特許 6891432 光ファイバ測定装置、測定補助装置、および光ファイバ測定方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6891432

(24)【登録日】2021年5月31日

(45)【発行日】2021年6月18日

(54)【発明の名称】光ファイバ測定装置、測定補助装置、および光ファイバ測定方法

(51)【国際特許分類】

   G01M 11/00 20060101AFI20210607BHJP

【ＦＩ】

   G01M11/00 Q

【請求項の数】5

【全頁数】16

(21)【出願番号】特願2016-185321(P2016-185321)

(22)【出願日】2016年9月23日

(65)【公開番号】特開2018-48940(P2018-48940A)

(43)【公開日】2018年3月29日

【審査請求日】2019年4月22日

(73)【特許権者】

【識別番号】000002130

【氏名又は名称】住友電気工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002343

【氏名又は名称】特許業務法人 東和国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】築谷 正夫

【審査官】 横尾 雅一

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１６−０８０６３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開平０９−１２７３７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 登録実用新案第３１２７８２０（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開２００１−２６４５７４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２００４／０２１８８７１（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｇ０１Ｍ １１／００−１１／０８

Ｇ０２Ｂ ６／０２

Ｇ０２Ｂ ６／１０

Ｇ０２Ｂ ６／２６− ６／２７

Ｇ０２Ｂ ６／３０− ６／３４

Ｇ０２Ｂ ６／４２− ６／４４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

複数本の光ファイバ心線を並列に並べて一体化したテープ心線である被測定用光ファイバの伝送特性を測定する測定器と、
複数本のダミーファイバ心線からなる測定用ダミーファイバと、
前記被測定用光ファイバと前記測定用ダミーファイバとを１心毎に突き合わせる複数のＶ溝であって、前記被測定用光ファイバと同数のＶ溝が形成されたＶ溝ブロックを具備する測定補助装置と、
前記測定器の測定結果を取得するとともに前記測定器および前記測定補助装置の動作を制御する制御装置と、を備え、
前記Ｖ溝ブロックの前記Ｖ溝がそれぞれ前記測定用ダミーファイバの心線数と同じ数の前記Ｖ溝を含む複数のＶ溝グループから構成され、各前記Ｖ溝グループが前記Ｖ溝ブロックの幅方向にずれているとともに、隣接する前記Ｖ溝グループの前記Ｖ溝がそれぞれ異なる直線に沿って配置されており、
各前記Ｖ溝グループに対向する位置に前記測定用ダミーファイバを移動させ、前記光ファイバ心線の伝送特性を測定する、光ファイバ測定装置。

【請求項2】

前記測定補助装置は、前記Ｖ溝ブロックに対向した位置に配置され、前記測定用ダミーファイバを保持して前記Ｖ溝ブロックの幅方向および高さ方向に移動可能な可動ヘッドと、前記可動ヘッドを移動させる移動機構とをさらに備える、請求項１に記載の光ファイバ測定装置。

【請求項3】

前記測定補助装置は、前記可動ヘッドを前記Ｖ溝の並ぶ方向に直交する軸を中心にして回転させる回転機構をさらに備える、請求項２に記載の光ファイバ測定装置。

【請求項4】

被測定用光ファイバの光ファイバ心線に測定用ダミーファイバのダミーファイバ心線を１心毎に突き合わせて接続するための、前記被測定用光ファイバと同数の複数のＶ溝が形成されたＶ溝ブロックを備える、光ファイバ測定装置用の測定補助装置であって、
前記Ｖ溝ブロックの前記Ｖ溝がそれぞれ前記測定用ダミーファイバの心線数と同じ数の前記Ｖ溝を含む複数のＶ溝グループから構成され、各前記Ｖ溝グループが前記Ｖ溝ブロックの幅方向にずれているとともに、隣接する前記Ｖ溝グループの前記Ｖ溝がそれぞれ異なる直線に沿って配置されており、
各前記Ｖ溝グループに対向する位置に前記測定用ダミーファイバが移動され、前記光ファイバ心線の伝送特性が測定される、測定補助装置。

【請求項5】

測定器に接続された複数本のダミーファイバ心線からなる測定用ダミーファイバを、被測定用光ファイバが挿入され前記被測定用光ファイバと同数の複数のＶ溝が形成されたＶ溝ブロックであって、前記Ｖ溝が複数のＶ溝グループから構成され、各前記Ｖ溝グループが前記Ｖ溝ブロックの幅方向にずれているとともに、隣接する前記Ｖ溝グループの前記Ｖ溝がそれぞれ異なる直線に沿って配置されている前記Ｖ溝ブロックの、最初のＶ溝グループに対向する位置に移動する第１のステップと、
前記測定用ダミーファイバの各ダミーファイバ心線を対応するＶ溝に挿入し、該Ｖ溝に挿入されている前記被測定用光ファイバの光ファイバ心線に突き合わせて接続する第２のステップと、
前記測定器により、前記光ファイバ心線の伝送特性を測定する第３のステップと、
前記測定器で測定エラーが発生した場合に、軸ズレが発生したと判断し、再測定要と判定する第４のステップとを含み、
次のＶ溝グループが存在する場合に、前記測定用ダミーファイバを次のＶ溝グループに対向する位置に移動させ、前記第２〜第４のステップを繰り返して、各前記Ｖ溝グループの前記Ｖ溝に挿入されている前記光ファイバ心線の伝送特性を測定する、光ファイバ測定方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、光ファイバ測定装置、測定補助装置、および光ファイバ測定方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、光ケーブルに収納されている光ファイバの伝送特性検査は、ＯＴＤＲ測定器（Ｏｐｔｉｃａｌ Ｔｉｍｅ Ｄｏｍａｉｎ Ｒｅｆｌｅｃｔｍｅｔｅｒ）で行われているが、多心の光ファイバが測定対象である場合は、測定補助装置（ＭＡＳ：Ｍｕｌｔｉｐｌｅ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ Ｓｙｓｔｅｍ）を使用して効率良く測定される。

【0003】

具体的には、まず測定用のダミーファイバ（以下、「測定用ダミーファイバ」と称する）と接続するために、ＭＡＳのＶ溝ブロック上に並列状に形成されている複数のＶ溝に、被測定用光ファイバであるテープ心線を構成する複数の光ファイバ心線の端末をそれぞれ挿入する。次に、ＯＴＤＲ測定器に接続された測定用ダミーファイバの逆端側をＭＡＳ上の可動ヘッドに挿入する。次に、可動ヘッドを位置制御して、被測定用光ファイバがセットされている適切な各Ｖ溝内に測定用ダミーファイバを順次挿入する。これにより、被測定用光ファイバの端部と測定用ダミーファイバの端部が突き合わされる。

【0004】

次に、検査ソフトによりＯＴＤＲ測定器の動作を制御して、被測定用光ファイバの各光ファイバ心線における伝送特性の良否を自動判定する（たとえば、特許文献１参照）。

【0005】

上記光ファイバ測定装置による光ファイバの測定方法では、可動ヘッドに設置された測定用ダミーファイバの各ダミーファイバ心線をＶ溝内に挿入する際に、ダミーファイバ心線が適切なＶ溝に挿入されず、たとえば、隣接するＶ溝に誤って挿入される「軸ズレ」が発生することがある。その場合、ダミーファイバ心線が被測定用光ファイバの適切な光ファイバ心線と接続されず、正しく伝送ロスを測定できない場合がある。

【0006】

これに対処するため、被測定用光ファイバと、測定用ダミーファイバとを突き合わせて接続し、伝送損失（伝送ロス）の測定結果に基づいて、測定用ダミーファイバのダミーファイバ心線が所定のＶ溝とは異なるＶ溝に挿入されたと認められる場合に再測定要と判定する機能を有する光ファイバ測定装置が開示されている（特許文献２参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【特許文献1】特開２００６−９０７８７号公報

【特許文献2】特開２０１３−１６４３９８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

測定用ダミーファイバが１心の場合、同一ファイバを２回測定したことや、１回も測定しなかったことを検知することは、例えばダミーファイバと被測定ファイバとの接続ロスや被測定ファイバのロスを解析することにより可能である。しかしながら、光ファイバケーブルの多心化が進み、それに伴いテープ心線も多心化しており、短時間で測定するために、測定用ダミーファイバを複数本にして測定する場合がある。そのようなケースでは、測定用ダミーファイバのダミーファイバ心線が所定のＶ溝とは異なる位置のＶ溝に挿入されても、ダミーファイバ心線が被測定用光ファイバとは別の光ファイバ心線と接続されるため、軸ズレが発生したことに気付かない場合がある。

【0009】

この従来技術の光ファイバ測定装置における問題を図８に示す。ここでは、例として、被測定用光ファイバＯＦが１２本の光ファイバ心線ＯＦ１〜ＯＦ１２を含む１２心のテープ心線であり、測定用ダミーファイバＤＦが４本のダミーファイバ心線ＤＦ１〜ＤＦ４を含む４心のテープ心線であると仮定している。各ダミーファイバ心線の一端は、ＯＴＤＲ測定器（図示せず）に接続されている。
被測定用光ファイバＯＦの１２本の光ファイバ心線ＯＦ１〜ＯＦ１２は、Ｖ溝ブロック１４に形成された１２本のＶ溝Ｖ１〜Ｖ１２にそれぞれ挿入される。Ｖ溝Ｖ１〜Ｖ１２は、Ｖ溝ブロック１４の上面に並べて形成されている。これらのＶ溝に挿入された光ファイバ心線ＯＦ１〜ＯＦ１２に対して、４本のダミーファイバ心線ＤＦ１〜ＤＦ４を、４心分ずつ移動させることによって、Ｖ溝ブロック上で順次突き合わせて接続し、ＯＴＤＲ測定器により伝送損失の測定を行う。

【0010】

図８は、測定用ダミーファイバＤＦの４本のダミーファイバ心線ＤＦ１〜ＤＦ４が、被測定用光ファイバＯＦの１２本の光ファイバ心線ＯＦ１〜ＯＦ１２のうち、図面左上から１〜４番目の光ファイバ心線ＯＦ１〜ＯＦ４の測定を終えた後、次に測定する光ファイバ心線に接続された状態を示している。このとき、本来であれば、ダミーファイバ心線ＤＦ１〜ＤＦ４は、５〜８番目の光ファイバ心線ＯＦ５〜ＯＦ８に接続されているべきである。しかしながら、測定用ダミーファイバＤＦの移動制御のミス等により、図８に示すように、ダミーファイバ心線ＤＦ１〜ＤＦ４が目的のＶ溝とは異なるＶ溝に挿入される（軸ズレ）ことがあり得る。この図では、ダミーファイバ心線ＤＦ１〜ＤＦ４は、５番目の光ファイバ心線ＯＦ５が挿入されたＶ溝Ｖ５を飛ばして（破線で図示）、６〜９番目の光ファイバ心線ＯＦ６〜９が挿入されたＶ溝Ｖ６〜Ｖ９に誤って挿入されている。よって、光ファイバ心線ＯＦ５は測定されないことになるが、測定用ダミーファイバＤＦの各ダミーファイバ心線は被測定用光ファイバＯＦの光ファイバ心線のいずれかに接続されるため、測定自体は正常に行われる。そのため、軸ズレが検知されず、最悪の場合、測定されない光ファイバ心線ＯＦ５に断線等の異常があっても、その異常が検知されないまま製品として流通する恐れがある。

【0011】

そこで、軸ズレの発生を確実かつ容易に検知することができる光ファイバ測定装置及、測定補助装置、および光ファイバ測定方法を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0012】

本発明の一態様に係る光ファイバ測定装置は、複数本の光ファイバ心線を並列に並べて一体化したテープ心線である被測定用光ファイバの伝送特性を測定する測定器と、複数本のダミーファイバ心線からなる測定用ダミーファイバと、前記被測定用光ファイバと前記測定用ダミーファイバとを１心毎に突き合わせる複数のＶ溝であって、前記被測定用光ファイバと同数のＶ溝が形成されたＶ溝ブロックを具備する測定補助装置と、前記測定器の測定結果を取得するとともに前記測定器および前記測定補助装置の動作を制御する制御装置と、を備え、前記Ｖ溝ブロックの前記Ｖ溝がそれぞれ前記測定用ダミーファイバの心線数と同じ数の前記Ｖ溝を含む複数のＶ溝グループから構成され、各前記Ｖ溝グループが前記Ｖ溝ブロックの幅方向にずれているとともに、隣接する前記Ｖ溝グループの前記Ｖ溝がそれぞれ異なる直線に沿って配置されており、各前記Ｖ溝グループに対向する位置に前記測定用ダミーファイバを移動させ、前記光ファイバ心線の伝送特性を測定する、光ファイバ測定装置である。

【0013】

また、本発明の一態様に係る測定補助装置は、被測定用光ファイバの光ファイバ心線に測定用ダミーファイバのダミーファイバ心線を１心毎に突き合わせて接続するための、前記被測定用光ファイバと同数の複数のＶ溝が形成されたＶ溝ブロックを備える、光ファイバ測定装置用の測定補助装置であって、前記Ｖ溝ブロックの前記Ｖ溝がそれぞれ前記測定用ダミーファイバの心線数と同じ数の前記Ｖ溝を含む複数のＶ溝グループから構成され、各前記Ｖ溝グループが前記Ｖ溝ブロックの幅方向にずれているとともに、隣接する前記Ｖ溝グループの前記Ｖ溝がそれぞれ異なる直線に沿って配置されており、各前記Ｖ溝グループに対向する位置に前記測定用ダミーファイバが移動され、前記光ファイバ心線の伝送特性が測定される、測定補助装置である。

【0014】

さらに、本発明の一態様に係る光ファイバ測定方法は、測定器に接続された複数本のダミーファイバ心線からなる測定用ダミーファイバを、被測定用光ファイバが挿入され前記被測定用光ファイバと同数の複数のＶ溝が形成されたＶ溝ブロックであって、前記Ｖ溝が複数のＶ溝グループから構成され、各前記Ｖ溝グループが前記Ｖ溝ブロックの幅方向にずれているとともに、隣接する前記Ｖ溝グループの前記Ｖ溝がそれぞれ異なる直線に沿って配置されている前記Ｖ溝ブロックの、最初のＶ溝グループに対向する位置に移動する第１のステップと、前記測定用ダミーファイバの各ダミーファイバ心線を対応するＶ溝に挿入し、該Ｖ溝に挿入されている前記被測定用光ファイバの光ファイバ心線に突き合わせて接続する第２のステップと、前記測定器により、前記光ファイバ心線の伝送特性を測定する第３のステップと、前記測定器で測定エラーが発生した場合に、軸ズレが発生したと判断し、再測定要と判定する第４のステップとを含み、次のＶ溝グループが存在する場合に、前記測定用ダミーファイバを次のＶ溝グループに対向する位置に移動させ、前記第２〜第４のステップを繰り返して、各前記Ｖ溝グループの前記Ｖ溝に挿入されている前記光ファイバ心線の伝送特性を測定する、光ファイバ測定方法である。

【発明の効果】

【0015】

上記によれば、軸ズレの発生を確実かつ容易に検知することができる光ファイバ測定装置、補助測定装置、および光ファイバ測定方法を提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本発明の一実施形態に係る光ファイバ測定装置の構成を示すブロック図である。

【図2】図１のＭＡＳの要部を示す拡大図である。

【図3A】本発明の一実施形態に係る光ファイバ測定装置のＶ溝ブロックを示す概略斜視図である。

【図3B】本発明の一実施形態に係る光ファイバ測定装置のＶ溝ブロックを示す概略斜視図である。

【図4】本発明の別の実施形態に係る光ファイバ測定装置のＶ溝ブロックを示す概略斜視図である。

【図5】本発明のさらに別の実施形態に係る光ファイバ測定装置のＶ溝ブロックを示す概略斜視図である。

【図6】本発明のさらに別の実施形態に係る光ファイバ測定装置のＶ溝ブロックを示す概略斜視図である。

【図7】本発明の一実施形態に係る光ファイバ測定方法のステップを示すフローチャートである。

【図8】従来技術の光ファイバ測定装置で軸ズレが発生した状態を示す概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

［本願発明の実施形態の説明］
最初に本願発明の実施形態を列挙して説明する。
本発明の一態様に係る光ファイバ測定装置は、（１）複数本の光ファイバ心線を並列に並べて一体化したテープ心線である被測定用光ファイバの伝送特性を測定する測定器と、複数本のダミーファイバ心線からなる測定用ダミーファイバと、前記被測定用光ファイバと前記測定用ダミーファイバとを１心毎に突き合わせる複数のＶ溝であって、前記被測定用光ファイバと同数のＶ溝が形成されたＶ溝ブロックを具備する測定補助装置と、前記測定器の測定結果を取得するとともに前記測定器および前記測定補助装置の動作を制御する制御装置と、を備え、前記Ｖ溝ブロックの前記Ｖ溝がそれぞれ前記測定用ダミーファイバの心線数と同じ数の前記Ｖ溝を含む複数のＶ溝グループから構成され、各前記Ｖ溝グループが前記Ｖ溝ブロックの幅方向にずれているとともに、隣接する前記Ｖ溝グループの前記Ｖ溝がそれぞれ異なる直線に沿って配置されており、各前記Ｖ溝グループに対向する位置に前記測定用ダミーファイバを移動させ、前記光ファイバ心線の伝送特性を測定する、光ファイバ測定装置である。各前記Ｖ溝グループが前記Ｖ溝ブロックの幅方向にずれているとともに、隣接するＶ溝グループのＶ溝がそれぞれ異なる直線に沿って配置されていることで、軸ズレが発生した場合には測定用ダミーファイバの少なくとも１本のダミーファイバ心線がＶ溝に挿入されなくなるため、被測定用光ファイバの光ファイバ心線と物理的に接続されないという作用を生じ、よって軸ズレの発生を確実かつ簡単に検知することが可能となる。

【0018】

（２）前記光ファイバ測定装置は、前記測定補助装置が、前記Ｖ溝ブロックに対向した位置に配置され、前記測定用ダミーファイバを保持して前記Ｖ溝ブロックの幅方向および高さ方向に移動可能な可動ヘッドと、前記可動ヘッドを移動させる移動機構とをさらに備えることが好ましい。これにより、測定用ダミーファイバを保持する可動ヘッドがＶ溝ブロックの幅方向および高さ方向の両方で移動可能になるという作用を生じ、Ｖ溝グループのＶ溝がＶ溝ブロックの高さ方向でそれぞれ異なる高さの直線に沿って配置されている場合でも、ダミーファイバ心線を挿入することできる。

【0019】

（３）前記測定補助装置は、前記可動ヘッドを前記Ｖ溝の並ぶ方向に直交する軸を中心にして回転させる回転機構をさらに備えることが好ましい。これにより、各Ｖ溝グループのＶ溝の並ぶ方向が傾斜している場合に、その傾斜に合わせて測定用ダミーファイバを回転して傾斜させ、各Ｖ溝グループのＶ溝にダミーファイバ心線を確実に挿入することが可能となる。

【0020】

また本発明の一態様に係る測定補助装置は、（４）被測定用光ファイバの光ファイバ心線に測定用ダミーファイバのダミーファイバ心線を１心毎に突き合わせて接続するための、前記被測定用光ファイバと同数の複数のＶ溝が形成されたＶ溝ブロックを備える、光ファイバ測定装置用の測定補助装置であって、前記Ｖ溝ブロックの前記Ｖ溝がそれぞれ前記測定用ダミーファイバの心線数と同じ数の前記Ｖ溝を含む複数のＶ溝グループから構成され、各前記Ｖ溝グループが前記Ｖ溝ブロックの幅方向にずれているとともに、隣接する前記Ｖ溝グループの前記Ｖ溝がそれぞれ異なる直線に沿って配置されており、各前記Ｖ溝グループに対向する位置に前記測定用ダミーファイバが移動され、前記光ファイバ心線の伝送特性が測定される、測定補助装置である。隣接するＶ溝グループのＶ溝がそれぞれ異なる直線に沿って配置されていることで、軸ズレが発生した場合に測定用ダミーファイバの少なくとも１本のダミーファイバ心線がＶ溝に挿入されなくなるため、被測定用光ファイバの光ファイバ心線と物理的に接続されないという作用を生じ、よって光ファイバ測定装置で軸ズレの発生を確実かつ簡単に検知することが可能となる。

【0021】

さらに本発明の一態様に係る光ファイバ測定方法は、（５）測定器に接続された複数本のダミーファイバ心線からなる測定用ダミーファイバを、被測定用光ファイバが挿入され前記被測定用光ファイバと同数の複数のＶ溝が形成されたＶ溝ブロックであって、前記Ｖ溝が複数のＶ溝グループから構成され、各前記Ｖ溝グループが前記Ｖ溝ブロックの幅方向にずれているとともに、隣接する前記Ｖ溝グループの前記Ｖ溝がそれぞれ異なる直線に沿って配置されている前記Ｖ溝ブロックの、最初のＶ溝グループに対向する位置に移動する第１のステップと、前記測定用ダミーファイバの各ダミーファイバ心線を対応するＶ溝に挿入し、該Ｖ溝に挿入されている前記被測定用光ファイバの光ファイバ心線に突き合わせて接続する第２のステップと、前記測定器により、前記光ファイバ心線の伝送特性を測定する第３のステップと、前記測定器で測定エラーが発生した場合に、軸ズレが発生したと判断し、再測定要と判定する第４のステップとを含み、次のＶ溝グループが存在する場合に、前記測定用ダミーファイバを次のＶ溝グループに対向する位置に移動させ、前記第２〜第４のステップを繰り返して、各前記Ｖ溝グループの前記Ｖ溝に挿入されている前記光ファイバ心線の伝送特性を測定する、光ファイバ測定方法である。隣接するＶ溝グループのＶ溝がそれぞれ異なる直線に沿って配置されていることで、軸ズレが発生した場合には測定用ダミーファイバの少なくとも１本のダミーファイバ心線がＶ溝に挿入されなくなるため、被測定用光ファイバの光ファイバ心線と物理的に接続されないという作用を生じ、よって軸ズレの発生を確実かつ簡単に検知することが可能となる。

【0022】

［本願発明の実施形態の詳細］
本発明の一実施形態に係る光ファイバ測定装置、測定補助装置、および光ファイバ測定方法の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
また、これらの具体例は、被測定用光ファイバが１２心のテープ心線であり、測定用ダミーファイバが４心のテープ心線である場合を一例として示している。

【0023】

［第１の実施形態］
図１は、本発明に係る光ファイバ測定装置１の構成を示すブロック図である。光ファイバ測定装置１は、被測定用光ファイバＯＦの伝送特性を測定する複数のＯＴＤＲ測定器１１と、複数のＯＴＤＲ測定器１１に一端側が１心毎に接続されたテープ心線である測定用ダミーファイバＤＦと、被測定用光ファイバＯＦの光ファイバ心線と測定用ダミーファイバＤＦの他端側とを１心毎に突き合わせるＶ溝ブロック１４を備える測定補助装置（ＭＡＳ）１２と、ＯＴＤＲ測定器１１の測定結果を取得するとともにＯＴＤＲ測定器１１およびＭＡＳ１２を動作制御する制御装置１３とを備える。

【0024】

測定用ダミーファイバＤＦは、後述する４本のダミーファイバ心線ＤＦ１〜ＤＦ４が一平面上に隣接して接触した状態で並列状に配置されており、その外周がテープ心線樹脂によって一体に被覆されている。各ダミーファイバ心線は、中心にコアとクラッドから成るガラスファイバが配置され、その外周が着色層を含む樹脂で被覆されている。

【0025】

被測定用光ファイバＯＦは、後述する１２本の光ファイバ心線ＯＦ１〜ＯＦ１２が一平面上に隣接して接触した状態で並列状に配置されており、その外周がテープ心線樹脂によって一体的に被覆されている。各光ファイバ心線は、中心にコアとクラッドから成るガラスファイバが配置され、その外周が着色層を含む樹脂で被覆されている。

【0026】

ＯＴＤＲ測定器１１は、被測定用光ファイバＯＦに光パルスを入射し、各部位からの後方散乱光の戻り時間と光量を測定することで、被測定用光ファイバＯＦ上の損失分布や損失値（ロス値）、欠陥位置等を算出する。被測定用光ファイバＯＦ自体に局所的にロスが高い箇所があると、ＯＴＤＲ波形上では傾きの変化（段差量、区間ロス値）として現れ、このような傾きの変化を段差異常や区間ロス異常として認識する。
また、ＯＴＤＲ測定器は、測定用ダミーファイバＤＦのダミーファイバ心線ＤＦ１〜ＤＦ４が所定のＶ溝とは異なるＶ溝に挿入されたと認められる場合に再測定要と判断する機能を有する再測定要否判断部１８を備えていてもよい。

【0027】

制御装置１３には、伝送特性検査用の検査ソフトがインストールされている。制御装置１３は、ＯＴＤＲ測定器１１へ制御信号１５を発信して測定器自体の動作制御を行うとともに、ＯＴＤＲ測定器１１から測定データ１６を受信し、その測定データ１６を解析して良否判定を行う。また制御装置１３は、ＭＡＳ１２へ制御信号１７を発信して、図２で後述する可動ヘッド２０の動作制御を行う動作制御部１９を備えている。この動作制御部１９の制御により、Ｖ溝ブロック１４上の接続部Ｐに位置決めされている被測定用光ファイバＯＦの各光ファイバ心線に、測定用ダミーファイバＤＦのダミーファイバ心線を突き合わせる。

【0028】

図２は、図１のＭＡＳ１２の要部を示す拡大図である。図２に示すように、ＭＡＳ１２は、Ｖ溝ブロック１４の幅方向に設けられたガイドレール２２に沿って移動可能な台座部２５と、台座部２５の上に設けられた可動ヘッド２０と、光ファイバ心線ＯＦ１〜ＯＦ１２を含む１２心の被測定用光ファイバＯＦを保持する被測定テープホルダ２３と、被測定テープホルダ２３毎に被測定用光ファイバＯＦを配置する複数列のステージ２４とを備えている。ステージ２４の前方には、１２本のＶ溝Ｖ１〜Ｖ１２を有するＶ溝ブロック１４が設けられている。

【0029】

可動ヘッド２０上には、測定用ダミーファイバＤＦを保持するダミーホルダ２１が設けられている。このダミーホルダ２１は、長手方向に所定距離だけ移動可能なように設定されている。ダミーホルダ２１は、ダミーファイバ心線ＤＦ１〜ＤＦ４を含む４心の測定用ダミーファイバＤＦを保持する。さらに、ＭＡＳ１２は、台座部２５に設けられ、たとえば可動ヘッド２０をＶ溝ブロック１４の幅方向および長手方向の両方に直交する高さ方向に移動させる高さ方向移動機構２６を備えている。高さ方向移動機構２６は、たとえば、ボールねじと駆動用モータとにより可動ヘッド２０を高さ方向で自在に移動させる機構であり得るが、これに限定されない。ガイドレール２２、台座部２５、および高さ方向移動機構２６は、本実施形態における移動機構を構成する。なお、可動ヘッド２０の幅方向の移動と高さ方向移動機構２６による高さ方向の移動、およびダミーホルダ２１の長手方向の移動は、制御装置１３の動作制御部１９により制御される。

【0030】

図３Ａおよび図３Ｂは、本発明の一実施形態に係る光ファイバ測定装置１のＭＡＳ１２のＶ溝ブロック１４を概略的に示している。Ｖ溝ブロック１４の上面には、１２本のＶ溝Ｖ１〜Ｖ１２が形成されている。これらのＶ溝Ｖ１〜Ｖ１２に、被測定用光ファイバＯＦの光ファイバ心線ＯＦ１〜ＯＦ１２がそれぞれ挿入される。

【0031】

Ｖ溝Ｖ１〜Ｖ１２は、測定用ダミーファイバＤＦのダミーファイバ心線の数（４本）に合わせて、Ｖ溝Ｖ１〜Ｖ４で構成される第１のＶ溝グループＶＧ１、Ｖ溝Ｖ５〜Ｖ８で構成される第２のＶ溝グループＶＧ２、およびＶ溝Ｖ９〜Ｖ１２で構成される第３のＶ溝グループＶＧ３に分かれて形成されている。各Ｖ溝グループは、Ｖ溝ブロック１４のＶ溝が、それぞれ異なる直線に沿って配置されている。すなわち、第１のＶ溝グループＶＧ１を構成するＶ溝Ｖ１〜Ｖ４は、破線で示された直線Ｌ１に沿って配置され、第２のＶ溝グループＶＧ２を構成するＶ溝Ｖ５〜Ｖ８は、一点鎖線で示された直線Ｌ２に沿って配置され、第３のＶ溝グループＶＧ３を構成するＶ溝Ｖ９〜Ｖ１２は、二点鎖線で示された直線Ｌ３に沿って配置されている。図示されているように、本実施形態における直線Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３は、相互に平行な直線であり、直線Ｌ２が直線Ｌ１よりも低く、直線Ｌ３が直線Ｌ２よりも低い。すなわち、隣接するＶ溝グループＶＧ１およびＶＧ２のＶ溝がそれぞれ異なる直線に沿って配置され、隣接するＶ溝グループＶＧ２およびＶＧ３も同様に異なる直線に沿って配置されており、この場合、１２本のＶ溝Ｖ１〜Ｖ１２は、Ｖ溝ブロック１４の高さが３段階のレベルで形成されている。

【0032】

次に、本実施形態の光ファイバ測定装置１における光ファイバの測定と、軸ズレの検出について説明する。光ファイバの測定時に、ＭＡＳ１２の可動ヘッド２０は、ガイドレール２２に沿った幅方向の移動および高さ方向移動機構２６による高さ方向の移動を通じて、まず第１のＶ溝グループＶＧ１に対向する位置に移動する。そしてダミーホルダ２１による長手方向の移動を通じて、測定用ダミーファイバＤＦのダミーファイバ心線ＤＦ１〜ＤＦ４を第１のＶ溝グループＶＧ１のＶ溝Ｖ１〜Ｖ４にそれぞれ挿入し、Ｖ溝Ｖ１〜Ｖ４に挿入されている被測定用光ファイバＯＦの光ファイバ心線ＯＦ１〜ＯＦ４に突き合わせて接続する（図３Ａ）。この状態で、ＤＦ１〜ＤＦ４に接続されたＯＴＤＲ測定器１１により、ＯＦ１〜ＯＦ４の測定を行う。

【0033】

光ファイバ心線ＯＦ１〜ＯＦ４の測定が終了すると、ＭＡＳ１２の可動ヘッド２０は、ダミーホルダ２１による長手方向の移動を通じて、ダミーファイバ心線ＤＦ１〜ＤＦ４を第１のＶ溝グループＶＧ１のＶ溝Ｖ１〜Ｖ４から抜き出す。次に、可動ヘッド２０は、幅方向の移動および高さ方向の移動を通じて、第２のＶ溝グループＶＧ２に対向する位置に移動する。そしてＯＦ１〜ＯＦ４を測定した場合と同様に、ＤＦ１〜ＤＦ４を第２のＶ溝グループＶＧ２のＶ溝Ｖ５〜Ｖ８にそれぞれ挿入し、光ファイバ心線ＯＦ５〜ＯＦ８に突き合わせて接続して、ＯＴＤＲ測定器１１による測定を行う。

【0034】

さらに、光ファイバ心線ＯＦ５〜ＯＦ８の測定が終了すると、可動ヘッド２０は、同様の方法でダミーファイバ心線ＤＦ１〜ＤＦ４を第２のＶ溝グループＶＧ２のＶ溝Ｖ５〜Ｖ８から抜き出し、第３のＶ溝グループＶＧ３に対向する位置に移動し、ＤＦ１〜ＤＦ４を第３のＶ溝グループＶＧ３のＶ溝Ｖ９〜Ｖ１２にそれぞれ挿入し、光ファイバ心線ＯＦ９〜ＯＦ１２に突き合わせて接続して、ＯＴＤＲ測定器１１による測定を行う。

【0035】

以上の一連の光ファイバ測定で、軸ズレが発生した場合を考える。たとえば、図３Ｂに示すように、第１のＶ溝グループＶＧ１に対向する位置から第２のＶ溝グループＶＧ２に対向する位置に移動してダミーファイバ心線ＤＦ１〜ＤＦ４をＶ溝Ｖ５〜Ｖ８に挿入する際に、可動ヘッド２０の位置制御のミス等により、ダミーファイバ心線ＤＦ１がＶ溝Ｖ５ではなくＶ溝Ｖ６に挿入されるかたちで、ダミーファイバ心線がＶ溝に１つずつズレて挿入されたと仮定する。この場合、ダミーファイバ心線ＤＦ４はＶ溝に挿入されず、被測定用光ファイバＯＦのいかなる光ファイバ心線にも接続されない。よってダミーファイバ心線ＤＦ４に接続されたＯＴＤＲ測定器１１は測定を行うことができず、測定エラーが発生する。この測定エラーが発生したことをもって、再測定要否判断部１８は、軸ズレが発生したことを検知し、再測定要と判断する。

【0036】

本実施形態の光ファイバ測定装置１では、被測定用光ファイバＯＦの１２本の光ファイバ心線ＯＦ１〜ＯＦ１２が、測定用ダミーファイバＤＦのダミーファイバ心線ＤＦ１〜ＤＦ４と同じ本数（４本）の光ファイバ心線ごとにグループ分けされ、それぞれのグループのＶ溝が相互に平行な３本の直線に沿って配置されているため、光ファイバ測定過程のいずれかの時点で軸ズレが発生した場合、少なくとも１本のダミーファイバ心線が被測定用光ファイバの光ファイバ心線と接続されないこととなる。よって軸ズレが発生したにも関わらず全てのダミーファイバ心線が被測定用光ファイバの光ファイバ心線に接続されるという状況を回避し、軸ズレの発生を確実かつ簡単に検知することができる。

【0037】

［第２の実施形態］
次に、本発明の第２の実施形態に係る光ファイバ測定装置１について、図４を参照しながら説明する。図４は、第２の実施形態に係る光ファイバ測定装置１のＭＡＳ１２のＶ溝ブロック１４を概略的に示す。第２の実施形態に係る光ファイバ測定装置１は、第１の実施形態に係る光ファイバ測定装置１の構成等を一部変更したものであり、多くの部分が第１の実施形態と共通する。よって共通する部分の説明は省略し、異なる部分についてのみ説明する。

【0038】

本実施形態のＶ溝ブロック１４に形成される１２本のＶ溝Ｖ１〜Ｖ１２もまた、３つのＶ溝グループＶＧ１〜ＶＧ３に分けて形成されている。ここで、第１のＶ溝グループＶＧ１を構成するＶ溝Ｖ１〜Ｖ４が並ぶ方向を示す直線Ｌ１は、隣接する第２のＶ溝グループＶＧ２を構成するＶ溝Ｖ５〜Ｖ８が並ぶ方向を示す直線Ｌ２とは高さが異なるが、第３のＶ溝グループＶＧ３を構成するＶ溝Ｖ９〜Ｖ１２が並ぶ方向を示す直線Ｌ３とは高さが同じである。すなわち、隣接するＶ溝グループＶＧ１およびＶＧ２のＶ溝がそれぞれ異なる直線に沿って配置され、隣接するＶ溝グループＶＧ２およびＶＧ３のＶ溝がそれぞれ異なる直線に沿って配置されており、Ｖ溝Ｖ１〜Ｖ１２は、ＶＧ２に属するＶ溝Ｖ５〜Ｖ８が他のＶ溝よりも高い位置となるように形成されている。

【0039】

本実施形態の場合も、被測定用光ファイバＯＦの測定を行う過程で軸ズレが発生した場合、少なくとも１本のダミーファイバ心線がＶ溝に挿入されず、被測定用光ファイバＯＦのいずれの光ファイバ心線とも接続されないこととなる。よって軸ズレが発生しているにも関わらず全てのダミーファイバ心線が被測定用の光ファイバ心線に接続されているという状況を回避し、軸ズレの発生を確実かつ容易に検知することができる。

【0040】

さらに、１２本のＶ溝Ｖ１〜Ｖ１２が、第２のＶ溝グループＶＧ２に属するＶ溝Ｖ５〜Ｖ８のみが高くなるように２段階のレベルで形成されているため、可動ヘッド２０の高さ方向の制御が２段階で済み、第１の実施形態に比べ、Ｖ溝ブロック１４の高さ方向の寸法も抑えられるという効果が得られる。

【0041】

なお、本実施形態では、Ｖ溝ブロック１４の１２本のＶ溝Ｖ１〜Ｖ１２は、第２のＶ溝グループＶＧ２に属するＶ溝Ｖ５〜Ｖ８が他のＶ溝よりも高い位置となるように、すなわち、Ｖ溝ブロック１４を正面から見た時に凸状となるように形成されているが、第２のＶ溝グループＶＧ２に属するＶ溝Ｖ５〜Ｖ８が他のＶ溝よりも低い位置となるように、すなわち凹状となるように形成してもよい。

【0042】

［第３の実施形態］
次に、本発明の第３の実施形態に係る光ファイバ測定装置１について、図５を参照しながら説明する。図５は、第３の実施形態に係る光ファイバ測定装置１のＭＡＳ１２のＶ溝ブロック１４を概略的に示す。第３の実施形態に係る光ファイバ測定装置１は、第１の実施形態に係る光ファイバ測定装置１の構成等を一部変更したものであり、多くの部分が第１および第２の実施形態と共通する。よって共通する部分の説明は省略し、異なる部分についてのみ説明する。

【0043】

第３の実施形態のＶ溝ブロック１４に形成される１２本のＶ溝Ｖ１〜Ｖ１２もまた、３つのＶ溝グループＶＧ１〜ＶＧ３に分けて形成されている。ここで、第１のＶ溝グループＶＧ１を構成するＶ溝Ｖ１〜Ｖ４が並ぶ方向を示す直線Ｌ１は、隣接する第２のＶ溝グループＶＧ２を構成するＶ溝Ｖ５〜Ｖ８が並ぶ方向を示す直線Ｌ２と交差し、また直線Ｌ２は、隣接する第３のＶ溝グループＶＧ３を構成するＶ溝Ｖ９〜Ｖ１２が並ぶ方向を示す直線Ｌ３と交差している。すなわち、隣接するＶ溝グループＶＧ１およびＶＧ２のＶ溝がそれぞれ異なる直線に沿って配置され、隣接するＶ溝グループＶＧ２およびＶＧ３のＶ溝がそれぞれ異なる直線に沿って配置されており、３つの直線Ｌ１〜Ｌ３は、それぞれが傾斜している。

【0044】

また、第３の実施形態のＭＡＳ１２は、可動ヘッド２０をＶ溝の並ぶ方向に直交する軸を中心にして回転させる回転機構（図示せず）を備えている。これにより、測定用ダミーファイバＤＦの並列に並べられたダミーファイバ心線ＤＦ１〜ＤＦ４を、直線Ｌ１〜Ｌ３の傾斜に合わせて傾斜させて、各Ｖ溝グループのＶ溝にダミーファイバ心線ＤＦ１〜ＤＦ４を確実に挿入することができる。回転機構は、たとえば、回転軸に沿ったシャフトと、このシャフトを歯車を介して回転させる駆動モータとにより、可動ヘッド２０を自在に回転させる機構であり得るが、これに限定されない。なお、回転機構は、ガイドレール２２、台座部２５、および高さ方向移動機構２６と共に本実施形態における移動機構を構成し、回転機構による可動ヘッド２０の回転は、制御装置１３の動作制御部１９により制御される。

【0045】

本実施形態の場合も、被測定用光ファイバＯＦの測定を行う過程で軸ズレが発生した場合、少なくとも１本のダミーファイバ心線がＶ溝に挿入されず、被測定用光ファイバＯＦのいずれの光ファイバ心線とも接続されないこととなる。よって軸ズレが発生しているにも関わらず全てのダミーファイバ心線が被測定用の光ファイバ心線に接続されているという状況を回避し、軸ズレの発生を確実かつ容易に検知することができる。

【0046】

［第４の実施形態］
次に、本発明の第４の実施形態に係る光ファイバ測定装置１について、図６を参照しながら説明する。図６は、第４の実施形態に係る光ファイバ測定装置１のＭＡＳ１２のＶ溝ブロック１４を概略的に示す。この光ファイバ測定装置１は、第１の実施形態に係る光ファイバ測定装置１の構成等を一部変更したものであり、多くの部分が第１、第２、および第３の実施形態と共通する。よって共通する部分の説明は省略し、異なる部分についてのみ説明する。

【0047】

第４の実施形態のＶ溝ブロック１４に形成される１２本のＶ溝Ｖ１〜Ｖ１２もまた、３つのＶ溝グループＶＧ１〜ＶＧ３に分けて形成されている。ここで、第１のＶ溝グループＶＧ１を構成するＶ溝Ｖ１〜Ｖ４が並ぶ方向を示す直線Ｌ１と、第２のＶ溝グループＶＧ２を構成するＶ溝Ｖ５〜Ｖ８が並ぶ方向を示す直線Ｌ２と、第３のＶ溝グループＶＧ３を構成するＶ溝Ｖ９〜Ｖ１２が並ぶ方向を示す直線Ｌ３とは、相互に平行な状態で傾斜している。すなわち、隣接するＶ溝グループＶＧ１およびＶＧ２のＶ溝の並ぶ方向がそれぞれ異なる直線に沿って配置され、隣接するＶ溝グループＶＧ２およびＶＧ３のＶ溝の並ぶ方向がそれぞれ異なる直線に沿って配置されている。

【0048】

この実施形態では、光ファイバ測定装置１のＭＡＳ１２は、可動ヘッド２０を高さ方向に移動する高さ方向移動機構や、可動ヘッド２０をＶ溝の並ぶ方向に直交する軸を中心に回転させる回転機構は無くてもよい。これは、可動ヘッド２０をガイドレール２２に沿ってＶ溝ブロック１４の幅方向に移動するだけで、第１、第２、および第３のＶ溝グループＶＧ１、ＶＧ２、ＶＧ３のＶ溝に、測定用ダミーファイバＤＦのダミーファイバ心線ＤＦ１〜ＤＦ４を挿入することができるからである。よって、本実施形態に係る光ファイバ測定装置１は、可動ヘッド２０の移動制御が簡素化されるという効果を有する。

【0049】

次に、本発明の実施形態に係る光ファイバ測定方法について、図７のフローチャートを参照しながら説明する。

【0050】

まず、測定用ダミーファイバＤＦを保持する可動ヘッド２０を、Ｖ溝ブロック１４の最初のＶ溝グループである第１のＶ溝グループＶＧ１に対向する位置に移動する（ステップＳ１）。

【0051】

次に、測定用ダミーファイバＤＦのダミーファイバ心線ＤＦ１〜ＤＦ４のそれぞれを、対応するＶ溝Ｖ１〜Ｖ４に挿入し、被測定用光ファイバＯＦの光ファイバ心線ＯＦ１〜ＯＦ４と突き合わせて接続する（ステップＳ２）。

【0052】

次に、ダミーファイバ心線ＤＦ１〜ＤＦ４に接続されている４台のＯＴＤＲ測定器１１により、接続先の光ファイバ心線ＯＦ１〜ＯＦ４の伝送特性を測定する（ステップＳ３）。

【0053】

ここで、ステップＳ２で測定用ダミーファイバＤＦのダミーファイバ心線ＤＦ１〜ＤＦ４が対応するＶ溝Ｖ１〜Ｖ４に正しく挿入されておらず、軸ズレが発生していれば、ダミーファイバ心線ＤＦ１〜ＤＦ４の少なくとも１本は被測定用の光ファイバ心線に接続されておらず、そのダミーファイバ心線に接続されたＯＴＤＲ測定器１１は測定を実行できない。よって、少なくとも１台のＯＴＤＲ測定器で測定エラーが発生した場合に（ステップＳ４のＹＥＳ）、軸ズレやＯＴＤＲ異常等が発生したと判断し、再測定要と判定する（ステップＳ５）。

【0054】

いずれのＯＴＤＲ測定器１１でも測定エラーが発生しなかった場合（ステップＳ４のＮＯ）、およびステップＳ５で再測定要と判定した後、次のＶ溝グループが存在するか判断する（ステップＳ６）。この例では、可動ヘッド２０はまだ最初のＶ溝グループＶＧ１に対向する位置にあるため（ＮＯ）、可動ヘッド２０を次のＶ溝グループＶＧ２に対向する位置に移動し（ステップＳ７）、ステップＳ２に戻る。

【0055】

すべてのＶ溝グループに対してステップＳ２〜Ｓ６を繰り返し、被測定用光ファイバＯＦのすべての光ファイバ心線ＯＦ１〜ＯＦ１２を測定する。最後のＶ溝グループであるＶ溝グループＶＧ３で測定が終了したら（ステップＳ６のＹＥＳ）、処理を終了する。

【0056】

ステップＳ５で再測定要と判定した場合、再測定を行うことが必要となる。再測定処理は、すべてのＶ溝グループでの測定が終了した後（すなわち、ステップＳ６のＮＯの後）で行ってもよいし、各Ｖ溝グループでの測定が終了した後（すなわち、ステップＳ５の後）で行ってもよい。

【0057】

上述したように、本発明の実施形態に係る光ファイバ測定装置、測定補助装置、および光ファイバ測定方法によれば、測定用ダミーファイバのダミーファイバ心線がＶ溝ブロックの所定のＶ溝とは異なるＶ溝に挿入される軸ズレが発生した場合、少なくとも１本のダミーファイバ心線は被測定用の光ファイバ心線と物理的に接続されず、よって１台以上のＯＴＤＲ測定器で測定エラーが発生する。これにより、軸ズレが発生したことを確実かつ容易に判断し、再測定要と判定することができる。

【0058】

なお、上記実施形態では、１２心の被測定用光ファイバに対して４心の測定用ダミーファイバを用いたが、被測定用光ファイバの心数は１２心に限定されず、測定用ダミーファイバの心数も４心に限定されない。たとえば、被測定用光ファイバが８心または１６心である場合、Ｖ溝ブロックに４本×２組または４本×４組のＶ溝を形成し、４心の測定用ダミーファイバを用いて上記実施形態と同様に測定を行うことができる。また、たとえば被測定用光ファイバが１６心であり、測定用ダミーファイバが８心であれば、Ｖ溝ブロックに８本×２組のＶ溝を形成して、上記実施形態と同様に測定を行うことができる。要するに、被測定用光ファイバの心数が測定用ダミーファイバの心数の整数倍であり、Ｖ溝ブロックのＶ溝を測定用ダミーファイバの心数と同じ本数のＶ溝で構成されるＶ溝グループに分けて形成すれば、上記実施形態と同様に測定を行うことが可能である。

【0059】

また、上記実施形態では、４心の測定用ダミーファイバＤＦに対して、各心に一つずつのＯＴＤＲ測定器１１を設けた例で説明している。同じようにＯＴＤＲ測定器１１を接続するのであれば、８心の測定用ダミーファイバＤＦを使用する場合、ＯＴＤＲ測定器１１は８台必要となる。
なお、ＯＴＤＲ測定器１１として、たとえば、２つの入出力ポートを有するＯＴＤＲ測定器を用いた場合は、８心の測定に必要となる台数は４台となり、また、４つの入出力ポートを有するＯＴＤＲ測定器を用いた場合は、８心の測定に必要となる台数は２台となる。

【0060】

また、複数の入出力ポートを有するＯＴＤＲ測定器を使用する代わりに、測定用ダミーファイバとＯＴＤＲ測定器の間に光チャンネルセレクタ（切り替えチャンネル数：２×４や２×８）を導入することにより、２台のＯＴＤＲ測定器のみで４心や８心の測定を行うことも可能である。

【0061】

なお、本発明の光ファイバ測定装置および光ファイバの測定方法は、上述した実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良等が自在である。その他、上述した実施形態における各構成要素の材質、形状、寸法、数値、形態、数、配置場所等は本発明を達成できるものであれば任意であり、限定されない。

【符号の説明】

【0062】

１…光ファイバ測定装置、１１…ＯＴＤＲ測定器、１２…ＭＡＳ（測定補助装置）、１３…制御装置、１４…Ｖ溝ブロック、１５…制御信号、１６…測定データ、１７…制御信号、１８…再測定要否判断部、１９…動作制御部、２０…可動ヘッド、２１…ダミーホルダ、２２…ガイドレール、２３…被測定テープホルダ、２４…ステージ、２５…台座部、２６…高さ方向移動機構。

【図1】

【図2】

【図3A】

【図3B】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】