特許 6906108 吸着ノズル管理装置と吸着ノズル管理方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】6906108

(24)【登録日】2021年6月30日

(45)【発行日】2021年7月21日

(54)【発明の名称】吸着ノズル管理装置と吸着ノズル管理方法

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/04 20060101AFI20210708BHJP

   B08B 3/02 20060101ALI20210708BHJP

【ＦＩ】

   H05K13/04 A

   B08B3/02 Z

【請求項の数】3

【全頁数】17

(21)【出願番号】特願2020-525083(P2020-525083)

(86)(22)【出願日】2018年6月18日

(86)【国際出願番号】JP2018023080

(87)【国際公開番号】WO2019244196

(87)【国際公開日】20191226

【審査請求日】2020年9月3日

(73)【特許権者】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000992

【氏名又は名称】特許業務法人ネクスト

(74)【代理人】

【識別番号】100162237

【弁理士】

【氏名又は名称】深津 泰隆

(74)【代理人】

【識別番号】100191433

【弁理士】

【氏名又は名称】片岡 友希

(72)【発明者】

【氏名】大野 実可子

【審査官】 井上 信

(56)【参考文献】

【文献】 国際公開第２０１７／０２９７３１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 国際公開第２０１６／１８９６８２（ＷＯ，Ａ１）

【文献】 特開２００８−６０４６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００６−２０５０４４（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２００５−１３９６３（ＪＰ，Ａ）

【文献】 特開２０１６−１０７７８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】（Int.Cl.，ＤＢ名）

Ｈ０５Ｋ １３／０４

Ｂ０８Ｂ ３／０２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

胴体筒と、前記胴体筒の内部を移動可能に設けられた吸着管とを有する吸着ノズルを洗浄する洗浄部と、
前記洗浄部で洗浄された前記吸着ノズルを乾燥する乾燥部と、
前記乾燥部で乾燥された前記吸着ノズルの前記吸着管が前記胴体筒の内部を移動する時に生じる荷重を検査する荷重検査部と、
前記荷重検査部の検査結果が合格となるまで、予め設定された回数を限度として、前記乾燥部の乾燥及び前記荷重検査部の検査を繰り返すリトライ制御部とを備える吸着ノズル管理装置。

【請求項2】

前記吸着ノズルの個別情報を有し、前記吸着ノズルに付設された識別媒体と、
前記識別媒体の前記個別情報を読み取るリーダと、
前記リーダで読み取られた前記個別情報と、前記乾燥部の乾燥及び前記荷重検査部の検査が繰り返された回数とが関連づけて記憶される記憶部とを備える請求項１に記載の吸着ノズル管理装置。

【請求項3】

胴体筒と、前記胴体筒の内部を移動可能に設けられた吸着管とを有する吸着ノズルを洗浄する洗浄工程と、
前記洗浄工程で洗浄された前記吸着ノズルを乾燥する乾燥工程と、
前記乾燥工程で乾燥された前記吸着ノズルの前記吸着管が前記胴体筒の内部を移動する時に生じる荷重を検査する荷重検査工程と、
前記荷重検査工程の検査結果が合格となるまで、予め設定された回数を限度として、前記乾燥工程及び前記荷重検査工程を繰り返すリトライ制御工程とを備える吸着ノズル管理方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、吸着ノズルを乾燥する吸着ノズル管理装置と吸着ノズル管理方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

従来より、吸着ノズルの乾燥に関し、種々の技術が提案されている。

【0003】

例えば、下記特許文献１に記載の乾燥方法は、ノズル支持具によって支持された状態の吸着ノズルが、ノズル洗浄装置によって洗浄された後に、その吸着ノズルを乾燥させるノズル乾燥方法であって、ノズル乾燥方法が、ノズル支持具によって支持された状態の吸着ノズルを、保持具によって保持する保持工程と、保持具によって保持された吸着ノズルを、移動装置によってノズル乾燥装置まで移動させる移動工程と、保持具によって保持された吸着ノズルを、ノズル乾燥装置によって乾燥させる第１乾燥工程とを含むことを特徴とする。

【0004】

これにより、洗浄後の吸着ノズルは、自動的に乾燥される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【特許文献1】国際公開第２０１５／１６２６９９号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

さらに、その後において、吸着ノズルを構成する胴体筒と吸着管の相対移動時に生じる荷重（以下、ノズル荷重と称する）について検査が行われると、ノズル荷重が大きいため、吸着ノズルが不合格と判定される場合がある。この点、ノズル荷重は、吸着ノズルがノズル乾燥装置によって再び乾燥されると、小さくなる場合がある。そこで、不合格の吸着ノズルは、オペレータによって、ノズル乾燥装置に移される場合があるが、このような場合では、オペレータの判断や行為が介在するため、ヒューマンエラーが生じる虞がある。

【0007】

そこで、本開示は、上述した点を鑑みてなされたものであり、乾燥された吸着ノズルのノズル荷重を検査した後で吸着ノズルを再び乾燥させる際において、ヒューマンエラーの発生を防止する吸着ノズル管理装置と吸着ノズル管理方法を提供することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本明細書は、胴体筒と、胴体筒の内部を移動可能に設けられた吸着管とを有する吸着ノズルを洗浄する洗浄部と、洗浄部で洗浄された吸着ノズルを乾燥する乾燥部と、乾燥部で乾燥された吸着ノズルの吸着管が胴体筒の内部を移動する時に生じる荷重を検査する荷重検査部と、荷重検査部の検査結果が合格となるまで、予め設定された回数を限度として、乾燥部の乾燥及び荷重検査部の検査を繰り返すリトライ制御部とを備える吸着ノズル管理装置を開示する。

【発明の効果】

【0009】

本開示によれば、吸着ノズル管理装置は、乾燥された吸着ノズルのノズル荷重を検査した後で吸着ノズルを再び乾燥させる際において、ヒューマンエラーの発生を防止する。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】電子部品装着装置を示す斜視図である。

【図2】吸着ノズルを示す斜視図である。

【図3】ノズル管理装置の外観を示す斜視図である。

【図4】ノズル管理装置の内部構造を示す斜視図である。

【図5】ノズル乾燥装置を示す断面図である。

【図6】ノズル乾燥装置を示す断面図である。

【図7】ノズル管理装置の備える制御装置を示すブロック図である。

【図8】廃棄ボックスを示す断面図である。

【図9】吸着ノズル管理方法の制御プログラムを示すフローチャートである。

【図10】データテーブルを示す図である。

【図11】回収処理の制御プログラムを示すフローチャートである。

【図12】廃棄ボックスを示す断面図である。

【図13】廃棄ボックスを示す断面図である。

【図14】廃棄ボックスを示す断面図である。

【図15】廃棄ボックスを示す断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、本開示の好適な実施形態を、図面を参照しつつ詳細に説明する。

【0012】

図１に、電子部品装着装置１０を示す。先ず、電子部品装着装置１０の構成について説明する。電子部品装着装置１０は、１つのシステムベース１２と、そのシステムベース１２の上に隣接された２台の電子部品装着機（以下、装着機と略す場合がある）１４とを有している。なお、装着機１４の並ぶ方向をＸ軸方向と称し、その方向に直角な水平の方向をＹ軸方向と称する。

【0013】

各装着機１４は、主に、装着機本体２０、搬送装置２２、装着ヘッド移動装置（以下、移動装置と略す場合がある）２４、装着ヘッド２６、供給装置２８、ノズルステーション３０を備えている。装着機本体２０は、フレーム部３２と、そのフレーム部３２に上架されたビーム部３４とによって構成されている。

【0014】

搬送装置２２は、２つのコンベア装置４０，４２を備えている。それら２つのコンベア装置４０，４２は、互いに平行、かつ、Ｘ軸方向に延びるようにフレーム部３２に配設されている。２つのコンベア装置４０，４２の各々は、電磁モータ（図示省略）によって各コンベア装置４０，４２に支持される回路基板をＸ軸方向に搬送する。また、回路基板は、所定の位置において、基板保持装置（図示省略）によって保持される。

【0015】

移動装置２４は、ＸＹロボット型の移動装置である。移動装置２４は、スライダ５０をＸ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）と、Ｙ軸方向にスライドさせる電磁モータ（図示省略）とを備えている。スライダ５０には、装着ヘッド２６が取り付けられており、その装着ヘッド２６は、２つの電磁モータの作動によって、フレーム部３２上の任意の位置に移動させられる。

【0016】

装着ヘッド２６は、回路基板に対して電子部品を装着するものである。装着ヘッド２６の下端面には、吸着ノズル６０が設けられている。吸着ノズル６０は、図２に示すように、胴体筒６４とフランジ部６６と吸着管６８と掛止ピン７０とによって構成されている。胴体筒６４は、円筒状をなし、フランジ部６６は、胴体筒６４の外周面に張り出すようにして固定されている。吸着管６８は、細いパイプ状をなし、胴体筒６４の下端部から下方に向かって延び出した状態で、胴体筒６４に軸線方向に移動可能に保持されている。掛止ピン７０は、胴体筒６４の径方向に延びるように、胴体筒６４の上端部に設けられている。吸着ノズル６０は、掛止ピン７０を利用して、装着ヘッド２６にワンタッチで着脱可能に取り付けられる。なお、掛止ピン７０の図示は、後述する図５、図６、図１３乃至図１５では省略される。また、装着ヘッド２６には、バネ（図示省略）が内蔵されており、そのバネは、装着ヘッド２６に取り付けられる吸着ノズル６０の吸着管６８に、弾性力を付与する。これにより、その吸着管６８は、装着ヘッド２６に内蔵されたバネの弾性力によって、胴体筒６４の下端部から下方に延び出す方向に付勢されている。また、フランジ部６６の上面には、２Ｄコード７４が付されている。２Ｄコード７４には、個別情報として、吸着ノズル６０のＩＤ（identification ）や、後述するエアの吹き付けの態様（例えば、エアの吹き付け方向、エアの吹き付けの時間、エアの吹き付けの繰り返し回数）等が示されている。なお、２Ｄコード７４に代えて、バーコード又はＲＦタグがフランジ部６６の上面に付されてもよい。但し、ＲＦタグがフランジ部６６の上面に付される場合には、ＲＦタグから個別情報を取得するためのリーダが、後述するノズル管理装置（図３参照）８０の移載ヘッド（図４参照）１２０に取り付けられる。

【0017】

また、吸着ノズル６０は、負圧エア、正圧エア通路を介して、正負圧供給装置（図示省略）に通じている。吸着ノズル６０は、負圧によって電子部品を吸着保持し、保持した電子部品を正圧によって離脱する。また、装着ヘッド２６は、吸着ノズル６０を昇降させるノズル昇降装置（図示省略）を有している。そのノズル昇降装置によって、装着ヘッド２６は、保持する電子部品の上下方向の位置を変更する。

【0018】

供給装置２８は、フィーダ型の供給装置であり、図１に示すように、複数のテープフィーダ７２を有している。テープフィーダ７２は、テープ化部品を巻回させた状態で収容している。テープ化部品は、電子部品がテーピング化されたものである。そして、テープフィーダ７２は、送り装置（図示省略）によって、テープ化部品を送り出す。これにより、フィーダ型の供給装置２８は、テープ化部品の送り出しによって、電子部品を供給位置において供給する。

【0019】

ノズルステーション３０は、ノズルトレイ７６を有している。ノズルトレイ７６には、複数の吸着ノズル６０が収容されている。このノズルステーション３０では、装着ヘッド２６に取り付けられている吸着ノズル６０と、ノズルトレイ７６に収容されている吸着ノズル６０との交換等が、必要に応じて行われる。また、ノズルトレイ７６は、ノズルステーション３０に着脱可能であり、ノズルトレイ７６に収容された吸着ノズル６０の回収や、ノズルトレイ７６への吸着ノズル６０の補給等を装着機１４の外部において行うことが可能である。

【0020】

次に、装着機１４による装着作業について説明する。装着機１４では、上述した構成によって、搬送装置２２に保持された回路基板に対して、装着ヘッド２６によって装着作業を行うことが可能である。具体的には、装着機１４の制御装置（図示省略）の指令により、回路基板が、作業位置まで搬送され、その位置において、基板保持装置によって保持される。また、テープフィーダ７２は、制御装置の指令により、テープ化部品を送り出し、電子部品を供給位置において供給する。そして、装着ヘッド２６が、電子部品の供給位置の上方に移動し、吸着ノズル６０によって電子部品を吸着保持する。続いて、装着ヘッド２６は、回路基板の上方に移動し、保持している電子部品を回路基板上に装着する。

【0021】

装着機１４では、上述したように、テープフィーダ７２によって供給された電子部品を、吸着ノズル６０によって吸着保持し、その電子部品が回路基板上に装着される。このため、吸着ノズル６０に不具合が生じている場合には、装着作業を適切に行うことができない虞があるため、吸着ノズル６０を適切に管理する必要がある。そこで、以下に説明するノズル管理装置により、吸着ノズル６０の管理が行われる。

【0022】

次に、ノズル管理装置の構成について説明する。ノズル管理装置８０は、図３に示すように、概して直方体形状をなしており、正面に、ノズルトレイ７６をノズル管理装置８０内に収納、若しくは、ノズル管理装置８０からノズルトレイ７６を取り出すための扉８２が設けられている。その扉８２の上方には、各種情報を表示し、各操作が行われるタッチパネル８６等が配設されている。

【0023】

ノズル管理装置８０は、図４に示すように、管理装置本体９０、パレット収容装置９２、ノズル移載装置９４、ノズル検査装置９６、ノズル洗浄装置９８、ノズル乾燥装置１００を有している。なお、図４は、ノズル管理装置８０の外殻部材を取り外した状態を示す斜視図であり、ノズル管理装置８０の内部構造を示している。また、ノズル管理装置８０には、制御装置２００が接続されている。さらに、制御装置２００は、フラッシュメモリ２０４を備えている。なお、制御装置２００の詳細な説明は、後述する。

【0024】

管理装置本体９０は、フレーム部１０２と、そのフレーム部１０２に上架されたビーム部１０４とによって構成されている。フレーム部１０２は、中空構造とされており、フレーム部１０２内にパレット収容装置９２が配設され、パレット収容装置９２の上端部が、フレーム部１０２の上面に露出している。

【0025】

パレット収容装置９２は、複数のパレット載置棚１０６と、支持アーム１０８とを含む。パレット載置棚１０６は、ノズルパレット１１０を載置するための棚であり、複数のパレット載置棚１０６が、フレーム部１０２の内部において、上下方向に並んで配設されている。なお、ノズルパレット１１０には、複数の吸着ノズル６０が収容される。また、支持アーム１０８は、アーム移動装置（図示省略）の作動により、複数のパレット載置棚１０６の前方において、上下方向に移動するとともに、パレット載置棚１０６に接近・離間する。これにより、パレット載置棚１０６へのノズルパレット１１０の収納、パレット載置棚１０６からのノズルパレット１１０の取出しが、支持アーム１０８によって行われる。なお、パレット載置棚１０６から取り出されたノズルパレット１１０は、支持アーム１０８が上方に移動することで、フレーム部１０２の上面側に移動する。

【0026】

ノズル移載装置９４は、ノズルトレイ７６とノズルパレット１１０との間で吸着ノズル６０を移載するための装置であり、ビーム部１０４に配設されている。ノズル移載装置９４は、移載ヘッド１２０とヘッド移動装置１２２とを有している。移載ヘッド１２０の下端面には、下方を向いた状態のカメラ１２６と、吸着ノズル６０を保持するための保持チャック１２８と、エア供給装置１３０とが取り付けられている。

【0027】

保持チャック１２８は、図５に示すように、２本の保持爪１３２を有しており、それら２本の保持爪１３２を接近させることで、吸着ノズル６０を胴体筒６４において保持し、２本の保持爪１３２を離間させることで、保持した吸着ノズル６０を離脱する。また、保持チャック１２８の本体部１３４には、エア流路１３６が形成されている。そのエア流路１３６の下端部は、２本の保持爪１３２の間に開口しており、上端部は、エア供給装置１３０に接続されている。このため、保持チャック１２８が吸着ノズル６０を保持した状態において、エア供給装置１３０によってエア流路１３６にエアが供給されることで、吸着ノズル６０の内部に向かってエアが、エア流路１３６の下端部から吹き出す。これにより、吸着ノズル６０の内部にエアが吹きこまれ、吸着管６８の先端部からエアが吹き出す。さらに、保持チャック１２８は、自身を自転させる自転装置（図７参照）１３８を有している。これにより、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が回転する。なお、図５において、符号Ｄの方向は、上下方向を示している。この点は、後述する図６、図８、図１２乃至図１５においても、同様である。

【0028】

また、ヘッド移動装置１２２は、図４に示すように、移載ヘッド１２０をフレーム部１０２の上において前後方向、左右方向、上下方向に移動させるＸＹＺ型の移動装置である。なお、フレーム部１０２の前方側の上面には、ノズルトレイ７６をセットするための固定ステージ１３１が設けられており、固定ステージ１３１にセットされたノズルトレイ７６と、パレット収容装置９２の支持アーム１０８に支持されたノズルパレット１１０との間で、吸着ノズル６０が移載される。

【0029】

ノズル検査装置９６は、カメラ１４０とロードセル１４２とジョイント１４６とを有している。カメラ１４０は、上方を向いた状態でフレーム部１０２の上面に配設されており、カメラ１４０を用いて、吸着ノズル６０の先端部が検査される。詳しくは、検査対象の吸着ノズル６０が保持チャック１２８によって保持され、その保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が、下方からカメラ１４０によって撮像される。これにより、吸着ノズル６０の先端部の撮像データが得られ、その撮像データに基づいて、吸着ノズル６０の先端部の状態が検査される。

【0030】

また、ロードセル１４２は、カメラ１４０の隣に配設されており、ロードセル１４２を用いて、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態が検査される。詳しくは、検査対象の吸着ノズル６０が保持チャック１２８によって保持され、その保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０の先端部がロードセル１４２に当接される。吸着ノズル６０の先端部は、伸縮可能とされており、ロードセル１４２により測定された荷重に基づいて、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態が検査される。

【0031】

また、ジョイント１４６は、エア供給装置１３０の下面に配設され、そのエア供給装置１３０からエアが供給される。そして、エア供給装置１３０からジョイント１４６に供給されるエアを用いて、吸着ノズル６０のエア流量検査が行われる。詳しくは、ジョイント１４６が、ヘッド移動装置１２２の作動により、後述する洗浄パレット１５８に載置された吸着ノズル６０の上方に移動する。そして、ジョイント１４６が、検査対象の吸着ノズル６０に接続され、エア供給装置１３０からエアが供給される。この際にエア圧が測定され、そのエア圧に基づいて、吸着ノズル６０のエア流量検査が行われる。

【0032】

なお、フレーム部１０２の上面には、複数の廃棄ボックス１４８が配設されており、上記検査により不良ノズルと判定された吸着ノズル６０は、廃棄ボックス１４８に廃棄される。また、上記検査により正常なノズルと判定された吸着ノズル６０は、ノズルトレイ７６若しくは、ノズルパレット１１０に戻される。

【0033】

ノズル洗浄装置９８は、吸着ノズル６０の洗浄および乾燥を行う装置であり、パレット収容装置９２の隣に配設されている。ノズル洗浄装置９８は、洗浄・乾燥機構１５０と洗浄パレット移動機構１５２とを備えている。洗浄・乾燥機構１５０は、内部において吸着ノズル６０の洗浄および乾燥を行う機構である。また、洗浄パレット移動機構１５２は、洗浄パレット１５８が露出する露出位置（図４で洗浄パレット１５８が図示されている位置）と、洗浄・乾燥機構１５０の内部との間で、洗浄パレット１５８を移動させる機構である。

【0034】

ノズル乾燥装置１００は、吸着ノズル６０の乾燥を行う装置であり、露出位置に位置する洗浄パレット１５８の隣に配設されている。ノズル乾燥装置１００は、図５に示すように、ハウジング１６０と第１エアブロー装置１６４と第２エアブロー装置１６６を有している。ハウジング１６０は、概して有底円筒状をなしている。

【0035】

第１エアブロー装置１６４は、ハウジング１６０の内部に向かってエアを吹き出す装置である。詳しくは、ハウジング１６０の側壁には、２つの貫通穴１７０，１７２が形成されている。第１の貫通穴１７０は、ハウジング１６０の径方向に延びるように、ハウジング１６０の側壁を貫通している。なお、第１の貫通穴１７０は、ハウジング１６０の外壁面から内壁面に向かって斜め上方に貫通している。一方、第２の貫通穴１７２は、第１の貫通穴１７０の上方において、ハウジング１６０の径方向、かつ水平方向に延びるように、ハウジング１６０の側壁を貫通している。そして、第１の貫通穴１７０および、第２の貫通穴１７２に、配管１７６，１７８を介して、第１エアブロー装置１６４が接続されている。これにより、第１エアブロー装置１６４は、貫通穴１７０，１７２を介して、ハウジング１６０の内部に向かってエアを吹き出す。第２エアブロー装置１６６は、ハウジング１６０の内部に向かってエアを吹き出す装置である。詳しくは、ハウジング１６０の底壁の中央には、１つの貫通穴１８０が形成されている。そして、その貫通穴１８０に、配管１８２を介して、第２エアブロー装置１６６が接続されている。これにより、第２エアブロー装置１６６は、貫通穴１８０を介して、ハウジング１６０の内部に向かってエアを吹き出す。

【0036】

次に、吸着ノズル６０の洗浄および乾燥について説明する。ノズル洗浄装置９８により、吸着ノズル６０の洗浄が行われる際には、洗浄対象の吸着ノズル６０が、ノズル移載装置９４によって、ノズルトレイ７６若しくは、ノズルパレット１１０から、洗浄パレット１５８に移載される。そして、洗浄パレット１５８が、洗浄パレット移動機構１５２の作動により、洗浄・乾燥機構１５０の内部に移動し、洗浄・乾燥機構１５０の内部において、吸着ノズル６０の洗浄および乾燥が行われる。洗浄・乾燥機構１５０による吸着ノズル６０の洗浄および乾燥が完了すると、洗浄パレット１５８が、洗浄パレット移動機構１５２の作動により、露出位置に移動する。

【0037】

この際、吸着ノズル６０は、ある程度乾燥しているが、洗浄・乾燥機構１５０内では、洗浄パレット１５８に搭載された状態で吸着ノズル６０の乾燥が行われるため、吸着ノズル６０に水分が残存している虞がある。特に、吸着ノズル６０では、上述したように、胴体筒６４と吸着管６８とが相対移動可能となっており、胴体筒６４と吸着管６８との間に水が浸入するため、胴体筒６４と吸着管６８との間に浸入した水が残存している場合がある。このように胴体筒６４と吸着管６８との間に水分が残存した吸着ノズル６０は、上記ロードセル１４２を用いた検査において、不良ノズルと判定される虞がある。詳しくは、ロードセル１４２を用いた検査は、上述したように、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態の検査であり、胴体筒６４と吸着管６８との間に水分が残存した吸着ノズル６０では、水分によって胴体筒６４と吸着管６８との摺動抵抗が大きくなり、ロードセル１４２により測定される荷重が高くなる。このため、吸着ノズル６０の先端部の伸縮状態が適切でないと判定され、その吸着ノズル６０は、不良ノズルと判定される虞がある。

【0038】

このようなことに鑑みて、ノズル管理装置８０では、洗浄・乾燥機構１５０による吸着ノズル６０の洗浄および乾燥が完了すると、ノズル乾燥装置１００を用いて、吸着ノズル６０の乾燥が行われる。詳しくは、洗浄・乾燥機構１５０により洗浄・乾燥された吸着ノズル６０が、洗浄パレット１５８から保持チャック１２８によって保持される。次に、保持チャック１２８が、ヘッド移動装置１２２の作動により、ノズル乾燥装置１００の上方に移動し、下降する。これにより、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が、図５に示すように、ノズル乾燥装置１００のハウジング１６０の内部に挿入される。なお、吸着ノズル６０のフランジ部６６と吸着管６８が、貫通穴１７０，１７２の横方向に位置する箇所まで、保持チャック１２８は下降する。これにより、ハウジング１６０の内部では、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が、吸着管６８を上下に向けた状態で収納される。

【0039】

その後、ハウジング１６０の内部において、吸着ノズル６０が回転し、エアが、貫通穴１７０，１７２，１８０とエア流路１３６の少なくとも１つから吹き出す。つまり、保持チャック１２８が自転装置１３８の作動により自転することにより、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０が回転する。さらに、第１エアブロー装置１６４が作動されると、貫通穴１７０，１７２からハウジング１６０の内部に向かってエアが吹き出す。これにより、吸着ノズル６０の横方から吹き出したエアが、回転中の吸着ノズル６０の周囲全体に吹き付けられる。また、エア供給装置１３０が作動されると、エア流路１３６から、保持チャック１２８の２本の保持爪１３２の間（つまり、ハウジング１６０の内部）に向かってエアが吹き出す。これにより、吸着ノズル６０の上方から吹き出したエアが、回転中の吸着ノズル６０の内部に吹き付けられる。このような、吸着ノズル６０の上方から内部へのエアの吹き付けによって、吸着管６８が胴体筒６４に対して下方に向かって相対移動し、下方に延び出す。これにより、胴体筒６４の下側において、吸着管６８の胴体筒６４に対する摺動面が露出し、その摺動面の全周に渡ってエアが吹き付けられる。これに対して、第２エアブロー装置１６６が作動されると、貫通穴１８０からハウジング１６０の内部に向かってエアが吹き出す。これにより、吸着ノズル６０の下方から吹き出したエアが、回転中の吸着ノズル６０の内部に吹き付けられる。このような、吸着ノズル６０の下方から内部へのエアの吹き付けによって、図６に示すように、吸着管６８が胴体筒６４に対して上方に向かって相対移動し、上方に延び出す。これにより、胴体筒６４の上側において、吸着管６８の胴体筒６４に対する摺動面が露出し、その摺動面の全周に渡ってエアが吹き付けられる。このように、ハウジング１６０の内部に挿入された状態の吸着ノズル６０の横方、上方、又は下方から内部（特に、吸着管６８）にエアが吹き付けられるとともに、吸着ノズル６０が回転することで、胴体筒６４と吸着管６８との間に残存している水分を好適に除去することが可能となる。なお、ノズル乾燥装置１００は、水分以外の付着物、具体的には、例えば、油分、埃、電子部品又はその一部、半田、接着剤等を除去することも可能である。また、第１エアブロー装置１６４、エア供給装置１３０、及び第２エアブロー装置１６６は、上述したエアに代えて、他の気体、具体的には、例えば、窒素等のガスを吹き付けてもよい。

【0040】

そして、ノズル乾燥装置１００による乾燥が完了した吸着ノズル６０は、ヘッド移動装置１２２の作動により、ノズルトレイ７６とノズルパレット１１０との何れかに戻される。

【0041】

さらに、ノズル管理装置８０は、図７に示すように、上述した制御装置２００を備えている。制御装置２００は、コントローラ２０２と複数の駆動回路２０６とを備えている。複数の駆動回路２０６は、パレット収容装置９２、ノズル検査装置９６、ノズル洗浄装置９８、エア供給装置１３０、自転装置１３８、第１エアブロー装置１６４、第２エアブロー装置１６６に接続されている。コントローラ２０２は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路２０６に接続されている。これにより、パレット収容装置９２、ノズル移載装置９４、ノズル乾燥装置１００等の作動が、コントローラ２０２によって制御される。また、コントローラ２０２は、交互エアブロー部２１０と同期エアブロー部２１２と同時エアブロー部２１４と変更エアブロー部２１６とを有している。交互エアブロー部２１０は、エア供給装置１３０の作動によるエアの吹き付けと、第２エアブロー装置１６６の作動によるエアの吹き付けを交互に行うための機能部である。同期エアブロー部２１２は、第１エアブロー装置１６４の作動によるエアの吹き付けを、第２エアブロー装置１６６の作動によるエアの吹き付けと同期させて行うための機能部である。同時エアブロー部２１４は、吸着ノズル６０の乾燥を開始する時又は終了する時において、エア供給装置１３０の作動によるエアの吹き付け、第２エアブロー装置１６６の作動によるエアの吹き付け、及び第１エアブロー装置１６４の作動によるエアの吹き付けを同時に行うための機能部である。変更エアブロー部２１６は、カメラ１２６で２Ｄコード７４から取得した吸着ノズル６０の個別情報に応じて、吸着ノズル６０の吸着管６８にエアを吹き付ける態様を変更するための機能部である。つまり、変更エアブロー部２１６は、エア供給装置１３０、第２エアブロー装置１６６、又は第１エアブロー装置１６４について、作動の時間、作動の順番、又は同時に作動させる組合せ等を、吸着ノズル６０の２Ｄコード７４に示された個別情報に従って変更する。

【0042】

次に、廃棄ボックス１４８について説明する。図８に示すように、廃棄ボックス１４８の上方には、吸着ノズル６０を２本の保持爪１３２で保持した保持チャック１２８（の本体部１３４）が、ヘッド移動装置１２２の作動により移動する。これにより、上記検査により不良ノズルと判定された吸着ノズル６０が、廃棄ボックス１４８に廃棄される。

【0043】

廃棄ボックス１４８は、枠体３００と、スポンジ等のクッション材３０２とを備えている。枠体３００は、上面が開放された箱体である。クッション材３０２は、枠体３００の内部に配置されており、傾斜面３０４と平面３０６とを備えている。傾斜面３０４の下降側では、傾斜面３０４と平面３０６とが連続している。

【0044】

傾斜面３０４は、その全体が緩衝材３０８で覆われている。緩衝材３０８には、テープ材又はブラシ材等が使用される。これにより、吸着ノズル６０は、緩衝材３０８を介して傾斜面３０４に落下するので、傾斜面３０４に直に落下する場合と比べて、勢いよく転がることが可能である。なお、テープ材には、例えば、ポリテトラフルオロエチレン製のテープ等がある。また、ブラシ材には、例えば、静電気除去ブラシの毛材等がある。

【0045】

傾斜面３０４の上端部３１０においては、傾斜面３０４から上方に向けて突出した段差部３１２が設けられている。つまり、段差部３１２は、クッション材３０２で形成されている。段差部３１２の突出高さＨは、吸着ノズル６０のフランジ部６６から吸着管６８の先端までの最大長さＬ以上とされる。ここで、最大長さＬとは、吸着ノズル６０において、吸着管６８が胴体筒６４の下端（つまり、フランジ部６６の下面）から最大に伸び出した際の、フランジ部６６から吸着管６８の先端までの長さをいう。

【0046】

次に、図９のフローチャートを用いて、吸着ノズル管理方法２２０の制御プログラムについて説明する。図９のフローチャートで示された制御プログラムは、制御装置２００が備えているフラッシュメモリ２０４に記憶されており、オペレータがタッチパネル８６で所定の操作を行うと、コントローラ２０２のＣＰＵにより実行される。

【0047】

吸着ノズル管理方法２２０が実行されると、先ず、洗浄処理Ｓ１０が行われる。この処理では、ノズル洗浄装置９８において、上述したようにして、吸着ノズル６０の洗浄および乾燥が行われる。

【0048】

続いて、流量検査処理Ｓ１２が行われる。この処理では、ノズル検査装置９６において、上述したようにして、吸着ノズル６０のエア流量検査が行われる。なお、この検査において不良ノズル（つまり、不合格）と判定された吸着ノズル６０は、洗浄パレット１５８から保持チャック１２８で保持され、後述する回収処理Ｓ３０と同様にして、廃棄ボックス１４８に廃棄される。

【0049】

続いて、乾燥処理Ｓ１４が行われる。この処理では、ノズル乾燥装置１００において、上述したようにして、吸着ノズル６０の乾燥が行われる。なお、吸着ノズル６０の乾燥が行われるために、洗浄パレット１５８上の吸着ノズル６０が移載ヘッド１２０の保持チャック１２８で保持される際には、吸着ノズル６０の２Ｄコード７４が移載ヘッド１２０のカメラ１２６で撮像される。これにより、２Ｄコード７４に示された吸着ノズル６０の個別情報が取得される。さらに、その取得された個別情報に対応した態様で、交互エアブロー部２１０、同期エアブロー部２１２、同時エアブロー部２１４、又は変更エアブロー部２１６が機能することによって、吸着ノズル６０の乾燥が行われる。なお、吸着ノズル６０の乾燥は、吸着ノズル６０のフランジ部６６の上面が最初に乾燥される態様で行われてもよい。

【0050】

続いて、荷重検査処理Ｓ１６が行われる。この処理では、ノズル検査装置９６において、上述したようにして、ロードセル１４２を用いた検査が行われる。その後は、第１判定処理Ｓ１８が行われる。この処理では、ロードセル１４２を用いた検査において、検査対象の吸着ノズル６０が正常ノズル（つまり、合格）であるか否かが判定される。

【0051】

検査対象の吸着ノズル６０が不良ノズル（つまり、不合格）である場合には（Ｓ１８：ＮＯ）、第２判定処理Ｓ２０が行われる。この処理では、ロードセル１４２を用いた検査について、検査対象の吸着ノズル６０の不合格回数がＮ＋１回であるか否かが判定される。ここで、Ｎとは、予め設定された所定回数であり、フラッシュメモリ２０４に記憶されている。なお、所定回数Ｎは、オペレータがタッチパネル８６で操作することによって、吸着ノズル管理方法２２０が実行される前に変更することが可能である。

【0052】

検査対象の吸着ノズル６０の不合格回数がＮ＋１回でない場合には（Ｓ２０：ＮＯ）、保持チャック１２８に保持されている吸着ノズル６０について、上述した乾燥処理Ｓ１４、荷重検査処理Ｓ１６、及び第１判定処理Ｓ１８が繰り返される。

【0053】

これに対して、検査対象の吸着ノズル６０が正常ノズル（つまり、合格）である場合には（Ｓ１８：ＹＥＳ）、保持チャック１２８に保持されている吸着ノズル６０について、画像検査処理Ｓ２２が行われる。この処理では、ノズル検査装置９６において、上述したようにして、カメラ１４０を用いた検査が行われる。その後は、第３判定処理Ｓ２４が行われる。この処理では、カメラ１４０を用いた検査において、検査対象の吸着ノズル６０が正常ノズル（つまり、合格）であるか否かが判定される。

【0054】

検査対象の吸着ノズル６０が正常ノズル（つまり、合格）である場合には（Ｓ２４：ＹＥＳ）、記憶処理Ｓ２６が行われる。この処理では、保持チャック１２８に保持されている吸着ノズル６０について、そのＩＤと、上述した乾燥処理Ｓ１４（、荷重検査処理Ｓ１６、及び第１判定処理Ｓ１８）が繰り返された回数（以下、繰返回数と称す）とが関連付けて記憶される。

【0055】

具体的には、例えば、図１０に示すデータテーブル２０８のように、吸着ノズル６０のＩＤの１００１に対しては、繰返回数の２が関連付けられ記憶され、吸着ノズル６０のＩＤの１００２に対しては、繰返回数の１が関連付けられ記憶され、吸着ノズル６０のＩＤの１００３に対しては、繰返回数の３が関連付けられ記憶される。なお、データテーブル２０８は、フラッシュメモリ２０４に記憶されている。また、データテーブル２０８においては、繰返回数に加えて、上述した流量検査処理Ｓ１２、荷重検査処理Ｓ１６、及び画像検査処理Ｓ２２の各検査結果が、保持チャック１２８に保持されている吸着ノズル６０のＩＤに関連付けて記憶されてもよい。

【0056】

続いて、第４判定処理Ｓ２８が行われる。この処理では、洗浄パレット１５８に搭載された全ての吸着ノズル６０について、ノズル乾燥装置１００による乾燥が終了したか否かが判定される。

【0057】

洗浄パレット１５８に搭載された全ての吸着ノズル６０について、ノズル乾燥装置１００による乾燥が終了していない場合には（Ｓ２８：ＮＯ）、保持チャック１２８に保持されている吸着ノズル６０がノズルトレイ７６又はノズルパレット１１０に戻された後において、洗浄パレット１５８から吸着ノズル６０が保持チャック１２８で保持される。さらに、保持チャック１２８に保持された吸着ノズル６０について、上述した乾燥処理Ｓ１４が行われる。なお、洗浄パレット１５８に搭載された全ての吸着ノズル６０について、ノズル乾燥装置１００による乾燥が終了した場合には（Ｓ２８：ＹＥＳ）、吸着ノズル管理方法２２０は終了する。

【0058】

これに対して、ロードセル１４２を用いた検査が連続して不合格となった回数がＮ＋１回となる場合や（Ｓ２０：ＹＥＳ）、カメラ１４０を用いた検査が不合格となった場合には（Ｓ２４：ＮＯ）には、回収処理Ｓ３０が行われる。図１１に示すように、回収処理Ｓ３０は、移動処理Ｓ３２と離脱処理Ｓ３４を有する。

【0059】

回収処理Ｓ３０が実行されると、先ず、移動処理Ｓ３２が実行される。この処理では、図１２に示すように、吸着ノズル６０（の胴体筒６４）を２本の保持爪１３２で保持した保持チャック１２８（の本体部１３４）が、ヘッド移動装置１２２の作動により、廃棄ボックス１４８の上方にまで移動する。その際、保持チャック１２８に保持されている吸着ノズル６０の姿勢については、吸着ノズル６０の吸着管６８が廃棄ボックス１４８の傾斜面３０４の（緩衝材３０８の）上方において上下に向いた状態にあり、さらに、吸着ノズル６０のフランジ部６６の少なくとも一部が廃棄ボックス１４８の段差部３１２の上方に位置する状態にある。そのため、廃棄ボックス１４８の段差部３１２において傾斜面３０４側の端から伸び出した垂線Ａは、保持チャック１２８に保持されている吸着ノズル６０のフランジ部６６と交わる関係にある。

【0060】

次に、離脱処理Ｓ３４が行われる。この処理では、図１３に示すように、２本の保持爪１３２が離間することによって、保持チャック１２８から吸着ノズル６０を離脱させる。これにより、図１４に示すように、吸着ノズル６０が廃棄ボックス１４８に向けて落下し、吸着ノズル６０のフランジ部６６が廃棄ボックス１４８の段差部３１２に当たる状態になる。そのため、図１５に示すように、吸着ノズル６０は、その（吸着管６８の）向きが変化した後に、廃棄ボックス１４８の傾斜面３０４（の緩衝材３０８）上に落ちて転がることによって、廃棄ボックス１４８に回収される。その後は、上述した第４判定処理Ｓ２８が行われる。

【0061】

なお、上述したノズル荷重は、荷重検査処理Ｓ１６において、ロードセル１４２により測定される。

【0062】

以上より、本実施形態のノズル管理装置８０では、コントローラ２０２によって吸着ノズル管理方法２２０が行われると、乾燥処理Ｓ１４と荷重検査処理Ｓ１６が行われる。そして、コントローラ２０２は、荷重検査処理Ｓ１６の検査結果が合格となるまで、予め設定された所定回数Ｎを限度として、乾燥処理Ｓ１４と荷重検査処理Ｓ１６を繰り返す（Ｓ１８，Ｓ２０）。これにより、本実施形態のノズル管理装置８０と吸着ノズル管理方法２２０は、乾燥された吸着ノズル６０のノズル荷重を検査した後で吸着ノズル６０を再び乾燥させる際において、ヒューマンエラーの発生を防止する。

【0063】

ちなみに、本実施形態において、２Ｄコード７４は、識別媒体の一例である。ノズル管理装置８０は、吸着ノズル管理装置の一例である。ノズル検査装置９６は、荷重検査部の一例である。ノズル洗浄装置９８は、洗浄部の一例である。ノズル乾燥装置１００は、乾燥部の一例である。カメラ１２６は、リーダの一例である。第１判定処理Ｓ１８と第２判定処理Ｓ２０を行う際のコントローラ２０２は、リトライ制御部の一例である。フラッシュメモリ２０４は、記憶部の一例である。予め設定された所定回数Ｎは、予め設定された回数の一例である。洗浄処理Ｓ１０は、洗浄工程の一例である。乾燥処理Ｓ１４は、乾燥工程の一例である。荷重検査処理Ｓ１６は、荷重検査工程の一例である。第１判定処理Ｓ１８と第２判定処理Ｓ２０は、リトライ制御工程の一例である。

【0064】

なお、本開示は上記実施形態に限定されるものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、所定回数Ｎは、吸着ノズル６０に付された２Ｄコード７４等で示されることによって、吸着ノズル６０（の大きさ又は種類）毎に変更可能なようにしてもよい。あるいは、所定回数Ｎは、２Ｄコード７４等で示されたＩＤと関連付けられた状態でフラッシュメモリ２０４等に予め記憶されることによって、吸着ノズル６０（の大きさ又は種類）毎に変更可能なようにしてもよい。

【0065】

また、吸着ノズル６０は、吸着管６８が装着ヘッド２６に内蔵されたバネの弾性力で付勢されるものに代えて、吸着管６８が吸着管６８と胴体筒６４との間に設けられたバネの弾性力によって付勢されるものでもよい。但し、そのような場合には、乾燥処理Ｓ１４において、第２エアブロー装置１６６が作動しても、吸着管６８が胴体筒６４に対して上方に向かって相対移動し難く、そのため、吸着管６８が胴体筒６４の上端部から上方に延び出し難い。

【符号の説明】

【0066】

６０ 吸着ノズル
６４ 胴体筒
６８ 吸着管
７４ ２Ｄコード
８０ ノズル管理装置
９６ ノズル検査装置
９８ ノズル洗浄装置
１００ ノズル乾燥装置
１２６ カメラ
２０２ コントローラ
２０４ フラッシュメモリ
２２０ 吸着ノズル管理方法
Ｎ 予め設定された所定回数
Ｓ１０ 洗浄処理
Ｓ１４ 乾燥処理
Ｓ１６ 荷重検査処理
Ｓ１８ 第１判定処理
Ｓ２０ 第２判定処理

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】