特許 6871812 シート貼付装置および貼付方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6871812

(24)【登録日】2021年4月20日

(45)【発行日】2021年5月12日

(54)【発明の名称】シート貼付装置および貼付方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20210426BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20210426BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20210426BHJP

   B65C 9/36 20060101ALI20210426BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 N

   H01L21/78 M

   H01L21/304 622J

   B65C9/36

【請求項の数】3

【全頁数】10

(21)【出願番号】特願2017-121484(P2017-121484)

(22)【出願日】2017年6月21日

(65)【公開番号】特開2019-9182(P2019-9182A)

(43)【公開日】2019年1月17日

【審査請求日】2020年4月1日

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】特許業務法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】高野 健

【審査官】 湯川 洋介

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００５−０３３１１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−３００５４２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−２３０５３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２００９／０９１３３３（ＷＯ，Ａ２）

【文献】 特開２０１５−１８５６７０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−２８４４３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１６９５０４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｂ６５Ｃ ９／３６

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

被着体を支持面で支持する支持手段と、
接着シートを繰り出す繰出手段と、
前記接着シートを前記支持面に支持された被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
前記支持面、前記被着体の被着面、および前記被着体に貼付した接着シートの表面のうち少なくとも１つを清掃する清掃手段と、前記被着体の外周部を前記支持面に押し付ける押付手段とが一体化された貼付支援手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。

【請求項2】

前記被着体に接着シート部分が残るように当該被着体に貼付された接着シートを所定形状に切断する切断手段を備え、
前記押付手段は、切断した接着シート部分の外周部を前記被着体に押付可能に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。

【請求項3】

被着体を支持面で支持する支持工程と、
接着シートを繰り出す繰出工程と、
前記接着シートを前記支持面に支持された被着体に押圧して貼付する押圧工程と、
前記支持面、前記被着体の被着面、および前記被着体に貼付した接着シートの表面のうち少なくとも１つを清掃する清掃工程と、
前記接着シートを貼付する前の被着体の外周部を前記支持面に押し付ける押付工程とを備え、
清掃手段と押付手段とが一体化された貼付支援手段で前記清掃工程と前記押付工程とを実施することを特徴とするシート貼付方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート貼付装置および貼付方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、接着シートを貼付する被着体の姿勢を矯正したり、被着体や被着体を支持する支持面を清掃したりするシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２００５−３３１２０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されたような従来のシート貼付装置は、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）を平面に矯正するウエハ押圧機構（押付手段）と、ウエハ（被着体）の表面に付着した塵埃を除去するウエハクリーニング機構（清掃手段）とを別体に構成し、それらを異なる駆動機器で駆動するため、装置が大型化し、制御が煩雑化するという不都合がある。

【0005】

本発明の目的は、装置が大型化し、制御が煩雑化することを防止することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

以上のような本発明によれば、清掃手段と押付手段とが一体化された貼付支援手段を備えているため、装置が大型化し、制御が煩雑化することを防止することができる。

【0008】

また、切断した接着シートの外周部を被着体に押付可能にすれば、接着シートの外周部を被着体に密着させることができるので、接着シートの外周部が被着体から浮いてしまうことを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置を示す側面図。

【図2】シート貼付装置の動作説明図。

【図3】シート貼付装置の動作説明図。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。

【0011】

図１において、シート貼付装置１０は、被着体としてのウエハＷＦを支持面２１Ａで支持する支持手段２０と、接着シートＡＳを繰り出す繰出手段３０と、接着シートＡＳを支持面２１Ａに支持されたウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段４０と、支持面２１ＡおよびウエハＷＦに貼付した接着シートＡＳの表面を清掃する清掃手段５１と、ウエハＷＦの外周部を支持面２１Ａに押し付ける押付手段５２とが一体化された貼付支援手段５０と、ウエハＷＦに接着シート部分ＡＳ１（図３参照）が残るように当該ウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳを所定形状に切断する切断手段６０と、接着シートＡＳにおける接着シート部分ＡＳ１以外の不要シートＵＳを回収する回収手段７０と、ウエハＷＦを移送する移送手段８０とを備えている。

【0012】

支持手段２０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な支持面２１Ａを有する内側テーブル２１と、内側テーブル２１の外側に位置し不要シートＵＳを支持する不要シート支持手段としての外側テーブル２２と、その出力軸２３Ａで内側テーブル２１を支持する駆動機器としての直動モータ２３とを備えている。
外側テーブル２２は、内側テーブル２１で支持されたウエハＷＦと共に接着シートＡＳが貼付され、切断手段６０の切断によって形成された不要シートＵＳを支持する不要シート支持面２２Ａと、その内部で直動モータ２３を支持する凹部２２Ｂと、凹部２２Ｂの後側面に設けられ、ウエハＷＦを出し入れ可能な開口２２Ｃと、凹部２２Ｂの左側面に設けられ、内部を貼付支援手段５０が進退する開口２２Ｄとを備えている。

【0013】

繰出手段３０は、剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ３１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ３２Ａ、３２Ｂと、ガイドローラ３２Ａとの間に原反ＲＳを挟み込む押付部材３３Ｂをその出力軸３３Ａで支持する駆動機器としての直動モータ３３と、ガイドローラ３２Ｂを支持し、接着シートＡＳの張力を測定可能な張力検出手段としてのロードセル３４Ａと、剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離部材としての剥離板３４Ｂと、駆動機器としての回動モータ３５Ａによって駆動され、ピンチローラ３５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ３５と、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ３６と、当該繰出手段３０を構成する前述の構成部材のうち支持ローラ３１および回収ローラ３６以外の各部材を支持するフレーム３７と、その図示しないスライダでフレーム３７を支持し、駆動機器としてのリニアモータ３８のスライダ３８Ａ（図３参照）に支持された駆動機器としてのリニアモータ３９とを備えている。

【0014】

押圧手段４０は、駆動機器としてのリニアモータ４１のスライダ４１Ａにブラケット４２を介して支持された駆動機器としての直動モータ４３と、直動モータ４３の出力軸４３Ａにブラケット４３Ｂを介して回転可能に支持され、接着シートＡＳをウエハＷＦの被着面ＷＦ１に押圧する押圧部材としての押圧ローラ４４とを備えている。

【0015】

貼付支援手段５０は、清掃手段５１および押付手段５２を支持面２１Ａの一端（左端）側から他端（右端）側に向かって移動させる単一の移動手段５３と、清掃手段５１および押付手段５２を支持し、移動手段５３に支持された支持部材５４とを更に備え、支持部材５４によって清掃手段５１と押付手段５２とが一体化されている。
清掃手段５１は、空気やガス等の気体を供給する加圧ポンプや加圧タービン等の図示しない気体供給手段に接続されたノズル５１Ａを備えている。
押付手段５２は、弾性変形可能な環状部材５２Ａを備えている。
移動手段５３は、移動フレーム５３Ａに支持された駆動機器としての回動モータ５３Ｂによって駆動される駆動プーリ５３Ｃと、移動フレーム５３Ａに支持され、自由回転する従動プーリ５３Ｄと、駆動プーリ５３Ｃおよび従動プーリ５３Ｄに掛け回されたベルト５３Ｅと、図示しないフレームに固定された固定ブラケット５３Ｆとベルト５３Ｅとを連結する第１連結部材５３Ｇと、ベルト５３Ｅと支持部材５４とを連結する第２連結部材５３Ｈとを備えている。

【0016】

切断手段６０は、駆動機器としての多関節ロボット６１と、多関節ロボット６１の作業アーム６１Ａに着脱自在に支持された切断刃６２（図３参照）とを備えている。多関節ロボット６１は、その作業範囲内において作業アーム６１Ａに装着したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な所謂６軸ロボットである。

【0017】

回収手段７０は、リニアモータ４１のスライダ４１Ｂに支持されたフレーム７１と、フレーム７１に支持された駆動機器としての回動モータ７２によって駆動され、ピンチローラ７４とで不要シートＵＳを挟み込む駆動ローラ７３と、図示しない駆動機器によって駆動され、所定の張力で不要シートＵＳを回収する回収ローラ７５とを備えている。

【0018】

移送手段８０は、多関節ロボット６１と、多関節ロボット６１の作業アーム６１Ａに着脱自在に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な吸着ツール８１とを備えている。

【0019】

以上のシート貼付装置１０において、ウエハＷＦの被着面ＷＦ１に接着シートＡＳを貼付する手順について説明する。
先ず、各部材が図１中実線で示す初期位置に待機しているシート貼付装置１０に対し、当該シート貼付装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が原反ＲＳを同図中実線で示すようにセットし、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転の信号を入力する。すると、繰出手段３０および回収手段７０が回動モータ３５Ａ、７２を駆動し、剥離シートＲＬおよび接着シートＡＳを巻き取り、支持手段２０上に位置する接着シートＡＳの張力が所定値となったことがロードセル３４Ａによって検知されると、回動モータ３５Ａ、７２の駆動を停止する。次いで、繰出手段３０が直動モータ３３を駆動し、押付部材３３Ｂとガイドローラ３２Ａとで接着シートＡＳを挟み込み、当該接着シートＡＳの繰り出しを抑制し、スタンバイ状態となる。

【0020】

その後、貼付支援手段５０が回動モータ５３Ｂおよび図示しない気体供給手段を駆動し、支持面２１Ａにノズル５１Ａで気体を吹き付けながら、ノズル５１Ａを図１中実線で示す位置と、同図中二点鎖線で示す位置との間で往復移動させて支持面２１Ａを清掃する。ノズル５１Ａが往復移動したことをカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等の図示しない検知手段が検知すると、貼付支援手段５０が回動モータ５３Ｂおよび図示しない気体供給手段の駆動を停止する。そして、移送手段８０が多関節ロボット６１および図示しない減圧手段を駆動し、吸着ツール８１でウエハＷＦを吸着保持した後、開口２２Ｃ内に吸着ツール８１を差し込んで、図１中二点鎖線で示すようにウエハＷＦを支持面２１Ａ上に載置すると、支持手段２０が図示しない減圧手段を駆動し、ウエハＷＦを吸着保持する。次に、貼付支援手段５０が回動モータ５３Ｂを駆動し、図２（Ａ）に示すように、押付手段５２を右方に移動させ、ウエハＷＦの外周部上方に位置させた後、支持手段２０が直動モータ２３を駆動し、内側テーブル２１を上昇させる。これにより、押付手段５２が、接着シートＡＳを貼付する前のウエハＷＦの外周部を支持面２１Ａに押し付け、ウエハＷＦの姿勢を支持面２１Ａに沿って矯正する。

【0021】

その後、貼付支援手段５０が回動モータ５３Ｂを駆動し、押付手段５２を初期位置に復帰させる。そして、支持手段２０が直動モータ２３を駆動し、図３中実線で示すように、内側テーブル２１を上方に移動させた後、押圧手段４０が直動モータ４３、リニアモータ４１を駆動し、押圧ローラ４４を下降させた後、右方に移動させ、当該押圧ローラ４４で接着シートＡＳを被着面ＷＦ１および不要シート支持面２２Ａに押圧して貼付する。この際、押圧ローラ４４の移動に伴って、接着シートＡＳにさらなる張力が加わると、ロードセル３４Ａがそれを検知した瞬間に、繰出手段３０がリニアモータ３８、３９を駆動し、ロードセル３４Ａで検出される張力が所定値からずれないようにフレーム３７を左右方向および上下方向へ移動させる制御が行われる。なお、接着シートＡＳの貼付動作中に、切断手段６０が多関節ロボット６１を駆動し、吸着ツール８１から切断刃６２にツール交換を行う。

【0022】

接着シートＡＳの貼付が完了すると、切断手段６０が多関節ロボット６１を駆動し、図３中二点鎖線で示すように、切断刃６２を接着シートＡＳに突き刺し、当該切断刃６２をウエハＷＦの外周に沿って移動させる。これにより、ウエハＷＦ上に接着シート部分ＡＳ１が残り、当該接着シート部分ＡＳ１の外周に不要シートＵＳが形成される。次いで、回収手段７０および押圧手段４０が回動モータ７２およびリニアモータ４１を駆動し、図３中二点鎖線で示すように、フレーム７１を右方向に移動させて不要シートＵＳを回収する。そして、回収手段７０で不要シートＵＳを回収している最中に、移送手段８０が多関節ロボット６１を駆動し、切断刃６２から吸着ツール８１にツール交換を行うとともに、支持手段２０が直動モータ２３を駆動し、内側テーブル２１を初期位置に復帰させる。

【0023】

その後、貼付支援手段５０が回動モータ５３Ｂおよび図示しない気体供給手段を駆動し、接着シート部分ＡＳ１の表面にノズル５１Ａで気体を吹き付けながら、ノズル５１Ａおよび押付手段５２を右方に移動させ、接着シート部分ＡＳ１の表面をノズル５１Ａで清掃するとともに、接着シート部分ＡＳ１の外周部の上方に押付手段５２を位置させる。ノズル５１Ａおよび押付手段５２が図２（Ｂ）に示す位置に到達したことを図示しない検知手段が検知すると、貼付支援手段５０が回動モータ５３Ｂおよび図示しない気体供給手段の駆動を停止する。次いで、支持手段２０が直動モータ２３を駆動し、図２（Ｂ）に示すように、内側テーブル２１を上昇させる。これにより、押付手段５２が、切断した接着シート部分ＡＳ１の外周部をウエハＷＦに押し付ける。次に、支持手段２０および貼付支援手段５０が直動モータ２３、回動モータ５３Ｂおよび図示しない気体供給手段を駆動し、内側テーブル２１を下降させた後、ノズル５１Ａで気体を吹き付けながら当該ノズル５１Ａを左方に移動させ、押付手段５２が押し付けられた接着シート部分ＡＳ１の表面を清掃する。ノズル５１Ａが図１中実線で示す位置に到達したことを図示しない検知手段が検知すると、貼付支援手段５０が回動モータ５３Ｂおよび図示しない気体供給手段の駆動を停止する。これにより、吸着ツール８１や押付手段５２が接着シート部分ＡＳ１の表面に当接した際に、接着シート部分ＡＳ１の表面の塵埃がウエハＷＦに向かって押し込まれることを防止でき、塵埃の押し込みによるウエハＷＦの破損を防止することができる。そして、移送手段８０が多関節ロボット６１および図示しない減圧手段を駆動し、開口２２Ｃ内に吸着ツール８１を差し込んで当該吸着ツール８１でウエハＷＦを吸着保持し、内側テーブル２１からウエハＷＦを次工程に搬出する。

【0024】

その後、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させる。この復帰動作により、所定の繰出量の接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離されて支持手段２０上に配置され、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0025】

以上のような実施形態によれば、清掃手段５１と押付手段５２とが一体化された貼付支援手段５０を備えているため、装置が大型化し、制御が煩雑化することを防止することができる。

【0026】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

【0027】

例えば、支持手段２０は、内側テーブル２１を上方に移動させた際、被着面ＷＦ１が不要シート支持面２２Ａと同一平面内に位置するように配置してもよいし、押圧ローラ４４で被着面ＷＦ１および不要シート支持面２２Ａに接着シートＡＳが貼付できる範囲内であれば、被着面ＷＦ１が不要シート支持面２２Ａよりも上方または下方に位置するように配置してもよいし、吸着保持しない構成でもよい。
外側テーブル２２は、複数の開口２２Ｃを備えていてもよいし、開口２２Ｃを備えていなくてもよく、開口２２Ｃを備えていない場合、内側テーブル２１と外側テーブル２２との間にウエハＷＦを搬入、搬出ができる隙間があればよい。

【0028】

繰出手段３０は、剥離シートＲＬに所定間隔で枚葉の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳに対し、剥離板３４Ｂで剥離シートＲＬを折り返して剥離する構成でもよい。この場合、剥離シートＲＬから剥離した枚葉の接着シートＡＳを押圧手段としての押圧ローラで押圧して貼付すればよく、回収手段７０はなくてもよい。また、繰出手段３０は、剥離シートＲＬに仮着されていない接着シートＡＳを繰り出す構成でもよく、この場合、剥離板３４Ｂ、駆動ローラ３５、回収ローラ３６等はなくてもよい。
繰出手段３０は、支持ローラ３１や回収ローラ３６をフレーム３７に支持させてもよいし、上下方向と左右方向との２つの出力軸を有する単一の駆動機器でフレーム３７を移動させてもよいし、リニアモータ３８、３９を上下方向および左右方向の各々に対して傾斜して延設してもよいし、それらを互いに直交しない方向に延設してもよいし、リニアモータ３９のスライダでリニアモータ３８を支持し、リニアモータ３８のスライダ３８Ａでフレーム３７を支持してもよいし、リニアモータ３８、３９を採用することなく、押圧ローラ４４の右方への移動に伴い、支持ローラ３１から原反ＲＳを繰り出す構成としてもよいし、張力検出手段として圧力センサやレギュレータ等、接着シートＡＳの張力を測定可能なものであれば何を採用してもよいし、支持ローラ３１をロック可能な駆動機器で支持する構成として直動モータ３３を省いてもよい。

【0029】

貼付支援手段５０は、清掃手段５１と押付手段５２を移動手段５３に直接支持させて当該移動手段５３で清掃手段５１と押付手段５２を一体化した構成であってもよく、この場合、支持部材５４はなくてもよい。
貼付支援手段５０は、一体化された清掃手段５１および押付手段５２を使用者が人手で移動させる構成であってもよく、この場合、移動手段５３はなくてもよい。
清掃手段５１は、粘着ローラ、ブラシ、ブレード材等の除塵部材や、減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段等を採用してもよいし、図１中二点鎖線で示すように、押付手段５２の外周よりも内側に設けてもよいし、移動しながら清掃するものに限らず、他端側に移動した位置で清掃対象の面を清掃するものであってもよい。
清掃手段５１は、支持面２１Ａに支持されたウエハＷＦの被着面ＷＦ１を清掃してもよいし、ウエハＷＦの姿勢を矯正する前、後、またはその両方で被着面ＷＦ１を清掃してもよいし、支持面２１Ａ、ウエハＷＦの被着面ＷＦ１、およびウエハＷＦに貼付した接着シートＡＳの表面のうちの何れか１つの面または２つの面、もしくは３つ全ての面を清掃するものであってもよく、これにより、ウエハＷＦに吸着ツール８１や押付手段５２が接着シート部分ＡＳ１に当接した際に、接着シート部分ＡＳ１の表面の塵埃がウエハＷＦに向かって押し込まれることを防止でき、塵埃の押し込みによるウエハＷＦの破損を防止することができる。
押付手段５２は、弾性変形しないものであってもよいし、板状部材やローラであってもよいし、支持部材５４に点在させた複数の部材であってもよく、ウエハＷＦや接着シート部分ＡＳ１の一部または全部に当接してウエハＷＦや接着シート部分ＡＳ１の外周部を支持面２１Ａに押し付けるものであればよい。
移動手段５３は、駆動機器のみで構成されていてもよい。
支持部材５４は、複数の部材で構成してもよい。

【0030】

切断手段６０は、ウエハＷＦ上に残す接着シート部分ＡＳ１の形状として、ウエハＷＦの被着面ＷＦ１と同形状に切断することなく、異なる形状に切断したり、被着面ＷＦ１よりも大きく切断したり、被着面ＷＦ１よりも小さく切断したりしてもよい。

【0031】

回収手段７０は、リニアモータ４１のスライダ４１Ｂに支持された駆動機器としての回動モータによってフレーム７１を回動可能に設けてもよいし、駆動ローラ７３およびピンチローラ７４を採用することなく、外側テーブル２２から直接回収ローラ７５で不要シートＵＳを回収する構成としてもよいし、フレーム７１や回収ローラ７５等を被着面ＷＦ１に沿って移動させることなく不要シートＵＳを回収する構成としてもよい。

【0032】

移送手段８０は、内側テーブル２１を図３中実線で示す位置に上昇させた後、開口２２Ｃを通さずに上方から支持面２１Ａ上にウエハＷＦを載置してもよいし、切断手段６０とは別体の独立した構成としてもよいし、他の装置で被着体の移送を行う場合、なくてもよい。

【0033】

また、本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

【0034】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、支持手段は、被着体を支持面で支持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気やガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合は、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持する構成のものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断刃が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしたりしてもよい。

【符号の説明】

【0035】

１０ シート貼付装置
２０ 支持手段
２１Ａ 支持面
３０ 繰出手段
４０ 押圧手段
５０ 貼付支援手段
５１ 清掃手段
５２ 押付手段
６０ 切断手段
ＡＳ 接着シート
ＡＳ１ 接着シート部分
ＷＦ ウエハ（被着体）

【図1】

【図2】

【図3】