特許6882244フォトレジストと共に使用するための下層コーティング組成物

発明の名称　フォトレジストと共に使用するための下層コーティング組成物

出願人　ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ・コリア・リミテッド　（識別番号 509266480）

　　　　特許公開件数ランキング 1270 位（17件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1494 位（13件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6882244

公報発行日　2021年6月2

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6882244

知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-6882244「フォトレジストと共に使用するための下層コーティング組成物」の公報全文を閲覧することができます。

ログインはこちら　ログイン・ユーザー登録