特許第6895162号(P6895162)IP Force 特許公報掲載プロジェクト 2022.1.31 β版

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特許6895162超音速フリージェット物理蒸着装置で用いる超音速ノズル、超音速フリージェット物理蒸着装置で用いる超音速ノズルの製造方法、超音速フリージェット物理蒸着装置で用いる超音速ノズルの設計方法及びコンピュータプログラム
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