特許 6873881 産業用ロボット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6873881

(24)【登録日】2021年4月23日

(45)【発行日】2021年5月19日

(54)【発明の名称】産業用ロボット

(51)【国際特許分類】

   B25J 9/06 20060101AFI20210510BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20210510BHJP

【ＦＩ】

   B25J9/06 D

   H01L21/68 A

【請求項の数】4

【全頁数】16

(21)【出願番号】特願2017-199165(P2017-199165)

(22)【出願日】2017年10月13日

(65)【公開番号】特開2019-72784(P2019-72784A)

(43)【公開日】2019年5月16日

【審査請求日】2020年9月3日

(73)【特許権者】

【識別番号】000002233

【氏名又は名称】日本電産サンキョー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100125690

【弁理士】

【氏名又は名称】小平 晋

(74)【代理人】

【識別番号】100142619

【弁理士】

【氏名又は名称】河合 徹

(74)【代理人】

【識別番号】100153316

【弁理士】

【氏名又は名称】河口 伸子

(72)【発明者】

【氏名】矢澤 隆之

(72)【発明者】

【氏名】志村 芳樹

【審査官】 樋口 幸太郎

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１７−１９０６１（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００２−２１０６８４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特表２０１６−５００４７３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−８３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１２−１１５９３２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２５Ｊ ９／０６

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送対象物が搭載される第１ハンドおよび第２ハンドと、前記第１ハンドが先端側に回動可能に連結される第１アームと、前記第２ハンドが先端側に回動可能に連結される第２アームと、前記第１アームの基端側および前記第２アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部材と、前記アーム支持部材を昇降可能に保持する柱状の支持フレームと、前記支持フレームの下端部が一端側に固定される旋回フレームと、前記旋回フレームの他端側が回動可能に連結される基台とを備え、
前記第１ハンドは、前記第１アームよりも上側に配置され、
前記第２ハンドは、前記第２アームよりも上側に配置され、
前記第１アームおよび前記第２アームは、互いに回動可能に連結される複数のアーム部によって構成されるとともに、前記搬送対象物の搬送時に伸縮し、
前記第１アームの伸縮時に、前記第１ハンドと前記第１アームとの連結部である第１ハンド関節部は、水平方向へ直線的に移動するとともに、上下方向から見たときに、前記第１アームに対する前記第１ハンドの回動中心である第１回動中心と前記アーム支持部材に対する前記第１アームの回動中心である第２回動中心とを結ぶ第１仮想線上を移動し、
前記第２アームの伸縮時に、前記第２ハンドと前記第２アームとの連結部である第２ハンド関節部は、前記第１ハンド関節部の移動方向と同方向へ直線的に移動するとともに、上下方向から見たときに、前記第２アームに対する前記第２ハンドの回動中心である第３回動中心と前記アーム支持部材に対する前記第２アームの回動中心である第４回動中心とを結ぶ第２仮想線上を移動し、
前記旋回フレームが所定位置で停止しているときの前記第１ハンド関節部および前記第２ハンド関節部の移動方向を第１方向とし、上下方向と第１方向とに直交する方向を第２方向とし、第２方向の一方を第３方向とすると、
前記アーム支持部材は、前記支持フレームから第３方向側へ伸びており、
前記第１アームと前記アーム支持部材との連結部である第１アーム関節部と、前記第２アームと前記アーム支持部材との連結部である第２アーム関節部とは、第２方向で隣り合うとともに、前記第１アーム関節部の第３方向側に前記第２アーム関節部が配置され、
前記アーム支持部材は、前記支持フレームの側面に沿って昇降可能となっており、
前記第１ハンドは、前記第１アームの先端側に連結される第１ハンド基部を備え、
前記第２ハンドは、前記第２アームの先端側に連結される第２ハンド基部を備え、
第１方向から見たときの前記第１ハンド基部の形状は、上下方向に直交する平板状となっており、
前記第２ハンド基部は、前記第１ハンド基部の上側に配置される上側ハンド基部と、前記第１ハンド基部の下側に配置され前記第２アームの先端側に連結される下側ハンド基部と、前記第１ハンド基部の第３方向側で前記上側ハンド基部と前記下側ハンド基部とを繋ぐハンド基部接続部を備え、
第１方向から見たときに、前記第２回動中心と前記第４回動中心との第２方向における中心は、前記基台に対する前記旋回フレームの回動中心である第５回動中心よりも第３方向側に配置されていることを特徴とする産業用ロボット。

【請求項2】

第１方向から見たときに、前記第２回動中心と前記第５回動中心とは、第２方向において同じ位置に配置されていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。

【請求項3】

第１方向から見たときに、前記第１ハンドに搭載される前記搬送対象物の第２方向の中心と、前記第２ハンドに搭載される前記搬送対象物の第２方向の中心と、前記第５回動中心と、前記第１ハンドの重心とは、第２方向で同じ位置に配置されていることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。

【請求項4】

第１方向から見たときに、前記第１ハンドの重心と前記第１回動中心とは、第２方向で同じ位置に配置されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、液晶ディスプレイや有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイで使用されるガラス基板等の搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、液晶ディスプレイ用のガラス基板等のワークを搬送するダブルアーム型ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のダブルアーム型ロボットは、第１ハンドおよび第２ハンドと、第１ハンドが先端側に回動可能に連結される第１アームと、第２ハンドが先端側に回動可能に連結される第２アームとを備えている。また、特許文献１には、ダブルアーム型ロボットとして、第１アームと第２アームとが上下方向で重なるように配置されるダブルアーム型ロボット（以下、このロボットを「第１ロボット」とする。）と、第１アームと第２アームとが水平方向で隣り合うように配置されるダブルアーム型ロボット（以下、このロボットを「第２ロボット」とする。）とが記載されている。

【0003】

特許文献１に記載の第１ロボットは、第１アームの基端側および第２アームの基端側が回動可能に連結される支持部材と、支持部材を昇降可能に保持するコラムと、コラムの下端部に固定される台座と、支持部材を昇降させる上下移動機構と、台座を回動させる回動機構とを備えている。第１ロボットでは、支持部材に連結される第１アームの基端側と第２アームの基端側とが上下方向で重なっている。また、第１ロボットでは、第２アームよりも上側に第２ハンドが配置され、第２ハンドよりも上側に第１ハンドが配置され、第１ハンドよりも上側に第１アームが配置されている。また、第１ロボットでは、支持部材は、コラムの側面に沿って昇降する。

【0004】

特許文献１に記載の第２ロボットは、第１アームの基端側および第２アームの基端側が回動可能に連結される基台上部と、基台上部が上端に固定される回動軸と、回動軸を回動可能に保持するとともに昇降可能に保持する基台下部とを備えている。第２ロボットでは、基台上部は、基台下部の上側に配置されており、回動軸は、基台下部の中に収容可能となっている。また、第２ロボットでは、第１アームよりも上側に第１ハンドが配置され、第２アームよりも上側に第２ハンドが配置されるとともに、上述のように、第１アームと第２アームとが水平方向で隣り合うように配置されている。

【0005】

特許文献１に記載の第２ロボットでは、第１アームと第２アームとが水平方向で隣り合うように配置されているため、第２ロボットが旋回する際（具体的には、基台下部に対して基台上部が回動する際）の旋回半径が大きくなりやすい。これに対して、特許文献１に記載の第１ロボットでは、第１アームと第２アームとが上下方向で重なっているため、第１ロボットが旋回する際（具体的には、台座が旋回する際）の旋回半径を小さくすることが可能になる。

【0006】

また、特許文献１に記載の第２ロボットでは、第１アームの基端側および第２アームの基端側が連結される基台上部が基台下部の上側に配置されており、基台上部は、基台下部の上端よりも下側へ移動できない。そのため、第２ロボットでは、第１ハンドおよび第２ハンドの昇降量が小さくなりやすい。これに対して、特許文献１に記載の第１ロボットでは、第１アームの基端側および第２アームの基端側が連結される支持部材がコラムの側面に沿って昇降するため、第１ハンドおよび第２ハンドの昇降量を大きくすることが可能になる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開２００１−２７４２１８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

上述のように、特許文献１に記載の第１ロボットでは、第１ロボットの旋回半径を小さくすることが可能になるとともに、第１ハンドおよび第２ハンドの昇降量を大きくすることが可能になる。一方で、第１ロボットでは、第１ハンドおよび第２ハンドよりも上側に第１アームが配置されているため、第１アームの関節部で発生する塵埃が第１ハンドに搭載されるワークの上面および第２ハンドに搭載されるワークの上面に落ちる可能性がある。したがって、高いクリーン度が要求される場合には、特許文献１に記載の第１ロボットを使用することは困難になる。

【0009】

そこで、本願発明者は、第１アームの関節部で発生する塵埃が第１ハンドに搭載されるワークの上面および第２ハンドに搭載されるワークの上面に落ちるのを防止するために、特許文献１に記載の第１ロボットにおいて、第２ロボットのように、第１アームと第２アームとを水平方向で隣り合わせて配置することを検討している。しかしながら、第１ロボットにおいて、第１アームと第２アームとを水平方向で隣り合わせて配置する場合には、第１アームまたは第２アームとコラムとの干渉を防止するために、第１ロボットの旋回中心からコラムを遠ざけて配置する必要がある。したがって、第１ロボットにおいて、第１アームと第２アームとを水平方向で隣り合わせて配置すると、第１ロボットの旋回半径がより大きくなるおそれがある。

【0010】

そこで、本発明の課題は、第１ハンドが連結される第１アームと第２ハンドが連結される第２アームとが水平方向で隣り合うように配置されるとともに、第１アームの基端側および第２アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部材が柱状の支持フレームの側面に沿って昇降可能となっていても、旋回半径を小さくすることが可能な産業用ロボットを提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0011】

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載される第１ハンドおよび第２ハンドと、第１ハンドが先端側に回動可能に連結される第１アームと、第２ハンドが先端側に回動可能に連結される第２アームと、第１アームの基端側および第２アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部材と、アーム支持部材を昇降可能に保持する柱状の支持フレームと、支持フレームの下端部が一端側に固定される旋回フレームと、旋回フレームの他端側が回動可能に連結される基台とを備え、第１ハンドは、第１アームよりも上側に配置され、第２ハンドは、第２アームよりも上側に配置され、第１アームおよび第２アームは、互いに回動可能に連結される複数のアーム部によって構成されるとともに、搬送対象物の搬送時に伸縮し、第１アームの伸縮時に、第１ハンドと第１アームとの連結部である第１ハンド関節部は、水平方向へ直線的に移動するとともに、上下方向から見たときに、第１アームに対する第１ハンドの回動中心である第１回動中心とアーム支持部材に対する第１アームの回動中心である第２回動中心とを結ぶ第１仮想線上を移動し、第２アームの伸縮時に、第２ハンドと第２アームとの連結部である第２ハンド関節部は、第１ハンド関節部の移動方向と同方向へ直線的に移動するとともに、上下方向から見たときに、第２アームに対する第２ハンドの回動中心である第３回動中心とアーム支持部材に対する第２アームの回動中心である第４回動中心とを結ぶ第２仮想線上を移動し、旋回フレームが所定位置で停止しているときの第１ハンド関節部および第２ハンド関節部の移動方向を第１方向とし、上下方向と第１方向とに直交する方向を第２方向とし、第２方向の一方を第３方向とすると、アーム支持部材は、支持フレームから第３方向側へ伸びており、第１アームとアーム支持部材との連結部である第１アーム関節部と、第２アームとアーム支持部材との連結部である第２アーム関節部とは、第２方向で隣り合うとともに、第１アーム関節部の第３方向側に第２アーム関節部が配置され、アーム支持部材は、支持フレームの側面に沿って昇降可能となっており、第１ハンドは、第１アームの先端側に連結される第１ハンド基部を備え、第２ハンドは、第２アームの先端側に連結される第２ハンド基部を備え、第１方向から見たときの第１ハンド基部の形状は、上下方向に直交する平板状となっており、第２ハンド基部は、第１ハンド基部の上側に配置される上側ハンド基部と、第１ハンド基部の下側に配置され第２アームの先端側に連結される下側ハンド基部と、第１ハンド基部の第３方向側で上側ハンド基部と下側ハンド基部とを繋ぐハンド基部接続部を備え、第１方向から見たときに、第２回動中心と第４回動中心との第２方向における中心は、基台に対する旋回フレームの回動中心である第５回動中心よりも第３方向側に配置されていることを特徴とする。

【0012】

本発明の産業用ロボットでは、第１ハンド関節部および第２ハンド関節部の移動方向を第１方向とし、上下方向と第１方向とに直交する方向を第２方向とし、第２方向の一方を第３方向とすると、アーム支持部材は、支持フレームから第３方向側へ伸びており、第２アームとアーム支持部材との連結部である第２アーム関節部は、第１アームとアーム支持部材との連結部である第１アーム関節部の第３方向側に配置されている。また、本発明では、第１方向から見たときに、アーム支持部材に対する第１アームの回動中心である第２回動中心とアーム支持部材に対する第２アームの回動中心である第４回動中心との第２方向における中心が、基台に対する旋回フレームの回動中心である第５回動中心（すなわち、産業用ロボットの旋回中心）よりも第３方向側に配置されている。

【0013】

そのため、本発明では、たとえば、第２回動中心と第４回動中心との第２方向における中心と、第５回動中心とが第２方向において同じ位置に配置されている場合と比較して、第２回動中心を第３方向側に配置することが可能になり、その結果、支持フレームと第１アームとの干渉を防止しつつ、産業用ロボットの旋回中心である第５回動中心から第２方向においてより近い位置に支持フレームを配置することが可能になる。したがって、本発明では、第１アームと第２アームとが水平方向で隣り合うように配置されるとともにアーム支持部材が柱状の支持フレームの側面に沿って昇降可能となっていても、産業用ロボットの旋回半径を小さくすることが可能になる。

【0014】

本発明において、第１方向から見たときに、第２回動中心と第５回動中心とは、第２方向において同じ位置に配置されていることが好ましい。このように構成すると、第２回動中心をより第３方向側に配置することが可能になる。したがって、支持フレームと第１アームとの干渉を防止しつつ、産業用ロボットの旋回中心である第５回動中心から第２方向においてより一層近い位置に支持フレームを配置することが可能になる。

【0015】

本発明において、第１方向から見たときに、第１ハンドに搭載される搬送対象物の第２方向の中心と、第２ハンドに搭載される搬送対象物の第２方向の中心と、第５回動中心と、第１ハンドの重心とは、第２方向で同じ位置に配置されていることが好ましい。このように構成すると、第１方向から見たときに、第１ハンドに搭載される搬送対象物の第２方向の中心と、第２ハンドに搭載される搬送対象物の第２方向の中心と、第５回動中心とが第２方向で同じ位置に配置されているため、産業用ロボットが旋回する際の搬送対象物の状態を安定させることが可能になる。

【0016】

また、本発明では、第１方向から見たときに、第２回動中心と第４回動中心との第２方向における中心が第５回動中心よりも第３方向側に配置されているため、第１方向から見たときに、第１アームに対する第１ハンドの回動中心である第１回動中心と第２アームに対する第２ハンドの回動中心である第３回動中心との第２方向における中心も第５回動中心よりも第３方向側に配置されている。したがって、たとえば、第１回動中心と第３回動中心との第２方向における中心と、第５回動中心とが第２方向において同じ位置に配置されている場合と比較して、第１方向から見たときに、第２方向において第１回動中心を第５回動中心に近づけることが可能になる。そのため、第１方向から見たときに、第５回動中心と第１ハンドの重心とが第２方向で同じ位置に配置されていると、第２方向において第１回動中心を第１ハンドの重心に近づけることが可能になる。したがって、第１アームが伸縮して第１ハンド関節部が第１方向へ直線的に移動する際に、第１アームの先端側に回動可能に連結される第１ハンドにモーメントが作用しにくくなる。その結果、第１アームが伸縮する際の第１ハンドの動作を安定させることが可能になり、第１ハンドの動作精度を高めることが可能になる。

【0017】

また、本発明では、第２ハンドの一部を構成する第２ハンド基部は、上側ハンド基部と、下側ハンド基部と、第１ハンド基部の第３方向側で上側ハンド基部と下側ハンド基部とを繋ぐハンド基部接続部を備えているため、第１方向から見たときに、第２ハンドの重心は、第２ハンドに搭載される搬送対象物の第２方向の中心よりも第３方向側となる。また、本発明では、第１方向から見たときに、第１回動中心と第３回動中心との第２方向における中心が第５回動中心よりも第３方向側に配置されているため、たとえば、第１回動中心と第３回動中心との第２方向における中心と、第５回動中心とが第２方向において同じ位置に配置されている場合と比較して、第１方向から見たときに、第３回動中心を第５回動中心から第３方向側へ遠ざけることが可能になる。したがって、第１方向から見たときに、第２ハンドに搭載される搬送対象物の第２方向の中心と第５回動中心とが第２方向で同じ位置に配置されていると、第２方向において第３回動中心を第２ハンドの重心に近づけることが可能になる。そのため、第２アームが伸縮して第２ハンド関節部が第１方向へ直線的に移動する際に、第２アームの先端側に回動可能に連結される第２ハンドにモーメントが作用しにくくなる。その結果、第２アームが伸縮する際の第２ハンドの動作を安定させることが可能になり、第２ハンドの動作精度を高めることが可能になる。

【0018】

本発明において、第１方向から見たときに、第１ハンドの重心と第１回動中心とは、第２方向で同じ位置に配置されていることが好ましい。このように構成すると、第１アームが伸縮して第１ハンド関節部が第１方向へ直線的に移動する際に、第１アームの先端側に回動可能に連結される第１ハンドにモーメントが作用するのを防止することが可能になる。したがって、第１アームが伸縮する際の第１ハンドの動作をより安定させることが可能になり、第１ハンドの動作精度をより高めることが可能になる。

【発明の効果】

【0019】

以上のように、本発明の産業用ロボットでは、第１ハンドが連結される第１アームと第２ハンドが連結される第２アームとが水平方向で隣り合うように配置されるとともに、第１アームの基端側および第２アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部材が柱状の支持フレームの側面に沿って昇降可能となっていても、産業用ロボットの旋回半径を小さくすることが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【0020】

【図1】本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの正面図である。

【図2】図１に示す産業用ロボットの側面図である。

【図3】図１に示す産業用ロボットの平面図である。

【図4】図１に示す産業用ロボットの平面図である。

【図5】図１に示す産業用ロボットの平面図である。

【図6】（Ａ）は、図３に示す第１回動中心〜第５回動中心の配置関係等を説明するための図であり、（Ｂ）は、図１に示す産業ロボットの効果を説明するための図である。

【図7】図１に示す産業ロボットの効果を説明するための図である。

【発明を実施するための形態】

【0021】

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

【0022】

（産業用ロボットの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の正面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の側面図である。図３〜図５は、図１に示す産業用ロボット１の平面図である。

【0023】

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物２を搬送するための水平多関節型ロボットである。本形態の搬送対象物２は、液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等で使用される比較的大型のガラス基板である。したがって、以下では、搬送対象物２を「基板２」とする。基板２は、たとえば、長方形の平板状に形成されている。

【0024】

ロボット１は、基板２が搭載される２個のハンド３、４と、ハンド３が先端側に回動可能に連結されるアーム５と、ハンド４が先端側に回動可能に連結されるアーム６とを備えている。すなわち、ロボット１は、ダブルアーム型のロボットである。本形態のハンド３は第１ハンドであり、ハンド４は第２ハンドであり、アーム５は第１アームであり、アーム６は第２アームである。

【0025】

また、ロボット１は、アーム５の基端側およびアーム６の基端側が回動可能に連結されるアーム支持部材８と、アーム支持部材８を昇降可能に保持する柱状の支持フレーム９と、支持フレーム９の下端部が一端側に固定される旋回フレーム１０と、旋回フレーム１０の他端側が回動可能に連結される基台１１と、基台１１を保持するベース部材１２とを備えている。基台１１は、ベース部材１２に対して水平方向へ移動可能となっている。

【0026】

アーム５、６は、互いに回動可能に連結される複数のアーム部１５、１６によって構成されている。具体的には、アーム５、６は、２個のアーム部１５、１６によって構成されている。アーム部１５の基端側は、上下方向を回動の軸方向とする回動が可能となるようにアーム支持部材８に連結されている。アーム部１５の先端側には、上下方向を回動の軸方向とする回動が可能となるようにアーム部１６の基端側が連結されている。ハンド３、４は、上下方向を回動の軸方向とする回動が可能となるようにアーム部１６の先端側に連結されている。

【0027】

アーム５では、上下方向から見たときに、アーム部１６に対するハンド３の回動中心（すなわち、アーム５に対するハンド３の回動中心）Ｃ１とアーム部１５に対するアーム部１６の回動中心Ｃ２との距離と、アーム支持部材８に対するアーム部１５の回動中心（すなわち、アーム支持部材８に対するアーム５の回動中心）Ｃ３と回動中心Ｃ２との距離とは、等しくなっている。本形態の回動中心Ｃ１は第１回動中心であり、回動中心Ｃ３は第２回動中心である。

【0028】

同様に、アーム６では、上下方向から見たときに、アーム部１６に対するハンド４の回動中心（すなわち、アーム６に対するハンド４の回動中心）Ｃ４とアーム部１５に対するアーム部１６の回動中心Ｃ５との距離と、アーム支持部材８に対するアーム部１５の回動中心（すなわち、アーム支持部材８に対するアーム６の回動中心）Ｃ６と回動中心Ｃ５との距離とは、等しくなっている。本形態の回動中心Ｃ４は第３回動中心であり、回動中心Ｃ６は第４回動中心である。

【0029】

アーム５、６は、基板２の搬送時に伸縮する。ロボット１は、アーム５を伸縮させるアーム駆動機構と、アーム６を伸縮させるアーム駆動機構とを備えている。アーム５の伸縮時には、ハンド３とアーム５との連結部である関節部１７は、水平方向へ直線的に移動するとともに、上下方向から見たときに、回動中心Ｃ１と回動中心Ｃ３とを結ぶ仮想線ＶＬ１上を移動する。また、アーム５の伸縮時には、ハンド３は一定方向を向いた状態で水平方向へ直線的に移動する。本形態の関節部１７は第１ハンド関節部であり、仮想線ＶＬ１は第１仮想線である。

【0030】

同様に、アーム６の伸縮時には、ハンド４とアーム６との連結部である関節部１８は、関節部１７の移動方向と同方向へ直線的に移動するとともに、上下方向から見たときに、回動中心Ｃ４と回動中心Ｃ６とを結ぶ仮想線ＶＬ２上を移動する。また、アーム６の伸縮時には、ハンド４は一定方向を向いた状態で水平方向へ直線的に移動する。本形態の関節部１８は第２ハンド関節部であり、仮想線ＶＬ２は第２仮想線である。なお、図１では、アーム５、６が最も縮んで、アーム部１５とアーム部１６とが重なった状態（図５に示す状態）が図示されている。

【0031】

以下の説明では、旋回フレーム１０が所定位置で停止しているときの関節部１７、１８の移動方向（図１等のＸ方向）を「前後方向」とし、上下方向と前後方向とに直交する図１等のＹ方向を「左右方向」とする。仮想線ＶＬ１、ＶＬ２は、上下方向から見たときに前後方向と平行になっている。また、前後方向から見たときに、回動中心Ｃ１と回動中心Ｃ３とは左右方向で同じ位置に配置され、回動中心Ｃ４と回動中心Ｃ６とは左右方向で同じ位置に配置されている。

【0032】

また、以下の説明では、前後方向のうちのＸ１方向側を「前」側とし、その反対側であるＸ２方向側を「後ろ」側とし、左右方向のうちのＹ１方向側を「右」側とし、その反対側であるＹ２方向側「左」側とする。本形態の前後方向（Ｘ方向）は第１方向であり、左右方向（Ｙ方向）は第２方向であり、右方向（Ｙ１方向）は第３方向である。

【0033】

アーム支持部材８は、アーム５、６が連結されるアーム連結部８ａと、支持フレーム９に保持される被保持部８ｂとから構成されている。被保持部８ｂは、直方体のブロック状に形成されている。アーム連結部８ａは、上下方向から見たときの形状が細長い長方形状となる略直方体状に形成されている。アーム連結部８ａの左端は、被保持部８ｂに繋がっており、アーム連結部８ａは、被保持部８ｂから右側へ伸びている。すなわち、アーム支持部材８は、支持フレーム９から右側へ伸びている。アーム５、６は、アーム連結部８ａよりも上側に配置されている。ハンド３は、アーム５よりも上側に配置されている。ハンド４は、アーム６よりも上側に配置されている。また、アーム部１６は、アーム部１５よりも上側に配置されている。

【0034】

アーム５とアーム支持部材８との連結部である関節部２０と、アーム６とアーム支持部材８との連結部である関節部２１とは、アーム支持部材８の右端側に配置されている。また、関節部２０と関節部２１とは、左右方向で隣り合うように配置されている。すなわち、アーム５とアーム６とは、左右方向で隣り合うように配置されている。本形態では、関節部２０の右側に関節部２１が配置されている。

【0035】

関節部２０と関節部２１とは、前後方向において同じ位置に配置されている。すなわち、回動中心Ｃ３と回動中心Ｃ６とは、前後方向において同じ位置に配置されている。また、アーム５の、アーム部１５とアーム部１６との連結部である関節部２２は、関節部１７、２０よりも左側に配置され、アーム６の、アーム部１５とアーム部１６との連結部である関節部２３は、関節部１８、２１よりも右側に配置されている。

【0036】

支持フレーム９は、アーム支持部材８を昇降可能に保持する柱状の第１支持フレーム２６と、第１支持フレーム２６を昇降可能に保持する柱状の第２支持フレーム２７とを備えている。ロボット１は、第１支持フレーム２６に対してアーム支持部材８を昇降させる昇降機構と、第２支持フレーム２７に対して第１支持フレーム２６を昇降させる昇降機構と、第１支持フレーム２６を上下方向に案内するガイド機構と、アーム支持部材８を上下方向へ案内するガイド機構とを備えている。

【0037】

第１支持フレーム２６は、第２支持フレーム２７の後ろ側に配置されている。第１支持フレーム２６の後ろ側には、被保持部８ｂが配置されている。アーム支持部材８は、支持フレーム９の側面に沿って昇降可能となっている。具体的には、アーム支持部材８は、第１支持フレーム２６の後側面に沿って昇降可能となっているとともに、第１支持フレーム２６を介して第２支持フレーム２７の後側面に沿って昇降可能となっている。

【0038】

旋回フレーム１０は、上下方向から見たときの形状が細長い長方形状となる略直方体状に形成されている。旋回フレーム１０は、支持フレーム９から右側へ伸びている。旋回フレーム１０の長さは、アーム支持部材８の長さよりも短くなっている。旋回フレーム１０の左端部の上面には、第２支持フレーム２７の下端面が固定されている。旋回フレーム１０の右端部は、基台１１の上側に配置されている。また、旋回フレーム１０の右端部は、基台１１に回動可能に連結されている。ロボット１は、基台１１に対して旋回フレーム１０を回動させる旋回機構を備えている。なお、旋回フレーム１０は、右側に向かうにしたがって後ろ側に向かうように左右方向に対してわずかに傾いている。

【0039】

基台１１は、上述のように、ベース部材１２に対して水平移動可能となっている。ロボット１は、ベース部材１２に対して基台１１を水平移動させる水平移動機構を備えている。

【0040】

（ハンドの構成および回動中心等の配置関係）
図６（Ａ）は、図３に示す回動中心Ｃ１〜Ｃ７の配置関係等を説明するための図であり、図６（Ｂ）は、図１に示すロボット１の効果を説明するための図である。

【0041】

ハンド３は、基板２が搭載される直線状の複数本のフォーク２９と、アーム５の先端側に連結されるハンド基部３０とから構成されている。ハンド４は、基板２が搭載される直線状の複数本のフォーク２９と、アーム６の先端側が連結されるハンド基部３１とから構成されている。ハンド３、４は、たとえば、４本のフォーク２９を備えている。４本のフォーク２９は、ハンド基部３０、３１から後ろ側へ伸びている。本形態のハンド基部３０は第１ハンド基部であり、ハンド基部３１は第２ハンド基部である。

【0042】

ハンド基部３０は、左右方向に細長い長方形の平板状に形成されている。ハンド基部３０は、ハンド基部３０の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されており、前後方向から見たときのハンド基部３０の形状は、上下方向に直交する平板状となっている。アーム５の先端部は、ハンド基部３０の下面に連結されている。また、アーム５の先端部は、ハンド基部３０の左右方向の中心に連結されており、前後方向から見たときに、ハンド３の左右方向の中心と回動中心Ｃ１、Ｃ３とが左右方向で同じ位置に配置されている。

【0043】

本形態では、前後方向から見たときに、ハンド３の左右方向の中心とハンド３の重心Ｇ１とが左右方向で一致している。すなわち、前後方向から見たときに、ハンド３の重心Ｇ１と回動中心Ｃ１、Ｃ３とが左右方向で同じ位置に配置されている。また、前後方向から見たときに、ハンド３に搭載される基板２の左右方向の中心とハンド３の左右方向の中心とが左右方向で同じ位置に配置されている。すなわち、前後方向から見たときに、ハンド３に搭載される基板２の左右方向の中心とハンド３の重心Ｇ１とが左右方向で同じ位置に配置されている。

【0044】

さらに、前後方向から見たときに、基台１１に対する旋回フレーム１０の回動中心（すなわち、ロボット１の旋回中心）Ｃ７とハンド３の重心Ｇ１とは、左右方向において同じ位置に配置されている。すなわち、前後方向から見たときに、ハンド３に搭載される基板２の左右方向の中心と回動中心Ｃ７とが左右方向において同じ位置に配置されるとともに、回動中心Ｃ１、Ｃ３と回動中心Ｃ７とが左右方向において同じ位置に配置されている。本形態の回動中心Ｃ７は第５回動中心である。

【0045】

ハンド基部３１は、ハンド基部３０の上側に配置される上側ハンド基部３１ａと、ハンド基部３０の下側に配置される下側ハンド基部３１ｂと、ハンド基部３０の右側で上側ハンド基部３１ａと下側ハンド基部３１ｂとを繋ぐハンド基部接続部３１ｃとから構成されている。上側ハンド基部３１ａおよび下側ハンド基部３１ｂは、左右方向に細長い長方形の平板状に形成されている。上側ハンド基部３１ａは、上側ハンド基部３１ａの厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されており、前後方向から見たときの上側ハンド基部３１ａの形状は、上下方向に直交する平板状となっている。下側ハンド基部３１ｂは、下側ハンド基部３１ｂの厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されており、前後方向から見たときの下側ハンド基部３１ｂの形状は、上下方向に直交する平板状となっている。

【0046】

前後方向から見たときに、上側ハンド基部３１ａの左端とハンド基部３０の左端とは左右方向で同じ位置に配置され、上側ハンド基部３１ａの右端は、ハンド基部３０の右端よりも右側に配置されている。上側ハンド基部３１ａには、フォーク２９が固定されている。また、前後方向から見たときに、下側ハンド基部３１ｂの左端は、関節部１７よりも右側に配置され、下側ハンド基部３１ｂの右端は、ハンド基部３０の右端よりも右側に配置されている。また、前後方向から見たときに、下側ハンド基部３１ｂの左端は、上側ハンド基部３１ａの左右方向の中心よりも右側に配置されている。

【0047】

アーム６の先端側は、下側ハンド基部３１ｂに回動可能に連結されている。具体的には、アーム６の先端部は、下側ハンド基部３１ｂの下面に連結されている。また、アーム６の先端部は、下側ハンド基部３１ｂの左端部に連結されている。前後方向から見たときに、ハンド４に搭載される基板２の左右方向の中心と、ハンド３に搭載される基板２の左右方向の中心とは、左右方向で同じ位置に配置されている。すなわち、前後方向から見たときに、ハンド４に搭載される基板２の左右方向の中心と回動中心Ｃ７とは、左右方向において同じ位置に配置されている。

【0048】

本形態では、ハンド基部３０の右側に配置されるハンド基部接続部３１ｃをハンド基部３１が備え、かつ、上側ハンド基部３１ａの右端および下側ハンド基部３１ｂの右端がハンド基部３０の右端よりも右側に配置されているため、前後方向から見たときに、ハンド４の重心Ｇ２は、ハンド３の左右方向の中心よりも右側に配置されている。すなわち、前後方向から見たときに、ハンド４の重心Ｇ２は、ハンド３に搭載される基板２の左右方向の中心よりも右側に配置されており、ハンド４に搭載される基板２の左右方向の中心よりも右側に配置されている。また、前後方向から見たときに、ハンド４の重心Ｇ２は、ハンド３の重心Ｇ１よりも右側に配置されており、回動中心Ｃ７よりも右側に配置されている。

【0049】

また、本形態では、前後方向から見たときに、ハンド４の重心Ｇ２は、回動中心Ｃ４、Ｃ６よりも左側に配置されている。具体的には、前後方向から見たときに、ハンド４の重心Ｇ２は、回動中心Ｃ１、Ｃ３と回動中心Ｃ４、Ｃ６との左右方向における中心Ｃ８（図６（Ａ）参照）よりも右側に配置されるとともに、回動中心Ｃ４、Ｃ６よりも左側に配置されている。より具体的には、本形態では、前後方向から見たときに、ハンド４の重心Ｇ２は、回動中心Ｃ４、Ｃ６と中心Ｃ８との左右方向の中心よりもわずかに右側に配置されている。上述のように、前後方向から見たときに、回動中心Ｃ１、Ｃ３と回動中心Ｃ７とが左右方向において同じ位置に配置されているため、前後方向から見たときに、中心Ｃ８は、回動中心Ｃ７よりも右側に配置されている。

【0050】

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、前後方向から見たときに、アーム支持部材８に対するアーム５の回動中心Ｃ３とアーム支持部材８に対するアーム６の回動中心Ｃ６との左右方向における中心Ｃ８は、ロボット１の旋回中心となる回動中心Ｃ７よりも右側に配置されている。そのため、本形態では、たとえば、図６（Ｂ）に示すように、前後方向から見たときに、中心Ｃ８と回動中心Ｃ７とが左右方向において同じ位置に配置されている場合と比較して、図６（Ａ）に示すように、回動中心Ｃ３を右側に配置することが可能になり、その結果、図１、図５に示すように、支持フレーム９とアーム５との干渉を防止しつつ、ロボット１の旋回中心である回動中心Ｃ７から左右方向においてより近い位置に支持フレーム９を配置することが可能になる。すなわち、支持フレーム９とアーム５との干渉を防止しつつ、支持フレーム９をより右側に配置することが可能になる。

【0051】

特に本形態では、前後方向から見たときに、回動中心Ｃ３と回動中心Ｃ７とが左右方向において同じ位置に配置されているため、回動中心Ｃ３をより一層右側に配置することが可能になる。したがって、本形態では、支持フレーム９とアーム５との干渉を防止しつつ、ロボット１の旋回中心である回動中心Ｃ７から左右方向においてより一層近い位置に支持フレーム９を配置することが可能になる。その結果、本形態では、アーム５とアーム６とが左右方向で隣り合うように配置されるとともにアーム支持部材８が柱状の支持フレーム９の側面に沿って昇降可能となっていても、ロボット１の旋回半径を小さくすることが可能になる。

【0052】

また、本形態では、前後方向から見たときに、中心Ｃ８が回動中心Ｃ７よりも右側に配置されているため、たとえば、図６（Ｂ）に示すように、前後方向から見たときに、中心Ｃ８と回動中心Ｃ７とが左右方向において同じ位置に配置されている場合と比較して、図６（Ａ）に示すように、下側ハンド基部３１ｂの左右方向の長さを短くしてハンド４の重量を軽減することが可能になる。また、下側ハンド基部３１ｂの左右方向の長さを短くすることが可能になるため、ハンド４の剛性を高めることが可能になる。

【0053】

本形態では、前後方向から見たときに、ハンド３に搭載される基板２の左右方向の中心と、ハンド４に搭載される基板２の左右方向の中心と、ロボット１の旋回中心である回動中心Ｃ７とが左右方向で同じ位置に配置されている。そのため、本形態では、ロボット１が旋回する際の基板２の状態を安定させることが可能になる。

【0054】

本形態では、前後方向から見たときに、ハンド３の重心Ｇ１と回動中心Ｃ１とが左右方向で同じ位置に配置されている。そのため、本形態では、アーム５が伸縮して関節部１７が前後方向へ直線的に移動する際に、アーム５の先端側に回動可能に連結されるハンド３にモーメントが作用するのを防止することが可能になる。すなわち、前後方向から見たときに、たとえば、ハンド３の重心Ｇ１が回動中心Ｃ１よりも右側にずれている場合（図７参照）には、図７（Ａ）に示すように、アーム５が伸縮して関節部１７が前側へ動くときに、図７の反時計回りの方向のモーメントがハンド３に作用し、図７（Ｂ）に示すように、アーム５が伸縮して関節部１７が後ろ側へ動くときに、図７の時計回りの方向のモーメントがハンド３に作用するが、本形態では、ハンド３にモーメントが作用するのを防止することが可能になる。したがって、本形態では、アーム５が伸縮する際のハンド３の動作を安定させることが可能になり、その結果、ハンド３の動作精度を高めることが可能になる。

【0055】

本形態では、前後方向から見たときに、中心Ｃ８が回動中心Ｃ７よりも右側に配置されているため、たとえば、図６（Ｂ）に示すように、前後方向から見たときに、中心Ｃ８と回動中心Ｃ７とが左右方向において同じ位置に配置されている場合と比較して、前後方向から見たときに、回動中心Ｃ４を回動中心Ｃ７から右側へ遠ざけることが可能になる。そのため、本形態では、前後方向から見たときに、回動中心Ｃ７よりも右側に配置されるハンド４の重心Ｇ２に、回動中心Ｃ４を左右方向で近づけることが可能になる。したがって、本形態では、アーム６が伸縮して関節部１８が前後方向へ直線的に移動する際に、アーム６の先端側に回動可能に連結されるハンド４でのモーメントの発生を抑制することが可能になる。その結果、本形態では、アーム６が伸縮する際のハンド４の動作を安定させることが可能になり、ハンド４の動作精度の低下を抑制することが可能になる。

【0056】

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

【0057】

上述した形態において、前後方向から見たときに、中心Ｃ８が回動中心Ｃ７よりも右側に配置されているのであれば、前後方向から見たときに、回動中心Ｃ３と回動中心Ｃ７とが左右方向においてずれていても良い。すなわち、前後方向から見たときに、中心Ｃ８が回動中心Ｃ７よりも右側に配置されているのであれば、前後方向から見たときに、回動中心Ｃ３が回動中心Ｃ７より右側または左側に配置されていても良い。この場合であっても、たとえば、中心Ｃ８と回動中心Ｃ７とが左右方向において同じ位置に配置されている場合と比較して、回動中心Ｃ３を右側に配置することが可能になり、その結果、支持フレーム９とアーム５との干渉を防止しつつ、ロボット１の旋回中心である回動中心Ｃ７から左右方向においてより近い位置に支持フレーム９を配置することが可能になる。

【0058】

また、上述した形態において、前後方向から見たときに、中心Ｃ８が回動中心Ｃ７よりも右側に配置されているのであれば、前後方向から見たときに、ハンド３の重心Ｇ１と回動中心Ｃ１とが左右方向でずれていても良い。この場合には、たとえば、前後方向から見たときに、回動中心Ｃ１に対するハンド３の重心Ｇ１の右側へのずれ量と、回動中心Ｃ４に対するハンド４の重心Ｇ２の左側へのずれ量とが等しくなっていても良い。

【0059】

上述した形態において、前後方向から見たときに、ハンド４の重心Ｇ２と回動中心Ｃ４とが左右方向で同じ位置に配置されていても良い。この場合には、アーム６が伸縮して関節部１８が前後方向へ直線的に移動する際に、アーム６の先端側に回動可能に連結されるハンド４にモーメントが作用するのを防止することが可能になる。そのため、アーム６が伸縮する際のハンド４の動作を安定させることが可能になり、その結果、ハンド４の動作精度を高めることが可能になる。

【0060】

上述した形態では、支持フレーム９は、第１支持フレーム２６と第２支持フレーム２７との２個のフレームによって構成されているが、支持フレーム９は、１個のフレームによって構成されていても良い。また、上述した形態において、ロボット１は、基板２以外の搬送対象物を搬送するロボットであっても良い。

【符号の説明】

【0061】

１ ロボット（産業用ロボット）
２ 基板（搬送対象物）
３ ハンド（第１ハンド）
４ ハンド（第２ハンド）
５ アーム（第１アーム）
６ アーム（第２アーム）
８ アーム支持部材
９ 支持フレーム
１０ 旋回フレーム
１１ 基台
１５、１６ アーム部
１７ 関節部（第１ハンド関節部）
１８ 関節部（第２ハンド関節部）
２０ 関節部（第１アーム関節部）
２１ 関節部（第２アーム関節部）
３０ ハンド基部（第１ハンド基部）
３１ ハンド基部（第２ハンド基部）
３１ａ 上側ハンド基部
３１ｂ 下側ハンド基部
３１ｃ ハンド基部接続部
Ｃ１ 回動中心（第１回動中心）
Ｃ３ 回動中心（第２回動中心）
Ｃ４ 回動中心（第３回動中心）
Ｃ６ 回動中心（第４回動中心）
Ｃ７ 回動中心（第５回動中心）
Ｃ８ 中心（第２回動中心と第４回動中心との第２方向の中心）
Ｇ１ 重心（第１ハンドの重心）
ＶＬ１ 仮想線（第１仮想線）
ＶＬ２ 仮想線（第２仮想線）
Ｘ 第１方向
Ｙ 第２方向
Ｙ１ 第３方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】