特許 6897358 搬送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6897358

(24)【登録日】2021年6月14日

(45)【発行日】2021年6月30日

(54)【発明の名称】搬送装置

(51)【国際特許分類】

   B65G 47/256 20060101AFI20210621BHJP

   H05K 13/02 20060101ALI20210621BHJP

   B65G 47/88 20060101ALI20210621BHJP

【ＦＩ】

   B65G47/256

   H05K13/02 U

   B65G47/88 B

【請求項の数】9

【全頁数】14

(21)【出願番号】特願2017-120499(P2017-120499)

(22)【出願日】2017年6月20日

(65)【公開番号】特開2019-6510(P2019-6510A)

(43)【公開日】2019年1月17日

【審査請求日】2020年5月21日

(73)【特許権者】

【識別番号】000005496

【氏名又は名称】富士フイルムビジネスイノベーション株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001519

【氏名又は名称】特許業務法人太陽国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】岡田 真彰

(72)【発明者】

【氏名】池田 明博

【審査官】 宮部 菜苗

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０８−１３９５００（ＪＰ，Ａ）

【文献】 実開平０６−０４５９３５（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開昭６３−３０００１２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｂ６５Ｇ ４７／２２−４７／３２、４７／８８

Ｈ０５Ｋ １３／００−１３／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

一以上の部品が固定された基板を搬送する搬送部と、
該搬送部で搬送されている該基板に当たり該基板を停止させる第一位置と、該基板に当たらない第二位置と、の間を移動し、該第二位置では、該基板が予め定めた姿勢で搬送されている場合は該部品に当たらず、該基板が該姿勢以外で搬送されている場合は特定の該部品に当たり該基板を停止させる停止部と、
を備えた搬送装置。

【請求項2】

該基板を板面に直交する方向に見た場合、該基板の搬送方向と交差する方向に該停止部の位置を変更する機能を有する変更部を備えた請求項１に記載の搬送装置。

【請求項3】

該変更部は、該基板の板面に交差する方向に該停止部の位置を変更する機能を有する、
請求項２に記載の搬送装置。

【請求項4】

該変更部は、
該基板の搬送方向と交差する方向に移動する第一部材と、
該基板の板面に交差する方向に移動する第二部材と、
を有する二軸のロボットであり、
前記第一部材及び前記第二部材の一方が前記停止部を保持し、他方が一方を保持している、
請求項３に記載の搬送装置。

【請求項5】

該停止部は、該基板の板面に交差する方向を長手方向とする部材であり、該部材が該長手方向に沿って該第一位置と該第二位置とに移動する、
請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の搬送装置。

【請求項6】

該停止部は、シリンダーを構成するシリンダーチューブ内に設けられたロッドであり、
該シリンダーチューブに格納された状態の該ロッドの位置が該第二位置であり、
該シリンダーチューブから突出した状態の該ロッドの位置が該第一位置である、
請求項５に記載の搬送装置。

【請求項7】

該第二位置は、アンカーで該基板に固定されている該特定の部品に該停止部が当たる位置である、
請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の搬送装置。

【請求項8】

該第二位置は、先端部が該基板の板面から最も離れた位置にある該特定の部品に該停止部が当たる位置である、
請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載の搬送装置。

【請求項9】

該第二位置は、該特定の部品以外の部品の先端部よりも前記板面から離れた位置である、
請求項８に記載の搬送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、搬送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、基板搬送用の搬送コンベアに用いられる搬送ベルトを清掃するベルト清掃作業に関する技術が開示されている。この先行技術では、基板ストッパのストッパピンを上昇させて基板に当て、基板を実装ステージに位置決めしている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開２０１５―１２１０７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

基板の製造ラインでは、何らかの理由で、作業者が製造ラインの途中で基板を一旦取り出したのち、製造ラインに戻すことがある。基板を戻す際に、基板が元の姿勢（予め定められた姿勢）とは異なる姿勢（例えば、基板が１８０度回転した姿勢）で戻されてしまうことがある。基板が元の姿勢とは異なる姿勢で戻されて搬送された場合、例えば、検査装置での基板の検査が正しく行われない等の不具合が発生する虞がある。よって、予め定められた姿勢以外の姿勢で搬送された基板は、停止させる必要がある。

【0005】

本発明は、予め定められた姿勢の基板は搬送され、予め定められた姿勢以外の姿勢で搬送された基板を停止させることが目的である。

【課題を解決するための手段】

【0006】

請求項１の発明は、一以上の部品が固定された基板を搬送する搬送部と、該搬送部で搬送されている該基板に当たり該基板を停止させる第一位置と、該基板に当たらない第二位置と、の間を移動し、該第二位置では、該基板が予め定めた姿勢で搬送されている場合は該部品に当たらず、該基板が該姿勢以外で搬送されている場合は特定の該部品に当たり該基板を停止させる停止部と、を備えた搬送装置である。

【0007】

請求項２の発明は、該基板を板面に直交する方向に見た場合、該基板の搬送方向と交差する方向に該停止部の位置を変更する機能を有する変更部を備えた請求項１に記載の搬送装置である。

【0008】

請求項３の発明は、該変更部は、該基板の板面に交差する方向に該停止部の位置を変更する機能を有する、請求項２に記載の搬送装置である。

【0009】

請求項４の発明は、該変更部は、該基板の搬送方向と交差する方向に移動する第一部材と、該基板の板面に交差する方向に移動する第二部材と、を有する二軸のロボットであり、前記第一部材及び前記第二部材の一方が前記停止部を保持し、他方が一方を保持している、請求項３に記載の搬送装置である。

【0010】

請求項５の発明は、該停止部は、該基板の板面に交差する方向を長手方向とする部材であり、該部材が該長手方向に沿って該第一位置と該第二位置とに移動する、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の搬送装置である。

【0011】

請求項６の発明は、該停止部は、シリンダーを構成するシリンダーチューブ内に設けられたロッドであり、該シリンダーチューブに格納された状態の該ロッドの位置が該第二位置であり、該シリンダーチューブから突出した状態の該ロッドの位置が該第一位置である、請求項５に記載の搬送装置である。

【0012】

請求項７の発明は、該第二位置は、アンカーで該基板に固定されている該特定の部品に該停止部が当たる位置である、請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載の搬送装置である。

【0013】

請求項８の発明は、該第二位置は、先端部が該基板の板面から最も離れた位置にある該特定の部品に該停止部が当たる位置である、請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載の搬送装置である。

【0014】

請求項９の発明は、該第二位置は、該特定の部品以外の部品の先端部よりも前記板面から離れた位置である、請求項８に記載の搬送装置である。

【発明の効果】

【0015】

請求項１に記載の発明によれば、予め定められた姿勢の基板は搬送され、予め定められた姿勢以外の姿勢で搬送された基板を停止させることができる。

【0016】

請求項２に記載の発明によれば、特定の部品の基板の搬送方向と交差する方向の固定位置が異なる複数種の基板であっても、予め定められた姿勢の基板は搬送され、予め定められた姿勢以外の姿勢で搬送された基板を停止させることができる。

【0017】

請求項３に記載の発明によれば、特定の部品の先端部の板面からの距離が異なる複数種の基板であっても、予め定められた姿勢の基板は搬送され、予め定められた姿勢以外の姿勢で搬送された基板を停止させることができる。

【0018】

請求項４に記載の発明によれば、一軸のロボットを二つ用いる場合と比較し、簡単な機構で、基板の搬送方向と交差する方向と基板の板面に交差する方向との両方に停止部の位置を変更することができる。

【0019】

請求項５に記載の発明によれば、停止部が回転して第一位置と第二位置とに移動する場合と比較し、停止部の移動軌跡を小さくすることができる。

【0020】

請求項６に記載の発明によれば、シリンダーを用いることで、停止部であるロッドを容易に長手方向に沿って第一位置と第二位置に移動することができる。

【0021】

請求項７に記載の発明によれば、アンカーで基板に固定されていない部品に停止部が当たる場合と比較し、停止部に当たった際の部品外れを抑制することができる。

【0022】

請求項８に記載の発明によれば、先端部が基板の板面に近い位置にある部品に停止部が当たる場合と比較し、特定の部品以外の部品に停止部が当たることを抑制することができる。

【0023】

請求項９に記載の発明によれば、特定の部品以外の部品の先端部よりも板面に近い位置に第二位置がある場合と比較し、基板の姿勢によらず特定の部品以外の部品に停止部が当たることを更に抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】本発明の一実施形態の搬送装置を搬送方向下流側から見た斜視図である。

【図2】図１に示す搬送装置を搬送方向上流側から見た斜視図である。

【図3】図１に示す搬送装置のブロック図である。

【図4】正常姿勢の基板が搬送されている場合の搬送装置の要部を模式的に示す上側から見た平面図である。

【図5】異常姿勢の基板が搬送されている場合の搬送装置の要部を模式的に示す上側から見た平面図である。

【図6】搬送装置の要部を模式的に示す装置幅方向から見た側面図であり、（Ａ）はロッドが第一位置にある状態の側面図であり、（Ｂ）はロッドが第二位置にある状態の側面図である。

【図7】比較例の停止装置の要部を模式的に示す上側から見た図４に対応する平面図である。

【図8】比較例の停止装置の要部を模式的に示す装置幅方向から見た図６に対応する側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0025】

＜実施形態＞
本発明の一実施形態に係る搬送装置について説明する。なお、水平方向における直交する二方向をＸ方向及びＹ方向とし、鉛直方向をＺ方向とする。また、Ｘ方向を矢印Ｘで示し、Ｙ方向を矢印Ｙで示し、Ｚ方向を矢印Ｚで示している。

【0026】

（全体構成）
まず、搬送装置の全体構成について説明する。

【0027】

図１、図２及び図３に示すように、搬送装置１０は、複数の製造設備を搬送コンベアで接続した基板の製造ライン１１の一部を構成している。搬送装置１０は、基板２００を搬送する搬送部５０と、基板２００を停止する停止装置１００と、搬送部５０及び停止装置１００を制御する制御部７０（図３参照）と、を有している。

【0028】

図１及び図２に示すように、搬送部５０で搬送される基板２００の搬送方向を矢印Ｆで示す。なお、搬送方向Ｆは、Ｙ方向と一致する。また、搬送方向（Ｙ方向）及び鉛直方向と直交するＸ方向が装置幅方向である。本実施形態では、搬送部５０で搬送される基板２００の上面２０２と直交する方向（基板２００の板厚方向であり、基板２００の法線方向）は、鉛直方向と一致する。

【0029】

図１に示すように、本実施形態では、搬送装置１０における停止装置１００の搬送方向下流側部分には、基板２００を検査する検査装置２０が設けられている。なお、図示は省略するが、制御部７０（図３参照）は、検査装置２０も制御している。

【0030】

（基板）
次に基板２００について説明する。なお、基板２００の上下等の方向は、搬送部５０で搬送されている状態の方向である。

【0031】

図１及び図２に示すように基板２００は、上方から見て、装置幅方向（Ｘ方向）よりも搬送方向（Ｙ方向）が長い長方形状とされている（図４も参照）。

【0032】

基板２００は、所謂プリント基板であり、製造ライン１１における本実施形態の搬送装置１０（検査装置２０）よりも上流側の製造装置で、上面２０２に複数の部品２１０が固定されている。基板２００に固定されている部品２１０は、ＩＣチップ、コンデンサー等の電子部品及び放熱器２１０Ｂ等である。なお、本実施形態では図示していないが、基板２００の下面２０３（図６参照）にも部品２１０が固定されている。

【0033】

なお、図１及び図２以外の基板２００では、放熱器２１０Ｂのみを図示し、他の部品２１０の図示を省略している。

【0034】

図１及び図２に示すように、放熱器２１０Ｂは、発熱量の大きい電子部品２１０Ａ（例えばＣＰＵ）の上面に密着して設けられている（図６も参照）。放熱器２１０Ｂ（電子部品２１０Ａ）は、平面視において、基板２００における装置幅方向（Ｘ方向）の一方側に固定されている（図４も参照）。なお、放熱器２１０Ｂの上側の先端部２１２Ｂは、基板２００の上面２０２に固定されている全ての部品２１０の中で基板２００の上面（板面）２０２から最も離れた位置にある。

【0035】

図１、図２及び図４に示すように、本実施形態の放熱器２１０Ｂは、複数の冷却フィン２１４Ｂ、２１５Ｂを有している。そして、冷却フィン２１４Ｂと冷却フィン２１５Ｂとの間に線状のアンカー２２０が嵌め込まれ、アンカー２２０の端部がワイヤークリップ２２２で基板２００に固定されている。つまり、放熱器２１０Ｂは、アンカー２２０及びワイヤークリップ２２２によって基板２００に固定されている。

【0036】

なお、図１、図２及び図４に示すように、基板２００の短辺部２０４が搬送方向前側で、短辺部２０６が搬送方向後側となって搬送される姿勢が、後述する搬送部５０で搬送可能な姿勢のうち、予め定められた姿勢の一例としての「正常姿勢」である。そして、図５に示すように、基板２００の短辺部２０４が搬送方向後側で、短辺部２０６が搬送方向前側となって搬送される姿勢（「正常姿勢」から１８０°回転した姿勢）は、後述する搬送部５０で搬送可能な姿勢のうち、予め定められた姿勢以外の姿勢の一例としての「異常姿勢」である。

【0037】

（搬送部）
次に、搬送部５０について説明する。

【0038】

図１及び図２に示すように、搬送部５０は、ベルトコンベアであって、駆動ロール５２と、従動ロール５４（図１参照）と、駆動ロール５２及び従動ロール５４（図１参照）とに巻き掛けられている無端ベルト５６と、周回する無端ベルト５６を案内する複数のガイドロール５８（図１参照）と、を有している。また、装置幅方向の両側には、無端ベルト５６によって搬送される基板２００をガイドするガイドフレーム６０が備えられている。

【0039】

このガイドフレーム６０により、基板２００は、短辺部２０４が搬送方向前側で、短辺部２０６が搬送方向後側となって搬送される正常姿勢と、短辺部２０４が搬送方向後側で短辺部２０６が搬送方向前側となって搬送される異常姿勢と、の二つの姿勢で搬送可能となっている。

【0040】

駆動ロール５２は、図示していない駆動装置によって回転駆動されることで回転し、無端ベルト５６は、ガイドロール５８に案内されながら周回する。

【0041】

そして、搬送装置１０の上流側にある図示していない装置から搬送された基板２００が搬送部５０に到達すると、自動的に基板２００が無端ベルト５６に載り、下流側へと搬送される。

【0042】

（検査装置）
次に、検査装置２０について説明する。

【0043】

図１に示すように、検査装置２０は、検査される基板２００の下側（搬送部５０の下側）に配置されている下側ユニット２２と、検査される基板２００の上側（搬送部５０の上側）に配置されている上側ユニット２４と、を備えている。そして、検査装置２０は、搬送部５０によって搬送された基板２００を図示していないプローブピン等を当て基板２００の電気的な検査を行う装置である。なお、検査装置２０による基板２００の検査中は、搬送部５０は搬送を停止している（無端ベルト５６の回転が停止している）。

【0044】

（停止装置）
次に、停止装置１００について説明する。

【0045】

図２に示すように、停止装置１００は、停止部の一例としてのロッド１１２が下方に突出するシリンダー１１０と、シリンダー１１０の鉛直方向及び装置幅方向の位置を変更する変更部の一例としてのロボット１２０と、を有している。

【0046】

シリンダー１１０は、円筒形のシリンダーチューブ１１内に設けられた鉛直方向を長手方向するロッド１１２が、シリンダーチューブ１１から下方に突出する機構を有する装置（例えば、エアシリンダー）である。

【0047】

変更部の一例としてのロボット１２０は、第一部材の一例としての装置幅方向に移動する第一テーブル１３２が設けられた第一ステージ１３０と、第二部材の一例としての鉛直方向に移動する第二テーブル１４２が設けられた第二ステージ１４０と、を有する二軸ロボットである。

【0048】

第一ステージ１３０は、図示していないフレームに固定されている。第二ステージ１４０は、第一ステージ１３０の第一テーブル１３２に固定されている。シリンダー１１０は、第二ステージ１４０の第二テーブル１４２に固定されている。なお、シリンダー１１０は、ロッド１１２が鉛直方向に突出するように固定されている。

【0049】

ロボット１２０及びシリンダー１１０は、制御部７０（図３参照）によって制御されている。制御部７０は、第一テーブル１３２及び第二テーブル１４２を移動させることで、シリンダー１１０の装置幅方向及び鉛直方向の位置を設定（変更）する。

【0050】

シリンダー１１０の鉛直方向の位置は、ロボット１２０によって、次のように設定されている。図６（Ａ）に示すように、シリンダー１１０のシリンダーチューブ１１１（図２参照）からロッド１１２が下方に突出した状態では、ロッド１１２の先端部１１４は基板２００の下面２０３よりも下側に位置し、シリンダー１１０にロッド１１２が格納された状態では、ロッド１１２の先端部１１４は基板２００の上面２０２よりも上側且つ放熱器２１０Ｂの先端部２１２Ｂよりも下側に位置するように、設定されている。

【0051】

シリンダー１１０の装置幅方向の位置は、ロボット１２０によって、次のように設定されている。シリンダー１１０に格納された状態のロッド１１２が、図４に示す「正常姿勢」で搬送されている基板２００では放熱器２１０Ｂに当たらずに、図５に示す「異常姿勢」で搬送されている基板２００では放熱器２１０Ｂに当たる位置に、設定されている。

【0052】

本実施形態では、シリンダー１１０に格納された状態のロッド１１２の先端部１１４は、基板２００の上面２０２に固定されている放熱器２１０Ｂ以外の他の全部品２１０の上側の先端部よりも上側に位置している。

【0053】

なお、ロッド１１２における図６（Ａ）のシリンダー１１０のシリンダーチューブ１１１（図２参照）から突出し先端部１１４が基板２００の下面２０３よりも下側に位置する状態が第一位置であり、図６（Ｂ）のシリンダー１１０に格納され先端部１１４が基板２００の上面２０２よりも上側且つ放熱器２１０Ｂの先端部２１２Ｂよりも下側に位置する状態が第二位置である。言い換えると、ロッド１２は、基板２００の上面２０２に直交する方向を長手方向とする部材であり、長手方向に移動し、第一位置と第二位置とに切り替えられる。

【0054】

（作用及び効果）
次に、本実施形態の作用及び効果について説明する。

【0055】

前述したように、搬送装置１０は、複数の製造設備を搬送コンベアで接続した基板の製造ライン１１の一部を構成している。製造ライン１１における搬送装置１０の上流側で、問題が発生しない場合、基板２００は、搬送方向に流れるだけで作業者が介在することはない。

【0056】

この場合、基板２００は、図１、図２及び図４に示すように、短辺部２０４が搬送方向前側で、短辺部２０６が搬送方向後側の「正常姿勢」で搬送される。

【0057】

制御部７０は、検査装置２０での基板２００の検査が可能である場合は、停止装置１００を制御し、ロッド１１２を格納した第二位置（図６（Ｂ））とし、基板２００を搬送方向下流側の検査装置２０に搬送させる。この第二位置では、ロッド１１２は、放熱器２１０Ｂを含む全ての部品２１０に当たらないので、基板２００は搬送方向下流側に搬送される。

【0058】

検査装置２０での基板２００の検査が順番待ち等で可能でない場合は、停止装置１００を制御し、ロッド１１２を下方に突出させた第一位置（図６（Ａ））とする。これにより、ロッド１１２に基板２００の短辺部２０４が当たり停止する。検査装置２０での基板２００の検査が可能になると、ロッド１１２を格納した第二位置とし、基板２００を搬送方向下流側の検査装置２０に搬送させる。

【0059】

一方、製造ライン１１における搬送装置１０の上流側で、何らかの問題が発生した場合、作業者が製造ライン１１から基板２００を取り出して対応したのち、基板２００を製造ライン１１に戻すことがある。

【0060】

このとき、基板２００が元の正常姿勢で戻されないで、図５に示す１８０°回転した異常姿勢で戻されることがある。

【0061】

しかし、図６（Ｂ）に示すように、ロッド１１２を格納した第二位置では、放熱器２１０Ｂに当たり、基板２００が停止する。よって、異常姿勢の状態の基板２００が、検査装置２０に搬送されることによる不具合、例えば基板２００の検査が正しく行われないことや検査装置２０の構成部品に放熱器２１０Ｂ等の部品２１０が当たることによる破損等が発生することが抑制される。

【0062】

また、放熱器２１０Ｂは、アンカー２２０で基板２００に固定されている。よって、アンカー２２０で基板２００に固定されていない部品２１０にロッド１１２が当たる場合と比較し、ロッド１１２が当たることによる放熱器２１０Ｂの外れ等が抑制される。

【0063】

また、放熱器２１０Ｂは、上側の先端部２１２Ｂが上面２０２から最も離れた位置にある部品である。よって、先端部が基板２００の上面２０２に近い位置にある部品２１０にロッド１１２が当たる場合と比較し、放熱器２１０Ｂ以外の他の部品２１０に、ロッド１１２が当たることが防止される。

【0064】

更に、ロッド１１２の先端部１１４は放熱器２１０Ｂ以外の他の全ての部品２１０の先端部よりも上側に位置している。よって、放熱器２１０Ｂ以外の部品２１０の先端部よりも上面２０２に近い位置にロッド１１２の第二位置がある場合と比較し、基板２００の姿勢によらず放熱器２１０Ｂ以外の部品２１０にロッド１１２が当たることが更に抑制される。

【0065】

なお、製造する基板２００が異なると、放熱器２１０Ｂの内幅方向の固定位置が異なる場合がある。よって、制御部７０は、ロボット１２０を用いて、製造する基板２００の種類に応じて、シリンダー１１０の装置幅方向の位置を変更する。また、製造する基板２００が異なると、放熱器２１０Ｂの大きさ（先端部２１２Ｂの上面２０２からの距離）が異なる場合がある。よって、制御部７０は、ロボット１２０を用いて、製造する基板２００の種類に応じて、シリンダー１１０の鉛直方向の位置を変更する。したがって、停止装置１００は、複数種類の基板２００に対して機能を発揮することができる。

【0066】

また、ロボット１２０は、装置幅方向に移動する第一テーブル１３２が設けられた第一ステージ１３０と、第二テーブル１４２が設けられた第二ステージ１４０と、を有する二軸ロボットである。よって、例えば、一軸のロボットを二つ使用する場合と比較し、構造が簡単であり、また制御も容易である。

【0067】

また、基板２００の上面２０２に直交する鉛直方向を長手方向とするロッド１１２が該長手方向に沿って第一位置と第二位置とに移動する。よって、ロッド１１２が、例えば回転して第一位置と該第二位置とに移動する場合と比較し、ロッド１１２の移動軌跡が小さく、省スペース化することができる。また、シリンダー１１０を用いることで、ロッド１１２を容易に長手方向に移動させることができる。

【0068】

ここで、図７及び図８に示す比較例の停止装置８００について説明する。

【0069】

比較例の停止装置８００は、ロッド８１２が突出するシリンダー８１０と、ブロック８２０と、を有している。また、シリンダー８１０及びブロック８２０は、それぞれフレームに固定されている。

【0070】

図８に示すように、シリンダー８１０からロッド８１２が上方に突出した状態では、ロッド８１２の先端部８１４が基板２００の上面２０２よりも上側に位置し、短辺部２０４にロッド８１２が当たる。シリンダー８１０にロッド８１２が格納された状態では、ロッド８１２の先端部８１４が基板２００の下面２０３よりも下側に位置し、ロッド８１２は短辺部２０４には当たらない。

【0071】

ブロック８２０は、下側の先端部８２２が基板２００の上面２０２よりも上側且つ放熱器２１０Ｂの先端部２１２Ｂよりも下側に位置するように設定されている。

【0072】

ロッド８１２が格納され状態では正常状態の基板２００を搬送方向下流側に搬送させる。ロッド８１２を上方に突出させた状態ではロッド８１２に基板２００の短辺部２０４が当たり停止する。

【0073】

また、ブロック８２０の装置幅方向の位置は、図７に示す「正常姿勢」で搬送されている基板２００では放熱器２１０Ｂに当たらずに、「異常姿勢」（図５参照）で搬送されている基板２００では放熱器２１０Ｂ（図７の二点鎖線を参照）に当たる位置に設定されている。

【0074】

よって、正常姿勢の基板２００の場合は、ブロック８２０は、放熱器２１０Ｂを含む全ての部品２１０に当たらないので、基板２００は搬送方向下流側に搬送される。しかし、異常姿勢（図５参照）の場合は、ブロック８２０は、放熱器２１０Ｂ（図７の二点鎖線）に当たり基板２００が停止する。

【0075】

しかし、比較例の停止装置８００は、シリンダー８１０とブロック８２０とを、それぞれ別々に上下に固定する必要があり、搬送部５０の上側と下側とにそれぞれ固定場所を確保する必要があるので、装置全体が大きくなる。

【0076】

これに対して、本実施形態の停止装置１００は、固定場所は、上側の一方であるので、装置全体がコンパクト化される。

【0077】

＜その他＞
尚、本発明は、上記実施形態に限定されない。

【0078】

例えば、上記実施形態では、シリンダー１１０のシリンダーチューブ１１１（図２参照）から突出した状態のロッド１１２が第一位置であり、シリンダー１１０に格納された状態のロッド１１２が第二位置であった。しかし、ロッド（ピン）１１２は、直接、ロボット１２０の第二ステージ１４０の第二テーブル１４２に固定されていてもよい。この場合、第二テーブル１４２を下降させることで、ロッド（ピン）１１２を第一位置とし、第二テーブル１４２を上昇させることで、ロッド（ピン）１１２を第二位置とする。

【0079】

また、ロボット１２０を有しないで、フレーム等の固定部材にシリンダー１１０を固定してもよい。この場合、シリンダー１１０は、フレーム等の固定部材に着脱可能とされ、基板２００の種類に応じて、シリンダー１１０の固定位置を変更するようにしてもよい。

【0080】

また、ロボット１２０及びフレーム等の固定部材等に、複数のシリンダー１１０を固定し、例えば複数のロッド１１２を突出させて基板２００を停止させてもよい。

【0081】

また、例えば、上記実施形態では、基板２００は、板厚方向が鉛直方向の姿勢で搬送されてきたが、これに限定されない。基板２００は、板厚方向が鉛直方向と角度を持った斜めに搬送されていてもよい。

【0082】

また、例えば、上記実施形態では、基板２００は、板厚方向から見て長方形であったが、これに限定されない。基板２００は、板厚方向から見て、正方形であってもよい。このように基板２００が正方形の場合は、基板２００の異常姿勢は、正常姿勢の１８０°回転した姿勢だけでなく、正常姿勢の９０°回転した異常姿勢で搬送されてくる場合がある。よって、ロッド１１２の第二位置は、９０°回転した異常姿勢でも放熱器２１０Ｂ又はその他の部品２１０に当たるように設定する。

【0083】

なお、上記の場合、二つのシリンダー１１０が設けられ、正常姿勢の場合は二つの格納状態のロッド１１２に当たらずに、正常姿勢から１８０°回転した異常姿勢では一方の格納状態のロッド１１２に当たり、正常姿勢から９０°回転した異常姿勢では他方の格納状態のロッド１１２に当たるようにしてもよい。

【0084】

また、例えば、上記実施形態では、基板２００の上面２０２の放熱器２１０Ｂにロッド１１２が当たるように、搬送装置１０の停止装置１００は搬送部５０の上側に設けられていた。しかし、基板２００の下面２０３に放熱器２１０Ｂが固定されている場合、搬送装置１０の停止装置１００は搬送部５０の下側に設けられていてもよい。なお、停止装置１００は、搬送部５０の上下の両方に設けられていてもよい。

【0085】

また、例えば、上記実施形態では、搬送装置１０の停止装置１００は、基板２００の上面２０２の放熱器２１０Ｂに第二位置のロッド１１２が当たるように設定したが、これに限定されない、放熱器２１０Ｂ以外の部品２１０、例えばアンカーで基板２００に固定されているコネクタに第二位置のロッド１１２が当たるように設定してもよい。なお、第二位置のロッド１１２が当たる部品２１０は、限定されないが、アンカー２２０で基板２００に固定されている部品２１０及び先端部の位置が上面２０２から最も離れている部品２１０であることが望ましい。

【0086】

また、例えば、上記実施形態では、搬送装置１０の停止装置１００は、検査装置２０の上流側に配置していたが、これに限定されない。例えば、上面２０２又は下面２０３の一方の面に部品２１０が実装された基板２００に、更に他方の面に部品２１０を固定する実装装置及びポイントフローはんだ付け装置等の上流側に設けてもよい。

【0087】

更に、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施し得ることは言うまでもない。

【符号の説明】

【0088】

１０ 搬送装置
５０ 搬送部
１００ 停止装置
１１０ シリンダー
１１１ シリンダーチューブ
１１２ ロッド（停止部の一例）
１２０ ロボット（変更部の一例）
１３２ 第一テーブル（第一部材の一例）
１４２ 第二テーブル（第二部材の一例）
２００ 基板
２０２ 上面（板面）
２０３ 下面（板面）
２１０ 部品
２１０Ｂ 放熱器（特定の部品の一例）
２１２Ｂ 先端部
２２０ アンカー

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】