特許 6883137 研磨用バフ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】6883137

(24)【登録日】2021年5月11日

(45)【発行日】2021年6月9日

(54)【発明の名称】研磨用バフ

(51)【国際特許分類】

   B24D 13/14 20060101AFI20210531BHJP

【ＦＩ】

   B24D13/14 B

【請求項の数】6

【全頁数】18

(21)【出願番号】特願2020-143223(P2020-143223)

(22)【出願日】2020年8月27日

【審査請求日】2020年10月6日

(31)【優先権主張番号】特願2020-123110(P2020-123110)

(32)【優先日】2020年7月17日

(33)【優先権主張国】JP

【新規性喪失の例外の表示】特許法第３０条第２項適用 令和２年２月２７日 取引顧客に概要を記載したダイレクトメールをゆうメールにて配布

【新規性喪失の例外の表示】特許法第３０条第２項適用 令和２年２月２５日 ウェブサイト（ｈｔｔｐｓ：／／ｗｗｗ．ｆｅ−ｔｒａｄｉｎｇ．ｃｏｍ／ｐａｇｅ／ｈａｙａｂｕｓａ）にて公開

【新規性喪失の例外の表示】特許法第３０条第２項適用 令和２年２月２５日 取引顧客に概要を記載した印刷物を同梱し、配布

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】301020282

【氏名又は名称】エフイートレード株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】593020692

【氏名又は名称】株式会社大宮バフ

(74)【代理人】

【識別番号】100166006

【弁理士】

【氏名又は名称】泉 通博

(74)【代理人】

【識別番号】100154070

【弁理士】

【氏名又は名称】久恒 京範

(74)【代理人】

【識別番号】100153280

【弁理士】

【氏名又は名称】寺川 賢祐

(72)【発明者】

【氏名】志水 公一

【審査官】 山村 和人

(56)【参考文献】

【文献】 米国特許出願公開第２０１０／０１５１７７２（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 実開昭５５−１５６８６２（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開昭５９−２２７３６７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ２４Ｄ ３／００ − ９９／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

研磨面を有する研磨部材と、
前記研磨部材の前記研磨面とは反対側の面に固定されており、空隙が形成されている樹脂部材と、
を有し、
前記空隙は、前記研磨部材と前記樹脂部材との積層方向において、前記研磨面と平行な方向における前記空隙の最大長が異なる複数の領域を有し、
前記樹脂部材は、
前記研磨部材の前記研磨面とは反対側の面に固定されている第１樹脂部材と、
前記第１樹脂部材の前記研磨部材に固定されている面とは反対側の面に固定されており、前記第１樹脂部材よりも硬い第２樹脂部材と、
を有し、
前記空隙は、前記第１樹脂部材及び前記第２樹脂部材の少なくとも一方に形成されていることを特徴とする研磨用バフ。

【請求項2】

前記空隙は、前記積層方向において前記研磨部材と接する位置に向けて前記最大長が大きくなる領域を有することを特徴とする、
請求項１に記載の研磨用バフ。

【請求項3】

前記空隙は、前記研磨部材と接する位置における前記最大長が最大であることを特徴とする、
請求項２に記載の研磨用バフ。

【請求項4】

前記空隙は前記積層方向において前記樹脂部材を貫通しており、
前記積層方向において前記最大長が一定の第１領域と、前記積層方向において前記研磨部材と接する位置に向けて前記最大長が大きくなる第２領域と、を有することを特徴とする、
請求項１から３のいずれか一項に記載の研磨用バフ。

【請求項5】

前記樹脂部材の中心を通りかつ前記研磨面と直交する方向の前記樹脂部材の断面において、前記第２領域における前記空隙の境界線の前記研磨面に対する角度が３０度以上６０度以下であることを特徴とする、
請求項４に記載の研磨用バフ。

【請求項6】

前記樹脂部材の中心を通りかつ前記研磨面と直交する方向の前記樹脂部材の断面において、前記第２領域における前記空隙の境界線が円弧状であることを特徴とする、
請求項４に記載の研磨用バフ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、研磨用バフに関する。

【背景技術】

【0002】

従来、研磨用バフが取り付けられた研磨機が知られている。特許文献１には、研磨機に取り付けられる研磨バフが開示されている。特許文献１に開示されている研磨バフの中央には円筒状の貫通孔が形成されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】実用新案登録第３１０７０６８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

研磨バフの中央には、円筒状の貫通孔が形成されている場合がある。この場合、円筒状の貫通孔の縁の部分に大きな力が加わることで、研磨用バフにおける貫通孔の縁の付近の毛が抜け易かったり、塗装面との摩擦により熱が発生して塗装面に研磨剤が焼き付いたりするという問題が生じていた。

【0005】

そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、研磨面に加わる力の偏りが生じづらい研磨用バフを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の第１の態様においては、研磨面を有する研磨部材と、前記研磨部材の前記研磨面とは反対側の面に固定されており、空隙が形成されている樹脂部材と、を有し、前記空隙は、前記研磨部材と前記樹脂部材との積層方向において、前記研磨面と平行な方向における前記空隙の最大長が異なる複数の領域を有することを特徴とする研磨用バフを提供する。

【0007】

また、前記空隙は、前記積層方向において前記研磨部材と接する位置に向けて前記最大長が大きくなる領域を有していてもよい。また、前記空隙は、前記研磨部材と接する位置における前記最大長が最大であってもよい。また、前記空隙は前記積層方向において前記樹脂部材を貫通しており、前記積層方向において前記最大長が一定の第１領域と、前記積層方向において前記研磨部材と接する位置に向けて前記最大長が大きくなる第２領域と、を有していてもよい。

【0008】

また、前記樹脂部材の中心を通りかつ前記研磨面と直交する方向の前記樹脂部材の断面において、前記第２領域における前記空隙の境界線の前記研磨面に対する角度が３０度以上６０度以下であってもよい。また、前記樹脂部材の中心を通りかつ前記研磨面と直交する方向の前記樹脂部材の断面において、前記第２領域における前記空隙の境界線が円弧状であってもよい。

【0009】

また、前記樹脂部材は、前記研磨部材の前記研磨面とは反対側の面に固定されている第１樹脂部材と、前記第１樹脂部材の前記研磨部材に固定されている面とは反対側の面に固定されており、前記第１樹脂部材よりも硬い第２樹脂部材と、を有し、前記空隙は、前記第１樹脂部材及び前記第２樹脂部材の少なくとも一方に形成されていてもよい。

【発明の効果】

【0010】

本発明によれば、研磨用バフにおいて、研磨面に加わる力の偏りが生じづらくなるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】第１の実施形態に係る研磨用バフの構造を示す。

【図2】変形例１〜変形例７としての研磨用バフの構造を示す。

【図3】実施例Ａの圧力分布図である。

【図4】実施例Ａの圧力分布データを数値で示す。

【図5】比較例Ｂの圧力分布図である。

【図6】比較例Ｂの圧力分布データを数値で示す。

【図7】第２の実施形態に係る研磨用バフの構造を示す。

【図8】変形例８〜変形例１２としての研磨用バフの構造を示す。

【図9】変形例１３〜変形例１６としての研磨用バフの構造を示す。

【発明を実施するための形態】

【0012】

＜第１の実施形態＞
図１は、第１の実施形態に係る研磨用バフ１の構造を示す図である。研磨用バフ１は、例えば円盤状であり、研磨用バフ１を回転させる研磨機に装着された状態で使用される。

【0013】

研磨用バフ１は、研磨部材１１、及び樹脂部材１２を有する。研磨部材１１は、例えばウール製である。研磨部材１１は、例えば化学繊維製であってもよい。研磨部材１１は、研磨面１１１を有する。研磨面１１１は、被研磨部材に接する面である。被研磨部材は、例えば塗装面を有する部材を含む。図１に示す研磨面１１１には、複数の毛が設けられている。

【0014】

樹脂部材１２は、可撓性を有する。樹脂部材１２は、例えば発泡ウレタン製である。樹脂部材１２は、柔軟性を考慮すると、例えば発泡目（セル数）において約３０〜８０個／２５ｍｍの発泡ウレタン製が望ましい。樹脂部材１２は、研磨部材１１の研磨面１１１とは反対側の面に固定されている。樹脂部材１２には、空隙１２１が形成されている。空隙１２１は積層方向において樹脂部材１２を貫通している。空隙１２１は、研磨部材１１と樹脂部材１２との積層方向（以下、「積層方向」という。）において、研磨面１１１と平行な方向における空隙１２１の最大長（以下、「最大長」という。）が異なる複数の領域を有する。

【0015】

具体的には、空隙１２１は、第１領域１２２、及び第２領域１２３を有する。第１領域１２２は、積層方向において最大長が一定の領域である。第２領域１２３は、積層方向において研磨部材１１と接する位置に向けて最大長が大きくなる領域である。

【0016】

第２領域１２３は、研磨部材１１と接する位置における最大長が最大である。具体的には、第２領域１２３は、研磨部材１１に接する位置の内径が最大になる円錐状の内側面を有する。図１に示すように、樹脂部材１２の中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２の断面において、第２領域１２３における空隙１２１の境界線は直線状である。空隙１２１が研磨部材１１に接する位置における第２領域１２３の内側面が積層方向に対して傾いているので、当該位置において第２領域１２３の内側面が積層方向である場合に比べて、当該位置において研磨部材１１に加わる圧力が小さい。その結果、研磨用バフ１においては、研磨面１１１に加わる力の偏りが生じづらくなる。

【0017】

研磨用バフ１は、このように空隙１２１が積層方向において樹脂部材１２を貫通していることで、研磨用バフ１が高トルクを伴う高回転数で回っている間に研磨部材１１が研磨面に加える圧力が小さくなるので、研磨面で発生する熱を抑制することができる。また、研磨用バフ１は、空隙１２１が、内側面が積層方向に対して傾いている第２領域１２３を有することで、空隙１２１が研磨部材１１に接する位置に大きな圧力が加わることを抑制できる。その結果、研磨部材１１が劣化したり、研磨部材１１の毛が抜けて空隙１２１を介して研磨機にからまったり、被研磨部材の塗装面が過熱したりすることを抑制できる。なお、研磨用バフ１は、樹脂部材１２における研磨部材１１と反対側の面に、研磨用バフ１を研磨機に取り付けるための起毛布を有していてもよい。

【0018】

［変形例１〜変形例７］
図２は、変形例１〜変形例７としての研磨用バフ１ａ〜１ｇの構造を示す図である。
図２（ａ）は、変形例１としての研磨用バフ１ａの構造を示す図である。図２（ｂ）は、変形例２としての研磨用バフ１ｂの構造を示す図である。図２（ｃ）は、変形例３としての研磨用バフ１ｃの構造を示す図である。図２（ｄ）は、変形例４としての研磨用バフ１ｄの構造を示す図である。図２（ｅ）は、変形例５としての研磨用バフ１ｅの構造を示す図である。図２（ｆ）は、変形例６としての研磨用バフ１ｆの構造を示す図である。図２（ｇ）は、変形例７としての研磨用バフ１ｇの構造を示す図である。

【0019】

上記第１の実施形態においては、樹脂部材１２の中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２の断面において、第２領域１２３における空隙１２１の境界線が直線状である例を示したが、これに限定されない。樹脂部材１２ａの中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２ａの断面において、第２領域１２３ａにおける空隙１２１ａの境界線は円弧上であってもよい。

【0020】

図２（ａ）に示すように、研磨用バフ１ａは、樹脂部材１２の代わりに樹脂部材１２ａを有する。樹脂部材１２ａには、空隙１２１ａが形成されている。空隙１２１ａは、第１領域１２２ａ、及び第２領域１２３ａを有する。第１領域１２２ａは、積層方向において最大長が一定の領域である。第２領域１２３ａは、積層方向において研磨部材１１と接する位置に向けて最大長が大きくなる領域である。第２領域１２３ａは、研磨部材１１と接する位置における最大長が最大である。樹脂部材１２ａの中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２ａの断面において、第２領域１２３ａにおける空隙１２１ａの境界線は円弧状である。

【0021】

上記第１の実施形態においては、空隙１２１は、積層方向において樹脂部材１２を貫通しており、積層方向において最大長が一定の第１領域１２２と、積層方向において研磨部材１１と接する位置に向けて最大長が大きくなる第２領域１２３と、を有する例を示したが、これに限定されない。空隙１２１ｂは、積層方向において樹脂部材１２ｂを貫通しておらず、積層方向において研磨部材１１と接する位置に向けて最大長が大きくなる領域を有していてもよい。

【0022】

図２（ｂ）に示すように、研磨用バフ１ｂは、樹脂部材１２の代わりに樹脂部材１２ｂを有する。樹脂部材１２ｂには、空隙１２１ｂが形成されている。空隙１２１ｂは、積層方向において樹脂部材１２ｂを貫通していない。空隙１２１ｂは、積層方向において研磨部材１１と接する位置に向けて最大長が大きくなる領域を有する。空隙１２１ｂは、研磨部材１１と接する位置における最大長が最大である。樹脂部材１２ｂの中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２ｂの断面において、空隙１２１ｂの境界線は直線状である。

【0023】

また、図２（ｃ）に示すように、研磨用バフ１ｃは、樹脂部材１２の代わりに樹脂部材１２ｃを有する。樹脂部材１２ｃには、空隙１２１ｃが形成されている。空隙１２１ｃは、積層方向において樹脂部材１２ｃを貫通していない。空隙１２１ｃは、積層方向において研磨部材１１と接する位置に向けて最大長が大きくなる領域を有する。空隙１２１ｃは、研磨部材１１と接する位置における最大長が最大である。樹脂部材１２ｃの中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２ｃの断面において、空隙１２１ｃの境界線は円弧状であってもよい。

【0024】

上記第１の実施形態においては、空隙１２１は、積層方向において樹脂部材１２を貫通しており、積層方向において最大長が一定の第１領域１２２と、積層方向において研磨部材１１と接する位置に向けて最大長が大きくなる第２領域１２３と、を有する例を示したが、これに限定されない。空隙１２１ｄは、積層方向において樹脂部材１２ｄを貫通しており、積層方向において最大長が一定の第１領域１２２ｄと、積層方向において研磨部材１１と接する側とは反対側の面に向けて最大長が大きくなる第３領域１２４ｄと、を有していてもよい。

【0025】

図２（ｄ）に示すように、研磨用バフ１ｄは、樹脂部材１２の代わりに樹脂部材１２ｄを有する。樹脂部材１２ｄには、空隙１２１ｄが形成されている。空隙１２１ｄは、積層方向において樹脂部材１２ｄを貫通している。空隙１２１ｄは、第１領域１２２ｄ、及び第３領域１２４ｄを有する。第１領域１２２ｄは、積層方向において最大長が一定の領域である。第３領域１２４ｄは、積層方向において研磨部材１１と接する側とは反対側の面に向けて最大長が大きくなる領域である。第３領域１２４ｄは、研磨部材１１と接する側とは反対側の面における最大長が最大である。樹脂部材１２ｄの中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２ｄの断面において、第３領域１２４ｄにおける空隙１２１ｄの境界線は直線状である。

【0026】

また、図２（ｅ）に示すように、研磨用バフ１ｅは、樹脂部材１２の代わりに樹脂部材１２ｅを有する。樹脂部材１２ｅには、空隙１２１ｅが形成されている。空隙１２１ｅは、積層方向において樹脂部材１２ｅを貫通している。空隙１２１ｅは、第１領域１２２ｅ、及び第３領域１２４ｅを有する。第１領域１２２ｅは、積層方向において最大長が一定の領域である。第３領域１２４ｅは、積層方向において研磨部材１１と接する側とは反対側の面に向けて最大長が大きくなる領域である。第３領域１２４ｅは、研磨部材１１と接する側とは反対側の面における最大長が最大である。樹脂部材１２ｅの中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２ｅの断面において、第３領域１２４ｅにおける空隙１２１ｅの境界線は円弧状であってもよい。

【0027】

上記第１の実施形態においては、空隙１２１は、積層方向において樹脂部材１２を貫通しており、積層方向において最大長が一定の第１領域１２２と、積層方向において研磨部材１１と接する位置に向けて最大長が大きくなる第２領域１２３と、を有する例を示したが、これに限定されない。空隙１２１ｆは、積層方向において樹脂部材１２ｆを貫通しておらず、積層方向において研磨部材１１と接する側とは反対側の面に向けて最大長が大きくなる領域を有していてもよい。

【0028】

図２（ｆ）に示すように、研磨用バフ１ｆは、樹脂部材１２の代わりに樹脂部材１２ｆを有する。樹脂部材１２ｆには、空隙１２１ｆが形成されている。空隙１２１ｆは、積層方向において樹脂部材１２ｆを貫通していない。空隙１２１ｆは、積層方向において研磨部材１１と接する側とは反対側の面に向けて最大長が大きくなる領域を有する。空隙１２１ｆは、研磨部材１１と接する側とは反対側の面における最大長が最大である。樹脂部材１２ｆの中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２ｆの断面において、空隙１２１ｆの境界線は直線状である。

【0029】

また、図２（ｇ）に示すように、研磨用バフ１ｇは、樹脂部材１２の代わりに樹脂部材１２ｇを有する。樹脂部材１２ｇには、空隙１２１ｇが形成されている。空隙１２１ｇは、積層方向において樹脂部材１２ｇを貫通していない。空隙１２１ｇは、積層方向において研磨部材１１と接する側とは反対側の面に向けて最大長が大きくなる領域を有する。空隙１２１ｇは、研磨部材１１と接する側とは反対側の面における最大長が最大である。樹脂部材１２ｇの中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２ｇの断面において、空隙１２１ｇの境界線は円弧状であってもよい。

【0030】

［研磨用バフ１の性能試験］
次に、第１の実施形態に係る研磨用バフ１の性能試験の結果を示す。性能試験においては、最も効果的な空隙１２１の形状を評価するために試作品を用いて試験を行った。

【0031】

取り付け機械は、ＲＵＰＥＳ ＬＨＲ−１５ＥＳ（１５ｍｍランダムオービット）である。研磨対象は、トヨタクラウンボンネットフード（２０２ブラック）である。研磨剤は、ＫＡＴＡＮＡ ＮＡＮＯ（細目〜超微粒子）である。テストバフ素材は、ウールバフ１層タイプである。

【0032】

性能試験においては、樹脂部材１２の中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２の断面において、第２領域１２３における空隙１２１の境界線の研磨面１１１に対する角度（以下、「角度」という。）が異なる５つの研磨用バフ１を準備した。また、樹脂部材１２ａの中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２ａの断面において、第２領域１２３ａにおける空隙１２１ａの境界線が円弧状であり、円弧が円の１／４の円弧である研磨用バフ１ａを準備した。

【0033】

性能試験においては、研磨対象として被研磨部材の塗装面の一定の面積（５０ｃｍ角）を決めて、研磨剤を規定量（３ｇ）つけて同一時間（６０秒）研磨した。性能試験においては、各項目（研磨結果、抵抗感、及び毛抜け）をそれぞれ５段階評価で相対的に評価した。そして、各項目の合計を総合評価とした。

【0034】

表１は、研磨用バフ１、１ａの性能試験の結果である。
研磨結果の項目は、数値が大きいほど研磨結果が良く、数値が小さいほど研磨結果が悪いことを示す。抵抗感の項目は、数値が大きいほど抵抗感が弱く、数値が小さいほど抵抗感が強いことを示す。毛抜けの項目は、数値が大きいほど毛抜けが少なく、数値が小さいほど毛抜けが多いことを示す。よって、各項目、及び総合評価の項目は、それぞれ数値が大きいほど性能試験の結果が良いことを示し、数値が小さいほど性能試験の結果が悪いことを示す。

【0035】

【表1】

【0036】

実施例１から実施例５は、角度が異なる研磨用バフ１の性能試験の結果である。実施例１では、角度は０度である。実施例１では、研磨結果は２、抵抗感は２、毛抜けは２となり、総合評価は６となった。実施例２では、角度は３０度である。実施例２では、研磨結果は３、抵抗感は３、毛抜けは４となり、総合評価は１０となった。実施例３では、角度は４５度である。実施例３では、研磨結果は４、抵抗感は４、毛抜けは４となり、総合評価は１２となった。

【0037】

実施例４では、角度は６０度である。実施例４では、研磨結果は３、抵抗感は３、毛抜けは３となり、総合評価は９となった。実施例５では、角度は９０度である。実施例５では、研磨結果は２、抵抗感は２、毛抜けは２となり、総合評価は６となった。実施例６は、第２領域１２３ａにおける空隙１２１ａの境界線が円弧状であり、円弧が円の１／４の円弧である研磨用バフ１ａの性能試験の結果である。実施例６では、研磨結果は５、抵抗感は４、毛抜けは５となり、総合評価は１４となった。

【0038】

性能試験の結果から、実施例２〜実施例６の総合評価は、実施例１の総合評価以上であり、樹脂部材１２の中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２の断面において、第２領域１２３における空隙１２１の境界線の研磨面１１１に対する角度が３０度以上６０度以下であることが望ましいと判明した。最も総合評価が高いのは、実施例６であった。そして、次に総合評価が高いのは、実施例３であった。ただし、量産のコストを考慮した場合に最適であるのは、実施例３であった。

【0039】

毛抜けについても、実施例２〜実施例６の評価は、実施例１の評価以上であった。毛抜けについて最も評価が高いのは、実施例６であった、そして、次に、評価が高いのは、実施例２及び実施例３であった。樹脂部材１２の空隙１２１の付近に加わる力が最も大きくなりづらいのは実施例６であり、実施例６の次に樹脂部材１２の空隙１２１の付近に加わる力が大きくなりづらいのは、実施例２及び実施例３であることにより、このような結果を得られたと考えられる。

【0040】

研磨用バフ１において、樹脂部材１２の中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２の断面において、第２領域１２３における空隙１２１の境界線が直線状である場合に、角度が４５度の場合が毛抜けが生じづらいことがわかった。実施例３においては、角度が４５度であるため、樹脂部材１２の空隙１２１の付近に加わる力を均一に分散させ易いためと考えられる。一方、実施例５の空隙１２１は、研磨面１１１に接する位置における境界線が積層方向になっているため、実施例１との違いがあまり生じなかったと考えられる。

【0041】

［研磨用バフ１の圧力分布測定試験］
次に、第１の実施形態に係る研磨用バフ１の圧力分布測定試験の結果を示す。圧力分布測定試験においては、研磨用バフ１の圧力分散効果を視覚的に確認するために、以下の試験を行った。

【0042】

測定機材は、ＸＳＥＮＳＯＲ社 Ｘ３ＳｅａｔＳｙｓｔｅｍである。Ｘ３ＳｅａｔＳｙｓｔｅｍは、センサーシートを含む。センサーシートは複数の圧力センサを有するシートである。テストバフ素材は、ウールバフ１層タイプである。

【0043】

表２は、圧力分布測定試験において準備した研磨用バフ１の仕様を示す。
圧力分布測定試験においては、角度が異なる２つの研磨用バフ１を準備した。実施例Ａでは、角度は４５度である。比較例Ｂでは、角度は０度である。

【0044】

【表2】

【0045】

圧力分布測定試験においては、研磨機に研磨用バフ１を装着し、センサーシートと研磨用バフ１の研磨面１１１が平行に接触する状態にして、無負荷の状態から負荷をかけていき研磨用バフ１が潰れるまで動かした。

【0046】

図３は、実施例Ａの圧力分布図である。図３の左軸及び上軸に示す数値は、座標を示す。図４は、実施例Ａの圧力分布データを数値で示す図である。図４（ａ）は、実施例Ａにおける位置ごとの圧力分布を数値で示す図である。図４（ａ）に示す各数値は、研磨面１１１の各位置における圧力（ｋＰａ）を示す。図４（ｂ）は、実施例Ａの各種の測定条件を示す表である。

【0047】

図５は、比較例Ｂの圧力分布図である。図５の左軸及び上軸に示す数値は、座標を示す。図６は、比較例Ｂの圧力分布データを数値で示す図である。図６（ａ）は、比較例Ｂにおける位置ごとの圧力分布を数値で示す図である。図６（ａ）に示す各数値は、研磨面１１１の各位置における圧力（ｋＰａ）を示す。図６（ｂ）は、比較例Ｂの各種の測定条件を示す表である。

【0048】

図３及び図４（ａ）に示すように、実施例Ａでは、研磨面１１１の中心部分に圧力が高い領域が集中しておらず、中心から離れるにつれて圧力が徐々に高くなっていることがわかる。これに対して、図５及び図６（ａ）に示すように、比較例Ｂでは、研磨面１１１の空隙１２１の縁から圧力が高くなっていることがわかる。これらの結果から、実施例Ａは、比較例Ｂに比べて、研磨面１１１に加わる圧力の分散が効果的に行われていることが実証されたと言える。

【0049】

図４（ｂ）に示すように、実施例Ａでは、平均圧力は５．７７ｋＰａ、ピーク圧力は８．６７ｋＰａであった。一方、図６（ｂ）に示すように、比較例Ｂでは、平均圧力は６．３ｋＰａ、ピーク圧力は９．７１ｋＰａであった。これらの結果から、実施例Ａでは、比較例Ｂに比べて、平均圧力及びピーク圧力が低くなったことがわかる。

【0050】

［第１の実施形態に係る研磨用バフ１による効果］
第１の実施形態に係る研磨用バフ１は、研磨面１１１を有する研磨部材１１と、研磨部材１１の研磨面１１１とは反対側の面に固定されており、空隙１２１が形成されている樹脂部材１２と、を有する。そして、空隙１２１は、研磨部材１１と樹脂部材１２との積層方向において、研磨面１１１と平行な方向における空隙１２１の最大長が異なる複数の領域を有する。

【0051】

第１の実施形態に係る研磨用バフ１においては、このように樹脂部材１２に形成されている空隙１２１が、研磨部材１１と樹脂部材１２との積層方向において、研磨面１１１と平行な方向における空隙１２１の最大長が異なる複数の領域を有する。したがって、研磨用バフ１においては、樹脂部材１２に形成されている空隙１２１の付近に加わる力が大きくなりづらくなる。その結果、研磨用バフ１においては、研磨面１１１に加わる力の偏りが生じづらくなる。よって、研磨用バフ１においては、樹脂部材１２に形成されている空隙１２１の縁の付近の毛が抜けづらくなるとともに、被研磨部材の塗装面に研磨剤が焼き付いたりしづらくなる。

【0052】

＜第２の実施形態＞
図７は、第２の実施形態に係る研磨用バフ１ｈの構造を示す図である。
第２の実施形態に係る研磨用バフ１ｈは、第１の実施形態に係る研磨用バフ１と比べて、樹脂部材１２ｈが第１樹脂部材１２５ｈ及び第２樹脂部材１２６ｈを有し、空隙１２１ｈが、第１樹脂部材１２５ｈ及び第２樹脂部材１２６ｈの少なくとも一方に形成されている点で異なる。

【0053】

研磨用バフ１ｈは、研磨部材１１、及び樹脂部材１２ｈを有する。樹脂部材１２ｈは、第１樹脂部材１２５ｈ、及び第２樹脂部材１２６ｈを有する。第１樹脂部材１２５ｈは、研磨部材１１の研磨面１１１とは反対側の面に固定されている。第２樹脂部材１２６ｈは、第１樹脂部材１２５ｈの研磨部材１１に固定されている面とは反対側の面に固定されている。第２樹脂部材１２６ｈは、第１樹脂部材１２５ｈよりも硬い。

【0054】

空隙１２１ｈは、第１樹脂部材１２５ｈ及び第２樹脂部材１２６ｈの少なくとも一方に形成されている。図７に示すように、空隙１２１ｈは、第１樹脂部材１２５ｈ及び第２樹脂部材１２６ｈに形成されている。研磨用バフ１ｈにおいては、このように樹脂部材１２ｈが第１樹脂部材１２５ｈ及び第２樹脂部材１２６ｈを有し、空隙１２１ｈが第１樹脂部材１２５ｈ及び第２樹脂部材１２６ｈの少なくとも一方に形成されている。したがって、研磨用バフ１ｈにおいては、樹脂部材１２ｈに形成されている空隙１２１ｈの付近に加わる力が大きくなりづらくなる。

【0055】

さらに、研磨用バフ１ｈにおいては、空隙１２１ｈが第２樹脂部材１２６ｈよりも柔らかい第１樹脂部材１２５ｈに形成されていることで、樹脂部材１２ｈに形成されている空隙１２１ｈの付近に加わる力がさらに大きくなりづらくなる。また、研磨機に接する第２樹脂部材１２６ｈが第１樹脂部材１２５ｈよりも硬いので、研磨用バフ１ｈの劣化を抑制することができる。

【0056】

空隙１２１ｈは積層方向において樹脂部材１２ｈを貫通している。空隙１２１ｈは、第１領域１２２ｈ、及び第２領域１２３ｈを有する。第１領域１２２ｈは、積層方向において最大長が一定の領域である。第２領域１２３ｈは、積層方向において研磨部材１１と接する位置に向けて最大長が大きくなる領域である。第２領域１２３ｈは、研磨部材１１と接する位置における最大長が最大である。また、図７に示すように、樹脂部材１２ｈの中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２ｈの断面において、第２領域１２３ｈにおける空隙１２１ｈの境界線は直線状である。

【0057】

［変形例８〜変形例１６］
図８は、変形例８〜変形例１２としての研磨用バフ１ｉ〜１ｍの構造を示す図である。図８（ｉ）は、変形例８としての研磨用バフ１ｉの構造を示す図である。図８（ｊ）は、変形例９としての研磨用バフ１ｊの構造を示す図である。図８（ｋ）は、変形例１０としての研磨用バフ１ｋの構造を示す図である。図８（ｌ）は、変形例１１としての研磨用バフ１ｌの構造を示す図である。図８（ｍ）は、変形例１２としての研磨用バフ１ｍの構造を示す図である。

【0058】

図９は、変形例１３〜変形例１６としての研磨用バフ１ｎ〜１ｑの構造を示す図である。図９（ｎ）は、変形例１３としての研磨用バフ１ｎの構造を示す図である。図９（ｏ）は、変形例１４としての研磨用バフ１ｏの構造を示す図である。図９（ｐ）は、変形例１５としての研磨用バフ１ｐの構造を示す図である。図９（ｑ）は、変形例１６としての研磨用バフ１ｑの構造を示す図である。

【0059】

上記第２の実施形態においては、樹脂部材１２ｈの中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２ｈの断面において、第２領域１２３ｈにおける空隙１２１ｈの境界線は直線状である例を示したが、これに限定されない。樹脂部材１２ｉの中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２ｉの断面において、第２領域１２３ｉにおける空隙１２１ｉの境界線は円弧上であってもよい。

【0060】

図８（ｉ）に示すように、研磨用バフ１ｉは、樹脂部材１２ｈの代わりに樹脂部材１２ｉを有する。樹脂部材１２ｉは、第１樹脂部材１２５ｉ及び第２樹脂部材１２６ｉを有する。第１樹脂部材１２５ｉ及び第２樹脂部材１２６ｉは、それぞれ第１樹脂部材１２５ｈ及び第２樹脂部材１２６ｈと同様の構造を有する。

【0061】

樹脂部材１２ｉには、空隙１２１ｉが形成されている。空隙１２１ｉは、第１領域１２２ｉ、及び第２領域１２３ｉを有する。第１領域１２２ｉは、積層方向において最大長が一定の領域である。第２領域１２３ｉは、積層方向において研磨部材１１と接する位置に向けて最大長が大きくなる領域である。第２領域１２３ｉは、研磨部材１１と接する位置における最大長が最大である。樹脂部材１２ｉの中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２ｉの断面において、第２領域１２３ｉにおける空隙１２１ｉの境界線は円弧状である。

【0062】

上記第２の実施形態においては、空隙１２１ｈは、積層方向において樹脂部材１２ｈを貫通しており、積層方向において最大長が一定の第１領域１２２ｈと、積層方向において研磨部材１１と接する位置に向けて最大長が大きくなる第２領域１２３ｈと、を有する例を示したが、これに限定されない。空隙１２１ｊは、積層方向において樹脂部材１２ｊを貫通しておらず、積層方向において研磨部材１１と接する位置に向けて最大長が大きくなる領域を有していてもよい。

【0063】

図８（ｊ）に示すように、研磨用バフ１ｊは、樹脂部材１２ｈの代わりに樹脂部材１２ｊを有する。樹脂部材１２ｊは、第１樹脂部材１２５ｊ及び第２樹脂部材１２６ｊを有する。第１樹脂部材１２５ｊ及び第２樹脂部材１２６ｊは、それぞれ第１樹脂部材１２５ｈ及び第２樹脂部材１２６ｈと同様の構造を有する。

【0064】

樹脂部材１２ｊには、空隙１２１ｊが形成されている。空隙１２１ｊは、積層方向において樹脂部材１２ｊを貫通していない。空隙１２１ｊは、積層方向において研磨部材１１と接する位置に向けて最大長が大きくなる領域を有する。空隙１２１ｊは、研磨部材１１と接する位置における最大長が最大である。樹脂部材１２ｊの中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２ｊの断面において、空隙１２１ｊの境界線は直線状である。

【0065】

また、図８（ｋ）に示すように、研磨用バフ１ｋは、樹脂部材１２ｈの代わりに樹脂部材１２ｋを有する。樹脂部材１２ｋは、第１樹脂部材１２５ｋ及び第２樹脂部材１２６ｋを有する。第１樹脂部材１２５ｋ及び第２樹脂部材１２６ｋは、それぞれ第１樹脂部材１２５ｈ及び第２樹脂部材１２６ｈと同様の構造を有する。

【0066】

樹脂部材１２ｋには、空隙１２１ｋが形成されている。空隙１２１ｋは、積層方向において樹脂部材１２ｋを貫通していない。空隙１２１ｋは、積層方向において研磨部材１１と接する位置に向けて最大長が大きくなる領域を有する。空隙１２１ｋは、研磨部材１１と接する位置における最大長が最大である。樹脂部材１２ｋの中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２ｋの断面において、空隙１２１ｋの境界線は円弧状であってもよい。

【0067】

上記第２の実施形態においては、空隙１２１ｈが積層方向において樹脂部材１２ｈを貫通しており、積層方向において最大長が一定の第１領域１２２ｈと、積層方向において研磨部材１１と接する位置に向けて最大長が大きくなる第２領域１２３ｈと、を有する例を示したが、これに限定されない。空隙１２１ｌは、積層方向において樹脂部材１２ｌを貫通しており、積層方向において最大長が一定の第１領域１２２ｌと、積層方向において研磨部材１１と接する側とは反対側の面に向けて最大長が大きくなる第３領域１２４ｌと、を有していてもよい。

【0068】

図８（ｌ）に示すように、研磨用バフ１ｌは、樹脂部材１２ｈの代わりに樹脂部材１２ｌを有する。樹脂部材１２ｌは、第１樹脂部材１２５ｌ及び第２樹脂部材１２６ｌを有する。第１樹脂部材１２５ｌ及び第２樹脂部材１２６ｌは、それぞれ第１樹脂部材１２５ｈ及び第２樹脂部材１２６ｈと同様の構造を有する。

【0069】

樹脂部材１２ｌには、空隙１２１ｌが形成されている。空隙１２１ｌは、積層方向において樹脂部材１２ｌを貫通している。空隙１２１ｌは、第１領域１２２ｌ、及び第３領域１２４ｌを有する。第１領域１２２ｌは、積層方向において最大長が一定の領域である。第３領域１２４ｌは、積層方向において研磨部材１１と接する側とは反対側の面に向けて最大長が大きくなる領域である。第３領域１２４ｌは、研磨部材１１と接する側とは反対側の面における最大長が最大である。樹脂部材１２ｌの中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２ｌの断面において、第３領域１２４ｌにおける空隙１２１ｌの境界線は直線状である。

【0070】

また、図８（ｍ）に示すように、研磨用バフ１ｍは、樹脂部材１２ｈの代わりに樹脂部材１２ｍを有する。樹脂部材１２ｍは、第１樹脂部材１２５ｍ及び第２樹脂部材１２６ｍを有する。第１樹脂部材１２５ｍ及び第２樹脂部材１２６ｍは、それぞれ第１樹脂部材１２５ｈ及び第２樹脂部材１２６ｈと同様の構造を有する。

【0071】

樹脂部材１２ｍには、空隙１２１ｍが形成されている。空隙１２１ｍは、積層方向において樹脂部材１２ｍを貫通している。空隙１２１ｍは、第１領域１２２ｍ、及び第３領域１２４ｍを有する。第１領域１２２ｍは、積層方向において最大長が一定の領域である。第３領域１２４ｍは、積層方向において研磨部材１１と接する側とは反対側の面に向けて最大長が大きくなる領域である。第３領域１２４ｍは、研磨部材１１と接する側とは反対側の面における最大長が最大である。樹脂部材１２ｍの中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２ｍの断面において、第３領域１２４ｍにおける空隙１２１ｍの境界線は円弧状であってもよい。

【0072】

上記第２の実施形態においては、空隙１２１ｈは、積層方向において樹脂部材１２ｈを貫通しており、積層方向において最大長が一定の第１領域１２２ｈと、積層方向において研磨部材１１と接する位置に向けて最大長が大きくなる第２領域１２３ｈと、を有する例を示したが、これに限定されない。空隙１２１ｎは、積層方向において樹脂部材１２ｎを貫通しておらず、積層方向において研磨部材１１と接する側とは反対側の面に向けて最大長が大きくなる領域を有していてもよい。

【0073】

図９（ｎ）に示すように、研磨用バフ１ｎは、樹脂部材１２ｈの代わりに樹脂部材１２ｎを有する。樹脂部材１２ｎは、第１樹脂部材１２５ｎ及び第２樹脂部材１２６ｎを有する。第１樹脂部材１２５ｎ及び第２樹脂部材１２６ｎは、それぞれ第１樹脂部材１２５ｈ及び第２樹脂部材１２６ｈと同様の構造を有する。

【0074】

樹脂部材１２ｎには、空隙１２１ｎが形成されている。空隙１２１ｎは、積層方向において樹脂部材１２ｎを貫通していない。空隙１２１ｎは、積層方向において研磨部材１１と接する側とは反対側の面に向けて最大長が大きくなる領域を有する。空隙１２１ｎは、研磨部材１１と接する側とは反対側の面における最大長が最大である。樹脂部材１２ｎの中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２ｎの断面において、空隙１２１ｎの境界線は直線状である。

【0075】

また、図９（ｏ）に示すように、研磨用バフ１ｏは、樹脂部材１２ｈの代わりに樹脂部材１２ｏを有する。樹脂部材１２ｏは、第１樹脂部材１２５ｏ及び第２樹脂部材１２６ｏを有する。第１樹脂部材１２５ｏ及び第２樹脂部材１２６ｏは、それぞれ第１樹脂部材１２５ｈ及び第２樹脂部材１２６ｈと同様の構造を有する。

【0076】

樹脂部材１２ｏには、空隙１２１ｏが形成されている。空隙１２１ｏは、積層方向において樹脂部材１２ｏを貫通していない。空隙１２１ｏは、積層方向において研磨部材１１と接する側とは反対側の面に向けて最大長が大きくなる領域を有する。空隙１２１оは、研磨部材１１と接する側とは反対側の面における最大長が最大である。樹脂部材１２ｏの中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２ｏの断面において、空隙１２１ｏの境界線は円弧状であってもよい。

【0077】

上記第２の実施形態においては、空隙１２１ｈが積層方向において樹脂部材１２ｈを貫通しており、積層方向において最大長が一定の第１領域１２２ｈと、積層方向において研磨部材１１と接する位置に向けて最大長が大きくなる第２領域１２３ｈと、を有する例を示したが、これに限定されない。空隙１２１ｐは、積層方向において樹脂部材１２ｐを貫通しておらず、積層方向において第１樹脂部材１２５ｐと第２樹脂部材１２６ｐとが接する面に向けて最大長が大きくなる領域を有していてもよい。

【0078】

図９（ｐ）に示すように、研磨用バフ１ｐは、樹脂部材１２ｈの代わりに樹脂部材１２ｐを有する。樹脂部材１２ｐは、第１樹脂部材１２５ｐ及び第２樹脂部材１２６ｐを有する。第１樹脂部材１２５ｐ及び第２樹脂部材１２６ｐは、それぞれ第１樹脂部材１２５ｈ及び第２樹脂部材１２６ｈと同様の構造を有する。

【0079】

樹脂部材１２ｐには、空隙１２１ｐが形成されている。空隙１２１ｐは、積層方向において樹脂部材１２ｐを貫通していない。空隙１２１ｐは、積層方向において第１樹脂部材１２５ｐと第２樹脂部材１２６ｐとが接する面に向けて最大長が大きくなる領域を有する。空隙１２１ｐは、第４領域１２７ｐ、及び第５領域１２８ｐを有する。第４領域１２７ｐは、空隙１２１ｐのうち、第１樹脂部材１２５ｐに形成されている空隙の領域である。第４領域１２７ｐは、積層方向において第２樹脂部材１２６ｐと接する位置に向けて最大長が大きくなる領域である。第４領域１２７ｐは、第１樹脂部材１２５ｐと第２樹脂部材１２６ｐとが接する面における最大長が最大である。

【0080】

第５領域１２８ｐは、空隙１２１ｐのうち、第２樹脂部材１２６ｐに形成されている空隙の領域である。第５領域１２８ｐは、積層方向において第１樹脂部材１２５ｐと接する位置に向けて最大長が大きくなる領域である。第５領域１２８ｐは、第１樹脂部材１２５ｐと第２樹脂部材１２６ｐとが接する面における最大長が最大である。樹脂部材１２ｐの中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２ｐの断面において、空隙１２１ｐの境界線は直線状である。

【0081】

また、図９（ｑ）に示すように、研磨用バフ１ｑは、樹脂部材１２ｈの代わりに樹脂部材１２ｑを有する。樹脂部材１２ｑは、第１樹脂部材１２５ｑ及び第２樹脂部材１２６ｑを有する。第１樹脂部材１２５ｑ及び第２樹脂部材１２６ｑは、それぞれ第１樹脂部材１２５ｈ及び第２樹脂部材１２６ｈと同様の構造を有する。

【0082】

樹脂部材１２ｑには、空隙１２１ｑが形成されている。空隙１２１ｑは、積層方向において樹脂部材１２ｑを貫通していない。空隙１２１ｑは、積層方向において第１樹脂部材１２５ｑと第２樹脂部材１２６ｑとが接する面に向けて最大長が大きくなる領域を有する。空隙１２１ｑは、第４領域１２７ｑ、及び第５領域１２８ｑを有する。第４領域１２７ｑは、空隙１２１ｑのうち、第１樹脂部材１２５ｑに形成されている空隙の領域である。第４領域１２７ｑは、積層方向において第２樹脂部材１２６ｑと接する位置に向けて最大長が大きくなる領域である。第４領域１２７ｑは、第１樹脂部材１２５ｑと第２樹脂部材１２６ｑとが接する面における最大長が最大である。

【0083】

第５領域１２８ｑは、空隙１２１ｑのうち、第２樹脂部材１２６ｑに形成されている空隙の領域である。第５領域１２８ｑは、積層方向において第１樹脂部材１２５ｑと接する位置に向けて最大長が大きくなる領域である。第５領域１２８ｑは、第１樹脂部材１２５ｑと第２樹脂部材１２６ｑとが接する面における最大長が最大である。樹脂部材１２ｑの中心を通りかつ研磨面１１１と直交する方向の樹脂部材１２ｑの断面において、空隙１２１ｑの境界線は円弧状であってもよい。

【0084】

［第２の実施形態に係る研磨用バフ１ｈによる効果］
第２の実施形態に係る研磨用バフ１ｈは、第１樹脂部材１２５ｈと第２樹脂部材１２６ｈとを有する樹脂部材１２ｈを有する。そして、空隙１２１ｈは、第１樹脂部材１２５ｈ及び第２樹脂部材１２６ｈの少なくとも一方に形成されている。

【0085】

したがって、研磨用バフ１ｈにおいては、このように樹脂部材１２ｈが第１樹脂部材１２５ｈ及び第２樹脂部材１２６ｈを有し、空隙１２１ｈが第１樹脂部材１２５ｈ及び第２樹脂部材１２６ｈの少なくとも一方に形成されている。その結果、研磨用バフ１ｈにおいては、樹脂部材１２ｈに形成されている空隙１２１ｈの付近に加わる力が大きくなりづらくなる。

【0086】

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。例えば、装置の全部又は一部は、任意の単位で機能的又は物理的に分散・統合して構成することができる。また、複数の実施の形態の任意の組み合わせによって生じる新たな実施の形態も、本発明の実施の形態に含まれる。組み合わせによって生じる新たな実施の形態の効果は、もとの実施の形態の効果を併せ持つ。

【符号の説明】

【0087】

１、１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ、１ｇ、１ｈ、１ｉ、１ｊ、１ｋ、１ｌ、１ｍ、１ｎ、１о、１ｐ、１ｑ・・・研磨用バフ
１１・・・研磨部材
１１１・・・研磨面
１２、１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ、１２ｅ、１２ｆ、１２ｇ、１２ｈ、１２ｉ、１２ｊ、１２ｋ、１２ｌ、１２ｍ、１２ｎ、１２о、１２ｐ、１２ｑ・・・樹脂部材
１２１、１２１ａ、１２１ｂ、１２１ｃ、１２１ｄ、１２１ｅ、１２１ｆ、１２１ｇ、１２１ｈ、１２１ｉ、１２１ｊ、１２１ｋ、１２１ｌ、１２１ｍ、１２１ｎ、１２１о、１２１ｐ、１２１ｑ・・・空隙
１２２、１２２ａ、１２２ｄ、１２２ｅ、１２２ｈ、１２２ｉ、１２２ｌ、１２２ｍ・・・第１領域
１２３、１２３ａ、１２３ｂ、１２３ｃ、１２３ｈ、１２３ｉ、１２３ｊ、１２３ｋ・・・第２領域
１２４ｄ、１２４ｅ、１２４ｆ、１２４ｇ、１２４ｌ、１２４ｍ、１２４ｎ、１２４о・・・第３領域
１２５ｈ、１２５ｉ、１２５ｊ、１２５ｋ、１２５ｌ、１２５ｍ、１２５ｎ、１２５о、１２５ｐ、１２５ｑ・・・第１樹脂部材
１２６ｈ、１２６ｉ、１２６ｊ、１２６ｋ、１２６ｌ、１２６ｍ、１２６ｎ、１２６о、１２６ｐ、１２６ｑ・・・第２樹脂部材
１２７ｐ、１２７ｑ・・・第４領域
１２８ｐ、１２８ｑ・・・第５領域

【要約】

【課題】研磨用バフにおいて、研磨面に加わる力の偏りを生じづらくする。
【解決手段】研磨用バフ１は、研磨面１１１を有する研磨部材１１と、研磨部材１１の研磨面１１１とは反対側の面に固定されており、空隙１２１が形成されている樹脂部材１２と、を有し、空隙１２１は、研磨部材１１と樹脂部材１２との積層方向において、研磨面１１１と平行な方向における空隙１２１の最大長が異なる複数の領域を有する。また、空隙１２１は、積層方向において研磨部材１１と接する位置に向けて最大長が大きくなる領域を有する。
【選択図】図１

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】