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特許第6888028号(P6888028)
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特許
6888028
歪みセミコンダクタ・オン・インシュレータ（ｓｔｒａｉｎｅｄ ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ−ｏｎ−ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）基板の製造方法
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