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特許6901642静電チャック及びその製造方法
発明の名称 静電チャック及びその製造方法
出願人 ケーエスエム・コンポーネント・カンパニー・リミテッド （識別番号 520006654）
特許公開件数ランキング 9753 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 8204 位（0件）（共同出願を含む）
出願人 フローサーブ・ケーエスエム・カンパニー・リミテッド （識別番号 520481127）
特許公開件数ランキング 9753 位（0件）（共同出願を含む）
特許取得件数ランキング 8204 位（0件）（共同出願を含む）
公報番号 特許-6901642
公報発行日 2021年7月14
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-B9-6901642
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