特許 6872638 対基板作業機

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6872638

(24)【登録日】2021年4月21日

(45)【発行日】2021年5月19日

(54)【発明の名称】対基板作業機

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20210510BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 N

【請求項の数】3

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2019-559880(P2019-559880)

(86)(22)【出願日】2017年12月18日

(86)【国際出願番号】JP2017045317

(87)【国際公開番号】WO2019123515

(87)【国際公開日】20190627

【審査請求日】2020年3月13日

(73)【特許権者】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000992

【氏名又は名称】特許業務法人ネクスト

(74)【代理人】

【識別番号】100162237

【弁理士】

【氏名又は名称】深津 泰隆

(74)【代理人】

【識別番号】100191433

【弁理士】

【氏名又は名称】片岡 友希

(72)【発明者】

【氏名】河口 浩二

【審査官】 鈴木 孝章

(56)【参考文献】

【文献】 特開２００２−０４３７９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１７−１３５３１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開平０３−０３５９２８（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｈ０５Ｋ １３／０４

Ｈ０１Ｌ ２１／５２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数の吸着ノズルを保持可能である第１ヘッドおよび第２ヘッドを備え、前記第１ヘッドから前記第２ヘッドへ電子部品の受け渡しを行う装置であって、
制御部を備え、
前記第１ヘッドおよび前記第２ヘッドの少なくとも何れか一方は、前記複数の吸着ノズル間の相対位置が調整可能であり、
前記複数の吸着ノズル間の相対位置が調整可能である前記第１ヘッドおよび前記第２ヘッドの少なくとも何れか一方は、前記複数の吸着ノズルの相対位置を調整する調整機構を備え、
前記制御部は、
前記第１ヘッドから前記第２ヘッドへ電子部品を受け渡させる第１処理と、
前記第１処理の前に、前記調整機構を備える前記第１ヘッドおよび前記第２ヘッドの何れか一方の前記複数の吸着ノズルの位置が、前記第１ヘッドおよび前記第２ヘッドの何れか他方の前記複数の吸着ノズルのうちの少なくとも一部の吸着ノズルの位置と一致するように該調整機構に調整させる第２処理と、を実行し、
前記第１ヘッドおよび前記第２ヘッドの各々は、円周上に前記複数の吸着ノズルを備え、
前記調整機構は、
前記複数の吸着ノズルの各々の位置の移動量を等しく一括で変更可能である対基板作業機。

【請求項2】

前記第１ヘッドおよび前記第２ヘッドの何れか一方は、先端に吸着ノズルを保持可能である自転可能なノズルホルダが円周上に等ピッチで複数配置された第１ロータリヘッドであり、
前記第１ヘッドおよび前記第２ヘッドの何れか他方は、前記第１ロータリヘッドの前記ノズルホルダが配置されている円周とは直径が異なる円周上に吸着ノズルが等ピッチで複数配置された第２ロータリヘッドであり、
前記第１ロータリヘッドの吸着ノズルの数と前記第２ロータリヘッドの吸着ノズルの数との最大公約数が２以上の自然数であり、
前記ノズルホルダは、自身の回転軸から偏心した位置に吸着ノズルを保持し、
前記制御部は、
前記第２処理において、前記第１ロータリヘッドの吸着ノズルが配置される円周の直径が、前記第２ロータリヘッドの吸着ノズルが配置される円周の直径と一致するように前記調整機構に前記ノズルホルダを回転させる請求項１に記載の対基板作業機。

【請求項3】

前記制御部は、
前記第２処理において、前記調整機構に前記第１ロータリヘッドおよび前記第２ヘッドの何れか一方が備える前記ノズルホルダのすべてについて回転方向および回転角を等しく回転させる請求項２に記載の対基板作業機。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、対基板作業機に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来、ダイシングシートに貼付されたダイをピックアップする第１のヘッドと、該第１のヘッドからダイを受け取る第２のヘッドとを備える装置がある。具体的な構成として、例えば特許文献１には、８つの吸着取出ノズルが周縁部に配置された第１の回転盤（ロータリヘッド）および８つの吸着装填ノズルが周縁部に配置された第２の回転盤を備える装置が記載されている。第１のヘッドの吸着ノズルは、１つのダイを吸着した後反転する。その後、吸着ノズルは間欠回転され、受渡しステーションにて、第２のヘッドの吸着ノズルにダイを受け渡す。

【0003】

上記のように、特許文献１の装置は、第１のロータリヘッドから第２のロータリヘッドへダイを１個ずつ受け渡すものであるが、第１のロータリヘッドから第２のロータリヘッドへ複数のダイを一括して受け渡す装置もある。詳しくは、各ロータリヘッドにおいて吸着ノズルが配置される円周の直径を、２つのロータリヘッド間で一致させておき、複数の吸着ノズルの各々におけるダイの受け渡しを一括に行うものである。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００６−３３２４６８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

上記の、一括して受け渡す装置では、２つのロータリヘッド間で吸着ノズルが配置される円周の直径が同じであることが必要となる。しかしながら、例えば、第２のロータリヘッドが装置に対して着脱可能であり、吸着ノズルが配置される円周の直径が互いに異なる種々の第２のロータリヘッドが用途に応じて交換可能に構成された装置もある。そこで、吸着ノズルが配置される円周の直径が２つのロータリヘッド間で互いに異なる場合にも、一括して受け渡すことができる装置が要請されていた。また、ロータリヘッドに限らず、複数の吸着ノズルを備える２つのヘッドで、複数の吸着ノズルの位置が互いに異なる場合に、ダイを一括して受け渡すことができる対基板作業機が要請されていた。

【0006】

本願は、上記の課題に鑑み提案されたものであって、２つのヘッド間で吸着ノズルの位置が異なる場合にも、ダイを一括して受け渡すことができる対基板作業機を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本明細書は、複数の吸着ノズルを保持可能である第１ヘッドおよび第２ヘッドを備え、第１ヘッドから第２ヘッドへ電子部品の受け渡しを行う装置であって、制御部を備え、第１ヘッドおよび第２ヘッドの少なくとも何れか一方は、複数の吸着ノズル間の相対位置が調整可能であり、複数の吸着ノズル間の相対位置が調整可能である第１ヘッドおよび第２ヘッドの少なくとも何れか一方は、複数の吸着ノズルの相対位置を調整する調整機構を備え、制御部は、第１ヘッドから第２ヘッドへ電子部品を受け渡させる第１処理と、第１処理の前に、調整機構を備える第１ヘッドおよび第２ヘッドの何れか一方の複数の吸着ノズルの位置が、第１ヘッドおよび第２ヘッドの何れか他方の複数の吸着ノズルのうちの少なくとも一部の吸着ノズルの位置と一致するように調整機構に調整させる第２処理と、を実行し、第１ヘッドおよび第２ヘッドの各々は、円周上に複数の吸着ノズルを備え、調整機構は、複数の吸着ノズルの各々の位置の移動量を等しく一括で変更可能である対基板作業機を開示する。

【発明の効果】

【0008】

本開示によれば、第１ヘッドと第２ヘッドとで、吸着ノズルの位置が互いに異なる場合であっても、調整機能により位置が一致するように調整することができるため、複数の電子部品を一括で受け渡すことができる対基板作業機を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】実施形態に係る電子部品装着機の斜視図である。

【図2】カバーを除いて示す電子部品装着機の平面図である。

【図3】ピックアップヘッドの構造を示す左右方向から視た模式図である。

【図4】ピックアップヘッドのノズルホルダおよび吸着ノズルの配置を示す平面図である。

【図5】装着ヘッドのノズルホルダおよび吸着ノズルの配置を示す平面図である。

【図6】電子部品装着機の制御系統を示すブロック図である。

【図7】回転角度を説明する図である。

【図8】（Ａ）は調整前の吸着ノズル位置を示す図であり、（Ｂ）は調整後の吸着ノズル位置を示す図である。

【図9】装着作業処理のフローチャート図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

電子部品装着機の構成
図１に示すように、電子部品装着機１０は、本体部１１、ダイ供給装置３０、フラックス供給装置２６、および操作装置１８０を備えている。以下の説明には、図１に示す方向を用いる。電子部品装着機１０の幅方向がＸ軸方向であり、Ｘ方向に直角な水平の方向をＹ軸方向である。電子部品装着機１０は、例えばプリント基板などの基板に対してダイを装着する作業を実施する。

【0011】

本体部１１はベース４６、デバイスパレット７０およびカバー１２などを有する。本体部１１は略箱形状であり、ベース４６の上方に、図２に示す搬送装置２０、装着ヘッド移動装置２２、装着ヘッド２４、およびヘッドステーション２９などを収納している。ベース４６の前側下方には、ダイ供給装置３０の一部が差し込まれる空間である収納部８６（図２）が設けられている。本体部１１の上面の一部にカバー１２が取り付けられている。フラックス供給装置２６は、ベース４６に固定されたデバイスパレットに７０の上方に固定されている。ダイ供給装置３０はメインフレーム１００およびウエハ収容装置１０２などを有する。ウエハ収容装置１０２の内部には、複数のウエハが、面がＸＹ平面と略平行な状態にされて収納されている。ダイ供給装置３０は、ウエハ収容装置１０２に収納された複数のウエハのうちの一枚を取り出し、メインフレーム１００の上方に送り出す。操作装置１８０は、本体部１１の前面に取り付けられている。作業者は、操作装置１８０の表示画面に表示された、例えば電子部品装着機１０の動作状況などの情報を確認することができる。また、作業者は、電子部品装着機１０に必要な操作や設定を操作装置１８０の操作スイッチを介して行うことができる。

【0012】

図２に示すように、ダイ供給装置３０は、上記の構成の他に、ピックアップヘッド移動装置１０６、ピックアップヘッド１０５、ウエハ保持フレーム１１８、およびダイ突上装置（不図示）などをメインフレーム１００の上方に有している。ダイ供給装置３０は、ウエハ９０が有するダイ９２をピックアップし、ダイ９２の基板への装着作業を行う装着ヘッド２４へ渡す装置である。尚、ここでのウエハ９０とは、ダイシングシート９３が貼着された後ダイシングされたものであり、複数のダイ９２がダイシングシート９３に貼着された状態となったものをいうものとする。

【0013】

ピックアップヘッド移動装置１０６は、Ｙ軸方向に延びるＹ軸方向ガイドレール１３４,１３４、Ｘ軸方向に延びるＸ軸方向ガイドレール１３５、およびクランプ１４６などを有する。Ｙ軸方向ガイドレール１３４,１３４は対をなし、Ｘ軸方向に所定間隔離間されて配置されている。Ｘ軸方向ガイドレール１３５は、Ｙ軸方向ガイドレール１３４，１３４の上に架け渡されている。Ｘ軸方向ガイドレール１３５は、Ｙ軸方向ガイドレール１３４，１３４に案内されて、不図示の電磁モータを駆動源として、Ｙ軸方向の任意の位置に移動する。Ｘ軸方向ガイドレール１３５にはスライダ１３８が取り付けられている。スライダ１３８はＸＹ平面に略平行な回転軸（不図示）を有し、ピックアップヘッド１０５は、該回転軸を軸として回動可能に取り付けられている。スライダ１３８およびピックアップヘッド１０５は、不図示の電磁モータを駆動源として、Ｘ軸方向の任意の位置に移動する。

【0014】

ピックアップヘッド１０５は、ノズルホルダ１６２（図３）、吸着ノズル１６３（図３）、ノズル昇降装置（不図示）、および反転装置（不図示）を有する。ノズルホルダ１６２は、棒状であり、先端に吸着ノズル１６３を保持する。吸着ノズル１６３は、正負圧供給装置（不図示）から負圧が供給されることでダイ９２を吸着保持し、僅かな正圧が供給されることで保持したダイ９２を離脱する。以下の説明において、ピックアップヘッド１０５が、ダイ９２を吸着保持することをピックアップと記載する場合がある。ノズル昇降装置は、ノズルホルダ１６２および吸着ノズル１６３を上下方向に昇降させる。反転装置は、ノズルホルダ１６２を上下方向に反転させる。尚、ピックアップヘッド１０５の詳細については後述する。

【0015】

図２に戻り、クランプ１４６は、ピックアップヘッド移動装置１０６のＸ軸方向ガイドレール１３５の前面に取り付けられている。クランプ１４６は、ウエハ収容装置１０２に収容されたウエハ９０を把持するものである。ウエハ保持フレーム１１８は、メインフレーム１００の上面に配設されている。ウエハ収容装置１０２に収納された複数のウエハ９０のうち、クランプ１４６と上下方向の位置が同等とされたウエハ９０がクランプ１４６により把持される。その後、Ｘ軸方向ガイドレール１３５が後方へ移動することにより、クランプ１４６により把持されたウエハ９０が後方へ移動する。ウエハ保持フレーム１１８の上まで移動したウエハ９０は、クランプ１４６による把持が解除され、ウエハ保持フレーム１１８に載置される。ウエハ保持フレーム１１８の上に載置されたウエハ９０は、不図示の固定機構により固定される。ダイ突上装置はウエハ保持フレーム１１８の下方に配設されており、ピックアップヘッド１０５がダイ９２を吸着保持する際に、下方からダイ９２を押し上げる。

【0016】

搬送装置２０は、コンベア装置４０，４２を有する。コンベア装置４０，４２は、Ｘ軸方向に延びるように所定間隔離間して配設されている。コンベア装置４０，４２の各々は、不図示の電磁モータを駆動源として基板をＸ軸方向に搬送する。

【0017】

装着ヘッド移動装置２２は、ピックアップヘッド移動装置１０６と同様の構成を有している。装着ヘッド移動装置２２は、Ｙ軸方向に延びるＹ軸方向ガイドレール５０,５０およびＸ軸方向に延びるＸ軸方向ガイドレール５２などを有している。Ｙ軸方向ガイドレール５０,５０は対をなし、Ｘ軸方向に所定間隔離間して配置されている。Ｘ軸方向ガイドレール５２は、Ｙ軸方向ガイドレール５０，５０の上に架け渡されている。Ｘ軸方向ガイドレール５２は、Ｙ軸方向ガイドレール５０，５０に案内されてＹ軸方向の任意の位置に移動する。Ｘ軸方向ガイドレール５２には、装着ヘッド２４が取り付けられたスライダ５４が取り付けられている。スライダ５４および装着ヘッド２４は、Ｘ軸方向の任意の位置に移動する。装着ヘッド２４は、ノズルホルダ１７２（図５）、吸着ノズル１７３（図５）、およびノズル昇降装置（不図示）などを有する。ノズルホルダ１７２は、棒状であり、先端に吸着ノズル１７３を保持する。吸着ノズル１７３は、正負圧供給装置（不図示）により負圧を供給されてダイ９２を吸着保持し、僅かな正圧が供給されることで保持したダイ９２を離脱する。ノズル昇降装置は、ノズルホルダ１７２および吸着ノズル１７３を上下方向に昇降させる。

【0018】

フラックス供給装置２６は、後方端部にフラックストレイ７４を有する。フラックストレイ７４には、フラックスが貯留されている。ヘッドステーション２９は、搬送装置２０とヘッドステーション２９との間に配置されている。ヘッドステーション２９には、替えの装着ヘッド２４が収納されている。

【0019】

ここで、電子部品装着機１０による装着作業の概要について説明する。
基板はコンベア装置４０，４２により所定の位置まで搬送され、基板保持装置（不図示）により固定される。一方、ウエハ９０は、ダイ供給装置３０によりメインフレーム１００上に固定される。ウエハ９０の１つのダイ９２がダイ突上装置により上方へ突き上げられ、突き上げられたダイ９２は、ピックアップヘッド１０５の吸着ノズル１６３により、吸着保持される。次に、ピックアップヘッド１０５が上下方向に反転される。これにより、ダイ９２がピックアップヘッド１０５の上方に位置することになる。ピックアップヘッド１０５の上方に移動した装着ヘッド２４は、ピックアップヘッド１０５からダイ９２を受け取る。次に、装着ヘッド２４はフラックストレイ７４の上方に移動し、吸着ノズルが下降されて、ダイ９２のバンプ（不図示）にフラックスが塗布される。次に、装着ヘッド２４は、基板の装着位置まで移動し、吸着ノズルが下降され、基板にダイ９２が装着される。

【0020】

次に、図３を用いて、ピックアップヘッド１０５について詳述する。尚、ピックアップヘッド１０５は１２個のノズルホルダ１６２を有するが、図３では、２個のノズルホルダ１６２のみ示し、他は省略している。ピックアップヘッド１０５はロータリヘッドであり、上記の構成の他に、ヘッド保持部１５０および回転部１６０を有する。ヘッド保持部１５０は上記の回転軸に支持されて、スライダ５４に取り付けられている。回転部１６０はヘッド保持部１５０に着脱可能に取り付けられている。反転装置は、不図示の電磁モータを備え、電磁モータを駆動源として、回転軸を軸にピックアップヘッド１０５を回動させ、上下方向に反転させる。

【0021】

ヘッド保持部１５０は、Ｒ軸モータ１５１、Ｑ軸モータ１５２、Ｒ軸ギヤ１５３、Ｑ軸ギヤ１５４、およびＲ軸１５５などを有する。Ｒ軸ギヤ１５３、Ｑ軸ギヤ１５４、およびＲ軸１５５は、Ｒ軸線ＲＬを回転軸とする。Ｒ軸ギヤ１５３は、Ｒ軸モータ１５１を駆動源としてＲ軸線ＲＬ回りに一方向に自転する。以下の説明において、Ｒ軸線ＲＬ回りに自転することを、回転すると記載する場合がある。円柱状のＲ軸１５５は、Ｒ軸ギヤ１５３に固定されており、Ｒ軸ギヤ１５３の回転に応じて、Ｒ軸線ＲＬ回りに回転する。Ｑ軸ギヤ１５４は、Ｑ軸モータ１５２を駆動源として、Ｒ軸ギヤ１５３とは独立してＲ軸線ＲＬ回りに一方向に回転する。

【0022】

回転部１６０は、ホルダ支持部１６１、ノズルホルダ１６２、吸着ノズル１６３、ホルダギヤ１６４、および円筒ギヤ１６５などを有する。円筒ギヤ１６５は、Ｒ軸１５５を挿通可能な円筒状であり、外周面にギヤを有する。また、円筒ギヤ１６５は、上端部でＱ軸ギヤ１５４と係合可能となっている。ノズルホルダ１６２は下端部に吸着ノズル１６３が取り付けられている。ここで、吸着ノズル１６３は、ノズルホルダ１６２の中心軸であるＱ軸線ＱＬから偏心した位置に取り付けられている。ノズルホルダ１６２の上端部には、円筒ギヤ１６５と噛み合うホルダギヤ１６４が取り付けられている。これにより、ノズルホルダ１６２は、Ｑ軸モータ１５２の駆動力がＱ軸ギヤ１５４および円筒ギヤ１６５を介してノズルホルダ１６２に伝達され、Ｑ軸線ＱＬ回りに回転することができる。ホルダ支持部１６１は底面を有する円筒状であり、ノズルホルダ１６２を保持する。また、Ｒ軸１５５の下端部とホルダ支持部１６１の底面部とが係合可能となっている。これにより、ホルダ支持部１６１およびノズルホルダ１６２は、Ｒ軸モータ１５１の駆動力がＲ軸ギヤ１５３およびＲ軸１５５を介して伝達され、Ｒ軸線ＲＬ回りに回転することができる。尚、Ｒ軸１５５の下端部とホルダ支持部１６１の底面部との係合が解除されることによって、回転部１６０がヘッド保持部１５０から取り外される。

【0023】

図４に示すように、ピックアップヘッド１０５には、Ｒ軸線ＲＬと同心の円周上において等ピッチで１２個のノズルホルダ１６２が保持されている。上記のように、吸着ノズル１６３は、Ｑ軸線ＱＬから偏心した位置に取り付けられている。また、全てのノズルホルダ１６２において、ノズルホルダ１６２がＲ軸線ＲＬ回りに回転した場合に、吸着ノズル１６３の位置が互いに重なるように、吸着ノズル１６３は取り付けられる。ここで、ノズルホルダ１６２が配置される円周を円周ＣＦ１と称する。また、吸着ノズル１６３が配置される円周をノズル円周ＮＣと称する。また、円周ＣＦ１の直径は直径Ｄ１であり、Ｑ軸線ＱＬと吸着ノズル１６３との距離は距離ＯＳであるものとする。尚、吸着ノズル１６３はＱ軸線ＱＬから偏心した位置に取り付けられているため、ノズルホルダ１６２のＱ軸線ＱＬ回りの回転に応じて、ノズル円周ＮＣの直径は変化する。

【0024】

尚、ピックアップヘッド１０５がダイ９２をピックアップする際は、ノズルホルダ１６２は隣接するノズルホルダ１６２とＲ軸線ＲＬとのなす角度毎に間欠回転される。また、ノズル昇降装置は、円周ＣＦ１上のノズルホルダ１６２が停止する位置の１つである昇降位置ＨＰにあるノズルホルダ１６２を昇降させる。ピックアップヘッド１０５がダイ９２をピックアップする際は、ノズルホルダ１６２のＲ軸線ＲＬ回りの間欠回転および昇降位置ＨＰにあるノズルホルダ１６２の昇降が繰り替えされて、全てのノズルホルダ１６２におけるダイ９２の吸着保持が実施される。ここで、ノズルホルダ１６２の円周ＣＦ１上における基準位置は決められている。ノズルホルダ１６２の１つが昇降位置ＨＰに位置している状態が、ノズルホルダ１６２が基準位置にある状態である。また、吸着ノズル１６３の基準位置も決められている。ここでは、図４に示すように、Ｒ軸線ＲＬとＱ軸線ＱＬとを結ぶ直線上の位置のうち、円周ＣＦ１の外側の方の位置が吸着ノズル１６３の基準位置であるものとする。

【0025】

装着ヘッド２４もロータリヘッドであり、反転装置を有していないが、反転装置以外の構成はピックアップヘッド１０５と同様であるであるため、詳細な説明は適宜省略する。図５に示すように、装着ヘッド２４は、２４個のノズルホルダ１７２および吸着ノズル１７３を有する。装着ヘッド２４は、Ｒ軸線ＲＬと同心の円周上において等ピッチで２４個のノズルホルダ１７２を保持している。吸着ノズル１７３は、Ｑ軸線ＱＬと同軸に取り付けられている。また、ノズル昇降装置は、昇降位置ＨＰにて、ノズルホルダ１７２を昇降させる。ここでは、ピックアップヘッド１０５の昇降位置ＨＰと装着ヘッド２４の昇降位置ＨＰとは、ダイ９２の受け渡しの際にピックアップヘッド１０５のＲ軸線ＲＬと装着ヘッド２４のＲ軸線ＲＬとの位置が上下方向に重なった場合、上下方向から視て同一直線上に位置するものとする。また、ノズルホルダ１７２が配置される円周を円周ＣＦ２と称し、円周ＣＦ２の直径は直径Ｄ２であるものとする。また、ここでは、ノズルホルダ１７２の１つが昇降位置ＨＰに位置している状態が、ノズルホルダ１７２が基準位置にある状態であるものとする。円周ＣＦ２の直径Ｄ２は、破線で示す円周ＣＦ１の直径Ｄ１よりも小さい。詳しくは、直径Ｄ２と直径Ｄ１との関係は（Ｄ２＝Ｄ１−ＯＳ×２）で示されるものとする。

【0026】

電子部品装着機の制御システム構成
次に、図６を用いて、電子部品装着機１０の制御システムの構成について説明する。電子部品装着機１０は、上記した構成の他に、制御装置２００を備える。制御装置２００は、ＣＰＵ２０１、ＲＡＭ２０２、ＲＯＭ２０３、記憶部２０４などを有する。ＣＰＵ２０１はＲＯＭ２０３もしくは記憶部２０４に記憶されている後述する装着作業処理などの各種のプログラムを実行することによって、電気的に接続されている各部を制御する。ここで各部とはダイ供給装置３０、搬送装置２０、装着ヘッド移動装置２２、装着ヘッド２４などである。詳しくは、ＣＰＵ２０１は、各部に命令し、各部は命令に応じた動作が完了すると、完了した旨の信号をＣＰＵ２０１へ出力する。ＲＡＭ２０２はＣＰＵ２０１が各種の処理を実行するための主記憶装置として用いられる。記憶部２０４には、ヘッド種情報２０５が記憶されている。ヘッド種情報２０５は、装着ヘッド２４の種類を示すヘッド種ＩＤにノズルホルダ１７２の数および円周ＣＦ２の直径が対応付けられた情報である。上記では、２４個のノズルホルダ１７２を備える装着ヘッド２４について説明したが、電子部品装着機１０は、種類の異なる装着ヘッド２４を使用することができる。種類の異なる装着ヘッド２４は、例えばノズルホルダ１７２の数、円周ＣＦ２の直径などが異なる。種類の異なる装着ヘッド２４は、ヘッドステーション２９に収納され、ＣＰＵ２０１の制御により、適宜交換される。尚、ここでは、全ての装着ヘッド２４について、吸着ノズル１７３の数とピックアップヘッド１０５の吸着ノズル１６３の数との最大公約数が２以上の自然数であるものとする。

【0027】

ＣＰＵ２０１は、装着ヘッド２４を交換すると、交換した装着ヘッド２４のヘッド種ＩＤについてヘッド種情報２０５を参照し、装着ヘッド２４の直径Ｄ２とピックアップヘッド１０５の吸着ノズル１７３が基準位置にある場合のノズル円周ＮＣの直径とが同じであるか否かを判断する。ＣＰＵ２０１は、装着ヘッド２４の直径Ｄ２と、ピックアップヘッド１０５のノズル円周ＮＣの直径とが同じでないと判断すると、ノズル円周ＮＣの直径が直径Ｄ２と同じとなる回転角度θｑを算出する。ここで、回転角度θｑは、図７に示すように、吸着ノズル１６３の基準位置に対するＱ軸線ＱＬ回りの回転角度である。また、ＣＰＵ２０１は、算出した回転角度θｑだけ回転された吸着ノズル１６３とＲ軸線ＲＬとを結ぶ線と、Ｑ軸線ＱＬとＲ軸線ＲＬとを結ぶ線分とのなす角度である角度θｒを算出する。尚、回転角度θｑおよび角度θｒは三角関数などにより求められる。

【0028】

図４，５に示した装着ヘッド２４およびピックアップヘッド１０５の場合について、図８を用いて説明する。直径Ｄ１と直径Ｄ２とは、（Ｄ２＝Ｄ１−ＯＳ×２）の関係があるため、回転角度θｑ＝１８０°の場合に、ノズル円周ＮＣの直径が円周ＣＦ２の円周と同じとなる。図８（Ａ）に示すように、基準位置の場合には、ノズル円周ＮＣの直径は円周ＣＦ２の直径よりも大きい。ここで、ノズルホルダ１６２をＱ軸線ＱＬ回りに１８０°回転させると、ノズル円周ＮＣの直径は円周ＣＦ２の円周と一致する。尚、回転角度θｑが１８０°の場合には、角度θｒは０°となる。つまり、受け渡しの際には、ノズルホルダ１６２を１８０°回転させることで、ピックアップヘッド１０５の吸着ノズル１６３の位置を装着ヘッド２４の吸着ノズル１７３の位置に合わせることができる。また、ピックアップヘッド１０５の吸着ノズル１６３の数と装着ヘッド２４の吸着ノズル１７３の数の最大公倍数は１２である。このため、受け渡しの際には、ノズルホルダ１６２をＱ軸線ＱＬ回りに１８０°回転させることで、１２個のノズルホルダ１６２で一括してダイ９２の受け渡しが可能となる。

【0029】

ＣＰＵ２０１は、装着ヘッド２４の直径Ｄ２と、ピックアップヘッド１０５の基準位置におけるノズル円周ＮＣの直径とが同じであると判断した場合には、回転角度θｑおよび角度θｒをいずれも０°としてＲＡＭ２０２に記憶させる。一方、装着ヘッド２４の直径Ｄ２とピックアップヘッド１０５の基準位置におけるノズル円周ＮＣの直径とが同じでないと判断した場合には、ＣＰＵ２０１は算出した回転角度θｑおよび角度θｒをＲＡＭ２０２に記憶させる。図４，５に示した装着ヘッド２４およびピックアップヘッド１０５の場合には、回転角度θｑは１８０°、角度θｒは０°としてＲＡＭ２０２に記憶される。

【0030】

次に、図９を用いて、ＣＰＵ２０１が実行する装着作業処理について、図４，５に示した装着ヘッド２４およびピックアップヘッド１０５の場合を適宜例示して説明する。ＣＰＵ２０１は、例えば操作装置１８０などを介して装着作業の開始指示を受け付けると、装着作業処理を開始する。まず、ＣＰＵ２０１は、ピックアップヘッド１０５に１２個のダイ９２のピックアップを実施させる（Ｓ１）。次に、ＣＰＵ２０１は、吸着ノズル１６３の角度調整が必要であるか否かを判断する（Ｓ３）。ＣＰＵ２０１は、ＲＡＭ２０２が記憶する回転角度θｑが０°である場合には角度調整は必要でないと判断し、回転角度θｑが０°でない場合には角度調整は必要であると判断する。角度調整は必要であると判断すると（Ｓ３：ＹＥＳ）、ＣＰＵ２０１はピックアップヘッド１０５にノズルホルダ１６２をＱ軸線ＱＬ回りに回転角度θｑだけ回転させ、ホルダ支持部１６１およびノズルホルダ１６２をＲ軸線ＲＬ回りに角度（３６０°−θｒ）だけ回転させ（Ｓ５）、ステップＳ７へ進む。ここで、ノズルホルダ１６２をＲ軸線ＲＬ回りに回転させるのは、吸着ノズル１６３がＱ軸線ＱＬ回りに回転されために、Ｑ軸線ＱＬとＲ軸線ＲＬとを結ぶ線上からずれてしまった吸着ノズル１６３の位置を修正するためである。これにより、基準位置にある装着ヘッド２４の吸着ノズル１７３に対して、ピックアップヘッド１０５の吸着ノズル１６３の位置が合い、１２個のダイ９２の受け渡しが可能となる。尚、角度θｒが０°の場合には、Ｒ軸線ＲＬ回りの回転を省略する構成としても良い。また、隣接する吸着ノズル１６３とＲ軸線ＲＬとのなす角度から角度θｒを除した角度を回転させる構成としても良い。例えば、図４に示すピックアップヘッド１０５の隣接する吸着ノズル１６３とＲ軸線ＲＬとのなす角度は３０°であるので、角度θｒが１０°である場合には、２０°だけホルダ支持部１６１およびノズルホルダ１６２をＲ軸線ＲＬ回りに回転させる構成としても良い。

【0031】

一方、角度調整は必要でないと判断すると（Ｓ３：ＮＯ）、装着ヘッド２４の吸着ノズル１７３に対して、基準位置にあるピックアップヘッド１０５の吸着ノズル１６３の位置が既に合っているため、ＣＰＵ２０１はステップＳ５をスキップし、ステップＳ７へ進む。ステップＳ７では、ＣＰＵ２０１は、ピックアップヘッド１０５を反転させ、装着ヘッド２４に１２個のダイ９２を一括で受け渡させる（Ｓ７）。次に、ＣＰＵ２０１はピックアップヘッド１０５を次のピックアップに備えて反転させ、ピックアップヘッド１０５が基準位置であるか否かを判断する（Ｓ９）。ＣＰＵ２０１は、ステップＳ５を実行していない場合には基準位置であると判断し、ステップＳ５を実行した場合には基準位置でないと判断する。ピックアップヘッド１０５が基準位置でないと判断すると（Ｓ９：ＮＯ）、ＣＰＵ２０１は、ノズルホルダ１６２をＲ軸線ＲＬおよびＱ軸線ＱＬ回りに回転させ、ピックアップヘッド１０５を基準位置に戻し（Ｓ１１）、ステップＳ１３へ進む。一方、ピックアップヘッド１０５が基準位置であると判断すると（Ｓ９：ＹＥＳ）、ＣＰＵ２０１は、ステップＳ１１をスキップし、ステップＳ１３へ進む。

【0032】

ステップＳ１３では、ＣＰＵ２０１は、装着ヘッド２４にフラックス塗布作業を実施させ、基板へのダイ９２装着作業を実施させる（Ｓ１３）。次に、予め計画された数量の装着作業が終了したか否かを判断する（Ｓ１５）。装着作業が終了したと判断すると（Ｓ１５：ＹＥＳ）、ＣＰＵ２０１は装着作業処理を終了する。一方、装着作業が終了していないと判断すると（Ｓ１５：ＮＯ）、ＣＰＵ２０１はステップＳ１へ戻り、装着作業が終了したと判断するまで、以降の処理を繰り返し実行する。

【0033】

尚、上記では、Ｄ２＝Ｄ１−ＯＳ×２の関係にあり、回転角度θｑが１８０°である場合を説明したが、これに限定されない。ピックアップヘッド１０５の吸着ノズル１６３のノズル円周ＮＣの直径は（Ｄ１−ＯＳ×２）以上、（Ｄ１＋ＯＳ×２）以下の範囲で可変であり、装着ヘッド２４の吸着ノズル１７３の円周ＣＦ２の直径Ｄ２がこの範囲にあれば、回転角度θｑにより、直径Ｄ２にノズル円周ＮＣの直径を一致させることができる。また、ノズルホルダ１６２，１７２の数は上記に限定されない。ノズルホルダ１６２の数と１７２の数との最大公約数が２以上の自然数である場合に、少なくとも２つのノズルホルダ１６２，１７２の位置が重なるため、複数のダイ９２を一括して受け渡すことができる。

【0034】

ここで、電子部品装着機１０は対基板作業機の一例であり、ピックアップヘッド１０５は第１ヘッドおよび第１ロータリヘッドの一例であり、装着ヘッド２４は第２ヘッドおよび第２ロータリヘッドの一例である。また、Ｑ軸モータ１５２、Ｑ軸ギヤ１５４、ホルダギヤ１６４、およびノズルホルダ１６２は、調整機構の一例である。また、ＣＰＵ２０１は制御部の一例であり、装着作業処理のステップＳ７は第１処理の一例であり、ステップＳ５は第２処理の一例である。

【0035】

以上、説明した実施形態によれば、以下の効果を奏する。
ピックアップヘッド１０５は、ノズルホルダ１６２のＱ軸線ＱＬから偏心する位置に吸着ノズル１６３を有し、ノズルホルダ１６２のＱ軸線ＱＬ回りの回転により、吸着ノズル１６３間の相対位置が調整される。これにより、ピックアップヘッド１０５と装着ヘッド２４とで、吸着ノズル１６３，１７３の位置が互いに異なる場合であっても、調整機能により位置が一致するように調整することができるため、複数のダイ９２を一括で受け渡すことができる。

【0036】

また、ＣＰＵ２０１は、装着ヘッド２４にダイ９２を受け渡させる（Ｓ７）前に、ピックアップヘッド１０５に吸着ノズル１６３を回転させる（Ｓ５）。これにより、電子部品装着機１０は、人の手を介さずに、一括で複数のダイ９２を一括で受け渡すことができる。

【0037】

また、ピックアップヘッド１０５は、Ｑ軸モータ１５２の駆動により、吸着ノズル１６３の各々の位置の移動量を等しく一括で変更可能である。これのより、複数の吸着ノズル１６３間の相対位置の調整を容易に行うことができる。

【0038】

尚、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内での種々の改良、変更が可能であることは言うまでもない。
例えば、上記では、ピックアップヘッド１０５が吸着ノズル１６３をＱ軸線ＱＬから偏心した位置に備え、吸着ノズル１６３をＱ軸線ＱＬ回りに回転させることで、複数の吸着ノズル１６３間の相対位置を調整可能である構成について説明した。これに限定されず、装着ヘッド２４も同様の構成で、複数の吸着ノズル１７３間の相対位置が調整可能である構成としても良い。この構成の場合には、ダイ９２の受け渡しの際に、ピックアップヘッド１０５のノズルホルダ１６２および装着ヘッド２４のノズルホルダ１７２のどちらもＱ軸線ＱＬ回りに回転させる構成としても良いし、何れか一方だけをＱ軸線ＱＬ回りに回転させる構成としても良い。

【0039】

また、上記では、ステップＳ５において、ＣＰＵ２０１はピックアップヘッド１０５にホルダ支持部１６１およびノズルホルダ１６２をＲ軸線ＲＬ回りに角度（３６０°−θｑ）だけ回転させると説明したが、これに限定されない。ピックアップヘッド１０５ではなく、装着ヘッド２４をＲ軸線ＲＬ回りに回転させることにより、吸着ノズル１６３と吸着ノズル１７３との位置を合わせる構成としても良い。

【0040】

また、上記では、ピックアップヘッド１０５および装着ヘッド２４はロータリヘッドであると説明したが、これに限定されない。ピックアップヘッド１０５および装着ヘッド２４の少なくとも何れか一方が、Ｒ軸線ＲＬ回りの各吸着ノズルの回転が不可能である構成であっても良い。何れか一方がＲ軸線ＲＬ回りの回転が可能であれば、吸着ノズル１６３と吸着ノズル１７３との位置合わせをＲ軸線ＲＬ回りの回転により行うことが可能である。また、ピックアップヘッド１０５および装着ヘッド２４の何れもＲ軸線ＲＬ回りの回転が不可能である場合であっても、回転角度θｑが１８０°である場合には、Ｒ軸線ＲＬ回りの回転が行われなくても、ダイ９２の一括受け渡しが可能である。

【0041】

また、上記では、ＣＰＵ２０１は、装着ヘッド２４を交換すると、都度、装着ヘッド２４の直径Ｄ２とピックアップヘッド１０５の吸着ノズル１７３が基準位置にある場合のノズル円周ＮＣの直径とが同じであるか否かを判断し、適宜、回転角度θｑおよび角度θｒを算出すると説明したが、これに限定されない。例えば、予め記憶部２０４が、装着ヘッド２４のヘッド種ＩＤに対応付けられた回転角度θｑおよび角度θｒの情報を記憶している構成としても良い。

【0042】

また、上記では、調整機構の一例として、吸着ノズル１６３がＱ軸線ＱＬ回りに回転されることで、複数の吸着ノズル１６３間の相対位置が調整される場合を説明したが、これに限定されない。例えば、吸着ノズル１６３の各々が、ノズルホルダ１６２が配置される円の径方向に移動可能な構成とし、吸着ノズル１６３の各々が該径方向に移動することにより、吸着ノズル１６３間の相対位置が調整される構成としても良い。この構成の場合、例えば、傘のように、Ｒ軸に設けられた固定点と各ノズルホルダとを結ぶ骨部材に、各ノズルホルダを回動可能に取り付け、全ての骨構造を一括に広げることで、全てのノズルホルダの相対位置を一括で調整する構成とすると良い。

【0043】

また、上記では、ノズルホルダが円周上に配置されたヘッドについて説明したが、これに限定されない。円周上にない、例えば、複数のノズルホルダがＸ方向に並ぶヘッド、ノズルホルダがＸ方向およびＹ方向にマトリクス状に並ぶヘッドにも適用することができる。この複数のノズルホルダが円周上にない構成の場合には、Ｘ方向およびＹ方向の少なくとも何れか一方方向にノズルホルダが可動である構成とし、ノズルホルダ間の間隔を調整する調整機構を備える構成とすれば良い。調整機構としては、例えばボールねじなどがある。

【符号の説明】

【0044】

１０ 電子部品装着機
２４ 装着ヘッド
１０５ ピックアップヘッド
１５２ Ｑ軸モータ
１５４ Ｑ軸ギヤ
１６２ ノズルホルダ
１６４ ホルダギヤ
２０１ ＣＰＵ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】