特許 6899765 部品実装装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6899765

(24)【登録日】2021年6月17日

(45)【発行日】2021年7月7日

(54)【発明の名称】部品実装装置

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/08 20060101AFI20210628BHJP

   H05K 13/04 20060101ALI20210628BHJP

【ＦＩ】

   H05K13/08 Q

   H05K13/04 M

【請求項の数】5

【全頁数】25

(21)【出願番号】特願2017-254242(P2017-254242)

(22)【出願日】2017年12月28日

(65)【公開番号】特開2019-121649(P2019-121649A)

(43)【公開日】2019年7月22日

【審査請求日】2020年7月6日

(73)【特許権者】

【識別番号】000010076

【氏名又は名称】ヤマハ発動機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100067828

【弁理士】

【氏名又は名称】小谷 悦司

(74)【代理人】

【識別番号】100115381

【弁理士】

【氏名又は名称】小谷 昌崇

(74)【代理人】

【識別番号】100127797

【弁理士】

【氏名又は名称】平田 晴洋

(72)【発明者】

【氏名】高間 和志

【審査官】 小川 悟史

(56)【参考文献】

【文献】 特開平０５−３３２７２３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１３−２３９６１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１５−０１５３５７（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００１−０１５９９３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−０４８３１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 米国特許出願公開第２０１６／０３０９６３０（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０５Ｋ １３／０８

Ｈ０５Ｋ １３／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基準マークが付設され、部品を保持する保持具を有し、前記保持具により前記部品を保持した状態で所定の部品搭載位置に移動し、前記部品搭載位置において前記部品を基板に搭載するヘッドユニットと、
前記ヘッドユニットの前記部品搭載位置への移動中において、前記部品を保持した前記保持具と前記基準マークとが視野内に収まる被写体として撮像し、前記被写体からの反射光に基づく撮像画像を取得する撮像装置と、
前記撮像画像に基づき、前記保持具に対する前記部品の保持状態を認識する部品認識部と、を備え、
前記撮像装置は、
前記基準マークに対応した画素からなるマーク領域と前記部品に対応した画素からなる部品領域とが、所定値よりも明るい明領域とされた第１撮像画像と、
前記マーク領域が所定値よりも暗い暗領域とされ、前記部品領域が所定値よりも明るい明領域とされた第２撮像画像と、を取得し、
前記部品認識部は、
前記ヘッドユニットが静止し、前記保持具が前記部品を保持していない状態において、前記撮像装置により撮像された初期画像を予め記憶する記憶部と、
前記初期画像に基づき、前記基準マークの初期位置を表す初期マーク位置情報を取得するとともに、前記第１撮像画像に基づき、前記部品を保持した前記保持具における前記基準マークの位置を表すマーク位置情報を取得し、前記初期マーク位置情報と前記マーク位置情報との差を参照することにより、前記ヘッドユニットの移動に伴う前記保持具の振動変位量を算出する振動量算出部と、
前記第２撮像画像に基づき、前記保持具に保持された前記部品の位置を表す部品位置情報を取得し、前記部品位置情報と前記振動変位量とを参照することにより、前記保持具の部品保持面の中心に対する前記部品の位置を算出する部品位置算出部と、を含む、部品実装装置。

【請求項2】

前記被写体からの反射光において、前記基準マークからの反射光は三原色のうちのいずれかの色の第１色成分光であり、前記部品の少なくとも一部の領域からの反射光は三原色の各色成分光である前記第１色成分光、第２色成分光及び第３色成分光をそれぞれ含む白色光であり、
前記撮像装置は、カラー画像撮像用の第１撮像素子と、所定の信号処理を行う第１信号処理部とを含む第１撮像部からなり、
前記第１撮像素子は、前記被写体からの反射光を受光し、その受光した光に対して光電変換を行うことにより、前記第１色成分光に対応した第１色成分信号、前記第２色成分光に対応した第２色成分信号、及び前記第３色成分光に対応した第３色成分信号をそれぞれ含む第１電気信号を生成し、
前記第１信号処理部は、前記第１電気信号に前記信号処理を施すことにより、前記第１撮像画像を表す第１画像信号と、前記第２撮像画像を表す第２画像信号とを生成する、請求項１に記載の部品実装装置。

【請求項3】

前記第１信号処理部は、前記信号処理として、前記第１電気信号に含まれる前記第１色成分信号、前記第２色成分信号及び前記第３色成分信号の各々にゲイン係数を乗じるゲイン調整処理を行うように構成され、
前記ゲイン調整処理において、前記第１信号処理部は、
前記第１色成分信号に対して前記第２色成分信号及び前記第３色成分信号よりも大きな値のゲイン係数を乗じることにより、前記第１画像信号を生成し、
前記第１色成分信号に対して前記第２色成分信号及び前記第３色成分信号よりも小さな値のゲイン係数を乗じることにより、前記第２画像信号を生成する、請求項２に記載の部品実装装置。

【請求項4】

前記第１信号処理部は、前記信号処理として、前記第１電気信号から所定の色成分信号を抽出する抽出処理を行うように構成され、
前記抽出処理において、前記第１信号処理部は、
前記第１電気信号に含まれる前記第１色成分信号を抽出することにより、前記第１画像信号を生成し、
前記第１電気信号に含まれる前記第２色成分信号又は前記第３色成分信号を抽出することにより、前記第２画像信号を生成する、請求項２に記載の部品実装装置。

【請求項5】

前記被写体からの反射光において、前記基準マークからの反射光は三原色のうちのいずれかの色の第１色成分光であり、前記部品の少なくとも一部の領域からの反射光は三原色の各色成分光である前記第１色成分光、第２色成分光及び第３色成分光をそれぞれ含む白色光であり、
前記撮像装置は、前記第１撮像画像を取得する第２撮像部と、前記第２撮像画像を取得する第３撮像部とからなり、
前記第２撮像部は、
前記第１色成分光を受光し、その受光した光に対して光電変換を行うことにより第２電気信号を生成するモノクロ画像撮像用の第２撮像素子と、
前記第２電気信号に所定の信号処理を施すことにより、前記第１撮像画像を表す第１画像信号を生成する第２信号処理部と、を含み、
前記第３撮像部は、
前記第２色成分光又は前記第３色成分光を受光し、その受光した光に対して光電変換を行うことにより第３電気信号を生成するモノクロ画像撮像用の第３撮像素子と、
前記第３電気信号に所定の信号処理を施すことにより、前記第２撮像画像を表す第２画像信号を生成する第３信号処理部と、を含む、請求項１に記載の部品実装装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、部品を基板に搭載する部品実装装置に関する。

【背景技術】

【0002】

プリント配線板等の基板上に電子部品（以下、単に「部品」という）を搭載するための部品実装装置は、部品を保持する保持具を有するヘッドユニットを備えている。ヘッドユニットは、保持具により部品を保持した状態で所定の部品搭載位置に移動し、その部品搭載位置において部品を基板に搭載する。

【0003】

ヘッドユニットの保持具により部品が保持された状態において、保持具に対する部品の位置は必ずしも一定ではなく、保持具の部品保持面の中心に対して部品の中心がずれる場合がある。この場合、基板の所定位置に精度よく部品を搭載することができない。そこで、基板に対する部品の搭載前において、ヘッドユニットが部品搭載位置へ向けて移動中に、部品を保持した保持具がカメラにより撮像される。このカメラにより撮像された撮像画像を用いて、保持具に対する部品の位置が算出され、その算出結果に基づき、基板に対する部品の搭載動作が行われる。これにより、基板に対する部品の搭載精度の向上が図られる。

【0004】

ところで、ヘッドユニットが部品搭載位置へ向けて移動しているときには、保持具は振動している。カメラによる撮像はヘッドユニットの移動中に行われるので、保持具の振動に起因して、撮像画像に基づく保持具に対する部品の位置の算出精度が、低下する虞がある。この問題を解決する技術が特許文献１に開示されている。特許文献１に開示される技術では、カメラにより撮像された撮像画像に基づき、保持具（ノズル）と一体的に設けられた位置補正標識の、初期位置からの振動変位量を算出し、この振動変位量を参照することにより、部品（検査対象物）の位置が算出される。

【0005】

しかしながら、特許文献１に開示される技術では、１つの撮像画像内に、位置補正標識及び部品の各々の画像領域が存在しているので、位置補正標識と部品との区別がつきにくい。このため、例えば、位置補正標識及び部品の各々の画像領域が重なると、位置補正標識を部品であると認識する誤認識が発生する虞がある。この結果、部品の画像領域に基づく部品の位置の算出結果において、精度が低下してしまう。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【特許文献1】特開平５−３３２７２３号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、部品を保持する保持具を有するヘッドユニットを備えた部品実装装置において、保持具に保持された状態における部品の位置を高精度に算出し、基板に対する部品の搭載精度の向上を図ることが可能な部品実装装置を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の一の局面に係る部品実装装置は、基準マークが付設され、部品を保持する保持具を有し、前記保持具により前記部品を保持した状態で所定の部品搭載位置に移動し、前記部品搭載位置において前記部品を基板に搭載するヘッドユニットと、前記ヘッドユニットの前記部品搭載位置への移動中において、前記部品を保持した前記保持具と前記基準マークとが視野内に収まる被写体として撮像し、前記被写体からの反射光に基づく撮像画像を取得する撮像装置と、前記撮像画像に基づき、前記保持具に対する前記部品の保持状態を認識する部品認識部と、を備える。前記撮像装置は、前記基準マークに対応した画素からなるマーク領域と前記部品に対応した画素からなる部品領域とが、所定値よりも明るい明領域とされた第１撮像画像と、前記マーク領域が所定値よりも暗い暗領域とされ、前記部品領域が所定値よりも明るい明領域とされた第２撮像画像と、を取得する。前記部品認識部は、前記ヘッドユニットが静止し、前記保持具が前記部品を保持していない状態において、前記撮像装置により撮像された初期画像を予め記憶する記憶部と、前記初期画像に基づき、前記基準マークの初期位置を表す初期マーク位置情報を取得するとともに、前記第１撮像画像に基づき、前記部品を保持した前記保持具における前記基準マークの位置を表すマーク位置情報を取得し、前記初期マーク位置情報と前記マーク位置情報との差を参照することにより、前記ヘッドユニットの移動に伴う前記保持具の振動変位量を算出する振動量算出部と、前記第２撮像画像に基づき、前記保持具に保持された前記部品の位置を表す部品位置情報を取得し、前記部品位置情報と前記振動変位量とを参照することにより、前記保持具の部品保持面の中心に対する前記部品の位置を算出する部品位置算出部と、を含む。

【0009】

この部品実装装置によれば、部品認識部の振動量算出部は、撮像装置の撮像により取得された第１撮像画像を参照し、ヘッドユニットの移動に伴う保持具の振動変位量を算出する。振動量算出部による振動変位量の算出時に参照される第１撮像画像は、保持具に付設された基準マークに対応したマーク領域が明領域とされた画像である。このため、振動量算出部は、部品を保持した保持具における基準マークの位置を表すマーク位置情報を高精度に取得することができる。この結果、マーク位置情報を参照して算出される保持具の振動変位量は、高精度なものとなる。

【0010】

また、部品認識部の部品位置算出部は、撮像装置の撮像により取得された第２撮像画像を参照し、保持具に対する部品の位置を算出する。部品位置算出部による部品の位置の算出時に参照される第２撮像画像は、基準マークに対応したマーク領域が暗領域とされ、且つ部品に対応した部品領域が明領域とされた画像である。このため、部品位置算出部が第２撮像画像に基づき部品位置情報を取得する際に、基準マークを部品であると認識する誤認識の発生を可及的に回避することができる。この結果、部品位置算出部は、部品位置情報を高精度に取得し、その部品位置情報と前記振動変位量とを参照することにより、保持具に対する部品の位置を高精度に算出することができる。従って、部品位置算出部により算出された部品位置を用いることによって、基板に対する部品の搭載精度の向上が図られる。

【0011】

また、第２撮像画像が、マーク領域が暗領域とされ、且つ部品領域が明領域とされた画像であるから、保持具において部品と基準マークとが近接した状態であったとしも、基準マークを部品であると認識する誤認識の発生が回避される。従って、保持具において、基準マークを部品保持面の中心から十分に離れた位置に付設する必要がない。これにより、保持具において部品保持面の中心の近傍に基準マークを付設することができ、部品保持面の中心と基準マークとの間の距離を十分に確保する必要がないから、保持具の小型化が図られる。更に、保持具において部品保持面の中心の近傍に基準マークを付設することができるから、撮像装置による撮像の視野を狭くすることができる。これにより、撮像装置が取得した撮像画像に基づく、部品認識部の振動量算出部及び部品位置算出部による算出処理の負荷を、軽減することができる。

【0012】

上記の部品実装装置では、前記被写体からの反射光において、前記基準マークからの反射光は三原色のうちのいずれかの色の第１色成分光であり、前記部品の少なくとも一部の領域からの反射光は三原色の各色成分光である前記第１色成分光、第２色成分光及び第３色成分光をそれぞれ含む白色光である。前記撮像装置は、カラー画像撮像用の第１撮像素子と、所定の信号処理を行う第１信号処理部とを含む第１撮像部からなる。前記第１撮像素子は、前記被写体からの反射光を受光し、その受光した光に対して光電変換を行うことにより、前記第１色成分光に対応した第１色成分信号、前記第２色成分光に対応した第２色成分信号、及び前記第３色成分光に対応した第３色成分信号をそれぞれ含む第１電気信号を生成する。前記第１信号処理部は、前記第１電気信号に前記信号処理を施すことにより、前記第１撮像画像を表す第１画像信号と、前記第２撮像画像を表す第２画像信号とを生成する。

【0013】

この態様では、カラー画像撮像用の第１撮像素子を含んで構成される、１つの第１撮像部によって、１回の撮像動作で、第１撮像画像及び第２撮像画像の各々を取得することができる。

【0014】

上記の部品実装装置において、前記第１信号処理部は、前記信号処理として、前記第１電気信号に含まれる前記第１色成分信号、前記第２色成分信号及び前記第３色成分信号の各々にゲイン係数を乗じるゲイン調整処理を行うように構成される。前記ゲイン調整処理において、前記第１信号処理部は、前記第１色成分信号に対して前記第２色成分信号及び前記第３色成分信号よりも大きな値のゲイン係数を乗じることにより、前記第１画像信号を生成し、前記第１色成分信号に対して前記第２色成分信号及び前記第３色成分信号よりも小さな値のゲイン係数を乗じることにより、前記第２画像信号を生成する。

【0015】

この態様では、第１信号処理部は、第１撮像素子からの第１電気信号にゲイン調整処理を施すことによって第１画像信号及び第２画像信号を生成するので、各画像信号に対応した第１撮像画像及び第２撮像画像において、画像分解能を高く維持できる。

【0016】

上記の部品実装装置において、前記第１信号処理部は、前記信号処理として、前記第１電気信号から所定の色成分信号を抽出する抽出処理を行うように構成される。前記抽出処理において、前記第１信号処理部は、前記第１電気信号に含まれる前記第１色成分信号を抽出することにより、前記第１画像信号を生成し、前記第１電気信号に含まれる前記第２色成分信号又は前記第３色成分信号を抽出することにより、前記第２画像信号を生成する。

【0017】

この態様では、第１信号処理部は、第１撮像素子からの第１電気信号に、所定の色成分信号を抽出する抽出処理を施すことによって、第１撮像画像及び第２撮像画像の各々に対応した第１画像信号及び第２画像信号を、それぞれ生成することができる。

【0018】

上記の部品実装装置では、前記被写体からの反射光において、前記基準マークからの反射光は三原色のうちのいずれかの色の第１色成分光であり、前記部品の少なくとも一部の領域からの反射光は三原色の各色成分光である前記第１色成分光、第２色成分光及び第３色成分光をそれぞれ含む白色光である。前記撮像装置は、前記第１撮像画像を取得する第２撮像部と、前記第２撮像画像を取得する第３撮像部とからなる。前記第２撮像部は、前記第１色成分光を受光し、その受光した光に対して光電変換を行うことにより第２電気信号を生成するモノクロ画像撮像用の第２撮像素子と、前記第２電気信号に所定の信号処理を施すことにより、前記第１撮像画像を表す第１画像信号を生成する第２信号処理部と、を含む。前記第３撮像部は、前記第２色成分光又は前記第３色成分光を受光し、その受光した光に対して光電変換を行うことにより第３電気信号を生成するモノクロ画像撮像用の第３撮像素子と、前記第３電気信号に所定の信号処理を施すことにより、前記第２撮像画像を表す第２画像信号を生成する第３信号処理部と、を含む。

【0019】

この態様では、モノクロ画像撮像用の第２撮像素子を含んで構成される第２撮像部によって第１撮像画像を取得し、モノクロ画像撮像用の第３撮像素子を含んで構成される第３撮像部によって第２撮像画像を取得することができる。

【発明の効果】

【0020】

以上説明したように、本発明によれば、部品を保持する保持具を有するヘッドユニットを備えた部品実装装置において、保持具に保持された状態における部品の位置を高精度に算出し、基板に対する部品の搭載精度の向上を図ることが可能な部品実装装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】本発明の一実施形態に係る部品実装装置の構成を示す平面図である。

【図2】部品実装装置に備えられる部品供給装置を概略的に示す図である。

【図3】部品供給装置に備えられるテープガイドの構成を示す図である。

【図4】部品供給装置に装着される部品収納テープの斜視図である。

【図5】部品実装装置に備えられるヘッドユニットの側面図である。

【図6】ヘッドユニットの平面図である。

【図7】ヘッドユニットに備えられる吸着ノズルを下方から見た図である。

【図8】部品実装装置に備えられる部品認識装置の構成を説明するための図である。

【図9】部品認識装置に備えられる撮像装置における撮像素子の分解斜視図である。

【図10】撮像装置により撮像された初期画像を示す図である。

【図11】撮像装置により撮像された第１撮像画像を示す図である。

【図12】撮像装置により撮像された第２撮像画像を示す図である。

【図13】部品実装装置の制御系を示すブロック図である。

【図14】部品認識装置の第１変形例を示す図である。

【図15】部品認識装置の第２変形例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0022】

以下、本発明の実施形態に係る部品実装装置について図面に基づいて説明する。なお、以下では、方向関係についてはＸＹＺ直交座標軸を用いて説明する。Ｘ方向は水平面と平行な方向であり、Ｙ方向は水平面上でＸ方向と直交する方向であり、Ｚ方向はＸ、Ｙ両方向に直交する上下方向である。また、Ｘ方向の一方向側を「＋Ｘ側」と称し、Ｘ方向の一方向側とは反対の他方向側を「−Ｘ側」と称する。また、Ｙ方向の一方向側を「＋Ｙ側」と称し、Ｙ方向の一方向側とは反対の他方向側を「−Ｙ側」と称する。また、Ｚ方向の一方向側を「＋Ｚ側」と称し、Ｚ方向の一方向側とは反対の他方向側を「−Ｚ側」と称する。

【0023】

＜部品実装装置の構造＞
図１は、本発明の一実施形態に係る部品実装装置１の構成を示す平面図である。部品実装装置１は、基板Ｋに部品を搭載（実装）して電子回路基板を生産する装置である。部品実装装置１は、装置本体１ａと、移動フレーム２と、コンベア３と、部品供給装置５が装着される部品供給ユニット４と、ヘッドユニット６と、第１駆動機構７と、第２駆動機構８と、部品認識装置９とを備える。

【0024】

装置本体１ａは、部品実装装置１を構成する各部が配置される構造体であり、Ｚ方向から見た平面視で略矩形状に形成されている。コンベア３は、Ｘ方向に延び、装置本体１ａに配置される。コンベア３は、基板ＫをＸ方向に搬送する。基板Ｋは、コンベア３上を搬送されて、所定の部品搭載位置（基板Ｋ上に部品が搭載される位置）に位置決めされるようになっている。

【0025】

部品供給ユニット４は、装置本体１ａにおけるＹ方向の＋Ｙ側及び−Ｙ側の領域部分にそれぞれ、Ｘ方向に２箇所ずつ合計４箇所に配置される。部品供給ユニット４は、装置本体１ａにおいて、部品供給装置５が複数並設された状態で装着される領域であって、後述のヘッドユニット６に備えられる保持具である吸着ノズル６３による吸着対象の部品毎に、各部品供給装置５のセット位置が区画されている。

【0026】

部品供給装置５は、装置本体１ａの部品供給ユニット４に着脱自在に装着されている。部品供給装置５は、テープを担体（キャリア）として、ＩＣ、トランジスタ、コンデンサ等の小片状の電子部品（以下、単に部品と称す）を供給するテープフィーダーである。この部品供給装置５について、図２乃至図４を参照して説明する。図２は、部品実装装置１に備えられる部品供給装置５を概略的に示す図である。図３は、部品供給装置５に備えられるテープガイド４５の構成を示す図である。図４は、部品供給装置５に装着される部品収納テープ１００の斜視図である。

【0027】

部品供給装置５は、部品供給ユニット４に設けられた取付部３１に取り付けられている。取付部３１には、Ｘ方向に一定間隔で並びかつＹ方向に互いに平行に延びる複数のスロット３２と、これらスロット３２よりも前側の位置でＸ方向に伸びる固定台３３とが設けられている。そして、各スロット３２に部品供給装置５がセットされ、各部品供給装置５が固定台３３に固定されている。これにより、部品供給ユニット４に、複数の部品供給装置５がＸ方向に横並びに整列して配置されている。

【0028】

部品供給装置５は、前後方向（Ｙ方向）に細長い形状をなす本体部４１を備えている。部品供給装置５は、前記スロット３２に本体部４１が挿入（セット）された状態で、固定台３３に固定されている。

【0029】

部品供給装置５は、さらに、本体部４１の前端部分に備えられた第１テープ送出部４２と、本体部４１の後端部分に備えられた第２テープ送出部４３と、本体部４１に設けられたテープ通路４４と、テープガイド４５とを備えている。

【0030】

前記テープ通路４４は、部品収納テープ１００を案内するための通路である。テープ通路４４は、本体部４１の後端部から前側上部に向かって斜め上方に延びている。部品収納部材としての部品収納テープ１００は、本体部４１の後端部からその内部に導入され、テープ通路４４を通じて本体部４１の上面前部に案内されている。

【0031】

部品収納テープ１００は、図４に示すように、テープ本体１０１とカバーテープ１０２とで構成された長尺のテープである。テープ本体１０１には、上部に開口した多数の部品収納部１０３（凹部）が長手方向（テープ送り方向）に一定間隔で形成されており、各部品収納部１０３に部品Ｅが収納されている。テープ本体１０１の上面には、前記カバーテープ１０２が接着されており、これにより各部品収納部１０３がカバーテープ１０２により閉鎖されている。また、テープ本体１０１のうち部品収納部１０３の側方には、長手方向に一定間隔で並びかつテープ本体１０１をその厚み方向に貫通する複数の嵌合孔１０４が設けられている。

【0032】

部品供給装置５において、前記テープガイド４５は、本体部４１の前部上面に設けられている。テープガイド４５は、テープ通路４４を通過した部品収納テープ１００を覆い、当該部品収納テープ１００を本体部４１の上面に沿って略水平に部品供給位置Ｐ１まで案内するものである。部品供給位置Ｐ１は、前記ヘッドユニット６に部品の取り出しを行わせる位置であり、本体部４１の上面前端に近い位置に設定されている。

【0033】

図３に示すように、テープガイド４５のうち、部品供給位置Ｐ１に対応する位置には開口部４５Ａが設けられ、この開口部４５Ａよりも後方側の位置には、部品露出部４５１が設けられている。部品露出部４５１は、テープガイド４５によりガイドされる部品収納テープ１００の部品収納部１０３内において、部品Ｅを露出させる。部品露出部４５は、挿入部４５１１と、刃部４５１２と、カバーテープ後処理部４５１３とを含む。

【0034】

部品露出部４５１において挿入部４５１１は、先細状に形成された薄板状の部分であり、テープガイド４５によりガイドされ、先端が自由端とされた状態の部品収納テープ１００に対し、テープ本体１０１とカバーテープ１０２との間に挿入される。部品露出部４５１において刃部４５１２は、挿入部４５１１に対してテープ送り方向の下流側に配置され、部品収納テープ１００の走行に応じてカバーテープ１０２を、テープ送り方向に沿った直線状に切断する。部品露出部４５１においてカバーテープ後処理部４５１３は、刃部４５１２に対してテープ送り方向の下流側に配置され、刃部４５１２により切断されたカバーテープ１０２を押し広げる処理を行う。これにより、部品収納テープ１００の部品収納部１０３内において、部品Ｅを露出させることができる。このようにして部品収納部１０３内において露出された部品Ｅは、部品供給位置Ｐ１において、テープガイド４５の開口部４５Ａを介して、部品実装装置１におけるヘッドユニット６の吸着ノズル６３により吸着されて取り出される。

【0035】

部品供給装置５において、前記第１テープ送出部４２は、テープガイド４５の下方に配置される第１スプロケット５１と、第１モーター５２と、第１モーター５２の駆動力を第１スプロケット５１に伝達する、複数枚の伝動ギヤからなる第１ギヤ群５３とを備えている。第１スプロケット５１は、テープガイド４５に沿って案内される部品収納テープ１００の嵌合孔１０４に嵌合する歯を有している。つまり、第１テープ送出部４２は、第１スプロケット５１を第１モーター５２により回転駆動することにより、部品収納テープ１００を部品供給位置Ｐ１に向かって送出する。

【0036】

部品供給装置５において、第２テープ送出部４３は、本体部４１の後端部に配置される第２スプロケット５４と、第２モーター５５と、第２モーター５５の駆動力を第２スプロケット５４に伝達する、複数枚の伝動ギヤからなる第２ギヤ群５６とを備えている。第２スプロケット５４は、上方から前記テープ通路４４内に臨んでおり、当該テープ通路４４に沿って案内される部品収納テープ１００の嵌合孔１０４に嵌合する歯を有している。つまり、第２テープ送出部４３は、第２スプロケット５４を第２モーター５５により回転駆動することにより、部品収納テープ１００を前方（部品供給位置Ｐ１）に向かって送出する。

【0037】

部品収納テープ１００は、各送出部４２、４３により部品供給位置Ｐ１に向かって間欠的に送出され、部品供給位置Ｐ１でテープガイド４５の開口部４５Ａを通じて部品Ｅの取り出しが行われる。

【0038】

次に、図１を参照して部品実装装置１に備えられる移動フレーム２は、Ｘ方向に延び、装置本体１ａに、所定の移動方向（Ｙ方向）に移動可能に支持される。この移動フレーム２にヘッドユニット６が搭載されている。ヘッドユニット６は、Ｘ方向に移動可能となるように、移動フレーム２に搭載される。すなわち、ヘッドユニット６は、移動フレーム２の移動に伴ってＹ方向に移動可能であり、且つ、移動フレーム２に沿ってＸ方向に移動可能である。ヘッドユニット６は、部品供給ユニット４に装着された部品供給装置５の部品供給位置Ｐ１と、コンベア３により搬送された基板Ｋの所定の部品搭載位置とにわたって移動可能とされ、部品供給位置Ｐ１において部品供給装置５から部品Ｅを取り出すとともに、その取り出した部品Ｅを部品搭載位置において基板Ｋ上に搭載（実装）する。ヘッドユニット６の詳細については、後述する。

【0039】

第１駆動機構７は、装置本体１ａの＋Ｘ側及び−Ｘ側の端部に配設される。第１駆動機構７は、移動フレーム２をＹ方向に移動させる機構である。第１駆動機構７は、例えば、駆動モーターと、Ｙ方向に延び、駆動モーターに連結されるボールねじ軸と、移動フレーム２に配設されてボールねじ軸と螺合するボールナットと、を含んで構成される。このような構成の第１駆動機構７は、駆動モーターによるボールねじ軸の回転駆動に伴ってボールナットがボールねじ軸に沿って進退することにより、移動フレーム２をＹ方向に移動させる。

【0040】

第２駆動機構８は、移動フレーム２に配設される。第２駆動機構８は、ヘッドユニット６を移動フレーム２に沿ったＸ方向に移動させる機構である。第２駆動機構８は、第１駆動機構７と同様に、例えば、駆動モーターと、Ｘ方向に延び、駆動モーターに連結されるボールねじ軸と、ヘッドユニット６に配設されてボールねじ軸と螺合するボールナットと、を含んで構成される。このような構成の第２駆動機構８は、駆動モーターによるボールねじ軸の回転駆動に伴ってボールナットがボールねじ軸に沿って進退することにより、ヘッドユニット６をＸ方向に移動させる。

【0041】

なお、第１駆動機構７及び第２駆動機構８は、当例では、駆動モーターによりボールねじ軸を介して移動フレーム２及びヘッドユニット６を移動させる構成である。しかし、例えばリニアモーターを駆動源として移動フレーム２やヘッドユニット６をダイレクトに駆動する構成であってもよい。

【0042】

ヘッドユニット６について、図１に加えて図５乃至図７を参照して説明する。図５はヘッドユニット６の側面図であり、図６はヘッドユニット６を下方から見た平面図である。また、図７は、ヘッドユニット６に備えられる吸着ノズル６３を下方から見た平面図である。

【0043】

ヘッドユニット６は、ヘッド本体６１と、回転体６２と、吸着ノズル６３とを含む。ヘッド本体６１は、ヘッドユニット６の本体部分を構成する。回転体６２は、円柱状に形成され、回転体駆動機構６５（後記の図１３参照）により鉛直軸（Ｚ方向に延びる軸）を回転中心として回転可能に、ヘッド本体６１に設けられる。

【0044】

回転体６２の外周縁端部には、複数の吸着ノズル６３が、周方向に所定の間隔をおいて配設されている。吸着ノズル６３は、部品供給装置５により部品供給位置Ｐ１に供給された部品Ｅを吸着して保持可能な保持具である。吸着ノズル６３は、電動切替弁を介して負圧発生装置、正圧発生装置及び大気の何れかに連通可能とされている。つまり、吸着ノズル６３に負圧が供給されることで当該吸着ノズル６３による部品Ｅの吸着保持（部品の取り出し）が可能となり、その後、正圧が供給されることで当該部品Ｅの吸着保持が解除される。なお、本実施形態では、吸着ノズル６３以外の保持具として、例えば部品Ｅを把持して保持するチャックなどであってもよい。

【0045】

吸着ノズル６３は、ノズル昇降駆動機構６６（後記の図１３参照）により上下方向（Ｚ方向）に昇降可能に、回転体６２に設けられる。吸着ノズル６３は、部品供給装置５により部品供給位置Ｐ１に供給された部品Ｅの保持が可能な保持位置と、保持位置に対して上方側の退避位置との間で、Ｚ方向（上下方向）に沿って移動可能である。つまり、部品供給位置Ｐ１に供給された部品Ｅを保持するときには、吸着ノズル６３は、ノズル昇降駆動機構６６によって退避位置から保持位置へ向かって下降し、当該保持位置において部品Ｅを吸着保持する。一方、部品Ｅの吸着保持後の吸着ノズル６３は、ノズル昇降駆動機構６６によって保持位置から退避位置へ向かって上昇する。

【0046】

また、図７に示すように、吸着ノズル６３には、基準マークＭが付設されている。基準マークＭは、吸着ノズル６３において部品Ｅを保持する部品保持面６３２の中心の近傍となる、吸着ノズル６３の先端部６３１に付設される。基準マークＭの形状は特に限定されるものではないが、図７に示す例では、２本の線状部Ｍ１、Ｍ２が部品保持面６３２の中心で交差するような十字状である。基準マークＭは、青色（Ｂ）、緑色（Ｇ）及び赤色（Ｒ）からなる三原色のうちのいずれかの第１の色に着色されている。なお、基準マークＭは、後述の部品認識装置９の撮像装置９２により撮像された画像において、第１の色であると認識可能であればよく、第１の色に着色されていなくても、例えば第１の色で発光するように構成されていてもよい。本実施形態では、基準マークＭの色となる第１の色は、青色（Ｂ）である。

【0047】

また、図５及び図６に示すように、ヘッドユニット６のヘッド本体６１の下面には、基板認識カメラ６４が設けられている。基板認識カメラ６４は、基板Ｋの品種の識別や位置決めのために、ヘッドユニット６と共に移動して、基板Ｋの上面に記された各種マークを上方から撮像するものである。

【0048】

更に、本実施形態に係る部品実装装置１は、部品認識装置９を備えている。この部品認識装置９について、図１に加えて図８を参照して説明する。図８は、部品認識装置９の構成を説明するための図である。

【0049】

部品認識装置９は、装置本体１ａ上の各部品供給ユニット４とコンベア３との間の位置にそれぞれ配設される（図１参照）。部品認識装置９は、部品供給装置５の部品供給位置Ｐ１から、コンベア３により搬送された基板Ｋの部品搭載位置へ向かってヘッドユニット６が移動している間において、吸着ノズル６３に吸着保持された部品Ｅの保持状態を認識するための装置である。部品認識装置９は、光源装置９１と撮像装置９２とを含む。

【0050】

部品認識装置９において、光源装置９１は、ヘッドユニット６の部品搭載位置への移動中において、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３に向けて光を照射する装置である。光源装置９１から出射された光は、ハーフミラー９７により反射されて、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３に向けて照射される。図８に示す例では、光源装置９１による、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３に対する照射光ＩＬは、三原色の各色成分光である、第１照射色成分光（青色成分光）ＢＩＬ、第２照射色成分光（緑色成分光）ＧＩＬ、及び第３照射色成分光（赤色成分光）ＲＩＬをそれぞれ含む白色光である。

【0051】

光源装置９１による照射光ＩＬの照射に応じて、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３から反射される反射光ＲＬは、ハーフミラー９７を透過して撮像装置９２に入射する。部品Ｅを保持した吸着ノズル６３からの反射光ＲＬは、三原色の各色成分光である、第１色成分光（青色成分光）ＢＲＬ、第２色成分光（緑色成分光）ＧＲＬ、及び第３色成分光（赤色成分光）ＲＲＬをそれぞれ含む。吸着ノズル６３の先端部６３１に付設され、青色（Ｂ）に着色された基準マークＭからの反射光は、第１色成分光ＢＲＬである。また、吸着ノズル６３に保持された部品Ｅの少なくとも一部の領域からの反射光は、第１色成分光ＢＲＬ、第２色成分光ＧＲＬ、及び第３色成分光ＲＲＬをそれぞれ含む白色光である。

【0052】

部品認識装置９において、撮像装置９２は、ヘッドユニット６の部品搭載位置への移動中であり、且つ、光源装置９１が照射光ＩＬを照射した状態において、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３を被写体として下方から撮像する。撮像装置９２は、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３の先端部６３１と基準マークＭとが視野内に収まるように撮像し、被写体からの反射光ＲＬに基づく撮像画像を取得する。

【0053】

図８に示す例では、撮像装置９２は、第１撮像部９３からなる。第１撮像部９３は、第１レンズ９４と、カラー画像撮像用の第１撮像素子９５と、所定の信号処理を行う第１信号処理部９６とを含む。第１レンズ９４は、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３（以下、「被写体」という場合がある）からの反射光ＲＬを集光し、第１撮像素子９５に導く光学レンズである。

【0054】

第１撮像素子９５は、図９の分解斜視図で示されるように、カラーフィルタ９５１を有するカラー画像撮像用の撮像素子である。撮像素子としては、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅｄ−ｃｏｕｐｌｅｄ ｄｅｖｉｃｅｓ）やＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ ｍｅｔａｌ−ｏｘｉｄｅ−ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）を挙げることができる。第１撮像素子９５は、被写体からの反射光ＲＬを受光する複数の画素Ｐがマトリクス状に配列され、三原色それぞれの色成分光である第１色成分光ＢＲＬ、第２色成分光ＧＲＬ、及び第３色成分光ＲＲＬを透過するカラーフィルタ９５１が前記各画素Ｐ上に個別に配置されてなる。第１撮像素子９５の各画素Ｐ上に配置されたカラーフィルタ９５１は、第１色成分光ＢＲＬを透過するフィルタＢＦと、第２色成分光ＧＲＬを透過するフィルタＧＦと、第３色成分光ＲＲＬを透過するフィルタＲＦとが、所定の規則に従って配列されてなる。カラーフィルタ９５１における各フィルタＢＦ，ＧＦ，ＲＦの配列は、例えば、ベイヤー配列とされる。

【0055】

第１撮像素子９５は、第１レンズ９４を介して入射された、被写体からの反射光ＲＬを受光し、その受光した光に対して光電変換を行うことにより、第１電気信号ＥＳ１を生成する。第１撮像素子９５により生成される第１電気信号ＥＳ１は、反射光ＲＬに含まれる第１色成分光ＢＲＬに対応した第１色成分信号（青色成分信号）ＢＥＳ、第２色成分光ＧＲＬに対応した第２色成分信号（緑色成分信号）ＧＥＳ、及び、第３色成分光ＲＲＬに対応した第３色成分信号（赤色成分信号）ＲＥＳをそれぞれ含む。

【0056】

第１信号処理部９６は、第１撮像素子９５により生成された第１電気信号ＥＳ１に所定の信号処理を施すことにより、第１画像信号ＩＳ１と第２画像信号ＩＳ２とを生成する。第１画像信号ＩＳ１及び第２画像信号ＩＳ２は、表示や記録が可能となるようにＡ／Ｄ変換されたデジタル信号である。第１画像信号ＩＳ１は、第１撮像画像の表示や記録を可能とする信号であり、第２画像信号ＩＳ２は、第２撮像画像の表示や記録を可能とする信号である。

【0057】

ここで、第１レンズ９４、第１撮像素子９５及び第１信号処理部９６を含む第１撮像部９３からなる撮像装置９２により撮像された撮像画像について、図１０乃至図１２を参照して説明する。図１０は、撮像装置９２により撮像された初期画像Ｊ１を示す図である。図１１は、撮像装置９２により撮像された第１撮像画像Ｊ２を示す図である。図１２は、撮像装置９２により撮像された第２撮像画像Ｊ３を示す図である。

【0058】

図１０に示す初期画像Ｊ１は、ヘッドユニット６が静止し、吸着ノズル６３が部品Ｅを保持していない状態において、撮像装置９２により撮像された撮像画像である。この初期画像Ｊ１は、後記の図１３に示す記憶部１３３に予め記憶されている。初期画像Ｊ１は、当該画像のフレームＶ内に、基準マークＭに対応した画素からなるマーク領域Ｊ１１と、吸着ノズル６３の先端部６３１に対応した画素からなるノズル先端領域Ｊ１２とを含んでいる。初期画像Ｊ１において、ノズル先端領域Ｊ１２の中心Ｓ１は、フレームＶの中心Ｖ１と一致した位置に配置されている。初期画像Ｊ１におけるノズル先端領域Ｊ１２の中心Ｓ１は、吸着ノズル６３の部品保持面６３２の中心に対応している。つまり、初期画像Ｊ１は、吸着ノズル６３の部品保持面６３２の中心が画像の中央に位置するような画像である。また、初期画像Ｊ１において、マーク領域Ｊ１１上には、基準マークＭにおいて予め設定されたマーク基準位置に対応したマーク基準点Ｓ２が存在する。

【0059】

図１１に示す第１撮像画像Ｊ２は、ヘッドユニット６の部品搭載位置への移動中において、撮像装置９２の第１撮像部９３により撮像された撮像画像であって、第１信号処理部９６により生成された第１画像信号ＩＳ１で表される画像である。第１撮像画像Ｊ２では、基準マークＭに対応した画素からなるマーク領域Ｊ２１（図１１においてハッチングを付した領域）と部品Ｅに対応した画素からなる部品領域Ｊ２３とが、所定値よりも明るい明領域とされ、吸着ノズル６３の先端部６３１に対応した画素からなるノズル先端領域Ｊ２２が所定値よりも暗い暗領域とされている。

【0060】

ヘッドユニット６が部品搭載位置へ向けて移動しているときには、吸着ノズル６３は振動している。このため、第１撮像画像Ｊ２は、吸着ノズル６３の部品保持面６３２の中心が画像の中央からずれた位置に配置されるような画像となる。つまり、第１撮像画像Ｊ２において、部品保持面６３２の中心に対応したノズル先端領域Ｊ２２の中心は、画像のフレームＶの中心Ｖ１からずれた位置に配置されている。但し、第１撮像画像Ｊ２が撮像されるタイミングにおいては、吸着ノズル６３の部品保持面６３２には部品Ｅが保持されているので、第１撮像画像Ｊ２では部品保持面６３２が部品Ｅで隠れて、当該部品保持面６３２の中心の位置を認識することはできない。すなわち、第１撮像画像Ｊ２では、部品保持面６３２の中心に対応したノズル先端領域Ｊ２２の中心の位置を認識することはできない。

【0061】

なお、第１撮像画像Ｊ２において、マーク領域Ｊ２１は明領域とされているので、基準マークＭのマーク基準位置に対応したマーク領域Ｊ２１上のマーク基準点Ｓ２１は、認識することができる。この第１撮像画像Ｊ２におけるマーク領域Ｊ２１上のマーク基準点Ｓ２１は、初期画像Ｊ１におけるマーク領域Ｊ１１上のマーク基準点Ｓ２に対して、ヘッドユニット６の移動に伴う吸着ノズル６３の振動変位量Ｈ１に応じて、ずれた位置に配置されている。つまり、初期画像Ｊ１におけるマーク領域Ｊ１１上のマーク基準点Ｓ２の位置と、第１撮像画像Ｊ２におけるマーク領域Ｊ２１上のマーク基準点Ｓ２１の位置との差を参照することにより、ヘッドユニット６の移動に伴う吸着ノズル６３の振動変位量Ｈ１を算出することが可能となる。この振動変位量Ｈ１の算出方法の詳細については、後述する。

【0062】

図１２に示す第２撮像画像Ｊ３は、ヘッドユニット６の部品搭載位置への移動中において、撮像装置９２の第１撮像部９３により、前記第１撮像画像Ｊ２と同時に撮像された撮像画像であって、第１信号処理部９６により生成された第２画像信号ＩＳ２で表される画像である。第２撮像画像Ｊ３では、基準マークＭに対応した画素からなるマーク領域Ｊ３１と吸着ノズル６３の先端部６３１に対応した画素からなるノズル先端領域Ｊ３２とが、所定値よりも暗い暗領域とされ、部品Ｅに対応した画素からなる部品領域Ｊ３３が所定値よりも明るい明領域とされている。

【0063】

第２撮像画像Ｊ３は、ヘッドユニット６の移動に伴う吸着ノズル６３の振動時に、第１撮像画像Ｊ２と同時に撮像された画像であるので、第１撮像画像Ｊ２と同様に、吸着ノズル６３の部品保持面６３２の中心が画像の中央からずれた位置に配置されるような画像となる。つまり、第２撮像画像Ｊ３において、部品保持面６３２の中心に対応したノズル先端領域Ｊ３２の中心Ｓ１１は、画像のフレームＶの中心Ｖ１からずれた位置に配置されている。第２撮像画像Ｊ３では、部品保持面６３２が部品Ｅで隠れており、部品保持面６３２の中心に対応したノズル先端領域Ｊ３２の中心Ｓ１１の位置を直接的に認識することはできないが、上記の第１撮像画像Ｊ２に基づき算出可能な振動変位量Ｈ１を参照し、画像のフレームＶの中心Ｖ１に振動変位量Ｈ１を加味することにより、ノズル先端領域Ｊ３２の中心Ｓ１１の位置を間接的に算出することができる。この部品保持面６３２の中心に対応したノズル先端領域Ｊ３２の中心Ｓ１１の位置の算出方法の詳細については、後述する。

【0064】

また、第２撮像画像Ｊ３において、部品領域Ｊ３３は明領域とされているので、部品Ｅの中心に対応した部品領域Ｊ３３の中心Ｓ３は、認識することができる。このため、ノズル先端領域Ｊ３２の中心Ｓ１１からの、部品領域Ｊ３３の中心Ｓ３のずれ量Ｈ２を、第２撮像画像Ｊ３に基づき算出することができる。つまり、上記のずれ量Ｈ２を参照し、吸着ノズル６３の部品保持面６３２の中心に対する部品Ｅの位置を算出することができる。この部品保持面６３２の中心に対する部品Ｅの位置の算出方法の詳細については、後述する。

【0065】

次に、図８を参照し、第１撮像部９３において、第１撮像素子９５により生成された第１電気信号ＥＳ１に対する第１信号処理部９６の信号処理について、詳しく説明する。

【0066】

第１信号処理部９６は、ベイヤー配列のカラーフィルタ９５１が配置されたカラー画像撮像用の第１撮像素子９５により生成された第１電気信号ＥＳ１を、ベイヤー変換する信号処理を行うことによって、１回の撮像動作で、第１撮像画像Ｊ２及び第２撮像画像Ｊ３の各々を取得することができる。ベイヤー変換とは、第１撮像素子９５の各画素Ｐについて、各画素Ｐの周囲にある画素から色成分を補間する処理を行うことにより、画素ＰごとにＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の輝度情報を求めて画像信号を生成する処理のことである。このベイヤー変換において、第１電気信号ＥＳ１に基づき第１撮像画像Ｊ２を表す第１画像信号ＩＳ１と第２撮像画像Ｊ３を表す第２画像信号ＩＳ２とを生成するに際し、第１信号処理部９６は、ゲイン調整処理を行うように構成される。

【0067】

ゲイン調整処理において、第１信号処理部９６は、第１電気信号ＥＳ１に含まれる第１色成分信号ＢＥＳ、第２色成分信号ＧＥＳ、及び第３色成分信号ＲＥＳの各々に、ゲイン係数を乗じる。具体的には、ゲイン調整処理において、第１信号処理部９６は、第１色成分信号ＢＥＳに対して第２色成分信号ＧＥＳ及び第３色成分信号ＲＥＳよりも大きな値のゲイン係数を乗じることにより、第１撮像画像Ｊ２を表す第１画像信号ＩＳ１を生成する。第１電気信号ＥＳ１において、第１色成分信号ＢＥＳは、基準マークＭ及び部品Ｅからの反射光に含まれる第１色成分光ＢＲＬに対応した色成分信号である。このため、第１色成分信号ＢＥＳに対して大きな値のゲイン係数を乗じるゲイン調整処理を第１電気信号ＥＳ１に施すことによって、第１信号処理部９６は、基準マークＭ及び部品Ｅの各々に対応したマーク領域Ｊ２１及び部品領域Ｊ２３が明領域とされた、第１撮像画像Ｊ２を表す第１画像信号ＩＳ１を生成することができる。

【0068】

また、ゲイン調整処理において、第１信号処理部９６は、第１色成分信号ＢＥＳに対して第２色成分信号ＧＥＳ及び第３色成分信号ＲＥＳよりも小さな値のゲイン係数を乗じることにより、第２撮像画像Ｊ３を表す第２画像信号ＩＳ２を生成する。具体的には、第１信号処理部９６は、第１色成分信号ＢＥＳとは異なる第２色成分信号ＧＥＳ及び第３色成分信号ＲＥＳのうちの一方の色成分信号（例えば第３色成分信号ＲＥＳ）に対して、第１色成分信号ＢＥＳ及び第２色成分信号ＧＥＳよりも大きな値のゲイン係数を乗じる、換言すると、第１色成分信号ＢＥＳに対して第３色成分信号ＲＥＳよりも小さな値のゲイン係数を乗じることにより、第２画像信号ＩＳ２を生成する。第１電気信号ＥＳ１において、第１色成分信号ＢＥＳは、基準マークＭ及び部品Ｅからの反射光に含まれる第１色成分光ＢＲＬに対応した色成分信号であり、且つ、第３色成分信号ＲＥＳは、部品Ｅからの反射光に含まれる第３色成分光ＲＲＬに対応した色成分信号である。このため、第１色成分信号ＢＥＳに対して小さな値のゲイン係数を乗じ、且つ、第３色成分信号ＲＥＳに対して大きな値のゲイン係数を乗じるゲイン調整処理を第１電気信号ＥＳ１に施すことによって、第１信号処理部９６は、基準マークＭに対応したマーク領域Ｊ３１が暗領域とされ、部品Ｅに対応した部品領域Ｊ３３が明領域とされた、第２撮像画像Ｊ３を表す第２画像信号ＩＳ２を生成することができる。

【0069】

第１信号処理部９６は、第１撮像素子９５からの第１電気信号ＥＳ１にゲイン調整処理を施して第１画像信号ＩＳ１及び第２画像信号ＩＳ２を生成する構成とすることによって、各画像信号ＩＳ１，ＩＳ２に対応した第１撮像画像Ｊ２及び第２撮像画像Ｊ３において、画像分解能を高く維持できる。

【0070】

また、第１信号処理部９６は、第１電気信号ＥＳ１に基づき第１画像信号ＩＳ１と第２画像信号ＩＳ２とを生成するに際し、抽出処理を行うように構成されていてもよい。抽出処理において、第１信号処理部９６は、第１電気信号ＥＳ１から所定の色成分信号を抽出することにより、第１画像信号ＩＳ１と第２画像信号ＩＳ２とを生成する。

【0071】

具体的には、抽出処理において、第１信号処理部９６は、第１電気信号ＥＳ１に含まれる第１色成分信号ＢＥＳを抽出することにより、第１撮像画像Ｊ２を表す第１画像信号ＩＳ１を生成する。第１電気信号ＥＳ１において、第１色成分信号ＢＥＳは、基準マークＭ及び部品Ｅからの反射光に含まれる第１色成分光ＢＲＬに対応した色成分信号である。このため、第１色成分信号ＢＥＳを抽出する抽出処理を第１電気信号ＥＳ１に施すことによって、第１信号処理部９６は、基準マークＭ及び部品Ｅの各々に対応したマーク領域Ｊ２１及び部品領域Ｊ２３が明領域とされた、第１撮像画像Ｊ２を表す第１画像信号ＩＳ１を生成することができる。

【0072】

また、抽出処理において、第１信号処理部９６は、第１電気信号ＥＳ１に含まれる、第１色成分信号ＢＥＳ以外の第２色成分信号ＧＥＳ又は第３色成分信号ＲＥＳを抽出することにより、第２撮像画像Ｊ３を表す第２画像信号ＩＳ２を生成する。本実施形態では、抽出処理において、第１信号処理部９６は、第１電気信号ＥＳ１に含まれる第３色成分信号ＲＥＳを抽出することにより、第２画像信号ＩＳ２を生成する。第１電気信号ＥＳ１において、第２色成分信号ＧＥＳ又は第３色成分信号ＲＥＳは、基準マークＭからの反射光には含まれておらず、部品Ｅからの反射光に含まれる色成分光ＧＲＬ，ＲＲＬに対応した色成分信号である。このため、第２色成分信号ＧＥＳ又は第３色成分信号ＲＥＳを抽出する抽出処理を第１電気信号ＥＳ１に施すことによって、第１信号処理部９６は、基準マークＭに対応したマーク領域Ｊ３１が暗領域とされ、部品Ｅに対応した部品領域Ｊ３３が明領域とされた、第２撮像画像Ｊ３を表す第２画像信号ＩＳ２を生成することができる。

【0073】

＜部品実装装置の制御系＞
次に、部品実装装置１の制御系について、図１３のブロック図を用いて説明する。部品実装装置１は、制御部１０を備えている。制御部１０は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、制御プログラムを記憶するＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、ＣＰＵの作業領域として使用されるＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）等から構成されている。制御部１０は、ＣＰＵがＲＯＭに記憶された制御プログラムを実行することにより、部品実装装置１の動作を統括的に制御する。制御部１０は、図１３に示すように、部品供給制御部１１と、ヘッド駆動制御部１２と、部品認識部１３とを含む。

【0074】

部品供給制御部１１は、部品供給装置５による部品供給位置Ｐ１への部品Ｅの供給動作を制御する。

【0075】

ヘッド駆動制御部１２は、第１駆動機構７及び第２駆動機構８によるヘッドユニット６のＸ方向及びＹ方向に関する水平面上の移動を制御する。また、ヘッド駆動制御部１２は、ノズル昇降駆動機構６６による吸着ノズル６３の昇降動作を制御する。更に、ヘッド駆動制御部１２は、回転体駆動機構６５による回転体６２の回転動作を制御する。

【0076】

部品認識部１３は、第１撮像部９３からなる撮像装置９２により取得された第１撮像画像Ｊ２及び第２撮像画像Ｊ３に基づき、吸着ノズル６３に対する部品Ｅの保持状態を認識する部品認識処理を行う。部品認識部１３は、振動量算出部１３１と、部品位置算出部１３２と、記憶部１３３とを含む。

【0077】

部品認識部１３において、記憶部１３３は、ヘッドユニット６が静止し、吸着ノズル６３が部品Ｅを保持していない状態において、第１撮像部９３からなる撮像装置９２により撮像された、上記の初期画像Ｊ１（図１０参照）を、予め記憶する。

【0078】

部品認識部１３において、振動量算出部１３１は、初期画像Ｊ１に基づき、基準マークＭの初期位置を表す初期マーク位置情報を取得するとともに、上記の第１撮像画像Ｊ２（図１１参照）に基づき、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３における基準マークＭの位置を表すマーク位置情報を取得する。そして、振動量算出部１３１は、前記初期マーク位置情報と前記マーク位置情報との差を参照することにより、ヘッドユニット６の移動に伴う吸着ノズル６３の振動変位量Ｈ１（図１１参照）を算出する。

【0079】

具体的には、振動量算出部１３１は、ヘッドユニット６の静止状態における、吸着ノズル６３の部品保持面６３２の中心の位置を表す情報として、初期画像Ｊ１におけるノズル先端領域Ｊ１２の中心Ｓ１の位置を取得する。更に、振動量算出部１３１は、ヘッドユニット６の静止状態における、基準マークＭの初期位置を表す初期マーク位置情報として、初期画像Ｊ１におけるマーク領域Ｊ１１上のマーク基準点Ｓ２の位置を取得する。更に、振動量算出部１３１は、ヘッドユニット６の移動に伴う吸着ノズル６３の振動時における、基準マークＭの位置を表すマーク位置情報として、第１撮像画像Ｊ２におけるマーク領域Ｊ２１上のマーク基準点Ｓ２１の位置を取得する。そして、振動量算出部１３１は、初期画像Ｊ１におけるマーク領域Ｊ１１上のマーク基準点Ｓ２の位置と、第１撮像画像Ｊ２におけるマーク領域Ｊ２１上のマーク基準点Ｓ２１の位置との差を参照することにより、ヘッドユニット６の移動に伴う吸着ノズル６３の振動変位量Ｈ１を算出する。

【0080】

ここで、振動量算出部１３１による振動変位量Ｈ１の算出時に参照される第１撮像画像Ｊ２は、吸着ノズル６３の先端部６３１に付設された基準マークＭに対応したマーク領域Ｊ２１が明領域とされた画像である。このため、振動量算出部１３１は、第１撮像画像Ｊ２におけるマーク領域Ｊ２１上のマーク基準点Ｓ２１の位置を高精度に取得することができる。この結果、第１撮像画像Ｊ２におけるマーク領域Ｊ２１上のマーク基準点Ｓ２１の位置を参照して算出される吸着ノズル６３の振動変位量Ｈ１は、高精度なものとなる。

【0081】

部品認識部１３において、部品位置算出部１３２は、上記の第２撮像画像Ｊ３（図１２参照）に基づき、吸着ノズル６３に保持された部品Ｅの位置を表す部品位置情報を取得する。そして、部品位置算出部１３２は、その取得した部品位置情報と、振動量算出部１３１により算出された振動変位量Ｈ１とを参照することにより、ヘッドユニット６の移動中における吸着ノズル６３の部品保持面６３２の中心に対する部品Ｅの位置を算出する。

【0082】

具体的には、部品位置算出部１３２は、第２撮像画像Ｊ３のフレームＶの中心Ｖ１に、振動量算出部１３１により算出された振動変位量Ｈ１を加味することにより、ヘッドユニット６の移動に伴う吸着ノズル６３の振動時における、部品保持面６３２の中心の位置を表す情報として、第２撮像画像Ｊ３におけるノズル先端領域Ｊ３２の中心Ｓ１１の位置を算出する。更に、部品位置算出部１３２は、ヘッドユニット６の移動に伴う吸着ノズル６３の振動時における、当該吸着ノズル６３に保持された部品Ｅの位置を表す部品位置情報として、第２撮像画像Ｊ３における部品領域Ｊ３３の中心Ｓ３の位置を取得する。更に、部品位置算出部１３２は、第２撮像画像Ｊ３を参照し、ノズル先端領域Ｊ３２の中心Ｓ１１からの、部品領域Ｊ３３の中心Ｓ３のずれ量Ｈ２を算出する。そして、部品位置算出部１３２は、上記のずれ量Ｈ２を参照し、吸着ノズル６３の部品保持面６３２の中心に対する部品Ｅの位置を算出することができる。

【0083】

ここで、部品位置算出部１３２による部品Ｅの位置の算出時に参照される第２撮像画像Ｊ３は、基準マークＭに対応したマーク領域Ｊ３１が暗領域とされ、且つ部品Ｅに対応した部品領域Ｊ３３が明領域とされた画像である。このため、部品位置算出部１３２が第２撮像画像Ｊ３における部品領域Ｊ３３の中心Ｓ３の位置を取得する際に、基準マークＭを部品Ｅであると認識する誤認識の発生を可及的に回避することができる。この結果、部品位置算出部１３２は、第２撮像画像Ｊ３における部品領域Ｊ３３の中心Ｓ３の位置を高精度に取得し、その部品領域Ｊ３３の中心Ｓ３の位置に関する情報と前記振動変位量Ｈ１とを参照することにより、吸着ノズル６３の部品保持面６３２の中心に対する部品Ｅの位置を高精度に算出することができる。従って、部品位置算出部１３２により算出された部品Ｅの位置を用いることによって、ヘッド駆動制御部１２の制御に基づくヘッドユニット６の駆動動作による、基板Ｋに対する部品Ｅの搭載精度の向上が図られる。

【0084】

また、第２撮像画像Ｊ３が、マーク領域Ｊ３１が暗領域とされ、且つ部品領域Ｊ３３が明領域とされた画像であるから、吸着ノズル６３において部品Ｅと基準マークＭとが近接した状態であったとしも、基準マークＭを部品Ｅであると認識する誤認識の発生が回避される。従って、吸着ノズル６３において、基準マークＭを部品保持面６３２の中心から十分に離れた位置に付設する必要がない。これにより、吸着ノズル６３において部品保持面６３２の中心の近傍に基準マークＭを付設することができ、部品保持面６３２の中心と基準マークＭとの間の距離を十分に確保する必要がないから、吸着ノズル６３の小型化が図られる。更に、吸着ノズル６３において部品保持面６３２の中心の近傍に基準マークＭを付設することができるから、撮像装置９２による撮像の視野を狭くすることができる。これにより、撮像装置９２が取得した撮像画像Ｊ２，Ｊ３に基づく、部品認識部１３の振動量算出部１３１及び部品位置算出部１３２による算出処理の負荷を、軽減することができる。

【0085】

以上、本発明の実施形態に係る部品実装装置１について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば次のような変形実施形態を採ることができる。

【0086】

上記の実施形態においては、部品認識装置９が、白色光からなる照射光ＩＬを照射する光源装置９１と、カラー画像撮像用の第１撮像素子９５を含む第１撮像部９３からなる撮像装置９２とを備える構成について説明したが、本発明はこのような構成に限定されるものではない。部品認識装置９の変形例について、図１４及び図１５を参照して説明する。

【0087】

図１４は、第１変形例に係る部品認識装置９Ａの構成を示す図である。部品認識装置９Ａは、前述した部品認識装置９と同様に、部品供給装置５の部品供給位置Ｐ１から、コンベア３により搬送された基板Ｋの部品搭載位置へ向かってヘッドユニット６が移動している間において、吸着ノズル６３に吸着保持された部品Ｅの保持状態を認識するための装置である。部品認識装置９Ａは、光源装置９１Ａと撮像装置９２Ａとを含む。

【0088】

部品認識装置９Ａにおいて、光源装置９１Ａは、ヘッドユニット６の部品搭載位置への移動中において、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３に向けて光を照射する装置である。光源装置９１Ａから出射された光は、第１ハーフミラー９７により反射されて、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３に向けて照射される。光源装置９１Ａによる、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３に対する照射光ＩＬは、基準マークＭの色に対応した色成分光を少なくとも含む光であればよい。このような照射光ＩＬとしては、第１照射色成分光（青色成分光）ＢＩＬ、第２照射色成分光（緑色成分光）ＧＩＬ、及び第３照射色成分光（赤色成分光）ＲＩＬをそれぞれ含む白色光であってもよいし、基準マークＭの色に対応した第１照射色成分光ＢＩＬと、その他の色成分光（例えば、第３照射色成分光ＲＩＬ）とを含む２色の光であってもよい。以下では、光源装置９１Ａが白色光からなる照射光ＩＬを照射するように構成されているものとして説明する。

【0089】

光源装置９１Ａによる照射光ＩＬの照射に応じて、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３から反射される反射光ＲＬは、第１ハーフミラー９７を透過し、第２ハーフミラー９８を介して撮像装置９２Ａに入射する。部品Ｅを保持した吸着ノズル６３からの反射光ＲＬは、三原色の各色成分光である、第１色成分光（青色成分光）ＢＲＬ、第２色成分光（緑色成分光）ＧＲＬ、及び第３色成分光（赤色成分光）ＲＲＬをそれぞれ含む。吸着ノズル６３の先端部６３１に付設され、青色（Ｂ）に着色された基準マークＭからの反射光は、第１色成分光ＢＲＬである。また、吸着ノズル６３に保持された部品Ｅの少なくとも一部の領域からの反射光は、第１色成分光ＢＲＬ、第２色成分光ＧＲＬ、及び第３色成分光ＲＲＬをそれぞれ含む白色光である。

【0090】

部品認識装置９Ａにおいて、撮像装置９２Ａは、第２撮像部９３Ａと第３撮像部９３Ｂとの２つの撮像部からなる。部品Ｅを保持した吸着ノズル６３からの反射光ＲＬは、第２ハーフミラー９８に反射されて第２撮像部９３Ａに向けて導かれ、第２ハーフミラー９８を透過して第３撮像部９３Ｂに向けて導かれる。

【0091】

第２ハーフミラー９８と第２撮像部９３Ａとの間には、第１フィルタＦ１が配置されている。第１フィルタＦ１は、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３からの反射光ＲＬのうち、第１色成分光ＢＲＬを透過し、第２色成分光ＧＲＬ及び第３色成分光ＲＲＬの透過を規制する光学フィルタである。つまり、第２撮像部９３Ａには、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３からの反射光ＲＬのうち、第１フィルタＦ１を透過した第１色成分光ＢＲＬのみが入射する。

【0092】

また、第２ハーフミラー９８と第３撮像部９３Ｂとの間には、第２フィルタＦ２が配置されている。第２フィルタＦ２は、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３からの反射光ＲＬのうち、第３色成分光ＲＲＬを透過し、第１色成分光ＢＲＬ及び第２色成分光ＧＲＬの透過を規制する光学フィルタである。つまり、第３撮像部９３Ｂには、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３からの反射光ＲＬのうち、第２フィルタＦ２を透過した第３色成分光ＲＲＬのみが入射する。

【0093】

第２撮像部９３Ａは、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３の先端部６３１と基準マークＭとが視野内に収まるように撮像し、第１フィルタＦ１を介して入射した第１色成分光ＢＲＬに基づく第１撮像画像Ｊ２（図１１参照）を取得する。第２撮像部９３Ａは、第２レンズ９４Ａと、モノクロ画像撮像用の第２撮像素子９５Ａと、所定の信号処理を行う第２信号処理部９６Ａとを含む。第２レンズ９４Ａは、第１フィルタＦ１を介して入射した第１色成分光ＢＲＬを集光し、第２撮像素子９５Ａに導く光学レンズである。

【0094】

第２撮像素子９５Ａは、ＣＣＤやＣＭＯＳ等からなるモノクロ画像撮像用の撮像素子である。第２撮像素子９５Ａは、第２レンズ９４Ａを介して入射された、第１色成分光ＢＲＬを受光し、その受光した光に対して光電変換を行うことにより、第２電気信号ＥＳ２を生成する。第２撮像素子９５Ａにより生成される第２電気信号ＥＳ２は、第１色成分光ＢＲＬに対応した第１色成分信号（青色成分信号）ＢＥＳを含む。

【0095】

第２信号処理部９６Ａは、第２撮像素子９５Ａにより生成された第２電気信号ＥＳ２に所定の信号処理を施すことにより、第１画像信号ＩＳ１を生成する。第１画像信号ＩＳ１は、表示や記録が可能となるようにＡ／Ｄ変換されたデジタル信号である。第１画像信号ＩＳ１は、第１撮像画像Ｊ２の表示や記録を可能とする信号である。

【0096】

第３撮像部９３Ｂは、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３の先端部６３１と基準マークＭとが視野内に収まるように撮像し、第２フィルタＦ２を介して入射した第３色成分光ＲＲＬに基づく第２撮像画像Ｊ３（図１２参照）を取得する。第３撮像部９３Ｂの撮像タイミングは、第２撮像部９３Ａの撮像タイミングと同時である。第３撮像部９３Ｂは、第３レンズ９４Ｂと、モノクロ画像撮像用の第３撮像素子９５Ｂと、所定の信号処理を行う第３信号処理部９６Ｂとを含む。第３レンズ９４Ｂは、第２フィルタＦ２を介して入射した第３色成分光ＲＲＬを集光し、第３撮像素子９５Ｂに導く光学レンズである。

【0097】

第３撮像素子９５Ｂは、ＣＣＤやＣＭＯＳ等からなるモノクロ画像撮像用の撮像素子である。第３撮像素子９５Ｂは、第３レンズ９４Ｂを介して入射された、第３色成分光ＲＲＬを受光し、その受光した光に対して光電変換を行うことにより、第３電気信号ＥＳ３を生成する。第３撮像素子９５Ｂにより生成される第３電気信号ＥＳ３は、第３色成分光ＲＲＬに対応した第３色成分信号（赤色成分信号）ＲＥＳを含む。

【0098】

第３信号処理部９６Ｂは、第３撮像素子９５Ｂにより生成された第３電気信号ＥＳ３に所定の信号処理を施すことにより、第２画像信号ＩＳ２を生成する。第２画像信号ＩＳ２は、表示や記録が可能となるようにＡ／Ｄ変換されたデジタル信号である。第２画像信号ＩＳ２は、第２撮像画像Ｊ３の表示や記録を可能とする信号である。

【0099】

第２撮像部９３Ａにより取得された第１撮像画像Ｊ２と、第３撮像部９３Ｂにより取得された第２撮像画像Ｊ３とは、部品認識部１３により参照される。部品認識部１３の振動量算出部１３１は、初期画像Ｊ１（図１０参照）におけるマーク領域Ｊ１１上のマーク基準点Ｓ２の位置と、第２撮像部９３Ａにより取得された第１撮像画像Ｊ２におけるマーク領域Ｊ２１上のマーク基準点Ｓ２１の位置との差を参照することにより、ヘッドユニット６の移動に伴う吸着ノズル６３の振動変位量Ｈ１を算出する（図１１参照）。また、部品認識部１３の部品位置算出部１３２は、第３撮像部９３Ｂにより取得された第２撮像画像Ｊ３に基づき、ノズル先端領域Ｊ３２の中心Ｓ１１からの、部品領域Ｊ３３の中心Ｓ３のずれ量Ｈ２を算出し、吸着ノズル６３の部品保持面６３２の中心に対する部品Ｅの位置を算出する（図１２参照）。部品位置算出部１３２により算出された部品Ｅの位置を用いることによって、ヘッド駆動制御部１２の制御に基づくヘッドユニット６の駆動動作による、基板Ｋに対する部品Ｅの搭載精度の向上が図られる。

【0100】

図１５は、第２変形例に係る部品認識装置９Ｂの構成を示す図である。部品認識装置９Ｂは、前述した部品認識装置９と同様に、部品供給装置５の部品供給位置Ｐ１から、コンベア３により搬送された基板Ｋの部品搭載位置へ向かってヘッドユニット６が移動している間において、吸着ノズル６３に吸着保持された部品Ｅの保持状態を認識するための装置である。部品認識装置９Ｂは、光源装置９１Ｂと撮像装置９２Ｂとを含む。

【0101】

部品認識装置９Ｂにおいて、光源装置９１Ｂは、ヘッドユニット６の部品搭載位置への移動中において、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３に向けて光を照射する装置である。光源装置９１Ｂから出射された光は、第１ハーフミラー９７により反射されて、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３に向けて照射される。光源装置９１Ｂは、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３に対し、基準マークＭの色に対応した第１照射色成分光（青色成分光）ＢＩＬと、その他の色成分光（例えば、第３照射色成分光（赤色成分光）ＲＩＬ）とを、所定の時間間隔をおいてそれぞれ個別に照射する。光源装置９１Ｂによる、第１照射色成分光ＢＩＬの照射と、第３照射色成分光ＲＩＬの照射との間の時間間隔は、ヘッドユニット６の移動に伴う吸着ノズル６３の振動に関する振動周期よりも、十分に短い時間間隔に設定される。

【0102】

光源装置９１Ｂによる照射光ＩＬの照射に応じて、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３から反射される反射光ＲＬは、第１ハーフミラー９７を透過し、第２ハーフミラー９８を介して撮像装置９２Ｂに入射する。部品Ｅを保持した吸着ノズル６３からの反射光ＲＬは、光源装置９１Ｂにより第１照射色成分光ＢＩＬが照射された場合には第１色成分光（青色成分光）ＢＲＬであり、光源装置９１Ｂにより第３照射色成分光ＲＩＬが照射された場合には第３色成分光（赤色成分光）ＲＲＬである。

【0103】

部品認識装置９Ｂにおいて、撮像装置９２Ｂは、第２撮像部９３Ａと第３撮像部９３Ｂとの２つの撮像部からなる。部品Ｅを保持した吸着ノズル６３からの、第１照射色成分光ＢＩＬの照射に応じた反射光である第１色成分光ＢＲＬは、第２ハーフミラー９８に反射されて第２撮像部９３Ａに向けて導かれる。一方、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３からの、第３照射色成分光ＲＩＬの照射に応じた反射光である第３色成分光ＲＲＬは、第２ハーフミラー９８を透過して第３撮像部９３Ｂに向けて導かれる。

【0104】

第２撮像部９３Ａは、光源装置９１Ｂによる第１照射色成分光ＢＩＬの照射と同期して、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３の先端部６３１と基準マークＭとが視野内に収まるように撮像し、第１照射色成分光ＢＩＬの照射に応じた反射光である第１色成分光ＢＲＬに基づく第１撮像画像Ｊ２（図１１参照）を取得する。第２撮像部９３Ａは、第２レンズ９４Ａと、モノクロ画像撮像用の第２撮像素子９５Ａと、所定の信号処理を行う第２信号処理部９６Ａとを含む。第２レンズ９４Ａは、第１照射色成分光ＢＩＬの照射に応じて入射した第１色成分光ＢＲＬを集光し、第２撮像素子９５Ａに導く光学レンズである。

【0105】

第２撮像素子９５Ａは、ＣＣＤやＣＭＯＳ等からなるモノクロ画像撮像用の撮像素子である。第２撮像素子９５Ａは、第２レンズ９４Ａを介して入射された、第１色成分光ＢＲＬを受光し、その受光した光に対して光電変換を行うことにより、第２電気信号ＥＳ２を生成する。第２撮像素子９５Ａにより生成される第２電気信号ＥＳ２は、第１色成分光ＢＲＬに対応した第１色成分信号（青色成分信号）ＢＥＳを含む。

【0106】

第２信号処理部９６Ａは、第２撮像素子９５Ａにより生成された第２電気信号ＥＳ２に所定の信号処理を施すことにより、第１画像信号ＩＳ１を生成する。第１画像信号ＩＳ１は、表示や記録が可能となるようにＡ／Ｄ変換されたデジタル信号である。第１画像信号ＩＳ１は、第１撮像画像Ｊ２の表示や記録を可能とする信号である。

【0107】

第３撮像部９３Ｂは、光源装置９１Ｂによる第３照射色成分光ＲＩＬの照射と同期して、部品Ｅを保持した吸着ノズル６３の先端部６３１と基準マークＭとが視野内に収まるように撮像し、第３照射色成分光ＲＩＬの照射に応じた反射光である第３色成分光ＲＲＬに基づく第２撮像画像Ｊ３（図１２参照）を取得する。第３撮像部９３Ｂは、第３レンズ９４Ｂと、モノクロ画像撮像用の第３撮像素子９５Ｂと、所定の信号処理を行う第３信号処理部９６Ｂとを含む。第３レンズ９４Ｂは、第３照射色成分光ＲＩＬの照射に応じて入射した第３色成分光ＲＲＬを集光し、第３撮像素子９５Ｂに導く光学レンズである。

【0108】

第３撮像素子９５Ｂは、ＣＣＤやＣＭＯＳ等からなるモノクロ画像撮像用の撮像素子である。第３撮像素子９５Ｂは、第３レンズ９４Ｂを介して入射された、第３色成分光ＲＲＬを受光し、その受光した光に対して光電変換を行うことにより、第３電気信号ＥＳ３を生成する。第３撮像素子９５Ｂにより生成される第３電気信号ＥＳ３は、第３色成分光ＲＲＬに対応した第３色成分信号（赤色成分信号）ＲＥＳを含む。

【0109】

第３信号処理部９６Ｂは、第３撮像素子９５Ｂにより生成された第３電気信号ＥＳ３に所定の信号処理を施すことにより、第２画像信号ＩＳ２を生成する。第２画像信号ＩＳ２は、表示や記録が可能となるようにＡ／Ｄ変換されたデジタル信号である。第２画像信号ＩＳ２は、第２撮像画像Ｊ３の表示や記録を可能とする信号である。

【0110】

第２撮像部９３Ａにより取得された第１撮像画像Ｊ２と、第３撮像部９３Ｂにより取得された第２撮像画像Ｊ３とは、部品認識部１３により参照される。部品認識部１３の振動量算出部１３１は、初期画像Ｊ１（図１０参照）におけるマーク領域Ｊ１１上のマーク基準点Ｓ２の位置と、第２撮像部９３Ａにより取得された第１撮像画像Ｊ２におけるマーク領域Ｊ２１上のマーク基準点Ｓ２１の位置との差を参照することにより、ヘッドユニット６の移動に伴う吸着ノズル６３の振動変位量Ｈ１を算出する（図１１参照）。また、部品認識部１３の部品位置算出部１３２は、第３撮像部９３Ｂにより取得された第２撮像画像Ｊ３に基づき、ノズル先端領域Ｊ３２の中心Ｓ１１からの、部品領域Ｊ３３の中心Ｓ３のずれ量Ｈ２を算出し、吸着ノズル６３の部品保持面６３２の中心に対する部品Ｅの位置を算出する（図１２参照）。部品位置算出部１３２により算出された部品Ｅの位置を用いることによって、ヘッド駆動制御部１２の制御に基づくヘッドユニット６の駆動動作による、基板Ｋに対する部品Ｅの搭載精度の向上が図られる。

【符号の説明】

【0111】

１ 部品実装装置
６ ヘッドユニット
６３ 吸着ノズル（保持具）
９，９Ａ，９Ｂ 部品認識装置
９１，９１Ａ，９１Ｂ 光源装置
９２，９２Ａ，９２Ｂ 撮像装置
９３ 第１撮像部
９３Ａ 第２撮像部
９３Ｂ 第３撮像部
９４ 第１レンズ
９４Ａ 第２レンズ
９４Ｂ 第３レンズ
９５ 第１撮像素子
９５１ カラーフィルタ
９５Ａ 第２撮像素子
９５Ｂ 第３撮像素子
９６ 第１信号処理部
９６Ａ 第２信号処理部
９６Ｂ 第３信号処理部
１０ 制御部
１１ 部品供給制御部
１２ ヘッド駆動制御部
１３ 部品認識部
１３１ 振動量算出部
１３２ 部品位置算出部
１３３ 記憶部
ＥＳ１ 第１電気信号
ＥＳ２ 第２電気信号
ＥＳ３ 第３電気信号
ＢＥＳ 第１色成分信号
ＧＥＳ 第２色成分信号
ＲＥＳ 第３色成分信号
ＩＬ 照射光
ＢＩＬ 第１照射色成分光
ＧＩＬ 第２照射色成分光
ＲＩＬ 第３照射色成分光
ＩＳ１ 第１画像信号
ＩＳ２ 第２画像信号
Ｊ１ 初期画像
Ｊ２ 第１撮像画像
Ｊ３ 第２撮像画像
Ｍ 基準マーク
ＲＬ 反射光
ＢＲＬ 第１色成分光
ＧＲＬ 第２色成分光
ＲＲＬ 第３色成分光

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】