特許 6875936 基板支持装置及びこれを備えた部品実装機

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6875936

(24)【登録日】2021年4月27日

(45)【発行日】2021年5月26日

(54)【発明の名称】基板支持装置及びこれを備えた部品実装機

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/04 20060101AFI20210517BHJP

【ＦＩ】

   H05K13/04 P

【請求項の数】5

【全頁数】18

(21)【出願番号】特願2017-115587(P2017-115587)

(22)【出願日】2017年6月13日

(65)【公開番号】特開2019-3984(P2019-3984A)

(43)【公開日】2019年1月10日

【審査請求日】2019年12月17日

【前置審査】

(73)【特許権者】

【識別番号】000010076

【氏名又は名称】ヤマハ発動機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100115381

【弁理士】

【氏名又は名称】小谷 昌崇

(74)【代理人】

【識別番号】100067828

【弁理士】

【氏名又は名称】小谷 悦司

(74)【代理人】

【識別番号】100127797

【弁理士】

【氏名又は名称】平田 晴洋

(72)【発明者】

【氏名】兒島 正志

【審査官】 小川 悟史

(56)【参考文献】

【文献】 実開平０２−１３１４００（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 実開平０５−０２８１００（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２００４−１１１４８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開平０２−１３６３９９（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 実開平０２−１３６３９８（ＪＰ，Ｕ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０５Ｋ １３／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板に部品を搭載する部品実装機における、前記基板と下方側で対向する基台に設けられ、前記基板を支持する基板支持装置であって、
前記基板を下方側から支持するためのバックアップピンと、
前記基台の上方側に配置され、前記バックアップピンが上面に取り付けられるバックアッププレートと、
前記基台と前記バックアッププレートとの間において、上下方向に移動する可動部を有する１つのアクチュエータと、
前記基台上に配置される支点部と前記可動部に接続される力点部と前記バックアッププレートの下面を支持する作用点部とを有する複数のリンク部材と、を備え、
前記複数のリンク部材の各々は、前記力点部に入力された前記可動部の移動に基づき、前記支点部を中心に前記作用点部が上下方向に揺動することにより、前記バックアップピンが前記基板を支持する基板支持位置と、前記バックアップピンが前記基板から下方側に退避した退避位置との間で前記バックアッププレートを、水平姿勢を保ちながら上下方向に昇降させ、
前記バックアッププレートは、矩形平板状に形成され、
前記アクチュエータにおいて、前記可動部は、前記バックアッププレートの中心を通る垂線上を上下方向に移動し、
前記バックアッププレートの四隅にそれぞれ対応して、４つの前記リンク部材が設けられ、
前記４つのリンク部材の各々において、前記作用点部は前記バックアッププレートの下面の隅部を支持し、前記支点部と前記力点部との長さが前記支点部と前記作用点部との長さよりも長い、基板支持装置。

【請求項2】

前記４つのリンク部材の各々は、一端部が前記力点部を構成する第１アームと、一端部が前記作用点部を構成する第２アームとを有し、前記第１アーム及び前記第２アームの他端部同士が水平軸回りに回動可能に連結されて前記支点部を構成する連結構造体からなり、
前記リンク部材において、
前記支点部は、前記基台上を移動可能であり、
前記力点部は、前記可動部に、水平軸回りに回動可能に固定され、
前記作用点部は、前記バックアッププレートの下面の隅部に、水平軸回りに回動可能に固定される、請求項１に記載の基板支持装置。

【請求項3】

前記４つのリンク部材の各々は、断面Ｌ字形の屈曲形状に形成され、その屈曲部分が前記支点部を構成し、一端部が前記力点部を構成し、他端部が前記作用点部を構成する単一構造体からなり、
前記リンク部材において、
前記支点部は、前記基台に、水平軸回りに回動可能に固定され、
前記力点部は、前記可動部に、水平軸回りに回動可能に固定され、
前記作用点部は、前記バックアッププレートの下面に対して移動可能である、請求項１に記載の基板支持装置。

【請求項4】

前記アクチュエータは、シリンダ本体と、前記シリンダ本体に対して移動する前記可動部としてのピストンロッドと、を含むエアシリンダーである、請求項２又は３に記載の基板支持装置。

【請求項5】

基台と、
前記基台に設けられ、基板を支持する請求項１〜４のいずれか１項に記載の基板支持装置と、
前記基板支持装置により支持された前記基板に部品を搭載するヘッドユニットと、を備える部品実装機。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板を支持する基板支持装置、及びこの基板支持装置を備えた部品実装機に関する。

【背景技術】

【0002】

プリント配線板等の基板上に電子部品（以下、単に「部品」という）を搭載（実装）するための部品実装機において、基板を支持する基板支持装置を備えたものが知られている。この種の基板支持装置が、例えば特許文献１に開示されている。

【0003】

特許文献１に開示される基板支持装置（クイックプッシュアップ機構）は、基板を支持するためのバックアップピン（支持ピン）が立設されたバックアッププレート（クランププレート）と、バックアッププレートの四隅をそれぞれ支持する４つのリンク部材と、各リンク部材を作動させてバックアッププレートを押し上げるシリンダ機構と、を備える。特許文献１に開示される技術では、シリンダ機構は、２つのエアシリンダーを含み、これら２つのエアシリンダーの駆動力が４つのリンク部材にそれぞれ伝達されて、バックアッププレートが昇降される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【特許文献1】特開２００３−８２９０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

特許文献１に開示される技術では、バックアッププレートの四隅をそれぞれ支持する４つのリンク部材が、２つのリンク部材を１組として連結部材で連結されている。そして、２つのリンク部材を１組とした合計２組の連結構造のリンク部材が、２つのエアシリンダーの駆動力によって揺動することにより、バックアッププレートが昇降される。２組の連結構造のリンク部材の揺動が、２つのエアシリンダーの駆動力によって行われるので、その２組の連結構造のリンク部材の揺動の同期を取るのが困難となる。このため、リンク部材によって四隅が支持されたバックアッププレートを、水平姿勢を保ちながら昇降させることが困難となる。この結果、部品が搭載される基板を、水平姿勢を保ちながら支持することが困難となる。

【0006】

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、部品が搭載される基板を、水平姿勢を保ちながら支持することが可能な基板支持装置、及びこの基板支持装置を備えた部品実装機を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明の一の局面に係る基板支持装置は、基板に部品を搭載する部品実装機における、前記基板と下方側で対向する基台に設けられ、前記基板を支持する基板支持装置である。この基板支持装置は、前記基板を下方側から支持するためのバックアップピンと、前記基台の上方側に配置され、前記バックアップピンが上面に取り付けられるバックアッププレートと、前記基台と前記バックアッププレートとの間において、上下方向に移動する可動部を有する１つのアクチュエータと、前記基台上に配置される支点部と前記可動部に接続される力点部と前記バックアッププレートの下面を支持する作用点部とを有する複数のリンク部材と、を備える。前記複数のリンク部材の各々は、前記力点部に入力された前記可動部の移動に基づき、前記支点部を中心に前記作用点部が上下方向に揺動することにより、前記バックアップピンが前記基板を支持する基板支持位置と、前記バックアップピンが前記基板から下方側に退避した退避位置との間で前記バックアッププレートを、水平姿勢を保ちながら上下方向に昇降させる。前記バックアッププレートは、矩形平板状に形成され、前記アクチュエータにおいて、前記可動部は、前記バックアッププレートの中心を通る垂線上を上下方向に移動し、前記バックアッププレートの四隅にそれぞれ対応して、４つの前記リンク部材が設けられる。そして、前記４つのリンク部材の各々において、前記作用点部は前記バックアッププレートの下面の隅部を支持し、前記支点部と前記力点部との長さが前記支点部と前記作用点部との長さよりも長い。

【0010】

この基板支持装置は、部品実装機の基台に設けられる。基板支持装置は、基台の上方側に配置されるバックアッププレートと、基台とバックアッププレートとの間において上下方向に移動する可動部を有する１つのアクチュエータと、複数のリンク部材とを備える。複数のリンク部材の各々は、基台上に配置される支点部と、アクチュエータの可動部に接続される力点部と、バックアッププレートの下面を支持する作用点部とを有する。複数のリンク部材の各々は、力点部に入力された可動部の移動に基づき、支点部を中心に作用点部が上下方向に揺動することにより、バックアッププレートを上下方向に昇降させる。ここで、複数のリンク部材において、バックアッププレートの下面を支持する作用点部の揺動は、力点部が接続された、１つのアクチュエータの可動部の移動に基づくものである。このため、複数のリンク部材の各々における作用点部の揺動は、同期が取れたものとなる。この結果、複数のリンク部材の各々における作用点部によって下面が支持されたバックアッププレートを、水平姿勢を保ちながら昇降させることができる。従って、基板支持装置は、部品が搭載される基板を、水平姿勢を保ちながら支持することができる。
また、４つのリンク部材の各々における作用点部によってバックアッププレートの四隅が支持された構成であるので、バックアッププレートの中央部を支持する構成に比べて、このバックアッププレートの隅部に荷重がかかった場合でも、水平姿勢を保持しやすい。また、４つのリンク部材の各々において、支点部と力点部との長さが、支点部と作用点部との長さよりも長くなるように設定されているので、梃子の原理を利用し、力点部に入力された可動部の移動力よりも大きな力で、作用点部によってバックアッププレートの各隅部を支持することができる。

【0011】

上記の基板支持装置において、前記４つのリンク部材の各々は、一端部が前記力点部を構成する第１アームと、一端部が前記作用点部を構成する第２アームとを有し、前記第１アーム及び前記第２アームの他端部同士が水平軸回りに回動可能に連結されて前記支点部を構成する連結構造体からなる。そして、前記リンク部材において、前記支点部は、前記基台上を移動可能であり、前記力点部は、前記可動部に、水平軸回りに回動可能に固定され、前記作用点部は、前記バックアッププレートの下面の隅部に、水平軸回りに回動可能に固定される。

【0012】

この態様では、４つのリンク部材の各々は、第１アームと第２アームとが連結された連結構造体からなる。このような連結構造体からなるリンク部材を備えた基板支持装置において、バックアップピンが基板を支持する基板支持位置から、バックアップピンが基板から下方側に退避した退避位置へとバックアッププレートを下降させる場合、各リンク部材は次のように動作する。各リンク部材において、力点部を構成する一端部がアクチュエータの可動部に固定された第１アームは、可動部が上方に移動すると、その移動に応じて力点部を中心に水平軸回りに回動する。すなわち、アクチュエータの可動部に固定された、第１アームの一端部で構成される力点部は、可動部が上方に移動すると、その移動に応じて水平軸回りに回動しつつ上方に移動する。各リンク部材において、力点部が回動しつつ上方に移動すると、第１アームと第２アームとの連結部分で構成される支点部は、水平軸回りに回動しつつ、上方から見た平面視でバックアッププレートの隅部から中心に向かって基台上を移動する。そして、各リンク部材において、第２アームは、支点部を中心に、作用点部を構成する一端部がバックアッププレートの中心から離れるように回動する。これにより、バックアッププレートの隅部に固定される第２アームの一端部で構成される作用点部は、水平軸回りに回動しつつ下方に移動する。このため、作用点部によって各隅部が支持されたバックアッププレートは、アクチュエータの可動部の上方への移動に応じて、水平姿勢を保ちながら下降される。

【0013】

一方、第１アームと第２アームとが連結された連結構造体からなる４つのリンク部材を備えた基板支持装置において、退避位置から基板支持位置へとバックアッププレートを上昇させる場合、各リンク部材は次のように動作する。各リンク部材において、力点部を構成する一端部がアクチュエータの可動部に固定された第１アームは、可動部が下方に移動すると、その移動に応じて力点部を中心に水平軸回りに回動する。すなわち、アクチュエータの可動部に固定された、第１アームの一端部で構成される力点部は、可動部が下方に移動すると、その移動に応じて水平軸回りに回動しつつ下方に移動する。各リンク部材において、力点部が回動しつつ下方に移動すると、第１アームと第２アームとの連結部分で構成される支点部は、水平軸回りに回動しつつ、上方から見た平面視でバックアッププレートの中心から隅部に向かって基台上を移動する。そして、各リンク部材において、第２アームは、支点部を中心に、作用点部を構成する一端部がバックアッププレートの中心に近づくように回動する。これにより、バックアッププレートの隅部に固定される第２アームの一端部で構成される作用点部は、水平軸回りに回動しつつ上方に移動する。このため、作用点部によって各隅部が支持されたバックアッププレートは、アクチュエータの可動部の下方への移動に応じて、水平姿勢を保ちながら上昇される。従って、基板支持装置は、第１アームと第２アームとが連結された連結構造体からなる４つのリンク部材によって、部品が搭載される基板を、水平姿勢を保ちながら支持することができる。

【0014】

上記の基板支持装置において、前記４つのリンク部材の各々は、断面Ｌ字形の屈曲形状に形成され、その屈曲部分が前記支点部を構成し、一端部が前記力点部を構成し、他端部が前記作用点部を構成する単一構造体からなる。そして、前記リンク部材において、前記支点部は、前記基台に、水平軸回りに回動可能に固定され、前記力点部は、前記可動部に、水平軸回りに回動可能に固定され、前記作用点部は、前記バックアッププレートの下面に対して移動可能である。

【0015】

この態様では、４つのリンク部材の各々は、断面Ｌ字形の屈曲形状に形成された単一構造体からなる。このような単一構造体からなるリンク部材を備えた基板支持装置において、基板支持位置から退避位置へとバックアッププレートを下降させる場合、各リンク部材は次のように動作する。各リンク部材において、アクチュエータの可動部に固定された一端部で構成される力点部は、可動部が上方に移動すると、その移動に応じて水平軸回りに回動しつつ上方に移動する。力点部が回動しつつ上方に移動すると、各リンク部材は、バックアッププレートを支持する他端部で構成される作用点部がバックアッププレートの中心から隅部に向かって移動するように、基台に固定された支点部を中心に水平軸回りに回動する。これにより、作用点部によって各隅部が支持されたバックアッププレートは、アクチュエータの可動部の上方への移動に応じて、水平姿勢を保ちながら下降される。

【0016】

一方、断面Ｌ字形の屈曲形状に形成された単一構造体からなるリンク部材を備えた基板支持装置において、退避位置から基板支持位置へとバックアッププレートを上昇させる場合、各リンク部材は次のように動作する。各リンク部材において、アクチュエータの可動部に固定された一端部で構成される力点部は、可動部が下方に移動すると、その移動に応じて水平軸回りに回動しつつ下方に移動する。力点部が回動しつつ下方に移動すると、各リンク部材は、バックアッププレートを支持する他端部で構成される作用点部がバックアッププレートの隅部から中心に向かって移動するように、基台に固定された支点部を中心に水平軸回りに回動する。これにより、作用点部によって各隅部が支持されたバックアッププレートは、アクチュエータの可動部の下方への移動に応じて、水平姿勢を保ちながら上昇される。従って、基板支持装置は、断面Ｌ字形の屈曲形状に形成された単一構造体からなる４つのリンク部材によって、部品が搭載される基板を、水平姿勢を保ちながら支持することができる。

【0017】

上記の基板支持装置において、前記アクチュエータは、シリンダ本体と、前記シリンダ本体に対して移動する前記可動部としてのピストンロッドと、を含むエアシリンダーである。

【0018】

この態様では、４つのリンク部材の各々を動作させる駆動源となるアクチュエータを、エアシリンダーによって実現することができる。４つのリンク部材の動作によってバックアッププレートを昇降させる場合、エアシリンダーのピストンロッドは、次のように移動することになる。すなわち、４つのリンク部材の動作によってバックアッププレートを下降させる場合、ピストンロッドは、シリンダ本体から突出するように上方に移動する。一方、４つのリンク部材の動作によってバックアッププレートを上昇させる場合、ピストンロッドは、シリンダ本体に収納されるように下方に移動する。換言すると、バックアップピンによって基板を支持する、バックアッププレートが基板支持位置まで上昇された状態では、ピストンロッドは、シリンダ本体に収納されるように下方に移動した状態となっている。つまり、バックアップピンによって基板を支持するときには、ピストンロッドは、シリンダ本体から露出する長さが短く、ぐらつきが抑止された状態となっている。このため、ピストンロッドのぐらつきに起因してバックアッププレートの姿勢が変動することを抑制することができ、バックアッププレートが基板支持位置において水平姿勢を保った状態で、基板を支持することができる。

【0019】

本発明の他の局面に係る部品実装機は、基台と、前記基台に設けられ、基板を支持する上記の基板支持装置と、前記基板支持装置により支持された前記基板に部品を搭載するヘッドユニットと、を備える。

【0020】

この部品実装機によれば、部品が搭載される基板を、水平姿勢を保ちながら支持することが可能な基板支持装置を備えている。これにより、ヘッドユニットによる基板に対する部品の搭載精度が高精度に維持される。

【発明の効果】

【0021】

以上説明したように、本発明によれば、部品が搭載される基板を、水平姿勢を保ちながら支持することが可能な基板支持装置、及びこの基板支持装置を備えた部品実装機を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】本発明の一実施形態に係る基板支持装置を備えた部品実装機を概略的に示す平面図である。

【図2】部品実装機の本体フレームの構成を示す斜視図である。

【図3】第１実施形態に係る基板支持装置の構成を示す斜視図である。

【図4】図１の部品実装機を切断面線Ａ−Ａから見た断面図であって、第１実施形態に係る基板支持装置の動作を説明するための図である。

【図5】部品実装機の断面図であって、第１実施形態に係る基板支持装置の動作を説明するための図である。

【図6】第２実施形態に係る基板支持装置の構成を示す断面図である。

【図7】第２実施形態に係る基板支持装置の断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0023】

以下、本発明の一実施形態に係る基板支持装置及び部品実装機について図面に基づいて説明する。なお、以下では、方向関係についてはＸＹＺ直交座標軸を用いて説明する。Ｘ軸方向は水平面と平行な方向であり、Ｙ軸方向は水平面上でＸ軸方向と直交する方向であり、Ｚ軸方向はＸ、Ｙ両方向に直交する上下方向である。また、Ｘ軸方向において一方向側を「＋Ｘ側」と称し、Ｘ軸方向において一方向とは反対の他方向側を「−Ｘ側」と称する。Ｙ軸方向において一方向側を「＋Ｙ側」と称し、Ｙ軸方向において一方向とは反対の他方向側を「−Ｙ側」と称する。Ｚ軸方向の上側を「＋Ｚ側」と称し、Ｚ軸方向の下側を「−Ｚ側」と称する。

【0024】

［部品実装機の構成］
図１は、本発明の一実施形態に係る部品実装機１を概略的に示す平面図である。部品実装機１は、基板Ｐに部品を搭載（実装）して実装基板を生産する装置である。部品実装機１は、本体フレーム２と、移動フレーム３と、一対のコンベア４と、基板支持装置５と、部品供給部６と、ヘッドユニット７と、を備える。

【0025】

本体フレーム２は、部品実装機１を構成する各部が配置される構造体である。図２は、部品実装機１の本体フレーム２の構成を示す斜視図である。図２に示すように、本体フレーム２は、基台２１と、一対の第１柱部２２Ａと、一対の第２柱部２２Ｂと、第１梁部２３Ａと、第２梁部２３Ｂと、一対の隆起部２５とを含んで構成され、これらの各部が一体成形されてなる。

【0026】

基台２１は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に延びる平面となる、略矩形状の上面２１Ａを有する。一対の第１柱部２２Ａは、基台２１の上面２１Ａの＋Ｘ側の各隅部から＋Ｚ側（上側）にそれぞれ突出した角柱状の柱部である。一対の第２柱部２２Ｂは、基台２１の上面２１Ａの−Ｘ側の各隅部から＋Ｚ側（上側）にそれぞれ突出した角柱状の柱部である。

【0027】

第１梁部２３Ａは、一対の第１柱部２２Ａの間に架け渡されてＹ軸方向に延びる梁部である。この第１梁部２３Ａの上面２３Ａａには、後述の第１移動機構８及び第１駆動モーター９が配置される。また、第１梁部２３Ａの上面２３Ａａにおいて、−Ｘ側の端縁部には、＋Ｚ側（上側）に突出し、Ｙ軸方向に延びる突出部２３Ａｂが形成されている。この第１梁部２３Ａの突出部２３Ａｂには、第１ガイドレール２３Ａｃが敷設されている。第１ガイドレール２３Ａｃには、後述の移動フレーム３の第１嵌合部３２Ａが嵌合される。

【0028】

第２梁部２３Ｂは、一対の第２柱部２２Ｂの間に架け渡されてＹ軸方向に延びる梁部である。この第２梁部２３Ｂの上面２３Ｂａには、後述の第１移動機構８及び第１駆動モーター９が配置される。また、第２梁部２３Ｂの上面２３Ｂａにおいて、＋Ｘ側の端縁部には、＋Ｚ側（上側）に突出し、Ｙ軸方向に延びる突出部２３Ｂｂが形成されている。この第２梁部２３Ｂの突出部２３Ｂｂには、第２ガイドレール２３Ｂｃが敷設されている。第２ガイドレール２３Ｂｃには、後述の移動フレーム３の第２嵌合部３２Ｂが嵌合される。

【0029】

一対の隆起部２５は、Ｘ軸方向に互いに離間して基台２１の上面２１Ａから＋Ｚ側（上側）に隆起し、Ｙ軸方向に延びる。一対の隆起部２５はそれぞれ、基台２１の上面２１Ａにおいて、一対の第１柱部２２Ａ及び一対の第２柱部２２ＢよりもＸ軸方向の内側に配置される。また、一対の第１柱部２２Ａと第１梁部２３Ａとで囲まれた開口部２４Ａと、一対の第２柱部２２Ｂと第２梁部２３Ｂとで囲まれた開口部２４Ｂとは、それぞれ、一対の隆起部２５に面して開口している。一対の隆起部２５には、開口部２４Ａ，２４Ｂを貫通するようにして、後述の一対のコンベア４が配置される。

【0030】

また、基台２１の上面２１Ａには、＋Ｙ側及び−Ｙ側の各端縁部に沿って、−Ｚ側（下側）に僅かに凹んだ凹部２６Ａ，２６Ｂがそれぞれ形成されている。これらの凹部２６Ａ，２６Ｂには、後述の部品供給部６がそれぞれ配置される。

【0031】

一対のコンベア４は、互いにＹ軸方向に間隔をおいてＸ軸方向に延び、本体フレーム２の一対の隆起部２５に、開口部２４Ａ，２４Ｂを貫通するようにして配置される。一対のコンベア４は、基板ＰをＸ軸方向に搬送する。一対のコンベア４のうち、−Ｙ側のコンベア４は隆起部２５に固定された固定コンベアであり、＋Ｙ側のコンベア４は隆起部２５に対してＹ軸方向に移動可能な可動コンベアである。一対のコンベア４のＹ軸方向の間隔を変更することにより、複数サイズの基板Ｐの搬送が可能となる。

【0032】

一対のコンベア４上を搬送される基板Ｐは、一対の隆起部２５の間に設定された所定の作業位置（基板Ｐ上に部品が搭載される部品搭載作業位置）に、基板支持装置５によって位置決めされるようになっている。この基板支持装置５の詳細については、後述する。

【0033】

部品供給部６は、基台２１の上面２１Ａに形成された各凹部２６Ａ，２６Ｂに配置される。部品供給部６は、基板Ｐに搭載される部品を供給するものであり、例えば、多数列のテープフィーダーを備える。各テープフィーダーは、部品を所定間隔おきに収納、保持したテープがリールから導出されるように構成されるとともに、テープ送り出し端にはテープ送り機構が具備される。多数列のテープフィーダーを備えた部品供給部６は、後述のヘッドユニット７により部品が取り出されるにつれて、テープ送り機構によりテープを間欠的に送り出すように構成される。

【0034】

移動フレーム３は、Ｘ軸方向に延び、本体フレーム２の第１梁部２３Ａ及び第２梁部２３Ｂに、Ｙ軸方向に移動可能に支持される。移動フレーム３は、Ｘ軸方向に延びる本体部３１と、本体部３１の＋Ｘ側の端部に接続される第１嵌合部３２Ａと、本体部３１の−Ｘ側の端部に接続される第２嵌合部３２Ｂとを含んで構成される。移動フレーム３において第１嵌合部３２Ａは、第１梁部２３Ａの突出部２３Ａｂに敷設された第１ガイドレール２３Ａｃに嵌合される。また、移動フレーム３において第２嵌合部３２Ｂは、第２梁部２３Ｂの突出部２３Ｂｂに敷設された第２ガイドレール２３Ｂｃに嵌合される。そして、移動フレーム３は、第１嵌合部３２Ａが第１ガイドレール２３Ａｃに嵌合され、第２嵌合部３２Ｂが第２ガイドレール２３Ｂｃに嵌合された状態で、当該第１ガイドレール２３Ａｃ及び第２ガイドレール２３Ｂｃに沿って移動可能とされる。また、移動フレーム３の本体部３１における−Ｙ側の面には、Ｘ軸方向に延びるガイド部材３３が取り付けられている。このガイド部材３３に、後述のヘッドユニット７が嵌合される。

【0035】

移動フレーム３は、駆動モーター９を駆動源とする移動機構８によってＹ軸方向に移動される。駆動モーター９は、本体フレーム２の第１梁部２３Ａにおける上面２３Ａａの−Ｙ側の端部と、第２梁部２３Ｂにおける上面２３Ｂａの−Ｙ側の端部とに、ブラケット９Ａを介して配設される。移動機構８は、本体フレーム２の第１梁部２３Ａの上面２３Ａａと第２梁部２３Ｂの上面２３Ｂａとに配設される。

【0036】

本実施形態では、移動機構８は、ボールねじ軸８１と、ボールナット８２とを含む。ボールねじ軸８１は、Ｙ軸方向に延びて駆動モーター９と連結され、駆動モーター９の回転に伴って回転駆動される。ボールねじ軸８１の駆動モーター９と連結される側とは反対の＋Ｙ側の端部は、ブラケット８Ａに支持されている。ボールナット８２は、移動フレーム３の第１嵌合部３２Ａ（または第２嵌合部３２Ｂ）に配設され、ボールねじ軸８１と螺合する。ボールナット８２は、ボールねじ軸８１の回転駆動に伴って当該ボールねじ軸８１に沿って進退することにより、移動フレーム３を移動させる。

【0037】

ヘッドユニット７は、移動フレーム３に搭載される。ヘッドユニット７は、移動フレーム３の本体部３１に取り付けられたガイド部材３３に嵌合され、そのガイド部材３３に沿ってＸ軸方向に移動可能となるように、移動フレーム３に搭載される。すなわち、ヘッドユニット７は、移動フレーム３の移動に伴ってＹ軸方向に移動可能であり、且つ、ガイド部材３３に沿ってＸ軸方向に移動可能である。ヘッドユニット７は、基板支持装置５により支持される基板Ｐと部品供給部６とにわたって移動可能とされ、部品供給部６から部品を取り出すとともに、その取り出した部品を基板Ｐ上に搭載する。

【0038】

［基板支持装置の構成］
基板支持装置５は、上方から見た平面視において一対のコンベア４の間に位置し、基板Ｐと下方側で対向するように、基台２１の上面２１Ａに配置される。基板支持装置５は、一対のコンベア４により部品搭載作業位置に搬送された基板Ｐを、下方側から支持する。

【0039】

＜第１実施形態＞
図３は、第１実施形態に係る基板支持装置５の構成を示す斜視図である。図４及び図５は、図１に示される基板支持装置５を切断面線Ａ−Ａから見た断面図である。基板支持装置５は、バックアップピン５１と、バックアッププレート５２と、アクチュエータである１つのエアシリンダー５３と、４つのリンク部材である第１リンク部材５４、第２リンク部材５５、第３リンク部材５６及び第４リンク部材５７と、を備える。なお、図１では、バックアップピン５１が省略され、図４及び図５では、４つのリンク部材のうち、−Ｙ側に配置される第３リンク部材５６及び第４リンク部材５７が省略されている。

【0040】

バックアップピン５１は、一対のコンベア４により部品搭載作業位置に搬送された基板Ｐを、下方側から支持するための支持ピンである。バックアップピン５１は、バックアッププレート５２の上面５２Ａに縦向きに取り付けられる。バックアップピン５１のバックアッププレート５２に対する固定方法としては、例えば、バックアッププレート５２の上面５２Ａに複数の凹部を形成し、この凹部にバックアップピン５１を嵌め込むようにすればよい。

【0041】

バックアッププレート５２は、部品実装機１における本体フレーム２の基台２１の上面２１Ａに対向するように、当該基台２１の上方側（＋Ｚ側）に配置される、矩形平板状のプレートである。なお、本実施形態では、基台２１の上面２１Ａには、平面視矩形状のトレイ２１ＡＡが固定されている。バックアッププレート５２は、このトレイ２１ＡＡを介して基台２１の上面２１Ａと対向している。このバックアッププレート５２の上面５２Ａにバックアップピン５１が取り付けられる。

【0042】

アクチュエータとしてのエアシリンダー５３は、シリンダ本体５３１と、このシリンダ本体５３１に対して移動する可動部としてのピストンロッド５３２と、を含む。基台２１及びトレイ２１ＡＡには、厚み方向に貫通する挿通孔２１ＡＢ（図４及び図５参照）が形成されている。この挿通孔２１ＡＢは、基台２１の上面２１Ａに固定されたトレイ２１ＡＡの中央部に形成されている。エアシリンダー５３において、シリンダ本体５３１は基台２１の下方側（−Ｚ側）に配置され、ピストンロッド５３２が挿通孔２１ＡＢに挿通された状態で上下方向（Ｚ軸方向）に沿って延びて、基台２１の上方側（＋Ｚ側）に露出している。エアシリンダー５３では、シリンダ本体５３１に供給される圧縮空気によってピストンロッド５３２が、基台２１とバックアッププレート５２との間において、バックアッププレート５２の中心を通る垂線Ｓ１上を上下方向（Ｚ軸方向）に移動する。

【0043】

４つのリンク部材である第１リンク部材５４、第２リンク部材５５、第３リンク部材５６及び第４リンク部材５７は、バックアッププレート５２の四隅にそれぞれ対応して設けられる。図３に示す例では、バックアッププレート５２の＋Ｙ側であり且つ＋Ｘ側の隅部に対応して第１リンク部材５４が設けられ、バックアッププレート５２の＋Ｙ側であり且つ−Ｘ側の隅部に対応して第２リンク部材５５が設けられ、バックアッププレート５２の−Ｙ側であり且つ＋Ｘ側の隅部に対応して第３リンク部材５６が設けられ、バックアッププレート５２の−Ｙ側であり且つ−Ｘ側の隅部に対応して第４リンク部材５７が設けられている。

【0044】

第１リンク部材５４、第２リンク部材５５、第３リンク部材５６及び第４リンク部材５７の各々は、基台２１上に固定されたトレイ２１ＡＡ上に配置される支点部５９Ａと、ピストンロッド５３２の上方側先端にリンク取付部５３３を介して接続される力点部５９Ｂと、バックアッププレート５２の下面５２Ｂの隅部を支持する作用点部５９Ｃと、を有する。第１リンク部材５４、第２リンク部材５５、第３リンク部材５６及び第４リンク部材５７の各々は、力点部５９Ｂに入力されたピストンロッド５３２の移動に基づき、支点部５９Ａを中心に作用点部５９Ｃが上下方向（Ｚ軸方向）に揺動することにより、バックアッププレート５２を、水平姿勢を保ちながら上下方向（Ｚ軸方向）に昇降させる。第１リンク部材５４、第２リンク部材５５、第３リンク部材５６及び第４リンク部材５７の各々は、バックアップピン５１が基板Ｐを支持する基板支持位置と、バックアップピン５１が基板Ｐから下方側（−Ｚ側）に退避した退避位置との間でバックアッププレート５２を、上下方向（Ｚ軸方向）に昇降させる。なお、バックアッププレート５２が退避位置に配置された状態が図４に示され、バックアッププレート５２が基板支持位置に配置された状態が図５に示される。

【0045】

ここで、第１リンク部材５４、第２リンク部材５５、第３リンク部材５６及び第４リンク部材５７の各々において、バックアッププレート５２の隅部を支持する作用点部５９Ｃの揺動は、力点部５９Ｂが接続された、１つのエアシリンダー５３のピストンロッド５３２の移動に基づくものである。このため、第１リンク部材５４、第２リンク部材５５、第３リンク部材５６及び第４リンク部材５７の各々における作用点部５９Ｃの揺動は、同期が取れたものとなる。この結果、第１リンク部材５４、第２リンク部材５５、第３リンク部材５６及び第４リンク部材５７の各々における作用点部５９Ｃによって四隅が支持されたバックアッププレート５２を、水平姿勢を保ちながら昇降させることができる。従って、基板支持装置５は、部品が搭載される基板Ｐを、水平姿勢を保ちながら支持することができる。また、バックアッププレート５２の四隅が支持された構成であるので、バックアッププレート５２の中央部を支持する構成に比べて、このバックアッププレート５２の隅部に荷重がかかった場合でも、水平姿勢を保持しやすい。

【0046】

また、基板支持装置５では、第１リンク部材５４、第２リンク部材５５、第３リンク部材５６及び第４リンク部材５７の各々において、支点部５９Ａと力点部５９Ｂとの長さは、支点部５９Ａと作用点部５９Ｃとの長さよりも長くなるように、設定されている。これにより、第１リンク部材５４、第２リンク部材５５、第３リンク部材５６及び第４リンク部材５７の各々において、梃子の原理を利用し、力点部５９Ｂに入力されたピストンロッド５３２の移動力よりも大きな力で、作用点部５９Ｃによってバックアッププレート５２の各隅部を支持することができる。

【0047】

次に、第１実施形態に係る基板支持装置５に備えられる第１リンク部材５４、第２リンク部材５５、第３リンク部材５６及び第４リンク部材５７の各々について、より詳しく説明する。

【0048】

本実施形態に係る基板支持装置５において、第１リンク部材５４、第２リンク部材５５、第３リンク部材５６及び第４リンク部材５７の各々は、第１アーム５８Ａと第２アーム５８Ｂとが連結された連結構造体からなる。第１リンク部材５４、第２リンク部材５５、第３リンク部材５６及び第４リンク部材５７の各々において、第１アーム５８Ａのサイズ及び形状は同一とされ、第２アーム５８Ｂのサイズ及び形状も同一とされる。第１アーム５８Ａの一端部が力点部５９Ｂを構成し、この力点部５９Ｂが、ピストンロッド５３２の上方側先端におけるリンク取付部５３３に、接続ピン５９Ｂａ（水平軸）回りに回動可能に固定されている。

【0049】

第２アーム５８Ｂの一端部が作用点部５９Ｃを構成し、この作用点部５９Ｃが、バックアッププレート５２の下面５２Ｂの隅部に固定されたフランジ板に、接続ピン５９Ｃａ（水平軸）回りに回動可能に、固定部５９Ｄを介して固定されている。なお、図３に示す例では、バックアッププレート５２の下面５２Ｂにおいて、＋Ｙ側であり且つ＋Ｘ側の隅部にフランジ板５２Ｂ１が固定され、このフランジ板５２Ｂ１に、第１リンク部材５４の作用点部５９Ｃが回動可能に固定されている。また、バックアッププレート５２の下面５２Ｂにおいて、＋Ｙ側であり且つ−Ｘ側の隅部にフランジ板５２Ｂ２が固定され、このフランジ板５２Ｂ２に、第２リンク部材５５の作用点部５９Ｃが回動可能に固定されている。また、バックアッププレート５２の下面５２Ｂにおいて、−Ｙ側であり且つ＋Ｘ側の隅部にフランジ板５２Ｂ３が固定され、このフランジ板５２Ｂ３に、第３リンク部材５６の作用点部５９Ｃが回動可能に固定されている。また、バックアッププレート５２の下面５２Ｂにおいて、−Ｙ側であり且つ−Ｘ側の隅部にフランジ板５２Ｂ４が固定され、このフランジ板５２Ｂ４に、第４リンク部材５７の作用点部５９Ｃが回動可能に固定されている。

【0050】

そして、第１アーム５８Ａ及び第２アーム５８Ｂの他端部同士が、接続ピン５９Ａａ（水平軸）回りに回動可能に連結されて支点部５９Ａを構成する。この支点部５９Ａは、接続ピン５９Ａａに挿通された車輪によって構成され、基台２１の上面２１Ａに固定されたトレイ２１ＡＡ上を移動可能である。

【0051】

上記のような、第１アーム５８Ａと第２アーム５８Ｂとが連結された連結構造体からなる４つのリンク部材５４，５５，５６，５７を備えた基板支持装置５において、バックアップピン５１が基板Ｐを支持する基板支持位置（図５に示す位置）から、バックアップピン５１が基板Ｐから下方側に退避した退避位置（図４に示す位置）へとバックアッププレート５２を下降させる場合、各リンク部材５４，５５，５６，５７は次のように動作する。各リンク部材５４，５５，５６，５７において、力点部５９Ｂを構成する一端部がピストンロッド５３２に固定された第１アーム５８Ａは、ピストンロッド５３２が上方に移動すると、その移動に応じて力点部５９Ｂを中心に接続ピン５９Ｂａ回りに回動する。すなわち、ピストンロッド５３２にリンク取付部５３３を介して固定された、第１アーム５８Ａの一端部で構成される力点部５９Ｂは、ピストンロッド５３２が上方に移動すると、その移動に応じて接続ピン５９Ｂａ回りに回動しつつ上方に移動する。

【0052】

各リンク部材５４，５５，５６，５７において、力点部５９Ｂが回動しつつ上方に移動すると、第１アーム５８Ａと第２アーム５８Ｂとの連結部分で構成される支点部５９Ａは、接続ピン５９Ａａ回りに回動しつつ、上方から見た平面視でバックアッププレート５２の隅部から中心に向かって基台２１のトレイ２１ＡＡ上を移動する。そして、各リンク部材５４，５５，５６，５７において、第２アーム５８Ｂは、支点部５９Ａを中心に、作用点部５９Ｃを構成する一端部がバックアッププレート５２の中心から離れるように回動する。これにより、バックアッププレート５２の隅部に固定される第２アーム５８Ｂの一端部で構成される作用点部５９Ｃは、接続ピン５９Ｃａ回りに回動しつつ下方に移動する。このため、作用点部５９Ｃによって各隅部が支持されたバックアッププレート５２は、エアシリンダー５３のピストンロッド５３２の上方への移動に応じて、水平姿勢を保ちながら下降される。

【0053】

一方、第１アーム５８Ａと第２アーム５８Ｂとが連結された連結構造体からなる４つのリンク部材５４，５５，５６，５７を備えた基板支持装置５において、退避位置（図４に示す位置）から基板支持位置（図５に示す位置）へとバックアッププレート５２を上昇させる場合、各リンク部材５４，５５，５６，５７は次のように動作する。各リンク部材５４，５５，５６，５７において、力点部５９Ｂを構成する一端部がピストンロッド５３２に固定された第１アーム５８Ａは、ピストンロッド５３２が下方に移動すると、その移動に応じて力点部５９Ｂを中心に接続ピン５９Ｂａ回りに回動する。すなわち、ピストンロッド５３２に固定された、第１アーム５８Ａの一端部で構成される力点部５９Ｂは、ピストンロッド５３２が下方に移動すると、その移動に応じて接続ピン５９Ｂａ回りに回動しつつ下方に移動する。

【0054】

各リンク部材５４，５５，５６，５７において、力点部５９Ｂが回動しつつ下方に移動すると、第１アーム５８Ａと第２アーム５８Ｂとの連結部分で構成される支点部５９Ａは、接続ピン５９Ａａ回りに回動しつつ、上方から見た平面視でバックアッププレート５２の中心から隅部に向かって基台２１のトレイ２１ＡＡ上を移動する。そして、各リンク部材５４，５５，５６，５７において、第２アーム５８Ｂは、支点部５９Ａを中心に、作用点部５９Ｃを構成する一端部がバックアッププレート５２の中心に近づくように回動する。これにより、バックアッププレート５２の隅部に固定される第２アーム５８Ｂの一端部で構成される作用点部５９Ｃは、接続ピン５９Ｃａ回りに回動しつつ上方に移動する。このため、作用点部５９Ｃによって各隅部が支持されたバックアッププレート５２は、エアシリンダー５３のピストンロッド５３２の下方への移動に応じて、水平姿勢を保ちながら上昇される。従って、基板支持装置５は、第１アーム５８Ａと第２アーム５８Ｂとが連結された連結構造体からなる４つのリンク部材５４，５５，５６，５７によって、部品が搭載される基板Ｐを、水平姿勢を保ちながら支持することができる。

【0055】

なお、４つのリンク部材５４，５５，５６，５７の動作によってバックアッププレート５２が基板支持位置（図５に示す位置）まで上昇すると、そのバックアッププレート５２の上昇動作は、ガイドシャフト６０の下端に取り付けられたストッパ部６０Ａによって停止される。図３に示すように、ガイドシャフト６０は、バックアッププレート５２の下面５２Ｂにおける四隅にそれぞれ固定されたフランジ板５２Ｂ１，５２Ｂ２，５２Ｂ３，５２Ｂ４に、接続されている。各ガイドシャフト６０は、基台２１を貫通した挿通孔に挿通され、その下端にストッパ部６０Ａが取り付けられている。バックアッププレート５２が基板支持位置（図５に示す位置）まで上昇すると、ガイドシャフト６０の下端に取り付けられたストッパ部６０Ａが基台２１の下面に当接する。これにより、バックアッププレート５２の上昇動作が停止される。

【0056】

また、上述の如く、４つのリンク部材５４，５５，５６，５７の各々を動作させる駆動源となるアクチュエータは、エアシリンダー５３によって実現される。４つのリンク部材５４，５５，５６，５７の動作によってバックアッププレート５２を昇降させる場合、エアシリンダー５３のピストンロッド５３２は、次のように移動することになる。すなわち、４つのリンク部材５４，５５，５６，５７の動作によってバックアッププレート５２を下降させる場合、ピストンロッド５３２は、シリンダ本体５３１から突出するように上方に移動する。一方、４つのリンク部材５４，５５，５６，５７の動作によってバックアッププレート５２を上昇させる場合、ピストンロッド５３２は、シリンダ本体５３１に収納されるように下方に移動する。

【0057】

換言すると、バックアップピン５１によって基板Ｐを支持する、バックアッププレート５２が基板支持位置（図５に示す位置）まで上昇された状態では、ピストンロッド５３２は、シリンダ本体５３１に収納されるように下方に移動した状態となっている。つまり、バックアップピン５１によって基板Ｐを支持するときには、ピストンロッド５３２は、シリンダ本体５３１から露出する長さが短く、ぐらつきが抑止された状態となっている。このため、ピストンロッド５３２のぐらつきに起因してバックアッププレート５２の姿勢が変動することを抑制することができ、バックアッププレート５２が基板支持位置において水平姿勢を保った状態で、基板Ｐを支持することができる。

【0058】

＜第２実施形態＞
図６及び図７は、第２実施形態に係る基板支持装置５Ａの構成を示す断面図である。図６及び図７は、第２実施形態に係る基板支持装置５Ａについて、上述の第１実施形態に係る基板支持装置５の図４及び図５にそれぞれ対応した断面図である。第２実施形態に係る基板支持装置５Ａは、上述の第１実施形態に係る基板支持装置５に対して、４つのリンク部材の構成が異なる。第２実施形態に係る基板支持装置５Ａは、リンク部材の構成以外は、第１実施形態に係る基板支持装置５と同様に構成されている。このように第２実施形態に係る基板支持装置５Ａは、第１実施形態に係る基板支持装置５と同様の部分を有する。従って、以下の説明及び図において、対応する同様の部分については同一の参照符号を付すとともに、説明を省略する。

【0059】

基板支持装置５Ａは、上述の基板支持装置５と同様に、バックアッププレート５２の四隅にそれぞれ対応して設けられる、４つのリンク部材を備える。なお、図６及び図７では、４つのリンク部材のうち、＋Ｙ側に配置される第１リンク部材５４Ａ及び第２リンク部材５５Ａが表されており、−Ｙ側に配置される第３リンク部材及び第４リンク部材が省略されている。図６及び図７では、第３リンク部材及び第４リンク部材が省略されているが、以下では、基板支持装置５Ａに備えられる４つのリンク部材を、上述の基板支持装置５に備えられる４つのリンク部材５４，５５，５６，５７に対応して、第１リンク部材５４Ａ、第２リンク部材５５Ａ、第３リンク部材５６Ａ、及び第４リンク部材５７Ａと称する。

【0060】

基板支持装置５Ａに備えられる、第１リンク部材５４Ａ、第２リンク部材５５Ａ、第３リンク部材５６Ａ及び第４リンク部材５７Ａの各々は、基台２１の上面２１Ａに配置された固定部２１ＡＣに固定される支点部７０Ａと、ピストンロッド５３２の上方側先端にリンク取付部５３３を介して接続される力点部７０Ｂと、バックアッププレート５２の下面５２Ｂの隅部を支持する作用点部７０Ｃと、を有する。第１リンク部材５４Ａ、第２リンク部材５５Ａ、第３リンク部材５６Ａ及び第４リンク部材５７Ａの各々は、力点部７０Ｂに入力されたピストンロッド５３２の移動に基づき、支点部７０Ａを中心に作用点部７０Ｃが上下方向（Ｚ軸方向）に揺動することにより、バックアッププレート５２を、水平姿勢を保ちながら上下方向（Ｚ軸方向）に昇降させる。第１リンク部材５４Ａ、第２リンク部材５５Ａ、第３リンク部材５６Ａ及び第４リンク部材５７Ａの各々は、バックアップピン５１が基板Ｐを支持する基板支持位置と、バックアップピン５１が基板Ｐから下方側（−Ｚ側）に退避した退避位置との間でバックアッププレート５２を、上下方向（Ｚ軸方向）に昇降させる。なお、バックアッププレート５２が退避位置に配置された状態が図６に示され、バックアッププレート５２が基板支持位置に配置された状態が図７に示される。

【0061】

ここで、第１リンク部材５４Ａ、第２リンク部材５５Ａ、第３リンク部材５６Ａ及び第４リンク部材５７Ａの各々において、バックアッププレート５２の隅部を支持する作用点部７０Ｃの揺動は、力点部７０Ｂが接続された、１つのエアシリンダー５３のピストンロッド５３２の移動に基づくものである。このため、第１リンク部材５４Ａ、第２リンク部材５５Ａ、第３リンク部材５６Ａ及び第４リンク部材５７Ａの各々における作用点部７０Ｃの揺動は、同期が取れたものとなる。この結果、第１リンク部材５４Ａ、第２リンク部材５５Ａ、第３リンク部材５６Ａ及び第４リンク部材５７Ａの各々における作用点部７０Ｃによって四隅が支持されたバックアッププレート５２を、水平姿勢を保ちながら昇降させることができる。従って、基板支持装置５Ａは、部品が搭載される基板Ｐを、水平姿勢を保ちながら支持することができる。

【0062】

また、基板支持装置５Ａでは、第１リンク部材５４Ａ、第２リンク部材５５Ａ、第３リンク部材５６Ａ及び第４リンク部材５７Ａの各々において、支点部７０Ａと力点部７０Ｂとの長さは、支点部７０Ａと作用点部７０Ｃとの長さよりも長くなるように、設定されている。これにより、第１リンク部材５４Ａ、第２リンク部材５５Ａ、第３リンク部材５６Ａ及び第４リンク部材５７Ａの各々において、梃子の原理を利用し、力点部７０Ｂに入力されたピストンロッド５３２の移動力よりも大きな力で、作用点部７０Ｃによってバックアッププレート５２の各隅部を支持することができる。

【0063】

次に、第２実施形態に係る基板支持装置５Ａに備えられる第１リンク部材５４Ａ、第２リンク部材５５Ａ、第３リンク部材５６Ａ及び第４リンク部材５７Ａの各々について、より詳しく説明する。

【0064】

本実施形態に係る基板支持装置５Ａにおいて、第１リンク部材５４Ａ、第２リンク部材５５Ａ、第３リンク部材５６Ａ及び第４リンク部材５７Ａの各々は、断面Ｌ字形の屈曲形状に形成された単一構造体からなる。第１リンク部材５４Ａ、第２リンク部材５５Ａ、第３リンク部材５６Ａ及び第４リンク部材５７Ａの各々は、サイズ及び形状が同一とされる。単一構造体からなる各リンク部材５４Ａ，５５Ａ，５６Ａ，５７Ａにおいて一端部が力点部７０Ｂを構成し、この力点部７０Ｂが、ピストンロッド５３２の上方側先端におけるリンク取付部５３３に、接続ピン７０Ｂａ（水平軸）回りに回動可能に固定されている。なお、単一構造体からなる各リンク部材５４Ａ，５５Ａ，５６Ａ，５７Ａにおいて、力点部７０Ｂを構成する一端部には、長穴状の貫通孔７０Ｂｂが形成されている。この貫通孔７０Ｂｂに接続ピン７０Ｂａが挿通された状態で、力点部７０Ｂが、接続ピン７０Ｂａ回りに回動可能に固定されている。

【0065】

単一構造体からなる各リンク部材５４Ａ，５５Ａ，５６Ａ，５７Ａにおいて他端部が作用点部７０Ｃを構成している。この作用点部７０Ｃは、接続ピン７０Ｃａに挿通された車輪によって構成され、バックアッププレート５２の下面５２Ｂに対して移動可能である。

【0066】

そして、単一構造体からなる各リンク部材５４Ａ，５５Ａ，５６Ａ，５７Ａにおいて、屈曲部分が支点部７０Ａを構成している。この支点部７０Ａは、基台２１の上面２１Ａに配置された固定部２１ＡＣに、接続ピン７０Ａａ（水平軸）回りに回動可能に固定されている。

【0067】

上記のような、断面Ｌ字形の屈曲形状に形成された単一構造体からなる４つのリンク部材５４Ａ，５５Ａ，５６Ａ，５７Ａを備えた基板支持装置５Ａにおいて、バックアップピン５１が基板Ｐを支持する基板支持位置（図７に示す位置）から、バックアップピン５１が基板Ｐから下方側に退避した退避位置（図６に示す位置）へとバックアッププレート５２を下降させる場合、各リンク部材５４Ａ，５５Ａ，５６Ａ，５７Ａは次のように動作する。

【0068】

各リンク部材５４Ａ，５５Ａ，５６Ａ，５７Ａにおいて、ピストンロッド５３２に固定された一端部で構成される力点部７０Ｂは、ピストンロッド５３２が上方に移動すると、その移動に応じて接続ピン７０Ｂａ回りに回動しつつ上方に移動する。力点部７０Ｂが回動しつつ上方に移動すると、各リンク部材５４Ａ，５５Ａ，５６Ａ，５７Ａは、バックアッププレート５２を支持する他端部で構成される作用点部７０Ｃがバックアッププレート５２の中心から隅部に向かって移動するように、基台２１の固定部２１ＡＣに固定された支点部７０Ａを中心に接続ピン７０Ａａ回りに回動する。これにより、作用点部７０Ｃによって各隅部が支持されたバックアッププレート５２は、ピストンロッド５３２の上方への移動に応じて、水平姿勢を保ちながら下降される。

【0069】

一方、断面Ｌ字形の屈曲形状に形成された単一構造体からなるリンク部材５４Ａ，５５Ａ，５６Ａ，５７Ａを備えた基板支持装置５Ａにおいて、退避位置（図６に示す位置）から基板支持位置（図７に示す位置）へとバックアッププレート５２を上昇させる場合、各リンク部材５４Ａ，５５Ａ，５６Ａ，５７Ａは次のように動作する。

【0070】

各リンク部材５４Ａ，５５Ａ，５６Ａ，５７Ａにおいて、ピストンロッド５３２に固定された一端部で構成される力点部７０Ｂは、ピストンロッド５３２が下方に移動すると、その移動に応じて接続ピン７０Ｂａ回りに回動しつつ下方に移動する。力点部７０Ｂが回動しつつ下方に移動すると、各リンク部材５４Ａ，５５Ａ，５６Ａ，５７Ａは、バックアッププレート５２を支持する他端部で構成される作用点部７０Ｃがバックアッププレート５２の隅部から中心に向かって移動するように、基台２１の固定部２１ＡＣに固定された支点部７０Ａを中心に接続ピン７０Ａａ回りに回動する。これにより、作用点部７０Ｃによって各隅部が支持されたバックアッププレート５２は、ピストンロッド５３２の下方への移動に応じて、水平姿勢を保ちながら上昇される。従って、基板支持装置５Ａは、断面Ｌ字形の屈曲形状に形成された単一構造体からなる４つのリンク部材５４Ａ，５５Ａ，５６Ａ，５７Ａによって、部品が搭載される基板Ｐを、水平姿勢を保ちながら支持することができる。

【0071】

なお、４つのリンク部材５４Ａ，５５Ａ，５６Ａ，５７Ａの動作によってバックアッププレート５２が基板支持位置（図７に示す位置）まで上昇すると、そのバックアッププレート５２の上昇動作は、上述の基板支持装置５の場合と同様に、ガイドシャフト６０の下端に取り付けられたストッパ部６０Ａによって停止される。

【0072】

また、本実施形態に係る部品実装機１は、部品が搭載される基板Ｐを、水平姿勢を保ちながら支持することが可能な基板支持装置５，５Ａを備えている。これにより、ヘッドユニット７による基板Ｐに対する部品の搭載精度が高精度に維持される。

【0073】

以上、本発明の実施形態に係る基板支持装置及び部品実装機について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば次のような変形実施形態を採ることができる。

【0074】

上記の実施形態においては、４つのリンク部材を動作させる駆動源となるアクチュエータとして、エアシリンダー５３を用いた例を示したが、上下方向（Ｚ軸方向）に直動運動する可動部を有するアクチュエータであればよい。例えば、アクチュエータは、ボールねじ軸と、ボールナットとを含んで構成されていてもよい。この場合、ボールねじ軸は、上下方向（Ｚ軸方向）に延びて駆動モーターと連結され、駆動モーターの回転に伴って回転駆動される。そして、ボールナットは、ボールねじ軸と螺合する。ボールナットは、ボールねじ軸の回転駆動に伴って当該ボールねじ軸に沿って進退することにより、上下方向（Ｚ軸方向）に移動する。ボールナットは可動部として機能し、このボールナットに、４つのリンク部材の各々の力点部を接続するようにすればよい。

【0075】

また、上記の実施形態においては、可動部としてのピストンロッド５３２の移動に基づきバックアッププレート５２を上下方向（Ｚ軸方向）に昇降させるリンク機構として、４つのリンク部材を備えた構成について説明したが、バックアッププレート５２の水平姿勢を保持できるのであれば、リンク部材の数は４つに限定されるものではない。基板支持装置は、基台２１上に配置される支点部と、１つのエアシリンダー５３のピストンロッド５３２に接続される力点部と、バックアッププレート５２の下面５２Ｂを支持する作用点部とを有する複数のリンク部材を備えた構成であればよい。

【符号の説明】

【0076】

１ 部品実装機
２ 本体フレーム
２１ 基台
４ 一対のコンベア
５，５Ａ 基板支持装置
５１ バックアップピン
５２ バックアッププレート
５３ エアシリンダー（アクチュエータ）
５３１ シリンダ本体
５３２ ピストンロッド
５４，５４Ａ 第１リンク部材
５５，５５Ａ 第２リンク部材
５６ 第３リンク部材
５７ 第４リンク部材
５８Ａ 第１アーム
５８Ｂ 第２アーム
５９Ａ，７０Ａ 支点部
５９Ｂ，７０Ｂ 力点部
５９Ｃ，７０Ｃ 作用点部
７ ヘッドユニット

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】