特許第6873506号(P6873506)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6873506垂直磁化膜の前駆体構造、垂直磁化膜構造、およびその製造方法、これらを用いた垂直磁化型トンネル磁気抵抗接合膜およびその製造方法、ならびにこれらを用いた垂直磁化型トンネル磁気抵抗接合素子
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