特許 6903844 流体圧シリンダ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6903844

(24)【登録日】2021年6月28日

(45)【発行日】2021年7月14日

(54)【発明の名称】流体圧シリンダ

(51)【国際特許分類】

   F15B 15/14 20060101AFI20210701BHJP

【ＦＩ】

   F15B15/14 380A

【請求項の数】9

【全頁数】19

(21)【出願番号】特願2018-170625(P2018-170625)

(22)【出願日】2018年9月12日

(65)【公開番号】特開2020-41637(P2020-41637A)

(43)【公開日】2020年3月19日

【審査請求日】2020年4月22日

(73)【特許権者】

【識別番号】000102511

【氏名又は名称】ＳＭＣ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100077665

【弁理士】

【氏名又は名称】千葉 剛宏

(74)【代理人】

【識別番号】100116676

【弁理士】

【氏名又は名称】宮寺 利幸

(74)【代理人】

【識別番号】100191134

【弁理士】

【氏名又は名称】千馬 隆之

(74)【代理人】

【識別番号】100136548

【弁理士】

【氏名又は名称】仲宗根 康晴

(74)【代理人】

【識別番号】100136641

【弁理士】

【氏名又は名称】坂井 志郎

(74)【代理人】

【識別番号】100180448

【弁理士】

【氏名又は名称】関口 亨祐

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 亮輔

【審査官】 北村 一

(56)【参考文献】

【文献】 特開２０１８−０５４１１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 登録実用新案第３２０７５８３（ＪＰ，Ｕ）

【文献】 特開平０９−３０３３１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０２０−０４１６３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開昭５８−１３１４０８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｆ１５Ｂ １５／００−１５／２８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

シリンダ孔を有する直方形状のボディと、
前記シリンダ孔に移動可能に収容されるピストンと、
前記ピストンに固定されるピストンロッドとを備える流体圧シリンダであって、
前記シリンダ孔は、延在方向と直交する断面視で、前記ボディを構成する複数の表面に対して平行な内周面を有する多角形状に形成されており、
前記ピストンは、収容される前記シリンダ孔に一致する多角形状の外縁を有し、当該シリンダ孔をヘッド側シリンダ室とロッド側シリンダ室に区画し、
前記ボディは、前記複数の表面のうちの一面が段差状に切り欠かれており、且つ当該ボディの切り欠かれた空間に、前記ヘッド側シリンダ室又は前記ロッド側シリンダ室への圧力流体の供給と、前記ヘッド側シリンダ室又は前記ロッド側シリンダ室からの前記圧力流体の排出とを切り換える電磁弁が設置され、
前記電磁弁は、各表面の最も突出する面によって形成される仮想外形よりも内側に配置され、
前記ボディの前記一面は、第１壁部と、前記第１壁部よりも厚い第２壁部とによって段差状を呈しており、
前記第１壁部と前記第２壁部には、前記圧力流体を流動させる流路が設けられ、
前記第２壁部には、前記圧力流体が流動する流路を切り換える流路切換部が設けられる
流体圧シリンダ。

【請求項2】

請求項１記載の流体圧シリンダにおいて、
前記流路切換部は、前記電磁弁の動作下に変位するスプールと、前記スプールを移動可能に収容し前記流路が連通するスプール収容空間と、を含み、
前記スプール収容空間は、前記第２壁部の長手方向に沿って延在している
流体圧シリンダ。

【請求項3】

請求項２記載の流体圧シリンダにおいて、
前記流路は、前記スプール収容空間に前記圧力流体を供給する供給路と、
前記スプール収容空間と前記ヘッド側シリンダ室の間を連通するヘッド側連通路と、
前記スプール収容空間と前記ロッド側シリンダ室の間を連通するロッド側連通路と、
前記スプール収容空間を介して前記ヘッド側シリンダ室の前記圧力流体を排出するヘッド側排出路と、
前記スプール収容空間を介して前記ロッド側シリンダ室の前記圧力流体を排出するロッド側排出路と、を含む
流体圧シリンダ。

【請求項4】

請求項３記載の流体圧シリンダにおいて、
前記供給路は、前記一面に直交する側面に設けられた供給ポートに連通し、
前記ヘッド側排出路は、前記側面に設けられたヘッド側排出ポートに連通し、
前記ロッド側排出路は、前記側面に設けられたロッド側排出ポートに連通し、
前記ヘッド側排出路の途中位置には、前記側面から露出され、前記圧力流体の排出量を調整可能なヘッド側スピードコントローラが設けられ、
前記ロッド側排出路の途中位置には、前記側面から露出され、前記圧力流体の排出量を調整するロッド側スピードコントローラが設けられる
流体圧シリンダ。

【請求項5】

請求項４記載の流体圧シリンダにおいて、
前記電磁弁は、当該電磁弁に電力を供給する電力ポートを有し、
前記電力ポートの延在方向は、前記供給ポートの延在方向と同一である
流体圧シリンダ。

【請求項6】

請求項１〜５のいずれか１項に記載の流体圧シリンダにおいて、
前記第２壁部は、前記一面の一辺に連続するように形成され、且つ一辺の延在方向全体にわたって連設されている
流体圧シリンダ。

【請求項7】

請求項６記載の流体圧シリンダにおいて、
前記第２壁部は、前記ピストンの移動方向と平行に延在している
流体圧シリンダ。

【請求項8】

請求項１〜７のいずれか１項に記載の流体圧シリンダにおいて、
前記電磁弁は、前記流路に連通し、前記流路から供給される前記圧力流体を内部に流入して、前記圧力流体に基づき前記流路切換部を動作させるパイロット式電磁弁である
流体圧シリンダ。

【請求項9】

請求項１〜８のいずれか１項に記載の流体圧シリンダにおいて、
前記シリンダ孔の内周面は、前記延在方向と直交する断面視で、前記表面に対して傾斜する傾斜内周面を有し、
前記ボディは、前記傾斜内周面の近傍位置に、当該ボディを取付対象に固定するための固定用孔部を有する
流体圧シリンダ。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、圧力流体の供給及び排出に基づきピストンを変位させる流体圧シリンダに関する。

【背景技術】

【0002】

流体圧シリンダは、シリンダ孔を有するシリンダチューブと、シリンダ孔に移動可能に収容されるピストンと、ピストンに固定されるピストンロッドと、ピストンロッドの端部に連結されるエンドプレートとを備える（特許文献１参照）。この流体圧シリンダは、シリンダチューブのヘッド側シリンダ室に圧力流体が供給され、ロッド側シリンダ室から圧力流体が排出されることで、ピストン、ピストンロッド及びエンドプレートを進出させる。逆に、流体圧シリンダは、ロッド側シリンダ室に圧力流体が供給され、ヘッド側シリンダ室から圧力流体が排出されることで、ピストン、ピストンロッド及びエンドプレートを後退させる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【特許文献1】特開平９−３０３３１８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、この種の流体圧シリンダは、実際の使用時に電磁弁が接続されて電磁弁の動作下に、ロッド側シリンダ室又はヘッド側シリンダ室への圧力流体の供給／排出を切り換える。例えば、特許文献１に開示の流体圧シリンダは、電磁弁と、この電磁弁が接続される圧力流体の流路切換用のサブベースとが、シリンダチューブの表面（側面）に取り付けられる。

【0005】

しかしながら、流体圧シリンダは、シリンダチューブの表面に電磁弁等が取り付けられることで、製品提供時の形態と比べて大型化した状態で使用されることになる。このため、ユーザは、流体圧シリンダの設置時に、他のデバイスとの関係でスペースを確保するのに苦慮する可能性がある。また、流体圧シリンダに電磁弁等を取り付ける作業に手間がかかるという不都合も生じる。

【0006】

本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、簡単な構成によって、使用時における大幅な省スペース化と、使用性の向上とを図ることができる流体圧シリンダを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

前記の目的を達成するために、本発明の一態様は、シリンダ孔を有する直方形状のボディと、前記シリンダ孔に移動可能に収容されるピストンと、前記ピストンに固定されるピストンロッドとを備える流体圧シリンダであって、前記シリンダ孔は、延在方向と直交する断面視で、前記ボディを構成する複数の表面に対して平行な内周面を有する多角形状に形成されており、前記ピストンは、収容される前記シリンダ孔に一致する多角形状の外縁を有し、当該シリンダ孔をヘッド側シリンダ室とロッド側シリンダ室に区画し、前記ボディは、前記複数の表面のうちの一面が段差状に切り欠かれており、且つ当該ボディの切り欠かれた空間に、前記ヘッド側シリンダ室又は前記ロッド側シリンダ室への圧力流体の供給と、前記ヘッド側シリンダ室又は前記ロッド側シリンダ室からの前記圧力流体の排出とを切り換える電磁弁が設置され、前記電磁弁は、各表面の最も突出する面によって形成される仮想外形よりも内側に配置され、前記ボディの前記一面は、第１壁部と、前記第１壁部よりも厚い第２壁部とによって段差状を呈しており、前記第１壁部と前記第２壁部には、前記圧力流体を流動させる流路が設けられ、前記第２壁部には、前記圧力流体が流動する流路を切り換える流路切換部が設けられる。

【発明の効果】

【0008】

上記の流体圧シリンダは、ヘッド側シリンダ室又はロッド側シリンダ室からの圧力流体の供給・排出を切り換える電磁弁を備えることで、流体圧シリンダの実際の使用時に、電磁弁を改めて装着する必要がなくなる。また、断面視でシリンダ孔及びピストンの外縁が多角形状に形成されているので、断面視で円形状のシリンダ孔及びピストンと比べて、圧力流体が押圧するピストンの面積を充分に確保しつつ、ボディを小型化することができる。そして、ボディの仮想外形よりも内側に電磁弁が配置されるため、流体圧シリンダは、使用時にシステム全体として大型化することがなく、ユーザは設置の設計等を良好に行うことができる。すなわち、流体圧シリンダは、簡単な構成によって、使用時における大幅な省スペース化と、使用性の向上とを図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本発明の一実施形態に係る流体圧シリンダの全体構成を示す斜視図である。

【図2】流体圧シリンダを基端方向から見た図である。

【図3】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。

【図4】図１のＩＶ−ＩＶ線断面図である。

【図5】図１のＶ−Ｖ線断面図である。

【図6】電磁弁及び電磁弁に圧力流体を流動させる構造部分を示す部分断面図である。

【図7】図７Ａは、スプールが第１位置に配置された場合の圧力流体の流動を示す説明図である。図７Ｂは、スプールが第２位置に配置された場合の圧力流体の流動を示す説明図である。

【図8】変形例に係る流体圧シリンダの全体構成を示す斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本発明について好適な実施形態を挙げ、添付の図面を参照して詳細に説明する。

【0011】

本発明の一実施形態に係る流体圧シリンダ１０は、図１に示すように、シリンダ孔１４を内部に有するボディ１２を備える。なお、以下の説明では、図１中の矢印表記に基づき、ボディ１２の先端方向及び基端方向に沿う方向を矢印Ａ方向ともいい、ボディ１２の幅方向に沿う方向を矢印Ｂ方向ともいい、ボディ１２の厚み方向に沿う方向を矢印Ｃ方向ともいう。

【0012】

ボディ１２は、矢印Ａ１側の先端面１６、矢印Ａ２側の基端面１８、矢印Ｂ１側の第１側面２０、矢印Ｂ２側の第２側面２２、矢印Ｃ１側の第３側面２４、矢印Ｃ２側の第４側面２６を有する、すなわち複数の表面を有する直方形状に形成されている。

【0013】

また図１及び図２に示すように、ボディ１２は、流体圧シリンダ１０を適宜の取付対象に固定するための複数（図１中では２つ）の固定用孔部２８を有する。２つの固定用孔部２８は、先端面１６及び基端面１８の角部近傍で相互に対角の位置に設けられている。各固定用孔部２８は、ボディ１２の矢印Ａ方向に貫通形成されている。固定用孔部２８は、流体圧シリンダ１０を取付対象にねじ止めするための雌ネジ部を有していてもよい。

【0014】

ボディ１２のシリンダ孔１４は、矢印Ａ方向に延在し、先端面１６と基端面１８を貫通している。つまり、ボディ１２は、シリンダ孔１４を囲う筒形状（シリンダチューブ）に構成されている。図３に示すように、シリンダ孔１４には、ピストン３０と、ピストン３０に固定されるピストンロッド３２とが変位可能に収容される。

【0015】

シリンダ孔１４は、延在方向と直交する断面視（図５も参照）で、ボディ１２を構成する複数の表面（第１〜第４側面２０、２２、２４、２６）に対して平行な辺を有する多角形状に形成されている。つまり、シリンダ孔１４を構成するボディ１２の内周面は、矢印Ｂ方向（短手方向）に扁平であり、且つＲ状の角部を有する六角形状を呈している。

【0016】

詳細には、図２及び図５に示すように、ボディ１２の内周面は、第１側面２０に平行且つ近接している第１内周面１４ａと、第２側面２２に平行且つ近接している第２内周面１４ｂと、第３側面２４に平行且つ近接している第３内周面１４ｃと、第４側面２６に平行且つ近接している第４内周面１４ｄとを含む。また内周面は、第１内周面１４ａと第４内周面１４ｄの間を傾斜する第５内周面１４ｅと、第２内周面１４ｂと第３内周面１４ｃの間を傾斜する第６内周面１４ｆとを有する。第１内周面１４ａと第２内周面１４ｂは相互に平行に対向しており、第３内周面１４ｃと第４内周面１４ｄは相互に平行に対向している。第５内周面１４ｅと第６内周面１４ｆは、相互に平行に対向し、また第１〜第４内周面１４ａ〜１４ｄの断面寸法より短い断面寸法に設定されている。さらに、第５及び第６内周面１４ｅ、１４ｆの外側の近傍位置には、上記の固定用孔部２８が存在する。これら第１〜第６内周面１４ｆの各々は、ボディ１２の軸方向（矢印Ａ方向）に沿って相互に平行に（断面形状を変化させずに）延在している。

【0017】

図２及び図３に示すように、ボディ１２は、シリンダ孔１４の基端側の内周面にヘッドカバー３４を備える。ヘッドカバー３４は、シリンダ孔１４の基端を気密に閉塞する。このため、ヘッドカバー３４の外縁は、シリンダ孔１４の断面形状（六角形状）に一致している。

【0018】

また、ボディ１２は、シリンダ孔１４の先端側の内周面にロッドガイド構造３６を備える。ロッドガイド構造３６は、ピストン３０及びピストンロッド３２の離脱を防止すると共に、ピストンロッド３２の変位をガイドする機能を有する。例えば、ロッドガイド構造３６は、支持部材３８（第１支持部材３８ａ、第２支持部材３８ｂ）と、ロッドカバー４０と、止め輪４２とを含んで構成される。

【0019】

第１支持部材３８ａは、矢印Ａ方向に所定の厚さを有する板状に形成され、シリンダ孔１４を構成するボディ１２の内周面に係止される。第２支持部材３８ｂは、第１支持部材３８ａよりも薄い板状に形成され、第１支持部材３８ａよりもシリンダ孔１４の奥側（矢印Ａ２側）においてボディ１２の内周面に形成される。第１及び第２支持部材３８ａ、３８ｂの外縁は、シリンダ孔１４の六角形状に一致している。また第１及び第２支持部材３８ａ、３８ｂは、その中心部に形成された円形状のカバー用孔部により、ロッドカバー４０を固定している。

【0020】

ロッドカバー４０は、リング状の部材であり、ピストンロッド３２を通す貫通孔４０ａを内側に備える。ロッドカバー４０の外周面は、ボディ１２の軸方向に沿った断面視（側面断面視）で、先端側に向かって外径が段々に（３段階で）小径となっている。ロッドカバー４０は、最も小径の外周面が第１支持部材３８ａに固定支持され、次に小径の外周面が第２支持部材３８ｂに固定支持され、最も大径の外周部の先端面が第２支持部材３８ｂの基端面に引っ掛かるように固定される。

【0021】

ロッドカバー４０の貫通孔４０ａは、ピストンロッド３２の一部をボディ１２の外部（先端側）に露出させる。貫通孔４０ａを構成するロッドカバー４０の内周面には、シール部材４４が設けられている。シール部材４４は、ピストンロッド３２の外周面に対し気密に接触する。すなわち、ロッドカバー４０は、シリンダ孔１４内の圧力流体の流出を規制しつつ、ピストンロッド３２の移動をガイドすることが可能である。また、止め輪４２は、ボディ１２の内周面に係止されて、ロッドガイド構造３６の離脱を防止する。

【0022】

ピストン３０は、シリンダ孔１４に配置された状態で、シリンダ孔１４の空間を２つの空間に区画する。具体的には、ピストン３０の基端側にヘッド側シリンダ室４６が形成されると共に、ピストン３０の先端側にロッド側シリンダ室４８が形成される。

【0023】

ヘッド側シリンダ室４６は、ピストン３０と、ヘッドカバー３４の先端面と、ボディ１２の内周面とに囲われて構成される。ヘッド側シリンダ室４６の第５内周面１４ｅには、圧力流体を流入又は流出するためのヘッド側開口４６ａが設けられている。ロッド側シリンダ室４８は、ピストン３０と、ロッドガイド構造３６の基端面と、ボディ１２の内周面とに囲われて構成される。ロッド側シリンダ室４８の第５内周面１４ｅには、圧力流体を流入又は流出するためのロッド側開口４８ａが設けられている。

【0024】

ピストン３０は、シリンダ孔１４を構成するボディ１２の内周面を摺動可能且つヘッド側シリンダ室４６とロッド側シリンダ室４８を気密に遮断する。ピストン３０は、複数の部材を組み合わせた構造体として構成されている。詳細には、ピストンロッド３２に直接装着される装着部材５０と、装着部材５０の基端側に固定される基端側ダンパ５２と、装着部材５０の外周面に固定されるウェアリング５４と、ウェアリング５４の先端側に配置されるプレートリング５６と、装着部材５０の先端側でピストンロッド３２に固定されるスペーサ５８と、スペーサ５８の先端側でピストンロッド３２に固定される先端側ダンパ６０とを有する。

【0025】

装着部材５０は、所定の厚みを有する円盤状に形成され、ピストンロッド３２の基端に固定されることで、ピストンロッド３２の基端より基端側に短く突出している。装着部材５０の内側の内周面はフック状に形成され、リング状に形成された基端側ダンパ５２を係止している。

【0026】

また、装着部材５０の外周面は、基端側に向かって段々に（４段階で）大径となっている。装着部材５０は、最も先端側で小径の外周面にプレートリング５６が固定され、２段目と３段目の外周面にウェアリング５４が固定され、また最も大径の外周部の先端面がウェアリング５４の基端面に引っ掛かるように構成される。

【0027】

ウェアリング５４は、矢印Ａ方向に充分な厚みを有し、またその外縁（外周面）は、断面視で、シリンダ孔１４の多角形状（六角形状）に一致する形状に形成されている。ウェアリング５４の外周面付近の内部には、図示しないマグネットが設けられていれる。また、ウェアリング５４とプレートリング５６の間には、ピストンパッキン６２が挟み込まれる。ピストンパッキン６２は、シリンダ孔１４を構成するボディ１２の内周面に接触することで、ヘッド側シリンダ室４６とロッド側シリンダ室４８との間を気密に区画する。

【0028】

また、ウェアリング５４に設けられるマグネットは、後述の検出センサ６６によりピストン３０の位置を検出させる部材である。さらに、先端側ダンパ６０は、ピストン３０の先端方向の移動時に、ストロークエンドにおいてロッドカバー４０の基端面に接触することで、移動時の衝撃を緩和する。

【0029】

一方、ピストンロッド３２は、中実の円柱体に構成され、シリンダ孔１４の軸（矢印Ａ方向）に沿って所定長さ（シリンダ孔１４の全長よりも長い寸法で）延在している。ピストンロッド３２は、ピストンロッド３２の延在部分の直径に比べて小さな直径の被取付部３２ａを基端部に有する。この被取付部３２ａには、ピストン３０の装着部材５０及びスペーサ５８が取り付けられる。

【0030】

また、ピストンロッド３２は、シリンダ孔１４内の基端位置にピストン３０が位置する場合でも、ロッドカバー４０の貫通孔４０ａを通ってボディ１２よりも先端側に突出している。ピストンロッド３２の先端部には、ピストンロッド３２の先端面から基端方向に向かって所定深さ穿設された凹部３２ｂが形成されている。凹部３２ｂには、流体圧シリンダ１０の使用時に図示しないプレート等が取り付けられる。これにより、流体圧シリンダ１０は、ピストンロッド３２の移動に伴いプレートに配置されるワーク（不図示）を変位させる。

【0031】

また図１及び図２に示すように、流体圧シリンダ１０は、ボディ１２の第３及び第４側面２４、２６の各々に一対のセンサ取付溝６４を備える。センサ取付溝６４は、第３及び第４側面２４、２６に対して浅く且つ平たく窪み、軸方向（矢印Ａ方向）に沿って直線状に延びている。各センサ取付溝６４には、ピストン３０（マグネット）の移動位置を検出する検出センサ６６がそれぞれ収納される。

【0032】

さらに、流体圧シリンダ１０は、第１側面２０を構成するボディ１２の壁部を、他の側面（第２〜第４側面２２、２４、２６）を構成するボディ１２の壁部よりも多少厚く形成している。第１側面２０の壁部（以下、構造壁６８という）には、シリンダ孔１４のヘッド側シリンダ室４６とロッド側シリンダ室４８とに圧力流体を供給又は排出する機構が設けられている。

【0033】

具体的には、構造壁６８は、シリンダ孔１４（第１内周面１４ａ）に対して第１の厚さを有する第１壁部７０と、シリンダ孔１４に対して第１の厚さよりも厚い第２の厚さを有する第２壁部７２とを有する。第２壁部７２は、第１側面２０の矢印Ｃ２側の一辺に連続するように形成され、且つボディ１２の矢印Ａ方向（一辺の延在方向）全体にわたって連設されている。つまり、第１側面２０は、矢印Ｃ方向に沿って、第１壁部７０により構成される第１表面７０ａと、第２壁部７２により構成される第２表面７２ａと、からなる段差状に形成される。第１表面７０ａと第２表面７２ａの間には、中間表面７１ａ（第２壁部７２の側面）が形成されている。構造壁６８の切り欠かれた空間（段差部分の空間）は、後述の電磁弁１３０を配置する電磁弁配置空間７４に構成されている。

【0034】

そして図１、図４及び図５に示すように、構造壁６８の内部には、圧力流体の流路７６と、流路７６を切り換える流路切換部７８とが設けられている。流路切換部７８は、電磁弁１３０の動作下に変位するスプール８０と、スプール８０を移動可能に収容し、また流路７６が連通するスプール収容空間８２とを含む。

【0035】

また、構造壁６８（第１壁部７０）の側面を含むボディ１２の第３側面２４には、流路７６に連通するポート群８４が設けられている。ポート群８４は、圧力流体を流路７６に供給する供給ポート８６、圧力流体を流路７６から排出する２つの排出ポート８８、及び２つのコントローラ用ポート９０を含む。より詳細には、第３側面２４は、矢印Ａ方向中央部に供給ポート８６を備え、この供給ポート８６に隣接し供給ポート８６を間に挟むように２つのコントローラ用ポート９０を備え、さらに２つのコントローラ用ポート９０を挟むように２つの排出ポート８８を備える。各ポートは、ボディ１２の矢印Ａ方向に沿って概ね並ぶように設置されている。

【0036】

供給ポート８６には、流体圧シリンダ１０の使用時に図示しない継手が挿入及び固定される。継手は、圧力流体供給装置２００に接続され、圧力流体供給装置２００から供給される圧力流体を供給ポート８６に流入させる。２つの排出ポート８８は、ヘッド側シリンダ室４６の圧力流体を大気に放出するヘッド側排出ポート８８ａと、ロッド側シリンダ室４８の圧力流体を大気に放出するロッド側排出ポート８８ｂとからなる。なお、排出ポート８８には、圧力流体の排出音を低減するサイレンサ（不図示）が収容されていてもよい。

【0037】

流路７６は、上記のポート群８４と、ヘッド側シリンダ室４６及びロッド側シリンダ室４８との間で圧力流体を流動させる際に、スプール収容空間８２を経由するように構成されている。このため、ポート群８４とスプール収容空間８２の間には、流路７６として、供給ポート８６とスプール収容空間８２の間を接続する供給路９２、ヘッド側排出ポート８８ａとスプール収容空間８２の間を接続するヘッド側排出路９４、及びロッド側排出ポート８８ｂとスプール収容空間８２の間を接続するロッド側排出路９６が設けられる。

【0038】

供給路９２は、第３側面２４の供給ポート８６から矢印Ｃ２側に向かって直線状に延在している。ヘッド側排出路９４は、スプール収容空間８２から矢印Ｃ１側に直線状に延在して、矢印Ｃ１側の第１途中位置９４ａで矢印Ａ２側に９０°屈曲し、第１途中位置９４ａに近い第２途中位置９４ｂで矢印Ｃ１側に９０°屈曲してヘッド側排出ポート８８ａに連通している。このヘッド側排出路９４の第１途中位置９４ａには、コントローラ用ポート９０が設けられ、ヘッド側スピードコントローラ９０ａが配置されている。ロッド側排出路９６は、スプール収容空間８２から矢印Ｃ１側に直線状に延在して、矢印Ｃ１側の第１途中位置９６ａで矢印Ａ１側に９０°屈曲し、第１途中位置９６ａに近い第２途中位置９６ｂで矢印Ｃ１側に屈曲してロッド側排出ポート８８ｂに連通している。このロッド側排出路９６の第１途中位置９６ａには、コントローラ用ポート９０が設けられ、ロッド側スピードコントローラ９０ｂが配置されている。

【0039】

また、スプール収容空間８２とヘッド側シリンダ室４６の間には、流路７６としてヘッド側連通路９８が設けられ、スプール収容空間８２とロッド側シリンダ室４８との間には、流路７６としてロッド側連通路１００が設けられる。ヘッド側連通路９８とロッド側連通路１００は、相互に非連通に形成される。

【0040】

ヘッド側連通路９８は、スプール収容空間８２の矢印Ｂ１側の内周面に連通しており、スプール収容空間８２から矢印Ｃ２側に短く延在している。そして、ヘッド側連通路９８は、第１曲点９８ａにおいて９０°屈曲して矢印Ａ２側に延在し、続く第２曲点９８ｂにおいて９０°屈曲して矢印Ｂ２側に延在することで、ヘッド側シリンダ室４６のヘッド側開口４６ａに連通している。

【0041】

同様に、ロッド側連通路１００は、スプール収容空間８２の矢印Ｂ１側の内周面に連通しており、スプール収容空間８２から矢印Ｃ２側に短く延在している。そして、ロッド側連通路１００は、第１曲点１００ａにおいて９０°屈曲して矢印Ａ１側に延在し、続く第２曲点１００ｂにおいて９０°屈曲して矢印Ｂ２側に延在することで、ロッド側シリンダ室４８のロッド側開口４８ａに連通している。

【0042】

さらに、流路７６は、供給路９２の途中位置に、電磁弁１３０が設置された第１側面２０に向けて圧力流体を流動させる第１分岐通路１０２（パイロット通路）を有する。この第１分岐通路１０２は、第１側面２０の開口から電磁弁１３０の内部に連通している。また、スプール収容空間８２において供給路９２が連通する軸方向中央位置には、供給路９２に対して常に連通する第２分岐通路１０４が設けられている。第２分岐通路１０４は、スプール収容空間８２よりも矢印Ｂ１側の第２壁部７２内において矢印Ａ１側に延在し、スプール収容空間８２の先端側に設けられた第１圧力室１１２に連通している。

【0043】

以上の流路７６は、ボディ１２の製造時に、ボディ１２の表面から内部に向かって孔を穿設することで形成される。このため、ボディ１２の内部には流路７６に連通しているものの、圧力流体が流動しない成形用通路１０６が存在する。ポート群８４以外でボディ１２の表面に開口する箇所の成形用通路１０６には、流路７６からボディ１２の外部への圧力流体の流出を防止する鋼球１０８（閉塞体）が挿入されている。

【0044】

構造壁６８内のスプール収容空間８２は、矢印Ａ方向に延在する細長い空洞状に形成され、上述した流路７６が適宜の位置に接続されている。詳細には、スプール収容空間８２には、基端（矢印Ａ２側）から先端（矢印Ａ１側）に向かって順に、ヘッド側排出路９４、ヘッド側連通路９８、供給路９２、ロッド側連通路１００、ロッド側排出路９６が連通している。スプール収容空間８２において各流路７６が接続される箇所は、大径の空洞に形成され、それ以外の箇所は小径に形成されている。つまり、スプール収容空間８２は、ボディ１２の内周面から径方向内側に突出する複数の内側凸部１１０を有する。

【0045】

また、スプール収容空間８２は、第１圧力室１１２を先端側に有する一方で、第２圧力室１１４を基端側に有する。第１圧力室１１２は、スプール８０の先端方向の移動を規制する規制部材１１６によって気密に閉塞されている。一方、第２圧力室１１４は、電磁弁１３０の作用下に変位する電磁弁ピストン部１１８によって構成されている。この電磁弁ピストン部１１８については後に詳述する。

【0046】

スプール８０は、中実状の棒体に形成され、外周面から径方向外側に突出する環状凸部１２０を軸方向（矢印Ａ方向）に沿って複数有する。環状凸部１２０の外周面には、内側凸部１１０との間でスプール収容空間８２を気密に閉塞可能な閉塞リング１２０ａが設けられている（図７Ａ参照）。

【0047】

スプール８０は、電磁弁配置空間７４に配置された電磁弁１３０の動作下に、スプール収容空間８２の軸方向（矢印Ａ方向）に変位する。具体的には、スプール８０は、電磁弁１３０の非通電に伴い電磁弁ピストン部１１８側の第１位置に位置し、電磁弁１３０の通電に伴い規制部材１１６側の第２位置に位置する。複数の環状凸部１２０は、第１位置と第２位置とで、スプール収容空間８２の接触対象（内側凸部１１０）を適宜変えることで、内側凸部１１０と協働してスプール収容空間８２内での圧力流体の流動を部分的に遮断する。

【0048】

スプール８０が第１位置にある場合は、供給路９２とロッド側連通路１００がスプール収容空間８２を介して連通する一方で、ヘッド側排出路９４とヘッド側連通路９８がスプール収容空間８２を介して連通する（図７Ａも参照）。この際、スプール収容空間８２のロッド側排出路９６の連通箇所よりも基端側の内側凸部１１０がスプール８０の環状凸部１２０に接触する。これにより、ロッド側排出路９６は、供給路９２とロッド側連通路１００が連通する空間に対して気密に遮断される。

【0049】

一方、スプール８０が第２位置にある場合は、供給路９２とヘッド側連通路９８がスプール収容空間８２を介して連通する一方で、ロッド側排出路９６とロッド側連通路１００がスプール収容空間８２を介して連通する（図７Ｂも参照）。この際、スプール収容空間８２のヘッド側排出路９４の連通箇所よりも先端側の内側凸部１１０がスプール８０の環状凸部１２０に接触する。これによりヘッド側排出路９４は、供給路９２とヘッド側連通路９８が連通する空間に対して気密に遮断される。

【0050】

また図５及び図６に示すように、スプール８０の第１位置及び第２位置に関わらず、供給ポート８６から供給される圧力流体の一部は、第１分岐通路１０２を介して電磁弁１３０に供給される。さらにスプール収容空間８２に流入した圧力流体の他の一部は、第２分岐通路１０４を介して第１圧力室１１２にも供給される。

【0051】

電磁弁１３０は、構造壁６８の第１表面７０ａ（第１壁部７０）と中間表面７１ａに固定されることで、ボディ１２の切り欠かれた空間（電磁弁配置空間７４）に配置される。この電磁弁１３０は、上述したように、スプール収容空間８２内においてスプール８０を第１位置と第２位置とに移動させる。本実施形態において、電磁弁１３０は、省電力化を図ることが可能なパイロット式電磁弁を適用している。なお、スプール８０を移動させる構成は、パイロット式電磁弁に限定されるものではなく、例えば、直動式の電磁弁１３０によりスプール８０を移動させてもよい。

【0052】

図１に示すように、電磁弁配置空間７４は、ボディ１２の先端面１６、基端面１８、第３側面２４に開放されており、また設置した電磁弁１３０が構造壁６８の第２表面７２ａ、先端面１６、基端面１８及び第３側面２４に対して突出しないサイズで切り欠かれている。すなわち、ボディ１２は、各表面（先端面１６、基端面１８、第１〜第４側面２０、２２、２４、２６）の最も突出する面によって仮想外形１２２を設定（形成）した場合に、仮想外形１２２よりも内側に電磁弁１３０を配置している。換言すれば、電磁弁１３０は、ボディ１２の直方形状の表面（仮想外形１２２）から突出せずに一体化されている。

【0053】

図６に示すように、電磁弁１３０は、構造壁６８の第１壁部７０に直接連結される第１ハウジング１３２と、この第１ハウジング１３２に直接連結される第２ハウジング１３４とを有する。また、ボディ１２の構造壁６８には、電磁弁１３０の設置位置に対応して、上述した電磁弁ピストン部１１８と、電磁弁１３０内の流路（第１ハウジング流路１４０）に連通する電磁弁連通構造１３６が設けられている。

【0054】

具体的には、図４に示すように、電磁弁ピストン部１１８は、パイロットピストン１２４と、スプール収容空間８２に連通しパイロットピストン１２４を移動可能に配置したピストン収容空間１２６とを有する。パイロットピストン１２４は、スプール８０の基端に連結され、またピストン収容空間１２６を構成する内周面に気密に接触するピストンパッキン１２４ａを外周面に有する。すなわち、ピストン収容空間１２６は、パイロットピストン１２４の収容に伴い、スプール収容空間８２に連通する部分と、第２圧力室１１４とに区画される。

【0055】

第２圧力室１１４の基端（矢印Ａ２側）は、栓部材１２８ａ及び係止部材１２８ｂによって気密に閉塞されている。図６に示すように、第２圧力室１１４には、電磁弁連通構造１３６が連通する第２圧力室開口１１４ａが設けられている。また、パイロットピストン１２４及びピストン収容空間１２６の直径は、スプール８０の直径よりも充分に大きく設定されている。このため、第２圧力室１１４に流入した圧力流体は、スプール収容空間８２（第１圧力室１１２）において圧力流体がスプール８０にかける圧力よりも大きな圧力をパイロットピストン１２４に付与する。

【0056】

電磁弁連通構造１３６は、第１圧力室１１２と、第２圧力室１１４とに圧力流体を選択的に流動させる。電磁弁連通構造１３６は、上述の第１分岐通路１０２と、第２分岐通路１０４とを含み、さらに第１ハウジング１３２の設置面（第１壁部７０との対向面）に設けられた電磁弁側開口１３８ａから第２圧力室１１４まで連通する第２圧力室連通路１３８を有する。

【0057】

第２分岐通路１０４は、スプール収容空間８２から第１圧力室１１２に圧力流体を定常的に流動させることで、第１圧力室１１２からスプール８０を基端方向に押圧する。スプール８０の先端側（矢印Ａ１側）は、パイロットピストン１２４に比べて小さな断面積に形成され、スプール収容空間８２の第１位置にスプール８０を配置させる。

【0058】

第１分岐通路１０２及び第２圧力室連通路１３８は、電磁弁１３０を介して圧力流体を流動させる。そして電磁弁１３０の通電状態で、第２圧力室１１４に圧力流体を流動させることで、パイロットピストン１２４を先端方向に押圧する。パイロットピストン１２４は、第１圧力室１１２よりも大きな押圧力を第２圧力室１１４から受けることで、スプール収容空間８２の第２位置にスプール８０を配置させる。

【0059】

また、電磁弁１３０の第１ハウジング１３２内には、第１分岐通路１０２及び電磁弁側開口１３８ａに連通する第１ハウジング流路１４０と、第１ハウジング流路１４０に連通する手動操作子空間１４２とが形成されている。第２ハウジング１３４内には、第２ハウジング流路１４４が形成されると共に、電力ポート１４６、基板１４８、コイル１５０、可動弁部１５２等が設けられている。電力ポート１４６は、ボディ１２の第３側面２４側に位置し、また第３側面２４から突出しないように配置される。基板１４８は、電力ポート１４６を介して図示しない電源に電気的に接続され、設定されたタイミングでコイル１５０への通電及び非通電を切り換える機能を有する。

【0060】

第１ハウジング流路１４０は、第１分岐通路１０２から手動操作子空間１４２を介して第２ハウジング流路１４４に連通する第１通路１４０ａと、手動操作子空間１４２を介して第２ハウジング流路１４４から第２圧力室連通路１３８に連通する第２通路１４０ｂと、第１ハウジング１３２の外部に連通する排出通路１４０ｃを有する。

【0061】

一方、第２ハウジング流路１４４は、第１ハウジング１３２の第１通路１４０ａと第２通路１４０ｂを連通し、その途中位置に可動弁部１５２が進退可能に配置されている。可動弁部１５２は、例えば、コイル１５０の電磁作用下に変位する弁本体と、弁本体の周囲を支持すると共に第２ハウジング１３４に連結されるダイヤフラムと、を有する（共に不図示）。

【0062】

電磁弁１３０は、コイル１５０の非通電状態で、可動弁部１５２が第２ハウジング流路１４４の連通を遮断する。そのため、第１通路１４０ａ（第１分岐通路１０２）に圧力流体が流動しなくなり、第２分岐通路１０４から第１圧力室１１２に導かれた圧力流体がスプール８０を押圧する。一方、電磁弁１３０は、コイル１５０の通電状態で、可動弁部１５２が変位して第２ハウジング流路１４４を連通させる。この結果、圧力流体は、第１通路１４０ａ、第２ハウジング流路１４４、第２通路１４０ｂ、第２圧力室連通路１３８を介して第２圧力室１１４に導かれる。第２圧力室１１４に流入した圧力流体は、第１圧力室１１２の内圧よりも強い押圧力でパイロットピストン１２４を押圧することで、パイロットピストン１２４を先端側に移動させる。これによりパイロットピストン１２４は、コイル１５０の通電状態で、スプール８０を第２位置に位置させる。

【0063】

また、第１ハウジング１３２の手動操作子空間１４２は、第１ハウジング１３２を矢印Ｃ方向に延在して端部で開放しており、その内部には手動操作子１５４が配置される。手動操作子１５４は、第１ハウジング１３２の手動操作子空間１４２に設けられたクリップ構造に螺合することで変位することが可能である。すなわち、ユーザは、手動操作子空間１４２の上部に露出される頭部１５４ａを手動で操作して手動操作子１５４の上下位置を変動させることで、パイロットピストン１２４の基端位置と先端位置とを手動で切り換えることができる。

【0064】

本実施形態に係る流体圧シリンダ１０は、基本的には以上のように構成され、以下その作用効果について説明する。

【0065】

流体圧シリンダ１０は、図１に示すように、ボディ１２の電磁弁配置空間７４に電磁弁１３０を備えた状態で製品提供され、使用者によって取付対象に設置される。ここで、流体圧シリンダ１０のボディ１２は、電磁弁１３０が仮想外形１２２の内側に配置されている（構造壁６８の第２表面７２ａ、先端面１６、基端面１８、第３側面２４から突出していない）。つまり、流体圧シリンダ１０は、電磁弁１３０を備えていても、ボディ１２が大型化していないので、取付対象のスペースが少なくても容易に（取付対象の設計変更等をせずに）取り付けることができる。

【0066】

図７Ａ及び図７Ｂに示すように、流体圧シリンダ１０の供給ポート８６には、圧力流体供給装置２００に繋がる継手が挿入及び固定される。圧力流体供給装置２００は、圧力流体を適宜の供給圧（供給量）で、流体圧シリンダ１０の供給ポート８６に供給する。また、流体圧シリンダ１０の電磁弁１３０には、ユーザにより図示しない電源のプラグが電力ポート１４６に接続される。これにより電磁弁１３０は、基板１４８の制御下にコイル１５０への通電又は非通電が切り換え可能となる。

【0067】

上述したように、流体圧シリンダ１０は、供給路９２、第１分岐通路１０２を介して供給ポート８６に流入した圧力流体の一部を電磁弁１３０にも供給する。電磁弁１３０は、コイル１５０の非通電時に、第１ハウジング流路１４０の連通を遮断することで、スプール収容空間８２、第２分岐通路１０４を通して第１圧力室１１２に圧力流体を流入させ、パイロットピストン１２４を基端方向（基端位置）に押圧するように作用させる。これにより、パイロットピストン１２４に連結されたスプール８０が第１位置に配置される。

【0068】

そして、スプール８０が第１位置に配置された状態では、図７Ａに示すように、供給路９２とロッド側連通路１００がスプール収容空間８２を介して相互に連通する。このため、供給ポート８６に供給された圧力流体は、供給路９２、スプール収容空間８２、ロッド側連通路１００を順に通り、ロッド側開口４８ａからシリンダ孔１４のロッド側シリンダ室４８に供給される。ロッド側シリンダ室４８に供給された圧力流体は、ピストン３０が基端方向に向かうように押圧力を付与する。

【0069】

この押圧力により、流体圧シリンダ１０は、ピストン３０、ピストンロッド３２を基端側に位置させる。ここで、ピストン３０が第１位置よりも先端側に進出していた（ヘッド側シリンダ室４６に圧力流体が流入していた）場合、ピストン３０の基端方向の移動に伴い、ヘッド側シリンダ室４６から圧力流体が排出される。スプール８０が第１位置にあるとき、ヘッド側排出路９４とヘッド側連通路９８は、スプール収容空間８２を介して相互に連通している。このため、ヘッド側シリンダ室４６の圧力流体は、ヘッド側連通路９８、スプール収容空間８２、ヘッド側排出路９４、コントローラ用ポート９０、排出ポート８８を流動する。そして圧力流体は、排出ポート８８から外部（大気）に放出される。

【0070】

圧力流体は、排出時に、コントローラ用ポート９０においてユーザにより適宜の開度に設定されたヘッド側スピードコントローラ９０ａを通ることで、その排出量が調整される。その結果、ヘッド側シリンダ室４６から排出される圧力流体の量、換言すればピストン３０が基端方向に移動する速度が調整される。

【0071】

一方、電磁弁１３０は、コイル１５０の通電時に、第１分岐通路１０２から供給された圧力流体を利用して、パイロットピストン１２４を先端方向に押圧するように作用させる。これにより、パイロットピストン１２４に連結されたスプール８０が第２位置に配置される。

【0072】

そしてスプール８０が第２位置にある状態では、図７Ｂに示すように、供給路９２とヘッド側連通路９８がスプール収容空間８２を介して相互に連通する。このため、供給ポート８６に供給された圧力流体は、供給路９２、スプール収容空間８２、ヘッド側連通路９８を順に通り、ヘッド側開口４６ａからシリンダ孔１４のヘッド側シリンダ室４６に供給される。ヘッド側シリンダ室４６に供給された圧力流体は、ピストン３０が先端方向に向かうように押圧力を付与する。

【0073】

この押圧力により流体圧シリンダ１０は、ピストン３０、ピストンロッド３２を先端側に位置させる。ここで、ピストン３０が進出位置よりも基端側に後退していた（ロッド側シリンダ室４８に圧力流体が流入していた）場合、ピストン３０の先端方向の移動に伴い、ロッド側シリンダ室４８から圧力流体が排出される。スプール８０が第２位置にあるとき、ロッド側排出路９６と、ロッド側連通路１００は、スプール収容空間８２を介して相互に連通している。このため、ロッド側シリンダ室４８の圧力流体は、ロッド側開口４８ａ、ロッド側連通路１００、スプール収容空間８２、ロッド側排出路９６、コントローラ用ポート９０、ロッド側排出ポート８８ｂを流動する。そして圧力流体は、ロッド側排出ポート８８ｂから外部（大気）に放出される。

【0074】

圧力流体は、排出時に、コントローラ用ポート９０においてユーザにより適宜の開度に設定されたロッド側スピードコントローラ９０ｂを通ることで、その排出量が調整される。これにより、ロッド側シリンダ室４８から排出される圧力流体の量、換言すればピストン３０が先端方向に移動する速度が調整される。

【0075】

従って、流体圧シリンダ１０は、供給ポート８６に圧力流体を供給しつつ電磁弁１３０を動作させることで、ピストン３０及びピストンロッド３２を所望の速度で進退させることができる。

【0076】

なお、本発明は、上述の実施形態に限定されず、発明の要旨に沿って種々の改変が可能である。例えば、ボディ１２に設けられる流路７６や流路切換部７８、電磁弁連通構造１３６の構成は、ピストン３０を進退させることができれば自由に設計することが可能である。

【0077】

〔変形例〕
次に、変形例に係る流体圧シリンダ１０Ａについて、図８を参照して説明する。なお、以降の説明において、上述の実施形態と同じ構成又は同じ機能を有する要素には、同じ符号を付してその詳細な説明を省略する。

【0078】

変形例に係る流体圧シリンダ１０Ａは、ボディ１２に取り付けられる電磁弁１３０の向きを、上記の流体圧シリンダ１０の電磁弁１３０の向きに対し９０°回転させている点で異なる。すなわち、電磁弁１３０の第１ハウジング１３２は、ボディ１２の第２壁部７２（中間表面７１ａ）に取り付けられ、第２壁部７２の延在方向（矢印Ａ方向）に沿って延在している。そして第２ハウジング１３４は、第１ハウジング１３２の矢印Ｃ１側に取り付けられている。また、電磁弁１３０の電力ポート１４６は、矢印Ａ１側に向かって突出している。なお具体的な図示は省くが、第２ハウジング１３４内に設けられるコイル１５０、可動弁部１５２等も矢印Ａ方向に沿って配置されている。

【0079】

その一方で、流体圧シリンダ１０Ａは、ボディ１２の流路７６や流路切換部７８、電磁弁連通構造１３６について上述した流体圧シリンダ１０と略同一に構成している。このように、流体圧シリンダ１０、１０Ａは、ボディ１２に対する電磁弁１３０の設置向きについて特に限定されるものではなく、ボディ１２の表面（仮想外形１２２）から電磁弁１３０が突出しないように適宜設計することが可能である。

【0080】

上述の実施形態から把握し得る技術的思想及び効果について、以下に記載する。

【0081】

流体圧シリンダ１０、１０Ａは、ヘッド側シリンダ室４６又はロッド側シリンダ室４８の圧力流体の供給／排出を切り換える電磁弁１３０を予め備える。これにより、流体圧シリンダ１０、１０Ａは、実際の使用時に、電磁弁１３０を改めて装着する必要がなくなる。また流体圧シリンダ１０、１０Ａは、断面視でシリンダ孔１４及びピストン３０の外縁が多角形状に形成されているため、例えば、断面視で円形状のシリンダ孔及びピストンの流体圧シリンダと比べて、圧力流体が押圧するピストン３０の面積を充分に確保しつつ、ボディ１２を小型化（薄型化）することができる。そして、ボディ１２の仮想外形１２２よりも内側に電磁弁１３０が配置されるため、流体圧シリンダ１０、１０Ａは、使用時にシステム全体として大型化することがなく、ユーザは設置の設計等を良好に行うことができる。すなわち、流体圧シリンダ１０、１０Ａは、簡単な構成によって、使用時における大幅な省スペース化と、使用性の向上とを図ることができる。

【0082】

また、ボディ１２の一面（第１側面２０）は、第１壁部７０と、第１壁部７０よりも厚い第２壁部７２とによって段差状を呈しており、第１壁部７０と第２壁部７２には、圧力流体を流動させる流路７６が設けられ、第２壁部７２には、圧力流体が流動する流路７６を切り換える流路切換部７８が設けられる。これにより、流体圧シリンダ１０、１０Ａは、ヘッド側シリンダ室４６、ロッド側シリンダ室４８への圧力流体の選択的な供給と、ヘッド側シリンダ室４６、ロッド側シリンダ室４８からの圧力流体の選択的な排出とを簡単に切り換えることができる。また、流体圧シリンダ１０、１０Ａは、第２壁部７２に流路切換部７８を備えることで、流路切換部７８の形成分に応じてボディ１２を大きくしなくてもよくなり、一層の小型化が図られる。

【0083】

また、流路切換部７８は、電磁弁１３０の動作下に変位するスプール８０と、スプール８０を移動可能に収容し流路７６が連通するスプール収容空間８２と、を含み、スプール収容空間８２は、第２壁部７２の長手方向に沿って延在している。これにより、流体圧シリンダ１０、１０Ａは、電磁弁１３０によるスプール８０の移動に基づき、圧力流体が流動する流路７６を円滑に切り換えることが可能となる。特に、第２壁部７２の長手方向にスプール収容空間８２を備えるので、スプール８０を移動可能な空間を充分に確保することができる。

【0084】

また、流路７６は、スプール収容空間８２に圧力流体を供給する供給路９２と、スプール収容空間８２とヘッド側シリンダ室４６の間を連通するヘッド側連通路９８と、スプール収容空間８２とロッド側シリンダ室４８の間を連通するロッド側連通路１００と、スプール収容空間８２を介してヘッド側シリンダ室４６の圧力流体を排出するヘッド側排出路９４と、スプール収容空間８２を介してロッド側シリンダ室４８の圧力流体を排出するロッド側排出路９６と、を含む。これにより、流体圧シリンダ１０、１０Ａは、スプール収容空間８２を経由して、供給路９２からヘッド側シリンダ室４６、ロッド側シリンダ室４８に圧力流体を流動させ、またヘッド側シリンダ室４６からヘッド側排出路９４、ロッド側シリンダ室４８からロッド側排出路９６へ圧力流体を流動させる。そして、スプール収容空間８２では、スプール８０の位置によって流路７６を適切に切り換えることができる。

【0085】

また、供給路９２は、一面（第１側面２０）に直交する側面（第３側面２４）に設けられた供給ポート８６に連通し、ヘッド側排出路９４は、側面に設けられたヘッド側排出ポート８８ａに連通し、ロッド側排出路９６は、側面に設けられたロッド側排出ポート８８ｂに連通し、ヘッド側排出路９４の途中位置には、側面から露出され、圧力流体の排出量を調整可能なヘッド側スピードコントローラ９０ａが設けられ、ロッド側排出路９６の途中位置には、側面から露出され、圧力流体の排出量を調整するロッド側スピードコントローラ９０ｂが設けられる。流体圧シリンダ１０、１０Ａは、ヘッド側スピードコントローラ９０ａをヘッド側排出路９４に備え、ロッド側スピードコントローラ９０ｂをロッド側排出路９６に備えることで、ユーザにより圧力流体の排出速度を調整させることができる。これにより流体圧シリンダ１０、１０Ａは、ピストン３０の移動速度を良好に設定することができる。

【0086】

また、電磁弁１３０は、当該電磁弁１３０に電力を供給する電力ポート１４６を有し、電力ポート１４６の延在方向は、供給ポート８６の延在方向と同一である。流体圧シリンダ１０は、電力ポート１４６と供給ポート８６の延在方向が同一であることで、電力ポート１４６に接続する電源のプラグと、供給ポート８６に接続する継手とを同方向の姿勢で延在させることができる。これにより、流体圧シリンダ１０の使用時に、プラグや継手の延在方向以外の表面が、仮想外形１２２よりも大きく膨らむことが抑制される。

【0087】

また、第２壁部７２は、一面（第１側面２０）の一辺に連続するように形成され、且つ一辺の延在方向全体にわたって連設されている。これにより、流体圧シリンダ１０、１０Ａは、第２壁部７２を第１側面２０の一辺側に寄せて形成することができ、電磁弁１３０を配置する電磁弁配置空間７４（切り欠かれた空間）の容積が大きくなる。このため、電磁弁１３０を仮想外形１２２から突出させずに良好に設置することができる。

【0088】

また、第２壁部７２は、ピストン３０の移動方向と平行に延在している。これにより、流体圧シリンダ１０、１０Ａは、ピストン３０の移動の障害となることなく、第２壁部７２に流路切換部７８を設けることが可能となり、また第２壁部７２の厚みを抑制することができる。その結果、ボディ１２の小型化をより一層促進することができる。

【0089】

また、電磁弁１３０は、流路７６に連通し、流路７６から供給される圧力流体を内部に流入して、圧力流体に基づき流路切換部７８を動作させるパイロット式電磁弁である。このようにパイロット式電磁弁を適用することにより、流体圧シリンダ１０、１０Ａは、電磁弁１３０の駆動を省電力化しつつ、スプール８０の移動を安定的に行うことができる。

【0090】

また、シリンダ孔１４の内周面は、延在方向と直交する断面視で、表面に対して傾斜する傾斜内周面（第５内周面１４ｅ、第６内周面１４ｆ）を有し、ボディ１２は、傾斜内周面の近傍位置に、当該ボディ１２を取付対象に固定するための固定用孔部２８を有する。流体圧シリンダ１０、１０Ａは、第５内周面１４ｅ、第６内周面１４ｆの近傍位置に固定用孔部２８を有することで、ボディ１２を大型化せずに、取付対象に取り付けることが可能となる。

【符号の説明】

【0091】

１０、１０Ａ…流体圧シリンダ １２…ボディ
１４…シリンダ孔 １４ａ〜１４ｆ…第１〜第６内周面
１６…先端面 １８…基端面
２０、２２、２４、２６…第１〜第４側面 ２８…固定用孔部
３０…ピストン ３２…ピストンロッド
４６…ヘッド側シリンダ室 ４８…ロッド側シリンダ室
７０…第１壁部 ７０ａ…第１表面
７２…第２壁部 ７２ａ…第２表面
７４…電磁弁配置空間 ７６…流路
７８…流路切換部 ８０…スプール
８２…スプール収容空間 ８６…供給ポート
８８ａ…ヘッド側排出ポート ８８ｂ…ロッド側排出ポート
９０ａ…ヘッド側スピードコントローラ ９０ｂ…ロッド側スピードコントローラ
９２…供給路 ９４…ヘッド側排出路
９６…ロッド側排出路 ９８…ヘッド側連通路
１００…ロッド側連通路 １３０…電磁弁
１４６…電力ポート

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】