特許 6874303 ロードポート装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6874303

(24)【登録日】2021年4月26日

(45)【発行日】2021年5月19日

(54)【発明の名称】ロードポート装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/677 20060101AFI20210510BHJP

【ＦＩ】

   H01L21/68 A

【請求項の数】7

【全頁数】15

(21)【出願番号】特願2016-170011(P2016-170011)

(22)【出願日】2016年8月31日

(65)【公開番号】特開2018-37543(P2018-37543A)

(43)【公開日】2018年3月8日

【審査請求日】2019年7月16日

(73)【特許権者】

【識別番号】000003067

【氏名又は名称】ＴＤＫ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001494

【氏名又は名称】前田・鈴木国際特許業務法人

(72)【発明者】

【氏名】岩本 忠将

【審査官】 湯川 洋介

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第２０１６／０３５６７５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００３−０４５９３３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−１０７２９６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１０／００７６５７（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２０１０−２３２５２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−０７９２５０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許第０６１２０２２９（ＵＳ，Ａ）

【文献】 韓国公開特許第１０−２００７−００１７２８４（ＫＲ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１２９６３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００９−０３８０７３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ウエハを出し入れするための主開口が側面に形成された容器を載置する載置台と、
前記主開口に連通する装置開口が形成されており、前記載置台側を向く外側面と前記外側面とは反対方向を向く内側面とを有する壁部と、
前記主開口及び前記装置開口を開閉する開閉部と、
前記装置開口における少なくともいずれか１つの辺に沿って設けられており、前記壁部の前記内側面から突出し、前記装置開口に近い開口側と前記装置開口から遠い外部側とに前記内側面を仕切るカバー部材と、
前記カバー部材に対して相対移動可能に接続されるカバー付属可動板と、を有し、
前記カバー付属可動板は、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に一部が重なる遮蔽位置と、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に重なる面積が前記遮蔽位置より狭い退避位置と、の間で移動されることを特徴とするロードポート装置。

【請求項2】

前記カバー部材は、前記装置開口における前記辺の一つである上辺に沿って設けられる庇部を有しており、
前記カバー付属可動板は、前記庇部に対して相対移動可能に接続されることを特徴とする請求項１に記載のロードポート装置。

【請求項3】

前記庇部は、前記内側面から斜め下方に延出する庇上面を有しており、
前記カバー付属可動板は、前記庇上面に沿って、前記庇部に対して相対移動することを特徴とする請求項２に記載のロードポート装置。

【請求項4】

前記開閉部は、前記装置開口を閉鎖する閉鎖位置と前記装置開口を開放する開放位置との間で移動されるドアを有し、
前記ドアに対して相対移動可能に接続されており、前記ドアが前記開放位置にある状態において、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に一部が重なる遮蔽位置と、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に重なる面積が前記遮蔽位置より狭い退避位置と、の間で移動されるドア付属可動板をさらに有する請求項１から請求項３までのいずれかに記載のロードポート装置。

【請求項5】

前記カバー付属可動板は、前記遮蔽位置であって前記装置開口に重なる面積が互いに異なる第１遮蔽位置と第２遮蔽位置とで停止することが可能であり、前記ウエハを搬送するウエハ搬送アームの動きに応じて、停止する位置が変化することを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれかに記載のロードポート装置。

【請求項6】

前記カバー部材に対して前記開口側に設けられており、前記装置開口及び前記主開口を介して前記容器の内部に清浄化ガスを導入するフロントガス導入部をさらに有することを特徴とする請求項１から請求項５までのいずれかに記載のロードポート装置。

【請求項7】

ウエハを出し入れするための主開口が側面に形成された容器を載置する載置台と、
前記主開口に連通する装置開口が形成されており、前記載置台側を向く外側面と前記外側面とは反対方向を向く内側面とを有する壁部と、
前記装置開口を閉鎖する閉鎖位置と前記装置開口を開放する開放位置との間で移動されるドアを有し、前記主開口及び前記装置開口を開閉する開閉部と、
前記ドアに対して相対移動可能に接続されるドア付属可動板と、を有し、
前記ドア付属可動板は、前記ドアが前記開放位置にある状態において、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に一部が重なる遮蔽位置と、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に重なる面積が前記遮蔽位置より狭い退避位置と、の間で移動されることを特徴とするロードポート装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、容器からウエハを取り出すためのインターフェースとして機能するロードポート装置に関する。

【背景技術】

【0002】

半導体の製造工程では、プープ（ＦＯＵＰ）等と呼ばれる容器を用いて、各処理装置の間のウエハの搬送が行われる。ウエハに対して処理を実施する際、容器は、各処理装置に備えられるロードポート装置の載置台に載置され、ロードポート装置は、容器内の空間と処理室又は処理室へと繋がるウエハ搬送室の空間とを連通させる。これにより、ロボットアーム等により容器からウエハを取り出し、このウエハを処理室へ受け渡すことが可能となる。

【0003】

ここで、ウエハが収納される容器内の環境は、ウエハ表面を酸化や汚染から守るために、所定の状態を上回る不活性状態及び清浄度が保たれることが好ましい。しかしながら、ウエハを容器内から取り出す際には、容器の主開口を開放して容器内とウエハ搬送室とを連通させる必要があるため、たとえ容器の主開口を開放した状態においても、容器内部を清浄な状態に保つための技術が求められている（特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２０１２−１９０４６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかし、可動式のチャンバを用いる従来の技術では、装置開口全体を覆うチャンバ本体を移動させるため、大がかりな駆動機構が必要となり、駆動機構から生じるパーティクルが増えることにより、ウエハ搬送室およびこれと連通する容器内の清浄度を十分に上昇させることができないという問題を有している。

【0006】

本発明は、このような実状に鑑みてなされ、容器の主開口を開放した状態においても、容器内部を清浄な状態に保つことができるロードポート装置を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0007】

上記目的を達成するために、本発明に係るロードポート装置は、
ウエハを出し入れするための主開口が側面に形成された容器を載置する載置台と、
前記主開口に連通する装置開口が形成されており、前記載置台側を向く外側面と前記外側面とは反対方向を向く内側面とを有する壁部と、
前記主開口及び前記装置開口を開閉する開閉部と、
前記装置開口における少なくともいずれか１つの辺に沿って設けられており、前記壁部の前記内側面から突出し、前記装置開口に近い開口側と前記装置開口から遠い外部側とに前記内側面を仕切るカバー部材と、
前記カバー部材に対して相対移動可能に接続されるカバー付属可動板と、を有し、
前記カバー付属可動板は、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に一部が重なる遮蔽位置と、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に重なる面積が前記遮蔽位置より狭い退避位置と、の間で移動されることを特徴とする。

【0008】

本発明に係るロードポート装置は、カバー部材に対して相対移動可能に接続されるカバー付属可動板を有しており、カバー付属可動板が遮蔽位置に移動することにより装置開口及びこれに連通する主開口を遮蔽し、容器の主開口を開放した状態においても、容器内部を清浄な状態に保つことができる。また、カバー付属可動板は、チャンバとは異なり形状がシンプルであり、小型でシンプルな駆動部によって移動させることができるため、パーティクルの発生を防止し、容器内部及びウエハ搬送室の清浄度向上に資する。また、カバー付属可動板は、退避位置に移動することにより、搬送アーム等によるウエハの搬送に支障をきたすこともない。

【0009】

また、例えば、前記カバー部材は、前記装置開口における前記辺の一つである上辺に沿って設けられる庇部を有してもよく、
前記カバー付属可動板は、前記庇部に対して相対移動可能に接続されてもよい。

【0010】

カバー付属可動板が上辺に沿って設けられる庇部に接続されているため、このようなカバー付属可動板は、搬送室内に形成されるダウンフロー等が容器の主開口周辺の気流を乱す問題を好適に防止し、容器の主開口を開放した状態においても、容器内部を清浄な状態に保つことができる。また、従来の庇部とは異なり、庇部に取り付けられたカバー付属可動板は、装置開口に一部が重なる遮蔽位置まで延出することができるため、ダウンフロー等から容器の主開口周辺を好適に保護し、容器内部を清浄な状態に保つことができる。

【0011】

また、例えば、前記庇部は、前記内側面から斜め下方に延出する庇上面を有してもよく、
前記カバー付属可動板は、前記庇上面に沿って、前記庇部に対して相対移動してもよい。

【0012】

カバー付属可動板が、庇上面に沿って斜めに移動することにより、主開口周辺だけでなく、カバー付属可動板の下方についても、広くダウンフローによる気流の乱れを防止することができるため、パーティクルの巻き上げや容器内へのパーティクルの流入を防止できる。

【0013】

また、例えば、前記開閉部は、前記装置開口を閉鎖する閉鎖位置と前記装置開口を開放する開放位置との間で移動されるドアを有してもよく、
前記ドアに対して相対移動可能に接続されており、前記ドアが前記開放位置にある状態において、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に一部が重なる遮蔽位置と、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に重ならない退避位置と、の間で移動されるドア付属可動板をさらに有してもよい。

【0014】

このようなロードポート装置は、カバー付属可動板に加えて、ドア付属可動板が遮蔽位置に移動することにより、容器の主開口を開放した状態においても、容器内部を清浄な状態に保つことができる。また、２つの可動板を有するため主開口を効果的に保護することが可能であり、また、２つの可動板を搬送アームの動きに応じて移動させることにより、主開口の広い範囲を、搬送アームの動きを阻害しないように保護することが可能である。

【0015】

また、例えば、前記カバー付属可動板は、前記遮蔽位置であって前記装置開口に重なる面積が互いに異なる第１遮蔽位置と第２遮蔽位置とで停止することが可能であってもよく、前記ウエハを搬送するウエハ搬送アームの動きに応じて、停止する位置が変化してもよい。

【0016】

カバー付属可動板の停止位置は、遮蔽位置と退避位置の２箇所に限定されず、カバー付属可動板は第１遮蔽位置と第２遮蔽位置の２つの遮蔽位置に停止することにより、ウエハ搬送アームの動きに応じて開口周辺を広範囲に保護することができる。

【0017】

また、例えば、本発明に係るロードポート装置は、前記カバー部材に対して前記開口側に設けられており、前記装置開口及び前記主開口を介して前記容器の内部に清浄化ガスを導入するフロントガス導入部をさらに有してもよい。

【0018】

前記カバー付属可動板は、開口側に設けられるフロントガス導入部の気流が、ダウンフロー等によって乱される問題を防止することができるため、このようなロードポート装置は、容器内を効果的に清浄化することが可能である。

【0019】

本発明の第２の観点に係るロードポート装置は、
ウエハを出し入れするための主開口が側面に形成された容器を載置する載置台と、
前記主開口に連通する装置開口が形成されており、前記載置台側を向く外側面と前記外側面とは反対方向を向く内側面とを有する壁部と、
前記装置開口を閉鎖する閉鎖位置と前記装置開口を開放する開放位置との間で移動されるドアを有し、前記主開口及び前記装置開口を開閉する開閉部と、
前記ドアに対して相対移動可能に接続されるドア付属可動板と、を有し、
前記ドア付属可動板は、前記ドアが前記開放位置にある状態において、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に一部が重なる遮蔽位置と、前記壁部に垂直な方向から見て前記装置開口に重なる面積が前記遮蔽位置より狭い退避位置と、の間で移動されることを特徴とする。

【0020】

本発明の第２の観点に係るロードポート装置は、ドアに対して相対移動可能に接続されるドア付属可動板を有しており、ドア付属可動板が遮蔽位置に移動することにより装置開口及びこれに連通する主開口を遮蔽し、容器の主開口を開放した状態においても、容器内部を清浄な状態に保つことができる。また、ドア付属可動板は、チャンバとは異なり形状がシンプルであり、小型でシンプルな駆動部によって移動させることができるため、パーティクルの発生を防止し、容器内部及びウエハ搬送室の清浄度向上に資する。また、ドア付属可動板は、退避位置に移動することにより、搬送アーム等によるウエハの搬送に支障をきたすこともない。さらに、ドアは装置開口を閉鎖できる大きさを有しているため、比較的大きなドア付属可動板を、コンパクトに接続することが可能であり、小型化の点で有利である。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】図１は本発明の一実施形態に係るロードポート装置及びロードポート装置を含むＥＦＥＭの概略図である。

【図2】図２は、図１に示すロードポート装置を、壁部の内側面側から見た概略斜視図である。

【図3】図３（ａ）は、カバー付属可動板が退避位置にある状態を表す断面図であり、図３（ｂ）は、カバー付属可動板が遮蔽位置にある状態を表す断面図である。

【図4】図４（ａ）は、図３（ａ）に示す退避位置にあるカバー付属可動板を、壁部に垂直な方向から見た側面図であり、図４（ｂ）は、図３（ｂ）に示す遮蔽位置にあるカバー付属可動板を、壁部に垂直な方向から見た側面図である。

【図5】図５（ａ）は、第２実施形態に係るロードポート装置のカバー付属可動板が退避位置にある状態を表す断面図であり、図５（ｂ）は、カバー付属可動板が遮蔽位置にある状態を表す断面図である。

【図6】図６（ａ）は、第３実施形態に係るロードポート装置のドア付属可動板が退避位置にある状態を表す断面図であり、図６（ｂ）は、ドア付属可動板が遮蔽位置にある状態を表す断面図である。

【図7】図７（ａ）は、図６（ａ）に示す退避位置にあるドア付属可動板を、壁部に垂直な方向から見た側面図であり、図７（ｂ）は、図６（ｂ）に示す遮蔽位置にあるドア付属可動板を、壁部に垂直な方向から見た側面図である。

【図8】図８（ａ）は、第４実施形態に係るロードポート装置のカバー付属可動板及びドア付属可動板が退避位置にある状態を表す断面図であり、図８（ｂ）は、カバー付属可動板及びドア付属可動板が遮蔽位置にある状態を表す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るロードポート装置１０及びロードポート装置１０を含むＥＦＥＭ５０の概略図である。ＥＦＥＭ（イーフェム、Equipment front end module)５０は、ロードポート装置１０の他に、ミニエンバイロメント装置５１を有する。

【0023】

ミニエンバイロメント装置５１は、ウエハ搬送室５２と、ウエハ搬送機５４と、ファンフィルタユニット５６等を有する。ウエハ搬送機５４は、ウエハ１を掴むことができるアーム５４ａと、アーム５４ａを移動させるアーム駆動部５４ｂを有しており、ウエハ１を搬送する。ウエハ搬送機５４は、フープ２の内部に収容してあるウエハ１を、クリーン状態に維持されたウエハ搬送室５２を介して、図示しない処理室の内部に移動させることができる。また、ウエハ搬送機５４は、処理室において処理が終了したウエハ１を、処理室からフープ２の内部に移動させることができる。

【0024】

ウエハ搬送室５２は、ウエハ１を搬送する容器としてのフープ２と処理室（不図示）とを連結する空間である。後述するロードポート装置１０は、ウエハ搬送室５２の端部に設けられており、ロードポート装置１０の壁部１１は、ウエハ搬送室５２の外壁に形成された開口を塞ぐように、ウエハ搬送室５２に組み込まれている。

【0025】

ウエハ搬送室５２の天井部には、送風手段としてのファン５６ａと、パーティクル等を除去するフィルタ５６ｂとを有するファンフィルタユニット５６が設けられており、ファンフィルタユニット５６は、ウエハ搬送室５２にダウンフローを形成する。ファン５６ａは、例えば、回転方向に対して傾斜した羽根と、羽根を回転させるためのモータを有する。ファン５６ａは、フィルタ５６ｂの直上に設けられる。フィルタ５６ｂとしては特に限定されないが、たとえばパーティクル除去フィルタとケミカルフィルタとを組み合わせたものを用いることができ、ウエハ搬送室５２を満たす気体中に存在するパーティクルや汚染物質を除去することができる。なお、ファンフィルタユニット５６は、ファン５６ａのような送風手段とフィルタ５６ｂを有していればよく、ファンフィルタユニット５６には、送風手段とフィルタとが別々に配置されるものも含まれる。

【0026】

ロードポート装置１０は、フープ（Front Opening Unified Pod)２を載置する載置台１４を有している。フープ２は、例えば天井搬送システム等によって、載置台１４の上まで搬送される。

【0027】

載置台１４の上部に載置されるフープ２は、収容物としての複数のウエハ１を密封して保管及び搬送する。フープ２の内部には、ウエハ１を内部に収めるための空間が形成されている。フープ２は、箱状の形状を有しており、フープ２が有する複数の側面の一つには、フープ２の内部に収容したウエハ１を出し入れする主開口２ｂが形成されている。また、フープ２は、主開口２ｂを密閉するための蓋４を備えている。

【0028】

ロードポート装置１０は、載置台１４に載置されたフープ２の主開口２ｂを、ウエハ搬送室５２に気密に接続することができる。すなわち、ロードポート装置１０は、フープ２の主開口２ｂと壁部１１に形成された装置開口１３とを開閉するための開閉部１８を有している。ロードポート装置１０は、載置台１４を移動させることにより、図１に示すように、フープ２の主開口２ｂを装置開口１３に接続する。これにより、壁部１１の装置開口１３は、フープ２の主開口２ｂに連通する。フープ２の主開口２ｂおよび壁部１１に形成される装置開口１３は、いずれも略矩形である。

【0029】

ロードポート装置１０の開閉部１８は、装置開口１３に接続した主開口２ｂを閉鎖している蓋４を主開口２ｂから取り外し、主開口２ｂおよび装置開口１３を介して、フープ２内部とウエハ搬送室５２とを連通させることができる。すなわち、開閉部１８は、装置開口１３を閉鎖するドア１８ａと、ドア１８ａを移動させるドア駆動部１８ｂとを有しており、ドア１８ａは、装置開口１３を閉鎖する閉鎖位置（図１及び図２参照）と、装置開口１３を開放する開放位置（図３（ａ）及び図３（ｂ）参照）との間で移動される。ドア駆動部１８ｂは、ドア１８ａとともに、ドア１８ａに係合したフープ２の蓋４を、ウエハ搬送室５２の内部に移動させることができる（図３参照）。

【0030】

また、ロードポート装置１０は、フープ２の内部に清浄化ガスを導入するガス導入部としてのボトムガス導入部１６と、フロントガス導入部１７とを有している。ボトムガス導入部１６は、フープ２の底面に設けられた底孔５、６に対して、載置台１４から突出して接続可能なガス導入ノズルを有しており、底孔５、６から清浄化ガスをフープ２内に導入する。なお、ボトムガス導入部１６は、フープ２内部とウエハ搬送室５２とが連通した状態において、フープ２内部に清浄化ガスを導入することができるが、このような場合だけでなく、フープ２の主開口２ｂが蓋４で閉鎖されている状態でも、フープ２内部に清浄化ガスを導入することができる。

【0031】

図１に示すように、フロントガス導入部１７は、壁部１１の内側面１１ａに備えられ、主開口２ｂおよび装置開口１３を介して、清浄化ガスをフープ２内に導入する。フロントガス導入部１７は、装置開口１３の２つの側辺１３ｂ（図２参照）に沿ってそれぞれ設けられているガス放出ノズルを有している。

【0032】

図１に示すように、フロントガス導入部１７は、壁部１１の内側面１１ａのうち、後述するカバー部材２０（図２等参照）に対して、装置開口１３に近い開口側１１ａａ（図２参照）に配置されており、装置開口１３に隣接して配置されるガス放出ノズルから清浄化ガスを放出することにより、フープ２内に清浄化ガスを導入する。したがって、フロントガス導入部１７は、ボトムガス導入部１６とは異なり、フープ２内部とウエハ搬送室５２とが連通した状態のみで、フープ２内部に清浄化ガスを導入することができる。

【0033】

ボトムガス導入部１６およびフロントガス導入部１７には、図示しない配管部を介して清浄化ガスが供給される。ボトムガス導入部１６およびフロントガス導入部１７によってフープ２内部に導入される清浄化ガスは特に限定されないが、例えば窒素ガス等が好適に用いられる。

【0034】

図２は、図１に示すロードポート装置１０を、壁部１１の内側面１１ａ側から見た概略斜視図である。なお、図２では、説明の便宜上、図１に示すフロントガス導入部１７およびフープ２については図示していない。

【0035】

図２に示すように、ロードポート装置１０の壁部１１は、フープ２が載置される載置台１４側を向く外側面１１ｂと、外側面１１ｂとは反対方向であるウエハ搬送室５２側を向く内側面１１ａとを有している。内側面１１ａには、装置開口１３における上辺１３ａ及び２つの側辺１３ｂに沿って、カバー部材２０が設けられている。カバー部材２０は、壁部１１の内側面１１ａから突出し、装置開口１３に近い開口側１１ａａと装置開口１３から遠い外部側１１ａｂとに内側面１１ａを仕切っている。

【0036】

カバー部材２０は、装置開口１３における辺の一つである上辺１３ａに沿って設けられる庇部２２と、装置開口１３における他の辺である側辺１３ｂに沿って設けられる側方庇部２４とを有している。カバー部材２０は、装置開口１３の上辺１３ａ及び一対の側辺１３ｂに沿って設けられており、下辺１３ｃ側の除く３方向から装置開口１３を囲っている。

【0037】

図２に示すように、庇部２２は、壁部１１の内側面１１ａから斜め下方に延出する庇上面２２ｂと、庇上面２２ｂの先端から下方に向けて内側面１１ａと略平行に延びる庇折り返し部２２ａとを有している。図１に示すように、ウエハ搬送室５２の上方にはファンフィルタユニット５６が備えられており、ウエハ搬送室５２の大部分には、上方から下方へ向かうダウンフローが形成されている。庇部２２は、ウエハ搬送室５２内のダウンフローを遮り、比較的清浄度の低い気体が装置開口１３を介してフープ２内に流入することを防止する。

【0038】

側方庇部２４の基部は、壁部１１の内側面１１ａから略垂直に突出しており、側方から装置開口１３に向けて、比較的清浄度の低い気体が流れ込むことを防止している。側方庇部２４は、基部の先端から装置開口１３側へ、内側面１１ａと略平行に延びる側方庇折り返し部２４ａを有している。庇部２２と側方庇部２４とは、一体に接続されており、装置開口１３を囲むカバー部材２０を構成している。

【0039】

図２に示すように、ロードポート装置１０は、カバー部材２０に対して接続されるカバー付属可動板３０を有している。図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、カバー付属可動板３０は、図示省略の駆動部によって駆動されることにより、カバー部材２０の庇部２２に対して相対移動可能である。カバー付属可動板３０の駆動部は、特に限定されないが、例えばステッピングモータ、サーボモータ、リニアモータ等を採用することができる。

【0040】

図２に示すように、カバー付属可動板３０は、矩形平板状の外形状を有しており、カバー部材２０における庇部２２の庇上面２２ｂに接続されている。

【0041】

図３（ａ）は、カバー付属可動板３０が退避位置にある状態を表す断面図であり、図３（ｂ）は、カバー付属可動板３０が遮蔽位置にある状態を表す断面図である。カバー付属可動板３０は、図示しない駆動部により、図３（ａ）に示す退避位置と、図３（ｂ）に示す遮蔽位置との間で移動される。図３（ａ）に示す退避位置にあるカバー付属可動板３０は、庇上面２２ｂに沿って斜め下方に相対移動することにより、図３（ｂ）に示す遮蔽位置まで移動する。また、図３（ｂ）に示す遮蔽位置にあるカバー付属可動板３０は、庇上面２２ｂに沿って斜め上方に相対移動することにより、図３（ａ）に示す退避位置に移動する。

【0042】

図４（ａ）は、退避位置にあるカバー付属可動板３０を、壁部１１に垂直な方向（Ｙ軸正方向側）から見た側面図であり、図４（ｂ）は、遮蔽位置にあるカバー付属可動板３０を、壁部１１に垂直な方向（Ｙ軸正方向側）から見た側面図である。なお、図３（ａ）、図３（ｂ）、図４（ａ）及び図４（ｂ）では、説明の便宜上、図１に示すフロントガス導入部１７については図示していない。

【0043】

図４（ｂ）に示すように、遮蔽位置にあるカバー付属可動板３０は、壁部１１に垂直な方向から見て装置開口１３に一部が重なる（領域Ａ）。これに対して、図４（ａ）に示すように、退避位置にあるカバー付属可動板３０は、壁部１１に垂直な方向から見て装置開口１３に重なる面積が遮蔽位置より狭く、本実施形態では装置開口１３とは重ならない。

【0044】

カバー付属可動板３０の位置は、ロードポート装置１０又はＥＦＥＭ５０の制御部によって制御される。カバー付属可動板３０は、少なくとも遮蔽位置と退避位置で停止することが可能であるが、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示す以外の位置で停止することが可能であってもよい。

【0045】

たとえば、カバー付属可動板３０は、装置開口１３に重なる面積が互いに異なる第１遮蔽位置と第２遮蔽位置を含む複数の遮蔽位置と、これらの遮蔽位置より装置開口１３に重なる面積が少ない退避位置とで、停止することが可能であってもよい。この場合において、カバー付属可動板３０は、例えば、ウエハ１を搬送するウエハ搬送機５４のアーム５４ａの動きに応じて、停止する位置が変化することで、アーム５４ａに干渉する問題を避けつつ、効果的にフープ２内の環境を保護することができる。

【0046】

ロードポート装置１０は、カバー付属可動板３０の停止位置を、開閉機構１８によるドア１８ａの開閉状態や、フロントガス導入部１７によるフープ２内への清浄化ガスの導入動作や、ウエハ搬送機５４の動きに応じて変化させることができる。たとえば、カバー付属可動板３０は、ドア１８ａが閉鎖位置から開放位置まで移動するまでの間は遮蔽位置に位置し、ドア１８ａが開放位置に移動してウエハ搬送機５４のアーム５４ａがウエハ１の搬送を行っている間は、退避位置に位置してもよい。また、ウエハ搬送機５４がウエハ１の搬送を行っている間であっても、アーム５４ａの移動経路がカバー付属可動板３０の遮蔽位置に干渉しない場合（たとえばフープ２下部のウエハ１を搬送する場合など）は、カバー付属可動板３０を遮蔽位置に位置させてもよい。

【0047】

上述のようなロードポート装置１０は、カバー付属可動板３０が図３（ｂ）及び図４（ｂ）に示すように遮蔽位置に移動することにより、装置開口１３及びこれに連通する主開口２ｂを、ウエハ搬送室５２内のダウンフロー等から遮蔽し、フープ２の主開口２ｂを開放した状態においても、フープ２内部を清浄な状態に保つことができる。また、庇部２２に取り付けられたカバー付属可動板３０は、装置開口１３に一部が重なる遮蔽位置まで延出することができるため、ダウンフロー等からフープ２の主開口２ｂ周辺を好適に保護し、フープ２内部を清浄な状態に保つことができる。また、カバー付属可動板３９は、アーム５４ａが装置開口１３を通過する時などは、図３（ａ）及び図４（ａ）に示す退避位置に移動することができるため、ウエハ搬送機５４によるウエハ１の搬送に支障をきたすこともない。

【0048】

また、図３（ｂ）に示すように、カバー付属可動板３０は、庇上面２２ｂに沿って斜めに移動することにより、主開口２ｂ周辺だけでなく、カバー付属可動板３０の下方についても、広くダウンフローによる気流の乱れを防止することができるため、パーティクルの巻き上げやフープ２内へのパーティクル等の流入を防止できる。また、カバー部材２０より開口側１１ａａに設けられるフロントガス導入部１７から放出される清浄化ガスの気流が乱されることを防止し、フープ２内の清浄度を高めることができる。また、ロードポート装置１０は、カバー付属可動板３０が斜め下方に延出するため、たとえカバー付属可動板３０が遮蔽位置にある場合でも、開閉部１８によるドア１８ａの移動経路に干渉する問題が生じ難く、効果的にフープ２内の環境を保護できる。

【0049】

第２実施形態
図５は、第２実施形態に係るロードポート装置１１０を表す概略断面図であり、図５（ａ）は、カバー付属可動板１３０が退避位置にある状態を表す断面図であり、図５（ｂ）は、カバー付属可動板３０が遮蔽位置にある状態を表す断面図である。第２実施形態に係るロードポート装置１１０は、カバー付属可動板１３０が、庇上面２２ｂではなく、庇折り返し部２２ａに沿って移動する点が異なるが、その他の点は第１実施形態に係るロードポート装置１０と同様である。したがって、ロードポート装置１１０の説明では、ロードポート装置１０との相違点のみ説明し、共通点については説明を省略する。

【0050】

図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、カバー付属可動板１３０は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すカバー付属可動板３０と同様に略矩形平板状であり、カバー部材２０における庇部２２に対して、相対移動可能に接続されている。しかしながら、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すカバー付属可動板１３０は、壁部１１の内側面１１ａに略平行な庇折り返し部２２ａに沿って、上下に移動する。

【0051】

図５（ｂ）に示すように、カバー付属可動板１３０は、内側面１１ａに略平行に移動するため、遮蔽位置にあるカバー付属可動板１３０が装置開口１３に重なる面積が広い。したがって、図５（ｂ）に示すカバー付属可動板１３０は、図３（ｂ）に示すカバー付属可動板３０と同じ大きさであったとしても、装置開口１３およびこれに連通する主開口２ｂを、より効果的に保護できる。

【0052】

その他、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すロードポート装置１１０も、第１実施形態に係るロードポート装置１０と同様の効果を奏する。ただし、図５（ｂ）に示す遮蔽位置にあるカバー付属可動板１３０が、開閉部１８によるドア１８ａの移動経路に干渉するような場合には、ロードポート装置１１０は、開閉部１８によるドア１８ａの移動動作に応じてカバー付属可動板１３０の位置を変化させ、ドア１８ａとカバー付属可動板１３０との干渉を回避できる。

【0053】

第３実施形態
図６は、第３実施形態に係るロードポート装置２１０を表す概略断面図であり、図６（ａ）は、ドア付属可動板２３０が退避位置にある状態を表す断面図であり、図６（ｂ）は、ドア付属可動板２３０が遮蔽位置にある状態を表す断面図である。第３実施形態に係るロードポート装置２１０は、図３に示すカバー付属可動板３０の代わりに、ドア付属可動板２３０を有する点で異なるが、その他の点は第１実施形態に係るロードポート装置１０と同様である。したがって、ロードポート装置２１０の説明では、ロードポート装置１０との相違点のみ説明し、共通点については説明を省略する。

【0054】

ドア付属可動板２３０は、略矩形平板状の外形状を有しており、開閉部１８のドア１８ａに対して、相対移動可能に接続されている。ドア付属可動板２３０の駆動部としては、特に限定されないが、図３に示すカバー付属可動板３０と同様に、例えばドア１８ａに搭載可能な小型のステッピングモータ、サーボモータ、リニアモータ等を採用することができる。

【0055】

ドア付属可動板２３０は、図示しない駆動部により、図６（ａ）に示す退避位置と、図６（ｂ）に示す遮蔽位置との間で移動される。図６（ａ）に示す退避位置にあるドア付属可動板２３０は、開放位置にあるドア１８ａに沿って上方へ相対移動することにより、図６（ｂ）に示す遮蔽位置まで移動する。また、図６（ｂ）に示す遮蔽位置にあるドア付属可動板２３０は、ドア１８ａに沿って下方に相対移動することにより、図６（ａ）に示す退避位置に移動する。

【0056】

また、ドア付属可動板２３０はドア１８ａに接続されているため、開閉部１８のドア駆動部１８ｂによって、ドア１８ａとともに移動される。ドア１８ａが装置開口１３を閉鎖する閉鎖位置にある場合や、ドア１８ａが閉鎖位置と開放位置の間を移動中の場合は、ドア付属可動板２３０は、ドア１８ａの背面に重なる状態に収納された退避位置にある。したがって、ドア付属可動板２３０は、ドア１８ａと伴に移動する際に、カバー部材２０等の周辺部材に衝突するなどの問題を適切に回避できる。

【0057】

図７（ａ）は、ドア１８ａが開放位置にある状態において、退避位置にあるドア付属可動板２３０を、壁部１１に垂直な方向（Ｙ軸正方向側）から見た側面図である。また、図４（ｂ）は、図７（ａ）と同様にドア１８ａが開放位置にある状態において、遮蔽位置にあるドア付属可動板２３０を、壁部１１に垂直な方向（Ｙ軸正方向側）から見た側面図である。

【0058】

図７（ｂ）に示すように、遮蔽位置にあるドア付属可動板２３０は、壁部１１に垂直な方向から見て装置開口１３に一部が重なる（領域Ａ）。これに対して、図７（ａ）に示すように、退避位置にあるドア付属可動板２３０は、壁部１１に垂直な方向から見て装置開口１３に重なる面積が遮蔽位置より狭く、本実施形態では装置開口１３とは重ならない。

【0059】

ロードポート装置２１０は、ドア付属可動板２３０の停止位置を、フロントガス導入部によるフープ２内への清浄化ガスの導入動作や、ウエハ搬送機５４の動きに応じて変化させることができる。たとえば、ロードポート装置２１０は、ウエハ１の搬送開始前においてフロントガス導入部からフープ２内へ清浄化ガスを導入する間、ドア付属可動板２３０を遮蔽位置に位置させ、ウエハ搬送機５４がウエハ１の搬送を行っている間は、退避位置に位置させてもよい。また、ウエハ搬送機５４がウエハ１の搬送を行っている間であっても、アーム５４ａの移動経路がドア付属可動板２３０の遮蔽位置に干渉しない場合（たとえばフープ２上部のウエハ１を搬送する場合など）は、ドア付属可動板２３０を遮蔽位置に位置させてもよい。

【0060】

退避位置にあるドア付属可動板２３０は、開放位置にあるドア１８ａと同様に、壁部１１に垂直な方向から見て装置開口１３とは重ならない位置にあるため、ウエハ搬送機５４のアーム５４ａ等が、ドア付属可動板２３０が衝突することを回避できる。

【0061】

ドア付属可動板２３０は、少なくとも図７（ａ）に示す退避位置と及び図７（ｂ）に示す遮蔽位置とで停止することが可能であるが、図７（ａ）及び図７（ｂ）に示す以外の位置で停止することが可能であってもよい。また、ドア付属可動板２３０は、ドア１８ａに対して最も上方に相対移動する遮蔽位置（図７（ｂ））において、装置開口１３の全部を遮蔽する必要はなく、装置開口１３の一部と重なる状態であればよい。

【0062】

このようなドア付属可動板２３０を有するロードポート装置２１０は、第１実施形態に係るロードポート装置１０と同様の効果を奏し、フープ２内へのパーティクルや清浄度の低い気体の流入を防止し、フープ２内の環境を保護することができる。また、ドア付属可動板２３０が接続するドア１８ａは、装置開口１３を閉鎖できる大きさを有しているため、比較的大きなドア付属可動板２３０を、コンパクトに接続することが可能であり、ロードポート装置２１０の小型化の点で有利である。また、ドア付属可動板２３０は、特に装置開口１３の下方側を遮蔽するため、巻き上げられたパーティクル等から、装置開口１３を効果的に遮蔽できる。

【0063】

なお、本実施形態に係るロードポート装置２１０では、ドア付属可動板２３０は、ドア１８ａに対して上方向に相対移動して装置開口１３を遮蔽するが、ドア付属可動板の移動方向としてはこれに限定されない。例えば、開閉機構が、ドア１８ａを装置開口１３に対して上方又は側方に移動させる場合、ドア付属可動板は、ドア１８ａに対して下方向又は側方に相対移動して、装置開口１３を遮蔽することができる。

【0064】

第４実施形態
図８は、第４実施形態に係るロードポート装置３１０を表す概略断面図であり、図８（ａ）は、カバー付属可動板３０及びドア付属可動板２３０が退避位置にある状態を表す断面図であり、図８（ｂ）は、カバー付属可動板３０及びドア付属可動板２３０が遮蔽位置にある状態を表す断面図である。第４実施形態に係るロードポート装置１０は、第１実施形態に係るカバー付属可動板３０と第３実施形態に係るドア付属可動板２３０の両方を有する点で、第１又は第３実施形態に係るロードポート装置１０、２１０とは異なるが、カバー付属可動板３０及びドア付属可動板２３０自体は、第１又は第３実施形態で説明したものと同様である。

【0065】

第４実施形態に係るロードポート装置３１０は、カバー付属可動板３０とドア付属可動板２３０の両方を有しているため、図８（ｂ）に示すように、カバー付属可動板３０とドア付属可動板２３０の両方を遮蔽位置に移動させることにより、ウエハ搬送室５２内に流れる比較的清浄度の低い気体等から、装置開口１３及びフープ２を効果的に遮蔽することができる。

【0066】

また、ロードポート装置３１０は、上方に退避するカバー付属可動板３０と、下方に退避するドア付属可動板２３０とを有している。したがって、ロードポート装置は、例えば、ウエハ搬送機５４のアーム５４ａが通過できるように、カバー付属可動板３０とドア付属可動板２３０との間に形成される隙間の位置を調整することにより、ウエハの搬送中であっても、装置開口１３及びフープ２の主開口２ｂを効果的に遮蔽することが可能である。その他、ロードポート装置３１０は、第１及び第３実施形態に係るロードポート装置１０、２１０と同様の効果を奏する。

【0067】

上述した実施形態は、本発明に含まれる実施形態の幾つかを例示したものであり、本発明を何ら限定するものではなく、また、本発明には他の実施形態が含まれることは言うまでもない。例えば、上述の実施形態において、カバー付属可動板３０、１３０やドア付属可動板２３０は、遮蔽位置と退避位置との間を平行移動するが、カバー付属可動板およびドア付属可動板の移動形態はこれに限定されない。たとえば、カバー付属可動板およびドア付属可動板は、回動することにより遮蔽位置と退避位置との間を移動するものであってもよい。また、カバー付属可動板は、庇部２２ではなく、側方庇部２４に対して相対移動可能に接続されていてもよい。

【符号の説明】

【0068】

１… ウエハ
２… フープ
４… 蓋
５、６…底孔
１０、１１０、２１０、３１０…ロードポート装置
１１…壁部
１１ａ…内側面
１１ｂ…外側面
１３…装置開口
１３ａ…上辺
１３ｂ…側辺
１４…載置台
１６…ボトムガス導入部
１７…フロントガス導入部
１８…開閉部
１８ａ…ドア
１８ｂ…ドア駆動部
２０…カバー部材
２２…庇部
２２ａ…庇折り返し部
２２ｂ…庇上面
２４…側方庇部
２４ａ…側方庇折り返し部
３０、１３０…カバー付属可動板
２３０…ドア付属可動板
５０…ＥＦＥＭ
５１…ミニエンバイロメント装置
５２…ウエハ搬送室
５４…ウエハ搬送機
５４ａ…アーム
５６…ファンフィルタユニット
５６ａ…ファン
５６ｂ…フィルタ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】