発明の名称 ワーク移載装置、ワーク移載方法、移載体の製造方法、半導体装置の製造方法、及びダイボンダ
出願人 キヤノンマシナリー株式会社 (識別番号 110859)
特許公開件数ランキング 5132 位(4件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 2810 位(6件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-6880158
公報発行日 2021年6月2
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6880158
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