特許 6871323 ウェーハカセットの包装装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6871323

(24)【登録日】2021年4月19日

(45)【発行日】2021年5月12日

(54)【発明の名称】ウェーハカセットの包装装置

(51)【国際特許分類】

   B65B 23/22 20060101AFI20210426BHJP

   B65B 57/10 20060101ALI20210426BHJP

   B65B 61/20 20060101ALI20210426BHJP

   B65B 5/04 20060101ALI20210426BHJP

   B65C 9/26 20060101ALI20210426BHJP

   H01L 21/673 20060101ALI20210426BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20210426BHJP

   H01L 21/683 20060101ALI20210426BHJP

【ＦＩ】

   B65B23/22

   B65B57/10 D

   B65B61/20

   B65B5/04

   B65C9/26

   H01L21/68 T

   H01L21/68 A

   H01L21/68 N

【請求項の数】12

【全頁数】16

(21)【出願番号】特願2019-155318(P2019-155318)

(22)【出願日】2019年8月28日

(65)【公開番号】特開2020-111389(P2020-111389A)

(43)【公開日】2020年7月27日

【審査請求日】2019年8月28日

(31)【優先権主張番号】10-2019-0002634

(32)【優先日】2019年1月9日

(33)【優先権主張国】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】517354250

【氏名又は名称】エスケイ・シルトロン・カンパニー・リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100098394

【弁理士】

【氏名又は名称】山川 茂樹

(74)【代理人】

【識別番号】100064621

【弁理士】

【氏名又は名称】山川 政樹

(72)【発明者】

【氏名】ユン，テ・ジュ

(72)【発明者】

【氏名】イ，チ・ボク

【審査官】 矢澤 周一郎

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１５−０５８９５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−３００５０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１７−０４７９３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−１９８９８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 韓国公開特許第２０００−０００９２５５（ＫＲ，Ａ）

【文献】 韓国公開特許第２０００−００１３４１３（ＫＲ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｂ １９／００−２３／２２

Ｂ６５Ｂ ５／００− ５／１２

Ｂ６５Ｂ ５７／００−５７／２０

Ｂ６５Ｂ ５９／００−６５／０８

Ｂ６５Ｃ １／００−１１／０６

Ｈ０１Ｌ ２１／６７−２１／６８３

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウェーハカセットがローディングされるローディング部；
前記ウェーハカセットに付着したレシピを確認し、ウェーハカセットのアクセサリーを検査するアクセサリー検査部；
アクセサリー検査が完了したウェーハカセットに第１ラベルを付着する第１ラベル付着部；
前記レシピによる１次フィルムの供給を受けて前記ウェーハカセットをパッキングする１次フィルムパッキング部；
前記レシピによる２次フィルムの供給を受けてウェーハカセットを２次パッキングする２次フィルムパッキング部；
パッキングされた２次フィルムに第２ラベルを付着する第２ラベル付着部；及び
包装が完了したウェーハカセットを排出するアンロディング部；を含む、ウェーハカセットの包装装置。

【請求項2】

前記レシピは、バーコード、ＱＲコードの少なくともいずれか一つを含む、請求項１に記載のウェーハカセットの包装装置。

【請求項3】

前記レシピは、ウェーハカセットの種類別による１次フィルム、第１ラベル、２次フィルム、第２ラベル、包装方向、包装方法の少なくともいずれか一つに関する選択情報が収録された、請求項２に記載のウェーハカセットの包装装置。

【請求項4】

前記アクセサリー検査部は、
前記ウェーハカセットを回転支持するステージ；
前記ウェーハカセットに付着したレシピとアクセサリーを検査するカメラ；
前記カメラを自在に移動させるロボット回折アームを含む、請求項３に記載のウェーハカセットの包装装置。

【請求項5】

前記アクセサリー検査部の検査結果、不良と判断されたウェーハカセットを排出する第１不良品排出部をさらに含む、請求項１に記載のウェーハカセットの包装装置。

【請求項6】

前記２次フィルムパッキング部でパッキングされたウェーハカセットの状態を検査するパッキング検査部をさらに含む、請求項１に記載のウェーハカセットの包装装置。

【請求項7】

前記パッキング検査部の検査結果、不良と判断されたウェーハカセットを排出する第２不良品排出部をさらに含む、請求項６に記載のウェーハカセットの包装装置。

【請求項8】

前記１次フィルムパッキング部及び前記２次フィルムパッキング部は、フィルムパッキング装置を含む、請求項１に記載のウェーハカセットの包装装置。

【請求項9】

前記フィルムパッキング装置は、
包装用フィルムを供給するフィルム供給ユニット；
前記包装用フィルムの開口部を開放するフィルム開放ユニット；
ウェーハカセットを前記包装用フィルムの開口部内側に投入させるカセット投入ユニット；及び
前記ウェーハカセットが投入された包装用フィルムの端部をシーリングするシーリングユニットを含む、請求項８に記載のウェーハカセットの包装装置。

【請求項10】

パッキングされた１次フィルムの表面に乾燥剤を付着する乾燥剤付着部をさらに含む、請求項１に記載のウェーハカセットの包装装置。

【請求項11】

前記乾燥剤付着部は、
１次フィルムがパッキングされたウェーハカセットの一側に乾燥剤を供給する乾燥剤供給ユニット；及び
前記乾燥剤をテープを用いて前記１次フィルム表面に付着させるテーピングユニットを含む、請求項１０に記載のウェーハカセットの包装装置。

【請求項12】

ウェーハカセットに付着したレシピに応じてウェーハカセットに第１ラベルを付着し、１次フィルムの供給を受けて前記ウェーハカセットを１次パッキングし、前記１次パッキング表面に乾燥剤を付着し、２次フィルムの供給を受けて前記ウェーハカセットを２次パッキングし、前記２次フィルムに第２ラベルを付着して、
包装が完了したウェーハカセットを排出する、ウェーハカセットの包装装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ウェーハカセットの包装に関し、より詳細にはウェーハカセットを自動的に包装することができるウェーハカセットの包装装置に関する。

【背景技術】

【0002】

ウェーハ（Ｗａｆｅｒ）は、半導体集積回路（ＩＣ）の原材料として使用される薄版を意味し、主にシリコーン（Ｓｉｌｉｃｏｎ）素材を用いて製造される。

【0003】

シリコンウェーハ（Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｗａｆｅｒ）の製造工程は、単結晶インゴット（Ｉｎｇｏｔ）を製造するための単結晶成長（Ｇｒｏｗｉｎｇ）工程と、単結晶シリコンインゴットをスライシング（Ｓｌｉｃｉｎｇ）して薄い円板状のウェーハを得るスライシング（Ｓｌｉｃｉｎｇ）工程と、前記スライシング工程によって得られたウェーハの割れ、歪みを防止するためにその外周部を加工する外周グラインディング（Ｅｄｇｅ Ｇｒｉｎｄｉｎｇ）工程と、ウェーハに残存する機械的加工による損傷（Ｄａｍａｇｅ）を除去してウェーハの平坦度を向上させるためのラッピング（Ｌａｐｐｉｎｇ）工程と、ウェーハを鏡面化する研磨（Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）工程と、研磨されたウェーハに付着した研磨剤や異物を除去する洗浄（Ｃｌｅａｎｉｎｇ）工程とで構成される。

【0004】

このように多くの工程を介して生産されたウェーハは、汚染を防止して外部衝撃から保護するためにＦＯＳＢ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎ Ｓｈｉｐｐｉｎｇ Ｂｏｘ）のようなカセットに収容された後、包装用フィルムを用いて外部から密閉されるように包装されて出荷される。

【0005】

しかし、従来には、ウェーハカセットに対する包装を手作業で行うことによって包装速度が非常に遅く、作業者によって包装品質に差が生ずるだけでなく、ウェーハカセットの種類別に包装用フィルム、付着するラベル、包装方法などが変わるなどの包装作業が非常に面倒であるという問題がある。

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

したがって、本発明は、多様な種類のウェーハカセットに対する包装を自動的に迅速に行うことができ、作業者に関係なく、均一で精緻な包装品質を維持することができるウェーハカセット包装装置を提供しようとする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明は、ウェーハカセットがローディングされるローディング部；前記ウェーハカセットに付着したレシピを確認し、ウェーハカセットのアクセサリーを検査するアクセサリー検査部；アクセサリー検査が完了したウェーハカセットに第１ラベルを付着する第１ラベル付着部；前記レシピによる１次フィルムの供給を受けて前記ウェーハカセットをパッキングする１次フィルムパッキング部；前記レシピによる２次フィルムの供給を受けてウェーハカセットを２次パッキングする２次フィルムパッキング部；パッキングされた２次フィルムに第２ラベルを付着する第２ラベル付着部；及び包装が完了したウェーハカセットを排出するアンロディング部；を含む、ウェーハカセットの包装装置を提供する。

【0008】

前記レシピは、バーコード、ＱＲコードの少なくともいずれか一つを含むことができる。

【0009】

上記レシピは、ウェーハカセットの種類別による1次フィルム、第１ラベル、２次フィルム、第２ラベル、包装方向、梱包方法のうちの少なくともいずれかに関する選択情報が収録され得る。

【0010】

前記アクセサリー検査部は、前記ウェーハカセットを回転支持するステージ；前記ウェーハカセットに付着したレシピとアクセサリーを検査するカメラ；前記カメラを自在に移動させるロボット回折アームを含むことができる。

【0011】

前記アクセサリー検査部の検査結果、不良と判断されたウェーハカセットを排出する第１不良品排出部をさらに含むことができる。

【0012】

前記２次フィルムパッキング部でパッキングされたウェーハカセットの状態を検査するパッキング検査部をさらに含むことができる。

【0013】

前記パッキング検査部の検査結果、不良と判断されたウェーハカセットを排出する第２不良品排出部をさらに含むことができる。

【0014】

前記１次フィルムパッキング部及び前記２次フィルムパッキング部は、フィルムパッキング装置を含むことができる。

【0015】

前記フィルムパッキング装置は、包装用フィルムを供給するフィルム供給ユニット；前記包装用フィルムの開口部を開放するフィルム開放ユニット；ウェーハカセットを前記包装用フィルムの開口部の内側に投入させるカセット投入ユニット；及び前記ウェーハカセットが投入された包装用フィルムの端部をシーリングするシーリングユニットを含むことができる。

【0016】

パッキングされた１次フィルムの表面に乾燥剤を付着する乾燥剤付着部をさらに含むことができる。

【0017】

前記乾燥剤付着部は、１次フィルムがパッキングされたウェーハカセットの一側に乾燥剤を供給する乾燥剤供給ユニット；及び前記乾燥剤をテープを用いて前記１次フィルム表面に付着させるテーピングユニットを含むことができる。

【0018】

一方、本発明は、複数のウェーハカセットがローディングされるローディング部；ローディングされるウェーハカセットに付着したレシピを確認し、ウェーハカセットのアクセサリーを検査するアクセサリー検査部；前記アクセサリー検査部で判読されたレシピによる１次フィルムの供給を受けて前記ウェーハカセットをパッキングする１次フィルムパッキング部；及び前記レシピによる２次フィルムの供給を受けてウェーハカセットを２次パッキングする２次フィルムパッキング部；を含む、ウェーハカセットの包装装置を提供する。

【0019】

前記アクセサリー検査部は、前記ウェーハカセットを回転支持するステージ；前記ウェーハカセットに付着したレシピとアクセサリーを検査するカメラ；及び前記カメラを自在に移動させるロボット回折アームを含むことができる。

【0020】

一方、本発明は、ウェーハカセットがローディングされるローディング部；１次フィルムの供給を受けて前記ウェーハカセットをパッキングする１次フィルムパッキング部；２次フィルムの供給を受けてウェーハカセットを２次パッキングする２次フィルムパッキング部；及び包装が完了したウェーハカセットを排出するアンロディング部；を含む、ウェーハカセットの包装装置を提供する。

【0021】

前記１次フィルムパッキング部及び前記２次フィルムパッキング部は、フィルムパッキング装置を含むことができる。

【0022】

前記フィルムパッキング装置は、包装用フィルムを供給するフィルム供給ユニット；前記包装用フィルムの開口部を開放するフィルム開放ユニット；ウェーハカセットを前記包装用フィルムの開口部の内側に投入させるカセット投入ユニット；及び前記ウェーハカセットが投入された包装用フィルムの端部をシーリングするシーリングユニットを含むことができる。

【0023】

一方、本発明は、ウェーハカセットがローディングされるローディング部；１次フィルムの供給を受けて前記ウェーハカセットをパッキングする１次フィルムパッキング部；パッキングされた１次フィルムの表面に乾燥剤を付着する乾燥剤付着部；２次フィルムの供給を受けてウェーハカセットを２次パッキングする２次フィルムパッキング部；及び包装が完了したウェーハカセットを排出するアンロディング部；を含む、ウェーハカセットの包装装置を提供する。

【0024】

前記乾燥剤付着部は、１次フィルムがパッキングされたウェーハカセットの一側に乾燥剤を供給する乾燥剤供給ユニット；及び前記乾燥剤をテープを用いて前記１次フィルム表面に付着させるテーピングユニットを含むことができる。

【0025】

一方、本発明は、包装用フィルムを供給するフィルム供給ユニット；前記包装用フィルムの開口部を開放するフィルム開放ユニット；ウェーハカセットを前記包装用フィルムの開口部の内側に投入させるカセット投入ユニット；及び前記ウェーハカセットが投入された包装用フィルムの端部をシーリングするシーリングユニットを含む、ウェーハカセットの包装装置を提供する。

【0026】

一方、本発明は、ウェーハカセットに付着したレシピに応じてウェーハカセットに第１ラベルを付着し、１次フィルムの供給を受けて前記ウェーハカセットを１次パッキングし、前記１次パッキング表面に乾燥剤を付着し、２次フィルムの供給を受けて前記ウェーハカセットを２次パッキングし、前記２次フィルムに第２ラベルを付着して、包装が完了したウェーハカセットを排出する、ウェーハカセットの包装装置を提供する。

【発明の効果】

【0027】

本発明のウェーハカセット包装装置によると、レシピに応じて多様な種類のウェーハカセットに対する包装過程を段階ごとに自動的に迅速に行うことができ、包装用フィルムの端部が浮き上がらず均一に仕上げ処理され得、作業者の関係なく均一かつ精密な包装の品質を維持することができる。

【図面の簡単な説明】

【0028】

【図1】本発明の一実施例によるウェーハカセット包装装置の構成図である。

【図2】図１のアクセサリー検査部の一実施例を示す。

【図3】本発明の実施例によるウェーハカセット包装用フィルムの斜視図である。

【図4】図１の１次フィルムパッキング部におけるフィルムパッキング装置の斜視図である。

【図5】図４におけるパッキングされる過程を示す概略的な側面図である。

【図6】図１の１次フィルムパッキング部におけるシーリングユニットの斜視図である。

【図7】図６の側面図である。

【図8】図１の乾燥剤付着部の一実施例を示す。

【図9】図１の２次フィルムパッキング部の動作を示す。

【図10】図１の２次フィルムパッキング部の動作を示す。

【図11】図１の２次フィルムパッキング部の動作を示す。

【図12】実施例の包装用フィルムで包装が完了したウェーハカセットの斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0029】

以下、実施例は添付された図面および実施例に対する説明を通じて明白に示されるはずである。実施例の説明において、各層（膜）、領域、パターンまたは構造物が基板、各層（膜）、領域、パッドまたは、パターンの「上／うえ（ｏｎ）」に、または「下／した（ｕｎｄｅｒ）」に形成されるものと記載される場合において、「上／うえ（ｏｎ）」と「下／した（ｕｎｄｅｒ）」は、「直接（ｄｉｒｅｃｔｌｙ）」または「他の層を介在して（ｉｎｄｉｒｅｃｔｌｙ）」形成されるものをすべて含む。また、各層の上／うえまたは、下／したに対する基準は、図面を基準として説明する。

【0030】

図面において、サイズは、説明の便宜および明確性のために誇張されたり省略されたりまたは概略的に示された。また各構成要素のサイズは、実際のサイズを全面的に反映するものではない。また、同じ参照番号は図面の説明を通じて同じ要素を示す。以下、添付された図面を参照して実施例を説明する。

【0031】

図１は、本発明の一実施例によるウェーハカセット包装装置の構成図である。

【0032】

図１を参照すれば、実施例のウェーハカセット包装装置１は、ローディング部１００、アクセサリー検査部２００、第１ラベル付着部３００、第１不良品排出部４００、１次フィルムパッキング部５００、乾燥剤付着部６００、２次フィルムパッキング部７００、パッキング検査部７５０、第２ラベル付着部８００、第２不良品排出部９００及びアンロディング部１０００を含むことができる。

【0033】

ローディング部１００は、複数のウェーハを収容するウェーハカセットＣ（図２参照）がローディングされ得る。例えば、ウェーハカセットＣは、ＦＯＳＢ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎ Ｓｈｉｐｐｉｎｇ Ｂｏｘ）であり得、ローディング部１００には、サイズ、形状が多様なウェーハカセットＣが複数が待機しながら順に一つずつローディングされるようにすることができる。

【0034】

ローディング部１００は、コンベヤーベルト、ロボットアームなどウェーハカセットＣを移送する手段を含み、複数のウェーハカセットＣが連続的に待機することができる空間を有し得る。ローディング部１００は、装置内部の各構成とＭＥＳ（Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ Ｅｘｅｃｕｔｉｏｎ Ｓｙｓｔｅｍ、製造実行システム）通信を送受信することができる。すなわち、ＭＥＳは、ウェーハカセット包装のための全過程を管理する統合管理システムであって、ウェーハカセット包装装置１の各構成要素の間に緊密な通信ができるようにする。

【0035】

本発明のウェーハカセット包装装置１には、ローディング部１００から同じ形状のウェーハカセットＣが順に装置内部にローディングされながら包装を行うことができ、ローディング部１００から無作為的に多様なウェーハカセットＣがローディングされてもそれに合うように包装を行うことができる。

【0036】

このために、ローディング部１００からローディングされるウェーハカセットＣには、レシピ（Ｒｅｃｉｐｅ）が付着することができる。ここで、レシピは、ウェーハカセットＣの種類別による１次フィルム１０ａ（図３参照）、第１ラベル、２次フィルム１０ａ（図３参照）、第２ラベル８０（図１２参照）、包装方法、包装方向などに関する選択情報が収録されたテク（Ｔａｇ）であり得る。例えば、レシピは、バーコード、ＱＲコードの少なくともいずれか一つを含み、ウェーハカセットＣの一面に付着することができる。

【0037】

したがって、レシピに収録された情報は、リーダ機（Ｒｅａｄｅｒ Ｄｅｖｉｃｅ）によって判読され得る。ウェーハカセット包装装置１は、レシピの情報を判読することができるリーダ機を含み、リーディングされたレシピの情報によって包装用フィルム１０、１０ａ、ラベルなどを選択し、包装方向、方法などを選別してウェーハカセットＣに対する包装を自動的に行うことができる。

【0038】

アクセサリー検査部２００は、ウェーハカセットＣに付着したレシピを確認し、ウェーハカセットＣのアクセサリーを検査することができる。ここで、アクセサリー検査は、ウェーハカセットＣの取っ手、フランジ、孔（Ｈｏｌｅ）防ぎなど外観状態と、ウェーハカセットＣに収容されたウェーハの正確な個数、定位置整列など内観状態の検査をすべて含む用語として使用され得る。

【0039】

図２は、図１のアクセサリー検査部の一実施例を示す。

【0040】

図２を参照すれば、アクセサリー検査部２００は、ウェーハカセットＣを回転支持するステージ２１と、ウェーハカセットＣに付着したレシピとアクセサリーを検査することができるリーダ機を備えるカメラ２２と、カメラ２２を自在に移動させることができるロボット回折アーム２３と、ロボット回折アーム２３を駆動させる駆動手段２５とを含むアクセサリー検査ユニット２０を含むことができる。

【0041】

アクセサリー検査部２００の検査結果、ウェーハカセットＣの状態が正常であると判断されると、レシピに合う第１ラベルを付着して包装工程を継いで行う。しかし、アクセサリー検査部２００の検査結果、異常（不良）と判断されると、ウェーハカセットＣは、第１ラベルの付着及び包装を行わず、第１不良品排出部４００に排出させる。

【0042】

第１ラベル付着部３００は、アクセサリー検査が完了して正常であると判断されたウェーハカセットＣに第１ラベルを付着することができる。第１ラベルは、ウェーハカセットＣに収容されたウェーハに対する各種情報の表示を含み、ウェーハカセットＣの一面に付着することができる。

【0043】

１次フィルムパッキング部５００は、第１ラベルが付着したウェーハカセットＣに対する１次パッキングを行うことができる。このとき、１次フィルムパッキング部５００は、レシピによる１次フィルム１０の供給を受けてウェーハカセットＣを１次的にパッキングすることができる。

【0044】

図３は、本発明の実施例によるウェーハカセット包装用フィルムの斜視図である。図３に示されたように、ウェーハカセット包装用フィルム１０、１０ａは、１次フィルム１０と２次フィルム１０ａを有し、ウェーハカセットＣを二重に包装することができる。

【0045】

図３の（ａ）を参照すれば、一実施例の１次フィルム１０は、上面シート１１、下面シート１２、一対の側面シート１３、１４を含んで構成することができる。

【0046】

上面シート１１と下面シート１２は、ウェーハカセットＣ（図４参照）の上面と下面を囲み、一対の側面シート１３、１４をウェーハカセットＣの両側面を囲むことができる。例えば、上面シート１１、下面シート１２、側面シート１３、１４は、長方形状を有し得る。

【0047】

ここで、一対の側面シート１３、１４は、上面シート１１と下面シート１２の側面から延び、内側に折れたり広がることができる。すなわち、上面シート１１、下面シート１２及び一対の側面シート１３、１４の一側１５は、互いに接合されて閉鎖され、他側は、前記側面シート１３、１４が広がりながら開口部１６を形成することができる。

【0048】

したがって、１次フィルム１０は、折れた状態で１次フィルムパッキング部５００内に運搬することができ、広がった状態でウェーハカセットＣを内側に収容することができる。また、１次フィルム１０は、ウェーハカセットＣが内側に収容された状態では再び折れながら端部領域がシーリング（Ｓｅａｌｉｎｇ）されるように包装され得る。

【0049】

また、図３の（ｂ）のように２次フィルム１０ａは、１次フィルム１０とは異なり、一対の側面シート１３、１４には折れるとき互いに連通される第１孔１３ａ、１４ａと第２孔１３ｂ、１４ｂがそれぞれさらに貫通形成され得る。ここで、第１孔１３ａ、１４ａと第２孔１３ｂ、１４ｂは、包装用フィルム１０の開口部１６に隣接するように配置されながら後述する２次シーリングを容易にする役割をする。

【0050】

図３の（ａ）、（ｂ）に示されたフィルムは、すべて１次フィルムまたは２次フィルムとして使用されることができ、その他の他の形態のものが使用され得る。

【0051】

上述した１次フィルム１０と２次フィルム１０ａは、ポリエステルフィルム（ＰＥＴ）、延伸ポルリエストフィルム（ＯＰＰ）、ポリエチレンフィルム（ＰＥ）、ポーリプロピレンフィルム（ＰＰ）、線形低密度ポリエチレンフィルム（ＬＬＤＰＥ）の少なくともいずれか一つの材質を含むことができる。

【0052】

また、包装用フィルムの表面にはラミネート処理が可能である。ラミネートフィルムは、表面に流光処理ができて、保護、保存性を高めることができる。また、包装用フィルムの表面にはアルミニウムコーティング処理が可能である。

【0053】

通常に、１次フィルム１０は、表面にラミネートがコーティングされるのでラミネートフィルム（Ｌａｍｉｎａｔｅ ｆｉｌｍ）と呼ばれ、２次フィルム１０ａ）は、不透明なアルミニウムがコーティングされるのでアルミニウムフィルム（Ａｌｕｍｉｎｉｕｍ ｆｉｌｍ）と呼ばれる。その他にも上述した１次フィルム、２次フィルムは、それぞれ内部包装用フィルム、外部包装用フィルムと呼ばれるか、またはウェーハカセット包装用フィルムなどに統合名称され得る。

【0054】

１次フィルムパッキング部５００は、上述した１次フィルム１０を用いてウェーハカセットＣを１次包装することができる。１次フィルムパッキング部５００は、レシピに適するように１次フィルム１０、ウェーハカセットＣの包装位置（方向）、包装方法、シーリング方法などを選択適用してウェーハカセットＣを包装することができる。

【0055】

このために、１次フィルムパッキング部５００は、フィルムパッキング装置５０を含んで構成され得る。また、フィルムパッキング装置５０は、２次フィルム１０ａ）をパッキングするための後述する２次フィルムパッキング部７００にも含まれ得る。

【0056】

図４は、図１の１次フィルムパッキング部におけるフィルムパッキング装置の斜視図であり、図５は、図４におけるパッキングされる過程を示す概略的な側面図であり、図６は、図１の１次フィルムパッキング部におけるシーリングユニットの斜視図であり、図７は、図６の側面図である。

【0057】

図４ないし図７に示されたように、フィルムパッキング装置５０は、フィルム供給ユニット（図示せず）、フィルム開放ユニット５１、５２、カセット投入ユニット５３、シーリングユニット５４を含んで構成され得る。

【0058】

フィルム供給ユニットは、示さなかったが複数の１次フィルム１０が積層される空間を備え、１個の１次フィルム１０を１次フィルムパッキング部５００のフィルム開放ユニット５１、５２位置に個別的に供給することができる。

【0059】

フィルム開放ユニット５１、５２は、折れた状態の１次フィルム１０の上面シート１１を持ち上げて開口部１６を開放させることができる。例えば、フィルム開放ユニット５１、５２は、両側面シート１３、１４に位置するように一対で構成され得る。

【0060】

図４を参照すれば、フィルム開放ユニット５１、５２のそれぞれには、上面シート１１を把持して上部に持ち上げる一対の上面グリッパー５１ａ、５２ａと、下面シート１２を把持して位置を固定する一対の下面グリッパー５１ｂ、５２ｂとを含むことができる。

【0061】

上面グリッパー５１ａ、５２ａは、上面シート１１の開口部１６と閉鎖部１５に隣接する位置に一対に配置されながら上面シート１１｛より詳細には、上面シート１１と側面シート１３、１４の角領域｝を把持することができ、下面グリッパー５１ｂ、５２ｂから昇下降するように動作することができる。

【0062】

下面グリッパー５１ｂ、５２ｂは、下面シート１２の開口部１６と閉鎖部１５にそれぞれ隣接する位置に一対に配置されながら下面シート１２｛より詳細ひは、下面シート１２と側面シート１３、１４の角領域｝を把持することができ、一対の上面グリッパー５１ａ、５２ａと対応する位置で上面グリッパー５１ａ、５２ａと隣接するか、または離隔することができる

【0063】

図４に示されたように、上面グリッパー５１ａ、５２ａが１次フィルム１０の上面シート１１を把持した状態で、下面グリッパー５１ｂ、５２ｂから上昇すると、１次フィルム１０の開口部１６が開放され得る。

【0064】

カセット投入ユニット５３は、第１ラベル付着部３００から移動したウェーハカセットＣが引き渡されて、１次フィルムパッキング部５００で開放された１次フィルム１０内部に投入させることができる。すなわち、カセット投入ユニット５３は、水平方向に動作しながらフィルム開放ユニット５１、５２によって開放された１次フィルム１０の開口部１６を介して図５に示されたようにウェーハカセットＣを１次フィルム１０内部に流入させることができる。

【0065】

１次フィルム１０内部でウェーハカセットＣが投入されると、シーリングユニット５４は、ウェーハカセットＣが内部に投入された１次フィルム１０の端部領域をシーリングして外部から密封させることができる。

【0066】

図６及び図７に示されたように、シーリングユニット５４は、上部シーリングユニット３０と下部シーリングユニット４０とを含むことができる。ここで、上部シーリングユニット３０は、シーリングが行われる包装用フィルム１０の上部に位置し、下部シーリングユニット４０は、包装用フィルム１０の下部に位置することができる。

【0067】

シーリングユニット５４は、二重構造のシーリング、すなわち線形（Ｌｉｎｅ Ｔｙｐｅ）の１次シーリング及び点状（Ｐｏｉｎｔ Ｔｙｐｅ）の２次シーリングを同時に行うことができる。勿論、シーリングユニット５４は、必要に応じて１次シーリングだけ行うか、または２次シーリングだけ行うことができ、同時ではなく、順に１次シーリングと２次シーリングを行うように変形実施され得る。

【0068】

より詳細には、上部シーリングユニット３０は、上部本体３１、線形融着部３２、上面加圧バー３３、点状融着部３５を含むことができる。

【0069】

上部本体３１は、上述した線形融着部３２、上面加圧バー３３、点状融着部３５を下部に支持するようにし、示さなかったが昇下降移動部によって上部本体３１は、下部シーリングユニット４０に向かって下降しながら包装用フィルム１０に対する１次シーリング及び２次シーリングを行うことができる。

【0070】

線形融着部３２は、線形のバー状に形成されながら、上面シート１１を線形に融着して下面シート１２と合着されることによって１次シーリングを行うことができる。

【0071】

上面加圧バー３３は、上面シート１１を線形に加圧して、下面シート１２と密着させてシートを整列させることによって１次シーリング及び２次シーリングを安定的かつ均一に行うようにする。

【0072】

点状融着部３５は、一対で構成されながら上面シート１１上に移動可能に設置され得る。点状融着部３５は、２次シーリングを行うことができる。ここで、線形融着部３２は、上面加圧バー３３と点状融着部３５との間に備えられ得る。

【0073】

したがって、１次フィルム１０は、内側に位置した領域で１次シーリングが行われ、外側に位置した端部領域で２次シーリングが行われ得る。

【0074】

下部シーリングユニット４０は、上述した上部シーリングユニット３０とそれぞれ対応される構成であって、下部本体４１、線形支持バー４２、下面支持バー４３、点状支持バー４５を含むことができる。

【0075】

下部本体４１は、上述した線形支持バー４２、下面支持バー４３、点状支承部を上部に支持するようにし、上部シーリングユニット３０と相互作用しながら包装用フィルム１０に対する１次シーリング及び２次シーリングを行うことができる。また、下部本体４１は、昇下降移動部によって上部シーリングユニット３０に向かって移動することができる。

【0076】

線形支持バー４２は、線形のバー状で下面シート１２を支持し、上部シーリングユニット３０の線形融着部３２と共に相互作用しながら上面シート１１と側面シート１３、１４及び下面シート１２を合着させて１次シーリングを行うことができる。

【0077】

下面支持バー４３は、下面シート１２を線形的に支持し、上部シーリングユニット３０の上面加圧バーと共に上面シート１１と下面シート１２と密着させてシートを整列させることによって１次シーリング及び２次シーリングを安定的かつ均一に行うようにする。

【0078】

点状支持バー４５は、一対で構成されながら下面シート１２を点状で支持することができる。したがって、点状支持バー４５は、上部シーリングユニット３０の点状融着部３５と相互作用しながら２次シーリングを行うことができる。

【0079】

ここで、線形支持バー４２は、下面支持バー４３と点状支持バー４５との間に備えられ得る。したがって、包装用フィルム１０は、内側に位置した領域で１次シーリングが行われ、外側に位置した端部領域で２次シーリングが行われ得る。

【0080】

このように、フィルムパッキング装置５０によって１次フィルム１０でパッキングが行われたウェーハカセットＣは、乾燥剤付着部６００に移動することができる。

【0081】

乾燥剤付着部６００は、パッキングされたウェーハカセットＣの１次フィルム１０表面に乾燥剤を付着することができる。乾燥剤は、包装されたウェーハカセットＣに湿気が発生しないように水分を除去する役割をする。乾燥剤は、デシカント（Ｄｅｓｉｃｃａｎｔ）、湿気除去剤、シリカゲル（Ｓｉｌｉｃａ ｇｅｌ）などと呼ばれ得る。

【0082】

図８は、図１の乾燥剤付着部の一実施例を示す。

【0083】

図８に概略的に示されたように、乾燥剤付着部６００は、乾燥剤７を把持してウェーハカセットＣの一側に移動させる乾燥剤供給ユニット６１と、乾燥剤７をテープＴを用いて１次フィルム１０表面に付着させるテーピングユニット６２を含む乾燥剤付着ユニット６０とを含むことができる。

【0084】

このように乾燥剤付着部６００で乾燥剤７は、１次フィルム１０表面にテープＴを介して安定的に付着するので，２次フィルムパッキング部７００では２次フィルム１０ａによるパッキングを円滑に行うことができ、１次フィルム１０と２次フィルム１０ａとの間で乾燥剤７は、移動せず、位置が固定され得る。

【0085】

乾燥剤７が付着したウェーハカセットＣは、２次フィルムパッキング部７００に移動することができる。

【0086】

２次フィルムパッキング部７００は、レシピによる２次フィルム１０ａの供給を受けてウェーハカセットＣを２次パッキングすることができる。２次フィルムパッキング部７００は、レシピに適するように２次フィルム１０ａ、ウェーハカセットＣの包装位置（方向）、包装方法、シーリング方法などを選択適用してウェーハカセットＣを包装することができる。

【0087】

２次フィルムパッキング部７００は、上述した１次フィルムパッキング部５００で使用されたフィルムパッキング装置５０を含んで構成され得る。すなわち、２次フィルムパッキング部７００でのフィルムパッキング装置５０は、図４ないし図７に示されたように、フィルム供給ユニット（図示せず）、フィルム開放ユニット５１、５２、カセット投入ユニット５３、シーリングユニット５４を含んで構成され得る。したがって、上述した説明は省略するようにする。

【0088】

図９ないし図１１は、図１の２次フィルムパッキング部の動作を示し、図１２は、実施例の包装用フィルムで包装が完了したウェーハカセットＣの斜視図である。

【0089】

図９ないし図１２を参照すれば、２次フィルムパッキング部７００は、一対の第１孔１３ａ、１４ａと第２孔１３ｂ、１４ｂが形成された図３の（ｂ）のようなアルミニウムフィルム１０ａを２次フィルム１０ａとして使用してウェーハカセットＣを２次包装することができる。

【0090】

このとき、１次シーリングは、側面シート１３、１４が折れた状態で線形的にシーリングが行われるので、折れる部分では４個のシートをすべて合着するようにシーリングが行われるべきである。したがって、１次シーリング過程でシートが折れる所ではシーリングがされにくいこともあるため、折れる部分に対する２次シーリングを介して２次シーリングの端部の浮き上がりの発生をさらに防止することができる。

【0091】

図１１に示されたように、２次フィルム１０ａに対する１次シーリングＳ１は、線形的に長く行われ、２次シーリングＳ２は、２次フィルム１０ａで第１孔１３ａ、１４ａと第２孔１３ｂ、１４ｂが連通されるように一対の側面シート１３、１４が折れながら、第１孔１３ａ、１４ａと前記第２孔１３ｂ、１４ｂに隣接した上面シート１１と下面シート１２領域が互いに点状に合着するように行われ得る。すなわち、２次シーリングＳ２は、第１孔１３ａ、１４ａと第２孔１３ｂ、１４ｂによって２個のシートだけで行われ得る。

【0092】

このように、２次フィルム１０ａのシーリングが完了すると、図１２に示されたように、シーリングされた端部領域は、２次フィルム１０ａの上面シート１１と接するようにテープＴで仕上げ処理される。ここで、実施例は、包装用フィルム１０、１０ａの端部を二重にシーリング処理Ｓ１、Ｓ２することによって、上面シート１１上でテープＴで最終仕上げ処理する場合、浮き上がらず均一に仕上げ処理され得る。

【0093】

このように、２次フィルム１０ａがパッキングされたウェーハカセットＣは、パッキング検査部７５０に移動して包装状態を検査受けることができる。パッキング検査部７５０は、上述したアクセサリー検査部２００のようにカメラ２２を含んでビジョン（Ｖｉｓｉｏｎ）検査を行うことができる。

【0094】

パッキング検査部７５０によって正常であると判断されたウェーハカセットＣは、第２ラベル付着部８００に移動する。第２ラベル付着部８００は、１次及び２次フィルム１０、１０ａで二重パッキングが完了したウェーハカセットＣに第２ラベル８０を付着することができる。

【0095】

第２ラベル８０は、ウェーハカセットＣが目視で見えない状態の２次フィルム１０ａ表面に付着することによって、包装を解かなくてもウェーハカセットＣに収容されたウェーハに対する各種情報が分かるようにする。

【0096】

パッキング検査部７５０によって異常であると判断されたウェーハカセットＣは、第２ラベル８０の付着を行わず、第２不良品排出部９００に排出され得る。

【0097】

包装が完了して第２ラベルが付着したウェーハカセットＣは、アンロディング部１０００から外部に排出された後、最終出荷され得る。

【0098】

このように本発明のウェーハカセット包装装置によれば、レシピに応じて多様な種類のウェーハカセットに対する包装過程を段階ごとに自動的に迅速に行うことができ、包装用フィルムの端部が浮き上がらず均一に仕上げ処理されることができるので、作業者に関係なく、均一かつ精緻な包装品質を維持することができる。

【0099】

以上、実施例に説明された特徴、構造、効果などは本発明の少なくとも一つの実施例に含まれ、必ずしも一つの実施例にのみ限定される訳ではない。さらに、各実施例において例示された特徴、構造、効果などは実施例が属する分野における通常の知識を有する者によって他の実施例に対しても組合せ、または変形して実施可能である。したがって、このような組合せと変形に関係した内容は、本発明の範囲に含まれるものと解釈されるべきである。

【符号の説明】

【0100】

１：ウェーハカセット包装装置
１０、１０ａ：ウェーハカセット包装用フィルム １１：上面シート
１１ａ、１１ｂ：点状シーリング領域 １２：下面シート
１３、１４：側面シート １３ａ、１４ａ：第１孔
１３ｂ、１４ｂ：第２孔 １５：接合領域（閉鎖部）
１６：開口部 Ｃ：ウェーハカセット
２０：アクセサリー検査ユニット ２１：回転ステージ
２２：リーダ機 ２３：ロボットアーム
２５：ロボットアーム駆動部 ３０：上部シーリングユニット
３１：上部本体 ３２：線形融着部
３３：上面加圧バー ３５：点状融着部
４０：下部シーリングユニット ４１：下部本体
４２：線形支持バー ４３：下面支持バー
４５：点状支持バー ５０： フィルムパッキング装置
５１、５２：フィルム開放ユニット ５３：カセット投入ユニット
５４、７４：シーリングユニット ６０：乾燥剤付着ユニット
６１：乾燥剤把持部 ６２：テープ付着部
Ｓ１：線形シーリング領域 Ｓ２：点状シーリング領域
１００：ローディング部 ２００：アクセサリー検査部
３００：第１ラベル付着部 ４００：第１不良品排出部
５００：１次フィルムパッキング部 ６００：乾燥剤付着部
７００：２次フィルムパッキング部 ７５０：パッキング検査部
８００：第２ラベル付着部 ９００：第２不良品排出部
１０００：アンロディング部

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】