特許6876145ビス（アミノシリル）アルキルアミン化合物を含むシリコン含有薄膜蒸着用組成物、およびそれを用いたシリコン含有薄膜の製造方法

発明の名称　ビス（アミノシリル）アルキルアミン化合物を含むシリコン含有薄膜蒸着用組成物、およびそれを用いたシリコン含有薄膜の製造方法

出願人　ディーエヌエフ　カンパニー　リミテッド　（識別番号 514145604）

　　　　特許公開件数ランキング 2757 位（6件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3973 位（3件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6876145

公報発行日　2021年5月26

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6876145

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