特許 6873071 環境形成装置、環境形成ユニット及び熱処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6873071

(24)【登録日】2021年4月22日

(45)【発行日】2021年5月19日

(54)【発明の名称】環境形成装置、環境形成ユニット及び熱処理装置

(51)【国際特許分類】

   F27D 7/02 20060101AFI20210510BHJP

   F27B 17/00 20060101ALI20210510BHJP

   F27D 7/04 20060101ALI20210510BHJP

   F27D 5/00 20060101ALI20210510BHJP

   F24F 5/00 20060101ALI20210510BHJP

   G01N 17/00 20060101ALN20210510BHJP

   H01L 21/324 20060101ALN20210510BHJP

【ＦＩ】

   F27D7/02 A

   F27B17/00 B

   F27D7/04

   F27D5/00

   F24F5/00 Z

   !G01N17/00

   !H01L21/324 R

【請求項の数】9

【全頁数】16

(21)【出願番号】特願2018-39684(P2018-39684)

(22)【出願日】2018年3月6日

(65)【公開番号】特開2019-152407(P2019-152407A)

(43)【公開日】2019年9月12日

【審査請求日】2020年2月20日

(73)【特許権者】

【識別番号】000108797

【氏名又は名称】エスペック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100100480

【弁理士】

【氏名又は名称】藤田 隆

(72)【発明者】

【氏名】斉藤 哲也

(72)【発明者】

【氏名】桑田 研治

(72)【発明者】

【氏名】迫中 和広

【審査官】 瀧澤 佳世

(56)【参考文献】

【文献】 特表２００３−５１９７７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−２８６３７２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−０９７９６９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−２１６７５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平１１−１２５４９０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−２０７９５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−２２８１４５（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ２７Ｄ ７／０２

Ｆ２４Ｆ ５／００

Ｆ２７Ｂ １７／００

Ｆ２７Ｄ ５／００

Ｆ２７Ｄ ７／０４

Ｇ０１Ｎ １７／００

Ｈ０１Ｌ ２１／３２４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

物品が設置される配置空間を有し、当該配置空間に温度調節された空気を導入する空気吹き出し口が開口している環境形成装置において、
前記空気吹き出し口が複数設けられ、
前記空気吹き出し口の少なくとも１つは、他の少なくとも１つの空気吹き出し口が設けられている壁面と異なる壁面であって、且つ、前記他の少なくとも１つの空気吹き出し口が設置された高さと異なる高さに設けられており、
空調機器が内蔵された空調部を有し、前記空調部を通過した空気が前記空気吹き出し口から前記配置空間に導入されるものであり、
前記配置空間には前記空調部と連通して前記配置空間内の空気を前記空調部に戻す空気吸い込み口があり、
前記空気吹き出し口と前記空気吸い込み口の一方は前記配置空間の中心高さよりも上に開口し、他方は前記配置空間の中心高さよりも下に開口していることを特徴とする環境形成装置。

【請求項2】

前記空気吹き出し口には、略対角の位置関係にあるものがあることを特徴とする請求項１に記載の環境形成装置。

【請求項3】

前記配置空間は、一部又は全部が扉によって構成される前壁と前記前壁に対向する奥壁と、天面壁と、底面壁と、左右の側壁を有し、
前記左右の側壁は対向する位置関係にあり、前記空気吹き出し口は、前記左右の側壁にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の環境形成装置。

【請求項4】

空調機器が内蔵された空調部を複数有し、各空調部に対応して前記空気吹き出し口があり、各空調部を通過した空気が対応する前記空気吹き出し口から前記配置空間に導入されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の環境形成装置。

【請求項5】

前記空調部のいずれかは他の前記空調部から独立していることを特徴とする請求項４に記載の環境形成装置。

【請求項6】

送風機を複数台有し、当該送風機によって前記空気吹き出し口から空気を吹き出すことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の環境形成装置。

【請求項7】

複数台のユニット化部品を構成部材に含み、前記ユニット化部品には、前記配置空間の一部を構成する空間形成部を備えた環境形成ユニットが複数台含まれ、前記環境形成ユニットが複数台結合されて前記配置空間の一部又は全部が形成されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の環境形成装置。

【請求項8】

他の部材と組み合わされて環境形成装置を構成する環境形成ユニットであって、
複数の壁面で囲まれた空間形成部と、
温度及び／又は湿度が調整された空気を前記空間形成部に導入する複数の空気吹き出し口を有し、
前記空気吹き出し口の少なくとも１つは、他の少なくとも１つの空気吹き出し口が設けられている壁面と異なる壁面であって、且つ、前記他の少なくとも１つの空気吹き出し口が設置された高さと異なる高さに設けられており、
空調機器が内蔵された空調部を有し、前記空調部を通過した空気が前記空気吹き出し口から前記空間形成部に導入されるものであり、
前記空間形成部には前記空調部と連通して前記空間形成部内の空気を前記空調部に戻す空気吸い込み口があり、
前記空気吹き出し口と前記空気吸い込み口の一方は前記空間形成部の中心高さよりも上に開口し、他方は前記空間形成部の中心高さよりも下に開口していることを特徴とする環境形成ユニット。

【請求項9】

被処理物が設置される処理空間を有し、当該処理空間に温度調節された空気を導入する空気吹き出し口が開口している熱処理装置において、
前記処理空間は複数の壁面で覆われており、前記空気吹き出し口を複数有し、
前記空気吹き出し口の少なくとも１つは、他の少なくとも１つの空気吹き出し口が設けられている壁面と異なる壁面であって、且つ、前記他の少なくとも１つの空気吹き出し口が設置された高さと異なる高さに設けられており、
空調機器が内蔵された空調部を有し、前記空調部を通過した空気が前記空気吹き出し口から前記処理空間に導入されるものであり、
前記処理空間には前記空調部と連通して前記処理空間内の空気を前記空調部に戻す空気吸い込み口があり、
前記空気吹き出し口と前記空気吸い込み口の一方は前記処理空間の中心高さよりも上に開口し、他方は前記処理空間の中心高さよりも下に開口していることを特徴とする熱処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、被処理物を熱風等によって熱処理する熱処理装置に関するものである。また本発明は、環境試験装置の様に、内部に所望の環境を形成する環境形成装置及び環境形成装置を構成するユニットに関するものである。

【背景技術】

【0002】

ガラス基板等を熱処理する熱処理装置が、特許文献１、２に開示されている。特許文献１に開示された熱処理装置は、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ：Liquid Crystal Display）やプラズマディスプレイ（ＰＤＰ：Plasma Display Panel）、有機ＥＬディスプレイ等のようなフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ：Flat Panel Display）の製作に使用される。
特許文献１に開示された熱処理装置は、内部に処理空間を一つだけ有し、当該処理空間に熱風を供給して被処理物を熱処理する。
特許文献１に開示された熱処理装置では、処理空間を囲む６面の内、右側面側に空気吹き出し口があり、当該右側面側からのみ処理空間に熱風が供給される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１０−１３３６６６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に開示された熱処理装置は、ガラス基板の様な平板状のものを被処理物としている。特許文献１に開示された熱処理装置では、平板状の熱処理物が処理空間に水平姿勢で設置され、空気吹き出し口から処理空間に熱風が供給されて被処理物が加熱される。

【0005】

しかしながら特許文献１に開示された熱処理装置は、処理空間に対して、一方からのみ熱風が供給されるので、処理空間内に温度ばらつきが生じる場合があった。

【0006】

本発明は従来技術の上記の点に注目し、処理空間内の温度ばらつきが少ない熱処理装置及び環境形成装置を提供することを課題とするものである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記した課題を解決するための態様は、物品が設置される一又は複数の配置空間を有し、当該配置空間に温度調節された空気を導入する空気吹き出し口が開口している環境形成装置において、同一の前記配置空間に空気を導入する前記空気吹き出し口が複数箇所に設けられ、前記空気吹き出し口には異なる壁面にあって且つ設置された高さが異なるものが含まれていることを特徴とする環境形成装置である。
上記した課題を解決するための具体的態様は、物品が設置される配置空間を有し、当該配置空間に温度調節された空気を導入する空気吹き出し口が開口している環境形成装置において、前記空気吹き出し口が複数設けられ、前記空気吹き出し口の少なくとも１つは、他の少なくとも１つの空気吹き出し口が設けられている壁面と異なる壁面であって、且つ、前記他の少なくとも１つの空気吹き出し口が設置された高さと異なる高さに設けられており、空調機器が内蔵された空調部を有し、前記空調部を通過した空気が前記空気吹き出し口から前記配置空間に導入されるものであり、前記配置空間には前記空調部と連通して前記配置空間内の空気を前記空調部に戻す空気吸い込み口があり、前記空気吹き出し口と前記空気吸い込み口の一方は前記配置空間の中心高さよりも上に開口し、他方は前記配置空間の中心高さよりも下に開口していることを特徴とする環境形成装置である。

【0008】

本態様の環境形成装置は、配置空間内の温度ばらつきが小さく被処理物の温度を均等に保持することができる。

【0009】

前記複数の空気吹き出し口のいずれかは略対角の位置関係にあることが望ましい。
即ち、前記空気吹き出し口には、略対角の位置関係にあるものがあることが望ましい。

【0010】

上記した各態様において、前記配置空間は、一部又は全部が扉によって構成される前壁と前記前壁に対向する奥壁と、天面壁と、底面壁と、左右の側壁を有し、前記左右の側壁は対向する位置関係にあり、前記空気吹き出し口は、前記左右の側壁にそれぞれ設けられていることが望ましい。

【0011】

上記した各態様において、空調機器が内蔵された空調部を有し、前記空調部を通過した空気が前記空気吹き出し口から前記配置空間に導入されるものであり、前記配置空間には前記空調部と連通して前記配置空間内の空気を前記空調部に戻す空気吸い込み口があり、前記空気吹き出し口と前記空気吸い込み口の一方は前記配置空間の中心高さよりも上に開口し、他方は前記配置空間の中心高さよりも下に開口していることが望ましい。

【0012】

上記した各態様において、空調機器が内蔵された空調部を複数有し、各空調部に対応して前記空気吹き出し口があり、各空調部を通過した空気が対応する前記空気吹き出し口から前記配置空間に導入されることが望ましい。

【0013】

上記した各態様において、空調機器が内蔵された空調部を複数有し、前記空調部のいずれかは他の前記空調部から独立していることが望ましい。

【0014】

上記した各態様において、送風機を複数台有し、当該送風機によって前記空気吹き出し口から空気を吹き出すことが望ましい。

【0015】

上記した各態様において、複数台のユニット化部品を構成部材に含み、前記ユニット化部品には、前記配置空間の一部を構成する空間形成部を備えた環境形成ユニットが複数台含まれ、前記環境形成ユニットが複数台結合されて前記配置空間の一部又は全部が形成されていることが望ましい。

【0016】

同様の課題を解決するもう一つの態様は、他の部材と組み合わされて環境形成装置を構成する環境形成ユニットであって、複数の壁面で囲まれた空間形成部を有し、温度及び／又は湿度が調整された空気を導入する空気吹き出し口が複数箇所に設けられ、前記空気吹き出し口には異なる前記壁面にあって且つ設置された高さが異なるものが含まれていることを特徴とする環境形成ユニットである。
上記した課題を解決するための具体的態様は、他の部材と組み合わされて環境形成装置を構成する環境形成ユニットであって、複数の壁面で囲まれた空間形成部と、温度及び／又は湿度が調整された空気を前記空間形成部に導入する複数の空気吹き出し口を有し、前記空気吹き出し口の少なくとも１つは、他の少なくとも１つの空気吹き出し口が設けられている壁面と異なる壁面であって、且つ、前記他の少なくとも１つの空気吹き出し口が設置された高さと異なる高さに設けられており、空調機器が内蔵された空調部を有し、前記空調部を通過した空気が前記空気吹き出し口から前記空間形成部に導入されるものであり、前記空間形成部には前記空調部と連通して前記空間形成部内の空気を前記空調部に戻す空気吸い込み口があり、前記空気吹き出し口と前記空気吸い込み口の一方は前記空間形成部の中心高さよりも上に開口し、他方は前記空間形成部の中心高さよりも下に開口していることを特徴とする環境形成ユニットである。

【0017】

熱処理装置に関する態様は、被処理物が設置される処理空間を有し、当該処理空間に温度調節された空気を導入する空気吹き出し口が開口している熱処理装置において、前記処理空間は複数の壁面で覆われており、前記空気吹き出し口を複数有し、前記空気吹き出し口には異なる壁面にあって且つ設置された高さが異なるものが含まれていることを特徴とする。
熱処理装置に関するもう一つの態様は、被処理物が設置される処理空間を有し、当該処理空間に温度調節された空気を導入する空気吹き出し口が開口している熱処理装置において、前記処理空間は複数の壁面で覆われており、前記空気吹き出し口を複数有し、前記空気吹き出し口の少なくとも１つは、他の少なくとも１つの空気吹き出し口が設けられている壁面と異なる壁面であって、且つ、前記他の少なくとも１つの空気吹き出し口が設置された高さと異なる高さに設けられており、空調機器が内蔵された空調部を有し、前記空調部を通過した空気が前記空気吹き出し口から前記処理空間に導入されるものであり、前記処理空間には前記空調部と連通して前記処理空間内の空気を前記空調部に戻す空気吸い込み口があり、前記空気吹き出し口と前記空気吸い込み口の一方は前記処理空間の中心高さよりも上に開口し、他方は前記処理空間の中心高さよりも下に開口していることを特徴とする熱処理装置である。

【発明の効果】

【0018】

本発明の熱処理装置は、処理空間内の温度ばらつきが少なく、被処理物を均一に熱処理することができるという効果がある。
また本発明の環境形成装置は、配置空間内の温度ばらつきが少ないという効果がある。
本発明の環境形成ユニットは、環境形成装置を製造するのに際して部品の互換性が高いという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【0019】

【図1】本発明の実施形態の熱処理装置（環境形成装置）の斜視図である。

【図2】図１に示す熱処理装置のＡ−Ａ断面図である。

【図3】（ａ）は図１に示す熱処理装置のＢ−Ｂ断面図であり、（ｂ）は図１に示す熱処理装置のＣ−Ｃ断面図である。

【図4】図１に示す熱処理装置のＢ−Ｂ断面斜視図である。

【図5】図１に示す熱処理装置のＣ−Ｃ断面斜視図である。

【図6】図１に示す熱処理装置を熱処理モジュールに分割した状態を示す分解斜視図である。

【図7】図６に示す熱処理モジュールを左右の空調ユニットと、中央の処理室ユニットに分割した状態を示す分解斜視図である。

【図8】（ａ）は図７に示す左空調ユニットの正面図であり、（ｂ）はその側面断面図である。

【図9】（ａ）は図７に示す右空調ユニットの正面図であり、（ｂ）はその側面断面図である。

【図10】（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明の他の実施形態の熱処理装置の断面図であり、空気吹き出し口及び空気吸い込み口のレイアウトの変形例を示す。

【図11】本発明のさらに他の実施形態の熱処理装置の断面図であり、空気吹き出し口及び空気吸い込み口のレイアウトの変形例を示す。

【図12】本発明のさらに他の実施形態の熱処理装置の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0020】

以下さらに本発明の実施形態について説明する。
本実施形態の熱処理装置（環境形成装置）１は、後記する様に５組の熱処理モジュール６ａ乃至６ｅと、扉モジュール８及び奥壁部材３によって構成されている。
さらに前記した熱処理モジュール（環境形成ユニット）６は、図７の様に一つの処理室ユニット１０と、左空調ユニット１２及び右空調ユニット１３が組み合わされたものである。
図１は、各ユニット１０、１２、１３が組み合わされ、さらに熱処理モジュール６に扉モジュール８及び奥壁部材３が組み合わされて完成した状態の熱処理装置１を示している。

【0021】

熱処理装置１の概観形状は、図１の様に平面形状に比べて高さが低い直方体である。
熱処理装置１の内部構造は、図２乃至図５の通りである。
熱処理装置１は、図２の様に全体が断熱壁２０で覆われている。熱処理装置１には図２、図３の様に、中央に加熱室１５があり、その左右両側に空調部１６、１７がある。なお加熱室１５は、被処理物が設置される処理空間であり、物品が載置される配置空間とも言える。
加熱室（処理空間、配置空間）１５は、図３、図４、図５の様に一部が扉２３によって構成される前壁２１と、これに対向する奥壁２２と、図２に示される天面壁２５と、底面壁２６と、左右の側壁２７、２８によって囲まれた空間である。

【0022】

本実施形態では、加熱室（処理空間、配置空間）１５の左右両側に空調部１６、１７があり、加熱室１５の左右の側壁２７、２８が空調部１６、１７と加熱室１５との境界壁となっている。
側壁２７、２８には、空気吹き出し口３０Ｌ、３０Ｒと空気吸い込み口３１Ｌ、３１Ｒが開口し、加熱室１５と各空調部１６、１７の間が当該空気吹き出し口３０Ｌ、３０Ｒと空気吸い込み口３１Ｌ、３１Ｒで連通している。

【0023】

空調部１６、１７内には、図２の様に空気吹き出し口３０Ｌ、３０Ｒ及び空気吸い込み口３１Ｌ、３１Ｒを介して加熱室１５と環状に連通する空調通風路３３がある。空調通風路３３内には空調機器３５と送風機３６が配されている。空調機器３５は、具体的には加熱装置４０と冷却装置４１である。
加熱装置４０は、電気ヒータである。冷却装置４１は冷却用の熱交換器であり、内部に常温水を通過させるものである。

【0024】

本実施形態の熱処理装置１では、前記した様に加熱室１５の左右両側に空調部１６、１７がある。しかしながら、左右の空調部１６、１７が内蔵する機器（送風機３６、加熱装置４０及び冷却装置４１）自体は同じものであるが、左側の空調部１６と右側の空調部１７では、これらの内蔵機器の配置位置と、空気吹き出し口３０及び空気吸い込み口３１の位置が天地逆となっている。

【0025】

即ち左側の空調部１６では、図３（ｂ）、図５の様に下部に多数の空気吸い込み口３１Ｌがあり、上部に多数の空気吹き出し口３０Ｌが開口している。
空気吸い込み口３１Ｌと空気吹き出し口３０Ｌの間はいずれも空調通風路３３で繋がっており、空気吸い込み口３１Ｌ側から、冷却装置４１、加熱装置４０、送風機３６の順に配置されている。そして図２の様に、送風機３６の吐出側に温度センサー４３が設けられている。

【0026】

左側の空調部１６では下部側の空気吸い込み口３１Ｌから加熱室１５内の空気が吸い込まれ、冷却装置４１、加熱装置４０を順に通過して送風機３６に至り、上部に開口する空気吹き出し口３０Ｌから加熱室１５内に温調された空気が吹き込まれる。

【0027】

これに対して右側の空調部１７では、図３（ａ）、図４の様に上部に多数の空気吸い込み口３１Ｒがあり、下部に多数の空気吹き出し口３０Ｒがある。
図２の様に空気吸い込み口３１Ｒと空気吹き出し口３０Ｒの間はいずれも空調通風路３３で繋がっており、空気吸い込み口３１Ｒ側から、冷却装置４１、加熱装置４０、送風機３６の順に配置されている。そして送風機３６の吐出側に温度センサー４３が設けられている。
右側の空調部１７では上部側の空気吸い込み口３１Ｒから加熱室１５内の空気が吸い込まれ、冷却装置４１、加熱装置４０を順に通過して送風機３６に至り、下部に開口する空気吹き出し口３０Ｒから加熱室１５内に温調された空気が吹き込まれる。

【0028】

本実施形態では、左側の空調部１６は、空気吹き出し口３０Ｌと空気吸い込み口３１Ｌの高さが異なっており、空気吹き出し口３０Ｌが上にあり、空気吸い込み口３１Ｌが下にある。
また右側の空調部１７では、空気吹き出し口３０Ｒと空気吸い込み口３１Ｒの高さが、左側の空調部１６に対して位置関係が天地逆であり、空気吹き出し口３０Ｒが下にあり、空気吸い込み口３１Ｒが上にある。
左側の空調部１６では、加熱室１５の中心よりも下側に空気吸い込み口３１Ｌがあり、中心よりも上側に空気吹き出し口３０Ｌがある。右側の空調部１７では、逆に加熱室１５の中心よりも上側に空気吸い込み口３１Ｒがあり、中心よりも下側に空気吹き出し口３０Ｒがある。

【0029】

本実施形態では、加熱室１５の左側の側壁２７の上部に空気吹き出し口３０Ｌがあり、対向する右側の側壁２８では下部に空気吹き出し口３０Ｒがあるので、各熱処理モジュール６ａ乃至６ｅにおいて、空気吹き出し口３０Ｌ、３０Ｒは略対角の位置関係にあると言える。
また本実施形態では、加熱室１５の左側の側壁２７の下部に空気吸い込み口３１Ｌがあり、対向する右側の側壁２８では上部に空気吸い込み口３１Ｒがあるので、空気吸い込み口３１Ｌ、３１Ｒについても各熱処理モジュール６ａ乃至６ｅにおいて、略対角の位置関係にある。
本実施形態では、各熱処理モジュール６ａ乃至６ｅにおいて、左右の空気吹き出し口３０Ｌ、３０Ｒを結ぶ直線と、左右の空気吸い込み口３１Ｌ、３１Ｒを結ぶ直線は交差し、左右の空気吹き出し口３０Ｌ、３０Ｒと、左右の空気吸い込み口３１Ｌ、３１Ｒはたすき掛けの位置関係となる。

【0030】

仮に図２の様に、加熱室１５に平板状の被処理物５０が略水平姿勢で配置されたと仮定すると、内部の空気の流れは、図２の矢印の様になる。
被処理物５０の下部では、右側の空調部１７の下部に設けられた空気吹き出し口３０Ｒから加熱室１５内に温調された空気が吹き込まれ、被処理物５０の下部を流れる。送風の一部は、被処理物５０の下面と衝突し、被処理物５０の下部を加熱する。
被処理物５０の下部を流れる空気は、左側の空調部１６の下部側に設けられた空気吸い込み口３１Ｌから空調部１６内に吸い込まれ、空調機器３５で温度調節されて上部に開口する空気吹き出し口３０Ｌから加熱室１５内に吹き込まれる。

【0031】

左側の空調部１６によって上部の空気吹き出し口３０Ｌから加熱室１５内に吹き込まれた空気は、被処理物５０の上部を流れる。送風の一部は、被処理物５０の上面と衝突し、被処理物５０の上部を加熱する。
被処理物５０の上部を流れる空気は、右側の空調部１７の上部側に設けられた空気吸い込み口３１Ｒから空調部１７内に吸い込まれ、空調機器３５で温度調節されて下部に開口する空気吹き出し口３０Ｒから加熱室１５内に吹き込まれる。

【0032】

この様に被処理物５０は、上面側と下面側がそれぞれ温度調節された空気にさらされるので、被処理物５０の各部は均等に加熱され、被処理物５０の各部の温度分布は、均一的である。また本実施形態の熱処理装置１では、被処理物５０の上面と下面で熱風の吹きつける方向が対向方向となるので、被処理物５０を効率良く加熱することができる。
理解を容易にするために、被処理物５０として平板状の物を例示し、被処理物５０を境としてその上下の風の流れを説明したが、被処理物５０の形状がどの様な形状であっても、あるいは加熱室１５内に被処理物５０が無くても、内部の風の流れは前記した説明と略同様のものとなる。

【0033】

本実施形態では、空調部１６、１７が左右に分かれているだけでなく、長手方向にも複数に分割されており、それぞれ独立している。
具体的には、左側の空調部１６は、図３（ｂ）、図５の様に、左第１空調部１６ａから左第５空調部１６ｅの５分割構成となっており、それぞれ独立している。
同様に、右側の空調部１７は、図３（ａ）、図４の様に、右第１空調部１７ａから右第５空調部１７ｅの５分割構成となっており、それぞれ独立している。
即ち、左側に配された空調部１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ、１６ｅ及び右側に配された空調部１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄ、１７ｅの合計１０個は、いずれも独立した温度調節装置であって個別に温度設定可能であり、空気吹き出し口３０Ｌ、３０Ｒから吐出される空気の温度が設定温度に合致する様に内部の空調機器３５が制御される。空調部１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ、１６ｅ、１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄ、１７ｅはいずれも個別に制御装置を持ち、それぞれの制御装置によってそれぞれの空調機器３５が制御される。

【0034】

なお、実際に使用される場合には、多くの場合、全ての空調部１６、１７の設定温度は同一に設定される。
一般に大面積の被処理物を加熱する場合、温度が上がり難い部位や上がり過ぎる部位ができてしまう。
本実施形態の熱処理装置１を使用して大面積の被処理物を加熱する場合においても、温度が上がり難い部位や上がり過ぎる部位が生じるが、本実施形態では、被処理物５０の辺に沿って複数の空調部１６ａ乃至１６ｅ、１７ａ乃至１７ｅに分かれており、各空調部１６、１７は独立して温度調節するから、温度が上がり難い部位の近傍の空調部１６、１７は、加熱装置４０の出力が増大されて当該部位を強く加熱する。また温度が上がり過ぎる部位の近傍の空調部１６、１７は、加熱装置４０の出力が低下されて昇温が抑えられる。
そのため被処理物５０の各部はより均等に加熱され、被処理物５０の各部の温度分布は、より均一となる。

【0035】

次に熱処理装置１を構成する熱処理モジュール（環境形成ユニット）６、扉モジュール８及び奥壁部材３について説明する。また熱処理モジュール６を構成する処理室ユニット１０、左空調ユニット１２及び右空調ユニット１３について説明する。

【0036】

本実施形態の熱処理装置１は、５組の熱処理モジュール６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ、６ｅが組み合わされて本体部が構成されている。なお熱処理モジュール６自体が一つのユニット化部品であり、熱処理モジュール６は、環境形成ユニットとしても機能する。
組み合わされた状態の熱処理モジュール６ａ乃至６ｅの前端部に、扉モジュール８が接続されている。扉モジュール８は、扉２３と、扉を昇降させる昇降手段（図示せず）が一体化されたものである。
また組み合わされた状態の熱処理モジュール６ａ乃至６ｅの後端には、奥壁部材３が設けられている。奥壁部材３は断熱壁である。

【0037】

熱処理モジュール６は、前記した様に、処理室ユニット１０と、左空調ユニット１２及び右空調ユニット１３によって構成されている。
左空調ユニット１２は、図８の様に一面が開口した断熱箱５１を有している。断熱箱５１の開口面には、前記した側壁２７を構成する側壁構成板５２が取り付けられている。前記した様に、側壁構成板５２（側壁２７）の上部には空気吹き出し口３０Ｌがあり、下部には空気吸い込み口３１Ｌが設けられている。

【0038】

空気吸い込み口３１Ｌと空気吹き出し口３０Ｌの間は、空調通風路３３で繋がっている。本実施形態では、左空調ユニット１２には、空調通風路３３にそれぞれ２台ずつ送風機３６ａ、３６ｂが内蔵されている。２台の送風機は、図８の様に並列的に配置されている。
左空調ユニット１２では、下部に設けられた空気吸い込み口３１Ｌ側から順に、冷却装置４１、加熱装置４０、送風機３６ａ、３６ｂが配置されている。そして送風機３６ａ、３６ｂの吐出側に温度センサー４３が設けられている。

【0039】

右空調ユニット１３は、前記した左空調ユニット１２に対して、空調機器３５、送風機３６ａ、３６ｂ、空気吹き出し口３０Ｒ及び空気吸い込み口３１Ｒの位置が天地逆となっている。

【0040】

即ち右空調ユニット１３も、図９の様に断熱箱５１を有し、断熱箱５１の開口面に側壁２８を構成する側壁構成板５３が取り付けられている。前記した様に、側壁構成板５３（側壁２８）の下部には空気吹き出し口３０Ｒがあり、上部には空気吸い込み口３１Ｒが設けられている。
空気吸い込み口３１Ｒと、空気吹き出し口３０Ｒの間は空調通風路３３で繋がっている。右空調ユニット１３においても、上部に設けられた空気吸い込み口３１Ｒ側から順に、冷却装置４１、加熱装置４０、送風機３６ａ、３６ｂが配置されている。そして送風機３６の吐出側に温度センサー４３が設けられている。

【0041】

処理室ユニット１０は、図７の様な枠状であり、天面６１と、底面６８に断熱壁が設けられている。処理室ユニット１０の内部は空洞であり、図７のＸ方向にもＹ方向にも連通している。
即ち処理室ユニット１０は、正面側開口６０と、裏面側開口６２がある。また側面にも側面側開口６３、６５がある。
熱処理モジュール６は、処理室ユニット１０の側面に、左空調ユニット１２と右空調ユニット１３を取り付けたものである。

【0042】

熱処理モジュール６を一つの環境形成ユニットとして見ると、その中央部に加熱室１５の一部を構成する空間形成部４５を備えている。
空間形成部４５は、処理室ユニット１０の天面６１と、底面６８、及び左空調ユニット１２の側壁構成板５２と、右空調ユニット１３の側壁構成板５３によって囲まれた部分である。

【0043】

５組の熱処理モジュール６ａ、６ｂ、６ｃ、６ｄ、６ｅが組み合わされて本体部が構成され、さらに扉モジュール８及び奥壁部材３が取り付けられて熱処理装置１が作られている。

【0044】

本実施形態の熱処理装置１は、複数の送風機３６ａ、３６ｂを備えている。より具体的には、一系統の空調通風路３３に送風機３６が２台ずつ搭載されている。熱処理装置１は、全体として空調通風路３３を１０系統有しているので、熱処理装置１には合計２０台の送風機３６が搭載されている。
そのため熱処理装置１を稼働した状態で、送風機３６を取り替えることができ、送風機３６の修理等を行い易い。

【0045】

以上説明した実施形態では、空気吹き出し口３０と空気吸い込み口３１をいずれも加熱室１５の左右の側壁２７、２８に設けた。このレイアウトは、空調部１６、１７をユニット化し易い点で推奨されるが、本発明はこの構成に限定されるものではない。
例えば図１０（ａ）の様に、空気吹き出し口３０と空気吸い込み口３１を加熱室１５の天面壁２５と底面壁２６に設けてもよい。また図１０（ｂ）の様に、空気吹き出し口３０と空気吸い込み口３１を加熱室１５の角の部分に設けてもよい。さらに図１０（ｃ）の様に、一方の空気吹き出し口３０と空気吸い込み口３１を加熱室１５の側壁２７に設け、他方を他の部位に設けてもよい。
空気吹き出し口３０と空気吸い込み口３１をいずれの部位に取り付けるかは任意である。

【0046】

また図１１の様に、広い範囲から加熱室１５に空気を吹き出してもよい。
図１１に示す熱処理装置７０では、加熱室１５の天面側と底面側に、断熱壁２０から通風空間を開けて設置した仕切り壁７１、７２があり、仕切り壁７１、７２に複数の開口を設けて空気吹き出し口３０を形成している。
図１１に示す熱処理装置７０では、加熱室１５の角の部分に空気吸い込み口３１が設けられている。
図１１に示す熱処理装置７０では、温度センサー４３は、仕切り壁７１、７２や左右の側壁２７、２８によって囲まれた加熱室１５内にあり、外側の断熱壁２０から離れているので、温度センサー４３の検知温度は断熱壁２０の表面温度の影響を受けにくい。

【0047】

以上説明した熱処理装置１は、複数の熱処理モジュール６によって構成され、さらに熱処理モジュール６は一つの処理室ユニット１０と、左空調ユニット１２及び右空調ユニット１３によって構成されている。
本実施形態の熱処理装置１は、この様にユニット化されたユニット化部品が多用されたものである。本実施形態の構成は、サイズの異なる熱処理装置１を製作する際に部品の共有化を図ることができ、推奨される。本実施形態によると、接続する熱処理モジュール６の数を変えるだけで、異なるサイズの熱処理装置１を製作できる。
しかしながら本発明はこの構成に限定されるものではなく、各部材が不可分一体であってもよい。

【0048】

以上説明した熱処理装置１は、空気吹き出し口３０と空気吸い込み口３１が左右にそれぞれ５個ずつ設けられているが、これらの数は任意であって限定されるものではない。空気吹き出し口３０と空気吸い込み口３１は左右にそれぞれ１個ずつであってもよい。
また空気吹き出し口３０と空気吸い込み口３１の数が異なっていてもよい。
また上記した実施形態では、一方の側壁側に設けられた複数の空気吹き出し口３０の高さと大きさは全て揃っている。同じく一方の側壁側に設けられた複数の空気吸い込み口３１の高さと大きさも揃っている。しかしながら空気吹き出し口３０等の高さや大きさは不揃いであってもよい。
また加熱室（処理空間、配置空間）１５の一つの内側面に関し、一定領域に配された空気吹き出し口３０は上にあり、空気吸い込み口３１は下にあり、他の一定領域については、空気吹き出し口３０と空気吸い込み口３１の上下関係が逆転していてもよい。

【0049】

空気吹き出し口３０と空気吸い込み口３１の一方は加熱室（処理空間、配置空間）１５の中心高さよりも上に開口し、他方は加熱室１５の中心高さよりも下に開口していることが望ましいが、この構成は必須ではなく、加熱室１５の中心高さよりも上又は下に両者が開口していてもよい。
ただし被処理物５０を挟んでその上下に空気吹き出し口３０と空気吸い込み口３１が配されていることが望ましい。
即ち空気吹き出し口３０と空気吸い込み口３１の一方は被処理物５０よりも上に開口し、他方は被処理物５０よりも下に開口していることが望ましい。

【0050】

以上説明した実施形態では、複数の空調部１６ａ、１６ｂ、１６ｃ、１６ｄ、１６ｅ、１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄ、１７ｅを有し、いずれの空調部についても独立して個別に制御されるが、複数の空調部を一群として制御してもよい。また全ての空調部を一つの制御装置で制御してもよい。
また空調部ごとに送風量が違っていてもよい。

【0051】

逆に図１２に示す熱処理装置８０の様に、一つの空調部８１の送風をダクト８２によって分岐し、空調部８１で温度調節された空気を空気吹き出し口３０Ｌ、３０Ｒに供給し、空気吸い込み口３１Ｌ、３１Ｒから排出される空気を集合ダクト８３で集めて空調部８１に戻してもよい。
図１２に示す熱処理装置８０では、空調部８１と加熱室１５は分離されており、両者はダクト８２、８３で繋がっている。
以上説明した実施形態及びその変形例では、被処理物５０の上面と下面で熱風の吹きつける方向が対向方向となり、風は加熱室（処理空間、配置空間）１５の上下で逆方向に流れる。

【0052】

以上説明した実施形態では、被処理物が設置される処理空間を一つだけ有しているが、処理空間を複数有していてもよい。

【0053】

以上説明した実施形態では、平板状の物を被処理物５０として例示したが、本発明は被処理物５０の形状を問わない。本発明の熱処理装置１は、加熱室（処理空間、配置空間）１５内の温度ばらつきが小さいので、被処理物の形状に係わらず、その表面温度を均一化することができる。

【0054】

以上説明した実施形態では、複数の熱処理モジュール６が組み合わされて一つの加熱室１５が作られているが、一つの熱処理モジュール６だけで加熱室１５を構成してもよい。この構成を採用する場合には、一つの熱処理モジュール６の一面に扉モジュール８が取り付けられ、他方の面に奥壁部材３が取り付けられることとなる。

【0055】

以上説明した実施形態では、熱処理モジュール６は、処理室ユニット１０の両側に空調ユニットが一基ずつ取り付けられたものであるが、処理室ユニット１０の側面に空調ユニットを複数台取り付けてもよい。
即ち処理室ユニット１０に取り付けられる空調部１６又は空調部１７が、それぞれ複数の空調ユニットで構成されていてもよい。

【0056】

以上説明した実施形態では、熱処理モジュール（環境形成ユニット）６は、図７の様に一つの処理室ユニット１０と、左空調ユニット１２及び右空調ユニット１３が組み合わされたものである。この構成は、環境形成ユニットをさらに細かくユニット化したものであり、部品の互換性が高いものであるが、これらを一体不可分に製造してもよい。

【0057】

以上、本発明を熱処理装置１を例にあげて説明した。熱処理装置１は内部に高温環境を作るものであり、広義の環境形成装置であるとも言える。
以上、本発明を熱処理装置１を例にあげて説明したが、本発明の技術的思想は熱処理装置１に限定されるものではなく、環境試験装置その他の所望の環境を作る環境形成装置にも応用することができる。

【符号の説明】

【0058】

１、７０、８０ 熱処理装置
６ 熱処理モジュール（環境形成ユニット）
１０ 処理室ユニット
１２ 左空調ユニット
１３ 右空調ユニット
１５ 加熱室（処理空間、配置空間）
１６、１７ 空調部
２１ 前壁
２２ 奥壁
２３ 扉
２５ 天面壁
２６ 底面壁
２７、２８ 側壁
３０Ｌ、３０Ｒ 空気吹き出し口
３１Ｌ、３０Ｒ 空気吸い込み口
３５ 空調機器
３６ 送風機
４０ 加熱装置
４５ 空間形成部
５０ 被処理物

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】