特許 6881486 搬送車

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6881486

(24)【登録日】2021年5月10日

(45)【発行日】2021年6月2日

(54)【発明の名称】搬送車

(51)【国際特許分類】

   B65G 1/04 20060101AFI20210524BHJP

   B65G 1/00 20060101ALI20210524BHJP

   B66C 15/00 20060101ALI20210524BHJP

【ＦＩ】

   B65G1/04 551A

   B65G1/00 511E

   B66C15/00 K

【請求項の数】6

【全頁数】16

(21)【出願番号】特願2019-33907(P2019-33907)

(22)【出願日】2019年2月27日

(65)【公開番号】特開2020-138820(P2020-138820A)

(43)【公開日】2020年9月3日

【審査請求日】2020年4月24日

(73)【特許権者】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100140442

【弁理士】

【氏名又は名称】柴山 健一

(74)【代理人】

【識別番号】100156395

【弁理士】

【氏名又は名称】荒井 寿王

(72)【発明者】

【氏名】小林 誠

【審査官】 土田 嘉一

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０９−０７７４５５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００４−３４５７５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１０−１２６２７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００３−１６５６８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１７−２０２８８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２０１２／１５７３１９（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｇ １／０４

Ｂ６５Ｇ １／００

Ｈ０１Ｌ ２１／６７７

Ｂ６６Ｃ １５／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

搬送物を搬送する搬送車であって、
前記搬送物の下方に落下防止部材を進出させることによって前記搬送物の落下を防止する落下防止機構を備え、
前記落下防止機構は、
基端部が水平方向に沿う第１回動軸回りに回動自在に支持され、先端部に前記落下防止部材が設けられた第１回動部材と、
基端部が鉛直方向に沿う第２回動軸回りに回動自在に支持され、先端部に前記第１回動部材が取り付けられた第２回動部材と、を有する搬送車。

【請求項2】

前記落下防止機構は、前記第２回動部材に設けられたストッパを有し、
前記第１回動部材は、第１状態と当該第１状態よりも前記第１回動部材の前記先端部が持ち上がる第２状態との間で回動し、
前記落下防止部材は、前記第２状態において前記搬送物の下方に進出し、
前記ストッパは、前記第２状態の前記第１回動部材に力が加わった場合に、当該第１回動部材の回転を規制する、請求項１に記載の搬送車。

【請求項3】

前記第１回動部材は、前記第１回動軸の軸方向に沿った水平軸を有し、
前記第２回動部材の前記先端部は、鉛直軸と、前記鉛直軸に対して当該鉛直軸の軸方向に沿って摺動可能に取り付けられたスライド部材と、を有し、
前記スライド部材は、前記水平軸に対して当該水平軸の軸方向に沿って摺動可能に取り付けられている、請求項１又は２に記載の搬送車。

【請求項4】

前記スライド部材は、鉛直方向を長手方向とする長孔を有する摺動プレート及び球面滑り軸受を介して、前記水平軸に取り付けられている、請求項３に記載の搬送車。

【請求項5】

前記第１回動部材は、第１状態と当該第１状態よりも前記第１回動部材の前記先端部が持ち上がる第２状態との間で回動し、
前記第２回動部材は、前記第１回動部材が前記第１状態から前記第２状態まで回転された場合、前記第２回動部材の前記先端部が死点を過ぎた位置まで一方向に回転された状態にある、請求項１〜４の何れか一項に記載の搬送車。

【請求項6】

前記第１回動部材は、第１状態と当該第１状態よりも前記第１回動部材の前記先端部が持ち上がる第２状態との間で回動し、
前記落下防止機構は、前記第１回動部材を前記第１状態から前記第２状態へ回転させる方向のモーメントを生じさせる弾性部材を有する、請求項１〜５の何れか一項に記載の搬送車。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送車に関する。

【背景技術】

【0002】

搬送車に関する技術として、クリーンルーム等の天井付近又は床面よりも高い位置を走行して、半導体ウェハ、レチクル、又は液晶基板等を収容した容器（搬送物）を搬送する天井搬送車が知られている。例えば特許文献１には、ＦＯＵＰの落下を防止する水平旋回式の落下防止装置（落下防止機構）を備えた天井搬送車が開示されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１７−８８３３２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上述したような搬送車では、例えば重量物等の搬送物を搬送する場合、落下防止機構の強度が不足してしまい、搬送物の落下を確実に防止できないおそれがある。また、上述したような搬送車では、単純な構成が望まれる。

【0005】

本発明の目的は、単純な構成で搬送物の落下を確実に防止することができる搬送車を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明に係る搬送車は、搬送物を搬送する搬送車であって、搬送物の落下を防止する落下防止機構を備え、落下防止機構は、基端部が水平方向に沿う第１回動軸回りに回動自在に支持された第１回動部材と、第１回動部材の先端部に設けられ、搬送物の下方に進出可能な落下防止部材と、基端部が鉛直方向に沿う第２回動軸回りに回動自在に支持され、先端部に第１回動部材が取り付けられた第２回動部材と、を有する。

【0007】

この搬送車では、第１回動部材及び第２回動部材によるトラス構造で落下防止部材を支持することができ、落下防止機構の強度を効率的に高めることができる。よって、例えば重量物等の搬送物を搬送する場合でも、単純な構成で搬送物の落下を確実に防止することが可能となる。

【0008】

本発明に係る搬送車は、落下防止機構は、第２回動部材に設けられたストッパを有し、第１回動部材は、第１状態と当該第１状態よりも第１回動部材の先端部が持ち上がる第２状態との間で回動し、落下防止部材は、第２状態において搬送物の下方に進出し、ストッパは、第２状態の第１回動部材に力が加わった場合に、当該第１回動部材の回転を規制してもよい。この構成では、落下防止部材が搬送物の下方に進出している状態において、第１回動部材に力が加わっても、落下防止機構の歪みを抑えることができる。搬送物の落下をより確実に防止することが可能となる。

【0009】

本発明に係る搬送車では、第１回動部材は、第１回動軸の軸方向に沿った水平軸を有し、第２回動部材の先端部は、鉛直軸と、鉛直軸に対して当該鉛直軸の軸方向に沿って摺動可能に取り付けられたスライド部材と、を有し、スライド部材は、水平軸に対して当該水平軸の軸方向に沿って摺動可能に取り付けられていてもよい。この構成では、第２回動部材を回動することで、スライド部材を水平軸及び鉛直軸に沿って摺動させ、それに伴って第１回動部材を回動させて、落下防止部材をスムーズに進退させることができる。

【0010】

本発明に係る搬送車では、スライド部材は、鉛直方向を長手方向とする長孔を有する摺動プレート及び球面滑り軸受を介して、水平軸に取り付けられていてもよい。この構成では、水平軸の角度及び位置のばらつきを吸収することができる。

【0011】

本発明に係る搬送車では、第１回動部材は、第１状態と当該第１状態よりも第１回動部材の先端部が持ち上がる第２状態との間で回動し、第２回動部材は、第１回動部材が第１状態から第２状態まで回転された場合、第２回動部材の先端部が死点を過ぎた位置まで一方向に回転された状態にあってもよい。これにより、第２状態では、意図しない外力が加わっても、第２回動部材は当該一方向と反対の他方向に回転し難くなり、第１回動部材が意図せずに回転してしまうのを抑制することができる。

【0012】

本発明に係る搬送車では、第１回動部材は、第１状態と当該第１状態よりも第１回動部材の先端部が持ち上がる第２状態との間で回動し、落下防止機構は、第１回動部材を第１状態から第２状態へ回転させる方向のモーメントを生じさせる弾性部材を有していてもよい。この構成では、第１回動部材を第１状態から第２状態へ回転させる際の駆動力を低減させることができる。

【発明の効果】

【0013】

本発明によれば、単純な構成で搬送物の落下を確実に防止することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】図１は、一実施形態に係る天井搬送車における落下防止機構が開時の正面図である。

【図2】図２は、図１の天井搬送車における落下防止機構が閉時の正面図である。

【図3】図３は、図１の落下防止機構を示す斜視図である。

【図4】図４は、図１の落下防止機構を示す斜視図である。

【図5】図５は、図１の落下防止機構を示す斜視図である。

【図6】図６は、図１の落下防止機構を示す平断面図である。

【図7】図７は、図４のスライド部材を示す斜視図である。

【図8】図８は、図３のねじりばねを示す斜視図である。

【図9】図９は、図１の天井搬送車における落下防止機構の第２回動部材を閉方向に回転したときの斜視図である。

【図10】図１０は、図１の天井搬送車における落下防止機構の第２回動部材を閉方向に回転したときの平断面図である。

【図11】図１１は、図９の天井搬送車における落下防止機構の第２回動部材を閉方向に回転したときの斜視図である。

【図12】図１２は、図９の天井搬送車における落下防止機構の第２回動部材を閉方向に回転したときの平断面図である。

【図13】図１３は、図２の落下防止機構を示す斜視図である。

【図14】図１４は、図２の落下防止機構を示す斜視図である。

【図15】図１５は、図２の落下防止機構を示す平断面図である。

【図16】図１６（ａ）は、図２の落下防止機構のストッパをモデル化して示す図である。図１６（ｂ）は、図２の落下防止機構のストッパをモデル化して示す図である。

【図17】図１７（ａ）は、球面滑り軸受けの作用を説明する概略図である。図１７（ｂ）は、摺動プレートの作用を説明する概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、図面を参照して、本発明の一実施形態について詳細に説明する。図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

【0016】

図１に示される天井搬送車（搬送車）１は、クリーンルームの天井等、床面より高い位置に設けられる走行レール２に沿って走行する。天井搬送車１は、例えば保管設備と所定のロードポートとの間で、搬送物としてのカセット９０を搬送する。カセット９０には、例えば、複数枚のレチクル等が収容される。カセット９０は、小型重量物であるトレイカセット又はマガジンカセットを構成する。カセット９０は、天井搬送車１に保持されるフランジ９５を有している。

【0017】

以下の説明では、説明の便宜のため、図１における左右方向（Ｘ方向）を天井搬送車１の前後方向（走行方向）とする。図１における上下方向を天井搬送車１の鉛直方向（Ｚ方向）とする。図１における奥行方向を天井搬送車１の幅方向（Ｙ方向）とする。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向は互いに直交する。

【0018】

図１に示されるように、天井搬送車１は、走行駆動部３と、水平駆動部５と、回転駆動部６と、昇降駆動部７と、昇降装置１０と、保持装置１１と、落下防止機構５０と、コントローラ８０と、を備えている。天井搬送車１には、水平駆動部５、回転駆動部６、昇降駆動部７、昇降装置１０及び保持装置１１を前後方向から覆うように一対の前後フレーム８，８が設けられている。一対の前後フレーム８，８は、昇降装置１０が上昇端まで上昇した状態において保持装置１１の下方に、カセット９０が収容される空間としての容器収容部４を形成している。

【0019】

走行駆動部３は、天井搬送車１を走行レール２に沿って移動させる。走行駆動部３は、走行レール２内に配置されている。走行駆動部３は、走行レール２を走行するローラ（図示しない）を駆動させる。走行駆動部３の下部には、軸３Ａを介して水平駆動部５が接続されている。水平駆動部５は、回転駆動部６、昇降駆動部７及び昇降装置１０を水平面内で走行レール２の延在方向に直交するＹ軸方向に移動させる。回転駆動部６は、水平面内で昇降駆動部７及び昇降装置１０を回転させる。昇降駆動部７は、四本のベルト９の巻き上げ及び繰り出しにより昇降装置１０を昇降させる。なお、走行駆動部３は天井搬送車１に推進力を発生させるリニアモータ等で構成してもよい。また、昇降駆動部７におけるベルト９は、ワイヤ及びロープ等、適宜の吊持部材を用いてもよい。

【0020】

昇降装置１０は、昇降駆動部７によって昇降可能に設けられており、天井搬送車１における昇降台として機能している。保持装置１１は、カセット９０を保持する。保持装置１１は、Ｌ字状である一対のアーム１２，１２と、各アーム１２，１２に固定されたハンド１３，１３と、一対のアーム１２，１２を開閉させる開閉機構１５と、を備えている。

【0021】

一対のアーム１２，１２は、開閉機構１５に接続されている。開閉機構１５は、一対のアーム１２，１２を、互いに近接する方向及び互いに離間する方向に移動させる。開閉機構１５の動作により、一対のアーム１２，１２は、前後方向に進退する。これにより、アーム１２，１２に固定された一対のハンド１３，１３が開閉する。本実施形態では、一対のハンド１３，１３が開状態のときに、ハンド１３の保持面がフランジ９５の下面の高さより下方となるように、保持装置１１（昇降装置１０）の高さ位置が調整される。そして、この状態で一対のハンド１３，１３が閉状態となることで、ハンド１３，１３の保持面がフランジ９５の下面の下方へ進出し、この状態で昇降装置１０を上昇させることにより、一対のハンド１３，１３によってフランジ９５が保持され、カセット９０の支持が行われる。

【0022】

落下防止機構５０は、一対の前後フレーム８，８のそれぞれに設けられている。落下防止機構５０は、容器収容部４にて保持装置１１によって保持されたカセット９０の落下を、落下防止部材５２をカセット９０の下方に進出させることによって防止する。以下、落下防止機構５０について詳説する。

【0023】

落下防止機構５０は、図３〜図６に示されるように、第１回動部材５１、落下防止部材５２、第２回動部材５３、蓋落下防止部材２０、及び、駆動機構３０を有する。なお、以下では、一対の前後フレーム８，８のうち一方の前後フレーム８に設けられた落下防止機構５０のみを説明し、他方の前後フレーム８に設けられた落下防止機構５０については、同様な構成のために説明を省略する。

【0024】

第１回動部材５１は、長尺状の部材である。第１回動部材５１の基端部は、前後フレーム８に固定された第１回動軸５４に回動自在に取り付けられ、第１回動軸５４回りに回動自在に支持されている。回動自在とは、回転方向における双方向に回転自在であることを意味する。第１回動軸５４は、Ｙ方向（水平方向）に沿って延びる軸体である。第１回動軸５４は、Ｙ方向における前後フレーム８の一端部から他端部まで延在している。第１回動軸５４は、前後フレーム８のカセット９０側（以下、単に「内側」ともいう）の面にブラケット５５を介して固定されている。

【0025】

第１回動部材５１は、Ｙ方向における前後フレーム８の一端部と他端部とのそれぞれに配置されている。第１回動部材５１は、水平軸５６を有する。水平軸５６は、Ｙ方向に沿って延びる軸体である。水平軸５６は、一方の第１回動部材５１の先端部と他方の第１回動部材５１の先端部との間に、これらを連結するように設けられている。

【0026】

このような第１回動部材５１は、開状態（第１状態）と開状態（第２状態）との間で回動する。開状態の第１回動部材５１は、Ｚ方向に沿って真っすぐ延びる姿勢で第１回動軸５４に支持される（図１参照）。閉状態の第１回動部材５１は、開状態よりも第１回動部材５１の先端部が持ち上がる状態であって、Ｚ方向及びＸ方向に対して傾斜して延びる姿勢で第１回動軸５４に支持される（図２参照）。

【0027】

落下防止部材５２は、第１回動部材５１の先端部の内側の面に設けられている。落下防止部材５２は、屈曲された板状を呈する。落下防止部材５２の基端側は、一対の第１回動部材５１の先端部に架け渡されるように固定されている。図示する例では、落下防止部材５２は、Ｙ方向から見て、基端側において第１回動部材５１に沿って延びた後、カセット９０側と反対側（以下、単に「外側」ともいう）へ屈曲し、内側へ９０°屈曲し、他端が外側へ更に折り返されている。落下防止部材５２には、抜き孔５２ａが形成され、必要十分な剛性を確保しつつ軽量化が図れている。

【0028】

落下防止部材５２は、第１回動部材５１を開状態へ回転させた状態において、その先端側がカセット９０の下方から退出する（図１参照）。落下防止部材５２は、第１回動部材５１を閉状態へ回転させた状態において、その先端側がカセット９０の下方に進出する（図２参照）。つまり、落下防止部材５２は、カセット９０の下方へ進出（オーバーハング）可能に構成されている。

【0029】

第２回動部材５３は、長尺状で且つＺ方向を厚さ方向とする板状の部材である。第２回動部材５３の基端部は、Ｚ方向に沿う後述の第２回動軸３３ａに一体的に接続されており、第２回動軸３３ａ回りに回動自在に支持されている。第２回動部材５３の基端部は、前後フレーム８の内部に収容されている。

【0030】

第２回動部材５３の少なくとも先端部は、前後フレーム８のスリット８ａを介して露出している（前後フレーム８の内から外へ突き出ている）。第２回動部材５３の先端部には、第１回動部材５１が取り付けられている。第２回動部材５３の先端部は、鉛直軸５７、スライド部材５８及びストッパ５９を有する。

【0031】

鉛直軸５７は、Ｚ方向に沿って延びる軸体である。鉛直軸５７は、第２回動部材５３の先端に立設されている。スライド部材５８は、鉛直軸５７に対してＺ方向に摺動可能に取り付けられている。また、スライド部材５８は、第１回動部材５１の水平軸５６に対してＹ方向に沿って摺動可能に取り付けられている。ここでのスライド部材５８は、Ｚ方向を長手方向とする長孔ＬＨを有する摺動プレート５８Ａ及び球面滑り軸受５８Ｂを介して、水平軸５６に取り付けられている。

【0032】

第２回動部材５３が回転方向の一方向（閉方向）又は他方向（開方向）に回転した場合、スライド部材５８が水平軸５６に沿ってＹ方向に移動し、スライド部材５８のＸ方向の位置が変化する。これに応じて、第１回動部材５１の先端側が持ち上がる又は降下するように当該第１回動部材５１が回転すると共に、スライド部材５８が鉛直軸５７に沿ってＺ方向に移動する。これにより、第１回動部材５１が閉状態と開状態との間で（落下防止機構５０が閉時と開時との間で）切り替わることとなる（詳しくは、後述）。

【0033】

ストッパ５９は、第２回動部材５３に設けられている。ストッパ５９は、閉状態の第１回動部材５１に力が加わった場合に当該第１回動部材５１の回転を規制する。例えばストッパ５９は、閉状態の第１回動部材５１に開状態側へ回転させようとする力が加わった場合、当該第１回動部材５１の開状態側への回転を規制する。ストッパ５９は、板状部材５９Ａ及び当接部５９Ｂを有する。板状部材５９Ａは、第２回動部材５３に立設されている。板状部材５９Ａの一端側は、鉛直軸５７の上端部を支持する。当接部５９Ｂは、板状部材５９Ａの他端側の端部に設けられている。当接部５９Ｂは、第１回動部材５１が閉状態の場合に、前後フレーム８の内側の面に対して当接可能である。このようなストッパ５９は、第１回動部材５１が開状態の場合には、板状部材５９ＡがＹ方向に沿った状態となる一方、第１回動部材が閉状態の場合には、板状部材５９ＡがＸ方向に沿った状態となり、前後フレーム８の内側の面に対して当接部５９ＢがＸ方向に対向する。

【0034】

第２回動部材５３は、第１係止部３４ａと第２係止部３４ｂとを有している。第２回動部材５３が閉方向に回転し、第２回動部材５３の基端部の周囲に設けられたストッパ３９Ａに第１係止部３４ａが係止した場合、第２回動部材５３のそれ以上の閉方向への回転が規制される（図１４参照）。第２回動部材５３が開方向に回転し、ストッパ３９Ａに第２係止部３４ｂが係止した場合、第２回動部材５３のそれ以上の開方向への回転が規制される（図４参照）。

【0035】

第２回動部材５３は、第１回動部材５１が閉状態の場合、第２回動部材５３の先端部がＸ方向における死点を過ぎた位置に達するまで閉方向に回転された状態にある（図１５参照）。つまり、第２回動部材５３の先端部に設けられた鉛直軸５７のＸ方向位置は、第２回動部材５３を閉方向に回転すると、カセット９０側へ移動して死点（最もカセット９０に接近する点）に達し、カセット９０側と反対側へ戻った後に停止する。「死点」は、上死点又は思案点とも称される。

【0036】

蓋落下防止部材２０は、容器収容部４に保持されたカセット９０から外れた蓋の落下を防止する部材である。蓋落下防止部材２０は、屈曲された板状を呈する。蓋落下防止部材２０は、第２回動部材５３の回転に伴って進出位置と退避位置との間で可動する。蓋落下防止部材２０は、下方支持部２３及び正面支持部２１を有する。正面支持部２１は、進出位置においてカセット９０の蓋の少なくとも一部に対向するように配置され、退避位置においてカセット９０の蓋の正面から退避される。

【0037】

駆動機構３０は、前後フレーム８に収容されている。駆動機構３０は、駆動部３１と、第２回動軸３３ａと、第１リンク部３５と、第２リンク部３６と、第３リンク部３８と、を有する。駆動機構３０は、前後フレーム８を構成するフレームＦに固定されている。駆動機構３０は、駆動部３１による回転運動を、落下防止機構５０の開閉動作に変換する。

【0038】

駆動部３１は、例えばステッピングモータである。駆動部３１は、コントローラ８０によって制御される。駆動部３１は、第２回動軸３３ａを双方向に回転駆動し、第２回動部材５３を回動させる。第２回動軸３３ａは、Ｚ方向（鉛直方向）に沿って延びる軸体である。第１リンク部３５は、Ｙ軸方向に沿って延在する板状部材である。第１リンク部３５の一端は、第２回動部材５３の先端部に接続されている。第１リンク部３５の他端は、第２リンク部３６の先端部に接続されている。

【0039】

第２リンク部３６の基端部は、Ｚ軸方向に沿う回動軸３６ａに一体的に接続されており、回動軸３６ａ回りに回動自在に支持されている。第２リンク部３６は、第２回動部材５３に第１リンク部３５を介して連結されており、第２回動部材５３の回転に伴って回転する。

【0040】

第３リンク部３８の一端は、第２リンク部３６における回動軸３６ａと偏心した位置に設けられた軸３７に接続されている。第３リンク部３８の他端は、蓋落下防止部材２０の下方支持部２３に設けられた取付部２７に接続されている。下方支持部２３において正面支持部２１が設けられる端部とは反対側の基端部２３ａは、Ｚ軸方向に延在する軸回りに回動可能にフレームＦに取り付けられている。これにより、下方支持部２３は、基端部２３ａを回動軸として回動可能になる。下方支持部２３は、第２リンク部３６に第３リンク部３８を介して連結されており、第２リンク部３６の回転に伴って回転する。これにより、第２回動部材５３の回転に伴って第２リンク部３６が回転すると、蓋落下防止部材２０が退避位置と進出位置との間で動作する。

【0041】

コントローラ８０（図１参照）は、天井搬送車１における各部を制御する。コントローラ８０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＲＯＭ（Read Only Memory）等を有している。コントローラ８０では、ＣＰＵ、ＲＡＭ及びＲＯＭ等のハードウェアと、プログラム等のソフトウェアとが協働することによって、各種制御を実行する。

【0042】

図８に示されるように、落下防止機構５０は、ねじりばねＮＢを有する。ねじりばねＮＢは、第１回動部材５１に対して開状態から閉状態へ回転させる方向のモーメントを生じさせる弾性部材である。ねじりばねＮＢは、第１回動軸５４と第１回動部材５１とに取り付けられている。

【0043】

次に、落下防止機構５０の動作について説明する。以下の説明では、落下防止機構５０の開時から閉時への動作（つまり、第１回動部材５１が開状態から閉状態へ移行する際の落下防止機構５０の動作）を例示する。

【0044】

図１及び図３〜図６に示されるように、第１回動部材５１が開状態の場合には、第１回動部材５１はＺ方向に沿って延在すると共に第２回動部材５３はＹ方向に沿って延在しており、落下防止機構５０は畳まれた状態にある。このとき、落下防止部材５２は、カセット９０の下方から退出した状態となる。第１回動部材５１の第１係止部３４ａは、ストッパ３９Ａに係止される。ストッパ５９は、前後フレーム８と第１回動部材５１との間でＹ方向に沿って延在する。スライド部材５８は、水平軸５６の一端側で鉛直軸５７の下方側に位置する。蓋落下防止部材２０は退避位置に位置する。

【0045】

図９及び図１０に示されるように、駆動部３１の駆動によって第２回動部材５３が閉方向に回転すると、その回転に伴いスライド部材５８が水平軸５６に沿って他端側へ向かってＹ方向に摺動し、スライド部材５８がＸ方向の内側（カセット９０側）に移動する。これに応じて、第１回動部材５１の先端側が持ち上がるように当該第１回動部材５１が回転すると共に、スライド部材５８が鉛直軸５７に沿って上方に摺動する。落下防止部材５２は、内側に迫り出す。ストッパ５９は、前後フレーム８と第１回動部材５１との間でＹ方向に対して傾斜して延在する。蓋落下防止部材２０は退避位置から進入位置へ向かって可変する。

【0046】

図１１及び図１２に示されるように、引き続き、駆動部３１の駆動によって第２回動部材５３が閉方向に回転すると、その回転に伴いスライド部材５８が水平軸５６に沿って他端側へ向かってＹ方向に更に摺動し、スライド部材５８がＸ方向の内側に更に移動する。これに応じて、第１回動部材５１の先端側が更に持ち上がるように当該第１回動部材５１が回転すると共に、スライド部材５８が鉛直軸５７に沿って上方に更に摺動する。落下防止部材５２は、更に内側に迫り出す。ストッパ５９は、前後フレーム８と第１回動部材５１との間でＸ方向に対して傾斜して延在する。蓋落下防止部材２０は退避位置から進入位置へ向かって更に可変する。

【0047】

そして、図２及び図１３〜図１５に示されるように、駆動部３１の駆動によって第２回動部材５３が閉方向に回転し、第１回動部材５１が閉状態に達すると、第１回動部材５１が閉状態となる。第１回動部材５１が閉状態の場合には、第１回動部材５１はＺ方向及びＸ方向に傾斜して延在すると共に第２回動部材５３はＸ方向に沿って延在し、落下防止機構５０は展開された状態にある。

【0048】

このとき、落下防止部材５２は、内側へと大きく迫り出し、カセット９０の下方に十分に進出する。第１回動部材５１の第２係止部３４ｂは、ストッパ３９Ａに係止される。ストッパ５９は、前後フレーム８と第１回動部材５１との間でＸ方向に延在し、前後フレーム８の内側の面に対して当接部５９ＢがＸ方向に対向する。スライド部材５８は、水平軸５６の中央部で鉛直軸５７の上方側に位置する。鉛直軸５７が死点を過ぎた位置に位置するまで、第２回動部材５３が閉方向に回転される。蓋落下防止部材２０は進出位置に位置する。なお、第１回動部材５１が閉状態から開状態となるまでの動作では、上述した動作と逆に進展する。

【0049】

以上、天井搬送車１では、第１回動部材５１及び第２回動部材５３によるトラス構造で落下防止部材５２を支持することができ、落下防止機構５０の強度を効率的に高めることができる。よって、例えば重量物のカセット９０を搬送する場合でも、単純な構成でカセット９０の落下を確実に防止することが可能となる。落下防止部材５２がカセット９０の下方に大きく迫り出すことができ、落下防止部材５２のオーバーハング量が不足する可能性を低減することができる。例えば小型ひいては小型重量物のカセット９０を搬送する場合でも、カセット９０の落下を確実に防止することが可能となる。

【0050】

天井搬送車１は、第２回動部材５３に設けられたストッパ５９を備える。ストッパ５９によれば、閉状態（落下防止部材５２がカセット９０の下方に進出している状態）の第１回動部材５１に力が加わった場合に、当該第１回動部材５１の回転を規制する。例えば図１６にモデル化して示すように、閉状態の第１回動部材５１を開状態側へ回転させようとする力が加わった場合に、ストッパ５９の当接部５９Ｂが前後フレーム８に当接し、当該第１回動部材５１の開状態側への回転が規制される。これにより、閉状態の第１回動部材５１に力が加わっても、落下防止機構５０の歪みを抑えることができる。カセット９０の落下をより確実に防止することが可能となる。

【0051】

天井搬送車１では、第１回動部材５１は水平軸５６を有する。第２回動部材５３の先端部は、鉛直軸５７と、水平軸５６及び鉛直軸５７に対して摺動可能なスライド部材５８とを有する。この構成では、第２回動部材５３を回動することでスライド部材５８を水平軸５６及び鉛直軸５７に沿って摺動させ、それに伴って第１回動部材５１を回動させて、落下防止部材５２をスムーズに進退させることができる。第１回動部材５１が開状態のときには落下防止機構５０をコンパクトに構成することができる。

【0052】

天井搬送車１では、スライド部材５８は、摺動プレート５８Ａ及び球面滑り軸受５８Ｂを介して水平軸５６に取り付けられている。この構成では、図１７（ａ）に示されるように、球面滑り軸受５８Ｂによれば、水平軸５６の鉛直軸５７に対する角度（傾き）のばらつきを吸収することができる。図１７（ｂ）に示されるように、摺動プレート５８Ａによれば、水平軸５６のＺ方向における位置のばらつきを吸収することができる。

【0053】

天井搬送車１では、第２回動部材５３は、落下防止部材５２がカセット９０の下方に進出している場合（第１回動部材５１を閉状態へ回転させた場合）、第２回動部材５３の先端部が第Ｘ方向における死点を過ぎた位置まで閉方向に回転された状態にある。これにより、落下防止部材５２がカセット９０の下方に進出している閉状態では、意図しない外力が加わっても、第２回動部材５３は開方向に回転し難くなる。閉状態の第１回動部材５１が開状態側に意図せずに回転ことを抑制することが可能となる。

【0054】

天井搬送車１は、第１回動部材５１を開状態から閉状態へ回転させる方向のモーメントを生じさせるねじりばねＮＢを有する。この構成では、第１回動部材５１を閉状態へ回転させる力が当該第１回動部材５１に作用することになる。よって、第１回動部材５１を閉状態から開状態へ回転させる際の駆動力を低減させることができる。なお、ねじりばねＮＢに代えてもしくは加えて、第１回動部材５１を開状態から閉状態へ回転させる方向のモーメントを第１回動部材５１に生じさせ得る種々の弾性部材を有していてもよい。また、第１回動部材５１を開状態から閉状態へ回転させる際の抵抗（摩擦力）が充分小さい、あるいは第１回動部材５１を閉状態から開状態へ回転させる際の駆動力が充分大きい場合には、ねじりばねＮＢ等の弾性部材による駆動力の補助はなくてもよい。

【0055】

以上、一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

【0056】

上記実施形態では、駆動部３１の駆動力によって第１回動部材５１及び第２回動部材５３の回動を実現したが、これに代えて、作業者等による手動で第１回動部材５１及び第２回動部材５３の回動を実現してもよい。上記実施形態において、固定は、ねじ等の締結具により実現されていてもよいし、その他の種々の公知手法により実現されていてもよい。

【0057】

上記実施形態では、第１回動部材５１を軸体としての第１回動軸５４によって回動自在に支持し、第２回動部材５３を軸体としての第２回動軸３３ａによって回動自在に支持したが、支持する構造によっては、第１回動軸及び第２回動軸の少なくとも何れかが仮想軸である場合もある。

【0058】

上記実施形態では、水平軸５６、鉛直軸５７及びスライド部材５８を利用して第２回動部材５３の先端部を第１回動部材５１に取り付けたが、当該取り付けの構成としては、種々の周知構成を採用してもよい。上記実施形態では、摺動プレート５８Ａ及び球面滑り軸受５８Ｂを介してスライド部材５８を水平軸５６に取り付けたが、場合によっては、摺動プレート５８Ａ及び球面滑り軸受５８Ｂの少なくとも何れかを設けなくてもよい。

【0059】

上記実施形態では、前後フレーム８の内部にコントローラ８０が設けられている例を挙げて説明したが、コントローラ８０に代えてもしくは加えて、ネットワーク等を介して天井搬送車１を制御する制御装置（制御部）が天井搬送車１とは別の箇所に設けられていてもよい。

【符号の説明】

【0060】

１…天井搬送車（搬送車）、３３ａ…第２回動軸、５０…落下防止機構、５１…第１回動部材、５２…落下防止部材、５３…第２回動部材、５４…第１回動軸、５６…水平軸、５７…鉛直軸、５８…スライド部材、５８Ａ…摺動プレート、５８Ｂ…球面滑り軸受、５９…ストッパ、９０…カセット（搬送物）、ＬＨ…長孔、ＮＢ…ねじりばね（弾性部材）。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】