特許 6884736 スクライビング装置、ガラス素板、ガラス素板の製造方法、およびガラス基板の製造方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6884736

(24)【登録日】2021年5月14日

(45)【発行日】2021年6月9日

(54)【発明の名称】スクライビング装置、ガラス素板、ガラス素板の製造方法、およびガラス基板の製造方法

(51)【国際特許分類】

   C03B 33/04 20060101AFI20210531BHJP

   C03B 33/027 20060101ALI20210531BHJP

   B28D 5/00 20060101ALI20210531BHJP

【ＦＩ】

   C03B33/04

   C03B33/027

   B28D5/00 Z

【請求項の数】24

【全頁数】29

(21)【出願番号】特願2018-148523(P2018-148523)

(22)【出願日】2018年8月7日

(62)【分割の表示】特願2017-559253(P2017-559253)の分割

【原出願日】2016年12月28日

(65)【公開番号】特開2019-11242(P2019-11242A)

(43)【公開日】2019年1月24日

【審査請求日】2019年12月27日

(31)【優先権主張番号】特願2015-256791(P2015-256791)

(32)【優先日】2015年12月28日

(33)【優先権主張国】JP

(31)【優先権主張番号】特願2016-64839(P2016-64839)

(32)【優先日】2016年3月29日

(33)【優先権主張国】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000113263

【氏名又は名称】ＨＯＹＡ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000165

【氏名又は名称】グローバル・アイピー東京特許業務法人

(72)【発明者】

【氏名】東 修平

【審査官】 有田 恭子

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１１−１５０７７９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−０５６５４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−００２４３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−００２４３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 国際公開第２００７／００４７００（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開平０９−０８５７３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１４−１８８７２９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｃ０３Ｂ ３３／００−３３／１４

Ｂ２８Ｄ １／００−７／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

板状のガラス素板から円環状のガラス素板を形成するために、前記板状のガラス素板の主表面に外側切筋および内側切筋を形成するスクライビング装置であって、
第１の円形刃を備え、前記板状のガラス素板の主表面に対して前記第１の円形刃を押圧しながら、前記主表面に沿って前記第１の円形刃を第１の回転半径で前記板状のガラス素板と相対的に回転移動させることにより前記外側切筋を形成する第１カッターホイールと、
第２の円形刃を備え、前記板状のガラス素板の主表面に対して前記第２の円形刃を押圧しながら、前記主表面に沿って前記第２の円形刃を前記第１の回転半径よりも小さい第２の回転半径で前記板状のガラス素板と相対的に回転移動させることにより前記内側切筋を形成する第２カッターホイールと、を有し、
前記第１の円形刃の切刃稜には、複数の第１切り欠きが周方向に第１の間隔を空けて設けられ、
前記第２の円形刃の切刃稜には、複数の第２切り欠きが周方向に第２の間隔を空けて設けられ、
前記第１の間隔は、前記第２の間隔よりも小さい、ことを特徴とするスクライビング装置。

【請求項2】

前記第１切り欠きの周方向の長さは、前記第２切り欠きの周方向の長さよりも長い、請求項１に記載のスクライビング装置。

【請求項3】

前記第１切り欠きの周方向の長さは前記第１の間隔よりも長い、請求項１又は２に記載のスクライビング装置。

【請求項4】

前記第１の円形刃の切刃稜は、前記第１の円形刃の切刃稜線を包含する第１平面よりも前記第１の円形刃が回転移動するときの回転中心側の第１内側傾斜面と、前記第１平面に対して前記回転中心と反対側の第１外側傾斜面とにより形成され、
前記第２の円形刃の切刃稜は、前記第２の円形刃の切刃稜線を包含する第２平面よりも前記第１の円形刃が回転移動するときの回転中心側の第２内側傾斜面と、前記第２平面に対して前記回転中心と反対側の第２外側傾斜面とにより形成され、
前記第１内側傾斜面の前記第１平面とのなす角をθi1、
前記第１外側傾斜面の前記第１平面とのなす角をθo1、
前記第２内側傾斜面の前記第２平面とのなす角をθi2、
前記第２外側傾斜面の前記第２平面とのなす角をθo2、
θi1−θo1＝Δθ1、
θi2−θo2＝Δθ2、と定義したときに、
前記第１の円形刃及び前記第２の円形刃は、
Δθ2＞０、かつ
Δθ1＜Δθ2
の関係を満たし、
前記第１カッターホイール及び前記第２カッターホイールは、前記第１平面の前記主表面となす角度が前記第２平面の前記主表面となす角度と同一となるように、前記第１の円形刃と前記第２の円形刃を前記主表面に接触させる、請求項１〜３のいずれか一項に記載のスクライビング装置。

【請求項5】

円環状のガラス基板の素となる円環状のガラス素板であって、
前記ガラス素板は、中心部に円孔からなる内周端面と、外周端面とを有し、
前記内周端面と前記外周端面は、それぞれ割断面を含み、
前記内周端面と前記外周端面との同心度は、１５μｍ以下であり、
前記ガラス素板は、第１主表面および前記第１主表面と反対側の第２主表面を有し、
前記第１主表面の外周形状の真円度と、前記第２主表面の外周形状の真円度との差は、１００μｍ以下であることを特徴とする、ガラス素板。

【請求項6】

円環状のガラス基板の素となる円環状のガラス素板であって、
前記ガラス素板は、中心部に円孔からなる内周端面と、外周端面とを有し、
前記内周端面と前記外周端面は、それぞれ割断面を含み、
前記内周端面と前記外周端面との同心度は、１５μm以下であり、
前記ガラス素板の材料は、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、及びボロシリケートガラスのうちいずれか１つであることを特徴とする、ガラス素板。

【請求項7】

前記ガラス素板は、第１主表面および前記第１主表面と反対側の第２主表面を有し、
前記第１主表面の外周形状の真円度と、前記第２主表面の外周形状の真円度との差は、１００μｍ以下である、請求項６に記載のガラス素板。

【請求項8】

円環状のガラス基板の素となる円環状のガラス素板であって、
第１主表面および前記第１主表面と反対側の第２主表面を有し、
前記第１主表面の外周形状の真円度と、前記第２主表面の外周形状の真円度との差は、１００μｍ以下であり、
前記ガラス素板は、中心部に円孔からなる内周端面と、外周端面とを有し、
前記内周端面と前記外周端面は、それぞれ割断面を含み、
前記ガラス素板の材料は、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、及びボロシリケートガラスのいずれか１つである、ことを特徴とするガラス素板。

【請求項9】

断面視において、前記内周端面と前記外周端面それぞれの主表面に対する角度の差が１０°以下である、請求項５〜８のいずれか一項に記載のガラス素板。

【請求項10】

板状のガラス素板から円環状のガラス素板を形成するために、前記板状のガラス素板の主表面に外側切筋および内側切筋を形成するスクライビング装置であって、
第１の円形刃を備え、前記第１の円形刃を、板状のガラス素板の一方の主表面に接触させ前記主表面と一つの回転中心の回りに相対的に回転移動させることで、前記第１の円形刃により円形の外側切筋を前記主表面に形成する第１カッターホイールと、
第２の円形刃を備え、前記第２の円形刃を、前記主表面に接触させ前記第１の円形刃とともに前記主表面と前記回転中心の回りに相対的に回転移動させることで、前記第２の円形刃により前記外側切筋よりも半径が小さい円形の内側切筋を前記主表面に形成する第２カッターホイールと、を有し、
前記第１の円形刃の切刃稜は、前記第１の円形刃の切刃稜線を包含する第１平面よりも前記第１の円形刃が回転移動するときの回転中心側の第１内側傾斜面と、前記第１平面に対して前記回転中心と反対側の第１外側傾斜面とにより形成され、
前記第２の円形刃の切刃稜は、前記第２の円形刃の切刃稜線を包含する第２平面よりも前記第２の円形刃が回転移動するときの回転中心側の第２内側傾斜面と、前記第２平面に対して前記回転中心と反対側の第２外側傾斜面とにより形成され、
前記第１内側傾斜面の前記第１平面とのなす角をθi1、
前記第１外側傾斜面の前記第１平面とのなす角をθo1、
前記第２内側傾斜面の前記第２平面とのなす角をθi2、
前記第２外側傾斜面の前記第２平面とのなす角をθo2、
θi1−θo1＝Δθ1、
θi2−θo2＝Δθ2、と定義したときに、
前記第１の円形刃と前記第２の円形刃は、
Δθ2＞０、かつ
Δθ1＜Δθ2
の関係を満たし、
前記第１カッターホイール及び前記第２カッターホイールは、前記第１平面の前記主表面となす角度が前記第２平面の前記主表面となす角度と同一となるように、前記第１の円形刃と前記第２の円形刃を前記主表面に接触させる、ことを特徴とするスクライビング装置。

【請求項11】

θi1＜θi2である、請求項１０に記載のスクライビング装置。

【請求項12】

θi1＋θo1＜θi2＋θo2である、請求項１０又は１１に記載のスクライビング装置。

【請求項13】

円環状のガラス素板であって、
前記ガラス素板は、中心部に円孔からなる内周端面と、外周端面と、を有し、
前記内周端面と前記外周端面はそれぞれ割断面を含み、断面視において、前記内周端面と前記外周端面それぞれの主表面に対する角度の差が１０°以下であり、
前記円孔の半径は２０ｍｍ以下である、ことを特徴とするガラス素板。

【請求項14】

前記内周端面と前記外周端面は前記主表面に対して垂直である、請求項１３に記載のガラス素板。

【請求項15】

円環状のガラス素板であって、
前記ガラス素板は、中心部に円孔からなる内周端面と、外周端面と、を有し、
前記内周端面と前記外周端面はそれぞれ割断面を含み、断面視において、前記内周端面と前記外周端面それぞれの主表面に対する角度の差が１０°以下であり、
前記ガラス素板の線膨張係数は６５×１０ ^-7／℃以下である、ことを特徴とするガラス素板。

【請求項16】

前記内周端面と前記外周端面は前記主表面に対して垂直である、請求項１５に記載のガラス素板。

【請求項17】

円環状のガラス素板であって、
前記ガラス素板は、中心部に円孔からなる内周端面と、外周端面と、を有し、
前記内周端面と前記外周端面はそれぞれ割断面を含み、断面視において、前記内周端面と前記外周端面それぞれの主表面に対する角度の差が１０°以下であり、
前記内周端面と前記外周端面は前記主表面に対して垂直である、ことを特徴とするガラス素板。

【請求項18】

前記ガラス素板の線膨張係数は６５×１０ ^-7／℃以下である、請求項５〜９、１３、１４及び１７のいずれか一項に記載のガラス素板。

【請求項19】

前記円孔の半径は２０ｍｍ以下である、請求項５〜９及び１５〜１７のいずれか一項に記載のガラス素板。

【請求項20】

前記ガラス素板の線膨張係数は５０×１０ ^-7／℃以下である、請求項５〜９及び１３〜１９のいずれか一項に記載のガラス素板。

【請求項21】

前記円環状のガラス素板は、磁気ディスク用ガラス基板の元となるものである、請求項５〜９及び１３〜２０のいずれか一項に記載のガラス素板。

【請求項22】

前記磁気ディスク用ガラス基板は公称３．５インチサイズ以上である、請求項２１に記載のガラス素板。

【請求項23】

請求項５〜９及び請求項１３〜２２のいずれか一項に記載のガラス素板の端面を形状加工する処理を含む、ことを特徴とするガラス基板の製造方法。

【請求項24】

請求項１〜４及び請求項１０〜１２のいずれか一項に記載のスクライビング装置を用いて前記板状のガラス素板に前記外側切筋および前記内側切筋を形成する処理を含む、ことを特徴とする円環状のガラス素板の製造方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、スクライビング装置、ガラス素板、ガラス素板の製造方法、およびガラス基板の製造方法に関する。

【背景技術】

【0002】

今日、パーソナルコンピュータ、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）記録装置等には、データ記録のためにハードディスク装置(ＨＤＤ：Hard Disk Drive)が内蔵されている。ハードディスク装置では、基板に磁性層が設けられた磁気ディスクが用いられ、磁気ディスクの面上を僅かに浮上させた磁気ヘッドで磁性層に磁気記録情報が記録され、あるいは読み取られる。この磁気ディスクの基板として、金属基板（アルミニウム基板）等に比べて塑性変形し難い性質を持つガラス基板が好適に用いられる。

【0003】

磁気ディスク用ガラス基板は、板状のガラス素板から円環状のガラス素板を作製し、円環状のガラス素板に対して研削、研磨等の機械加工をすることにより作製される。例えば、フロート法、ダウンドロー法などによって形成された板状のガラス素板を円環状に切断加工する方法、および、溶融ガラスの塊を一対のプレス成形型によりプレス成形して円板状のガラス素板を円環状に切断加工する方法が知られている。

【0004】

例えば、ガラス板に円形の切筋を形成した後、ガラス板の切筋よりも外側の領域を加熱することで、切筋よりも内側の領域を円形に切り抜く方法が知られている（特許文献１参照）。円環状のガラス素板を形成するには、板状のガラス素板の一方の主表面に、円形の外形形成用の切筋と、円形の内孔形成用の切筋を形成する。その後、これらの切筋を成長させて板状のガラス素板を割断することで、円環状のガラス素板が形成される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】特許第２９７３３５４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

円環状のガラス素板を作製するために、板状のガラス素板の一方の主表面に、円形の外形形成用の切筋（外側切筋）と、円形の内孔形成用の切筋（内側切筋）を形成する場合、外側切筋を形成するための外側カッターホイールと、内側切筋を形成するための内側カッターホイールとを板状のガラス素板の一方の主表面に押圧しながら、両カッターホイールと板状のガラス素板とを相対的に回転移動させる。このとき、外側切筋の真円度が悪化し、外側切筋と内側切筋の同心度が低下するという問題がある。外側切筋と内側切筋の同心度が低いと、得られる磁気ディスク用ガラス基板の外周形状と内孔の同心度を確保するために機械加工の取り代を大きくする必要があり、生産効率が悪くなるという問題がある。

【0007】

また、両カッターホイールと板状のガラス素板とを相対的に回転移動させた後、板状のガラス素板の内側切筋よりも外側部分を加熱すると、熱膨張の差により内側切筋が成長し、一方の主表面（第１の主表面）とは反対側の他方の主表面（第２の主表面）に到達する。その後、目的部分以外のガラスを取り除くことによって、板状のガラス素板から円環状のガラス素板を取り出すことが可能となる。その後、円環状のガラス素板の内周端部及び外周端部に、総型砥石等による研削加工による面取処理を施すことによって、内周及び外周にそれぞれ面取面と側壁面とを有する円環状ガラス基板が形成される。
この場合において、例えば、線膨張係数が小さい板状のガラス素板に対して外側切筋および内側切筋を形成するとき、外側切筋と内側切筋とで、外側切筋と内側切筋のそれぞれが第１の主表面から深さ方向に延びる角度が異なる現象が観察された。より具体的には、板状のガラス素板の第１の主表面上に円状に形成する外側切筋と内側切筋の深さ方向に延びる向き（角度）に関して、内側切筋の向きが外側切筋の向きよりも円の中心側方向に傾く現象が観察された。
このように外側切筋と内側切筋の深さ方向の向き（角度）が第１の主表面に対して異なるように形成された場合、面取処理後の基板において研削残りが発生する場合がある。このため、面取処理時の取り代を大きくする必要があり、ガラス基板の生産効率が悪くなるという問題がある。また、外側切筋および内側切筋をガラス素板の反対側まで伸長させて板状のガラス素板を割断する際に、不要なガラス部分の除去処理自体がうまくできず、生産効率が悪くなるという問題がある。

【0008】

本発明は、ガラス素板の加工効率を高めてガラス基板の生産効率を高くすることができるスクライビング装置、ガラス素板、ガラス素板の製造方法、およびガラス基板の製造方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

本発明は、以下の形態を含む。

【0010】

（１）
板状のガラス素板から円環状のガラス素板を形成するために、前記板状のガラス素板の主表面に外側切筋および内側切筋を形成するスクライビング装置であって、
第１の円形刃を備え、前記板状のガラス素板の主表面に対して前記第１の円形刃を押圧しながら、前記主表面に沿って前記第１の円形刃を第１の回転半径で前記板状のガラス素板と相対的に回転移動させることにより前記外側切筋を形成する第１カッターホイールと、
第２の円形刃を備え、前記板状のガラス素板の主表面に対して前記第２の円形刃を押圧しながら、前記主表面に沿って前記第２の円形刃を前記第１の回転半径よりも小さい第２の回転半径で前記板状のガラス素板と相対的に回転移動させることにより前記内側切筋を形成する第２カッターホイールと、を有し、
前記第１の円形刃の切刃稜には、複数の第１切り欠きが周方向に第１の間隔を空けて設けられ、
前記第２の円形刃の切刃稜には、複数の第２切り欠きが周方向に第２の間隔を空けて設けられ、
前記第１の間隔は、前記第２の間隔よりも小さい、ことを特徴とするスクライビング装置。
前記第１の間隔は、５〜４０μｍであることが好ましい。また、前記第２の間隔は、１０〜８０μｍであることが好ましい。
また、前記第１切り欠きの最大深さは、３〜１５μｍであることが好ましい。
前記外側切筋および前記内側切筋は、別々に形成することもできるが、同時に形成することで生産性や同心度が向上することが可能となる。
前記第１，２の円形刃の切り欠きの周方向の間隔、長さおよび深さは、前記第１，２の円形刃の回転半径に応じて適宜選択できる。円形刃の回転半径が大きくなるほど、切り欠きの間隔を小さく、切り欠きの長さを長く、切り欠きの深さを深くすることが好ましい。

【0011】

（２）
前記第１切り欠きの周方向の長さは、前記第２切り欠きの周方向の長さよりも長い、（１）に記載のスクライビング装置。
前記第１切り欠きの周方向の長さは、例えば５〜６０μｍである。

【0012】

（３）
前記第１切り欠きの周方向の長さは前記第１の間隔よりも長い、（１）又は（２）に記載のスクライビング装置。

【0013】

（４）
前記第１の円形刃の切刃稜は、前記第１の円形刃の切刃稜線を包含する第１平面よりも前記第１の円形刃が回転移動するときの回転中心側の第１内側傾斜面と、前記第１平面に対して前記回転中心と反対側の第１外側傾斜面とにより形成され、
前記第２の円形刃の切刃稜は、前記第２の円形刃の切刃稜線を包含する第２平面よりも前記第１の円形刃が回転移動するときの回転中心側の第２内側傾斜面と、前記第２平面に対して前記回転中心と反対側の第２外側傾斜面とにより形成され、
前記第１内側傾斜面の前記第１平面とのなす角をθi1、
前記第１外側傾斜面の前記第１平面とのなす角をθo1、
前記第２内側傾斜面の前記第２平面とのなす角をθi2、
前記第２外側傾斜面の前記第２平面とのなす角をθo2、
θi1−θo1＝Δθ1、
θi2−θo2＝Δθ2、と定義したときに、
前記第１の円形刃及び前記第２の円形刃は、
Δθ2＞０、かつ
Δθ1＜Δθ2
の関係を満たし、
前記第１カッターホイール及び前記第２カッターホイールは、前記第１平面の前記主表面となす角度が前記第２平面の前記主表面となす角度と同一となるように、前記第１の円形刃と前記第２の円形刃を前記主表面に接触させる、（１）〜（３）のいずれか１つに記載のスクライビング装置。

【0014】

（５）
円環状のガラス基板の素となる円環状のガラス素板であって、
前記ガラス素板は、中心部に円孔からなる内周端面と、外周端面とを有し、
前記内周端面と前記外周端面は、それぞれ割断面を含み、
前記内周端面と前記外周端面との同心度は、１５μｍ以下であり、
前記ガラス素板は、第１主表面および前記第１主表面と反対側の第２主表面を有し、
前記第１主表面の外周形状の真円度と、前記第２主表面の外周形状の真円度との差は、１００μｍ以下であることを特徴とする、ガラス素板。

【0015】

（６）
円環状のガラス基板の素となる円環状のガラス素板であって、
前記ガラス素板は、中心部に円孔からなる内周端面と、外周端面とを有し、
前記内周端面と前記外周端面は、それぞれ割断面を含み、
前記内周端面と前記外周端面との同心度は、１５μm以下であり、
前記ガラス素板の材料は、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、及びボロシリケートガラスのうちいずれか１つであることを特徴とする、ガラス素板。
（７）
前記ガラス素板は、第１主表面および前記第１主表面と反対側の第２主表面を有し、
前記第１主表面の外周形状の真円度と、前記第２主表面の外周形状の真円度との差は、１００μｍ以下である、（６）に記載のガラス素板。
（８）
円環状のガラス基板の素となる円環状のガラス素板であって、
第１主表面および前記第１主表面と反対側の第２主表面を有し、
前記第１主表面の外周形状の真円度と、前記第２主表面の外周形状の真円度との差は、１００μm以下であり、
前記ガラス素板は、中心部に円孔からなる内周端面と、外周端面とを有し、
前記内周端面と前記外周端面との同心度は、１５μm以下である、ことを特徴とするガラス素板。
（９）
円環状のガラス基板の素となる円環状のガラス素板であって、
第１主表面および前記第１主表面と反対側の第２主表面を有し、
前記第１主表面の外周形状の真円度と、前記第２主表面の外周形状の真円度との差は、１００μm以下であり、
前記ガラス素板の材料は、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、及びボロシリケートガラスのいずれか１つである、ことを特徴とするガラス素板。
（１０）
前記ガラス素板は、中心部に円孔からなる内周端面と、外周端面とを有し、
前記内周端面と前記外周端面との同心度は、１５μm以下である、（９）に記載のガラス素板。

【0016】

（１１）
板状のガラス素板から円環状のガラス素板を形成するために、前記板状のガラス素板の主表面に外側切筋および内側切筋を形成するスクライビング装置であって、
第１の円形刃を備え、前記第１の円形刃を、板状のガラス素板の一方の主表面に接触させ前記主表面と一つの回転中心の回りに相対的に回転移動させることで、前記第１の円形刃により円形の外側切筋を前記主表面に形成する第１カッターホイールと、
第２の円形刃を備え、前記第２の円形刃を、前記主表面に接触させ前記第１の円形刃とともに前記主表面と前記回転中心の回りに相対的に回転移動させることで、前記第２の円形刃により前記外側切筋よりも半径が小さい円形の内側切筋を前記主表面に形成する第２カッターホイールと、を有し、
前記第１の円形刃の切刃稜は、前記第１の円形刃の切刃稜線を包含する第１平面よりも前記第１の円形刃が回転移動するときの回転中心側の第１内側傾斜面と、前記第１平面に対して前記回転中心と反対側の第１外側傾斜面とにより形成され、
前記第２の円形刃の切刃稜は、前記第２の円形刃の切刃稜線を包含する第２平面よりも前記第２の円形刃が回転移動するときの回転中心側の第２内側傾斜面と、前記第２平面に対して前記回転中心と反対側の第２外側傾斜面とにより形成され、
前記第１内側傾斜面の前記第１平面とのなす角をθi1、
前記第１外側傾斜面の前記第１平面とのなす角をθo1、
前記第２内側傾斜面の前記第２平面とのなす角をθi2、
前記第２外側傾斜面の前記第２平面とのなす角をθo2、
θi1−θo1＝Δθ1、
θi2−θo2＝Δθ2、と定義したときに、
前記第１の円形刃と前記第２の円形刃は、
Δθ2＞０、かつ
Δθ1＜Δθ2
の関係を満たし、
前記第１カッターホイール及び前記第２カッターホイールは、前記第１平面の前記主表面となす角度が前記第２平面の前記主表面となす角度と同一となるように、前記第１の円形刃と前記第２の円形刃を前記主表面に接触させる、ことを特徴とするスクライビング装置。

【0017】

（１２）
θi1＜θi2である、（１１）に記載のスクライビング装置。
（１３）
θi1＋θo1＜θi2＋θo2である、（１１）又は（１２）に記載のスクライビング装置。

【0018】

（１４）
円環状のガラス素板であって、
前記ガラス素板は、中心部に円孔からなる内周端面と、外周端面と、を有し、
前記内周端面と前記外周端面はそれぞれ割断面を含み、断面視において、前記内周端面と前記外周端面それぞれの主表面に対する角度の差が１０°以下であり、
前記円孔の半径は２０ｍｍ以下である、ことを特徴とするガラス素板。
（１５）
円環状のガラス素板であって、
前記ガラス素板は、中心部に円孔からなる内周端面と、外周端面と、を有し、
前記内周端面と前記外周端面はそれぞれ割断面を含み、断面視において、前記内周端面と前記外周端面それぞれの主表面に対する角度の差が１０°以下であり、
前記ガラス素板の線膨張係数は６５×１０ ^−７／℃以下である、ことを特徴とするガラス素板。
（１６）
前記内周端面と前記外周端面は前記主表面に対して垂直である、（１４）又は（１５）に記載のガラス素板。

【0019】

（１７）
円環状のガラス素板であって、
前記ガラス素板は、中心部に円孔からなる内周端面と、外周端面と、を有し、
前記内周端面と前記外周端面はそれぞれ割断面を含み、断面視において、前記内周端面と前記外周端面それぞれの主表面に対する角度の差が１０°以下であり、
前記内周端面と前記外周端面は前記主表面に対して垂直である、ことを特徴とするガラス素板。

【0020】

（１８）
前記ガラス素板の線膨張係数は６５×１０ ^−７／℃以下である、（１４）又は（１７）に記載のガラス素板。
（１９）
前記円孔の半径は２０ｍｍ以下である、（１５）又は（１７）に記載のガラス素板。

【0021】

（２０）
前記ガラス素板の線膨張係数は５０×１０ ^−７／℃以下である、（１４）〜（１９）のいずれか一つに記載のガラス素板。

【0022】

（２１）
（５）〜（１０）及び（１４）〜（２０）のいずれか１つに記載のガラス素板の端面を形状加工する処理を含む、ことを特徴とするガラス基板の製造方法。

【0023】

（２２）
前記ガラス基板は磁気ディスク用ガラス基板である、（２１）に記載のガラス基板の製造方法。

【0024】

（２３）
（１）〜（４）及び（１１）〜（１３）のいずれか１つに記載のスクライビング装置を用いて前記板状のガラス素板に前記外側切筋および前記内側切筋を形成する処理を含む、ことを特徴とする円環状のガラス素板の製造方法。

【発明の効果】

【0025】

本発明によれば、第１の円形刃により形成される外側切筋の真円度を向上させることができ、第２の円形刃により形成される内側切筋と外側切筋との同心度を高めることができる。このため、外側切筋から進展する割断面からなる外周端面と内側切筋から進展する割断面からなる内周端面との同心度を高めることができる。したがって、外周端面および内周端面に対する面取加工処理や端面研磨処理などの後工程における取り代を小さくすることができ、円環状のガラス素板の加工効率を高めることができ、さらには円環状のガラス基板、例えば磁気ディスク用ガラス基板の生産効率を高めることができる。
また、本発明によれば、ガラス基板の製造に用いる円環状のガラス素板の外周端面と内周端面とを主表面に対してほぼ同一の向き（角度）で形成することで、円環状のガラス素板の加工効率を高めることができ、さらには円環状のガラス基板、例えば磁気ディスク用ガラス基板の生産効率を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【0026】

【図1】板状のガラス素板から円環状のガラス素板を切り出すスクライビング装置の一例を示す立面図である。

【図2】図１に示す外側カッターホイールの、第１の実施形態における形態の一例を示す拡大図である。

【図3】図２のIII−III矢視断面図である。

【図4】図２のIV矢視図である。

【図5】図１に示す内側カッターホイールの、第１の実施形態における形態の一例を示す拡大図である。

【図6】図５のVI−VI矢視断面図である。

【図7】図５のVII矢視図である。

【図8】円環状のガラス素板１０Ｂの一例を示す斜視図である。

【図9】図１に示す外側カッターホイールの、第２の実施形態における形態の一例を示す拡大図である。

【図10】図１に示す内側カッターホイールの、第２の実施形態における形態の一例を示す拡大図である。

【図11】第２の実施形態で得られる円環状のガラス素板の断面の一例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0027】

以下、本発明の実施形態に係るスクライビング装置、ガラス素板、ガラス素板の製造方法、およびガラス基板の製造方法について詳細に説明する。なお、本実施形態で用いるガラス基板は、磁気ディスク用ガラス基板に限定されず、種々の円環状のガラス基板に適用できる。また、本実施形態で一例として適用する磁気ディスク用ガラス基板のサイズは特に制限されるものではないが、例えば、公称２．５インチサイズ（外径の直径約６５ｍｍ、円孔の直径約２０ｍｍ）以上の磁気ディスク用ガラス基板の製造に好適である。なお、公称３．５インチサイズ（外径の直径約９５ｍｍ、円孔の直径約２５ｍｍ）以上になると、取代量低減効果がより大きくなるため、より好ましい。また、板厚に関しても特に制限されるものではないが、例えば０．４〜２．０ｍｍの磁気ディスク用ガラス基板の製造に好適である。

【0028】

（磁気ディスク用ガラス基板）
まず、磁気ディスク用ガラス基板について説明する。磁気ディスク用ガラス基板は、円板形状である。なお、磁気ディスク用ガラス基板は、外周と同心の円形の中心孔がくり抜かれている。磁気ディスク用ガラス基板の両面の円環状領域に磁性層（記録領域）が形成されることで、磁気ディスクが形成される。

【0029】

（磁気ディスク用ガラス素板）
磁気ディスク用ガラス素板は、後述する研磨処理が行われる前の円環状のガラス素板である。円環状とは、略円形の外形形状を有すること、及び略円形の内孔を有することを意味する。ここで、「略円形」は、真円形状および楕円形状を含み、その外周形状は単一の曲率半径の円弧のみからなるものであってもよいし、異なる曲率半径の円弧や曲線からなるものであってもよい。

【0030】

本実施形態においては、後述するように、板状のガラス素板の一方の主表面（スクライブ面）に、円形の外形形成用の外側切筋および円形の内孔形成用の内側切筋を形成する（スクライビング）。その後、これらの切筋を他方の主表面まで成長させて板状のガラス素板を割断することで、円環状のガラス素板を形成する（割断処理）。

【0031】

板状のガラス素板は、例えば、フロート法やオーバーフローダウンドロー法により形成された板ガラスを所定の大きさに切断することで形成することができる。また、溶融ガラス塊をプレス成形することにより円板状のガラス素板を形成してもよい。

【0032】

ガラス素板の材料として、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ボロシリケートガラスなどを用いることができる。特に、化学強化を施すことができ、また主表面の平面度及び基板の強度において優れた磁気ディスク用ガラス基板を作製することができるという点で、アルミノシリケートガラスを好適に用いることができる。

【0033】

ここで、板状のガラス素板から円環状のガラス素板を切り出すスクライビング処理と割断処理について説明する。
スクライビング処理は、超鋼合金製あるいはダイヤモンド粒子を含むカッター（スクライバ）によりガラス素板の一方の主表面（スクライブ面）に円形の切断線を設ける処理である。本実施形態においては、円孔の輪郭線となる円形の切断線（内側切筋）と、ガラス素板の外側輪郭線となる円形の切断線（外側切筋）とを同時に形成する。このとき、外側切筋と、内側切筋とが同心円となるように形成する。

【0034】

割断処理は、スクライビング処理により形成された円形の切断線を、ガラス素板の厚さ方向（深さ方向）に伸展させ、円形の切断線の外部又は内部を分離する方法である。例えば、ガラス素板の少なくとも一部を加熱又は冷却することで、熱膨張の差異によって切断線を伸展させることができる。その後、ガラス素板の円形の切断線よりも外側部分又は内側部分を分離する際は、例えば、円形の切断線よりも外側部分又は内側部分を主表面と垂直な方向に押圧してもよい。ガラス素板の外側切筋よりも外側の部分と内側切筋よりも内側の部分とがそれぞれ分離して除去されることで、円環状のガラス素板が得られる。

【0035】

図１は板状のガラス素板１０Ａから円環状のガラス素板を切り出すスクライビング装置１の一例を示す立面図である。図１に示すように、スクライビング装置１は、テーブル２と、外側カッターホイール３（第１の円形刃）と、内側カッターホイール４（第２の円形刃）と、等を備える。

【0036】

テーブル２は、板状のガラス素板１０Ａを支持する支持台である。テーブル２は、板状のガラス素板１０Ａを外側カッターホイール３および内側カッターホイールと相対的に、板状のガラス素板１０Ａの主表面と垂直な回転中心Ａ１周りに回転させる。ここで、テーブル２および板状のガラス素板１０Ａを静止した状態で外側カッターホイール３および内側カッターホイール４を回転中心Ａ１周りに回転させてもよいし、外側カッターホイール３および内側カッターホイール４を静止した状態でテーブル２および板状のガラス素板１０Ａを回転中心Ａ１周りに回転させてもよい。なお、ガラス素板１０Ａを吸着する図示しない吸着部をテーブル２に設けてもよい。この場合、テーブル２の中央部には、テーブル２の上面に載置される板状のガラス素板１０Ａを吸着する吸着部が設けられる。また、テーブル２の上面には、吸着部が設けられた中央部を囲むように環状の凹部が設けられており、環状の凹部に囲まれた部分に中央支持部が設けられるとともに、環状の凹部を囲む外周部分に外周支持部が設けられている。この中央支持部および外周支持部は環状の凹部に対して上方に突出するように設けられており、中央支持部および外周支持部によって板状のガラス素板１０Ａが支持される。吸着部は中央支持部および外周支持部によって支持された板状のガラス素板１０Ａを吸着することによりテーブル２上に固定するように構成される。

【0037】

テーブル２の上部に載置されたガラス素板１０Ａの上側の面は、外側切筋１１および内側切筋１２が形成される第１の主表面（スクライブ面）であり、テーブル２と接触するガラス素板１０Ａの下側の面が第２の主表面（非スクライブ面）である。なお、ガラス素板１０Ａをテーブル２に載置する代わりに、ガラス素板１０Ａを外周部において挟むようにしてガラス素板１０Ａを支持してもよい。

【0038】

外側カッターホイール３および内側カッターホイール４は、超鋼合金製あるいはダイヤモンド粒子からなる円板状のカッター（円形刃）である。
このようなスクライビング装置１における第１の実施形態及び第２の実施形態について細かく説明する。

【0039】

（第１の実施形態）
第１の実施形態は、以下の事情を考慮して外側カッターホイール３および内側カッターホイール４が構成されている。すなわち、板状のガラス素板１０Ａに図１に示すように、切筋を形成するとき、外側切筋１１を形成する外側カッターホイール３のほうが、内側切筋１２を形成する内側カッターホイール４よりも走行距離が長い。外側カッターホイール３および内側カッターホイール４を同一の角速度で板状のガラス素板１０Ａに対して回転させると、外側カッターホイール３のほうが内側カッターホイール４よりも走行速度が速くなり、外側切筋１１の単位長さ当たりの外側カッターホイール３との接触時間は内側切筋１２の単位長さ当たりの内側カッターホイール４との接触時間よりも短くなる。この場合、外側カッターホイール３および内側カッターホイール４に板状のガラス素板１０Ａの主表面に対して同時に同じ力を掛けると、外側カッターホイール３の板状のガラス素板１０Ａへの食い込み易さが内側カッターホイール４よりも悪化して外側カッターホイール３の方が滑りやすくなると推察される。そのため、ガラス素板１０Ａの内部に延びる外側切筋１１の向き（角度）が、回転中心Ａ１周りに１周する間においてバラツキ易くなると推察される。

【0040】

また、ガラス素板１０Ａに対する回転半径が大きい外側カッターホイール３のほうが、内側カッターホイール４よりもガラス素板１０Ａに対する回転半径方向への力の向きの変化が生じやすく、外側切筋１１の半径方向の向きのばらつきが大きくなると推定される。そこで、本発明者は、外側カッターホイール３のガラス素板１０Ａへの食い込みやすさをよくすることで、外側切筋１１と内側切筋１２との同心度を高めることができると考えた。

【0041】

図２は、第１の実施形態における外側カッターホイール３の形態の一例を詳細に示す図であり、図１のII部の拡大図である。図３は図２のIII−III矢視断面図であり、図４は図２のIV矢視図である。図２〜図４に示すように、外側カッターホイール３の外周部には、環状に切刃稜３１が設けられている。切刃稜３１には、複数の切り欠き３２（第１切り欠き）が周方向に所定の間隔（第１の間隔Ｃ１）を空けて設けられている。

【0042】

外側カッターホイール３は、板状のガラス素板１０Ａの上側の主表面（第１の主表面）に切刃稜３１を押圧した状態で、回転中心Ａ１周りに板状のガラス素板１０Ａに対して相対的に回転移動する。このとき、外側カッターホイール３は、回転中心Ａ１周りの回転半径方向と平行な回転軸Ａ２周りに回転する。外側カッターホイール３が回転中心Ａ１周りに板状のガラス素板１０Ａに対して相対的に回転移動しながら、回転軸Ａ２周りに回転することで、板状のガラス素板１０Ａの上側の主表面の切刃稜３１と当接した部分に外側切筋１１が形成される。この時の回転中心Ａ１から切刃稜３１までの距離が外側カッターホイール３の回転中心Ａ１周りの回転半径（第１の回転半径Ｒ１）であり、第１の回転半径Ｒ１によって板状のガラス素板１０Ａから切り出される円環状のガラス素板の外形の半径が定まる。

【0043】

図５は、第１の実施形態における内側カッターホイール４の一例の詳細を示す図であり、図１のV部の拡大図である。図６は図５のVI−VI矢視断面図であり、図７は図５のVII矢視図である。図５〜図７に示すように、内側カッターホイール４の外周部には、環状に切刃稜４１が設けられている。切刃稜４１には、複数の切り欠き４２（第２切り欠き）が周方向に所定の間隔（第２の間隔Ｃ２）を空けて設けられている。

【0044】

内側カッターホイール４は、板状のガラス素板１０Ａの上側の主表面に切刃稜４１を押圧した状態で、回転中心Ａ１周りに板状のガラス素板１０Ａに対して相対的に回転移動する。このとき、内側カッターホイール４は、回転中心Ａ１周りの回転半径方向と平行な回転軸Ａ３周りに回転する。内側カッターホイール４が回転中心Ａ１周りに板状のガラス素板１０Ａに対して相対的に回転移動しながら、回転軸Ａ３周りに回転することで、板状のガラス素板１０Ａの上側の主表面の切刃稜４１と当接した部分に内側切筋１２が形成される。この時の回転中心Ａ１から切刃稜４１までの距離が内側カッターホイール４の回転中心Ａ１周りの回転半径（第２の回転半径Ｒ２）であり、第２の回転半径Ｒ２によって板状のガラス素板１０Ａから切り出される円環状のガラス素板の内孔の半径が定まる。

【0045】

次に、第１の実施形態における、板状のガラス素板１０Ａから円環状のガラス素板を切り出す方法について説明する。
まず、テーブル２の上部に載置された板状のガラス素板１０Ａの上側主表面に対して、外側カッターホイール３および内側カッターホイール４を押圧する。次に、外側カッターホイール３および内側カッターホイール４を回転中心Ａ１周りに板状のガラス素板１０Ａに対して相対的に回転移動する。このとき、外側カッターホイール３および内側カッターホイール４に対して、下向きの力を作用させた状態で、外側カッターホイール３および内側カッターホイール４を同じ角速度で回転中心Ａ１周りに１回転させる。この間の外側カッターホイール３への荷重は、内側カッターホイール４への荷重の５０〜１００％とすることが好ましい。以上により、板状のガラス素板１０Ａの上側主表面に外側切筋１１および内側切筋１２が形成される。

【0046】

なお、図１においては、外側カッターホイール３が回転中心Ａ１に対して内側カッターホイール４と同じ側に配置されている。すなわち、外側カッターホイール３と内側カッターホイール４とを、回転中心Ａ１に対して同位相の位置に配置されている。しかし、本実施形態はこれに限らず、外側カッターホイール３と内側カッターホイール４とを回転中心Ａ１に対して反対側に配置してもよい。すなわち、外側カッターホイール３と内側カッターホイール４とを位相が１８０°ずれた位置に配置してもよい。

【0047】

次に、板状のガラス素板１０Ａの外側切筋１１よりも外側の部分を加熱する。すると、熱膨張の差異によって、外側切筋１１が進展し、板状のガラス素板１０Ａの第１の主表面とは反対側の主表面（第２の主表面）まで到達する割断面が形成される。
次に、板状のガラス素板１０Ａの内側切筋１２よりも外側の部分を加熱する。すると、熱膨張の差異によって、内側切筋１２が進展し、板状のガラス素板１０Ａの第１の主表面とは反対側の主表面（第２の主表面）まで到達する割断面が形成される。
その後、板状のガラス素板１０Ａの外側切筋１１よりも外側の部分、および、内側切筋１２よりも内側の部分を除去することで、円環状のガラス素板が得られる。

【0048】

ここで、第１の実施形態では、第１の間隔Ｃ１が、第２の間隔Ｃ２よりも小さくなるように第１切り欠き３２および第２切り欠き４２が形成されている。Ｃ１＜Ｃ２であることで、板状のガラス素板１０Ａの上側の主表面への外側カッターホイール３の接触面積が、内側カッターホイール４の接触面積よりも小さくなる。このため、外側カッターホイール３および内側カッターホイール４に同じ大きさの力を下方にかけたときに、板状のガラス素板１０Ａの上側の主表面への外側カッターホイール３の圧力が、内側カッターホイール４の圧力よりも大きくなり、板状のガラス素板１０Ａの上側の主表面からガラス素板１０Ａの内部へ外側カッターホイール３が深く食い込み（又は食いつき）やすくなる。これにより、外側カッターホイール３の切刃稜３１がガラス素板１０Ａの主表面上を円弧を描くように主表面に対して相対的に旋回移動する時の滑りを抑え、外側切筋１１の半径方向への外側カッターホイール３の移動が抑制される。このため、外側切筋１１の角度のばらつきを小さくすることができる。その結果、外側切筋１１の回転中心Ａ１からの距離のばらつきを小さくすることができ、外側切筋１１と内側切筋１２との同心度を高めることができる。Ｃ２−Ｃ１は、例えば５〜７５μｍである。
ここで、第１の間隔Ｃ１は、５〜４０μｍであることが好ましい。第１の間隔Ｃ１が５μｍ未満だと、外側カッターホイール３の刃がかけやすくなる恐れがある。また４０μｍを超えると、外周切筋１１の形成時において外側カッターホイール３の食い込みを十分確保できなくなる恐れがある。第２の間隔Ｃ２は、１０〜８０μｍであることが好ましい。第２の間隔Ｃ２が１０μｍ未満だと、内側カッターホイール４の刃がかけやすくなる恐れがある。また８０μｍを超えると、内周切筋１２の形成時において内側カッターホイール４の食い込みを十分確保できなくなる恐れがある。第１の間隔Ｃ１と第２の間隔Ｃ２との差は、外周切筋１１の形成時において外側カッターホイール３の食い込みを十分確保するために、少なくとも５μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であるとより好ましい。また、当該差についての上限は特にはないが、外側カッターホイール３の先端の耐久性の観点から７５μｍ以下であることが好ましい。

【0049】

ここで、第１切り欠き３２の周方向の長さＬ１は、第２切り欠き４２の周方向の長さＬ２よりも長いことが好ましい。Ｌ１＞Ｌ２であることで、板状のガラス素板１０Ａの上側の主表面からガラス素板１０Ａの内部に外側カッターホイール３が食い込みやすくなる。第１切り欠き３２の周方向の長さＬ１は、例えば５〜６０μｍである。第２切り欠き４２の周方向の長さＬ２は、例えば２〜３０μｍである。第１切り欠き３２と第２切り欠き４２の周方向の長さの差は、特に設けなくてもよいが、１０μｍ以上であると好ましく、１５μｍ以上であるとより好ましい。また、当該差についての上限は特にはないが、特に外周側の切筋１１を安定して形成する観点から、５０μｍ以下であることが好ましい。

【0050】

第１切り欠き３２の最大深さＤ１は、第２切り欠き４２の最大深さＤ２よりも深いことが好ましい。Ｄ１＞Ｄ２であることで、板状のガラス素板１０Ａの上側の主表面からガラス素板１０Ａの内部に外側カッターホイール３が深く食い込みやすくなる。
第２切り欠き４２の最大深さＤ２は、例えば１〜１５μｍであることが好ましい。１μｍ未満の場合、切筋１２の形成時の内側カッターホイール４の食い込みが十分得られない恐れがある。また１５μｍを超えると、内側カッターホイール４の刃がかけやすくなる恐れがある。第１切り欠き３２と第２切り欠き４２との最大深さの差Ｄ１−Ｄ２は、特に設けなくてもよいが、１μｍ以上であることが好ましく、２μｍ以上であることがより好ましい。また、当該差についての上限は特にはないが、外側カッターホイール３の耐久性の観点から１０μｍ以下であることが好ましい。

【0051】

切り欠き３２の周方向の長さＬ１が、第１の間隔Ｃ１よりも長くなるように切り欠き３２が形成されていることが好ましい。Ｌ１＞Ｃ１とすることで、板状のガラス素板１０Ａの上側の主表面への外側カッターホイール３の接触面積が小さくなるため、外側カッターホイール３に力を下方にかけたときに、板状のガラス素板１０Ａの上側の主表面への外側カッターホイール３の圧力が大きくなり、板状のガラス素板１０Ａの上側の主表面からガラス素板１０Ａの内部に外側カッターホイール３が深く食い込みやすくなる。Ｌ１−Ｃ１は、例えば１０〜４０μｍである。

【0052】

また、切り欠き４２の周方向の長さＬ２が、第２の間隔Ｃ２よりも短くなるように切り欠き４２が形成されていることが好ましい。Ｌ２＜Ｃ２とすることで、板状のガラス素板１０Ａの上側の主表面への内側カッターホイール４の接触面積が大きくなるため、内側カッターホイール４に力を下方にかけたときに、板状のガラス素板１０Ａの上側の主表面への内側カッターホイール４の圧力が小さくなり、板状のガラス素板１０Ａの上側の主表面からガラス素板１０Ａの内部に内側カッターホイール４が食い込みにくくなる。このため、相対的に板状のガラス素板１０Ａの上側の主表面からガラス素板１０Ａの内部に外側カッターホイール３が深く食い込みやすくなる。Ｃ２−Ｌ２は、例えば５〜３０μｍである。

【0053】

図８は以上のようにして得られた円環状のガラス素板１０Ｂを示す斜視図である。図８に示すように、円環状のガラス素板１０Ｂは、外周端面１３と、内周端面１４と、第１主表面１５と、第２主表面１６と、を有する。

【0054】

外周端面１３は板状のガラス素板１０Ａの外側切筋１１が進展して第２の主表面まで到達した割断面である。
内周端面１４は板状のガラス素板１０Ａの内側切筋１２が進展して第２の主表面まで到達した割断面である。

【0055】

第１主表面１５は、板状のガラス素板１０Ａの外側切筋１１および内側切筋１２が形成されていた第１の主表面の一部である（スクライブ面）。第２主表面１６は、円環状のガラス素板１０Ｂの第１主表面１５と反対側の主表面であり（非スクライブ面）、板状のガラス素板１０Ａのテーブル２と当接していた第２の主表面の一部である。

【0056】

第１主表面１５の外周１５Ａは外側切筋１１によって形成されたものである。一方、第２主表面１６の外周１６Ａは外側切筋１１から進展した割断面が、板状のガラス素板１０Ａの第２の主表面に到達することによって形成されたものである。

【0057】

第１主表面１５の内周１５Ｂは内側切筋１２によって形成されたものである。一方、第２主表面１６の内周１６Ｂは内側切筋１２から進展した割断面が、板状のガラス素板１０Ａの第２の主表面に到達することによって形成されたものである。

【0058】

第１の実施形態では、上述の外側カッターホイール３及び内側カッターホイール４を用いることにより、特に外側切筋１１がガラス素板１０Ａの内部へ延びる向き（角度）のばらつきを小さくすることができ、その結果、外側切筋１１の回転中心Ａ１からの距離のばらつきを小さくすることができ、外側切筋１１と内側切筋１２との同心度を高めることができる。こうして形成される円環状のガラス素板１０Ｂの外周と内周との同心度は、１５μｍ以下であることが好ましい。ここで、同心度とは、外周円の中心と内周円の中心間の距離で表される。同心度は、例えば先端が板厚よりも幅があるオノ刃形状のプローブを用いて、真円度・円筒形状測定機等を用いて測定することができる。
また、上記の外側カッターホイール３を用いて外側切筋１１を形成するとともに、内側カッターホイール４を用いて内側切筋１２を形成することで、第１主表面１５の外周１５Ａと内周１５Ｂとの同心度を小さくすることができる。ここで、同心度は、外周１５Ａと内周１５Ｂのそれぞれの中心間の距離で表される。

【0059】

なお、スクライブ面である第１主表面１５の外周１５Ａの真円度は、非スクライブ面である第２主表面１６の外周１６Ａの真円度よりも小さい。外周１５Ａの形状の真円度と外周１６Ａの形状の真円度との差は、後工程において端部加工の取代を減らす観点から、１００μｍ以下であることが好ましい。

【0060】

ここで、真円度とは、円形形態の幾何学的に正しい円（幾何学的円）からの狂いの大きさをいう。真円度は、円形形態を二つの同心の幾何学的円で挟んだとき、同心二円の間隔が最小となる場合の二円の半径の差で表す（ＪＩＳ Ｂ０６２１）。上記の外周１５Ａと外周１６Ａの真円度をそれぞれ真円度・円筒形状測定機等を用いて測定する場合、一方の主表面と端面との境界部分のプロファイルが精度よく取得できるように測定条件を最適化する必要がある。例えば先端が球形状のプローブを用いる場合は、プローブ先端の径を十分小さくすればよく、また、先端が板厚よりも幅があるオノ刃形状のプローブを用いる場合はプローブを当てる角度を調節すればよい。

【0061】

こうして割断処理で得られた円環状のガラス素板１０Ｂから磁気ディスク用ガラス基板を製造する工程において、外周端面１３、内周端面１４に対して総型砥石を用いた端面研削による面取加工処理が行われる。上述したように、外側切筋１１と内側切筋１２との同心度を高めることができるので、外側切筋１１及び内側切筋１２から形成される円環状のガラス素板１０Ｂの外周端面１３および内周端面１４に対する面取加工処理や端面研磨処理などの後工程における取り代を小さくすることができ、円環状のガラス素板の加工効率を高めることができ、さらには円環状のガラス基板、例えば磁気ディスク用ガラス基板の生産効率を高めることができる。

【0062】

（第２の実施形態）
第２の実施形態は、以下の事情を考慮して外側カッターホイール３および内側カッターホイール４が構成されている。すなわち、カッターホイール（外側カッターホイール３および内側カッターホイール４）をガラス素板１０Ａの第１の主表面に向けて押圧することにより形成される切筋は、カッターホイールの切刃稜を含む平面内において切刃稜から遠ざかる方向に伸展するように形成される。このため、カッターホイールが主表面に沿って板状のガラス素板１０Ａと相対的に回転する場合、切筋はカッターの円軌道に接する所定の長さの線分状に形成される。カッターが円軌道に沿って移動すると、この線分状の切筋が円軌道に沿って連続することで、円形の切筋が形成される。しかし、切断抵抗が大きいガラスでは、ガラス素板１０Ａの内部に延びる切筋は、第１の主表面と垂直な方向よりも半径方向内側に向かって傾く傾向が大きくなる。
特に、外側切筋１１と内側切筋１２を同時に形成する場合、曲率半径の違いやカッターの走行速度の違いなどが複雑に影響し合った結果、内側切筋１２は、外側切筋１１よりも第１の主表面と垂直な方向よりも半径方向内側に向かって傾いて形成されやすいと推察される。
これに対し、カッターホイールの切刃稜を形成する２つの傾斜面のうち、円軌道の中心方向の傾斜面を円軌道の外側の傾斜面よりも第１の主表面と近くなるように配置した状態で切筋を形成すると、形成される切筋は、円軌道の外側に向かって形成されると推察される。そこで、本発明者は、内側切筋１２を形成する内側カッターホイール４を、その切刃稜４１よりも内側切筋１２の中心側の傾斜面（第２内側傾斜面４４）が、切刃稜４１よりも内側切筋１２の外側の傾斜面（第２外側傾斜面４５）よりも板状のガラス素板１０Ａの主表面と近くなるように配置した状態で内側切筋１２を形成すると、ガラス素板１０Ａの内部に延びる内側切筋１２が半径方向内側に向かって傾いて形成されることを低減できると推察した。これにより、内側切筋１２の割断面と外側切筋１１の割断面とを主表面に対してほぼ同じ方向に成長させることができると推察した。

【0063】

図９は、第２の実施形態における外側カッターホイール３の一例の詳細を示す図である。図９に示すように、外側カッターホイール３の切刃稜３１は、第１内側傾斜面３４と、第１外側傾斜面３５とによって形成されている。
第１内側傾斜面３４は、外側カッターホイール３を周回する切刃稜３１を包含する第１平面Ｐ１よりも回転中心Ａ１側にあり、第１外側傾斜面３５は、第１平面Ｐ１に対して回転中心Ａ１と反対側にある。第１内側傾斜面３４および第１外側傾斜面３５のいずれも、切刃稜３１から遠ざかるに連れて回転軸Ａ２に近づくような、円錐台の側面の形状をしている。

【0064】

内側カッターホイール４は、超鋼合金製あるいはダイヤモンド粒子を含む円板状のカッター（円形刃）であり、外周部に環状に切刃稜４１が設けられている。

【0065】

内側カッターホイール４は、板状のガラス素板１０Ａの第１の主表面に切刃稜４１を押圧した状態で、回転中心Ａ１から所定の半径（第２の回転半径Ｒ２、Ｒ２＜Ｒ１）の円軌道（第２の円軌道）に沿って板状のガラス素板１０Ａに対して相対的に回転移動する。このとき、内側カッターホイール４は、第２の回転半径Ｒ２の方向と平行な回転軸Ａ３回りに回転する。内側カッターホイール４が第２の円軌道に沿って板状のガラス素板１０Ａに対して相対的に回転移動しながら、回転軸Ａ３回りに回転することで、板状のガラス素板１０Ａの第１の主表面の切刃稜４１と当接した部分に内側切筋１２が形成される。内側切筋１２の半径はＲ２となり、第２の回転半径Ｒ２によって板状のガラス素板１０Ａから切り出される円環状のガラス素板の内周端面の半径が定まる。

【0066】

図１０は、図１に示す内側カッターホイール４の、第２の実施形態における形態の一例を示す拡大図である。図１０に示すように、内側カッターホイール４の切刃稜４１は、第２内側傾斜面４４と、第２外側傾斜面４５とにより形成されている。
第２内側傾斜面４４は、内側カッターホイール４を周回する切刃稜４１を包含する第２平面Ｐ２よりも回転中心Ａ１側にあり、第２外側傾斜面４５は、第２平面Ｐ２に対して回転中心Ａ１と反対側にある。第２内側傾斜面４４および第２外側傾斜面４５のいずれも、切刃稜４１から遠ざかるに連れて回転軸Ａ３に近づくような、円錐台の側面の形状をしている。

【0067】

一般に、外側切筋１１の軌跡よりも半径が小さい軌跡を有する内側切筋１２は、板状のガラス素板１０Ａの主表面から内部に向かうにつれて半径方向内側に向かって傾くように形成される傾向がある。この原因は、以下のように考えられる。

【0068】

カッターが円軌道に沿って移動するときには、切刃稜を含む平面の向きが円軌道の中心方向に変化し続けることとなるため、切刃稜の主表面に食い込んだ部分において円軌道の中心側の傾斜面からガラス素板の主表面に対して円軌道の中心方向への力が作用する。この力は円軌道の半径が小さいほど大きくなる。

【0069】

このため、第２の円軌道に沿って移動する内側カッターホイール４の第２内側傾斜面４４から板状のガラス素板１０Ａの第１の主表面に対して作用する力の回転中心Ａ１方向の分力は、第２の円軌道よりも曲率が小さい（曲率半径が大きい）第１の円軌道に沿って移動する外側カッターホイール３の第１内側傾斜面３４から板状のガラス素板１０Ａの第１の主表面に対して作用する力の回転中心Ａ１方向の分力よりも大きくなる。
したがって、内側切筋１２では、外側切筋１１よりも第２の円軌道の回転中心Ａ１側に向かって傾いて形成されやすい傾向がある。すなわち、図９に示すように、外側切筋１１と外側切筋１１から第1の主表面の中心に向かう直線とのなす角をθ₁₁とし、図１０に示すように、内側切筋１２と内側切筋１２から第１の主表面の中心に向かう直線とのなす角をθ₁₂とすると、θ₁₂がθ₁₁よりも小さくなりやすい傾向がある。

【0070】

これに対し、第２の実施形態においては、第１内側傾斜面３４の第１平面Ｐ１となす角をθi1、第１外側傾斜面３５の第１平面Ｐ１となす角をθo1、第２内側傾斜面４４の第２平面Ｐ２とのなす角をθi2、第２外側傾斜面４５の第２平面Ｐ２とのなす角をθo2とし、θi1−θo1＝Δθ1、θi2−θo2＝Δθ2と定義するとき、Δθ1＜Δθ2の関係を満たす外側カッターホイール３（第１の円形刃）および内側カッターホイール４（第２の円形刃）を、第１平面Ｐ１の第１の主表面となす角度θ_P1が第２平面Ｐ２の第１の主表面となす角度θ_P2と同一となるように、第１の主表面に接触させる。これにより、ガラス素板１０Ａの内部に延びる内側切筋１２を、外側切筋１１がガラス素板１０Ａの内部に延びる向きよりも、中心からガラス素板１０Ａの外周側へ向けさせやすくできるため、内側切筋１２の割断面が、板状のガラス素板１０Ａの主表面から内部に向かうにつれて半径方向内側に向かって傾くように形成される傾向を低減することができる。なお、θi1、θo1、θi2、θo2は、それぞれ４０〜８０°の範囲内であることが好ましい。４０°未満の場合、カッターホイールの寿命（処理可能回数）が短くなる恐れがあり、８０°より大きい場合、切筋がうまく形成できない恐れがある。Δθ2−Δθ1は、例えば５°以上３０°以下である。

【0071】

ここで、θi2＞θo2とすることが好ましい。θi2＞θo2となるように内側カッターホイール４を配置した状態で内側カッターホイール４を第２の円軌道に沿って移動させる場合、第２内側傾斜面４４から板状のガラス素板１０Ａの第１の主表面に対して作用する力の回転中心Ａ１方向の分力が、第２外側傾斜面４５から板状のガラス素板１０Ａの第１の主表面に対して作用する力の外側方向の分力のほうが大きくなる。このため、θi2＞θo2とすることで、内側切筋１２の割断面が第２の円軌道の外側に向かって傾いて形成されやすい傾向を作ることができる。これによって、第２の円軌道の半径が小さいことに起因する内側切筋１２の割断面が半径方向内側に向かって傾いて形成される傾向を低減することができる。なお、θi2とθo2の差は３０°以下であることが好ましい。３０°より大きいと、内側切筋１２の割断面が半径方向外側に傾きすぎ、却って後工程の取代が増える恐れがある。θi2−θo2は、例えば５°以上３０°以下である。

【0072】

一方、内側切筋１２よりも半径が大きい外側切筋１１では、板状のガラス素板１０Ａの主表面から半径方向内側に向かって傾いて形成される傾向が内側切筋１２よりも小さい。このため、θi1＜θi2とすることで、板状のガラス素板１０Ａの主表面に対する外側切筋１１および内側切筋１２のガラス素板１０Ａの内部へ延びる角度をほぼ同一とすることができる。これにより、外側切筋１１および内側切筋１２を成長させて板状のガラス素板１０Ａを割断したときに、得られる円環状のガラス素板の外周端面となる外側切筋１１の割断面と内周端面となる内側切筋１２の割断面とを主表面に対してほぼ同一の角度で形成することができる。ここで、「ほぼ同一の角度」とは、角度の差が１０°未満であることをいう。したがって、円環状のガラス素板１０Ｂの外周端面１３および内周端面１４を研削して円環状のガラス基板を得るための機械加工の取り代を小さくすることができ、加工効率を高めることができる。また、θi1＜θi2とすることで、内側切筋１２を形成するときの切断抵抗を減らすことができ、内側切筋１２の周辺のチッピング不良を減らすことができる。また、θi2−θi1は、例えば５°以上３０°以下である。

【0073】

第１内側傾斜面３４と第１外側傾斜面３５とのなす角（θi1＋θo1）は、第２内側傾斜面４４と第２外側傾斜面４５とのなす角（θi2＋θo2）よりも小さいことが好ましい。（θi1＋θo1）＜（θi2＋θo2）とすることで、内側切筋１２を形成するときの切断抵抗を減らすことができ、内側切筋１２の周辺のチッピング不良を減らすことができる。なお、（θi1＋θo1）及び（θi2＋θo2）の角度は、それぞれ１００〜１４０°の範囲内で調節することが好ましい。上記角度が１００°未満の場合、カッターホイールの寿命（処理可能回数）が短くなる恐れがあり、１４０°より大きい場合、切筋がうまく形成できない恐れがある。（θi2＋θo2）−（θi1＋θo1）は、例えば５°以上＋３０°以下である。

【0074】

なお、第１内側傾斜面３４と主表面とのなす角と、第１外側傾斜面３５と主表面とのなす角を等しくするのが好ましい。すなわち、第１内側傾斜面３４の第１平面Ｐ１となす角をθi1、第１外側傾斜面３５の第１平面Ｐ１となす角をθo1とするとき、θi1＝θo1とするのが好ましい。こうすることで、外側切筋１１をガラス表面に対して略垂直に形成することができるので、後工程の例えば面取工程において、外周側の取代を削減することができる。

【0075】

上述したように、切筋の軌跡である円軌道の半径が小さいほど、切筋の割断面が半径方向内側に向かって傾いて形成される傾向がある。このため、第２の実施形態を内孔の半径が小さい磁気ディスク用ガラス基板や、その他の円環状ガラス素板の製造に適用することが好ましい。具体的には、第２の円軌道の半径を２０ｍｍ以下とする場合に第２の実施形態を適用することが好ましい。本件発明者の検討によると、円軌道の半径が２０ｍｍ以下の場合に、切筋の割断面が半径方向内側に向かって傾いて形成される傾向が顕著になる。

【0076】

線膨張係数が小さい板状のガラス素板の第１の主表面に対してカッターを円軌道に沿って回転移動させる場合、円軌道が小さいほど半径方向内側に傾く傾向が大きくなる。

【0077】

このため、線膨張係数が小さいガラスからなる板状のガラス素板を加工する場合に、第２の実施形態を適用することが好ましい。具体的には、線膨張係数が６５×１０^−７／℃以下の板状のガラス素板の形状加工処理に適用することが好ましい。特に、線膨張係数が５０×１０^−７／℃以下のガラス素板の形状加工処理に適用することがより好ましい。線膨張係数が５０×１０^−７／℃以下の板状のガラス素板１０Ａの形状加工処理に適用すると、ガラス素板１０Ｂの内側切筋１２よりも内側の部分を容易に抜く（取り除く）ことができる。なおここで線膨張係数とは、５０〜３５０℃での平均熱膨張係数である。

【0078】

次に、板状のガラス素板１０Ａから円環状のガラス素板を切り出す方法について説明する。
まず、テーブル２の上部に載置された板状のガラス素板１０Ａの上側主表面に対して、外側カッターホイール３および内側カッターホイール４を押圧する。このとき、第１平面Ｐ１の上側主表面とのなす角度θ_P1が第２平面Ｐ２の上側主表面となす角度θ_P2と実質的に同一となるように、外側カッターホイール３および内側カッターホイール４を上側主表面に接触させる。ここで、「実質的に同一」の角度とは、角度の差が３°以内であることをいう。

【0079】

このとき、外側カッターホイール３により形成される外側切筋１１を上側主表面（第１の主表面）と垂直とするために、第１平面Ｐ１が上側主表面と垂直となるように外側カッターホイール３を上側主表面に接触させることが好ましい。また、内側カッターホイール４により形成される内側切筋１２を上側主表面と垂直とするために、第２平面Ｐ２が上側主表面と垂直となるように内側カッターホイール４を上側主表面に接触させることが好ましい。ここで、「上側主表面と垂直」とは、上側主表面の法線とのなす角が５°以下であることをいう。このようにカッターホイールを主表面に対して垂直に押し当てることで、カッターホイールからガラスへの荷重が効率的に伝わりやすくなり、切筋の周囲にチッピング等が発生しにくくなるとともに、カッターホイールの刃先が折れるのを防止することができる。

【0080】

次に、外側カッターホイール３および内側カッターホイール４を回転中心Ａ１回りに板状のガラス素板１０Ａに対して相対的に回転移動する。このとき、外側カッターホイール３および内側カッターホイール４に対して、下向きに略同じ大きさの力を作用させた状態で、外側カッターホイール３および内側カッターホイール４を同じ角速度で回転中心Ａ１回りに１回転させる。以上により、板状のガラス素板１０Ａの上側主表面に外側切筋１１および内側切筋１２が形成される。

【0081】

なお、図１においては、外側カッターホイール３と内側カッターホイール４とを回転中心Ａ１に対して同じ側に配置している。しかし、本実施形態はこれに限らず、外側カッターホイール３を回転中心Ａ１に対して内側カッターホイール４と反対側に配置してもよい。

【0082】

次に、板状のガラス素板１０Ａの外側切筋１１よりも外側の部分を加熱する。すると、熱膨張の差異によって、外側切筋１１が進展し、板状のガラス素板１０Ａの第１の主表面とは反対側の主表面（第２の主表面）まで到達する割断面が形成される。
次に、板状のガラス素板１０Ａの内側切筋１２よりも外側の部分を加熱する。すると、熱膨張の差異によって、内側切筋１２が進展し、板状のガラス素板１０Ａの第１の主表面とは反対側の主表面（第２の主表面）まで到達する割断面が形成される。
その後、板状のガラス素板１０Ａの外側切筋１１よりも外側の部分、および、内側切筋１２よりも内側の部分を除去することで、図８に示すような円環状のガラス素板１０Ｂが得られる。なお、内側切筋１２よりも内側の部分を除去する場合は、下方に抜くと、主表面に接触してキズをつけることがなく好ましい。

【0083】

図１１は、円環状のガラス素板１０Ｂの断面の一例を示す図である。図１１に示すように、円環状のガラス素板１０Ｂは、外周端面１３と、内周端面１４と、第１主表面１５と、第２主表面１６と、を有する。

【0084】

外周端面１３は板状のガラス素板１０Ａの外側切筋１１が進展して第２の主表面１６まで到達した割断面である。
内周端面１４は板状のガラス素板１０Ａの内側切筋１２が進展して第２の主表面１６まで到達した割断面である。

【0085】

第１主表面１５は、板状のガラス素板１０Ａの外側切筋１１および内側切筋１２が形成されていた第１の主表面の一部である。第２主表面１６は、円環状のガラス素板１０Ｂの第１主表面１５と反対側の主表面であり、板状のガラス素板１０Ａのテーブル２と当接していた第２の主表面の一部である。

【0086】

第１主表面１５の外周１５Ａは外側切筋１１によって形成されたものである。
一方、第２主表面１６の外周１６Ａは外側切筋１１から進展した割断面が、板状のガラス素板１０Ａの第２の主表面１６に到達することによって形成されたものである。

【0087】

第１主表面１５の内周１５Ｂは内側切筋１２によって形成されたものである。
一方、第２主表面の内周１６Ｂは内側切筋１２から進展した割断面が、板状のガラス素板１０Ａの第２の主表面に到達することによって形成されたものである。

【0088】

第２の実施形態では、内側切筋１２の割断面がガラス素板１０Ａの中心側に向かって傾いて形成される傾向を低減することで、外側切筋１１および内側切筋１２を成長させて板状のガラス素板を割断したときに、外側切筋１１の割断面である外周端面１３と第１主表面１５とのなす角θ₁₃と、内側切筋１２の割断面である内周端面１４と第１主表面１５とのなす角θ₁₄とをほぼ同一の角度で形成することができる。したがって、円環状のガラス素板１０Ｂの外周端面１３および内周端面１４を研削して円環状のガラス基板を得るための機械加工の取り代を小さくすることができ、加工効率を高めることができる。この結果、ガラス基板の生産効率を高めることができる。
ここで、θ₁₃は、図１１に示すガラス素板１０Ｂの中心線を含む断面において、外周１５Ａから主表面１５の中心方向へ向かう直線と、外周端面１３の延長線とのなす角である。また、θ₁₄は、ガラス素板１０Ｂの中心線を含む断面において、内周１５Ｂから第１主表面１５の中心方向へ向かう直線と、内周端面１４の延長線とのなす角である。なお、「ほぼ同一の角度」とは、θ₁₃とθ₁₄との角度の差が１０°未満であることをいう。

【0089】

なお、図１１においては、外周端面１３および内周端面１４のいずれも、第１主表面１５から第２主表面に向かって径方向外側へ向かうように傾斜している状態を示しているが、θ₁₃とθ₁₄とがほぼ同一の角度であれば、外周端面１３および内周端面１４のいずれも第１主表面１５と垂直であってもよいし、外周端面１３および内周端面１４のいずれも第１主表面１５から第２主表面１６に向かって径方向内側へ向かうように傾斜していてもよい。ただし、外周端面１３および内周端面１４のいずれも第１主表面１５と垂直である場合、その後に続く面取工程において最も少ない取代量で工程を完了することが可能となるため、より好ましい。

【0090】

第２の実施形態によって作製される円環状のガラス素板１０Ｂは、内周端面１４と外周端面１３はそれぞれ割断面を含み、断面視において、内周端面１４と外周端面１３それぞれの主表面に対する角度の差が１０°以下であるガラス素板である。１０°以下の角度の差を有するので、円環状のガラス素板１０Ｂの面取加工処理における加工効率を高くすることができ、円環状のガラス基板の生産効率が高くなる。なお、割断面は、倍率１０倍程度の顕微鏡等を用いて目視で観察したときに表面になめらかな凹凸が観察されることで特定することが可能である。
この円環状のガラス素板１０Ｂから磁気ディスク用ガラス基板を製造する工程において、外周端面１３、内周端面１４に対して面取処理、およびブラシ研磨により鏡面仕上げをする端面研磨処理が行われる。

【0091】

（ガラス基板の製造方法）
次に、第１の実施形態及び第２の実施形態で得られる円環状のガラス素板から磁気ディスク用ガラス基板を製造する方法について説明する。まず、円環状のガラス素板に対して総型砥石を用いた端面研削による面取加工を行う（面取加工処理）。これにより、面取面を有するリング形状（円環状）のガラス基板が生成される。次に、主表面研削処理を行い（研削処理）、平坦となったガラス基板に対して端面研磨を行う（端面研磨処理）。次に、ガラス基板の主表面に第１研磨を行う（第１研磨処理）。次に、第１研磨されたガラス基板に対して第２研磨を行う（第２研磨処理）。なお、必要に応じてガラス基板に対する化学強化処理を行ってもよい。以上の処理を経て、磁気ディスク用ガラス基板が得られる。

【0092】

上記のガラス基板の製造方法の第１の実施形態によれば、円環状のガラス素板１０Ｂを形成する際に、外側切筋１１の真円度を向上させており、内側切筋１２と外側切筋１１との同心度を高めている。このため、外周端面１３および内周端面１４に対する面取処理における取り代を小さくすることができ、ガラス基板の生産効率を高めることができる。

【0093】

また、第２の実施形態によれば、Δθ2＞０、かつΔθ1＜Δθ2の関係を満たす外側カッターホイール３および内側カッターホイール４を、第１平面Ｐ１の主表面となす角度が第２平面Ｐ２の主表面となす角度と同一となるように、板状のガラス素板（例えば、線膨張係数が６５×１０^−７／℃以下のガラス材料のガラス素板）１０Ａの主表面に接触させることで、得られる円環状のガラス素板１０Ｂの外側切筋１１の割断面における面取処理の取代と内側切筋１２の割断面における面取処理の取代の差が小さくなり、面取処理時の取代量のバランスがよくなる。このため、面取処理後の端部において研削キズやチッピングを少なくできるので、外周端面１３および内周端面１４に対する研磨により鏡面仕上げをする端面研磨処理における取り代を小さくすることができ、ガラス基板の生産性を高めることができる。
さらに、Δθ2＞０、かつΔθ1＜Δθ2の関係を満たす外側カッターホイール３および内側カッターホイール４を用いることで、外側カッターホイール３および内側カッターホイール４の寿命を同等にすることができ、外側カッターホイール３および内側カッターホイール４の交換のタイミングを揃えやすくなり、ガラス基板の生産効率が高まる。

【0094】

本実施形態のうち第１の実施形態における外側カッターホイール３および内側カッターホイール４を、第２の実施形態の内容、すなわち、Δθ2＞０、かつΔθ1＜Δθ2の関係を満たすようにし、さらに、第１平面Ｐ１の主表面となす角度が第２平面Ｐ２の主表面となす角度と同一となるように外側カッターホイール３および内側カッターホイール４を配置して、円環状のガラス素板１０Ｂを切り出すスクライビング処理と割断処理を実施することも好ましい。なお、外周切筋１１及び内周切筋１２が第１主表面１５に対して垂直で形成される場合、後工程において取代を最も減らすことができるので特に好ましい。

【0095】

〔実験例１〕
外側カッターホイール３および内側カッターホイール４を用いて、厚さ１ｍｍの板状のガラス素板１０Ａに外側切筋１１および内側切筋１２を形成し、割断することにより、外径が約６６ｍｍ、内径が約１９ｍｍの円環状のガラス素板１０Ｂを作製した。外側カッターホイール３の切刃稜３１に設けられた切り欠きの周方向の間隔Ｃ１、周方向の長さＬ１、深さＤ１および内側カッターホイール４の切刃稜４１に設けられた切り欠きの周方向の間隔Ｃ２、周方向の長さＬ２、深さＤ２の大小関係は、表１〜表３に示すとおりである。

【0096】

〔同心度の計測〕
得られた円環状のガラス素板の外周端面および内周端面の形状を、真円度・円筒形状測定機で計測し、外周端面１３と内周端面１４との同心度及び真円度を評価した。同心度が１５μｍ以下であれば、総型砥石による面取加工時の取り代を従来より小さくすることができるので、ガラス基板の生産効率が向上し製造コストを下げることが可能となり好ましい。
結果を表１〜表３に示す。

【0097】

【表1】

【0098】

表１に示すように、外側カッターホイール３の切刃稜３１に設けられた切り欠きの周方向の間隔Ｃ１のみを変更したところ、Ｃ１＜Ｃ２である実施例１〜３では、Ｃ１＝Ｃ２である比較例１、Ｃ１＞Ｃ２である比較例２よりも同心度を小さくすることができた。

【0099】

【表2】

【0100】

表２に示すように、外側カッターホイール３の切刃稜３１に設けられた切り欠きの周方向の長さＬ１のみを変更したところ、Ｌ１≧Ｌ２である実施例２、５、６では、Ｌ１＜Ｌ２である実施例４よりも同心度を小さくすることができた。また、Ｌ１＞Ｌ２である実施例５、６では、Ｌ１＝Ｌ２である実施例２よりも同心度を小さくすることができた。

【0101】

【表3】

【0102】

表３に示すように、外側カッターホイール３の切刃稜３１に設けられた切り欠きの深さＤ１のみを変更したところ、Ｄ１≧Ｄ２である実施例２、８、９では、Ｄ１＜Ｄ２である実施例７よりも同心度を小さくすることができた。また、Ｄ１＞Ｄ２である実施例８、９では、Ｄ１＝Ｄ２である実施例２よりも同心度を小さくすることができた。

【0103】

下記表４は、第１主表面１５の外周１５Ａの真円度と第２主表面１６の外周１６Ａの真円度の差を示す。実施例１〜３及び実施例６の真円度の差は、１００μｍ以下であった。これに対して、比較例１の真円度の差は、１００μｍを越えた。また、実施例４，５,７〜９のいずれも真円度の差も、１００μｍ以下であった。

【0104】

【表4】

【0105】

〔実験例２〕
板状のガラス素板１０Ａの素材として、線膨張係数が９０〜１００（×１０^−７／℃）の板状のガラス素板（参考例）、線膨張係数が５５〜６５（×１０^−７／℃）の板状のガラス素板（比較例１，３−５、実施例１−３，７−１６）、線膨張係数が３５〜４５（×１０^−７／℃）の厚さ１ｍｍの板状のガラス素板（比較例２、実施例４−６）を用いた。この板状のガラス素板１０Ａに外側カッターホイール３および内側カッターホイール４を用いて外側切筋１１および内側切筋１２を形成し、割断することにより、外径が約６６ｍｍ、内径が約１９ｍｍの円環状のガラス素板１０Ｂを作成した。このとき、外側カッターホイール３の切刃稜３１を含む第１平面、および、内側カッターホイール４の切刃稜４１を含む第２平面が、いずれも板状のガラス素板１０Ａの主表面と垂直かつ回転半径方向と垂直となるように、外側カッターホイール３および内側カッターホイール４を板状のガラス素板１０Ａの主表面に当接させた。

【0106】

なお、線膨張係数が９０〜１００（×１０^−７／℃）のガラスは下記組成のガラスＡ、線膨張係数が５５〜６５（×１０^−７／℃）のガラスは下記のガラスＢ、線膨張係数が３５〜４５（×１０^−７／℃）は下記のガラスＣ、の範囲内からそれぞれ適宜調整して準備した。
（ガラスＡ）
ＳiＯ₂ ：６３〜７０mol％、Ａl₂Ｏ₃： ４〜１１mol％、Ｌi₂Ｏ ： ５〜１１mol％、Ｎa₂Ｏ ： ６〜１４mol％、Ｋ₂Ｏ ： ０〜２mol％、ＴiＯ₂ ： ０〜５mol％、ＺrＯ₂ ： ０〜２．５mol％、ＲＯ ： ２〜１５mol％（ただし、ＲＯ＝ＭgＯ＋ＣaＯ＋ＳrＯ＋ＢaＯ）、ＭgＯ ： ０〜６mol％、ＣaＯ ： １〜９mol％、ＳrＯ ： ０〜３mol％、ＢaＯ ： ０〜２mol％、その他： ０〜３mol％、（ＳiＯ₂−Ａl2Ｏ₃）：５６．５mol％以上、のアルミノシリケートガラス。

【0107】

（ガラスＢ）
酸化物基準の質量％表示で、ＳｉＯ₂ ４０〜６１、Ａｌ₂Ｏ₃１５〜２３．５、ＭｇＯ ２〜２０、ＣａＯ ０．１〜４０を含有し、［ＳｉＯ₂］＋０．４３×［Ａｌ₂Ｏ₃］＋０．５９×［ＣａＯ］−７４．６≦０、かつ、［ＳｉＯ₂］＋０．２１×［ＭｇＯ］＋１．１６×［ＣａＯ］−８３．０≦０である無アルカリのアルミノシリケートガラス。

【0108】

（ガラスＣ）
ヤング率が８７ＧＰa以上であり、歪点が６８０℃以上であり、５０〜３５０℃での平均熱膨張係数が３０×１０^-7〜４７×１０^−７／℃であって、酸化物基準の質量％表示で、ＳｉＯ₂ ５５〜６９、Ａｌ₂Ｏ₃ １７〜２７、Ｂ₂Ｏ₃ ０〜３、ＭｇＯ ０〜２０、ＣａＯ ２〜２０、ＳｒＯ ０〜２、ＢａＯ ０〜２、ＳｎＯ₂ ０．０１〜１、を含有し、ＳｉＯ₂＋Ａｌ₂Ｏ₃＋ＭｇＯ＋ＣａＯが９５以上であり、ＭｇＯ＋ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯが１２〜２３であり、[ＳｉＯ₂]×６．７＋[Ａｌ₂Ｏ₃]＋[Ｂ₂Ｏ₃]×４．４−４５８≦０を満たす無アルカリのアルミノシリケートガラス。

【0109】

使用した外側カッターホイール３および内側カッターホイール４のθo1、θi1、θo2、θi2、Δθ１、Δθ2は、表５〜７に示すとおりである。

【0110】

〔歩留りの評価〕
参考例、比較例１−５、実施例１−１６のそれぞれにつき、１０００枚の板状のガラス素板の加工を行った。外側カッターホイール３および内側カッターホイール４を用いて板状のガラス素板１０Ａの主表面に外側切筋１１および内側切筋１２を形成し、割断処理した。その後、端面研削用の総型砥石を用いて、割断処理後の円環状のガラス素板１０Ｂの外周端面１３及び内周端面１４を研削することによりそれぞれ半径換算で２００μｍ分（直径換算で４００μｍ分）を除去し、外周端面１３及び内周端面１４にそれぞれ面取面と側壁面とを形成した。端面研削処理後の円環状のガラス基板１０Ｂの端面（面取面及び側壁面）の全体を目視と顕微鏡で確認し、チッピング（欠け）や、未研削部分が見つかったものを不良品とし、良品の割合を歩留り率（％）として算出した。なお、歩留りが８０％以上であれば実用上問題ないレベルである。
結果を表５〜７に示す。

【0111】

【表5】

【0112】

線膨張係数が９０〜１００（×１０^−７／℃）では、同一の角度の外側カッターホイールおよび内側カッターホイールを用いた参考例では、歩留りが９０％で問題はなかった。しかし、線膨張係数が５５〜６５（×１０^−７／℃）の比較例１では歩留りが２０％に低下した。さらに、線膨張係数が３５〜４５（×１０^−７／℃）の比較例２では、ガラス素板の内側切筋よりも内側の領域を抜くことができず、円環状のガラス素板を作成することができなかった。このため、歩留りを０％とした。

【0113】

比較例１と実施例１〜３、比較例２と実施例４〜６を対比すると、Δθ２＞０かつΔθ１＜Δθ２とすることで、歩留りが８５％以上に改善することがわかる。

【0114】

【表6】

【0115】

実施例１０〜１２と実施例１〜３とを対比すると、（Δθ2−Δθ1）の値は同じだが、歩留りに差が出た。実施例１〜３は「θi1＋θo1＜θi2＋θo2」の関係となっているため、切断抵抗の観点で有利となり歩留りが高いと推察される。

【0116】

【表7】

【0117】

実施例２の条件を元にしてθo1とθi1を変化させた。ここでも、Δθ２＞０かつΔθ１＜Δθ２とすることで、歩留りが８５％以上に改善することがわかる。

【0118】

以上、本発明のスクライビング装置、ガラス素板、ガラス素板の製造方法、およびガラス基板の製造方法について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々の改良や変更をしてもよいのはもちろんである。

【符号の説明】

【0119】

１ スクライビング装置
２ テーブル
３ 外側カッターホイール（第１の円形刃）
４ 内側カッターホイール（第２の円形刃）
１０Ａ 板状のガラス素板
１０Ｂ 円環状のガラス素板
１１ 外側切筋
１２ 内側切筋
１３ 外周端面
１４ 内周端面
１５ 第１主表面
１５Ａ、１６Ａ 外周
１５Ｂ、１６Ｂ 内周
１６ 第２主表面
２１ 吸着部
２２ 凹部
２３ 中央支持部
２４ 外周支持部
３１、４１ 切刃稜
３２ 第１切り欠き
３４ 第１内側傾斜面
３５ 第１外側傾斜面
４２ 第２切り欠き
４４ 第２内側傾斜面
４５ 第２外側傾斜面
Ａ１ 回転中心
Ａ２、Ａ３ 回転軸
Ｃ１ 第１の間隔
Ｃ２ 第２の間隔
Ｒ１ 第１の回転半径
Ｒ２ 第２の回転半径

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】