側にハンドル３１が配置されていること、ロックリング４１は、円環形状をなし、ハンドル３１の操作ロッド３２が延伸する側に、操作ロッド３２と同軸上に配置され、操作ロッド３２の長手方向に沿って、第１位置と、第２位置と、の間を移動すること、検知部材１０２は、操作ロッド３２の中心軸に直交する方向から、カバー部材１０１に装着されること、カバー部材１０１が誤操作防止カバー付き手動弁１に装着された状態において、ロックリング４１が第１位置にあるときは、ロックリング４１の外周面が、検知部１０２ａと干渉して、検知部材１０２をカバー部材１０１に装着完了不能であること、ロックリング４１が第２位置にあるときは、ロックリング４１が装着完了された検知部材１０２を前記操作ロッド３２の中心軸を中心に回転投影した空間から退避して、検知部材１０２をカバー部材１０１に装着完了可能であること、を特徴とするので、操作ロッド３２およびロックリング４１の中心軸に直交する方向からであれば、どの角度から検知部材１０２を装着しても、ロックリング４１の第２位置への移動し忘れを確実に防止することができる。

【0108】

すなわち、ロックリング４１が円環状であるため、ロックリング４１中心から検知部１０２ａが干渉する外周面の任意の点までの距離は常に一定であり、検知部１０２ａが外周面と干渉する位置は、ロックリング４１の中心軸に直交する方向からであれば、どの角度から検知部材１０２を装着しても、一定である。したがって、ロックリング４１が第１位置にあるときは、ロックリング４１の中心軸に直交する方向からであれば、どの角度から検知部材１０２を装着しても、一定の位置で検知部材１０２の移動が阻害されるため、装着する角度によって移動を阻害される位置のばらつきを原因とする検知部材１０２の装着可否の誤認を防止できる。
一方、ロックリング４１が第２位置にあるときは、ロックリング４１が装着完了された検知部材１０２を操作ロッド３２の中心軸を中心に回転投影した空間から退避するので、ロックリング４１の中心軸に直交する方向からであれば、どの角度から検知部材１０２を装着しても、検知部材１０２とロックリング４１とが干渉することなく、検知部材１０２を装着完了させることができる。
よって、実際に誤操作防止カバー付き手動弁１が配設される半導体製造ラインの作業スペースに応じて、作業者が自由に検知部材１０２を装着する方向を選択することができる。

【0109】

（６）（１）乃至（５）のいずれか１つに記載の誤操作防止カバー付き手動弁１において、カバー部材１０１は、誤操作防止カバー付き手動弁１との装着側の端面に、誤操作防止カバー付き手動弁１と係合する係合部１０１ｅを有すること、誤操作防止カバー付き手動弁１には、係合部１０１ｅと係合する被係合部３４ｄが設けられていること、係合部１０１ｅと、被係合部３４ｄとが係合することで、カバー部材１０１は、操作ロッド３２の中心軸を中心として、９０度ごとに回転して、誤操作防止カバー付き手動弁１に対して位置決めが可能であること、を特徴とするので、誤操作防止カバー１０を、誤操作防止カバー付き手動弁１に対して操作ロッド３２の中心軸を中心に９０度ずつ回転させても誤操作防止カバー付き手動弁１に装着し、係合させることが可能である。１方向のみで装着可能である場合と比べ、作業性が向上する。

【0110】

（７）（１）乃至（６）のいずれか１つに記載の誤操作防止カバー付き手動弁１に装着される誤操作防止カバー１０であって、カバー部材１０１と、検知部材１０２と、からなることを特徴とするので、カバー部材１０１を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着した状態で、カバー部材１０１に検知部材１０２を装着しようとすると、作業者がロックリング４１を第２位置に移動させ忘れた場合など、ロックリング４１が第１位置にある場合には、ロックリング４１は検知部１０２ａの進路上に位置しているため、ロックリング４１が検知部１０２ａの移動を阻害し、作業者は検知部材１０２をカバー部材１０１に装着することができない。
一方、ロックリング４１が第２位置に移動されていれば、ロックリング４１は検知部１０２ａの進路上から退避しているため、検知部１０２ａは延伸完了点まで移動することができ、作業者は検知部材１０２をカバー部材１０１に装着することができる。

【0111】

したがって、作業者は、カバー部材１０１を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着した状態で、カバー部材１０１に検知部材１０２を装着できるか否かによって、ロックリング４１が第１位置にあるのか、第２位置にあるのか知ることが可能である。ロックリング４１が第１位置にあると分かれば、カバー部材１０１を誤操作防止カバー付き手動弁１から取り外し、ロックリング４１を第２位置に移動させてから、改めてカバー部材１０１を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着すれば良く、ロックリング４１が第２位置に移動されていない状態で誤操作防止カバー付き手動弁１が放置されることがない。
ロックリング４１が第２位置に移動されていない状態で誤操作防止カバー付き手動弁１が放置されることがないため、作業者があるラインの流体制御を行うために誤操作防止カバー付き手動弁１やその他流体制御機器を操作しようとし、隣のラインの誤操作防止カバー付き手動弁１に触れてしまったとき、当該隣のラインの誤操作防止カバー付き手動弁１のロックリング４１が第２位置に移動されていなかったがために意図せず開弁または閉弁してしまうというおそれが解消される。

【0112】

また、誤操作防止カバー付き手動弁１にカバー部材１０１を装着すると、ハンドル３１と、ロックリング４１とは、カバー部材１０１の中空内部に位置するので、ハンドル３１とロックリング４１とが外部に露出されない。
ハンドル３１が外部に露出していないため、作業者はハンドル３１に触れることが出来ず、無理にハンドル３１を操作しようとすることもなくなる。よって、作業者が無理にハンドル３１を操作しようとして、ハンドル３１に回転力を加え、ハンドル３１に加わった回転力が弁体２２に接続される操作ロッド３２に伝達され、弁開度に微小なずれが生じてしまうことを防止することができる。また、ロックリング４１も外部に露出していないため、不用意に手動機構３の制限が解除されてしまうこともない。

【0113】

誤操作防止カバー１０は、検知部材１０２が、カバー部材１０１の検知部材挿通孔１０１ｃに、仮固定位置と装着完了位置との間を移動可能なように一体化されており、誤操作防止カバー１０を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着するために持ち運ぶ際にも、検知部材１０２がカバー部材１０１から脱落しない。
カバー部材１０１と検知部材１０２とが一体になっていないとすると、検知部材１０２を紛失するおそれや、検知部材１０２をカバー部材１０１に装着し忘れるおそれがある。
しかし、上記のようにカバー部材１０１と検知部材１０２とが一体になっていることで、検知部材１０２を紛失するおそれが解消される。また、検知部材１０２が仮固定位置にある場合、カバー部材１０１から突出しているため、検知部材１０２が装着完了位置にないことの視認性が向上し、検知部材１０２をカバー部材１０１に装着し忘れるおそれが解消される。

【0114】

また、カバー部材１０１と検知部材１０２とが一体になっていないとすると、カバー部材１０１を誤操作防止カバー付き手動弁１に装着した後に、作業者は検知部材１０２を持ち運んできて、カバー部材１０１に装着させなければならない。近年、半導体製造装置の小型化や集積化が進んでいることから、作業スペースも狭小化され、検知部材１０２を装着するための作業スペース確保が困難である可能性がある。
さらにまた、半導体製造装置の小型化や集積化により、誤操作防止カバー付き手動弁１も小型である場合が多い。手動弁が小型であると、検知部材１０２も当然に小型となり、検知部材１０２を検知部材挿通孔１０１ｃに挿通させる作業は細かい作業となり、作業効率の悪化が懸念される。特に作業者が怪我防止のために手袋をしている場合などは、細かい作業を行うことがますます困難である。

【0115】

検知部材１０２がカバー部材１０１の検知部材挿通孔１０１ｃに、仮固定位置と装着完了位置との間を移動可能に保持されていれば、作業者は、カバー部材１０１を誤操作防止カバー付き手動弁１に取り付けた後、検知部材１０２を仮固定位置から装着完了位置へ押し込むなどして移動させるのみで良い。
よって、作業スペースの確保が容易であるとともに、作業が単純となるため、作業効率の悪化を防止できる。また、作業者が手袋をしている場合であっても、検知部材１０２を移動させるのみであれば、容易に作業が可能である。

【0116】

誤操作防止カバーは、作業者が、操作部を第２位置に移動させた後、カバー部材をハンドルの操作ロッドが延伸する側とは反対の方向から手動弁に装着させ、差込片を操作部の移動方向と直交する方向から、カバー部材に装着させることで、差込片の検知部は、手動機構がハンドルと弁体との間に有する抜け止め部の弁体側端面に隣接して位置されることになる。差込片の検知部が抜け止め部の端面に隣接して位置されるため、カバー部材に対してカバー部材の装着方向とは反対の方向に力が加わった場合、検知部がハンドルの端面に当接し、カバー部材が手動弁から脱落することを防止する。
検知部材１０２を、カバー部材１０１脱落防止のためのロック構造としても使用することが可能であるため、脱落防止のための構造や、部材を別途に設ける必要がなく、製造コスト増大の防止や、製品構造の単純化が可能である。

【0117】

誤操作防止カバーは、検知部材１０２がロック部１０２ｂを、カバー部材１０１がロック部１０１ｂを備え、ロック部１０１ｂ，１０２ｂを貫通するよう係止孔１０１ｄ，１０２ｅが備えられているため、南京錠２４のようなロック部材を、係止孔１０１ｄ，１０２ｅに挿通させることで、検知部材１０２をカバー部材１０１に装着された状態で固定することができる。
また、カバー部材１０１の検知部材１０２を装着する側の面に係止孔１０１ｄ，１０２ｅが位置するため、カバー部材１０１の、検知部材１０２を装着する側の面で南京錠２４を取付けることができる。検知部材１０２を装着する側の面で南京錠２４を取付けることができるため、検知部材１０２を装着する面とは反対側の面などにわざわざ手を回して南京錠２４を取り付ける必要がない。よって、作業スペースが限られる半導体製造工程においても、容易に検知部材１０２をカバー部材１０１に固定することが可能である。

【0118】

誤操作防止カバーは、操作ロッド３２およびロックリング４１の中心軸に直交する方向からであれば、どの角度から検知部材１０２を装着しても、ロックリング４１の第２位置への移動し忘れを確実に防止することができる。

【0119】

すなわち、ロックリング４１が円環状であるため、ロックリング４１中心から検知部１０２ａが干渉する外周面の任意の点までの距離は常に一定であり、検知部１０２ａが外周面と干渉する位置は、ロックリング４１の中心軸に直交する方向からであれば、どの角度から検知部材１０２を装着しても、一定である。したがって、ロックリング４１が第１位置にあるときは、ロックリング４１の中心軸に直交する方向からであれば、どの角度から検知部材１０２を装着しても、一定の位置で検知部材１０２の移動が阻害されるため、装着する角度によって移動を阻害される位置のばらつきを原因とする検知部材１０２の装着可否の誤認を防止できる。
一方、ロックリング４１が第２位置にあるときは、ロックリング４１が装着完了された検知部材１０２を操作ロッド３２の中心軸を中心に回転投影した空間から退避するので、ロックリング４１の中心軸に直交する方向からであれば、どの角度から検知部材１０２を装着しても、検知部材１０２とロックリング４１とが干渉することなく、検知部材１０２を装着完了させることができる。
よって、実際に誤操作防止カバー付き手動弁１が配設される半導体製造ラインの作業スペースに応じて、作業者が自由に検知部材１０２を装着する方向を選択することができる。

【0120】

誤操作防止カバー１０は、誤操作防止カバー１０を、誤操作防止カバー付き手動弁１に対して操作ロッド３２の中心軸を中心に９０度ずつ回転させても誤操作防止カバー付き手動弁１に装着し、係合させることが可能である。１方向のみで装着可能である場合と比べ、作業性が向上する。

【0121】

なお、上記実施形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではない。したがって本発明は当然に、その要旨を逸脱しない範囲内で様々な改良、変形が可能である。
例えば、上記実施形態においてはロック部材として南京錠２４を提案しているが、結束バンドを係止孔１０１ｄ，１０２ｅに挿通させることでも、検知部材１０２をカバー部材１０１に装着された状態で固定することができる。

【符号の説明】

【0122】

１ 誤操作防止カバー付き手動弁
３ 手動機構
４ ロック機構
２２ 弁体
２３ ボディ
２３ａ 弁座
２４ 南京錠（ロック部材の一例）
３２ 操作ロッド
４１ ロックリング（操作部の一例）
１０１ カバー部材
１０１ｃ 検知部材挿通孔
１０１ｂ ロック部
１０１ｄ 係止孔
１０２ 検知部材（差込片の一例）
１０２ａ 検知部
１０２ｂ ロック部
１０２ｅ 係止孔

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】