特許6883103カルコゲナイドスパッタリングターゲット及びその製造方法

発明の名称　カルコゲナイドスパッタリングターゲット及びその製造方法

出願人　ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド　（識別番号 500575824）

　　　　特許公開件数ランキング 367 位（82件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 498 位（46件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-6883103

公報発行日　2021年6月9

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6883103

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