特許 6890689 プラズマ処理機

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6890689

(24)【登録日】2021年5月27日

(45)【発行日】2021年6月18日

(54)【発明の名称】プラズマ処理機

(51)【国際特許分類】

   H05H 1/34 20060101AFI20210607BHJP

【ＦＩ】

   H05H1/34

【請求項の数】8

【全頁数】12

(21)【出願番号】特願2019-568440(P2019-568440)

(86)(22)【出願日】2018年1月30日

(86)【国際出願番号】JP2018003026

(87)【国際公開番号】WO2019150447

(87)【国際公開日】20190808

【審査請求日】2020年7月21日

(73)【特許権者】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000969

【氏名又は名称】特許業務法人中部国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】池戸 俊之

(72)【発明者】

【氏名】神藤 高広

【審査官】 右▲高▼ 孝幸

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０８−０３９２５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０９−０２９４４３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００８−２８４５８０（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１７−１４４４５９（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開平０５−０５３７８０（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 国際公開第２０１７／０２４１６０（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 米国特許出願公開第２０１４／０１８３１７１（ＵＳ，Ａ１）

【文献】 米国特許第０４１６８８２２（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０５Ｈ １／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

プラズマ化ガスを発生させてノズルからそのプラズマ化ガスを噴出させるプラズマヘッドと、
そのプラズマヘッドを移動させるヘッド移動装置と、
そのヘッド移動装置の取付部に前記プラズマヘッドを着脱可能に取り付けるための取付機構と
を備えたプラズマ処理機であって、
前記取付機構が、
前記取付部に設けられて第１方向およびそれと直角な第２方向とに拡がる取付面と、
前記プラズマヘッドに設けられ、当該プラズマヘッドが取り付けられた状態で前記取付面と接触する被取付面と、
前記取付部の前記第１方向における一方側の部分に設けられた第１係合部、および、他方側の部分に設けられた第２係合部と、
前記プラズマヘッドに設けられて前記第１係合部と係合する第１被係合部、および、前記第２係合部と係合する第２被係合部と
を含んで構成され、
前記第１係合部が、前記第１方向における一方側への前記プラズマヘッドの前記取付部に対する変位を禁止すべく前記第１被係合部を係止するように構成され、
前記第２係合部が、前記第２被係合部を前記第１方向における一方側に付勢する付勢機構を有し、かつ、
前記第１係合部と前記第１被係合部とが係合し、かつ、前記第２係合部と前記第２被係合部とが係合した状態で、前記プラズマヘッドの前記第２方向の変位を禁止する第２方向変位禁止機構を有するプラズマ処理機。

【請求項2】

前記取付機構が、
前記第１被係合部が前記第１係合部に係止された状態において、前記第２被係合部が前記第１方向と前記第２方向との両方と交差する第３方向に移動するように前記プラズマヘッドを動かし、前記被取付面を前記取付面に接触させるようにして、前記第２被係合部と前記第２係合部とを係合させることで、前記プラズマヘッドの取り付けが完了するように構成された請求項１に記載のプラズマ処理機。

【請求項3】

前記第２方向変位禁止機構が、前記第１被係合部を前記第１係合部に係止させた状態において、少なくとも前記第１被係合部の前記第２方向への変位を禁止するように構成された請求項１または請求項２に記載のプラズマ処理機。

【請求項4】

前記取付機構が、
前記プラズマヘッドへのガスの供給のための管路を、前記取付面と前記被取付面とが接触した状態において接続するためのガスコネクタを含んで構成された請求項１ないし請求項３のいずれか１つに記載のプラズマ処理機。

【請求項5】

前記プラズマヘッドが前記取付部に取り付けられた状態において当該プラズマヘッドに電力を供給するためのワイヤが、前記取付部から延び出しており、
前記取付機構が、
前記ワイヤの先端に設けられ、そのワイヤを前記プラズマヘッドに接続するためのコネクタを含んで構成された請求項１ないし請求項４のいずれか１つに記載のプラズマ処理機。

【請求項6】

プラズマ化ガスを発生させてノズルからそのプラズマ化ガスを噴出させるプラズマヘッドと、
そのプラズマヘッドを移動させるヘッド移動装置と、
そのヘッド移動装置の取付部に前記プラズマヘッドを着脱可能に取り付けるための取付機構と
を備えたプラズマ処理機であって、
前記取付機構が、
前記取付部に設けられて第１方向およびそれと直角な第２方向とに拡がる取付面と、
前記プラズマヘッドに設けられ、当該プラズマヘッドが取り付けられた状態で前記取付面と接触する被取付面と
を有し、前記取付面に対して前記被取付面が合わさるようにして前記プラズマヘッドを取り付け、前記取付面に対して前記被取付面が離れるようにして前記プラズマヘッドを取り外すように構成されたプラズマ処理機。

【請求項7】

当該プラズマ処理機が、
前記プラズマヘッドが前記取付部に取り付けられた状態において、前記プラズマヘッドへのガスの供給のために前記プラズマヘッドから前記第１方向に延び出すチューブ、および、前記プラズマヘッドに電力を供給するために前記プラズマヘッドから前記第１方向に延び出すワイヤを備えた請求項６に記載のプラズマ処理機。

【請求項8】

前記取付機構が、前記プラズマヘッドが前記取付部に取り付けられた状態において、前記プラズマヘッドと前記取付部とを電気的に絶縁するように構成された請求項１ないし請求項７のいずれか１つに記載のプラズマ処理機。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、プラズマ化されたガスをワークに照射してそのワークの表面に処理を施すためのプラズマ処理機に関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、下記特許文献に記載されているようなプラズマ発生装置を、照射ヘッドであるプラズマヘッドとし、そのプラズマヘッドを、ヘッド移動装置によってワークに対して移動させ、そのプラズマヘッドから照射（射出）されるプラズマ化ガスによってそのワークの表面に処理（以下、「プラズマ処理」と言う場合がある）を施すプラズマ処理機が存在する。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１６−３８９４０号公報

【発明の概要】

【発明の解決しようとする課題】

【0004】

プラズマ処理は、ワークの形状，処理の程度等によって、異なる型式のプラズマヘッドを使用することが望ましく、また、プラズマヘッドは、定期的にメンテナンスすることが望ましい。本発明は、そのような実情に鑑みてなされたものであり、実用的なプラズマ処理機を提供することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0005】

上記課題を解決するために、本発明のプラズマ処理機は、
プラズマ化ガスを発生させてノズルからそのプラズマ化ガスを噴出させるプラズマヘッドと、
そのプラズマヘッドを移動させるヘッド移動装置と、
そのヘッド移動装置の取付部に上記プラズマヘッドを着脱可能に取り付けるための取付機構と
を備えたことを前提とし、
第１のプラズマ処理機では、
前記取付機構が、
前記取付部に設けられて第１方向およびそれと直角な第２方向とに拡がる取付面と、
前記プラズマヘッドに設けられ、当該プラズマヘッドが取り付けられた状態で前記取付面と接触する被取付面と、
前記取付部の前記第１方向における一方側の部分に設けられた第１係合部、および、他方側の部分に設けられた第２係合部と、
前記プラズマヘッドに設けられて前記第１係合部と係合する第１被係合部、および、前記第２係合部と係合する第２被係合部と
を含んで構成され、
前記第１係合部が、前記第１方向における一方側への前記プラズマヘッドの前記取付部に対する変位を禁止すべく前記第１被係合部を係止するように構成され、
前記第２係合部が、前記第２被係合部を前記第１方向における一方側に付勢する付勢機構を有し、かつ、
前記第１係合部と前記第１被係合部とが係合し、かつ、前記第２係合部と前記第２被係合部とが係合した状態で、前記プラズマヘッドの前記第２方向の変位を禁止する第２方向変位禁止機構を有することを特徴とし、
第２のプラズマ処理機では、
前記取付機構が、
前記取付部に設けられて第１方向およびそれと直角な第２方向とに拡がる取付面と、
前記プラズマヘッドに設けられ、当該プラズマヘッドが取り付けられた状態で前記取付面と接触する被取付面と
を有し、前記取付面に対して前記被取付面が合わさるようにして前記プラズマヘッドを取り付け、前記取付面に対して前記被取付面が離れるようにして前記プラズマヘッドを取り外すように構成されたことを特徴とする。

【発明の効果】

【0006】

本発明のプラズマ処理機は、プラズマヘッドの着脱が可能であるため、例えば、異なる型式のプラズマヘッドに交換したり、メンテナンスのための取り外し，メンテナンス後の取付等を行うことが容易である。つまり、本発明のプラズマ処理機は、汎用性，利便性に優れることで、実用性の高いものとなる。

【図面の簡単な説明】

【0007】

【図1】第１実施例のプラズマ処理機の全体構成を示す図である。

【図2】第１実施例のプラズマ処理機のプラズマヘッドをカバーを外した状態で示す斜視図である。

【図3】図２のプラズマヘッドの断面図である。

【図4】第１実施例のプラズマ処理機において採用可能な別のプラズマヘッドを示す断面図である。

【図5】第１実施例のプラズマ処理機におけるプラズマヘッドの着脱のイメージを示す図である。

【図6】第１実施例のプラズマ処理機において採用されているプラズマヘッドの取付機構を説明するための図である。

【図7】プラズマヘッドの取付機構を説明するための図であり、図６とは反対の視点における図である。

【図8】図６，図７の取付機構が有する付勢機構を示す断面図である。

【図9】プラズマヘッドと取付部との間においてガスの供給のための管路を接続するコネクタの構造を示す断面図である。

【図10】第２実施例のプラズマ処理機において採用されているプラズマヘッドを示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0008】

以下、本発明の代表的な実施形態を、実施例として、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、本発明は、下記実施例の他、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することができる。

【第１実施例】

【0009】

［Ａ］プラズマ照射装置の全体構成
第１実施例のプラズマ処理機は、図１に示すように、ワークＷが載置されるテーブル１０と、テーブル１０の傍らに配置されたシリアルリンク型ロボット（「多間接型ロボット」と呼ぶこともでき、以下、単に「ロボット」と略す）１２と、ロボット１２に保持されてプラズマ化ガスを照射するためのプラズマヘッド１４と、プラズマヘッド１４の電源でありかつプラズマヘッド１４へのガスの供給を担う電源・ガス供給ユニット１６と、当該プラズマ処理機の制御を司る制御装置としてのコントローラ１８とを含んで構成されている。ちなみに、ロボット１２は、ワークＷにプラズマ化ガスを照射するためにプラズマヘッド１４を移動させるヘッド移動装置として機能する。

【0010】

プラズマヘッド１４は、カバーを外した状態を示す図２、および、断面図である図３を参照しつつ説明すれば、概してセラミック製のハウジング２０を有しており、そのハウジング２０の内部に、プラズマ化ガスを発生させるための反応室２２が形成されている。そして、反応室２２に突き出るようにして、１対の電極２４が保持されている。また、ハウジング２０内には、上方から反応室２２に反応ガスを流入させるための反応ガス流路２６と、キャリアガスを流入させるための１対のキャリアガス流路２８とが形成されている。反応ガス（種ガス）は、酸素（Ｏ₂）であるが、反応ガス流路２６からは、酸素と窒素（Ｎ₂）との混合気体（例えば、乾燥空気（Air））が、電極２４の間に流入させられる（以下、この混合気体をも、便宜的に「反応ガス」と呼び、酸素を「種ガス」と呼ぶ場合があることとする）。キャリアガスは、窒素であり、それぞれのキャリアガス流路２８から、それぞれの電極２４を取り巻くようにして流入させられる。プラズマヘッド１４の下部は、ノズル３０とされており、ノズル３０には、複数の放出口３２が一列に並ぶようにして形成されている。そして、反応室２２から下方に向かって各放出口３２に繋がるように複数の放出路３４が形成されている。

【0011】

１対の電極２４の間には、電源・ガス供給ユニット１６の電源部によって、交流の電圧が印加される。この印加によって、例えば、図３に示すように、反応室２２内において、１対の電極２４の各々の下端の間に、擬似アークＡが発生させられる。この擬似アークＡを反応ガスが通過する際に、その反応ガスがプラズマ化され、プラズマ化されたガスであるプラズマ化ガスが、キャリアガスとともに、ノズル３０から放出（噴出）される。

【0012】

なお、ノズル３０の周囲には、ノズル３０を囲うようにしてスリーブ３６が設けられている。スリーブ３６とノズル３０との間の環状空間３８には、供給管４０を介して、シールドガスとしてのヒートガス（本プラズマ処理機では、空気が採用されている）が供給され、そのヒートガスは、ノズル３０から射出されるプラズマ化ガスの周囲を取り巻くようにして、プラズマ化ガスの流れに沿って放出される。ヒートガスは、名前のとおり、プラズマ化ガスの効能を担保するために加熱されたものが放出される。そのため、供給管４０の途中には、加熱のためのヒータ４２が設けられている。

【0013】

本プラズマ処理機は、上述のプラズマヘッド１４に代えて、別のプラズマヘッドをロボット１２に取り付け可能とされている。図４は、別のプラズマヘッドの一例である、プラズマヘッド１４’を示す。図に示すプラズマヘッド１４’は、ノズル３０’において、比較的径の大きい１つの放出口３２’が設けられており、反応室２２から下方に向かって放出口３２’に繋がるように１つの放出路３４’が形成されている。スリーブ３６’，環状空間３８’は、ノズル３０’に合致するように変更されている。他の構成は、プラズマヘッド１４と同様であるため、説明を省略する。このように、プラズマ処理機は、型式の異なるプラズマヘッドを装着可能とされているのである。

【0014】

電源・ガス供給ユニット１６は、図示は省略するが、電源部とガス供給部とを含んで構成されている。電源部は、プラズマヘッド１４の１対の電極２４間に電圧を印加するための電源を有しており、電極２４間に電圧を印加するための電力が、ワイヤ（ケーブル）４４ａによってプラズマヘッド１４に供給される。また、制御のための信号も、ワイヤ（ケーブル）４４ｂを介してプラズマヘッド１４に送信される。ガス供給部は、上述の反応ガス，キャリアガス，ヒートガスの供給を行う。反応ガスは、１本のガスチューブ４６ａによって、キャリアガスは、２本のガスチューブ４６ｂ，４６ｃによって、ヒートガスは、１本のガスチューブ４６ｄによって、それぞれ、プラズマヘッド１４に供給される。ちなみに、それらのガスチューブ４６ａ〜４６ｄは、各ガスを供給するための管路を構成するものとなっている。なお、以下の説明において、ワイヤ４４ａ，４４ｂ，ガスチューブ４６ａ〜４６ｄを、総称して、それぞれ、ワイヤ４４，ガスチューブ４６と呼ぶ場合があることとする。

【0015】

［Ｂ］プラズマヘッドの取付機構
本プラズマ処理機では、図５に示すように、ロボット１２に対して、プラズマヘッド１４を着脱可能に取り付けるための取付機構５０が設けられている。図５（ａ）は、取付機構５０によって、プラズマヘッド１４が取り付けられた状態を、図５（ｂ）は、プラズマヘッド１４が外された状態を示している。図６は、取付機構５０を説明するために、電極２４への給電，制御のための信号を送信するためのコネクタ（後に詳しく説明する）を省いて表した図であり、詳しくは、図６（ａ）は、取付機構５０の全体を、図６（ｂ）は、後に説明する第２係合部を拡大して示す図である。図７は、取付機構５０を説明するために、図６（ａ）とは反対の視線で表した図である。以下、それらの図を参照しつつ、取付機構を説明する。

【0016】

取付機構５０は、ロボットに設けられた取付部５２に、プラズマヘッド１４を取り付けるための機構である。取付部５２には、第１方向である上下方向（Ｚ方向）、および、第１方向と直角な第２方向である左右方向（Ｘ方向）に拡がる取付面５４が設けられている。一方、プラズマヘッド１４には、プラズマヘッド１４が取り付けられた状態において取付面５４と接触する、言い換えれば、取付面５４と合わさる被取付面５６が設けられている。取付部５２には、上下方向における一方側の部分、つまり、下側の部分には、第１係合部５８が、他方側の部分、つまり、上側の部分には、第２係合部６０が設けられている。簡単に言えば、第１係合部５８，第２係合部６０は、取付面５４を挟むようにして設けられている。それに対して、プラズマヘッド１４には、第１係合部５８と係合する第１被係合部６２、および、第２係合部６０と係合する第２被係合部６４が設けられている。

【0017】

第１係合部５８は、それぞれが互いに左右方向に隔てて配設された１対の受部６６および１対のローラ６８を有している。一方で、第１被係合部６２は、互いに左右方向に隔てて配設された１対の脚７０を有している。プラズマヘッド１４が取り付けられた状態において、つまり、第１係合部５８と第１被係合部６２とが係合した状態において、１対の受部６６は、１対の脚７０の下端を係止し、プラズマヘッド１４が取付部５２に対して下方に向かって変位することを禁止する。また、その状態において、１対のローラ６８の外周面が、１対の脚７０の内側面（互いに向かい合う面）にそれぞれ当接することで、１対のローラ６８は、プラズマヘッド１４が取付部５２に対して左右方向に変位することを禁止する。つまり、１対のローラ６８および１対の脚７０は、第１被係合部６２の第２方向への変位を禁止することで、プラズマヘッド１４の第２方向の変位を禁止する第２方向変位禁止機構を構成するものとされているのである。

【0018】

第２係合部６０は、１対のローラ７２を有しており、一方で、第２被係合部６４は、第２係合部６０と係合した状態において、１対のローラ７２によって挟持される被挟持部７４を有している。それら１対のローラ７２および被挟持部７４は、第２被係合部６４の第２方向への変位を禁止することで、上記１対のローラ６８および１対の脚７０とともに、プラズマヘッド１４の第２方向の変位を禁止する第２方向変位禁止機構を構成するものとされているのである。また、第２係合部６０には、付勢機構７６が設けられている。第２係合部６０の断面を示す図８を参照しつつ具体的に説明すれば、第２係合部６０は、スプリング７８によって第１方向における下方側に付勢されたプランジャ８０を有しており、プランジャ８０の下端部には、１対の傾斜面８２，８４を有している。一方で、第２被係合部６４は、ローラ８６を有しており、第２被係合部６４が第２係合部６０と係合している状態において、ローラ８６は、第１方向および第２方向と直角な第３方向、つまり、前後方向（Ｙ方向）における後方側に位置する傾斜面８４と係合している。スプリング７８の付勢力により、プランジャ８０は、ローラ８６を下方側に付勢する。つまり、付勢機構７６は、プラズマヘッド１４を、第１方向における一方側である下方側に付勢する機能を有しているのである。

【0019】

傾斜面８４とローラ８６とが係合することで、付勢機構７６による付勢力によって、プラズマヘッド１４の第２被係合部６４は、後方側に付勢される。また、先に説明した第１係合部５８の１対の受部６６、および、第１被係合部６２の１対の脚７０の下端には、それぞれ、互いに係合する傾斜面８８，傾斜面９０がそれぞれ設けられており、付勢機構７６の付勢力によって、第１被係合部６２も、後方側に付勢される。したがって、本プラズマ処理機では、付勢機構７６による付勢力によって、プラズマヘッド１４の全体が後方側に付勢されることで、取付部５２の取付面５４と、プラズマヘッド１４の被取付面５６とがぴったりと合わさることになるのである。

【0020】

上述の各ガスの供給のためのガスチューブ４６は、図では詳細に示していないが、取付部５２の後方側の部分に接続されており、各ガスチューブ４６のプラズマヘッド１４へ繋がる管路の接続は、プラズマヘッド１４が取付部５２に取り付けられた状態において、それぞれがガスコネクタである４つのコネクタ９２の各々によって行われる。図９をも参照しつつ説明すれば、取付面５４には、４つのコネクタ９２に対応して４つの供給孔９４が設けられており、また、被取付面５４には、４つの供給孔９４とそれぞれ合致する位置に４つの受入孔９６が設けられている。４つのコネクタ９２は互いに同じ構造であり、１つのコネクタ９２について説明すれば、供給孔９４には、短いゴム管９８と、それを支持するとともに外周がシールされたスリーブ１００と、スリーブ１００を前方に付勢するためのスプリング１０２が内蔵されている。プラズマヘッド１４が取り付られていない場合には、ゴム管９８の先端が取付面５４から突出しているが、プラズマヘッド１４が取り付られることで、つまり、取付面５４と被取付面５６とが接触した状態において、スプリング１０２の付勢力に抗してゴム管９８が後退して、供給孔９４と受入孔９６とがシールされつつ繋がることになる。つまり、取付機構５０は、ガスの供給のための管路を接続する４つのコネクタ９２を含んで構成されており、各コネクタ９２は、供給孔９４，受入孔９６，ゴム管９８，スリーブ１００，スプリング１０２等を含んで構成されているのである。

【0021】

図５を参照しつつ説明すれば、プラズマヘッド１４の電極２４に電力を供給するワイヤ４４ａ、および、制御信号を送るためのワイヤ４４ｂは、取付部５２の上部において前方側に延び出しており、それらワイヤ４４ａ，４４ｂの各々の先端には、コネクタ１０４ａ，１０４ｂが設けられている。コネクタ１０４ａ，１０４ｂは、取付機構５０を構成するものであり、プラズマヘッド１４が取り付けられた後に、プラズマヘッド１４に設けられたコネクタ１０６ａ，１０６ｂと接続される。

【0022】

なお、図９から解るように、取付面５４の表面には、絶縁層１０８が形成されている。また、上述した各ローラ６８，７２，８６は樹脂製であり、また、第１被係合部６２も樹脂製のものとされている。したがって、取付機構５０によってプラズマヘッド１４が取付部５２に取り付けられた状態において、プラズマヘッド１４と取付部５２とは、電気的に絶縁されることになる。電源・ガス供給ユニット１６の内部には、断線，リーク等を検出するために、ワイヤ４４ａを介して供給される電流を測定する電流センサ１１０（図１参照）が配設されており、上記絶縁によって、プラズマヘッド１４からロボット１２を経由したノイズによって電流センサ１１０の電流測定に悪影響を与えることが効果的に防止されている。

【0023】

取付機構５０を利用してプラズマヘッド１４を取付部５２に取り付けるには、まず、斜め上方から第１被係合部６２を第１係合部５８に係止させ、その係止させた状態で、プラズマヘッド１４の上部を後方に押すことで、第２係合部６０に対して第２被係合部６４を第３方向における後方側に移動させて、第２被係合部６４を第２係合部６０に係合させればよい。このような操作により、取付面５４と被取付面５６とがぴったり合わさる状態で、プラズマヘッド１４が取り付けられる。取り付けられているプラズマヘッド１４を外す場合は、逆の操作を行えばよい。具体的には、プラズマヘッド１４の上部を前方に引き出して、被取付面５６を取付面５４から離した後、プラズマヘッド１４を斜め上方に持ち上げればよい。このように、取付機構５０を利用することで、ワンタッチで、プラズマヘッド１４を取付部５２に対して着脱することが可能とされるのである。別のプラズマヘッド１４’においても同じ取付機構５０が採用されており、本プラズマ処理機は、型式の異なるプラズマヘッドへの交換が容易であることで汎用性に優れ、また、プラズマヘッドのメンテナンスも容易に行えることで、利便性に優れることとなる。

【第２実施例】

【0024】

第２実施例のプラズマ処理機は、プラズマヘッドの取付部５２への取付において同じ構造の取付機構５０を採用しているものの、プラズマヘッドの電極への給電，制御信号の送信のためのワイヤの接続、各ガスのプラズマヘッドへの供給のためのガスチューブの接続において異なるものとなっている。

【0025】

ワイヤ，ガスチューブが接続された状態を示す図１０（ａ），接続が解除された図１０（ｂ）を参照しつつ説明すれば、第２実施例におけるプラズマヘッド１４”（内部構造は、第１実施例におけるプラズマヘッド１４と同じである）には、取付面５４，被取付面５６を介してではなく、上部において、電極２４への給電のためのワイヤ１２０，制御信号を送信するためのワイヤ１２２，グランドのためのワイヤ１２４，各ガスを供給するためのガスチューブ１２６（図では２本しか表されていない）が接続されている。ワイヤ１２０，ワイヤ１２２，ガスチューブ１２６の接続は、それぞれ、コネクタ１２８，１３０，１３２を利用して行われる。プラズマヘッド１４”を取付部５２に取り付けた後に、それらの接続が行われる。プラズマヘッド１４”を外すときには、それらの接続を解除した後に、プラズマヘッド１４”を取付部５２から離脱させる。ちなみに、ワイヤ１２０，ワイヤ１２２，ワイヤ１２４，ガスチューブ１２６は、カバーチューブ１３４を挿通しており、１つの比較的太い紐状のものとされた態様で、電源・ガス供給ユニットに繋げられている。

【0026】

第２実施例のプラズマ処理機では、プラズマヘッド１４”が取り付けられた状態において、ワイヤ１２０〜１２４，ガスチューブ１２６が、プラズマヘッド１４の上部から、第１方向（Ｘ方向）における一方の側である上方に延び出すようにされているのである。したがって、第２実施例のプラズマ処理機は、ガスの供給における管路，給電等に関するメンテナンスを容易に行うことができ、また、ガスチューブ１２６，ワイヤ１２０〜１２４の着脱を含めたプラズマヘッド１４”の着脱も、第１実施例のプラズマ処理機と同様の取付機構を採用することと相まって、容易に行うことが可能である。

【符号の説明】

【0027】

１０：テーブル １２：シリアルリンク型ロボット〔ヘッド移動装置〕 １４，１４’，１４”：プラズマヘッド １６：電源・ガス供給ユニット ４４ａ，４４ｂ：ワイヤ ４６ａ〜４６ｄ：ガスチューブ ５０：取付機構 ５２：取付部 ５４：取付面 ５６：被取付面 ５８：第１係合部 ６０：第２係合部 ６２：第１被係合部 ６４：第２被係合部 ７６：付勢機構 ９２：コネクタ １０４ａ，１０４ｂ：コネクタ １０６ａ，１０６ｂ：コネクタ １０８：絶縁層 １２０〜１２４：ワイヤ １２６：ガスチューブ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】